專利名稱：圖案形成基板、電光學(xué)裝置及電光學(xué)裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于圖案形成基板、電光學(xué)裝置及電光學(xué)裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
以前，對于具備發(fā)光元件的顯示器，已知有作為具備有機(jī)電致發(fā)光元件(有機(jī)EL元件)的電光學(xué)裝置的有機(jī)電致發(fā)光顯示器(有機(jī)EL顯示器)。
有機(jī)EL元件，一般根據(jù)其有機(jī)EL層的構(gòu)成材料大致區(qū)分制造方法。即，對于將低分子有機(jī)材料作為有機(jī)EL層的構(gòu)成材料時(shí)，利用蒸鍍該低分子有機(jī)材料而形成有機(jī)EL層的所謂氣相法。而對于將高分子有機(jī)材料作為有機(jī)EL層的構(gòu)成材料時(shí)，利用將該高分子有機(jī)材料溶解在有機(jī)溶劑中，涂布形成的溶液，并進(jìn)行干燥的所謂液相法。
其中，該液相法中的噴墨法，由于以微小的液滴噴出上述溶液，與其他液相法(例如，旋轉(zhuǎn)涂布等)相比，可以以更高的精度控制有機(jī)EL層(圖案)的形成位置或膜的厚度等。
然而，使用這種噴墨法，干燥后的圖案形狀，要受圖案形成面上彈落的微小液滴形狀的影響。因此，彈落的微小液滴不是平坦的形狀時(shí)(例如，凸?fàn)畹陌肭蛎?，會(huì)導(dǎo)致其圖案形狀不均勻的問題。
因此，多年來，對于噴墨法不斷地有提高這種圖案形狀均勻性的提案(例如專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1中的提案是對于液滴，利用具有親液性的第1膜(第1隔壁)圍繞圖案形成面，以在該第1隔壁上形成對液滴具有疏液性的第2隔壁。而且，通過第2隔壁形成收容液滴的液滴收容空間，并使通過該液滴收容空間后彈落在圖案形成面上的液滴，通過第1隔壁的表面張力而成為濕潤擴(kuò)展。由此，可提高在圖案形成面上形成的圖案形狀的均勻性。
特開2004-133031號(hào)公報(bào)然而，專利文獻(xiàn)1中所公開的提案，由于第1隔壁是以和上述液滴收容空間相同尺寸形成，所以第1隔壁的表面張力，其作用范圍受到該液滴收容空間(第2隔壁)內(nèi)周的尺寸的限制。所以導(dǎo)致噴出液滴不能向圖案形成面外周涂布擴(kuò)展的問題。
因此，只是能擴(kuò)大第1隔壁對液滴的接觸范圍，彈落在圖案形成面上的液滴就能濕潤擴(kuò)展，進(jìn)而能提高由液滴形成的圖案形狀的均勻性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為解決上述課題而進(jìn)行的，其目的是提供一種提高由液滴形成圖案形狀均勻性的圖案形成基板，電光學(xué)裝置及電光學(xué)裝置的制造方法。
本發(fā)明的圖案形成基板，是在具備向由基底層上形成由隔壁圍繞的液滴收容空間內(nèi)噴出含有圖案形成材料的液滴而形成圖案的圖案形成基板中，上述隔壁，在上述基底層側(cè)上具備沿上述基底層的面方向外側(cè)形成的凹部。
根據(jù)本發(fā)明的圖案形成基板，只是形成具有親液性的凹部，就能擴(kuò)大與液滴形成親液的區(qū)域，使液滴只進(jìn)入到該凹部內(nèi)，噴出到液滴收容空間的液滴，就能在基底層的面方向外側(cè)上濕潤擴(kuò)展。因此，能形成均勻形狀的圖案，并能提高圖案形成基板的生產(chǎn)效率。
在該圖案形成基板中，上述隔壁具備在上述基底層上形成的第1隔壁、和在上述第1隔壁上形成的第2隔壁；上述液滴收容空間，由上述第2隔壁形成，上述凹部由比上述第2隔壁還位于上述面方向外側(cè)的上述第1隔壁形成。
根據(jù)該圖案形成基板，只是使第1隔壁比第2隔壁更向基底層的面方向外側(cè)形成，就能使噴出到液滴收容空間的液滴在基底層的面方向外側(cè)上濕潤擴(kuò)展。
在該圖案形成基板中，上述第1隔壁形成為從上述基底層與上述液滴收容空間相對向的位置，向著上述第2隔壁、沿上述面方向外側(cè)擴(kuò)展。
根據(jù)該圖案形成基板，只是使第1隔壁形成為從與液滴收容空間相對向的位置，向著第2隔壁形成擴(kuò)展，就能擴(kuò)大與液滴親液的區(qū)域，并使噴出到液滴收容空間的液滴確實(shí)能濕潤擴(kuò)展。
該圖案形成基板中，上述第1隔壁是，使上述第1隔壁形成為從與上述基底層的上述液滴收容空間相對向的位置，向著上述第2隔壁，沿上述面方向外側(cè)變狹窄。
根據(jù)該圖案形成基板，只是使第1隔壁形成為從與液滴收容空間相對向的位置，向著第2隔壁變狹窄的部分，就能擴(kuò)大與液滴親液的區(qū)域，使噴出到液滴收容空間的液滴確實(shí)濕潤擴(kuò)展。
在該圖案形成基板中，上述第1隔壁具有對上述液滴進(jìn)行親液的親液性，上述第2隔壁具有對上述液滴進(jìn)行疏液的疏液性。
根據(jù)該圖案形成基板，由于第2隔壁具有疏液滴的疏液性，所以噴出到液滴收容空間內(nèi)的液滴，確實(shí)能誘導(dǎo)到第1隔壁側(cè)。因此，可進(jìn)一步提高圖案形狀的均勻性。
在該圖案形成基板中，上述圖案形成材料是形成發(fā)光元件的材料，上述圖案是發(fā)光元件。
根據(jù)該圖案形成基板，可形成均勻形狀的發(fā)光元件，并能提高具備該發(fā)光元件的圖案形成基板生產(chǎn)性。
在該圖案形成基板中，上述圖案形成材料是形成濾色片的材料，上述圖案是濾色片。
根據(jù)該圖案形成基板，可形成均勻形狀的濾色片，并能提高具備該濾色片的圖案形成基板生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置，其是具備通過向由基底層上形成的隔壁圍繞的液滴收容空間中，噴出含有發(fā)光元件形成材料的液滴而形成的發(fā)光元件，其中上述隔壁，在上述基底層側(cè)上，形成了對上述液滴具有親液性并在上述基底層的面方向外側(cè)上延伸的凹部。
根據(jù)本發(fā)明的電光學(xué)裝置，只是形成具有親液性的凹部，就能擴(kuò)大與液滴親液的區(qū)域，只是將液滴引入到該凹部內(nèi)，向液滴收容空間噴出的液滴，就能在基底層的面方向外側(cè)上濕潤擴(kuò)展。因此，可提高發(fā)光元件形狀的均勻性，并能提高電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
