專利名稱：用于在非平面襯底上進(jìn)行噴墨打印的方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實施例大體涉及諸如用于平板顯示器處理設(shè)備(例如，LCD、OLED、以及其他類型的平板顯示器)、半導(dǎo)體晶元處理、及太陽電池板處理等的設(shè)備及方法的襯底處理設(shè)備及方法。
背景技術(shù)：
平板顯示器工業(yè)一直以來都試圖使用噴墨打印以制造顯示裝置，具體而言，制造玻璃或其他襯底上的彩色過濾器?，F(xiàn)有設(shè)備及方法的實施例包括在可能不完善的運動襯底上精確并準(zhǔn)確地噴射墨水或其他材料同時保持較高的生產(chǎn)率。因此，采用了各種方法及設(shè)備以有效并可靠地實現(xiàn)墨水在不完善襯底上的精確沉積。

發(fā)明內(nèi)容
一方面，本發(fā)明提供了一種設(shè)備，其包括1)至少一個打印頭，其適于將墨水沉積在襯底的頂表面上，其中所述襯底相對于所述打印頭運動；2)至少一個傳感器，其適于檢測從所述襯底的所述頂表面到所述至少一個傳感器的間距；及3)控制器，其適于基于從所述傳感器到所述襯底的所述頂表面的所述間距來確定襯底到噴嘴間距，并適于基于所述襯底到噴嘴間距來調(diào)整沉積在所述襯底上的墨水的軌跡。
另一方面，本發(fā)明提供了一種設(shè)備，其包括至少一個打印頭，其適于將墨水沉積在襯底的頂表面上，其中所述襯底相對于所述打印頭運動；至少一個傳感器，其適于檢測從所述襯底的所述頂表面到所述至少一個傳感器的間距；及控制器，其適于基于從所述傳感器到所述襯底的所述頂表面的所述間距來確定襯底到噴嘴間距，并適于基于所述襯底到噴嘴間距來調(diào)整打印參數(shù)。
另一方面，本發(fā)明提供了一種噴墨打印方法，其包括感應(yīng)從傳感器到襯底的間距；基于所感應(yīng)到的從所述傳感器到所述襯底的間距，確定從一個或多個噴墨打印頭到所述襯底的間距；并基于所確定的從調(diào)整所述一個或多個噴墨打印頭到所述襯底的間距，調(diào)整打印參數(shù)。
另一方面，本發(fā)明提供了一種用于噴墨打印的系統(tǒng)，其包括打印橋；至少一個打印頭，其連接至所述打印橋，并適于將墨水沉積在襯底的頂表面上；載物臺，其布置在所述打印橋以及所述至少一個打印頭之下，并適于使所述襯底相對于所述至少一個打印頭移動；至少一個傳感器，其連接至所述打印橋，并適于檢測從所述襯底的所述頂表面到所述至少一個傳感器的間距；及控制器，其適于基于從所述傳感器到所述襯底的所述頂表面的所述間距來確定襯底到噴嘴間距，并適于基于所述襯底到噴嘴間距來調(diào)整打印參數(shù)。
通過以下詳細(xì)描述、所附權(quán)利要求及附圖，本發(fā)明的其他特征及方面將變的更清楚。
本申請要求主張于2005年9月29日申請的發(fā)明名稱為“METHODSAND APPARATUS FOR INKJET PRINTING COLOR FILTERS FORDISPLAY PANELS”的美國臨時專利申請60/721,741的優(yōu)先權(quán)，這里通過引用其整體而將其包含在本文中。
本申請相關(guān)于2004年12月22日申請的發(fā)明名稱為“METHODSAND APARATUS FOR ALIGNING PRINT HEADS”的美國專利申請11/019,930，這里通過引用其整體而將其包含在本文中。


圖1A示出了根據(jù)本發(fā)明的噴墨打印系統(tǒng)的實施例的前視立體圖。
圖1B示出了根據(jù)本發(fā)明的噴墨打印系統(tǒng)的實施例的側(cè)視圖。
圖2描繪了在本發(fā)明的示例性實施例中的噴墨打印頭的放大立體圖。
圖3描繪了在本發(fā)明的替代示例性實施例中的噴墨打印頭的放大立體圖。
具體實施例方式
本發(fā)明提供了利用噴墨打印組件以將墨滴精確定位在襯底上的系統(tǒng)及方法。襯底的速度可能足夠大而使得襯底的不完善會影響噴墨打印的精確性。襯底中的不完善可能包括諸如襯底的厚度及平面度的改變的各種情況。因為墨水可能會沉積在其中及/或其上的象素特征(例如，象素井等)可能會特別小而不完善相對較大，故噴墨打印處理會帶來缺陷的可能性會很大。
