專利名稱：基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種基于MEMS芯片技術的2×2光開關，屬于光開關技術領域。
背景技術：
微機電系統(tǒng)(MicroElectroMechanical System，MEMS)中，基于MEMS芯片技術的光開關較為重要的光無源器件，在光通訊網絡系統(tǒng)中可對光信號進行通斷的切換。光開關有著廣闊的市場前景，是最具發(fā)展?jié)摿Φ墓鉄o源器件之一。
現(xiàn)有的光開關大多是2×2的光開關，而且都是基于反射式的，即通過將移動反射鏡來實現(xiàn)光路的切換。當光開關開啟時，如圖1所示，兩光纖準直器的出射光經反射鏡反射回各自的光纖準直器。當光開關關閉時，如圖2所示，光纖準直器的出射光直接射入另一光纖準直器。該類光開關由于采用非平行入射，反射角度的定位非常困難，而且容易受溫度的影響，如果出現(xiàn)偏差就會偏離準直器產生極大的差損。

發(fā)明內容
本實用新型的目的在于提供一種基于折射式的光開關。
為達上述目的，本實用新型采用如下技術方案，一種基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關，包括一透鏡，所述透鏡設有可將水平入射光平移出射的平行平面，所述平行平面至少兩對且分別對應互成夾角。
作為本實用新型的一種優(yōu)選方式，所述透鏡為柱狀。
作為本實用新型的又一優(yōu)選方式，所述柱狀透鏡橫截面為平行四邊形、平行六邊形或平行八邊形。
作為本實用新型的再一優(yōu)選方式，所述夾角為90度、60度或45度。
作為本實用新型的再一優(yōu)選方式，所述透鏡的折射率為在波長為1550nm時等于1.5067。
采用本實用新型技術方案設計的基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關，具有重復性好、溫度性能好、加工工藝簡單的優(yōu)點。而且即使棱鏡在安裝過程中出現(xiàn)偏差，只要兩路光路平行入射就能夠在另一端平行出射，從而在準直器中精確地入射。
以下結合附圖及實施例進一步說明本實用新型。


圖1為現(xiàn)有技術中光開關開啟時的光路圖。
圖2為現(xiàn)有技術中光開關關閉時的光路圖。
圖3為本實用新型實施例光開關開啟時的光路圖。
圖4為本實用新型實施例光開關關閉時的光路圖。
圖5為本實用新型實施例光開關透鏡結構示意圖。
具體實施方式
如圖5所示，一種基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關，所述光開關包括一柱狀平行六邊形透鏡，所述透鏡設有可將水平入射光平移出射的平行平面，即平面3、平面4、平面5和平面6，其中，平面3與平面4平行，平面5與平面6平行，平面3與平面5成90度夾角。該夾角也可以是60度或45度。
本實施例中，當光開關開啟時，如圖3所示，光纖準直器發(fā)出的兩大致平行的入射光7和入射光8經透鏡兩互成夾角的平面3和平面5入射后，在相應的另兩平行平面4和平面6出射，進入另一光纖準直器；準直器圖中未示。
當光開關關閉時，如圖4所示，光纖準直器發(fā)出的兩大致平行的入射光7和入射光8直接進入另一光纖準直器。圖4中虛線表示通過電路驅動而平移離開光路的棱鏡。
以下就本實用新型實施例如何設計并應用于通常的小尺寸(MINI Size)準直器作簡要說明。如圖5所示，通常小尺寸的準直器的L控制在3mm。考慮到加工方便，圖中a＝45°，林料采用BK7，其折射率n@1550＝1.5067，長度B的計算過程如下，B＝B1+2*B2；B2＝L/2；B＝L+B1根據斯聶爾定律Sina＝n*Sinb；得b＝27.98°；c＝a-b＝45°-27.98°＝17°。
B1＝L/tan(C)＝3/tan(17°)＝9.806mmB＝B1+L＝9.806+3＝12.806mm。
權利要求1.一種基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關，其特征在于包括一透鏡，所述透鏡設有可將水平入射光平移出射的平行平面，所述平行平面至少兩對且分別對應互成夾角。
2.根據權利要求1所述基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關，其特征在于所述透鏡為柱狀。
3.根據權利要求2所述基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關，其特征在于所述柱狀透鏡橫截面為平行四邊形、平行六邊形或平行八邊形。
4.根據權利要求1、2或3所述基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關，其特征在于所述夾角為90度、60度或45度。
5.根據權利要求4所述基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關，其特征在于所述透鏡的折射率為在波長為1550nm時等于1.5067。
專利摘要本實用新型提供一種基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關，所述光開關包括一透鏡，所述透鏡設有可將水平入射光平移出射的平行平面，所述平行平面至少兩對且分別對應互成夾角。所述方法為當光開關開啟時，光纖準直器發(fā)出的兩大致平行的入射光經透鏡兩互成夾角的平面入射后，在相應的另兩平行平面出射進入另一光纖準直器；當光開關關閉時，光纖準直器發(fā)出的兩大致平行的入射光直接進入另一光纖準直器。采用本實用新型技術方案設計的基于微機電系統(tǒng)芯片技術的光開關，具有重復性好、溫度性能好、加工工藝簡單的優(yōu)點。而且即使棱鏡在安裝過程中出現(xiàn)偏差，只要兩路光路平行入射就能夠在另一端平行出射，從而在準直器中精確地入射。
文檔編號G02B6/35GK2800300SQ200520042868
公開日2006年7月26日 申請日期2005年6月24日 優(yōu)先權日2005年6月24日
發(fā)明者陸肖元, 高義河, 劉浩鋒 申請人:上海未來寬帶技術及應用工程技術研究中心有限公司, 上海聯(lián)能科技有限公司