專利名稱:粘接劑的剝離方法、光學(xué)元件的制造方法、棱鏡的制造方法以及用該制造方法制造的棱鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及剝離粘接在襯底上的粘接劑的剝離方法、利用剝離方法的光學(xué)元件的制造方法、棱鏡的制造方法以及使用該棱鏡的制造方法制造的棱鏡。
背景技術(shù):
構(gòu)成以光拾取器為代表的光學(xué)系統(tǒng)中使用各種光學(xué)元件,為了提高生產(chǎn)率,這些元件不會(huì)以單個(gè)形式生產(chǎn),而是進(jìn)行大量生產(chǎn)。作為其一例,在專利文獻(xiàn)1中公開了生產(chǎn)光路補(bǔ)正元件的方法。在專利文獻(xiàn)1中,準(zhǔn)備許多相同的板狀玻璃,通過對(duì)它們反復(fù)實(shí)施疊層、切斷處理最終得到大量的棱鏡。在此,在進(jìn)行板狀玻璃(包含在板狀玻璃的疊層后切斷的構(gòu)件)的疊層時(shí),使用粘接劑。即,在對(duì)板狀玻璃進(jìn)行疊層時(shí),各板狀玻璃在用粘接劑粘接固定的狀態(tài)下進(jìn)行切斷。
在此,為了制造目標(biāo)物的光路補(bǔ)正元件,在粘接上述板狀玻璃的粘接劑中使用臨時(shí)粘接劑和正式粘接劑。即,在疊層板狀玻璃時(shí)使用臨時(shí)粘接劑,而該臨時(shí)粘接劑只不過是在中間階段需要的粘接劑,需要從成為最終目標(biāo)物的光路補(bǔ)正元件上完全除去。另一方面,正式粘接劑因?yàn)槭菫榱税压饴费a(bǔ)正元件形成為一個(gè)整體物需要的粘接劑,所以該粘接劑不能從作為最終目標(biāo)物的光路補(bǔ)正元件上除去。
因而,在專利文獻(xiàn)1(特開2001-337209號(hào)公報(bào))中把石蠟等作為臨時(shí)粘接劑,最終通過用熱平板加熱溶解臨時(shí)粘接劑,進(jìn)行臨時(shí)粘接劑的剝離。
可是,在專利文獻(xiàn)1中,為了剝離臨時(shí)粘接劑,在熱平板上放置小塊(在專利文獻(xiàn)1中形成臨時(shí)粘接劑的構(gòu)件),但因?yàn)樵谛K上不僅形成臨時(shí)粘接劑還形成有光學(xué)功能膜(在專利文獻(xiàn)1中的反射防止膜),所以由熱平板產(chǎn)生的加熱有可能對(duì)光學(xué)功能膜產(chǎn)生不良影響。即,通過加熱光學(xué)功能膜,有可能損壞光學(xué)功能。另外,構(gòu)成小塊的玻璃也一樣。特別是對(duì)于和熱平板接觸的部分,因?yàn)槌掷m(xù)施加極高的熱應(yīng)力的狀態(tài),所以有可能損害光學(xué)功能膜的光學(xué)功能,另外還有可能對(duì)玻璃產(chǎn)生不良影響。
另外,如果把小塊放置在熱平板上,則因?yàn)閺呐c熱平板接觸的部分向小塊內(nèi)傳導(dǎo)熱,所以雖然接觸的部分瞬時(shí)處于高溫狀態(tài),而為了從接觸部分向離接觸部分遠(yuǎn)的部分傳導(dǎo)熱需要時(shí)間。另外,因?yàn)橥ㄟ^加熱溶解粘接劑,所以直至粘接劑溶解需要時(shí)間,作為整體存在至制作出光學(xué)補(bǔ)正元件前需要較長(zhǎng)時(shí)間的問題。而且,因?yàn)槭褂脽崞桨暹M(jìn)行臨時(shí)粘接劑的剝離,所以作為臨時(shí)粘接劑需要使用能夠用熱平板熱溶解的石蠟等的粘接劑。因此,能夠使用的粘接劑的種類受到限制。
