專利名稱：一種針對固定噴頭型散布裝置的墊料分區(qū)域控制散布法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液晶顯示器的制造工藝，尤其涉及一種針對固定噴頭型散布裝置的墊料分區(qū)域控制散布法。
背景技術(shù)：
液晶顯示器生產(chǎn)工藝過程中，在成盒工序中，需要在大尺寸(1100×1300mm)基板上均勻散布直徑大約3～5μm的塑料小球，散布密度約為100～300個/mm2，針對中心散布密度散布均一性應(yīng)控制在σ15％以內(nèi)。
目前，散布的方式有干式(氣體噴灑)和濕式(可揮發(fā)的藥液攜帶噴灑)兩種。針對大尺寸玻璃基板一般采用干式噴灑，干式散布機又分為兩種噴頭可動及噴頭固定的兩種。噴頭可動的散布裝置通過控制噴頭走行路線控制散布的均勻性，噴頭固定的散布裝置通過控制噴口的氣體壓力和散布模式，達到均勻性的目的。噴頭可動控制裝置程序設(shè)計比較復(fù)雜；而噴頭固定裝置由于氣體同時控制，對局部的不均勻很難得到有效控制。
噴頭固定型散布裝置有1個可加高電壓的散布腔體及4個散布噴口，通過調(diào)節(jié)腔體高電壓。這種噴頭固定型散布裝置可通過組合噴頭并同時控制所有噴頭的散布壓力可調(diào)節(jié)基板面內(nèi)及中間的散布密度，對整體的均勻性進行調(diào)解。在實際的應(yīng)用中，由于不同基板帶電量不完全相同，及長時間散布后腔體內(nèi)壁由于積滿塑料小球而造成的四周電場分布不均勻，此時通過調(diào)節(jié)電壓和氣壓，也不能夠改善局部殘缺，從而導(dǎo)致散布密度均一性的波動。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明采用分別控制噴頭壓力，綜合調(diào)配的控制方式，針對固定噴口散布裝置的缺點，對散布密度的均勻性進行分區(qū)域多角度控制，提供一種針對固定噴頭型散布裝置的墊料分區(qū)域控制散布法，該方法包括如下步驟1)如圖1所示的噴口1～4，分別控制各個噴口的送氣管道，以便自由調(diào)節(jié)噴口1～4的送氣壓力；2)分別對噴口1、2、3和4進行氣壓對散布密度分布試驗，得到噴口1～4對散布密度區(qū)域如圖2所示的圖像，再根據(jù)噴口1～4在區(qū)域1～4上的散布密度Yp及各個噴口的總散布密度xq，得出噴口散布分配比率Npq；3)根據(jù)散布密度分配比率Npq，對各個噴口的散布結(jié)果進行整合，設(shè)計出式I所示的散布數(shù)學(xué)模型，模擬以保證散布均勻的調(diào)配，Npq×Δx＝Y(jié)p-S+(Nq1+Nq2+Nq3+Nq4-Nqp)×Δx/3式I其中，S為平均散布密度，Δx為某噴口需要調(diào)節(jié)的密度差，p＝1、2、3或4，q＝1、2、3或4；4)通過綜合調(diào)配考慮，計算出散布密度區(qū)域分布所需的散布值，結(jié)合氣體壓力對應(yīng)散布密度試驗的結(jié)果，找出滿足均一性的散布壓力條件；5)根據(jù)步驟4)得出的壓力條件，調(diào)整某個噴口或某組噴口的壓力，比如123、234、341或412，這樣可以提高材料的利用率，加快散布速度。
上述式I的推導(dǎo)如下所示如圖1所示，假設(shè)噴口1、2、3和4的散布密度分別為x1、x2、x3和x4，分配比率分別為N11～N44；如圖2所示，基板上各噴口所對應(yīng)的區(qū)域1、2、3和4的密度分別為Y1、Y2、Y3和Y4；
則，基板面內(nèi)平均散布密度S＝(Y1+Y2+Y3+Y4)/4表1各區(qū)域散布密度和分配比率

