專利名稱：：正性光致抗蝕劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及-,中用于液晶顯示器的正性光致抗蝕劑組合物，更確切;t也說(shuō)，涉及一種能通過(guò)堿性顯影液顯影而在形成例如薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)的液晶顯示器的有機(jī)絕緣體、金屬圖形(metalpatterning)、隆起處(bump)、鉆孔、UV保護(hù)層等時(shí)形成圖形的正性光致抗蝕劑組合物。
背景技術(shù)：
：一般來(lái)說(shuō)，光敏化合物已經(jīng)用于形成用作液晶顯示器的有機(jī)絕緣體、金屬圖形、隆起處、鉆孔、UV保護(hù)層等等的圖形。用于形成此圖形的過(guò)程的光敏樹(shù)脂除了要求材料具有基本物理性能如均勻性和透明性等之外，還要求具有優(yōu)良的耐熱性能。近年來(lái)，在用于形成液晶顯示器有機(jī)絕緣體圖形的光致抗蝕劑組合物中，已經(jīng)使用丙烯酸光敏樹(shù)脂作為粘結(jié)劑樹(shù)脂，并且在22(TC或更低的溫度下操作時(shí)，所述丙烯酸光敏樹(shù)脂在可見(jiàn)范圍內(nèi)顯示出至少90%的高透射率，但是，在22(TC或更高的溫度下進(jìn)行熱操作時(shí)，所述丙烯酸光敏樹(shù)脂具有較差的熱穩(wěn)定性。因此，一些樹(shù)脂在熱處理過(guò)程中趨于分解，從而降低了其在可見(jiàn)光范圍內(nèi)的透射率。而且，丙烯酸光敏樹(shù)脂也存在很多問(wèn)題，在熱操作過(guò)程中，液晶易受到分解組分的污染，從而降低了與金屬和無(wú)機(jī)材料等之間的粘合力。
發(fā)明內(nèi)容因此，設(shè)計(jì)本發(fā)明以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，由此，本發(fā)明的目的是提供一種在顯影水溶液中能顯影的正性光致抗蝕劑組合物，由于該組合物具有優(yōu)良的基本物理性能，例如，UV透射率、膜保持性(filmretention)、圖形穩(wěn)定性、耐化學(xué)藥品性等t良的耐熱性能，該組合物可以有效地用于形成液晶顯示器的有機(jī)絕緣體、金屬圖形化、隆起處、鉆孔和uv保護(hù)層。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了-一種正性光致抗蝕劑組合物，該組合物含有3-50重量％的粘結(jié)劑樹(shù)脂；2-40重量％的光敏化合物和10-95重量％的有機(jī)溶劑，該粘結(jié)劑樹(shù)脂選自由具有以下化學(xué)式l所示結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂、具有以下化學(xué)式2所示結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂和它們的混合所組成的組化學(xué)式1其中，R"R2和R3各自獨(dú)立地為H或甲基，R4為含有環(huán)氧基的具有l(wèi)-10個(gè)碳原子的烷基或環(huán)烷基，x和y表示重復(fù)單元的摩爾比值，其中，在所述化學(xué)式1所示的粘結(jié)劑樹(shù)脂可以為不限于給出的重復(fù)單元順序的無(wú)規(guī)共聚物的前提下，x為0.02-0.80，y為0.20-0.98?；瘜W(xué)式2<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>其中，R5、R6、R7和R9各自獨(dú)立地為H或甲基，Rs為含有環(huán)氧基的具有1-10個(gè)碳原子的烷基或環(huán)烷基，R10為選自由羧酸、具有1-14個(gè)碳原子的烷氧羰基化合物和芳香族化合物組成的組中的至少一種，1、m和n分別為重復(fù)單元的摩爾比值，其中，在所述化學(xué)式2所示的粘結(jié)劑樹(shù)脂可以為不限于給出的重復(fù)單元順序的無(wú)規(guī)共聚物的前提下，1為0.02-0.70，m為0.05-0.60，n為0.01-0.60。根據(jù)本發(fā)明的正性光致抗蝕劑組合物，在22(TC或更高的溫度下進(jìn)行熱操作時(shí)，具有所述化學(xué)式1和2結(jié)構(gòu)的粘結(jié)劑樹(shù)脂由于具有優(yōu)良的耐熱性能可以不降解，從而使液晶的污染減少至最低，并且在高溫凝固后能夠維持高的透射率。