根據(jù)本發(fā)明，可以在噴墨打印系統(tǒng)中設(shè)置能夠檢測襯底及/或噴墨打印組件中的改變并控制噴墨處理以確保沉積在襯底上的墨水的位置準(zhǔn)確性的檢測系統(tǒng)。沉積在襯底上的墨水的位置不精確性可能由襯底的不完善(例如，皺紋、翹曲、高地、谷底等)及噴墨打印系統(tǒng)中的機(jī)械不完善等導(dǎo)致。本發(fā)明的傳感器系統(tǒng)可以包括能夠?qū)σr底及/或噴墨打印系統(tǒng)中的不完善進(jìn)行檢測的傳感器系統(tǒng)。在一些實施例中，傳感器系統(tǒng)可能能夠向噴墨打印機(jī)的控制器提供信息以允許控制器通過改變諸如墨滴尺寸、墨滴沉積速度、墨滴沉積時機(jī)、噴墨噴嘴/打印頭位移及/或?qū)?zhǔn)、噴墨打印系統(tǒng)載物臺運動的特性及/或其他性能特性來補償這些位置不精確性。
在相同或其他實施例中，所述設(shè)備還可包括一個或多個帶有噴嘴的噴墨打印頭。可以利用距離傳感器(例如，間距傳感器等)來確定從噴嘴到襯底的頂表面及/或襯底上的其他點(例如，象素或子象素井的底部)的間距。例如，該傳感器測量的間距可以傳輸至?xí)治鰯?shù)據(jù)的控制器(例如，運行算法等的計算機(jī))。利用所分析的數(shù)據(jù)，該控制器可以調(diào)整從噴墨打印頭進(jìn)行墨水沉積的時機(jī)。墨水沉積的時機(jī)可以由控制器調(diào)整以確保墨水可落入任意合適的象素井或子象素井中。
圖1A及1B分別說明了本發(fā)明的噴墨打印系統(tǒng)100(其由參考標(biāo)號100總體表示)的實施例的前視立體圖及側(cè)視圖。在示例性實施例中，本發(fā)明的噴墨打印系統(tǒng)100可以包括打印橋102。打印橋102可以布置在載物臺104之上并/或與載物臺104連接。載物臺104可支撐襯底106。打印頭108、110、112可以支撐在打印橋102上。打印橋102還可以支撐成像系統(tǒng)114。傳感器116也可支撐在打印橋102上。打印頭108-112、成像系統(tǒng)114、及/或傳感器116可以(例如，邏輯地及/或電學(xué)地)連接至系統(tǒng)控制器120。
在圖1A及1B的示例性實施例中，打印橋102可以以有利于噴墨打印的方式被支撐在載物臺104之上。打印橋102及/或載物臺104每個都可獨立的在由圖1A及1B中的Y方向箭頭及在圖1A中的X方向箭頭所表示的正及負(fù)X及Y方向上移動。在相同或替代實施例中，打印橋102及/或載物臺104可旋轉(zhuǎn)。打印橋102可以能夠支撐并移動任意數(shù)量的打印頭108-112及/或傳感器(例如，多個成像系統(tǒng)114、多個傳感器116等)。在某些實施例中，襯底106可能布置在可移動載物臺104之上或連接至可移動載物臺104。
盡管在圖1A及1B中示出在打印橋102上存在三個打印頭108-112，但需要注意的是任意數(shù)量的打印頭(例如，1、2、4、5、6、7...個打印頭)都可以安裝在打印橋102上并/或與打印橋102結(jié)合使用。打印頭108-112每個都能夠分配單一顏色的墨水，或者在一些實施例中能夠分配多種顏色的墨水。噴墨打印頭108-112可以在垂直和水平方向上移動并/或?qū)?zhǔn)由此以實現(xiàn)精確的噴墨滴布置。噴墨打印頭的移動及/或?qū)?zhǔn)可自動及/或手動進(jìn)行。此外，盡管噴墨打印頭108-112的定向被描繪為以大體豎直方式定向，但也可以采用其他定向及/或定位。打印橋102也可移動及/或可旋轉(zhuǎn)以為精確噴墨打印來布置打印頭108-112。在操作時，噴墨打印頭108-112可以(例如從噴嘴)以滴狀(例如，液滴、噴霧、微粒等)方式分配墨水。
成像系統(tǒng)114可以朝向襯底106對準(zhǔn)并能夠捕獲襯底106的靜止及/或運動圖像。用在噴墨打印系統(tǒng)中的示例性成像系統(tǒng)在2004年12月22日申請的發(fā)明名稱為“METHODS AND APARATUS FOR ALIGNING PRINTHEADS”的美國專利申請11/019,930中進(jìn)行了描述，這里通過引用其整體而將其包含在本文中。類似的，成像系統(tǒng)114可以包括一個或多個高分辨率數(shù)碼線掃描攝像機(jī)、基于CCD的攝像機(jī)、及/或任何其他合適的攝像機(jī)。