該電光學(xué)裝置中，上述隔壁具備在上述基底層上形成的第1隔壁，和在上述第1隔壁上形成的第2隔壁，上述液滴收容空間，由上述第2隔壁形成，上述凹部是由比上述第2隔壁還位于上述面方向外側(cè)的上述第1隔壁形成的。
根據(jù)該電光學(xué)裝置，只是比第2隔壁還在基底層的面方向外側(cè)上形成第1隔壁，使噴出到液滴收容空間中的液滴，就能在基底層的面方向外側(cè)上濕潤擴(kuò)展。
在該電光學(xué)裝置中，使上述第1隔壁形成為從上述基底層的與上述液滴收容空間相對向的位置，向著上述第2隔壁在上述面方向外側(cè)上擴(kuò)展。
根據(jù)該電光學(xué)裝置，由于第1隔壁從與液滴收容空間相對向的位置形成，所以噴出到液滴收容空間內(nèi)的液滴確實(shí)能濕潤擴(kuò)展。
該電光學(xué)裝置中，上述第1隔壁具有對上述液滴親液的親液性，上述第2隔壁具有對上述液滴疏液的疏液性。
根據(jù)該電光學(xué)裝置，由于第2隔壁具有排疏液滴的疏液性，所以將噴出到液滴收容空間內(nèi)的液滴確實(shí)能誘導(dǎo)到第1隔壁側(cè)，因此，可進(jìn)一步提高發(fā)光元件形狀的均勻性。
該電光學(xué)裝置中，上述發(fā)光元件是透明電極和背面電極之間具備發(fā)光層的電致發(fā)光元件。
根據(jù)該電光學(xué)裝置，可提高電致發(fā)光元件形狀的均勻性，并能提高具備該電致發(fā)光元件的電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
在該電光學(xué)裝置中，上述發(fā)光元件是具備由有機(jī)材料構(gòu)成的發(fā)光層的有機(jī)電致發(fā)光元件。
根據(jù)該電光學(xué)裝置，可提高有機(jī)電致發(fā)光元件形狀的均勻性，并能提高具備該有機(jī)電致發(fā)光元件的電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
該電光學(xué)裝置中，上述基底層是上述透明電極和上述背面電極中的任一個(gè)。
根據(jù)該電光學(xué)裝置，可提高透明電極和背面電極的任一個(gè)上形成的發(fā)光層的均勻性。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法，是在基底層上形成圍繞液滴收容空間的隔壁，并向該液滴收容空間內(nèi)噴出含有發(fā)光元件形成材料的液滴，以形成發(fā)光元件的電光學(xué)裝置的制造方法中，噴出上述液滴之前，以在上述隔壁的基底層側(cè)上可形成對液滴具有親液性，并在上述基底層的面方向外側(cè)上形成延伸的凹部。
根據(jù)本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法，只是形成具有親液性的凹部，就能擴(kuò)大與液滴親液的區(qū)域，只是將液滴引入到該凹部內(nèi)，就能使噴出到液滴收容空間內(nèi)的液滴，在基底層的面方向外側(cè)上濕潤擴(kuò)展。因此，就能提高發(fā)光元件形狀的均勻性，并提高電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
在該電光學(xué)裝置的制造方法中，上述隔壁具備形成上述液滴收容空間的第2隔壁、和在上述第2隔壁和基底層之間形成上述凹部的第1隔壁，對層疊在上述基底層上的第1隔壁層之上的第2隔壁層進(jìn)行圖案化，在形成圍繞上述液滴收容空間的第2隔壁后，對上述第1隔壁層進(jìn)行圖案化，形成了比上述第2隔壁還位于上述面方向外側(cè)的上述第1隔壁。
根據(jù)該電光學(xué)裝置的制造方法，形成第2隔壁后，由于是在該第2隔壁的面方向外側(cè)上形成第1隔壁，所以確實(shí)能使與液滴親液的凹部比液滴收容空間還擴(kuò)大。因此，確實(shí)能使噴出到液滴收容空間的液滴在基底層的面方向外側(cè)上濕潤擴(kuò)展。
該電光學(xué)裝置的制造方法中，將上述第2隔壁作為掩模，通過對上述第1隔壁層進(jìn)行等向蝕刻，以形成上述第1隔壁。
根據(jù)該電光學(xué)裝置的制造方法，由于將第2隔壁作為掩模，等向蝕刻第1隔壁層，所以能形成從與液滴收容空間相對向的位置，向上述第2隔壁，在其面方向外側(cè)上擴(kuò)展的第1隔壁。因此，確實(shí)能使噴出到液滴收容空間內(nèi)的液滴濕潤擴(kuò)展。而且，也能削減為形成第1隔壁而形成掩模等的工序。其結(jié)果，既能提高發(fā)光元件形狀的均勻性，又能提高電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
在該電光學(xué)裝置的制造方法中，上述基底層是透明電極和背面電極中的任一個(gè)，上述發(fā)光元件是在上述透明電極和上述背面電極之間具備發(fā)光層的電致發(fā)光元件。
根據(jù)該電光學(xué)裝置的制造方法，既能提高電致發(fā)光元件形狀的均勻性，又能提高具備該電致發(fā)光元件的電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
在該電光學(xué)裝置的制造方法中，上述發(fā)光元件是具備由有機(jī)材料構(gòu)成的上述發(fā)光層的有機(jī)電致發(fā)光元件。
根據(jù)該電光學(xué)裝置的制造方法，既能提高有機(jī)電致發(fā)光元件形狀的均勻性，又能提高具備該有機(jī)電致發(fā)光元件的電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
在該電光學(xué)裝置的制造方法中，使上述液滴由液滴噴出裝置噴出的。
根據(jù)該電光學(xué)裝置的制造方法，只是利用液滴噴出裝置形成細(xì)小的液滴，就能形成更均勻形狀的發(fā)光元件，并能提高電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。


圖1是表示使本發(fā)明具體化的有機(jī)EL顯示器的簡要平面圖。
圖2是表示使本發(fā)明具體化的像素的簡要平面圖。
圖3是表示使本發(fā)明具體化的控制元件形成區(qū)域的簡要剖面圖。
圖4是表示使本發(fā)明具體化的控制元件形成區(qū)域的簡要剖面圖。
