專利名稱：擦拭裝置、具有它的描繪裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置和電子設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及通過散布有清洗液的擦拭薄片，擦拭噴出功能液滴的功能液滴噴出頭的噴嘴面的擦拭裝置、具有它的描繪裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置和電子設備。
背景技術：
擦拭裝置具有送出擦拭薄片的送出卷軸、卷繞送出的擦拭薄片的卷繞卷軸、使送出的擦拭薄片回繞的擦拭輥、使卷繞卷軸卷繞旋轉的卷繞電機。而且，一邊驅動卷繞電機，輸送擦拭薄片，一邊通過擦拭輥把它按在功能液滴噴出頭的噴嘴面上，從而使擦拭薄片與噴嘴面滑動接觸，進行擦拭動作。
此外，在擦拭薄片的薄片輸送路線上，位于擦拭輥的附近，設置清洗液供給頭。在擦拭噴嘴面之前向擦拭薄片散布清洗液，功能液滴噴出頭的噴嘴面的擦拭由浸漬了清洗液的擦拭薄片進行。
專利文獻特開2003-127405號公報可是，清洗液雖然提高基于擦拭的噴嘴面的擦拭效率，但是如果在擦拭薄片上散步過剩的清洗液，則清洗液浸入在噴嘴面上開口的噴出噴嘴內，無法恰當地維護功能液滴噴出頭。因此，考慮由能把微量的清洗液滴噴霧的噴霧噴嘴構成清洗液供給頭，向擦拭薄片供給均勻并且適量的清洗液?？墒?，如果用噴霧噴嘴向擦拭薄片供給清洗液，則清洗液滴的一部分就變?yōu)殪F狀，從擦拭薄片偏離，浮游、飛散，所以清洗液會附著在周圍裝置上，成為腐蝕的原因。

發(fā)明內容
因此，本發(fā)明的課題在于提供能有效防止噴霧的清洗液向裝置外的浮游、飛散的擦拭裝置、具有它的描繪裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置和電子設備。
本發(fā)明的擦拭裝置通過涂有溶解功能液的清洗液的擦拭薄片擦拭功能液滴噴出頭的噴嘴面，其特征在于包括送出擦拭薄片的送出卷軸；對從送出卷軸送出的擦拭薄片噴霧、涂抹清洗液的噴霧頭；把涂抹了清洗液的擦拭薄片按在功能液滴噴出頭的噴嘴面上，進行擦拭動作的擦拭構件；卷繞經由了擦拭構件的擦拭薄片的卷繞卷軸；至少覆蓋送出卷軸、卷繞卷軸、擦拭構件和噴霧頭、以及經由擦拭構件從送出卷軸到達卷繞卷軸的擦拭薄片的輸送路線的蓋箱；以及支撐這些構成零件的裝置框架；其中，在蓋箱上形成擦拭構件突出的構件開口。
根據該結構，由蓋箱覆蓋將清洗液噴霧的噴霧頭、和將清洗液噴霧的擦拭薄片周圍，所以能防止清洗液浮游、飛散到蓋箱外。此外，在蓋箱上形成擦拭構件突出的構件開口，不取下蓋箱就能進行擦拭。
這時，優(yōu)選在構件開口的開口邊緣部配置密封構件開口和擦拭構件之間的間隙的氣密性材料。
根據該結構，通過氣密性材料，能防止噴霧的清洗液從構件開口和擦拭構件之間的間隙向外部飛散。
這時，優(yōu)選還具有支撐擦拭構件，并且使其從構件開口出沒的出沒移動機構；開關構件開口的開關蓋；與基于出沒移動機構的擦拭構件沒入動作聯(lián)動，關閉開關蓋的蓋聯(lián)動機構。
根據該結構，設置有與擦拭構件的沒入動作聯(lián)動，開關構件開口的開關蓋，所以只在擦拭動作時打開構件開口，能削減從構件開口飛散到外部的清洗液。須指出的是，這時優(yōu)選在構件開口的關閉時進行清洗液的噴霧。
這時，優(yōu)選在上端部配置擦拭構件，在上部配置噴霧頭，在下部配置送出卷軸和卷繞卷軸，蓋箱由覆蓋上部的上覆蓋部和覆蓋下部的下覆蓋部構成，上覆蓋部和下覆蓋部對于裝置框架，分別可自由拆裝地安裝。此外這時，優(yōu)選上覆蓋部形成截斷構件開口的對開構造，對于裝置框架，分別可自由拆裝地安裝。
根據該結構，蓋箱由多個部分構成，它們分別可自由拆裝地安裝，所以在維護時，能只取下必要的地方，進行作業(yè)。例如進行噴霧頭的周圍的維護時，可以只取下上覆蓋部(的一部分)。
這時，優(yōu)選還具有支撐噴霧頭的托架臂；以及通過托架臂使噴霧頭在擦拭薄片的寬度方向掃描噴霧的頭掃描機構；在上覆蓋部形成托架臂面對的狹長開口。
根據該結構，通過狹長開口，允許托架臂的移動，所以能在蓋箱內使噴霧頭在擦拭薄片的寬度方向噴霧掃描。因此，沒必要按照擦拭薄片的寬度設置噴霧頭。
這時，優(yōu)選蓋箱具有相互平行對峙的一對側板，一對側板的至少一方兼任裝置框架。
根據該結構，蓋箱的側板的至少一方兼任裝置框架，所以能削減零件數量。
這時，優(yōu)選在蓋箱上連接與排氣設備連接的排氣管路。
根據該結構，蓋箱內的混合清洗液的氣體通過排氣管路排氣，所以即使蓋箱的密封性不充分，也能防止清洗液泄漏到外部。
這時，優(yōu)選還具有在蓋箱內配置的加濕裝置。
根據該結構，能通過加濕裝置控制蓋箱內的濕度。因此，散布有揮發(fā)性的清洗液的擦拭薄片能抑制到達功能液滴噴出頭之前的清洗液的氣化。
這時，優(yōu)選還具有在蓋箱的底面接受清洗液的防液盤。
根據該結構，通過設置在蓋箱的底面的防液盤，能接受從擦拭薄片偏離噴霧的清洗液、從擦拭薄片滴下的清洗液。
本發(fā)明的描繪裝置的特征在于包括所述任意的擦拭裝置、以及功能液滴噴出頭，一邊使功能液滴噴出頭相對移動，一邊驅動該功能液滴噴出頭噴出，從而對工件進行基于功能液滴噴出頭的描繪。
根據該結構，該描繪裝置具有能防止清洗液的浮游、飛散的擦拭裝置，所以不會損傷蓋箱外的裝置，能通過噴霧噴嘴對擦拭薄片供給適量的清洗液。因此，能用供給了適量的清洗液的擦拭薄片擦拭功能液滴噴出頭的噴嘴面，能恰當地維護功能液滴噴出頭。
本發(fā)明的電光裝置的制造方法的特征在于使用所述描繪裝置，在工件上形成基于功能液滴的成膜部。此外，本發(fā)明的電光裝置的特征在于使用所述描繪裝置，在工件上形成基于功能液滴的成膜部。
根據這些結構，能防止清洗液的飛散，并且使用能恰當維護功能液滴噴出頭的描繪裝置進行電光裝置的制造，所以高效的制造成為可能。須指出的是，作為電光裝置(器件)，可以考慮到液晶顯示裝置、有機EL(Electro-Luminescence)裝置、電子發(fā)射裝置、PDP(Plasma Display Panel)裝置和電泳顯示裝置等。須指出的是，電子發(fā)射裝置是包含所謂的FED(Field Emission Display)裝置或SED(Surface-Conduction Electron-EmitterDisplay)裝置的概念。作為電光裝置，考慮到包含金屬布線的形成、透鏡的形成、抗蝕劑的形成、光擴散體的形成的裝置。
本發(fā)明的電子設備的特征在于搭載有由所述電光裝置的制造方法制造的電光裝置或所述電光裝置。
這時，作為電子設備，有搭載有所謂的平板顯示器的移動電話、個人電腦、各種電氣制品。
如上所述，本發(fā)明的擦拭裝置通過蓋箱防止清洗液的浮游、飛散，所以清洗液不會附著在蓋箱的裝置上，能防止清洗液的附著引起的裝置的損傷。
此外，在本發(fā)明的描繪裝置中，在防止從擦拭裝置飛散的清洗液引起的腐蝕等的同時，由擦拭裝置恰當地維護功能液滴噴出頭，所以在維護效率提高的同時，能提高描繪精度。而且，本發(fā)明的電光裝置的制造方法和制造裝置使用所述描繪裝置，所以能高效制造它們。


圖1是本發(fā)明實施例的描繪裝置的平面模式圖。
圖2是本發(fā)明實施例的描繪裝置的正面模式圖。
圖3是支撐框架周圍的平面模式圖。
圖4是功能液滴噴出頭的外觀立體圖。
圖5A、B是壓力調整閥的說明圖，圖5A是壓力調整閥的外觀立體圖，圖5B是壓力調整閥的縱剖視圖。
圖6是擦拭部件的外觀立體圖。
圖7是擦拭部件的說明圖，是取下蓋箱的一部分時的外觀立體圖。
圖8是擦拭部件的說明圖，是取下蓋箱的一部分時，從左側觀察的外觀立體圖。
圖9是擦拭部件的主視圖。
圖10是擦拭部件周圍的左側視圖。
圖11是右上蓋和清洗液噴霧部件周圍的外觀立體圖。
圖12是說明描繪裝置的主控制系統(tǒng)的框圖。
圖13是表示實施例2的擦拭部件的外觀立體圖。
圖14是取下蓋箱后的實施例2的擦拭部件的外觀立體圖。
圖15是表示實施例2的擦拭部件的剖視圖。
圖16是頭移動機構周圍的平面圖。
圖17A、B是開關機構的說明圖，圖17A是表示開關蓋關閉時的圖，圖17B是表示開關蓋打開時的圖。
圖18是說明濾色器的制造工序的程序流程圖。