另一方面,也有不使用熱溶解粘接劑,而使用粘接劑的剝離溶劑進(jìn)行粘接劑剝離的方法。例如,有使用二氯甲烷和丙酮等的有機(jī)溶劑對(duì)粘接劑進(jìn)行剝離的。但是,二氯甲烷和丙酮等的有機(jī)溶劑存在對(duì)環(huán)境有污染的問題。另外,二氯甲烷和丙酮等的有機(jī)溶劑不僅對(duì)環(huán)境有污染,而且還存在改變光學(xué)功能膜的光學(xué)性能,損害光學(xué)功能膜的光學(xué)功能的問題。另外,在使用丙酮進(jìn)行粘接劑的剝離時(shí),為了進(jìn)行剝離需要許多時(shí)間,從生產(chǎn)效率的觀點(diǎn)看存在問題。進(jìn)而,即使在使用有機(jī)溶劑剝離粘接劑的情況下,也和使用上述的石蠟的情況一樣,通過溶解粘接劑進(jìn)行剝離。因而,同樣招致為了溶解粘接劑需要時(shí)間這樣的問題。
因而,本發(fā)明的目的在于提供一種不會(huì)對(duì)光學(xué)元件的光學(xué)功能和環(huán)境有不良影響,能夠短時(shí)間剝離粘接在襯底上在粘接劑的粘接劑的剝離方法、光學(xué)元件的制造方法、棱鏡的制造方法以及用該制造方法制造的棱鏡。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的粘接劑的剝離方法是剝離粘接在襯底上的粘接劑的粘接劑的剝離方法,其特征在于對(duì)粘接有上述粘接劑的襯底通過重復(fù)1次至數(shù)次加熱和冷卻來進(jìn)行上述粘接劑的剝離。
另外,本發(fā)明的粘接劑的剝離方法的特征在于把由多塊襯底構(gòu)成,各襯底分別用正式粘接劑和熱膨脹系數(shù)比上述正式粘接劑還大的臨時(shí)粘接劑粘接的襯底構(gòu)成體,在高溫水和低溫水中交替浸泡1次乃至多次,只剝離上述臨時(shí)粘接劑。
另外,本發(fā)明的光學(xué)元件的制造方法的特征在于,具有接合襯底形成工序,通過用正式粘接劑接合2塊襯底而形成接合襯底,其中2塊襯底由2塊平面形的襯底組成,只在1塊襯底的1個(gè)面上形成光學(xué)功能膜從而形成光學(xué)功能面,該光學(xué)功能面成為接合面;襯底疊層體形成工序,通過使用熱膨脹系數(shù)比上述正式粘接劑還大的臨時(shí)粘接劑粘合多層上述接合襯底,形成襯底疊層體;襯底構(gòu)成體形成工序,在1個(gè)或者多個(gè)位置上切斷上述襯底疊層體形成襯底構(gòu)成體;棒形光學(xué)元件形成工序,通過把上述襯底構(gòu)成體在高溫水和低溫水中交替浸泡1次至多次,留下用上述正式粘接劑粘接的接合面,通過剝離用上述臨時(shí)粘接劑粘接的粘貼面,形成棒形光學(xué)元件;棒形光學(xué)元件切斷工序,每隔規(guī)定間隔切斷上述棒形光學(xué)元件。
本發(fā)明的粘接劑的剝離方法、光學(xué)元件的制造方法、棱鏡的制造方法以及用該制造方法制造的棱鏡不會(huì)對(duì)光學(xué)功能和環(huán)境產(chǎn)生不良影響,可以在短時(shí)間剝離粘接劑。
圖1是最終的棱鏡的側(cè)視圖。
圖2表示在制造棱鏡時(shí)的各工序的流程圖。
圖3是說明襯底以及疊層后的襯底的說明圖。
圖4是襯底構(gòu)成以及棒形襯底的說明圖。
圖5是棒形襯底以及進(jìn)行了棒形襯底的切斷研磨的說明圖。
具體實(shí)施例方式
以下,說明本發(fā)明的實(shí)施方式。只要是剝離形成在襯底上的粘接劑的情況,本發(fā)明能夠適用到任意的情況中,而在本實(shí)施方式中,說明制造圖1所示那樣的棱鏡100的方法。圖1的棱鏡100是做成立方體形狀的棱鏡,在其內(nèi)部以45°的角度形成光學(xué)功能膜9。作為光學(xué)功能膜9可以適用各種光學(xué)膜,例如能夠適用把入射光設(shè)置成根據(jù)波長(zhǎng)的不同透過和反射不同的分色膜。