依然參考圖1A及1B，盡管示出在打印橋102上存在單一傳感器116，但可以有多個傳感器連接至打印橋102。傳感器116可以以多種不同的方式連接至打印橋102。例如，多個傳感器116可以直接地及/或經(jīng)由噴墨打印頭108-112及/或成像系統(tǒng)114而連接至打印橋102。多個傳感器116可以沿打印橋102布置在不同位置。在一些實施例中，傳感器116可以布置接近打印頭108-112，由此布置在噴墨打印頭108-112與打印橋102之間的間隙中。此外，盡管描繪的傳感器116以大體豎直方式定向，但也可以采用其他合適的定向及/或定位。
傳感器116能夠檢測從噴墨打印頭108-112到襯底106的距離(例如，間距等)。傳感器116還能夠確定襯底106的高度(例如，厚度等)。此外，可以采用傳感器116以檢測從傳感器116及/或打印頭108-112的一個或多個噴嘴到載物臺104的表面及/或襯底106(例如，襯底的頂部、象素井的底部等)的間距。傳感器116可以是能夠完成這些功能或其他有關(guān)功能的任何合適的傳感器。
在說明性實施例中，可以采用激光傳感器。激光傳感器可以以較高的取樣率及精確性測量襯底106及/或載物臺104的厚度及/或高度。類似的，激光傳感器可以測量任何其他高度，諸如從襯底的底面到象素或子象素井的底部的間距。
適合用作位移計量器/傳感器116的可商購傳感器的示例包括由新加坡Omron Electronics Pte.Ltd.公司所制造的ZS-Series Smart Sensor(2D CMOS激光型)以及由日本大阪Keyence Corp.公司所制造的LC-series激光位移計量器。在替換實施例中，傳感器116可以是另一種類型傳感器或計量器，例如超聲波距離傳感器。需要理解的是，可以使用任何合適的測量高度(例如，豎直位移)及/或跨距的裝置。
打印橋102、載物臺104、噴墨打印頭108-112及/或傳感器116可以(例如，以數(shù)字方式、電學(xué)方式等)連接至系統(tǒng)控制器120。在噴墨打印操作中，系統(tǒng)控制器120可適于控制打印橋102、載物臺104、噴墨打印頭108-112及/或傳感器116的運動。系統(tǒng)控制器120還可以控制噴墨打印頭108-112的啟動脈沖信號并/或完成其他關(guān)聯(lián)于噴墨打印的控制功能。系統(tǒng)控制器120可以是諸如一個或多個微處理器、微控制器、專用硬件、及其結(jié)合等任何合適的結(jié)構(gòu)，并如這里所述可以被設(shè)置并利用(例如，編程)來控制噴墨打印系統(tǒng)100的操作。
圖2描繪了在本發(fā)明的打印系統(tǒng)200的示例性實施例中的噴墨打印頭108、110及112的放大立體圖。噴墨打印頭108-112可以連接至打印橋102。打印橋102可布置在載物臺104及襯底106之上。襯底106可布置在載物臺104的上表面上。傳感器116可以布置得與噴墨打印頭108-112非常接近。噴墨打印頭108-112、打印橋102、載物臺104及/或傳感器116可以與系統(tǒng)控制器120通信。盡管在一些實施例中傳感器116被描繪為在打印方向Y上位于打印頭108、110及112后方，但傳感器116也可以其他位置及定向布置。例如，在打印方向Y上，傳感器116可額外地或替代地位于打印頭108-112的前方及/或附近。在一些實施例中，傳感器116可以傾斜以檢測打印頭108-112正下方的間距或高度。
在圖2所示的實施例中，襯底106及/或載物臺104在形狀上可能不完善。例如，襯底106及/或載物臺104兩者可能形成有波狀起伏從而影響襯底106的頂表面的平面度。此外，打印橋102可能不是理想地平整，使得當(dāng)打印頭108-112沿打印橋102移動時打印頭108-112與襯底106之間的間距可能會改變。類似的，載物臺104在其上移動的軌道(未示出)可能不是理想地平整，使得當(dāng)載物臺104移動時打印頭108-112與襯底106之間的間距可能會改變。