圖19A、B是按照制造工序表示的濾色器的模式剖視圖。
圖20是表示使用本發(fā)明的濾色器的液晶裝置的概略結構的主要部分剖視圖。
圖21是表示使用本發(fā)明的濾色器的第2例液晶裝置的概略結構的主要部分剖視圖。
圖22是表示使用本發(fā)明的濾色器的第3例液晶裝置的概略結構的主要部分剖視圖。
圖23是有機EL裝置即顯示裝置的主要部分剖視圖。
圖24是說明有機EL裝置即顯示裝置的制造工序的程序流程圖。
圖25是說明無機物圍堰層的形成的主要部分剖視圖。
圖26是說明有機物圍堰層的形成的主要部分剖視圖。
圖27是說明形成空穴注入/輸送層的過程的主要部分剖視圖。
圖28是說明形成了空穴注入/輸送層的狀態(tài)的主要部分剖視圖。
圖29是說明形成藍色發(fā)光層的過程的主要部分剖視圖。
圖30是說明形成了藍色發(fā)光層的狀態(tài)的主要部分剖視圖。
圖31是說明形成了各色發(fā)光層的狀態(tài)的主要部分剖視圖。
圖32是說明陰極的形成的主要部分剖視圖。
圖33是等離子體顯示裝置(PDP裝置)即顯示裝置的主要部分分解立體圖。
圖34是電子發(fā)射裝置(FED裝置)即顯示裝置的主要部分分解立體圖。
圖35A、B是顯示裝置的電子發(fā)射部周圍的平面圖(35A)和表示其形成方法的平面圖(35B)。
圖中1-描繪裝置；3-液滴噴出裝置；5-頭維護裝置；31-功能液滴噴出頭；47-噴嘴面；103-擦拭部件；111-擦拭薄片；113-裝置框架；117-蓋箱；131-送出卷軸；132-卷繞卷軸；151-擦拭輥151；202-噴霧頭；206-頭移動機構；232-臂部；261-輥開口；262-上蓋；263-下蓋；276-狹長開口；405-側框架；415-輥升降機構；467-氣密性材料；471-開關蓋；472-開關機構；492-加濕裝置；W-工件。
具體實施例方式
下面，參照

應用了本發(fā)明的描繪裝置。該描繪裝置組入所謂的平板顯示器的生產線中，通過使用功能液滴噴出頭的液滴噴出法，形成液晶顯示裝置的濾色器、構成有機EL裝置的各象素的發(fā)光元件等。
如圖1和圖2所示，描繪裝置1包括機臺2；具有功能液滴噴出頭31、廣泛放置在機臺2的整個區(qū)域中的液滴噴出裝置3；連接在液滴噴出裝置3上的功能液供給裝置4；安放在機臺2上、從而設置在液滴噴出裝置3中的頭維護裝置5。此外，在描繪裝置1中設置有圖外的控制裝置6，在描繪裝置1中，液滴噴出裝置3一邊通過功能液供給裝置4接受功能液的供給，一邊根據控制裝置6的控制，由液滴噴出裝置3對工件W進行描繪動作，并且頭維護裝置5對功能液滴噴出頭31適當進行維護動作(維護)。
如圖1和圖2所示，液滴噴出裝置3具有由使工件W主掃描(在X軸方向移動)的X軸臺12和與X軸臺12正交的Y軸臺13構成的XY移動機構11；可自由移動地安裝在Y軸臺13上的主滑架14；垂直設置在主滑架14上，搭載功能液滴噴出頭31的頭部件15。
X軸臺12具有由構成X軸方向的驅動系統(tǒng)的X軸電機(省略圖示)驅動的X軸滑塊21，在其上可自由移動地搭載由吸附臺22和θ臺23等構成的設置臺24。同樣，Y軸臺13具有由構成Y軸方向的驅動系統(tǒng)的Y軸電機(省略圖示)驅動的Y軸滑塊25，在其上可自由移動地搭載支撐頭部件15的所述主滑架14。須指出的是，X軸臺12與X軸方向平行配置，直接支撐在機臺2上。而Y軸臺13由直立設置在機臺2上的左右支柱26支撐，跨X軸臺12和頭維護裝置5而在Y軸方向延伸(參照圖1)。
在本實施例的描繪裝置1中，X軸臺12和Y軸臺13交叉的區(qū)域成為進行工件W的描繪的描繪區(qū)27，Y軸臺13和頭維護裝置5交叉的區(qū)域成為進行對功能液滴噴出頭31的功能恢復處理的維護區(qū)28，當對工件W進行描繪時，使頭部件面對描繪區(qū)27，當進行功能恢復處理時，使頭部件面對維護區(qū)28。
頭部件15具有多個(12個)功能液滴噴出頭31；通過頭保持構件(省略圖示)搭載功能液滴噴出頭31的頭板32。頭板32可自由拆裝地由支撐框架33支撐，頭部件15通過支撐框架33，在定位的狀態(tài)下搭載在主滑架14上。須指出的是，后面詳細描述，但是在支撐框架33上，與頭部件15并列，支撐著功能液供給裝置4的閥門部件34和容器部件35(參照圖2和圖3)。
如圖4所示，功能液滴噴出頭31是所謂的雙聯(lián)的，包括具有雙聯(lián)的連接針41的功能液導入部42；與功能液導入部42連接的雙聯(lián)的頭襯底43；與功能液導入部42的下方連接，內部由功能液充滿的形成有頭內流道的頭主體44。連接針41連接在圖外的功能液供給裝置4上，對功能液滴噴出頭31的頭內流道供給功能液。頭主體44由腔體(壓電元件)45、具有噴出噴嘴46開口的噴嘴面47的噴嘴板48構成。在噴嘴面47上形成2列由多個(180個)噴出噴嘴46構成的噴嘴列。雖然省略圖示，但是在噴嘴面47上，圍繞噴嘴列形成淺溝，在該淺溝上形成開口。如果驅動功能液滴噴出頭31噴出，則通過腔體45的泵作用，從噴出噴嘴46噴出功能液滴。
頭板32由具有抗功能液腐蝕性的不銹鋼等構成的方形厚板形成。在頭板32上，12個功能液滴噴出頭31定位，形成從背面一側通過頭保持構件固定它的12個安裝開口(省略圖示)。12個安裝開口按兩個一組分為6組，在與功能液滴噴出頭31的噴嘴列正交的方向(頭板32的長度方向)上錯開位置形成各組的安裝開口，從而一部分重復。即12個功能液滴噴出頭31按兩個一組分為6組，在與噴嘴列正交的方向，功能液滴噴出頭31的噴嘴列為了構成1描繪線(一部分重復)，配置為階梯狀(參照圖3)。
須指出的是，形成在各功能液滴噴出頭31上的2列噴嘴列分別由具有4點的間隔而配置的多個(180個)噴出噴嘴46構成，兩噴嘴列在列方向錯開2點位置配置。即在各功能液滴噴出頭31上，通過2列的噴嘴列形成2點間隔的描繪線。而同一組相鄰的2個功能液滴噴出頭配置為各(2點間隔的)描繪線在列方向錯開1點位置，通過1組功能液滴噴出頭31，形成1點間隔的描繪線。即同一組2個功能液滴噴出頭31配置為1/4析像度的各噴嘴列彼此位置錯開，與其它5組10個功能液滴噴出頭31一起構成1描繪線的高析像度的噴嘴列。
主滑架14由以下部分構成從下側固定在Y軸臺13上的外觀“I”形的吊設構件51；安裝在吊設構件51的下面，用于進行對(頭部件15的)θ方向的位置修正的θ旋轉機構52；吊設安裝在θ旋轉機構52的下方的滑架主體53。滑架主體53通過支撐框架33支撐頭部件15(參照圖2)。雖然省略圖示，但是在滑架主體53上形成用于游動嵌入支撐框架33的方形開口，并且設置用于對支撐框架33定位的定位機構，能在把頭部件15定位的狀態(tài)下固定。
如圖1～3所示，功能液供給裝置4與頭部件15一起搭載在所述支撐框架33上，包括存儲功能液的多個(12個)功能液容器61構成的容器部件35；連接各功能液容器61和各功能液滴噴出頭31的多個(12個)功能液供給管62；設置在多個功能液供給管62中的由多個(12個)壓力調整閥63構成的閥門部件34。
如圖3所示，支撐框架33形成大致方形的框狀，對于其長度方向，按照頭部件15、閥門部件34、容器部件35的順序，搭載它們。雖然省略圖示，但是在支撐框架33上設有用于對從下方安裝的頭部件15(頭板32)定位的頭定位機構。頭定位機構具有從支撐框架33向下方突出的3個定位銷(省略圖示)，通過使3個定位銷與頭板32的端面接觸，能以良好精度定位搭載頭部件15。須指出的是，如圖2和圖3所示，在支撐框架33上，在長邊部分安裝一對柄64，把一對柄64作為手持部位，能把支撐框架33可插拔地安放到主滑架14中。
如圖3所示，容器部件35由以下部分構成12個功能液容器61；具有把它們定位的12個設置部76，支撐12個功能液容器61的容器板72；用于把功能液容器61安裝(設置)到各設置部76上的容器設置夾具73。功能液容器61是在樹脂制的盒子74中收藏真空封裝有功能液的功能液封裝75的墨盒形式。須指出的是，存儲在功能液封裝75中的功能液預先被脫氣，溶解氣體量大致變?yōu)?。