以下,根據(jù)圖2的流程圖說明本實(shí)施方式的處理流程。為了制造圖1的棱鏡100,最初如圖3(a)所示,主要通過研磨由玻璃板組成的平板形的襯底10以及11的兩面,得到兩襯底的平面度以及平行度(步驟S1)。而后,在襯底10以及11中,在一塊襯底即襯底11的一面上形成光學(xué)功能膜9(步驟S2)。作為光學(xué)功能膜9考慮根據(jù)入射光的波長(zhǎng)帶分為透過和反射的波長(zhǎng)選擇膜和根據(jù)偏振光方向分為透過和反射的偏振光膜等,但主要適用介質(zhì)多層膜。
以下,如圖3(b)所示,通過順序疊層襯底10和襯底11形成襯底疊層體4。在形成襯底疊層體4時(shí),用2種粘接劑粘接襯底10和襯底11。首先,把粘接在襯底11上所形成光學(xué)功能膜9的粘接劑作為正式粘接劑1,用正式粘接劑1粘接襯底10和襯底11生成接合襯底8(步驟S3)。而后,把接合襯底8相互之間的粘接劑設(shè)置成臨時(shí)粘接劑2,用臨時(shí)粘接劑2粘接接合襯底8相互之間,生成圖3(b)所示的襯底疊層體4(步驟S4)。
在此,在正式粘接劑1和臨時(shí)粘接劑2中,在臨時(shí)粘接劑2的熱膨脹系數(shù)比正式粘接劑1的熱膨脹系數(shù)還大這一點(diǎn)上不同。作為正式粘接劑1以及臨時(shí)粘接劑2可以適用各種粘接劑,在此雖然說明作為正式粘接劑1例如使用環(huán)氧樹脂的粘接劑,作為臨時(shí)粘接劑2使用紫外線硬化型粘接劑的例子,而粘接劑的種類并不限于上述的粘接劑。
此時(shí),在粘接形成有光學(xué)功能膜9的面時(shí)使用正式粘接劑1,在粘接未形成光學(xué)功能膜9的面時(shí)使用臨時(shí)粘接劑2的理由是,對(duì)于正式粘接劑1是最終產(chǎn)品的棱鏡的必須構(gòu)成要素而言,臨時(shí)粘接劑只不過是用于生成中間生成物所需要的粘接劑而已。
如圖3(b)的虛線所示,以等間隔切斷襯底疊層體4,得到圖4(a)所示的襯底構(gòu)成體5(步驟S5)。襯底構(gòu)成體5因?yàn)槭乔袛嘁r底疊層體4得到的,所以是由多個(gè)棒型襯底即長(zhǎng)條形襯底3(原本是襯底10、11)構(gòu)成的,長(zhǎng)條形襯底3的側(cè)面相互之間交替被正式粘接劑1和臨時(shí)粘接劑2粘接而構(gòu)成。在用正式粘接劑1粘接的長(zhǎng)條形襯底3的側(cè)面上形成光學(xué)功能膜9。
另外,本發(fā)明的主要內(nèi)容是剝離粘接在襯底上的粘接劑,另外在如襯底構(gòu)成體5那樣用正式粘接劑1和臨時(shí)粘接劑2粘接的構(gòu)件中,只剝離臨時(shí)粘接劑2。在本實(shí)施方式中,因?yàn)楸硎局圃炖忡R100時(shí)的制造方法的一例,所以如果能夠生成圖4(a)的襯底構(gòu)成體5,則并不限于步驟S1至步驟S5的方法而可以適用任意的方法。
接著,在襯底構(gòu)成體5的正式粘接劑1和臨時(shí)粘接劑2中,只剝離臨時(shí)粘接劑。正式粘接劑1如圖1所示,因?yàn)槭亲鳛樽罱K的制造物的棱鏡100的必要構(gòu)成要素,所以使用了正式粘接劑1的接合面直至最后都不剝離。另一方面,使用臨時(shí)粘接劑2的粘貼面因?yàn)槭菫榱说玫街虚g生成物的襯底構(gòu)成體5而使用的,所以臨時(shí)粘接劑2在制造過程中進(jìn)行剝離。
因而,在正式粘接劑1和臨時(shí)粘接劑2中,需要選擇性地只剝離臨時(shí)粘接劑2。因此,把襯底構(gòu)成體5交替浸泡在高溫水和低溫水中(步驟S6)。作為高溫水和低溫水,使用單純地具有溫差的水。