而且，所述正性光致抗蝕劑組合物具有多種優(yōu)點(diǎn)，由于正性光致抗蝕劑組合物包括具有低酸度的馬來(lái)酰亞胺基團(tuán)替代了丙烯酸作為水性石減性顯影所需要的官能團(tuán)，從而使其具有該光致抗蝕劑的優(yōu)良的水性堿性顯影性能和室溫下優(yōu)異的保存穩(wěn)定性能?；瘜W(xué)式1和2中，R4和Rs為含有環(huán)氧基的官能團(tuán)，并包括縮水甘油基、3,4-環(huán)氧基丁基、2，3-環(huán)氧基環(huán)己基、3，4-環(huán)氧基環(huán)己基、2-縮水甘油基氧基-l-丙基、3-甲基氧雜環(huán)丁垸-3-甲基、3-乙基氧雜環(huán)丁垸-3-甲基、6,7-環(huán)氧基庚基等等。化學(xué)式2中，Ru)的例子可以為羧酸、甲氧羰基、乙氧羰基、丙氧羰基、異丙氧羰基、丁氧羰基、叔丁氧羰基、戊氧羰基、己氧羰基、環(huán)己氧羰基、辛氧羰基、癸氧羰基、十二垸氧羰基、十四烷氧羰基、金剛垸氧羰基、2-甲基金剛垸氧羰基、Y-丁內(nèi)酯氧羰基、二環(huán)戊垸基氧羰基、二環(huán)戊烯基氧羰基、二環(huán)戊烷基-l-乙氧羰基、二環(huán)戊烯基-l-乙氧羰基、異冰片基氧羰基、羥基乙氧羰基、二甲氨基乙氧羰基、苯基、苯甲氧羰基、4-羥苯基、4-乙酰氧基苯基、甲氧基、苯氧基等等。同時(shí)，通過(guò)共聚選自由以下化合物組成的組中的至少一種可以將具有R,o的重復(fù)單元引入該樹(shù)脂中(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(屮基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯、(甲基)丙烯酸十四烷酯、(甲基)丙烯酸金剛垸酯、(甲基)丙烯酸2-甲基金剛烷酯、(甲基)丙烯酸-Y-丁內(nèi)酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烷酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊垸基-l-乙酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯基-l-乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸羥基乙酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(ot-甲基)苯乙烯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、((x-甲基)羥基苯乙烯、((X-甲基)乙酰氧基苯乙烯、甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚和苯基乙烯醚等。需要的是，所述化學(xué)式1和2的粘結(jié)劑樹(shù)脂可以為不限制于所給出的重復(fù)單元順序的無(wú)規(guī)共聚物，并且所述樹(shù)脂可以作為混合物使用，在該混合物中和Ru)的種類在上述范圍內(nèi)變化。優(yōu)選情況下，具有所述化學(xué)式1和2結(jié)構(gòu)的粘結(jié)劑樹(shù)脂的平均分子量為2,000-300,000、且多分散性為1.0-10.0，更優(yōu)選平均分子量為4,000-100,000、且多分散性為1.5-3.0。而且，本發(fā)明所述的正性光致抗蝕劑組合物含有光敏化合物。例如，所述光敏化合物包括常規(guī)的光敏化合物，該常規(guī)的光敏化合物具有用含有1-6個(gè)羥基的酚化合物(ballast)基團(tuán)取代的萘醌-1,2-重氮-5-磺酸酯或萘醌-1,2-重氮-4-磺酸酯的結(jié)構(gòu)。更確切地說(shuō)，所述光敏化合物可以包括具有由至少一個(gè)酚化合物取代的萘醌-l，2-重氮-5-磺酸酯或萘醌-l,2-重氮-4-磺酸酯的結(jié)構(gòu)的常規(guī)的光敏化合物，所述至少一個(gè)酚化合物選自由以下所組成的組2,2，,3,4，4'-五羥基二苯甲酮、2，2'，3,4,4',5-六羥基二苯甲酮、2,2，,3，4,4，-五羥基二苯基丙烷、2，2',3，4，4'，5-六羥基二苯基丙烷、2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,3，4匿三羥基苯乙酮、2,3,4-三羥基苯己酮、2，4,4，-三羥基二苯甲酮、2,4,6-三羥基二苯甲酮、2，3，4-三羥基-2，-甲基一苯甲酮、2,3,4,4，-四羥基二苯甲烷、3,7，3，,4'-四羥基黃酮、2,2',4,4'-四羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮、苯酚、雙酚A、4，4，-[l-[4-[l-(4-羥苯基)-l-甲基乙基]苯基]-亞乙基]雙酚、三(4-三羥基苯基)甲垸、三(4-三羥基苯基)-l,l,l-乙烷、4,4，,4"-亞乙基-三(2-甲酚)、雙(4-羥苯基)甲基甲苯、1,1，4-三(4-羥苯基)環(huán)己烷、6,6，，7,7，-四羥基-4，4,4，,4，-四甲基-2，2'-螺二苯并二氫吡喃禾口5,5',6,6'-四羥基-3，3,3',3'四甲基-1，1'-螺二氫茚等。