容器板72用不銹鋼等的厚板形成大致平行四邊形。在容器板72上設置與搭載在頭板32上的12個功能液滴噴出頭31的配置為同一配置的12個設置部71。而且，在設置部71上以縱放置，可自由拆裝地設置各功能液容器61，按照功能液滴噴出頭31的配置設置12個功能液容器61(參照圖3)。容器設置夾具73把功能液容器61的后面按入前方(閥門部件一側)，使功能液容器61向前方滑動，設置在設置部71中，具有壓出功能液容器61的按壓桿76、支撐按壓桿76的支撐構件77。
功能液供給管62具有連接各功能液容器61和各壓力調整閥63的容器一側管81；連接各壓力調整閥63和各功能液滴噴出頭31的頭一側管82。須指出的是，雖然省略圖示，但是在本實施例的功能液供給裝置4中設置有用于連接功能液供給管62的連接具，通過連接具能可靠地連接它們。
閥門部件34由12個壓力調整閥63、支撐12個壓力調整閥63的12個閥支撐構件83、通過閥支撐構件支撐12個壓力調整閥63的閥板84構成(參照圖3)。
如圖5A、B所示，壓力調整閥63在閥套91中形成與功能液容器61連接的1次室92、與功能液滴噴出頭31連接的2次室93、連通1次室92和2次室93的連通流道94，在2次室93的一面，對著外部設置薄膜95，在連通流道94上設置通過薄膜95進行開關動作的閥體96。從功能液容器61導入1次室92中的功能液通過2次室93提供給功能液滴噴出頭31，但是這時，通過薄膜95把大氣壓體作為調整基準壓力，使設置在連通流道94上的閥體96開關，從而進行2次室93的壓力調整，把2次室93內的功能液壓力稍微保持負壓。須指出的是，圖5A所示的符號97是用于在薄膜95變?yōu)榭v放的狀態(tài)下，把壓力調整閥63安裝在框架(在本實施例中，閥支撐構件83)上的安裝板。
通過在功能液容器61和功能液滴噴出頭31之間設置這樣的壓力調整閥63，不受功能液容器61的水位差影響，能把功能液穩(wěn)定提供給功能液滴噴出頭31。即根據功能液滴噴出頭31(噴嘴面47)的位置和壓力調整閥63(薄膜95的中心)的位置的高低差，決定功能液的供給壓力，使該高低差為給定值(在本實施例中，95mm)，從而能把功能液的供給壓力保持給定的壓力。須指出的是，在閥體96的關閉時，1次室92和2次室93切斷，壓力調整閥63具有吸收功能液容器一側(1次一側)發(fā)生的脈動等的阻尼器功能。
閥板84由不銹鋼等厚板形成。在閥板84上，仿照功能液滴噴出頭31的配置，直立設置12個閥支撐構件83，在支撐框架33的短邊方向，以錯開位置的狀態(tài)支撐12個壓力調整閥63(參照圖3)。
如圖1所示，頭維護裝置5具有安放在機臺2上，在X軸方向延伸的移動臺101；安放在移動臺101上的吸引部件102；與吸引部件102并列，配置在移動臺101上的擦拭部件103(擦拭裝置)。移動臺101能在X軸方向移動，在功能液滴噴出頭31的維護時，能使吸引部件102和擦拭部件103適當地移動到維護區(qū)28中。須指出的是，除了所述各部件，最好在頭維護裝置5上搭載檢查從功能液滴噴出頭31噴出的功能液滴的飛行狀態(tài)的噴出檢查部件、測定從功能液滴噴出頭31噴出的功能液滴的重量的重量測定部件等。
如圖1所示，吸引部件102具有帽支架104；支撐在帽支架104上，與功能液滴噴出頭31的噴嘴面47緊貼的(與功能液滴噴出頭31的配置對應的12個)帽105；能通過各帽105吸引(12個)功能液滴噴出頭31的單一吸引泵106(省略圖示)；連接各帽105和吸引泵106的吸引管(省略圖示)。須指出的是，雖然省略了圖示，但是在帽支架104上組入有通過電機驅動使各帽105升降的帽升降機構108，對于面對維護區(qū)28的頭部件15的各功能液滴噴出頭31，能使對應的帽105接近、離開。
而且，當進行功能液滴噴出頭31的吸引時，驅動帽升降機構108，使帽105緊貼功能液滴噴出頭31的噴嘴面47，并且驅動吸引泵106。據此，通過帽105能對功能液滴噴出頭31作用吸引力，從功能液滴噴出頭31強制排出功能液。該功能液的吸引除了用于消除/防止功能液滴噴出頭31的堵塞而進行外，當新設定描繪裝置1時，或功能液滴噴出頭31的噴出頭更換時，為了在從功能液容器61到功能液滴噴出頭31的功能液流道中填充功能液而進行。
須指出的是，帽105具有接受通過功能液滴噴出頭31的拋棄噴出(預備噴出)而噴出的功能液的沖洗盒的功能，接受如在工件W的更換時那樣，在暫時停止對工件W的描繪時進行的定期沖洗的功能液。在拋棄噴出(沖洗動作)中，帽升降機構108把帽105從功能液滴噴出頭31的噴嘴面47移動到稍微離開的位置。
此外，吸引部件102在描繪裝置1不工作時，用于保管功能液滴噴出頭31。這時，使頭部件15面對維護區(qū)28，使帽105緊貼功能液滴噴出頭31的噴嘴面47。據此，密封噴嘴面47，防止功能液滴噴出頭31(噴出噴嘴46)的干燥，能防止噴出噴嘴46的噴嘴堵塞。
擦拭部件103一邊送出卷狀的擦拭薄片11，一邊使用它擦拭由于功能液滴噴出頭31的吸引(清潔)等而附著功能液、污染的各功能液滴噴出頭31的噴嘴面47。
如圖6～圖9所示，擦拭部件103包括由大致方形的厚板構成的裝置底座112；直立設置在裝置底座112上，支撐主構成裝置的臺那樣的裝置框架113；與裝置框架113左右并列(Y軸方向)，直立設置在裝置底座112上，支撐后面描述的清洗液噴霧部件118的部件支架114。在裝置框架113上，在其內側支撐供給擦拭薄片111的薄片供給部件115，在其上方支撐通過擦拭薄片111擦拭功能液滴噴出頭31的噴嘴面47的擦取部件116。此外，作為主構成裝置的上述部件115、116由箱狀的蓋箱117覆蓋(后面描述細節(jié))。在部件支架114上支撐著清洗液噴霧部件118，該清洗液噴霧部件118具有清洗液的噴霧頭202，并且對擦拭噴嘴面47之前的擦拭薄片111噴霧、涂抹清洗液。此外，在這些圖中雖然省略，但是在擦拭部件103上，設置對擦取部件116和清洗液噴霧部件118供給壓縮空氣的空氣供給設備(參照圖12)119。
如圖7和圖8所示，裝置框架113由以下部分構成直接固定在裝置底座112上，支撐薄片供給部件115的下部擦拭框架121；安放在下部擦拭框架121上，支撐擦取部件116的上部擦拭框架122。下部擦拭框架121具有直立設置在裝置底座112上，形成為圓柱狀的左右一對支柱框架123；架設在左右一對支柱框架123的上端之間的連結支撐框架124；隔著薄片供給部件115，與左右一對支柱框架123對峙的厚板狀的背面支撐框架125(側板)；分別支撐在連結支撐框架124的內側面和背面支撐框架125的右上端部之間的前后一對部分框架126。須指出的是，細節(jié)后面描述，但是背面支撐框架125兼任蓋箱117的一部分(側板)。上部擦拭框架122具有在連結支撐框架124和背面支撐框架125的上端之間架設的水平支撐框架127；直立設置在水平支撐框架127上的前后一對L字框架128。須指出的是，為了便于說明，這里，X軸方向為前后方向，Y軸方向為左右方向。
如圖8和圖9所示，薄片供給部件115具有裝填卷狀的擦拭薄片111，送出擦拭薄片111的圖示右側的送出卷軸131；卷繞送出的擦拭薄片111的圖示左側的卷繞卷軸132；使卷繞卷軸132卷繞的卷繞電機133；把卷繞電機133的動力傳遞給卷繞卷軸132的動力傳遞機構(省略圖示)；檢測擦拭薄片111的卷繞速度(輸送速度)的速度檢測輥135；把來自送出卷軸131的擦拭薄片111向速度檢測輥135輸送的第一中間輥136；把來自速度檢測輥135的擦拭薄片111向擦取部件116輸送的第二中間輥137。須指出的是，后面將詳細描述，但是設置構成蓋箱117的下蓋263的一部分(底面蓋291后面描述)，從而水平隔開送出卷軸131以及卷繞卷軸132和卷繞電機133之間，并且在底面蓋291的上表面配置清洗液盤294。
如圖8所示，送出卷軸131以及卷繞卷軸132以懸臂形式，可自由旋轉地軸支撐在背面支撐框架125上。此外，送出卷軸131以及卷繞卷軸132在軸向可自由拆裝，在更換擦拭薄片111時，使兩卷軸131、132脫離。在背面支撐框架125的外側，在送出卷軸131的軸端，設有抵抗卷繞電機133而控制旋轉的扭矩限制器(省略圖示)，能對送出的擦拭薄片111付與一定的張力。卷繞電機133由齒輪電機構成，固定在背面支撐框架125的下部。動力傳遞機構組入固定在背面支撐框架125的外側的皮帶箱142內，具有固定在卷繞電機133的輸出端的驅動滑輪和固定在卷繞卷軸132的軸端的從動滑輪(都省略圖示)、架設在兩滑輪之間的同步皮帶(省略圖示)，如果卷繞電機133驅動，則通過自身的減速齒輪列，同步皮帶移動，對卷繞卷軸132傳遞動力。