首先,把襯底構(gòu)成體5浸泡在高溫水或者低溫水的某一方中。例如,最初當(dāng)把襯底構(gòu)成體5浸泡在60℃的高溫水中后,襯底構(gòu)成體5的溫度上升,而由于在長(zhǎng)條形襯底3和正式粘接劑1以及臨時(shí)粘接劑2中熱膨脹系數(shù)不同,所以進(jìn)行不同的熱膨脹。接著,當(dāng)把襯底構(gòu)成體5浸泡在40℃的低溫水中后,因?yàn)橐r底構(gòu)成體5的溫度迅速下降,所以由于正式粘接劑1和臨時(shí)粘接劑2的熱膨脹系數(shù)的差的原因,長(zhǎng)條形襯底3和正式粘接劑1以及臨時(shí)粘接劑2進(jìn)行不同的熱收縮。而后,當(dāng)把襯底構(gòu)成體5再次浸泡在60℃的高溫水中后,因?yàn)橐r底構(gòu)成體5的溫度急速上升,所以進(jìn)行不同的熱膨脹。因而,當(dāng)把襯底構(gòu)成體5交替浸泡在高溫水和低溫水中后,因?yàn)闊釠_擊作用在襯底構(gòu)成體5的長(zhǎng)條形襯底3、正式粘接劑1以及臨時(shí)粘接劑2上,所以在正式粘接劑1以及臨時(shí)粘接劑2上剝離力起作用。
在此,當(dāng)把襯底構(gòu)成體5交替浸泡在高溫水和低溫水中后,同樣因?yàn)闊釠_擊作用,不管正式粘接劑1和臨時(shí)粘接劑2如何,剝離力都起作用。但是,因?yàn)檎秸辰觿?構(gòu)成作為最終的制造物的棱鏡100的必須構(gòu)成要素的接合面,所以把襯底構(gòu)成體5交替浸泡在高溫水和的低溫水中,使得在正式粘接劑1和臨時(shí)粘接劑2中,只剝離用于構(gòu)成中間生成物的粘貼面的臨時(shí)粘接劑2。即,把交替浸泡的次數(shù)抑制在只剝離臨時(shí)粘接劑2的次數(shù)。例如,在把襯底構(gòu)成體5交替浸泡在高溫水和低溫水中時(shí),在臨時(shí)粘接劑2剝離的階段結(jié)束交替浸泡。
可是,理想的是上述的高溫水和低溫水的溫度差在20℃左右。即,當(dāng)交替浸泡在具有極大溫差的高溫水和低溫水中后,對(duì)襯底構(gòu)成體5產(chǎn)生強(qiáng)烈的熱沖擊,不僅正式粘接劑1剝離,而且有可能長(zhǎng)條形襯底3破壞,受到損壞。另一方面,通過把高溫水和低溫水的溫度差設(shè)定在20℃及以下,通過交替浸泡襯底構(gòu)成體5,也可以剝離臨時(shí)粘接劑2。但是,在這種情況下,為了使剝離力起作用,交替浸泡的次數(shù)增加。因而,從對(duì)襯底的損壞或者破壞等的觀點(diǎn)出發(fā),理想的是把高溫水和低溫水的溫度差抑制在30℃或者30℃以下。另外,從交替浸泡的次數(shù)增加的觀點(diǎn)出發(fā),理想的是溫度差設(shè)置在10℃或者10℃以上。但是,即使不在10℃或10℃以上30℃或30℃以下,因?yàn)橐部梢詫?shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的,所以并不限于這些溫度。
而后,在把溫度差設(shè)定在20℃時(shí),高溫水和低溫水各自的溫度也可以設(shè)定在任意溫度。此時(shí),作為低溫水使用自來水(常溫的水),當(dāng)把高溫水的溫度設(shè)定在比常溫高20℃的情況下,對(duì)于低溫水來說不需要加熱、冷卻,因?yàn)橹粚?duì)高溫水進(jìn)行加熱即可,所以能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)省能源。
如上所述,從圖4(a)的襯底構(gòu)成體5上只剝離臨時(shí)粘接劑2,得到多個(gè)圖4(b)所示的棒形襯底6。棒形襯底6是2個(gè)長(zhǎng)條形襯底3在側(cè)面上用正式粘接劑1粘接而構(gòu)成的。而后,在用正式粘接劑1粘接的2個(gè)面中的一個(gè)面上形成光學(xué)功能膜9。在該階段中,因?yàn)檎迟N面的臨時(shí)粘接劑2剝離,所以在棒形襯底6上沒有留下臨時(shí)粘接劑2。