為了增強(qiáng)透射率并優(yōu)化所述光致抗蝕劑的顯影性能，以所述組合物的總重量為基準(zhǔn)，所使用的光敏化合物的含量為2-40重量。％。此外，如果需要，在本發(fā)明所述的正性光致抗蝕劑組合物中還可以加入含有環(huán)氧基或胺基的硅基化合物作為粘結(jié)助劑。所述硅基化合物能夠提高ITO電極和正性光致抗蝕劑組合物之間的粘合力和凝固后的耐熱性能。所述含有環(huán)氧基或胺基的硅基化合物包括(3-環(huán)氧丙氧丙基)三甲氧基硅烷、(3-環(huán)氧丙氧丙基)三乙氧基硅垸、(3-環(huán)氧丙氧丙基)甲基甲氧基硅烷、(3-環(huán)氧丙氧丙基)甲基二乙氧基硅垸、(3-環(huán)氧丙氧丙基)二甲基甲氧基硅烷、(3-環(huán)氧丙氧丙基)二甲基乙氧基硅烷、3,4-環(huán)氧丁基三甲氧基硅烷、3，4-環(huán)氧丁基三乙氧基硅垸、2-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三乙氧基硅烷、氨丙基三甲氧基硅烷等，并且其可以單獨(dú)使用或組合使用。所述硅基化合物的優(yōu)選含量為0.0001-3重量％。此外，如果需要，在本發(fā)明的正性光致抗蝕劑組合物中可以加入相容性添加劑，例如，光敏劑、熱聚合抑制劑、消泡劑和流平劑(levelingagent)。本發(fā)明的正性光致抗蝕劑組合物，通過(guò)加入溶劑以將該溶劑旋涂至基底上，使用掩模照射UV光，然后使用堿性顯影水溶液將該旋涂的基底顯影，從而形成液晶顯示器有機(jī)絕緣體的圖形。所述溶劑的含量?jī)?yōu)選為10-95重量%，并添加該溶劑使本發(fā)明的正性光致抗蝕劑組合物粘合力通常為1-50cps。通過(guò)加入并混合溶劑來(lái)溶解粘結(jié)劑樹(shù)脂、光敏化合物和其它添加劑，并且該溶劑用于得到具有優(yōu)良涂覆性能的透明薄膜。考慮到與粘結(jié)劑樹(shù)脂、光敏化合物和其它化合物的相容性，所述溶劑包括選自由以下組成的組中的至少一-種乙酸乙酯、乙酸丁酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲乙醚、二丙二醇二甲醚、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯(EEP)、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇甲基醚、丙二醇丙醚、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙二醇甲基乙酸酯、二乙二醇乙基乙酸酯、丙酮、甲基異丁酮、環(huán)己酮、二甲基甲酰胺(DMF)、N，N-二甲基乙酰胺(DMAc)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、y-丁內(nèi)酯、二乙醚、乙二醇二甲醚、二甘醇二甲醚、四氫呋喃(THF)、甲醇、乙醇、丙醇、異丙醇、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二丙二醇甲醚、甲苯、二甲苯、己烷、庚烷和辛垸，并且這些溶劑可以單獨(dú)使用或組合使用。具體實(shí)施例方式在下文中，參考優(yōu)選實(shí)施例和對(duì)比例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。然而，應(yīng)當(dāng)理解為，僅以說(shuō)明的方式給出了同時(shí)說(shuō)明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)描述和具體的實(shí)施例，因?yàn)橥ㄟ^(guò)這樣的詳細(xì)描述，在本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)的各種改變和修改對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是顯而易見(jiàn)的。