速度檢測輥135通過所述一對部分框架126以雙支承形式軸支撐，由自由旋轉的輥主體135a、設置在輥主體135a的軸端的圖外的速度檢測器(編碼器參照圖12)143構成。通過速度檢測器143檢測擦拭薄片11的輸送速度，根據該檢測結果，控制卷繞電機133的驅動。如圖7和圖9所示，第一中間輥136和第二中間輥137也是自由旋轉輥，在一對部分框架126的上下分別以雙支承形式旋轉自如地軸支撐。而且，第一中間輥136配置在速度檢測輥135的大致正下方，從而擦拭薄片111的輸送路線在速度檢測輥135的位置大致變?yōu)橹苯牵诙虚g輥137配置在速度檢測輥135的斜上方，從而向著擦取部件116的擦拭薄片111的輸送路線變?yōu)殂U直方向。即第一中間輥136抑制(轉接面積大)擦拭薄片111對于速度檢測輥135的滑動，此外第二中間輥137變更擦拭薄片111的輸送路線，從而對于噴霧頭202，擦拭薄片111鉛直地對峙。須指出的是，在第一中間輥136和速度檢測輥135之間設置有檢測在它們之間輸送的擦拭薄片111的有無的薄片檢測傳感器144(參照圖7)。
如圖8所示，擦取部件116包括由自由旋轉輥構成，使擦拭薄片111與功能液滴噴出頭31的噴嘴面47接觸的擦拭輥151(擦拭構件參照圖9)；支撐擦拭輥151的輥支撐框架152；固定在上部擦拭框架122上，通過輥支撐框架152使擦拭輥151升降(出沒運動)的輥升降機構153(出沒運動機構)；設置在輥支撐框架152和輥升降機構153之間，把擦拭輥151對于噴嘴面47的擦拭壓力維持一定的緩沖機構154。這時的擦拭輥151具有與擦拭薄片111的寬度對應的軸向長度，并且為了防止功能液滴噴出頭31的噴嘴面47的損傷，希望由具有柔軟性和彈力的橡膠構成。須指出的是，圖中的符號204是清洗液噴霧部件118的薄片接受構件(后面描述)。
如圖8～圖10所示，輥支撐框架152具有以雙支承形式可自由旋轉地軸支撐擦拭輥151的前后一對軸承支架161；支撐前后一對軸承支架161的反“U”字狀的門形框架162。軸承支架161支撐擦拭輥151，從而支撐擦拭輥151的上端從其上端面稍微突出，在擦拭動作時，軸承支架161不損傷功能液滴噴出頭31的噴嘴面47。
如圖10所示，門形框架162由為了避開擦拭薄片111的薄片輸送路線而切去長邊部分的一部分的大致方形的厚板狀的水平框架163、從水平框架163的兩端下垂的一對鉛直框架164構成。在門形框架162上，螺旋固定一對軸承支架161，從而其長度方向(前后方向)與擦拭輥151的軸線一致，經過擦拭輥151的擦拭薄片111面對缺口部(參照圖8)。而各鉛直框架164可自由升降地與設置在所述背面支撐框125的內側的升降導向器166配合。即擦拭輥151通過由一對升降導向器166引導的輥支撐框架152可自由升降。
此外如圖8～圖10所示，在門形框架162的左端面固定前后一對固定支撐塊167，在一對固定支撐塊167上安裝用于安裝所述蓋箱117(左上蓋271后面描述)的2組4個隔離棒168。此外，在門形框架162上形成浮動插入后面描述的一對導軸178的前后一對浮動插入孔169。
如圖10所示，輥升降機構153包括配置在所述一對鉛直框架164之間，通過緩沖機構154支撐輥支撐框架152的輥升降板171；支撐輥升降板171，并且使它升降的輥升降氣缸172(雙動氣缸)；引導輥升降板171的升降的輥升降導向器173；限制輥升降板171的升降的輥升降位置限制機構174。輥升降板171也與所述水平框架163同樣，與薄片輸送路線配合形成缺口部。須指出的是，在輥升降板171上形成U字狀切口部175，該U字狀切口部175從正面與后面描述的輥升降氣缸172的連結片176配合。
輥升降氣缸172向上固定在所述水平支撐框架127上，活塞桿172a的頂端部通過連結片176固定在輥升降板171上。而且，在輥升降氣缸172的氣缸主體172b上，通過空氣管(省略圖示)連接空氣供給設備119。輥升降導向器173由以下部分構成夾著輥升降氣缸172，直立設置在水平支撐框架127上的一對引導軸178；固定在輥升降板171上，用于與各引導軸178可自由滑動地配合的帶凸緣的線性襯套179。據此，如果輥升降氣缸172驅動，則由一對引導軸178引導，輥升降板171維持水平姿態(tài)升降。須指出的是，引導軸178的上端部浮動插入所述水平框架163的浮動插入孔中(參照圖8)。
升降位置限制機構174具有用于限制輥升降板171的位置的側視為“L”字狀的一對限制板181；通過一對限制板181限制輥升降板171的上升端位置的一對上升端限制構件182；通過一對上升端限制構件182，從下方與輥升降板171接觸(即、抵接)，限制下降端位置的一對下降端限制構件183。
限制板181垂直設置在輥升降板171的兩端部，在其下部形成向外側水平延伸的限制部181a。須指出的是，在一對限制板181之間，通過一對軸承支架184旋轉自如地軸支撐第三中間輥185。該第三中間輥185使薄片輸送路線從水平支撐框架127的左側部離開，把來自擦拭輥151的擦拭薄片111送入卷繞卷軸132中(參照圖9和圖10)。
各上升端限制構件182面對限制板181的限制部181a，由固定在L字框架128上的測微頭構成，軸182a與限制部181a的上端面抵接，限制輥升降機構171的上升端位置。各下降端限制構件183也與限制部181a的下降端抵接，限制輥升降機構171的下降端位置，由支撐在支撐框架127上并且與上升端限制構件182對峙的調整螺絲186、設置在調整螺絲的上端并且與限制部181a抵接的抵接構件187。須指出的是，以功能液滴噴出頭31的噴嘴面47的高度位置為基準，在(比噴嘴面稍微高的位置)預先設定擦拭輥151的上升端位置，通過測微頭把擦拭輥151的上升端調整為給定高度。
如果驅動輥升降氣缸172，使活塞桿172a前往，輥升降板171就一邊被輥升降導向器173引導，一邊上升。據此，通過緩沖機構154和輥支撐框架152，擦拭輥151向功能液滴噴出頭31的噴嘴面47上升。然后，如果輥升降板171到達上升端位置，就由上升端限制構件182限制輥升降板171的移動，擦拭輥151的上升停止。同樣，如果活塞桿172a返回，則輥升降板171就一邊被輥升降導向器173引導，一邊下降到由下降端限制構件183限制，由此，擦拭輥151下降。
如圖10所示，緩沖機構154是由懸掛氣缸191、活塞桿191a構成的空氣懸掛，連接在所述空氣供給設備上。懸掛氣缸191固定在輥升降板171的下表面上，活塞桿191a從輥升降板171上形成的開口突出，通過安裝構件193，在頂端部固定在水平框架163的下表面上。在功能液滴噴出頭31的擦拭動作中，作用在擦拭輥151上的微小沖擊通過輥支撐框架152傳遞給緩沖機構154，由該緩沖機構154吸收。因此，按壓在功能液滴噴出頭31的噴嘴面47上的擦拭薄片111能均勻并且柔軟地按壓噴嘴面47。因此，能以適度的壓力，在不破化彎液面的前提下，進行噴嘴面47的擦拭動作。
通過設置這樣的緩沖機構154，能把對噴嘴面47的按壓力設定位一定的壓力，沒必要嚴密地使擦拭輥151的上升位置對位，能提高擦拭部件103的組裝時的作業(yè)性。此外，通過緩沖機構154，能抵消擦拭輥151的安裝誤差或機械公差，所以能進行恰當的擦拭動作。
如圖7、圖9、圖11所示，清洗液噴霧部件118具有供給清洗液的清洗液容器201；用于對擦拭薄片111供給來自清洗液容器201的清洗液的單一的噴霧頭202；連接噴霧頭202和清洗液容器201的清洗液供給管203(清洗液管路)；把擦拭薄片111的輸送向鉛直方向引導，并且把噴霧頭202和擦拭薄片111的距離保持一定的薄片支承構件204；支撐噴霧頭202的頭滑架205(托架臂)；通過頭滑架205使噴霧頭202在擦拭薄片111的寬度方向水平移動的頭移動機構206(頭掃描機構)。而且，頭移動機構206安放在所述部件支架114上。
如圖9所示，擦拭薄片111從送出卷軸131經過第一中間輥136、速度檢測輥135，輸送給第二中間輥137。然后從第二中間輥137向鉛直方向上方輸送，在擦拭輥151旋轉后，經過第三中間輥185，卷繞到卷繞卷軸132上。而清洗液噴霧部件118使噴霧頭202面對從第二中間輥137鉛直送來的擦拭薄片111，對它散布清洗液。