而后,如圖5(a)所示,對(duì)棒形襯底6的棱線6實(shí)施切斷、研磨得到圖5(b)的棱鏡母材7(步驟S7)。棱鏡母材7是構(gòu)成作為最終制造物的棱鏡100的材料,通過等間隔切斷棱鏡母材7,可以生成多個(gè)棱鏡100(步驟S8)。
進(jìn)而,以上為了說明棱鏡的制造方法,在步驟S7中對(duì)棒形襯底6的棱線實(shí)施切斷、研磨。即,為了對(duì)光學(xué)功能膜9分別以45度的角度形成棱鏡100的各面而實(shí)施切斷、研磨。但是,在制造不是棱鏡的光學(xué)元件時(shí),進(jìn)行上述步驟S7的切斷、研磨的工序并不一定是必須的。例如,在用粘接劑接合2塊襯底,在接合面上形成光學(xué)功能膜的平行平板的情況下,因?yàn)橄鄬?duì)光學(xué)功能膜把襯底的接合面及其相反面設(shè)置成平行,所以不經(jīng)過上述的步驟S7的工序,通過進(jìn)行步驟S8的切斷就能夠制造最終的光學(xué)元件。
如上所述,雖然能夠同時(shí)大量生產(chǎn)許多棱鏡100,本發(fā)明當(dāng)然也可以適用到單純地剝離形成在襯底上的粘接劑的用途中。即,如果把形成有粘接劑的襯底交替浸泡在高溫水和低溫水中,則如上所述通過給予熱沖擊,可以剝離粘接劑。而且,并不限于棱鏡,對(duì)其他的光學(xué)元件同時(shí)大量生產(chǎn)時(shí)本發(fā)明也有效。在大量生產(chǎn)光學(xué)元件的情況下,用臨時(shí)粘接劑對(duì)大型襯底相互之間進(jìn)行臨時(shí)粘接形成接合面,并實(shí)施切斷、研磨、疊層等,在中間階段中只剝離接合面的臨時(shí)粘接劑。此時(shí),因?yàn)椴皇褂糜糜趧冸x臨時(shí)粘接劑的特殊的溶劑(例如,二氯甲烷等),所以不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染,也不會(huì)引起在作為最終制造物的光學(xué)元件上因溶劑而產(chǎn)生光學(xué)功能損失的這樣的問題。另外,還可以避免為了剝離臨時(shí)粘接劑而直接放置在熱平板上,由此對(duì)襯底和光學(xué)功能膜產(chǎn)生損害的問題。
進(jìn)而,在本發(fā)明中,通過對(duì)粘接劑施加熱沖擊作用來進(jìn)行剝離,和使用二氯甲烷和丙酮等的有機(jī)溶劑進(jìn)行剝離的情況相比,還能夠縮短用于剝離的時(shí)間。即,當(dāng)使用有機(jī)溶劑進(jìn)行剝離的情況下,為了溶解粘接劑需要時(shí)間,而在通過熱沖擊作用剝離粘接劑的本發(fā)明中,也不需要為了溶解粘接劑需要的時(shí)間。因而,起到了能夠縮短剝離時(shí)間的效果。
而且,通過在光學(xué)元件的制造方法中適用本發(fā)明的粘接劑的剝離方法,在作為最終制造物的光學(xué)元件上留下的正式粘接劑和在中間階段中需要的臨時(shí)粘接劑中,在能夠有選擇性地剝離臨時(shí)粘接劑這一點(diǎn)上有效。即,把剝離臨時(shí)粘接劑之前的階段的中間生成物(在上述的實(shí)施方式中,是襯底構(gòu)成體5)交替浸泡在高溫水和低溫水中,通過估計(jì)其次數(shù),可以容易只剝離臨時(shí)粘接劑。
進(jìn)而,上述的實(shí)施方式說明了剝離用粘接劑粘接了襯底和襯底的情況,但并不限于粘接襯底和襯底的粘接劑,也可以適用到剝離粘接襯底和其他材料的粘接劑的方法。例如,對(duì)于用粘接劑粘接襯底和卡具,其后剝離該粘接劑的方法也能夠適用本發(fā)明。