圖5是表示使本發(fā)明具體化的發(fā)光元件形成區(qū)域的簡要剖面圖。
圖6是說明使本發(fā)明具體化的電光學(xué)裝置的制造工序的流程圖。
圖7是說明使本發(fā)明具體化的電光學(xué)裝置的制造工序的說明圖。
圖8是說明使本發(fā)明具體化的電光學(xué)裝置的制造工序的說明圖。
圖9是說明使本發(fā)明具體化的電光學(xué)裝置的制造工序的說明圖。
圖10是說明使本發(fā)明具體化的電光學(xué)裝置的制造工序的說明圖。
圖中10…作為電光學(xué)裝置的有機(jī)EL顯示器、11…作為圖案形成基板的透明基板、15…發(fā)光元件形成區(qū)域、20…作為透明電極的陰極、21…作為第1隔壁層的第3層間絕緣膜、22…作為第2隔壁層的疏液膜、25…作為圖案的空穴層、25D…空穴層液滴、25s…構(gòu)成圖案形成材料和發(fā)光元件形成材料的空穴層形成材料、27…發(fā)光層、31…作為背面電極的陰極、35…構(gòu)成液滴噴出裝置的液體噴出頭、Mk…掩模、W1…第1隔壁、W2…第2隔壁、S…液滴收容空間。
具體實(shí)施例方式
以下按照圖1～圖10說明將本發(fā)明具體化的實(shí)施方式。圖1是作為電光學(xué)裝置的有機(jī)電致發(fā)光顯示器(有機(jī)EL顯示器)的簡要平面圖。
如圖1所示，有機(jī)EL顯示器10備有作為形成圖案基板的透明基板11。透明基板11是形成四方形狀的無堿性玻璃基板，其表面(元件形成面11a)上形成著四方形狀的元件形成區(qū)域12。在該元件形成區(qū)域12中，以所定的間隔形成著在上下方向(列向)上延伸的多條數(shù)據(jù)線Ly。各條數(shù)據(jù)線Ly分別電連接在配置于透明基板11下側(cè)的數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路Dr1上。數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路Dr1，根據(jù)由未圖示的外部裝置供給的顯示數(shù)據(jù)生成數(shù)據(jù)信號(hào)，并將該數(shù)據(jù)信號(hào)以所定的時(shí)間輸入給對應(yīng)的數(shù)據(jù)線Ly。
另外，在元件形成區(qū)域12中，以所定的間隔，與各數(shù)據(jù)線Ly并行設(shè)置著列方向上延伸的多條電源線Lv。各條電源線Lv分別電連接在元件形成區(qū)域12下側(cè)形成的共同電源線Lvc上，以便將未圖示的電源電壓產(chǎn)生電路產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)電源供給各條電源線Lv。
進(jìn)而，在元件形成區(qū)域12內(nèi)，以所定間隔形成著與數(shù)據(jù)線Ly和電源線Lv成正交方向(行方向)上延伸的多條掃描線Lx。各條掃描線Lx分別電連接于透明基板11左側(cè)形成的掃描線驅(qū)動(dòng)電路Dr2。掃描線驅(qū)動(dòng)電路Dr2，根據(jù)由未圖示的控制電路供給的掃描控制信號(hào)，從多條掃描線Lx中以所定的定時(shí)選擇驅(qū)動(dòng)所定的掃描線Lx，以便將掃描信號(hào)輸入到該掃描線Lx中。
在這些數(shù)據(jù)線Ly和掃描線Lx的交叉位置上，通過將對應(yīng)的數(shù)據(jù)線Ly、電源線Lv和掃描線Lx連接，形成著以矩陣狀排列的多個(gè)像素13。在該像素13內(nèi)分別區(qū)分形成著控制元件形成區(qū)域14和發(fā)光元件形成區(qū)域15。而且，將元件形成區(qū)域12的上側(cè)用四方形狀的密封基板16(圖1中的2點(diǎn)劃線)覆蓋住，以保護(hù)像素13。
另外，本實(shí)施方式中的各個(gè)像素13，分別是發(fā)射對應(yīng)顏色的光的像素，是發(fā)射紅色光的紅色像素，發(fā)射綠色光的綠色像素和發(fā)射藍(lán)色光的藍(lán)色像素。這樣，由這些像素13在透明基板11的背面(顯示面11b)側(cè)形成全色圖像顯示。
接著對上述像素13作以下說明。圖2是表示控制元件形成區(qū)域14和發(fā)光元件形成區(qū)域15之布局的簡要平面圖。圖3和圖4分別表示沿圖2的點(diǎn)劃線A-A和B-B的控制元件形成區(qū)域14的簡要剖面圖。圖5表示沿圖2的點(diǎn)劃線C-C的發(fā)光元件形成區(qū)域15的簡要剖面圖。
首先，對控制元件形成區(qū)域14的構(gòu)成作以下說明。如圖2所示，在各個(gè)像素13的下側(cè)，分別形成控制元件形成區(qū)域14，在該控制元件形成區(qū)域14內(nèi)，分別形成著第1晶體管(開關(guān)用晶體管)T1、第2晶體管(驅(qū)動(dòng)用晶體管)T2和保持電容器Cs。
如圖3所示，開關(guān)用晶體管T1，在其最下層備有第1溝道膜B1。第1溝道膜B1是在元件形成面11a上形成的島狀的p型聚硅膜，在其中央位置上形成著第1溝道區(qū)域C1，在夾持第1溝道區(qū)域C1的左右兩側(cè)上，形成著活性化的n型區(qū)域(第1源區(qū)S1和第1漏區(qū)D1)。即，開關(guān)用晶體管T1是所謂的聚硅型TFT。
在第1溝道區(qū)域C1的上側(cè)，由元件形成面11a側(cè)開始，依次形成柵絕緣膜Gox和第1柵電極G1。柵絕緣膜Gox是氧化硅膜等具有透光性的絕緣膜，沉積在第1溝道區(qū)域C1的上側(cè)和大致整個(gè)元件形成面11a上。第1柵電極G1是鉭或鋁等低電阻金屬膜，形成在與第1溝道區(qū)域C1相對向的位置上，如圖2所示，與掃描線Lx成電連接。該第1柵電極G1，如圖3所示，通過沉積在柵絕緣膜Gox上側(cè)的第1層間絕緣膜IL1而電絕緣的。
掃描線驅(qū)動(dòng)電路Dr2通過掃描線Lx，向第1柵電極G1輸入掃描信號(hào)時(shí)，開關(guān)用晶體管T1根據(jù)該掃描信號(hào)成為接通狀態(tài)。
貫通上述第1層間絕緣膜IL1和柵絕緣膜Gox的數(shù)據(jù)線Ly，電連接在第1源區(qū)域S1上。貫通第1層間絕緣膜IL1和柵絕緣膜Gox的第1漏電極Dp1電連接在第1漏區(qū)域D1。這些數(shù)據(jù)線Ly和第1漏電極Dp1，如圖3所示，由沉積在第1層間絕緣膜IL1上側(cè)的第2層間絕緣膜IL2電絕緣的。