清洗液容器201由密封容器(加壓容器)構成。清洗液容器201從空氣供給設備119導入一定壓力的壓縮空氣，把容器內的清洗液加壓輸送。須指出的是，清洗液使用溶解功能液的材料例如功能液的溶劑，能高效除去功能液污染。在連接在清洗液容器201上的清洗液供給管203中設置流量調整閥207，能控制對噴霧頭202供給的清洗液量。
如圖9和圖11所示，噴霧頭202由組入頂端一側的噴霧噴嘴211、保持它的噴嘴支架212、設置在尾端一側的接頭213構成。在該接頭213上連接清洗液供給管203。而且，通過對噴霧頭202用壓力輸送清洗液，在擦拭薄片111上噴霧、涂抹微細的清洗液滴。應用于噴霧頭202的噴霧噴嘴211的噴霧形態(tài)能按照實情任意設定，但是為了高效地對輸送到上方的擦拭薄片111散布清洗液，在本實施例中，使用把清洗液噴霧為縱長的長圓形(橢圓形)的噴霧噴嘴。
薄片支承構件204位于第二中間輥137的正上部，以鉛直姿態(tài)螺旋固定在門形框架162上，具有前后一對引導部221；架設在一對引導部221的右面上部的上框架222；架設在一對引導部221的左面下部的下框架223。上框架222和下框架223在上下方向分開設置，形成狹縫224。從第二中間輥137向上方輸送的擦拭薄片111由一對引導部221和下板223引導，并且在這里接受清洗液的散布后，輸送給擦拭輥151。須指出的是，薄片支承構件204的上端位置是與軸承支架161的上端位置大致相同的高度，比擦拭輥151的上端位置稍微低。
頭滑架205具有固定在頭移動機構206的滑塊251(后面描述)上的底座部231；從底座部231向Y軸方向的擦取部件116一側延伸為“L”字狀的臂部232；固定在(擦取部件116一側的)臂部232的頂端，在噴霧頭202面對擦拭薄片111的位置把它支撐為水平的頭支撐部233。在頭支撐部233上形成可調節(jié)高度地固定噴嘴支架212的長孔233a。頭支撐部233水平支撐噴霧頭202，噴霧頭202對于在鉛直方向輸送的擦拭薄片111，從水平方向把清洗液噴霧(參照圖9)。
須指出的是，在頭支撐部233和噴嘴支架212之間設置能調整噴霧噴嘴211的噴霧角度的噴嘴角度調整機構(省略圖示)，能調整噴霧噴嘴211的噴霧方向。
底座部231由支撐臂部232的上底座部234和支撐上底座部234的下底座部235構成，在上底座部234和下底座部235之間設置調整Y軸方向噴霧頭202的前后位置即噴霧頭202對于擦拭薄片111的離開距離的離開距離調整機構241。離開距離調整機構241具有通過臂部232使噴霧噴嘴211在前后方向進退移動的齒條-齒輪(省略圖示)、固定在齒輪上的離開距離調整螺絲242，如果使離開距離調整螺絲242旋轉，則齒輪在齒條上相對移動，噴霧頭202前后移動(噴霧頭202從擦拭薄片111遠離)。
這樣，頭滑架205支撐噴霧頭202，可調整噴霧頭202的高度位置和離開距離，能調整噴霧頭202對于擦拭薄片111的位置，從而對于擦拭薄片111，從噴霧頭202恰當地散布清洗液。
如圖7和圖11所示，頭移動機構206具有固定頭滑架205的底座部231，在X軸方向(即擦拭薄片111的寬度方向)可自由滑動地支撐固定頭滑架205的滑塊251；在X軸方向延伸，用于使滑塊251移動的滾珠絲杠(省略圖示)；與滾珠絲杠平行延伸，引導滑塊251的移動的滑軌(省略圖示)；使?jié)L珠絲杠正反旋轉的移動電機253。如果移動電機253驅動，則滾珠絲杠正反旋轉，通過滑塊251，頭滑架205(噴霧頭202)向X軸方向移動。須指出的是，圖示的后側成為噴霧頭202的原位置。圖中的符號254是頭移動機構206的外套，符號255是用于把外套254內產生的塵埃排氣的排氣管。
如上所述，在本實施例的清洗液噴霧部件118中，一邊使噴霧頭202向擦拭薄片111的寬度方向移動(掃描)，一邊對擦拭薄片111把清洗液噴霧，所以能在擦拭薄片111的一定區(qū)域(擦拭區(qū)域)均勻涂敷清洗液。希望在停止擦拭薄片111的輸送的狀態(tài)下進行該清洗液的噴霧，噴霧后，把擦拭薄片111的擦拭區(qū)域輸送到擦拭輥151的位置，擦拭功能液滴噴出頭31的噴嘴面。須指出的是，可以代替電機驅動的頭移動機構206，使用氣動的無桿氣缸。
本實施例的頭移動機構206是電機驅動，但是可以代替電機，使用氣缸(雙動氣缸)。雖然省略圖示，但是這時與氣缸平行設置滑塊導軌，并且氣缸的活塞固定在滑塊上。
下面說明蓋箱117。蓋箱117用于防止由噴霧頭202散布的清洗液飛散到外部，如圖6所示，由以下部分構成覆蓋擦取部件116的主要部，并且形成使由軸承支架161支撐的擦拭輥151面對外部的輥開口261(構件開口)的上蓋262(上覆蓋部)；覆蓋薄片供給部件115的主要部分的下蓋263(下覆蓋部)。在上蓋262和下蓋263上分別設置與圖外的排氣處理設備連接的排氣管路(省略圖示)的排氣口264a、264b，把混合了清洗液的內部空氣排出。須指出的是，所述排氣管255連接在排氣管路上。
如圖6所示，上蓋262形成對開構造，從而截斷輥開口261，由從擦拭輥151的中心軸覆蓋左側的左上蓋271、從擦拭輥151的中心軸覆蓋右側的右上蓋272構成。而且，擦取部件116的主要部分收藏在左上蓋271中。左上蓋271的上表面在其右端中央切去方形，形成輥開口261的左開口部273。左上蓋271支撐在所述2組4個隔離桿168上，從而其上表面比一對軸承支架161的上端面稍微低。2組中的一方隔離桿168a固定在一對固定支撐塊167的左側面上，向左方延伸，如圖8和圖9所示，左上蓋271在上表面與1組隔離桿168a的頂端接觸，左側面與1組隔離桿168b的頂端接觸的狀態(tài)下，用尿素樹脂螺絲274可自由拆裝地固定在1組隔離桿168b上。即左上蓋271向上方脫離。
如圖6～9所示，右上蓋272收藏從薄片供給部件115輸送的擦拭前的擦拭薄片111、清洗液噴霧部件118的噴霧頭202、頭支撐部233和臂部232的一部分。如同一圖所示，在右上蓋272的上表面左側，與左上蓋271的左開口部273匹配，形成構成輥開口261的右開口部275。此外如上所述，噴霧頭202是通過頭滑架205向擦拭薄片111的寬度方向掃描的結構，所以在右上蓋272的右側面，為了允許臂部232的移動，與臂部232的移動范圍匹配，形成狹長開口276(參照圖6和圖11)。
須指出的是，希望在輥開口261和狹長開口276上分別設置密封與擦拭輥151的間隙以及與臂部232的間隙的氣密性材料。作為氣密性材料，使用刷型(馬海毛)的材料。
右上蓋272由從前方覆蓋裝置的右上部的右上前蓋281、覆蓋后方部的右上后蓋282構成。如圖11所示，右上后蓋282形成為前面部開口的箱狀，左側面部向跟前一側延伸，并且其頂端形成向與后面部相對折彎的折彎部282a。在右上后蓋282的左側面部形成所述右開口部275，并且插通所述薄片支承構件204，形成用于使擦拭薄片111向擦拭輥151回繞旋轉的284。此外，在右上后蓋282的右側面部形成后開口溝285。右上后蓋282通過多個(5個)蓋固定片286螺旋固定在上部擦拭框架122上。須指出的是，在右上后蓋282的底面部，設置通過輸送的擦拭薄片111，從下方與所述第二中間輥137對峙的舌狀清洗液接受部287。清洗液接受部287形成截面形狀“L”字，接受從擦拭薄片111偏離散布的清洗液。
右上前蓋281面對擦拭薄片111的輸送路線，廣泛覆蓋右上蓋272的前方部。在右上前蓋281的右側面部形成前開口溝289。右上前蓋281可自由拆裝地固定在右上后蓋282上。具體而言，右上前蓋281通過尿素樹脂螺絲290在3處螺旋固定，該3處的位置分別為在右上后蓋282的折彎部282a處1處，在上下夾住右上后蓋282的后開口溝285處2處。如果把右上前蓋281固定在右上后蓋282上，則由前開口溝289和右上后蓋282的后開口溝284形成狹長開口276(參照圖11)。據此，右上前蓋281在前后方向脫離。