依然參考圖2，在根據(jù)示例性實施例進(jìn)行噴墨打印處理期間，墨滴可從噴墨打印頭108-112沉積至襯底106上。在噴墨打印處理期間，打印橋102及/或載物臺104可能會運動。因此，當(dāng)墨滴經(jīng)過噴墨打印頭108-112的噴嘴與襯底106的頂表面之間的間距時，墨滴的最終位置202可能會受到襯底106頂表面不完善的影響。為了處理襯底106的頂表面的不完善，系統(tǒng)控制器120可利用由傳感器116、噴墨打印頭108-112、打印橋102及/或載物臺104提供的信息來調(diào)整從噴墨打印頭110噴出的墨滴的軌跡(例如，墨滴沉積/噴出的時機(jī)、墨滴的速度及墨滴的軌道等)及/或尺寸(例如，體積、形狀、分布及尾跡等)。因此，墨滴位置202可被布置在正確的位置(例如，象素井及頂表面上的座標(biāo)等)，由此在打印處理期間不會造成彩色過濾器的缺陷。在一些實施例中，當(dāng)基于間距信息調(diào)整時機(jī)時，著陸點間距的改變可通過以下示例性等式來確定dD＝Vs*dH/Vd其中dD表示著陸點間距的改變、Vs表示載物臺速度、dH表示襯底高度間距的改變、而Vd表示墨滴速度。
在一些實施例中，可以在一個或多個初始打印通過期間存儲襯底的外形圖或輪廓，然后在隨后的打印通過中利用外形圖。例如，在打印通過期間，系統(tǒng)控制器120可利用由傳感器116、噴墨打印頭108-112、打印橋102及/或載物臺104提供的信息來建立表示襯底表面在不同點處的相對高度的數(shù)據(jù)庫。例如在下一次打印通過中，系統(tǒng)控制器120可以基于數(shù)據(jù)庫中的信息對打印頭108-112的高度進(jìn)行調(diào)整。該信息可與來自傳感器116的新信息一同使用或替代來自傳感器116的新信息使用。在一些實施例中，可僅對載物臺形成外形圖并用于不同的襯底。
現(xiàn)參考圖3，在一些實施例中，本發(fā)明的打印系統(tǒng)300可以包括利用可調(diào)整安裝系統(tǒng)安裝在打印橋102上的打印頭108、110及112?？烧{(diào)整安裝系統(tǒng)對應(yīng)于每個打印頭108-112可以具有一個或多個致動器302，由此允許在打印期間對打印頭108、110及112在襯底106的表面之上的高度進(jìn)行單獨的獨立調(diào)整。在一些實施例中，不管襯底的厚底或平面度如何改變，都可以通過可調(diào)整安裝系統(tǒng)在打印期間將打印頭108-112在襯底106的頂表面之上的高度維持為恒定間距。例如，可調(diào)整安裝系統(tǒng)可以直接連接至傳感器116(并/或通過系統(tǒng)控制器120間接連接，見圖1A及1B)以接收傳感器到襯底的頂表面間距信息作為反饋信號?？烧{(diào)整安裝系統(tǒng)可利用該反饋信號來調(diào)整打印頭108-112的高度以保持打印頭108-112在打印期間距離襯底106的頂表面間距恒定。換言之，如果一個打印頭112接近襯底106中比此前打印的區(qū)域以及其他打印頭108、110下方的區(qū)域都高的區(qū)域，則傳感器116可向可調(diào)整安裝系統(tǒng)致動器302(及/或系統(tǒng)控制器120)發(fā)出反饋信號，使得可調(diào)整安裝系統(tǒng)致動器302提升打印頭112，提升量大體等于襯底106的較高區(qū)域升高的量(同時保持其他打印頭108、110的高度)。因此，通過動態(tài)調(diào)整打印頭108、110及112的高度以跟隨襯底106的外形，可以保持一致的打印高度。
在相同或其他實施例中，打印頭108-112、打印橋102、傳感器116、控制器120、及致動器302可協(xié)同使用以調(diào)整噴墨時機(jī)及/或微調(diào)墨滴位置。即，如果(例如，通過傳感器116及/或成像系統(tǒng)114(圖1A))確定一個打印頭(例如，打印頭112)分配的墨滴與其他打印頭(例如，打印頭108及110)分配的墨滴的尺寸及/或速度不同，并/或確定需要對墨滴進(jìn)行其他控制，則可以通過致動器302來調(diào)整打印頭112的高度以使得打印頭112以與打印頭108及110大體相同的方式分配墨水。例如，如果打印頭112早于打印頭108及110噴射并接近襯底106中比此前打印的區(qū)域以及其他打印頭108、110下方的區(qū)域都高的區(qū)域，則傳感器116可向可調(diào)整安裝系統(tǒng)致動器302(及/或系統(tǒng)控制器120)發(fā)出反饋信號，使得可調(diào)整安裝系統(tǒng)致動器302提升打印頭112，提升量大體等于襯底106的較高區(qū)域升高的量(同時保持其他打印頭108、110的高度)。以此方式，打印頭108-110可以移動以使得從一些或全部打印頭108-110分配的墨滴在相同時間或以任何有利于噴墨打印的合適間隔到達(dá)襯底106。因此，通過動態(tài)調(diào)整打印頭108、110及112的高度以跟隨襯底106的外形，可以保持一致的打印參數(shù)(例如，高度、墨滴時機(jī)及墨滴尺寸等)。