另外，掃描線驅(qū)動(dòng)電路Dr2，根據(jù)線依次掃描，對掃描線Lx每1個(gè)依次選擇時(shí)，像素13的開關(guān)用晶體管T1，在選擇期間依次形成接通狀態(tài)。當(dāng)開關(guān)用晶體管T1形成接通狀態(tài)時(shí)，由數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路Dr1輸出的數(shù)據(jù)信號(hào)，通過數(shù)據(jù)線Ly和開關(guān)晶體管T1(溝道膜B1)，輸入到第1漏電極Dp1。
如圖4所示，驅(qū)動(dòng)用晶體管T2是備有溝道膜B2的聚硅型TFT，該溝道膜B2具備第2源區(qū)域S2和第2漏區(qū)域D2。在該第2溝道膜B2的上側(cè)，通過柵絕緣膜Gox形成第2柵電極G2、第2柵電極G2是鉭和鋁等低電阻金屬膜，如圖2所示，和開關(guān)用晶體管T1的第1漏電極Dp1和保持電容器Cs的下部電極Cp1成為電連接。這些第2柵電極G2和下部電極Cp1，如圖4所示，由沉積在柵絕緣膜Gox上側(cè)的上述第1層間絕緣膜IL1成為電絕緣。
第2源區(qū)域S2，與貫通該第1層間絕緣膜IL1的保持電容器Cs上部電極Cp2成為電連接。如圖2所示，該上部電極Cp2電連接于對應(yīng)的電源線Lv。即，驅(qū)動(dòng)用晶體管T2的第2柵電極G2和第2源區(qū)域S2之間，如圖2和圖4所示，連接著第1層間絕緣膜IL1作為容量膜的保持電容器Cs。第2漏區(qū)域D2，電連接于貫通第1層間絕緣膜IL1的第2漏電極Dp2。這些第2漏電極Dp2和上部電極Cp2，由沉積在第1層間絕緣膜IL1上側(cè)的第2層間絕緣膜IL2成為電絕緣。
這樣，由數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路Dr1輸出的數(shù)據(jù)信號(hào)，通過開關(guān)用晶體管T1輸入到第1漏區(qū)域D1時(shí)，保持電容器Cs蓄積與輸出的數(shù)據(jù)信號(hào)相對應(yīng)的電荷。接著，開關(guān)用晶體管T1變成關(guān)的狀態(tài)時(shí)，與蓄積在保持電容器Cs中的電荷相對應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電流，通過驅(qū)動(dòng)用晶體管T2(溝道膜B2)輸入到第2漏區(qū)域D2中。
接著對發(fā)光元件形成區(qū)域15的構(gòu)成作以下說明。
如圖2所示，在各像素13在上側(cè)分別形成著四方形狀的發(fā)光元件形成區(qū)域15。如圖5所示，在該發(fā)光元件形成區(qū)域15中第2層間絕緣膜IL2的上側(cè)，形成著作為基底層的透明電極(陽極)20。
陽極20是具有ITO等透光性的透明導(dǎo)電膜，如圖4所示，它的一端通過第2層間絕緣膜IL2，電連接于第2漏區(qū)域D2。
在該陽極20的上側(cè)沉積著作為第1隔壁層的第3層間絕緣膜21。該第3層間絕緣膜21由對下述空穴層液滴25D(參照圖9)具有親液性的材料(例如，氧化硅膜等)形成，并使各個(gè)陽極20彼此成絕緣，對于該第3層間絕緣膜21，形成著向上側(cè)貫通陽極20大致中央位置的錐狀貫通孔21h。貫通孔21h形成為從陽極20上面方向上側(cè)，以向該陽極20的面方向外側(cè)擴(kuò)展。
這樣，由該貫通孔21h的內(nèi)周面，形成錐對空穴層液滴25D具有親液性，從陽極20上面方向該陽極20的面方向外側(cè)擴(kuò)展的第1隔壁W1(參照圖8)。由于其第1隔壁W1圍繞著陽極20上面，所以在該陽極20上面，形成著由第1隔壁W1的底部W1a區(qū)分的彈落面20a。
在其第3層間絕緣膜21的上側(cè)，形成著作為第2隔壁層的疏液膜22。當(dāng)疏液膜22暴光由所定波長的曝光光Lpr(參照圖7)時(shí)，只有被曝光的部分，由可溶于堿性溶液等顯影液的，所謂陽性型的感光性材料形成，即對下述空穴層液滴25D和發(fā)光層液滴27D具有疏液的疏液性的氟系樹脂等構(gòu)成的。
在其疏液膜22上，從與第1隔壁W1底部W1a相對向的位置，向上側(cè)形成著錐狀開口的收容孔22h。即，從這收容孔22h向下側(cè)(彈落面20a側(cè))形成著上述貫通孔21h。而且，該收容孔22h形成為能夠在對應(yīng)的發(fā)光元件形成區(qū)域15內(nèi)收容下述微小空穴層液滴25b和微小發(fā)光層液滴27b(參照圖9和圖10)的大小。
這樣，由該收容孔22h的內(nèi)周面形成著第2隔壁W2，其對空穴層液滴25D和發(fā)光層液滴27D具有疏液性，收容下述空穴層液滴25D(參照圖9)和發(fā)光層液滴27D(參照圖10)。另外，通過其第2隔壁W2圍繞彈落面20a上的空間，形成著允許微小空穴層液滴25b和微小發(fā)光層液滴27b對彈落面20a彈落的液滴收容空間S。
這樣，貫通孔21h(第1隔壁W1)的上側(cè)由具備收容孔22h的疏液膜22覆蓋住，通過使貫通孔21h從收容孔22h向下側(cè)擴(kuò)張形成，在彈落面20a的外周，形成著作為在彈落面20a的面方向外側(cè)上延伸的凹部的引入溝23。
在彈落面20a上的貫通孔21h內(nèi)，形成著作為將上述引入溝23(第1隔壁W1)外緣的圖案的空穴輸送層25(以下只稱空穴層25)。該空穴層25是由作為圖案形成材料和發(fā)光元件形成材料的空穴層形成材料25s(參照圖9)所形成的圖案。
另外，本實(shí)施方式中的空穴層形成材料25s，例如是聯(lián)苯胺衍生物、苯乙稀胺衍生物、三苯甲烷衍生物、三苯胺衍生物、和腙衍生物等低分子化合物、或者部分地含有這些構(gòu)造的高分子化合物、或聚苯胺、聚噻吩、聚乙烯咔唑、α-萘苯基二胺、聚(3，4-乙烯二氧噻吩)和聚苯乙烯磺酸的混合物(PEDOT/PSS)(Baytron P、Bayer(拜耳)公司商標(biāo))等高分子化合物。
在上述空穴層25上的上述收容孔22h內(nèi)，層疊著發(fā)光層27。而且，本實(shí)施方式中的發(fā)光層27，分別以對應(yīng)色的發(fā)光層形成材料(發(fā)紅色光的紅色發(fā)光層形成材料、發(fā)綠色光的綠色發(fā)光層形成材料、和發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層形成材料)來形成。而且，紅色用發(fā)光層形成材料，例如是在聚乙烯撐苯乙烯衍生物的苯環(huán)上具有烷基或烷氧取代基的高分子化合物，或在聚乙烯撐苯乙烯衍生物的乙烯撐基團(tuán)上具有氰基的高分子化合物等。另外，綠色用發(fā)光層形成材料，例如是在苯環(huán)上導(dǎo)入了烷基、或烷氧基或芳基衍生物取代基的聚乙烯撐苯乙烯衍生物等。藍(lán)色用發(fā)光層形成材料，例如是聚芴衍生物(二烷基芴和蒽的共聚物，或二烷基芴和噻吩的共聚物等)。