實(shí)施例1-13根據(jù)下表1和2所示的組分和含量，將粘結(jié)劑樹(shù)脂、溶劑、光敏化合物、粘結(jié)助劑和流平劑依次加至具有UV濾光片和攪拌器的反應(yīng)器中，然后在室溫下攪拌，得到粘度約為20cps的正性光致抗蝕劑組合物。粘結(jié)劑樹(shù)脂20重量％溶劑平衡量感光組合物8重量％粘結(jié)助劑0.1重量％流平劑(3M公司，F(xiàn)C-430):0.3重量％表l<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>表2實(shí)施例畫(huà)樹(shù)脂光敏化合物粘結(jié)助劑流平劑溶劑8化學(xué)式2中，甲基氧雜環(huán)r烷-3-甲基，r10=環(huán)己基氧羰基，1=0.25，m=0.35，n=0.4取代基4,4',4"-亞乙基二(2-甲酚)的蔡醌-l，2-歪氮-5-碟酸西旨ATPMSFC-430PGMEA9化學(xué)式2中，R5-R^R產(chǎn)R^甲基，R^縮水甘油基，Rk)-叔丁氧羰基，1=0.4，m=0.3，n=0.3取代基雙(4-羥苯基)甲基甲苯，1,1,4-二(4-羥苯基)環(huán)己烷的蔡醌-l，2-重氮-5-磺酸酯10化學(xué)式2中，R^R(p氫，R產(chǎn)Rf甲基，Rs=縮水甘油基，Rl()=y-丁內(nèi)酯氧羰基，1=0.3，m=0.3，n=0.4取代基5,5',6,6'-四羥基-3,3,3'，3，四甲基-1，1'-螺二氫茚的萘醌-1,2-重氮-5-磺酸酯11化學(xué)式2中，R5=R6=il'R產(chǎn)Rf甲基，R8=2,3-環(huán)氧基環(huán)己基，11|()=二環(huán)戊基氧羰基，1=0.3,m=0.3，n=0.4取代基6,6',7，7'-四羥基-4,4，4'，4'-四甲基-2,2'-螺二苯并二氫吡喃的蔡醌-l，2-重氮-5-磺酸酯12化學(xué)式2中，R5=R6=M^117=1^=甲基，R8=3-甲基氧雜環(huán)丁烷-3-甲基，R1()=癸基氧羰基，1=0.4，m=0.4，n=0.2取代基4，4'-[1-[4-[1-(4-羥苯基)-1-甲基乙基]苯基]-亞乙基]雙酚的萘醌-1,2-重氮-4磺酸酯13實(shí)施例1的粘結(jié)劑樹(shù)脂與實(shí)施例10的粘結(jié)劑樹(shù)脂以1:1的混合比例的混合物取代基U,4-三(4-羥苯基)環(huán)己烷的萘醌-l,2-重氮-5-磺酸酉旨在表1禾卩2中，APTMS表示(3-氨丙基-三甲氧基硅烷)，PGMEA表示丙二醇甲基醚乙酸酯?；瘜W(xué)式1和2所示的粘結(jié)劑樹(shù)脂的平均分子量約為10000，多分散性為2.1。對(duì)比例1和2以相同的方法、相同的含量制備正性光致抗蝕劑組合物，不同在于，根據(jù)下表3所示的組分和含量，用具有下面化學(xué)式3所示結(jié)構(gòu)的粘結(jié)劑樹(shù)脂替代所述實(shí)施例1中的粘結(jié)劑樹(shù)脂。對(duì)比例化學(xué)式3的粘結(jié)劑樹(shù)脂光敏化合物粘結(jié)助劑流平劑溶劑1o=0.3，p=0.2,q=0.5THPNS3-氨丙基-二甲氧基硅烷FC-430PGMEA(至100)2o=0.3，p=0.3，q=0.4THPNS在表3中，THPNS表示取代基4,4，,4"-三羥基甲苯的萘醌-1,2-重氮-5-磺酸酯。在表3中，化學(xué)式3所示的粘結(jié)劑樹(shù)脂的平均分子量約為10000，多分散性為2.3，且酸值為100。在表3中，通式4所示的粘結(jié)劑樹(shù)脂的平均分子量為20000，多分散性為2.5，酸值為100。評(píng)價(jià)基底如硅晶片或玻璃基底上的實(shí)施例和對(duì)比例的正性光致抗蝕劑組合物。按照下述方法檢測(cè)光致抗蝕劑組合物的熱性能、透射率(在400nm的?。?、均勻性、膜保持性和圖形形成。結(jié)果如下表4和5所示。(1)熱性能使用旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)以轉(zhuǎn)速800rpm將正性光致抗蝕劑組合物在基底上施涂8秒鐘，然后在IO(TC下前烘烤1分鐘，在435nm下曝光15秒，隨后在220°C下后烘烤30分鐘以形成光致抗蝕劑層。然后，將形成的光致抗蝕劑層放入高壓釜中，在IO(TC下熟化1小時(shí)。使用CrossHatchCutter刻劃高壓釜中熟化的檢測(cè)片以露出基底，然后貼上膠帶，再將膠帶揭下。如果基底上百分之80以上的單元格未脫落，我們表示為"優(yōu)"，反之為"差"。