在一些實施例中，可利用馬達(dá)、氣動滑塊、液壓活塞及/或壓電器件作為致動器302。此外，除了對應(yīng)于每個打印頭108、110及112的各個獨立致動器302之外，還可以使用致動器304以利用額外支架306來同時調(diào)整全部打印頭108、110及112的高度。在一些實施例中，可以對每個打印頭108-112使用超過一個致動器302。例如，一個致動器302可被布置在各個打印頭108、110及112的任意端部以允許對打印頭進(jìn)行進(jìn)一步的調(diào)整/傾斜，以保持噴嘴到襯底的間距。在圖3中，可調(diào)整安裝系統(tǒng)包括致動器302及304以及支架306。在其他實施例中，打印頭108-112可以附裝至打印橋102，該打印橋102僅有致動器302而沒有致動器304或支架306。在該實施例中，可調(diào)整安裝系統(tǒng)可僅包括致動器302。
上述描述僅揭示了本發(fā)明的示例性實施例。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以容易地想到對上述揭示的設(shè)備及方法的改變，這些改變依然落在本發(fā)明的范圍內(nèi)。例如，可以采用將徑向座標(biāo)打印橋及超聲波傳感器結(jié)合使用的噴墨打印系統(tǒng)。此外，本發(fā)明還可以被應(yīng)用于間隔器成形(spacerfomation)、偏光器涂覆及納米級微粒電路成形。
因此，雖然已經(jīng)結(jié)合其示例性實施例揭示了本發(fā)明，但需要理解的是其他實施例也可以落入由所附權(quán)利要求界定的本發(fā)明的實質(zhì)及范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種設(shè)備，包括至少一個打印頭，其適于將墨水沉積在襯底的頂表面上，其中所述襯底相對于所述打印頭運動；至少一個傳感器，其適于檢測從所述襯底的所述頂表面到所述至少一個傳感器的間距；及控制器，其適于基于從所述傳感器到所述襯底的所述頂表面的所述間距來確定襯底到噴嘴間距，并適于基于所述襯底到噴嘴間距來調(diào)整打印參數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述至少一個傳感器還適于檢測所述襯底的厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述至少一個傳感器是激光傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述至少一個傳感器是超聲波間距傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括一個或多個致動器，其連接至所述一個或多個打印頭，并適于調(diào)整所述襯底到噴嘴間距。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述打印參數(shù)是墨滴的軌跡。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述打印參數(shù)是墨滴的速度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述打印參數(shù)是墨滴的尺寸。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述打印參數(shù)是位于所述襯底的所述頂表面上的座標(biāo)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的設(shè)備，其中所述打印參數(shù)是所述襯底到噴嘴間距。