另外,本發(fā)明說明了交替浸泡在高溫水和低溫水中的情況,而例如通過交替放入具有高溫氛圍的空間和具有低溫氛圍的空間也可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。只要是對(duì)臨時(shí)粘接劑給予高溫和低溫的熱沖擊的形式,可以適用任何方法。
權(quán)利要求
1.一種粘接劑的剝離方法,是剝離粘接在襯底上的粘接劑的剝離方法,其特征在于對(duì)粘接有上述粘接劑的襯底通過重復(fù)1至多次進(jìn)行加熱和冷卻來剝離上述粘接劑。
2.如權(quán)利要求1所述的粘接劑的剝離方法,其特征在于上述粘接劑的剝離是通過在高溫水和低溫水中交替浸泡1至多次進(jìn)行的。
3.一種粘接劑的剝離方法,其特征在于把由多個(gè)襯底構(gòu)成的,各襯底分別用正式粘接劑和熱膨脹系數(shù)比上述正式粘接劑還大的臨時(shí)粘接劑粘接的襯底構(gòu)成體,在高溫水和低溫水中交替浸泡1次至多次,只剝離上述臨時(shí)粘接劑。
4.如權(quán)利要求2所述的粘接劑的剝離方法,其特征在于上述高溫水和上述低溫水的溫度差是10℃至30℃。
5.一種光學(xué)元件的制造方法,其特征在于具有接合襯底形成工序,通過用正式粘接劑接合2塊襯底而形成接合襯底,其中2塊襯底由2塊平面形的襯底組成,只在1塊襯底的1個(gè)面上形成光學(xué)功能膜從而形成光學(xué)功能面,該光學(xué)功能面成為接合面;襯底疊層體形成工序,通過使用熱膨脹系數(shù)比上述正式粘接劑還大的臨時(shí)粘接劑粘合多層上述接合襯底,形成襯底疊層體;襯底構(gòu)成體形成工序,在1個(gè)或者多個(gè)位置上切斷上述襯底疊層體形成襯底構(gòu)成體;棒形光學(xué)元件形成工序,通過把上述襯底構(gòu)成體在高溫水和低溫水中交替浸泡1次至多次,留下用上述正式粘接劑粘接的接合面,通過剝離用上述臨時(shí)粘接劑粘接的粘貼面,形成棒形光學(xué)元件;棒形光學(xué)元件切斷工序,每隔規(guī)定間隔切斷上述棒形光學(xué)元件。
6.如權(quán)利要求5所述的光學(xué)元件的制造方法,其特征在于上述低溫水和上述高溫水具有10℃至30℃的溫度差。
7.一種棱鏡的制造方法,其特征在于在權(quán)利要求5所述的光學(xué)元件的制造方法中,上述光學(xué)元件是棱鏡,在上述光學(xué)功能面上形成介質(zhì)多層膜,對(duì)于上述棒形光學(xué)元件的棱線實(shí)施切斷、研磨,其后每隔規(guī)定間隔進(jìn)行切斷制造上述棱鏡。
8.一種棱鏡,在權(quán)利要求7所述的棱鏡制造方法中,用該棱鏡的制造方法制造。
全文摘要
本發(fā)明提供粘接劑的剝離方法、光學(xué)元件的制造方法、棱鏡的制造方法以及用該制造方法制造的棱鏡。不會(huì)對(duì)光學(xué)元件的光學(xué)功能和環(huán)境產(chǎn)生不良影響并以短時(shí)間剝離粘接在襯底上的粘接劑。長(zhǎng)條形襯底(3)相互之間用正式粘接劑粘接,在用該正式粘接劑(1)粘接的面上形成光學(xué)功能膜(9)從而形成棒形襯底(6),多個(gè)棒形襯底(6)用比正式粘接劑(1)熱膨脹系數(shù)大的臨時(shí)粘接劑(2)粘接構(gòu)成襯底構(gòu)成體(5)。為了有選擇地從襯底構(gòu)成體(5)中只剝離臨時(shí)粘接劑(2),把襯底構(gòu)成體(5)交替浸泡在高溫水和低溫水中,剝離臨時(shí)粘接劑。
文檔編號(hào)G02B5/04GK1904652SQ200610108080
公開日2007年1月31日 申請(qǐng)日期2006年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月27日
發(fā)明者龍保民 申請(qǐng)人:富士能佐野株式會(huì)社