化學(xué)式3=0:0T卞-氣/V9(2)UV透射率使用旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)以轉(zhuǎn)速800rpm將正性光致抗蝕劑組.合物在基底上施涂8秒鐘，然后在IO(TC下前烘烤1分鐘，使用2.38X的TMAH溶液噴射顯影60秒鐘，然后用去離子(DI)水漂洗，再用壓縮空氣吹千，隨后在435nm曝光機(jī)中光褪色5分鐘，然后在24(TC下后烘烤30分鐘，形成厚度為3.5-4.0微米的光致抗蝕劑層。使用紫外-可見(jiàn)光檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)該光致抗蝕劑層在400nm時(shí)的UV透射率。(3)膜保持性在基底上旋涂正性光致抗蝕劑組合物。檢測(cè)通過(guò)在20(TC下前烘烤30分鐘和在24(TC下后烘烤30分鐘形成的層間的厚度比(％)。(4)圖形形成沿著孔圖(holepattem)的中軸方向取得形成正性光致抗蝕劑圖形的硅晶片，用電子顯微鏡在圖形的斷面方向觀察。如果圖形側(cè)壁與基底之間的角度大于55、并且該層的厚度未降低，我們表示為"優(yōu)"，如果該層的厚度降低，我們表示為"TR"(厚度降低)。(5)耐化學(xué)藥品性用旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)將正性光致抗蝕劑組合物施涂在基底上，并進(jìn)行前烘烤和后烘烤，形成光致抗蝕劑層。在4(TC條件下，將形成的光致抗蝕劑層浸入剝離器(stripper)和蝕刻劑溶液中10分鐘。然后檢測(cè)該光致抗蝕劑層透射率和厚度的任何變化。如果透射率和厚度改變，我們表示為"優(yōu)"，反之為"差"。<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>從表4和5可以看出，本發(fā)明的正性光致抗蝕劑組合物表現(xiàn)出非常優(yōu)良的性能如與金屬和無(wú)機(jī)材料的粘合力、UV透射率、膜保持性、均勻性和圖形穩(wěn)定性，以及不同于傳統(tǒng)抗蝕組合物的優(yōu)良的耐熱性能。工業(yè)適用性如上所述，本發(fā)明的正性光致抗蝕劑組合物表現(xiàn)出非常好的均勻性和圖形穩(wěn)定性，以及優(yōu)良的耐熱性能。所述正性光致抗蝕劑組合物還具有優(yōu)良的透射率，并有效地控制了背面光的亮度，因此，提高了電池效率(batteryefficiency)并將色度差異的影響最小化。此外，在本發(fā)明范圍內(nèi)，通過(guò)改變粘結(jié)劑樹(shù)脂的結(jié)構(gòu)和組分比例，本發(fā)明的正性光致抗蝕劑組合物可以容易地形成具有所需要的物理性質(zhì)的光致抗蝕劑。本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的描述。然而，應(yīng)該理解為，僅以說(shuō)明的方式給出了同時(shí)說(shuō)明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)描述和具體的實(shí)施例，因?yàn)橥ㄟ^(guò)這樣的詳細(xì)描述，在本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)的各種改變和修改對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是顯而易見(jiàn)的。權(quán)利要求1、一種正性光致抗蝕劑組合物，該組合物含有3-50重量％的粘結(jié)劑樹(shù)脂、2-40重量％的光敏化合物和10-95重量％的有機(jī)溶劑，該粘結(jié)劑樹(shù)脂選自由具有以下化學(xué)式1結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂、具有以下化學(xué)式2結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂、和它們的混合物所組成的組中化學(xué)式1其中，R1、R2和R3各自獨(dú)立地為H或甲基，R4為含有環(huán)氧基的具有1-10個(gè)碳原子的烷基或環(huán)烷基，x和y表示重復(fù)單元的摩爾比值，其中，在所述化學(xué)式1所示的粘結(jié)劑樹(shù)脂可以為不限于給出的重復(fù)單元順序的無(wú)規(guī)共聚物的前提下，x為0.02-0.80，y為0.20-0.98；化學(xué)式2其中，R5、R6、R7和R9各自獨(dú)立地為H或甲基，R8為含有環(huán)氧基的具有1-10個(gè)碳原子的烷基或環(huán)烷基，R10為選自由羧酸、具有1-14個(gè)碳原子的烷氧羰基和芳香族化合物所組成的組中的至少一種，l、m和n分別為重復(fù)單元的摩爾比值，其中，在所述化學(xué)式2所示的粘結(jié)劑樹(shù)脂可以為不限于給出的重復(fù)單元順序的無(wú)規(guī)共聚物的前提下，l為0.02-0.70，m為0.05-0.60，n為0.01-0.60。