11.一種噴墨打印方法，包括感應(yīng)從傳感器到襯底的間距；基于所感應(yīng)到的從所述傳感器到所述襯底的間距，確定從一個或多個噴墨打印頭到所述襯底的間距；并基于所確定的從所述一個或多個噴墨打印頭到所述襯底的間距，調(diào)整打印參數(shù)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，還包括通過所述傳感器來檢測所述襯底的厚度。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中所述至少一個傳感器是激光傳感器。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中所述至少一個傳感器是超聲波間距傳感器。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，還包括通過連接至所述一個或多個打印頭的一個或多個致動器調(diào)整所述一個或多個打印頭。
16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中所述打印參數(shù)是墨滴的軌跡。
17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中所述打印參數(shù)是墨滴的速度。
18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中所述打印參數(shù)是墨滴的尺寸。
19.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中所述打印參數(shù)是位于所述襯底的所述頂表面上的座標(biāo)。
20.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中所述打印參數(shù)是襯底到噴嘴間距。
21.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，還包括存儲所述襯底的外形圖。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，還包括基于所述外形圖調(diào)整所述一個或多個打印頭。
23.一種用于噴墨打印的系統(tǒng)，包括打印橋；至少一個打印頭，其連接至所述打印橋，并適于將墨水沉積在襯底的頂表面上；載物臺，其布置在所述打印橋以及所述至少一個打印頭之下，并適于使所述襯底相對于所述至少一個打印頭移動；至少一個傳感器，其連接至所述打印橋，并適于檢測從所述襯底的所述頂表面到所述至少一個傳感器的間距；及控制器，其適于基于從所述傳感器到所述襯底的所述頂表面的所述間距來確定襯底到噴嘴間距，并適于基于所述襯底到噴嘴間距來調(diào)整打印參數(shù)。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的系統(tǒng)，還包括可調(diào)整安裝系統(tǒng)，其包括連接至所述一個或多個打印頭的一個或多個致動器，并適于調(diào)整所述襯底到噴嘴間距。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的系統(tǒng)，其中所述可調(diào)整安裝系統(tǒng)還包括支架致動器，其連接至所述打印橋；支架，其連接至所述支架致動器，并連接至被連接到所述一個或多個打印頭的所述一個或多個致動器，其中所述支架致動器適于調(diào)整襯底到支架間距，且連接至所述一個或多個打印頭的所述一個或多個致動器適于調(diào)整所述一個或多個打印頭中每一個的所述襯底到噴嘴間距。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于噴墨打印裝置的傳感器設(shè)備。該傳感器設(shè)備可以包括1)至少一個打印頭，其適于將墨水沉積在襯底的頂表面上，其中所述襯底相對于所述打印頭運動；2)至少一個傳感器，其適于檢測從所述襯底的所述頂表面到所述至少一個傳感器的間距；及3)控制器，其適于基于從所述傳感器到所述襯底的所述頂表面的所述間距來確定襯底到噴嘴間距，并適于基于所述襯底到噴嘴間距來調(diào)整沉積在所述襯底上的墨水的軌跡。還提供了其他許多方面。
文檔編號G02B5/20GK1955000SQ20061015243
公開日2007年5月2日 申請日期2006年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月29日
發(fā)明者伊曼紐爾·比爾, 林正宗, 栗田伸一, 上泉元, 本杰明·約翰斯通 申請人:應(yīng)用材料公司