并且，通過這些空穴層25和發(fā)光層27形成著有機(jī)電致發(fā)光層(有機(jī)EL層)30。
在有機(jī)EL層30上側(cè)的疏液膜22(第2隔壁W2)的上側(cè)，形成著由鋁等具有光反射性的金屬膜構(gòu)成的作為背面電極的陰極31。陰極31形成為覆蓋住整個(gè)元件形成面11a的側(cè)面，并通過使各像素13共有，以向各發(fā)光元件形成區(qū)域15供給共同的電位。
即，通過這些陽極20、有機(jī)EL層30和陰極31，構(gòu)成作為發(fā)光元件的有機(jī)電致發(fā)光元件(有機(jī)EL元件)。
而且，根據(jù)數(shù)據(jù)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)電流，通過第2漏區(qū)域D2供給到陽極20時(shí)，有機(jī)EL層30以相應(yīng)于該驅(qū)動(dòng)電流的輝度來發(fā)光。這時(shí)，由有機(jī)EL層30向陰極31側(cè)(圖4中的上側(cè))發(fā)出的光，由該陰極31形成反射。由此，由有機(jī)EL層30發(fā)出的光，其大部分透過陽極20、第2層間絕緣膜IL2、第1層間絕緣膜IL1、柵絕緣膜Gox、元件形成面11a和透明基板11，從透明基板11的背面(顯示面11b)向外射出。即，根據(jù)數(shù)據(jù)信號(hào)，圖像顯示在有機(jī)EL顯示器10的顯示面11b上。
在陰極31的上側(cè)，由環(huán)氧樹脂等構(gòu)成粘接層32，通過該粘接層32貼合上密封基板16，覆蓋住元件形成區(qū)域12。密封基板16是無堿玻璃基板，可防止像素13和各種配線Lx、Ly、L1的氧化等。
(有機(jī)EL顯示器10的制造方法)接著對有機(jī)EL顯示器10的制造方法進(jìn)行如下說明。圖6是說明有機(jī)EL顯示器10的制造方法的流程圖，圖7～圖10是說明該有機(jī)EL顯示器10的制造方法的說明圖。
如圖6所示，首先，在透明基板11的元件形成面11a上，形成各種配線Lx、Ly、Lv、Lvc及各個(gè)晶體管T1、T2，對疏液膜22進(jìn)行圖案化，形成液滴收容空間S的收容空間形成工序(步驟S11)。圖7是說明有機(jī)EL層前工序的說明圖。
即，在有機(jī)EL層前工序中，首先，在元件形成面11a的整個(gè)面上，利用準(zhǔn)分子受激激光器等構(gòu)成結(jié)晶化的聚硅膜，對該聚硅膜進(jìn)行圖案化，并形成各個(gè)溝道膜B1、B2。接著，在各溝道膜B1、B2和元件形成面11a上側(cè)的整個(gè)面上，形成由氧化硅膜等構(gòu)成的柵絕緣膜Gox，在該柵絕緣膜Gox上側(cè)的整個(gè)面上，沉積上鉭等低電阻金屬膜。并且，對該低電阻金屬膜進(jìn)行圖案化，并形成各個(gè)柵電極G1、G2、保持電容器Cs的下部電極Cp1和掃描線Lx。
當(dāng)形成各個(gè)柵電極G1、G2時(shí)，通過將該柵電極G1、G2作為掩模的離子摻雜法，分別在各個(gè)溝道膜B1、B2上形成n型雜質(zhì)區(qū)域。由此形成各個(gè)溝道區(qū)域C1、C2、各個(gè)源區(qū)域S1、S2，和各個(gè)漏區(qū)域D1、D2。在各個(gè)溝道膜B1、B2上分別形成各源區(qū)域S1、S2和各漏區(qū)域D1、D2時(shí)，在各個(gè)柵極G1、G2，下部電極Cp1、掃描線Lx和柵絕緣膜Gox上側(cè)的整個(gè)面上，沉積由氧化硅膜等構(gòu)成的第1層間絕緣膜IL1。
當(dāng)沉積第1層間絕緣膜IL1時(shí)，在該第1層間絕緣膜IL1中，與各源區(qū)域S1、S2和各漏區(qū)域D1、D2相對向的位置上，圖案化一對接觸孔。接著，在該接觸孔內(nèi)和第1層間絕緣膜IL1的上側(cè)整個(gè)面上，沉積鋁等的金屬膜，通過對該金屬膜進(jìn)行圖案化，分別形成與各源區(qū)域S1、S2對應(yīng)的數(shù)據(jù)線Ly和保持電容器Cs的上部電極Cp2。同時(shí)，形成與漏區(qū)域D1、D2對應(yīng)的各個(gè)漏電極Dp1、Dp2。同樣，在數(shù)據(jù)線Ly、上部電極Cp2、各個(gè)漏區(qū)域D1、D2，和第1層間絕緣膜IL1的上側(cè)整個(gè)面上，沉積上由氧化硅膜等構(gòu)成的第2層間絕緣膜IL2。由此形成開關(guān)用晶體管T1和驅(qū)動(dòng)用晶體管T2。
沉積第2層間絕緣膜IL2時(shí)，作為該第2層間絕緣膜IL2，與第2漏區(qū)域D2相對向的位置上形成通孔。接著，在該通孔內(nèi)和第2層間絕緣膜IL2的上側(cè)整個(gè)面上，沉積ITO等具有透光性的透明導(dǎo)電膜，通過對該透明導(dǎo)電膜進(jìn)行圖案化，形成與第2漏區(qū)域D2連接的陽極20。當(dāng)形成陽極20時(shí)，在該陽極20和第2層間絕緣膜IL2的上側(cè)整個(gè)面上，沉積上由氧化硅膜等構(gòu)成的第3層間絕緣膜21。
當(dāng)沉積第3層間絕緣膜21時(shí)，如圖7所示，在第3層間絕緣膜21的上側(cè)整個(gè)面上，涂布感光性聚酰亞胺樹脂等，形成疏液膜22。通過掩模Mk，向與陽極20相對位置的疏液膜22上，暴光由所定波長構(gòu)成的曝光光Lpr并進(jìn)行顯像時(shí)，在該疏液膜22上，將第2隔壁W2作內(nèi)周面而圖案化收容孔22h。由此，在元件形成面11a上形成各種配線Lx、Ly、Lv、Lvc及各個(gè)晶體管T1、T2，結(jié)束形成液滴收容空間S的收容空間形成工序。
如圖6所示，當(dāng)結(jié)束收容空間形成工序時(shí)(步驟S11)，對第3層間絕緣膜21進(jìn)行圖案化，進(jìn)行形成引入溝23的引入溝形成工序(步驟S12)。圖8是說明引入溝形成工序的說明圖。