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光致抗蝕劑組合物，其中，所述具有化學(xué)式1結(jié)構(gòu)的粘結(jié)劑樹(shù)脂的平均分子量為2000-300000，多分散性為1.0-10.0。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光致抗蝕劑組合物，其中，所述有機(jī)、溶劑包括選自由以下物質(zhì)所組成的組中的至少一種乙酸乙酯、乙酸丁酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲乙醚、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙烯酸乙酯、乳酸乙酯、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇甲醚、丙二醇丙醚、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙二醇甲基乙酸酯、二乙二醇乙基乙酸酯、丙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、Y-丁內(nèi)酯、二乙醚、乙二醇二甲醚、二甘醇二甲醚、四氫呋喃、甲醇、乙醇、丙醇、異丙醇、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二丙二醇甲醚、甲苯、二甲苯、己烷、庚烷和辛垸。4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光致抗蝕劑組合物，其中，所述光敏化合物為具有用含有l(wèi)-6個(gè)羥基的酚化合物基團(tuán)取代的萘醌-l,2-重氮-5-磺酸酯或萘醌-l，2-重氮-4-磺酸酯的結(jié)構(gòu)的化合物。5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光致抗蝕劑組合物，其中，所述組合物還含有0.0001-3重量％的含有環(huán)氧基或胺基的硅基化合物。6、根據(jù)權(quán)利要求5所述的iH性光致抗蝕劑組合物，其屮，所述含有環(huán)氧基或胺基的硅基化合物包括選自由以下物質(zhì)所組成的組中的至少一種(3-環(huán)氧丙氧丙基)三甲氧基硅烷、(3-環(huán)氧丙氧丙基)三乙氧基硅烷、(3-環(huán)氧丙氧丙基)甲基二甲氧基硅垸、(3-環(huán)氧丙氧丙基)甲基二乙氧基硅烷、(3-環(huán)氧丙氧丙基)二甲基甲氧基硅烷、(3-環(huán)氧丙氧丙基)二甲基乙氧基硅烷、3,4-環(huán)氧丁基三甲氧基硅烷、3,4-環(huán)氧丁基三乙氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅垸、2-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三乙氧基硅烷和氨丙基三甲氧基硅焼c全文摘要公開(kāi)了一種用于液晶顯示器的正性光致抗蝕劑組合物。本發(fā)明的正性光致抗蝕劑組合物含有3-50重量％的具有特定結(jié)構(gòu)的粘結(jié)劑樹(shù)脂，2-40重量％的光敏化合物和10-95重量％的有機(jī)溶劑。由于該組合物具有優(yōu)良的基本物理性能如UV透射率、膜保持性、圖形穩(wěn)定性和耐化學(xué)藥品性等以及優(yōu)良的耐熱性能，本發(fā)明的正性光致抗蝕劑組合物能夠用于形成液晶顯示器的有機(jī)絕緣體、金屬圖形、隆起處、鉆孔和UV保護(hù)層的圖形。文檔編號(hào)G03F7/039GK101116036SQ200580047853公開(kāi)日2008年1月30日申請(qǐng)日期2005年12月21日優(yōu)先權(quán)日2005年12月16日發(fā)明者文奉錫,柳權(quán)壹,柳漾泫,鄭樂(lè)七,鄭美敬,金先鎬,金孝精,金敃志,金珍坤申請(qǐng)人:三養(yǎng)Ems株式會(huì)社