如圖6～圖9所示，下蓋263收藏薄片供給部件115的兩卷軸131、132和輥類，由構成其底面部的底面蓋291、構成前面部和左側面部的左側面蓋292、主要構成右側面部的右側面蓋293、構成后面部的所述下部擦拭框架121的背面支撐框架125構成。如這些圖所示，底面蓋291由折彎為大致反橫“L”字狀的板構成，一端固定在背面支撐框架125上，另一端固定在裝置底座112上。底面蓋291的水平面部291a隔離出收藏薄片供給部件115的兩卷軸131、132的上方卷軸收藏空間、收藏卷繞電機133的下方電機收藏空間。此外，在水平面部291a上，面對兩卷軸131、132的正下方，廣泛配置清洗液盤294，接受從擦拭薄片111偏離的清洗液、從擦拭薄片111滴下的清洗液。據此，防止散布的清洗液附著到卷繞電機133上。
左側面蓋292也由折彎為“L”字狀的板構成。如圖6等所示，左側面蓋292在背面支撐框架125的左端面處的1處，在所述連結支撐框架124處的左右2處螺釘固定。右側面蓋293覆蓋下蓋263的右側面部，并從背面支撐框架125覆蓋上方的后面部的一部分，在連結支撐框架124的右端面，在前后2處固定。左側面蓋292和右側面蓋293通過尿素樹脂螺絲295固定，可自由拆裝地安裝。須指出的是，當更換擦拭薄片111時，取下左側面蓋292，進行作業(yè)。
這樣，蓋箱117由多個部分構成，并且大部分通過尿素樹脂螺絲，可自由拆裝地固定。因此，在擦拭薄片111的裝卸時，能容易地只取下必要的部分，能確保維護時的操作性。
這里，說明一系列的擦拭動作。首先，驅動移動臺101，使擦拭部件103來到維護區(qū)28。接著，從清洗液容器201開始清洗液的供給，使清洗液從噴霧頭202噴霧。與此同時，驅動頭移動機構206，使原位置的噴霧頭202配合擦拭薄片111的寬度前往移動(噴霧掃描)。據此，對擦拭薄片111的擦拭區(qū)域供給1次擦拭動作所必要的清洗液。然后，在噴霧頭202的前往移動結束的同時，停止來自噴霧頭202的清洗液的噴霧。須指出的是，可以重疊進行基于移動臺101的擦拭部件103的移動和對擦拭薄片111的清洗液的噴霧掃描。
接著，對輥升降氣缸172和懸掛氣缸191供給壓縮空氣。據此，輥升降板171和輥支撐框架152上升，擦拭輥151上升到給定高度。接著，驅動卷繞電機133，供給了清洗液(浸漬了清洗液)的擦拭薄片111輸送給擦拭輥151。然后，與卷繞電機133的驅動同步，驅動XY移動機構11(Y軸臺13)。即一邊輸送擦拭薄片111，一邊與此同步，使頭部件15移動，從而在功能液滴噴出頭31的噴嘴面47與浸漬了清洗液的擦拭薄片111接觸的狀態(tài)下，頭部件15移動到維護區(qū)28，即對于擦拭薄片111，功能液滴噴出頭31的噴嘴面滑動，所以功能液滴噴出頭31的噴嘴面47由擦拭薄片111擦拭。須指出的是，能考慮功能液的種類或清洗液的種類等，任意設定擦拭薄片111的輸送速度和頭部件15的移動速度。
如果擦拭動作結束，就停止XY移動機構11和卷繞電機133的驅動，在完全面對維護區(qū)28的狀態(tài)下，停止頭部件15的移動的同時，停止擦拭薄片111的輸送。然后，對輥升降氣缸172和懸掛氣缸191的返回一側供給壓縮空氣，使擦拭輥151下降，停止擦拭動作。
控制裝置6由個人電腦等構成。雖然省略圖示，但是在裝置主體上連接鍵盤或鼠標等輸入設備、FD驅動器、CD-ROM驅動器等各種驅動器、顯示器等外圍設備。
下面參照圖12說明描繪裝置1的主控制系統(tǒng)。描繪裝置1包括具有液滴噴出裝置3的液滴噴出部301；具有頭維護裝置5的頭維護部302；具有液滴噴出裝置3和頭維護裝置5的各種傳感器，進行各種檢測的檢測部303；驅動各部的驅動部304；連接在各部上，進行描繪裝置1全體的控制的控制部305(控制裝置6)。
在控制部305中具有用于連接液滴噴出裝置3和頭維護裝置5的接口311；具有能暫時存儲的存儲區(qū)，作為用于控制處理的作業(yè)區(qū)使用的RAM312；具有各種存儲區(qū)，存儲控制程序和控制數據的ROM313；對工件W進行描繪的描繪數據；存儲來自液滴噴出裝置3和頭維護裝置5的各種數據，并且存儲用于處理各種數據的程序等的硬盤314；按照存儲在ROM313和硬盤314中的程序等，計算處理各種數據的CPU315；相互連接它們的總線316。
而且，控制部305通過接口311輸入來自液滴噴出裝置3和頭維護裝置5的各種數據，按照存儲在硬盤314中(或從CD-ROM驅動器依次讀出)的程序，使CPU315進行演算處理，把處理結果通過接口對液滴噴出裝置3和頭維護裝置5輸出，從而控制各部件。例如也能按照來自控制部305的控制，進行所述一系列的擦拭動作。
下面，說明擦拭部件的實施例2。本實施例的擦拭部件與實施例1的擦拭部件103是同樣的結構，所以這里只說明不同的部分。如圖13所示，本實施例的擦拭部件400由蓋箱401覆蓋全體。而且，在蓋箱401上，在其左上面形成輥開口402，并且從右側面向右上面設置開關蓋403。
如圖14所示，在裝置底座404上直立設置一對側框架405，在側框架405(側板)的右下部，面對開關蓋403支撐薄片供給部件411。據此，如果開放開關蓋403，就能進行擦拭薄片412的裝卸。此外，如圖15所示，在兩個側框架405的左上部支撐擦取部件414，從而使擦拭輥413從輥開口402稍微突出。輥升降機構415具有設置在一對側框架405的上部外面的輥升降氣缸416，通過以雙支承形式支撐擦拭輥413的軸承421使它升降。在本實施例中，不設置薄片支承構件，安裝在送出卷軸422上的擦拭薄片412經過中間輥423，斜著向著擦拭輥413，繞著它旋轉，卷繞到卷繞輥424上。
如圖14和圖15所示，側框架405的右上部切去一部分，降低一級，架設在一對側框架405的切除部之間，配置清洗液噴霧部件431的主要部分。頭滑架432與實施例1大致同樣，但是噴霧頭433的噴霧噴嘴434與斜著行進的擦拭薄片412以大致直角面對、即清洗液的噴霧方向與擦拭薄片412的輸送方向正交地支撐噴霧頭433?？墒?，在臂部441上，通過頭支撐部442，組入能調整噴嘴支架443的支撐角度的噴嘴角度調整機構451，按照狀況(清洗液的種類)，能調整噴霧頭433的噴霧方向。
具體說明噴嘴角度調整機構451。如圖15和圖16所示，臂部441具有固定在底座部440上的第一臂塊452；固定頭支撐部442，在擦拭薄片412的寬度方向與第一臂塊452相鄰的第二臂塊453；可旋轉地連結第一臂塊452和第二臂塊453的連結軸454。在第一臂塊452和第二臂塊453上形成使連結軸454插通的通孔455，并且從側面形成與通孔連接的溝部456。而且，在兩塊452、453上設置上下貫通溝部456的一對螺絲457。如果松開一方的塊的螺絲457，則溝部456的間隙擴大，第二臂塊453能以連結軸454為中心旋轉，能調節(jié)頭支撐部442的角度。而且，如果緊螺絲457，則溝部456的間隙減小，能把頭支撐部442固定在調節(jié)后的角度。
清洗液噴霧部件431的頭移動機構460具有架設在一對側框架405上的清洗液框架461；配置在清洗液框架461上，可自由滑動地支撐頭滑架432的滑塊462；使滑塊462移動的無桿氣缸463(雙動氣缸)；與氣缸463平行配置，引導滑塊462的移動的滑軌464。在滑塊462上固定氣缸463的導桿463a，如果對氣缸463供給空氣，則滑塊462往返移動，通過滑塊462，頭滑架432在擦拭薄片412的寬度方向往返移動。須指出的是，與頭移動機構460并列配置收藏清洗液供給管(省略圖示)的電纜支架，從而能跟蹤噴霧頭433的移動。
蓋箱401可自由拆裝地固定在側框架405上。在本實施例中，包含一對側框架405，由蓋箱401覆蓋擦拭部件400全體，但是可以采用把一對擦拭框架的至少一方兼任蓋箱401的一部分的結構。如圖13所示，在輥開口402的邊緣部配置氣密性材料(馬海毛)467，密封從輥開口402稍微突出的擦拭輥413和輥開口402的間隙，防止清洗液從輥開口402飛散到外部。
須指出的是，通常在蓋箱401內收藏擦拭輥413，僅在擦拭時使擦拭輥413上升，從輥開口402突出時，希望代替氣密性材料，設置開關輥開口402的開關蓋471。更希望設置與擦拭輥413的升降聯(lián)動，使開關蓋471開關的開關機構472(蓋聯(lián)動機構)，配合擦拭輥413的升降，自動把開關蓋471開關。