區(qū)域1密度Y1＝N11x1+N12x2+N13x3+N14x4區(qū)域2密度Y2＝N21x1+N22x2+N23x3+N24x4區(qū)域3密度Y3＝N31x1+N32x2+N33x3+N34x4區(qū)域4密度Y4＝N41x1+N42x2+N43x3+N44x4比較Y1、Y2、Y3和Y4，找出急需調(diào)整的區(qū)域。
若Yp(p＝1、2、3或4)需要調(diào)整(Yp-S)個，則應(yīng)該找出Yp中權(quán)重較大的，即Np1、Np2、Np3或Np4中最大的。假如是Npq(q＝1、2、3或4)，則應(yīng)該相應(yīng)增加或減少某噴口的密度值為Δx，同時要盡量減少對其他區(qū)域的影響，可采用如下計算式INpq×Δx＝Y(jié)p-S+(Nq1+Nq2+Nq3+Nq4-Nqp)×Δx/3式I則可以得出Δx。
假設(shè)在試驗中Y1需要調(diào)整(Y1-S)個，則應(yīng)該找出Y1中權(quán)重較大的，即N11、N12、N13或N14中最大的，假如是N12，則應(yīng)該相應(yīng)增加或減少噴口234的密度值為Δx，同時要盡量減少對其他區(qū)域的影響，則式I為下列具體計算式N12×Δx＝Y(jié)1-S+(N22+N23+N24)×Δx/3可以得出Δx。
通過實驗總結(jié)散布壓力對應(yīng)密度增長傾向規(guī)律，通過調(diào)整相應(yīng)噴口的壓力為目標值，就可以使其密度增加Δx個，達到平衡區(qū)域散布密度的目的。
在長期應(yīng)用過程中，如果由于局部散布密度偏低或偏高而導(dǎo)致散布均一性，變差時也可以利用式I所示的散布數(shù)學(xué)模型，通過單獨調(diào)整某個噴口或某組噴口的壓力，既可以單獨控制局部區(qū)域，又可以減少對周圍散布密度的影響。
本發(fā)明的方法通過提出組合控制及分解控制，有目的地調(diào)節(jié)塑料小球各個方向吹送的氣壓壓力，保證基板各處散布密度的均一性。
本發(fā)明的積極進步效果在于本發(fā)明的方法有效的引進了多因素控制渠道，比較傳統(tǒng)的通過更改電壓改變周邊和面內(nèi)分布情況，更加有效的對塑料小球的散布進行掌控，能夠?qū)⑸⒉嫉木恍钥刂圃讦?0％左右。


圖1為固定噴頭型散布裝置的噴口布置示意圖；圖2為圖1所示的固定噴頭型散布裝置散布塑料小球后，基板上所對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)小球散布密度分布圖；圖3為采用噴頭123、234、341和412組合進行散布塑料小球分別得到的小球區(qū)域散布密度分布圖；
圖4為散布密度與散布壓力之間的關(guān)系示意圖。
具體實施例方式
實施例1(1)采用噴頭123、234、341和412組合進行散布塑料小球，分別得到圖3所示的散布區(qū)域密度分布圖。
(2)建立區(qū)域散布數(shù)學(xué)模型表2各區(qū)域散布密度和分配比率

設(shè)噴口組合123、234、341和412的散布密度分別為x1、x2、x3和x4區(qū)域1、2、3和4的密度分別為Y1、Y2、Y3和Y4則面內(nèi)總和密度S＝2.2x1+2.5x2+2.8x3+2.5x4區(qū)域1密度Y1＝1.2x1+2.6x2+4.3x3+2.2x4區(qū)域2密度Y2＝2.0x1+3.7x2+2.5x3+1.3x4區(qū)域3密度Y3＝2.0x1+1.7x2+1.8x3+4.8x4區(qū)域4密度Y4＝4.7x1+1.9x2+1.3x3+1.7x4
要減少區(qū)域間散布密度偏差，必須平衡增加主要決定因素的散布密度。
(3)根據(jù)具體情況調(diào)整散布參數(shù)例如區(qū)域1比整體的平均值少150個，應(yīng)該相應(yīng)增加x3的密度值為Δx3。同時要盡量減少對其他區(qū)域的影響，采用計算式I4.3×Δx3＝150+(2.5+1.8+1.3)×Δx3/3可以得出Δx3＝60個通過實驗總結(jié)散布壓力對應(yīng)密度增長傾向規(guī)律(如圖4所示)，通過調(diào)整噴口341的壓力為0.4MPa，就使區(qū)域1的散布密度增加60個，達到平衡區(qū)域散布密度的目的。
權(quán)利要求
1.一種針對固定噴頭型散布裝置的墊料分區(qū)域控制散布法，該方法包括如下步驟1)如圖1所示的噴口1～4，分別控制各個噴口的送氣管道，以便自由調(diào)節(jié)噴口1～4的送氣壓力；2)分別對噴口1、2、3和4進行氣壓對散布密度分布試驗，得到噴口1～4對散布密度區(qū)域如圖2所示的圖像，再根據(jù)噴口1～4在區(qū)域1～4上的散布密度Yp及各個噴口的總散布密度xq，得出噴口散布分配比率Npq；3)根據(jù)散布密度分配比率Npq，對各個噴口的散布結(jié)果進行整合，設(shè)計出式I所示的散布數(shù)學(xué)模型，Npq×Δx＝Y(jié)p-S+(Nq1+Nq2+Nq3+Nq4-Nqp)×Δx/3式I其中，S為平均散布密度，Δx為某噴口需要調(diào)節(jié)的密度差，p＝1、2、3或4，q＝1、2、3或4；4)通過綜合調(diào)配考慮，計算出散布密度區(qū)域分布所需的散布值，結(jié)合氣體壓力對應(yīng)散布密度試驗的結(jié)果，找出滿足均一性的散布壓力條件；5)根據(jù)步驟4)得出的壓力條件，調(diào)整某個噴口或某組噴口的壓力。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種針對固定噴頭型散布裝置的墊料分區(qū)域控制散布法，該方法包括如下步驟1)分別控制各個噴口的送氣管道；2)對噴口1、2、3和4進行氣壓對散布密度分布試驗，再根據(jù)各噴口在各區(qū)域上的散布密度Y
文檔編號G02F1/13GK1996112SQ200510112260
公開日2007年7月11日 申請日期2005年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月28日
發(fā)明者馬宏 申請人:上海廣電Nec液晶顯示器有限公司