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正性光致抗蝕劑組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2759021

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本發(fā)明涉及-,中用于液晶顯示器的正性光致抗蝕劑組合物,更確切;t也 說(shuō),涉及一種能通過(guò)堿性顯影液顯影而在形成例如薄膜晶體管液晶顯示器 (TFT-LCD)的液晶顯示器的有機(jī)絕緣體、金屬圖形(metalpatterning)、隆起處 (bump)、鉆孔、UV保護(hù)層等時(shí)形成圖形的正性光致抗蝕劑組合物。背景技術(shù)一般來(lái)說(shuō),光敏化合物已經(jīng)用于形成用作液晶顯示器的有機(jī)絕緣體、金 屬圖形、隆起處、鉆孔、UV保護(hù)層等等的圖形。用于形成此圖形的過(guò)程的 光敏樹(shù)脂除了要求材料具有...
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