例如如圖17所示，開關機構472包括一端固定在開關蓋471上，另一端固定在蓋箱401的背面的一對螺旋彈簧481；夾著擦拭輥413的輥部413a，固定在其軸部的一對推桿482；與一對推桿482配合，配合其升降而旋轉的一對連接構件483；固定在蓋箱401的背面的一對滑輪484；一端固定在開關蓋上，另一端通過一對滑輪484固定在連接構件483的端部的一對金屬絲485。一對螺旋彈簧481在開關蓋471的寬度方向離開配置，使開關蓋471趨向關蓋的方向。而開關蓋471通過設置在輥開口402的兩短邊一側的邊緣部的一對蓋引導器486，支撐為在與擦拭輥413正交的方向可自由滑動。
通過輥升降機構415，擦拭輥413上升，一對推桿482上升，則連接構件483轉動，從而下壓固定有金屬絲485的端部483a。據此，金屬絲485向下方拉伸，抵抗一對螺旋彈簧481，開關蓋471打開。而如果擦拭輥413通過輥升降機構415下降，則一對螺旋彈簧481發(fā)揮作用，連接構件483轉動，從而舉起端部483a，開關蓋471關閉。
而且，希望在蓋箱401的一部分上設置與排氣處理設備連接的排氣孔491。此外希望在蓋箱401內內置加濕裝置492，能控制蓋箱401內的濕度(參照圖13)。
下面，作為使用本實施例的描繪裝置1制造的電光裝置(平板顯示器)，以濾色器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)、形成在這些顯示裝置上的有源矩陣襯底等為例，說明它們的構造及其制造方法。須指出的是，有源矩陣襯底是指形成有薄膜晶體管、電連接在薄膜晶體管上的源線、數據線的襯底。
首先，說明組入液晶顯示裝置或有機EL裝置等中的濾色器的制造方法。圖18是表示濾色器的制造工序的程序流程圖，圖19是按照制造工序表示的本實施例的濾色器600(濾色器基體600A)的模式剖視圖。
首先，在黑底形成工序(S101)中，如圖19(A)所示，在襯底(W)601上形成黑底602。黑底602由金屬鉻、金屬鉻和氧化鉻的層疊體或樹脂黑等形成。為了形成由金屬薄膜構成的黑底602，能使用濺射法和蒸鍍法等。此外，在形成由樹脂薄膜構成的黑底602時，能使用照相凹板印刷法、光刻法、熱復制法等。
接著，在圍堰形成工序(S102)中，在重疊在黑底602的狀態(tài)下形成圍堰603。即首先如圖19(B)所示，覆蓋襯底601和黑底602而形成由負片型透明感光性樹脂構成的抗蝕劑層604。然后，在用形成矩陣圖案形狀的掩模薄膜605覆蓋其上表面的狀態(tài)下，進行曝光處理。
如圖19(C)所示，通過對抗蝕劑層604的未曝光部分進行蝕刻處理，對抗蝕劑層604圖案化，形成圍堰603。須指出的是，當通過樹脂黑形成黑底時，能兼用黑底和圍堰。
圍堰603和其下的黑底602成為劃分各象素區(qū)607a的劃分壁部607b，在以后的著色層形成工序中，在通過功能液滴噴出頭31形成著色層(成膜部)608R、608G、608B時，規(guī)定功能液滴的落下區(qū)域。
經過以上的黑底形成工序和圍堰形成工序，取得所述濾色器基體600A。
須指出的是，在本實施例中，作為圍堰603的材料，使用使涂膜表面變?yōu)槭枰?疏水)性的樹脂材料。而且，襯底(玻璃襯底)601的表面是親液性(親水)的，所以在后面描述的著色層形成工序中，對由圍堰603(劃分壁部607b)包圍的各象素區(qū)607a內的液滴落下位置精度得以提高。
接著在著色層形成工序中(S103)中，如圖19(D)所示，通過功能液滴噴出頭31噴出功能液滴，使其落在由劃分壁部607b包圍的各象素區(qū)607a中。這時，使用功能液滴噴出頭31導入R、G、B等3色的功能液(濾色器材料)，進行功能液滴的噴出。須指出的是，作為R、G、B三色的排列圖案，有條紋排列、鑲嵌排列和三角排列。
然后，經過干燥處理(加熱等處理)，使功能液固定，形成3色的著色層608R、608G、608B。如果形成著色層608R、608G、608B，就轉移到保護膜形成工序(S104)，如圖19(E)所示，覆蓋襯底601、劃分壁部607b、著色層608R、608G、608B的上表面形成保護膜609。
即對襯底601的形成有著色層608R、608G、608B的面全體噴出保護膜用涂敷液后，經過干燥處理，形成保護膜609。
然后形成保護膜609后，濾色器600轉移到下一工序的成為透明電極的ITO(Indium Tin Oxide)等膜的附加工序。
圖20表示作為使用所述濾色器600的液晶顯示裝置的一例的無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略結構的主要部分剖視圖。在液晶裝置620上安裝液晶驅動用IC、背光、支撐體等附帶要素，取得作為最終制品的透射型液晶顯示裝置。須指出的是，濾色器600與圖19所示的濾色器相同，所以對于對應的部位付與相同的符號，省略說明。
該液晶裝置620大致由濾色器600、由玻璃襯底等構成的對置襯底621、夾在它們之間的由STN(Super Twisted Nematic)液晶組成物構成的液晶層622構成，把濾色器600配置在圖中上方(觀察者一側)。
須指出的是，雖然未圖示，但是在對置襯底621和濾色器600的外表面(與液晶層622一側相反一側的面)分別配置偏振片，此外在位于對置襯底621一側的偏振片的外側配置背光。
在濾色器600的保護膜609(液晶層一側)上，以給定間隔形成多個在圖20中的左右方向長的長方形的第一電極623，覆蓋該第一電極623的與濾色器600相反一側的面而形成第一定向膜624。
而在對置襯底621的與濾色器600相對的面上，以給定間隔形成多個在與濾色器600第一電極623正交的方向長的長方形的第二電極626，覆蓋該第二電極626的液晶層622一側的面而形成第二定向膜627。第一電極623和第二電極626由ITO等透明導電材料形成。
設置在液晶層622內的隔離塊628是用于把液晶層622的厚度(單元間隔)保持一定的構件。此外，密封材料629用于防止液晶層622內的液晶組成物向外部泄漏的構件。須指出的是，第一電極623的一端部作為包圍布線623a延伸到密封材料629的外側。
而且，第一電極623和第二電極626交叉的部分是象素，濾色器600的著色層608R、608G、608B位于該成為象素的部分。
在通常的制造工序中，在濾色器600上，進行第一電極623的圖案化和第一定向膜624的涂敷，生成濾色器600一側的部分，并且在與它不同的對置襯底621上進行第二電極626的圖案化和第二定向膜627的涂敷，生成第二定向膜627一側的部分。然后，在對置襯底621一側的部分中生成隔離塊628和密封材料629，在該狀態(tài)下粘貼濾色器600一側的部分。接著，從密封材料629的注入口注入構成液晶層622的液晶，密封注入口。然后，層疊兩個偏振片和背光。
實施例1的描繪裝置1涂敷構成所述單元間隔的隔離材料(功能液)，并且在對于對置襯底621一側的部分粘貼濾色器600一側的部分之前，能對由密封材料629包圍的區(qū)域均勻涂敷液晶(功能液)。此外，能用功能液滴噴出頭31進行所述密封材料629的印刷。也能用功能液滴噴出頭31進行第一和第二定向膜624、627的涂敷。
圖21是表示使用本實施例中制造的濾色器600的液晶裝置的第二例的概略結構的主要部分剖視圖。
該液晶裝置630與所述液晶裝置620的明顯不同點在于在圖中下方(與觀測者一側相反的一側)配置濾色器600。
該液晶裝置630在濾色器600和由玻璃襯底等構成的對置襯底631之間夾著由STN液晶構成的液晶層632。須指出的是，雖然未圖示，但是在對置襯底631和濾色器600的外表面分別配置偏振片等。
在濾色器600的保護膜609上(液晶層632一側)，以給定間隔形成多個在圖中向里的方向長的長方形的第一電極633，覆蓋該第一電極633的液晶層632一側的面，形成第一定向膜634。
在對置襯底631的與濾色器600相對的面上，以給定間隔形成多個在與濾色器600一側的第一電極633正交的方向上延伸的多個長方形的第二電極636，覆蓋第二電極636的液晶層632一側的面形成第二定向膜637。
在液晶層632中設置用于把液晶層632的厚度保持一定的隔離塊638、用于防止液晶層632內的液晶組成物向外部泄漏的密封材料639。