即，在引入溝形成工序中，將疏液膜22作掩模，對第3層間絕緣膜21進(jìn)行等向蝕刻。蝕刻時(shí)，第3層間絕緣膜21，如圖8所示，從其疏液膜22側(cè)形成略呈圓弧狀的蝕刻面Es，很快從陽極20側(cè)擴(kuò)展成錐體狀，形成第1隔壁W1。而且，如果當(dāng)?shù)撞縒1a的尺寸與液滴收容空間S(收容孔22h)的陽極20側(cè)尺寸大致相等時(shí)結(jié)束蝕刻，則在陽極20上面上形成具備第2隔壁W1的貫通孔21h，由其底部W1a圍繞形成彈落面20a。而且，在彈落面20a的外周形成向其面方向外側(cè)延伸的引入溝23。由此，第1隔壁W1對第2隔壁W2(液滴收容空間S)的位置進(jìn)行位置匹配。
如圖6所示，當(dāng)形成引入溝23(步驟12)時(shí)，在收容孔22h內(nèi)形成含有空穴層形成材料25s的空穴層液滴25D，進(jìn)行形成空穴層25的空穴層形成工序(步驟S13)。圖9是說明該空穴層形成工序的說明圖。
以下對形成空穴層液滴25D的液滴噴出裝置的構(gòu)成進(jìn)行說明。
如圖9所示，本實(shí)施方式中，構(gòu)成液滴噴出裝置的液體噴出頭35備有噴嘴板36，在該噴嘴板36的下面(噴嘴形成面36a)上，向上方形成有多個(gè)噴出液體的噴嘴36n。在各噴嘴36n的上側(cè)，形成著與未圖示的液體收容槽連通，并向噴嘴36n內(nèi)供給液體的液體供給室37。在各液體供給室37的上側(cè)，配置有可上下往復(fù)振動(dòng)，以擴(kuò)大縮小液體供給室37內(nèi)容積的振動(dòng)板38。在該振動(dòng)板38的上側(cè)、與各液體供給室37相對向的位置，分別配置有可上下伸縮使振動(dòng)板38振動(dòng)的壓電元件39。
并且，向液滴噴出裝置輸送的透明基板11，如圖9所示，使元件形成面11a與噴嘴形成面36a平行，而且，使各收容孔22h的中心位置分別配置在各噴嘴36n的正下方，并進(jìn)行定位。
向液體供給室37內(nèi)，供給溶解了空穴層形成材料25s的空穴層形成液25L。
另外，為了形成空穴層液滴25D，向液體噴出頭35輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)，根據(jù)該驅(qū)動(dòng)信號(hào)，壓電元件39伸縮，使液體供給室37的容積擴(kuò)大縮小。這時(shí)，縮小液體供給室37的容積時(shí)，相對于縮小容積量的空穴層形成液25L，從各噴嘴36n以微小的空穴層液滴25b噴出。噴出的微小空穴層液滴25b，分別通過液滴收容空間S，彈落在貫通孔21h內(nèi)的彈落面20a上。接著，當(dāng)液體供給室37的容積擴(kuò)大時(shí)，容積擴(kuò)大部分的空穴層形成液25L，從未圖示的液體收容槽供入到液體供給室37內(nèi)。即，液體噴出頭35，通過這種液體供給室37的擴(kuò)大縮小，向收容孔22h噴出所定容量的空穴層形成液25L。另外，這時(shí)，液體噴出頭35，只以空穴層液滴25D中所含的空穴層形成材料25s形成所要厚度的膜的部分(份)來噴出微小的空穴層液滴25b。
而且，彈落在彈落面20a上的微小空穴層液滴25b，與和第1隔壁W1接觸，通過第1隔壁W1的對微小空穴層液滴25b的表面張力(毛細(xì)管力)，沿著引入溝23濕潤擴(kuò)展。即，引入溝23形成為只是向彈落面20a的面方向外側(cè)擴(kuò)展，對微小空穴層液滴25b的表面張力就能擴(kuò)大作用范圍，該微小空穴層液滴25b就能在整個(gè)彈落面20a上均勻地濕潤擴(kuò)展。
在彈落面20a上均勻濕潤擴(kuò)展的微小空穴層液滴25b，如圖9的雙點(diǎn)劃線所示，由其表面張力和第2隔壁W2的疏液性，很快形成表面呈半球狀的空穴層液滴25D。
當(dāng)形成空穴層液滴25D時(shí)，接著在所定的減壓下配置透明基板11(空穴層液滴25)，對該空穴層液滴25D進(jìn)行干燥，使空穴層形成材料25s硬化。只是硬化的空穴層形成材料25s在陽極20的整個(gè)面上均勻地濕潤擴(kuò)展，就能形成具備均勻形狀的空穴層25。由此，在貫通孔21h內(nèi)的整個(gè)彈落面20a上形成具備均勻形狀的空穴層25。
如圖6所示，形成空穴層25時(shí)(步驟S13)，進(jìn)行在各收容孔22h內(nèi)形成的發(fā)光層27的發(fā)光層形成工序(步驟S14)。圖10是說明發(fā)光層形成工序的說明圖。
即，在發(fā)光層形成工序中，如圖10所示，和空穴層形成工序一樣，將含有對應(yīng)色發(fā)光層形成材料27s的發(fā)光層形成液27L的微小的發(fā)光層液滴27b，從各個(gè)噴嘴36n噴出到對應(yīng)的空穴層25上，將由噴出的微小發(fā)光層液滴27b形成的發(fā)光層液滴27D進(jìn)行干燥而形成發(fā)光層27。
這時(shí)，噴出到空穴層25上的微小發(fā)光層液滴27b，只是由引入溝23形成形狀均勻的空穴層25的部分，就能均勻濕潤擴(kuò)展，形成均勻形狀的發(fā)光層27，即形成均勻形狀的有機(jī)EL層30。
如圖6所示，當(dāng)形成空穴層25(有機(jī)EL層30)時(shí)(步驟S14)，在發(fā)光層27(有機(jī)EL層30)和疏液膜22上形成陰極31，進(jìn)行密封像素13的有機(jī)EL層后工序(步驟S15)。即，在有機(jī)EL層30和疏液膜22的上側(cè)整個(gè)面上，沉積由鋁等金屬膜構(gòu)成的陰極31，由陽極20、有機(jī)EL層30和陰極31構(gòu)成的有機(jī)EL元件。當(dāng)形成有機(jī)EL元件時(shí)，在陰極31(像素13)的上側(cè)整個(gè)面上涂布環(huán)氧樹脂，形成粘接層32，通過該粘接層32，將密封基板16貼合在透明基板11上。
由此，可制造出使有機(jī)EL層30的形狀為均勻的有機(jī)EL顯示器10。
以下所述了如上述構(gòu)成的本實(shí)施方式的效果。
(1)根據(jù)上述實(shí)施方式，在形成液滴收容空間S的第2隔壁W2的彈落面20a側(cè)，形成由親液性材料構(gòu)成的第3層間絕緣膜21，并在該第3層間絕緣膜21上形成了貫通孔21h。這樣，使貫通孔21h的內(nèi)周面(第1隔壁W1)形成得從其彈落面20a側(cè)(底部W1a)向該彈落面20a的面方向外側(cè)擴(kuò)展，并在彈落面20a的外周，形成了由第1隔壁W1構(gòu)成的引入溝23。
因此，通過液滴收容空間S，彈落在彈落面20a上的微小空穴層液滴25b，由引入溝23(第1隔壁W1)的表面張力(毛細(xì)管力)，可在該彈落面20a上濕潤擴(kuò)展。
(2)而且，只是以第1隔壁W1向面方向外側(cè)擴(kuò)展形成的部分，就能擴(kuò)大微小空穴層液滴25b和第1隔壁W1的接觸區(qū)域，并能擴(kuò)大對該微小空穴層液滴25b的表面張力的作用范圍。
其結(jié)果，可形成均勻形狀的空穴層25，并能形成均勻形狀的有機(jī)EL層30。由此，可提高有機(jī)EL顯示器10的生產(chǎn)性。
(3)在上述實(shí)施方式中，以在第3層間絕緣膜21上層疊疏液性的疏液膜22，并形成了第2隔壁W2。因此，空穴層液滴25D和發(fā)光層液滴27D不會(huì)泄漏，確實(shí)能收容到液滴收容空間S內(nèi)。而且，由于通過與第1隔壁W1不同的構(gòu)件構(gòu)成第2隔壁W2，所以使微小空穴層液滴25b濕潤擴(kuò)展的材料和收容空穴層液滴25D的材料，其選擇幅度可以擴(kuò)大。由此，能形成形狀均勻的有機(jī)EL層30，而且能提高有機(jī)EL顯示器10的生產(chǎn)性。
(4)根據(jù)上述實(shí)施方式，使具有收容孔22h(第2隔壁W2)的疏液膜22作掩模，對第3層間絕緣膜21進(jìn)行等向蝕刻，形成了貫通孔21h(第1隔壁W1)。因此，可以進(jìn)行第1隔壁W1對第2隔壁W2(液滴收容空間S)位置的位置匹配，沿著彈落面20a的整個(gè)外周，確實(shí)能形成引入溝23。由此，能使空穴層25的形狀確實(shí)均勻，并能使有機(jī)EL層30的形狀均勻。
(5)而且，不必為形成第1隔壁W1而另外形成掩模，由于能夠?qū)Φ?層間絕緣膜21進(jìn)行蝕刻，所以可削減形成第1隔壁W1的工序。并能提高有機(jī)EL顯示器10的生產(chǎn)性。
(6)根據(jù)上述實(shí)施方式，以通過從液滴噴出裝置噴出微小空穴層液滴25b，形成了空穴層液滴25D。因此，確實(shí)能向液滴收容空間S內(nèi)噴出所定量的發(fā)光層形成材料27s，與其他液相法(例如，旋轉(zhuǎn)涂布法等)相比，可形成更均勻形狀的有機(jī)EL層30。
另外，上述實(shí)施方式也可變更如下。
·在上述實(shí)施方式中，是將第1隔壁W1的底部W1a位置，形成為在與收容孔22h的彈落面20a側(cè)相對向的位置上。但并不限于此，也可將底部W1a的位置，配置得比圖5所示位置更靠近彈落面20a的中心位置側(cè)，使該底部W1a形成在與收容孔22h內(nèi)相對向的位置上。據(jù)此，對于通過收容孔22h(液滴收容S)空間而彈落在彈落面20a上的微小空穴層液滴25b，可進(jìn)一步擴(kuò)大該液滴與第1隔壁W1的接觸面積，確實(shí)能使該微小空穴層液滴25b濕潤擴(kuò)展。
·在上述實(shí)施方式中，第1隔壁W1形成得從其底部W1a向彈落面20a的面方向外側(cè)擴(kuò)展，但不限于此，也可以是覆蓋具有收容孔22h的疏液膜22，形成引入溝23的形狀。或者，從底部W1a向彈落面20a的面方向外側(cè)變狹窄，即，形成向彈落面20a內(nèi)側(cè)伸出。
根據(jù)該圖案化基板，只是以使第1隔壁形成為從與液滴收容空間相對向的位置，向第2隔壁變狹窄的部分，就能擴(kuò)大與液滴進(jìn)行親液的區(qū)域，確實(shí)能使噴出到液滴收容空間的液滴形成濕潤擴(kuò)展。
·在上述實(shí)施方式中，雖然將具有收容孔22h的疏液膜22作掩模，形成貫通孔21h(第1隔壁W1)，但不限于此，也可在形成第1隔壁W1后，再形成收容孔22h。
·在上述實(shí)施方式中，第1隔壁W1和第2隔壁W2，分別用不同的構(gòu)件(第3層間絕緣膜21和疏液膜22)形成。但不限于此，第1隔壁W1和第2隔壁W2也可用同一種構(gòu)件形成。
·在上述實(shí)施方式中，雖然將圖案具體化成空穴層25，但不限于此，例如可以是發(fā)光層27，還可以是由液滴形成的各色濾色片。
·在上述實(shí)施方式中，雖然將有機(jī)EL顯示器10具體化成底部發(fā)射型的，但不限于此，也可具體化成頂部發(fā)射型的。即，也可在背面電極上形成引入溝23。
·在上述實(shí)施方式中，其構(gòu)成為使有機(jī)EL層30是通過噴墨法形成。不限于此，有機(jī)EL層30的形成方法，例如可以通過旋轉(zhuǎn)涂布法等，涂布液體形成空穴層液滴25D或發(fā)光層液滴27D，最好是將液體干燥，固化形成有機(jī)EL層30的方法。
·上述實(shí)施方式中，其構(gòu)成為控制元件形成區(qū)域14中具備開關(guān)用晶體管T1和驅(qū)動(dòng)用晶體管T2，但不限于此構(gòu)成，也可以是由所定的元件設(shè)計(jì)，例如1個(gè)晶體管或多個(gè)晶體管，或多個(gè)電容器構(gòu)成的構(gòu)成。
·上述實(shí)施方式中，其構(gòu)成為有機(jī)EL層30是利用噴墨法形成的。不限于此，也可以是旋轉(zhuǎn)涂布法等，通過使液體干燥、固化形成有機(jī)EL層30的方法。
·上述實(shí)施方式中，雖然通過壓電元件39噴出微小空穴層液滴25b，但不限于此，例如也可以在液體供給室37內(nèi)設(shè)置電阻加熱元件，通過加熱該電阻加熱元件，使形成的氣泡破裂，噴出微小空穴層液滴25b。
·上述實(shí)施方式中，雖然將電光學(xué)裝置具體化成有機(jī)EL顯示器10，但不限于此，例如可以是安裝在液晶面板上的背光等，或者是具備平面狀的電子釋放元件，利用由該元件釋放的電子而產(chǎn)生的熒光物質(zhì)之發(fā)光的電場效應(yīng)型顯示器(FED和SED等)。
權(quán)利要求
1.一種圖案形成基板，其是具備向由基底層上形成的隔壁圍繞的液滴收容空間內(nèi)，通過噴出含圖案形成材料的液滴而形成之圖案的圖案形成基板，其特征在于，其中上述隔壁，在上述基底層側(cè)具備對上述液滴具有親液性并向著上述基底層的面方向外側(cè)的凹部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案形成基板，其特征在于，其中上述隔壁具備在上述基底層上形成的第1隔壁、和在上述第1隔壁上形成的第2隔壁，上述液滴收容空間由上述第2隔壁形成，上述凹部由比上述第2隔壁還位于上述面方向外側(cè)的上述第1隔壁形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖案形成基板，其特征在于其中上述第1隔壁形成為從上述基底層與上述液滴收容空間相對向的位置，向著上述第2隔壁，沿上述面方向外側(cè)擴(kuò)展。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖案形成基板，其特征在于其中上述第1隔壁形成為從上述基底層與上述液滴收容空間相對向的位置，向著上述第2隔壁，沿上述面方向外側(cè)變狹窄。
5.根據(jù)權(quán)利要求2～4中所述的圖案形成基板，其特征在于其中上述第1隔壁具有對上述液滴親液的親液性，上述第2隔壁具有對上述液滴疏液的疏液性。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5的任一項(xiàng)中所述的圖案形成基板，其特征在于，其中上述圖案形成材料是發(fā)光元件形成材料，上述圖案是發(fā)光元件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6的任一項(xiàng)中所述的圖案形成基板，其特征在于，其中上述圖案形成材料是濾色片形成材料，上述圖案是濾色片。
8.一種電光學(xué)裝置，其是具備向由基底層上形成的隔壁圍繞的液滴收容空間內(nèi)，通過噴出含發(fā)光元件形成材料的液滴而形成的發(fā)光元件的電光學(xué)裝置，其特征在于，其中上述隔壁，在上述基底層側(cè)形成了對上述液滴具有親液性并沿上述基底層的面方向外側(cè)延伸的凹部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電光學(xué)裝置，其特征在于，其中上述隔壁具備在上述基底層上形成的第1隔壁、和在上述第1隔壁上形成的第2隔壁，上述液滴收容空間由上述第2隔壁形成，上述凹部由比上述第2隔壁還位于上述面方向外側(cè)的第1隔壁形成。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電光學(xué)裝置，其特征在于，其中上述第1隔壁形成為從上述基底層與上述液滴收容空間相對向的位置，向著上述第2隔壁，沿上述面方向外側(cè)擴(kuò)展。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電光學(xué)裝置，其特征在于，其中上述第1隔壁具有對上述液滴親液的親液性、上述第2隔壁具有對上述液滴疏液的疏液性。
12.根據(jù)權(quán)利要求9～11的任一項(xiàng)中所述的電光學(xué)裝置，其特征在于，其中上述發(fā)光元件是在透明電極和背面電極之間具備發(fā)光層的電致發(fā)光元件。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電光學(xué)裝置，其特征在于，其中上述發(fā)光元件是具備由有機(jī)材料構(gòu)成的發(fā)光層的有機(jī)電致發(fā)光元件。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的電光學(xué)裝置，其特征在于，其中上述基底層是上述透明電極和上述背面電極中的任一個(gè)。
15.一種電光學(xué)裝置的制造方法，其是在基底層上形成圍繞液滴收容空間的隔壁，并向該液滴收容空間內(nèi)噴出含發(fā)光元件形成材料的液滴，以形成發(fā)光元件的電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于，其中在噴出上述液滴之前，在上述隔壁的基底層側(cè)，形成具有對上述液滴親液性并沿上述基底層的面方向外側(cè)延伸的凹部。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于，其中上述隔壁具備形成上述液滴收容空間的第2隔壁、和在上述第2隔壁和上述基底層之間形成上述凹部的第1隔壁，對層疊在上述基底層上的第1隔壁層之上的第2隔壁層進(jìn)行圖案化，形成圍繞上述液滴收容空間的上述第2隔壁后，對上述第1隔壁層進(jìn)行圖案化，以形成比上述第2隔壁還位于上述面方向外側(cè)的上述第1隔壁。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于，其中將上述第2隔壁作為掩模，通過對上述第1隔壁層進(jìn)行等向蝕刻，以形成上述第1隔壁。
18.根據(jù)權(quán)利要求15～17的任一項(xiàng)中所述的電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于，其中上述基底層是透明電極和背面電極中的任一個(gè)，上述發(fā)光元件是上述透明電極和上述背面電極之間具有發(fā)光層的電致發(fā)光元件。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于，其中上述發(fā)光元件是具備由有機(jī)材料構(gòu)成的發(fā)光層的有機(jī)電致發(fā)光元件。
20.根據(jù)權(quán)利要求15～17的任一項(xiàng)中所述的電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于，其中上述液滴是由液滴噴出裝置噴出的。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種提高了液滴形成圖案形狀均勻性的圖案形成基板、電光學(xué)裝置、及電光學(xué)裝置的制造方法。在形成液滴收容空間(S)的第2隔壁(W2)的彈落面(20a)側(cè)上，形成由親液性材料構(gòu)成的第3層間絕緣膜(21)、并在該第3層間絕緣膜(21)上形成了貫通孔(21h)。這樣，使貫通孔(21h)的內(nèi)周面(第1隔壁(W1))形成為從該彈落面(20a)側(cè)(底部(W1a))向該彈落面(20a)的面方向外側(cè)擴(kuò)展，并在彈落面(20a)的外周，由第1隔壁(W1)形成引入溝(23)。
文檔編號(hào)G02B5/20GK1794482SQ20051013697
公開日2006年6月28日 申請日期2005年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月21日
發(fā)明者酒井寬文 申請人:精工愛普生株式會(huì)社