而且，與所述液晶裝置620同樣，第一電極633和第二電極636交叉的部分是象素，濾色器600的著色層608R、608G、608B位于該成為象素的部位。
圖22是表示使用應用本發(fā)明的濾色器600構成液晶裝置的第三例，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶裝置的概略結構的分解立體圖。
該液晶裝置650在圖中上方(觀察者一側)配置濾色器600。
該液晶裝置650大致由濾色器600、與它相對配置的對置襯底651、夾在它們之間的未圖示的液晶層、配置在濾色器600的上表面一側(觀察者一側)的偏振片655、配置在對置襯底651的下表面一側的偏振片(未圖示)構成。
在濾色器600的保護膜609的表面(對置襯底651一側的面)形成液晶驅動用的電極656。該電極656由ITO等透明導電材料構成，成為覆蓋形成后面描述的象素電極660的區(qū)域全體的全面電極。此外，在覆蓋該電極656的與象素電極660相反一側的面的狀態(tài)下，設置定向膜657。
在對置襯底651的與濾色器600相對的面上形成絕緣層658，在絕緣層658上在彼此正交的狀態(tài)下形成掃描線661和信號線662。而且，在由這些掃描線661和信號線662包圍的區(qū)域內形成象素電極660。須指出的是，在實際的液晶裝置中，在象素電極660上設置定向膜，但是省略圖示。
此外，在由象素電極660的切口部、掃描線661和信號線662包圍的部分組入具有源極、漏極、半導體、柵極的薄膜晶體管663。而且，通過對掃描線661和信號線662外加信號，使薄膜晶體管663導通和斷開，能進行對象素電極660的通電控制。
須指出的是，所述各例的液晶裝置620、630、650為透射型結構，但是可以設置反射層或半透半反層，作為反射型的液晶裝置或半透半反型的液晶裝置。
圖23是有機EL裝置的顯示區(qū)(以下只稱作顯示裝置700)的主要部分剖視圖。
該顯示裝置700在襯底(W)701上層疊電路元件部702、發(fā)光元件部703和陰極704的狀態(tài)下構成。
在該顯示裝置700中，從發(fā)光元件部703向襯底701一側發(fā)出的光透過電路元件部702和襯底701，出射到觀測者一側，并且從發(fā)光元件部703向襯底701的相反一側發(fā)出的光由陰極704反射后，透射電路元件部702和襯底701，出射到觀測者一側。
在電路元件部702和襯底701之間形成由氧化硅膜構成的底層保護膜706，在底層保護膜706上(發(fā)光元件部703一側)形成由多晶硅構成的島狀的半導體膜707。在該半導體膜707的左右的區(qū)域中，分別通過高濃度陽離子注入形成源區(qū)707a和漏區(qū)707b。然后，未注入陽離子的中央部成為溝道區(qū)707c。
此外，在電路元件部702上形成覆蓋底層保護膜706和半導體膜707的透明的柵絕緣膜708，在該柵絕緣膜708上的與半導體膜707的溝道區(qū)707c對應的位置形成例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等構成的柵極709。在該柵極709和柵絕緣膜708上形成透明的第一層間絕緣膜711a和第二層間絕緣膜711b。此外，貫通第一、第二層間絕緣膜711a、711b，在半導體膜707的源區(qū)707a、漏區(qū)707b上形成分別連通的接觸孔712a、712b。
然后，在第二層間絕緣膜711b上形成由ITO等構成的透明的象素電極713，圖案化為給定的形狀，該象素電極713通過接觸孔712a連接在源區(qū)707a上。
此外在第一層間絕緣膜711a上配置電極714，該電極714通過接觸孔712b連接在漏區(qū)707b上。
這樣在電路元件部702上分別形成連接在各象素電極713上的驅動用的薄膜晶體管715。
所述發(fā)光元件部703大致由層疊在多個象素電極713上的功能層717、設置在各象素電極713和功能層717之間并且劃分各功能層717的圍堰部718構成。
由這些象素電極713、功能層717、配置在功能層717上的陰極704構成發(fā)光元件。須指出的是，形成象素電極713，圖案化為俯視呈大致矩形，在各象素電極713之間形成圍堰部718。
圍堰部718由以下部分構成由SiO、SiO2、TiO2等無機材料形成的無機物圍堰層718a(第一圍堰層)；層疊在該無機物圍堰層718a上，并且由丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂等耐熱性、耐溶劑性優(yōu)異的抗蝕劑形成的截面梯形的有機物圍堰層718b(第二圍堰層)。該圍堰部718的一部分以騎到象素電極713的周緣部上的狀態(tài)形成。
而且，在各圍堰部718之間形成相對于象素電極713向上方逐漸擴大的開口部719。
所述功能層717由在開口部719內以層疊狀態(tài)形成在象素電極713上的空穴注入/輸送層717a、形成在該空穴注入/輸送層717a上的發(fā)光層717b構成。須指出的是，還可以與該發(fā)光層717b相鄰形成具有其他功能的功能層。例如也能形成電子輸送層。
空穴注入/輸送層717a具有從象素電極713一側輸送空穴，向發(fā)光層717b注入的功能。通過噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組成物(功能液)，形成該空穴注入/輸送層717a。作為空穴注入/輸送層形成材料，使用公知的材料。
發(fā)光層717b發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍色(B)的任意光，通過噴出包含發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第二組成物(功能液)形成。作為第二組成物的溶劑(非極性溶劑)，能使用對空穴注入/輸送層717a不溶解的公知的材料，通過在發(fā)光層717b的第二組成物中使用這樣的非極性溶劑，不會再溶解空穴注入/輸送層717a，能形成發(fā)光層717b。
然后在發(fā)光層717b中，從空穴注入/輸送層717a注入的空穴、從陰極704注入的電子在發(fā)光層中再結合，發(fā)光。
在覆蓋發(fā)光元件部703的全面的狀態(tài)下形成陰極704，與象素電極713成對，實現使電流流向功能層717的任務。須指出的是，在該陰極704的上部配置未圖示的密封構件。
下面，參照圖24～圖32說明所述顯示裝置700的制造工序。
該顯示裝置700如圖24所示，經過圍堰部形成工序(S111)、表面處理工序(S112)、空穴注入/輸送層形成工序(S113)、發(fā)光層形成工序(S114)、對置電極形成工序(S115)制造。須指出的是，制造工序并不局限于例示的工序，按照必要，有時除去其他工序，有時追加。
首先，在圍堰部形成工序(S111)中，如圖25所示，在第二層間絕緣膜711b上形成無機物圍堰層718a。在形成位置形成無機物膜后，通過光刻技術對該無機物膜圖案化，從而形成該無機物圍堰層718a。這時無機物圍堰層718a的一部分與象素電極713的周緣部重疊形成。
如果形成了無機物圍堰層718a，則如圖26所示，在無機物圍堰層718a上形成有機物圍堰層718b。該有機物圍堰層718b也與無機物圍堰層718a同樣，通過光刻技術等圖案化而形成。
這樣就形成圍堰部718。此外，伴隨著此，在各圍堰部718間形成相對于象素電極713向上方開口的開口部719。該開口部719規(guī)定象素區(qū)。
在表面處理工序(S112)中，進行親液化處理和疏液化處理。進行親液化處理的區(qū)域是無機物圍堰層718a的第一層疊部718aa和象素電極713的電極面713a，通過以氧氣為處理氣體的等離子體處理把這些區(qū)域表面處理為親液性。該等離子體處理也兼任作為象素電極713的ITO的清洗。
此外，疏液化處理對有機物圍堰層718b的壁面718s和有機物圍堰層718b的上表面718t進行，例如通過以四氟甲烷為處理氣體的等離子體處理，把表面氟化(處理為疏液性)。
通過進行該表面處理工序，在使用功能液滴噴出頭31形成功能層717時，能使功能液滴更可靠地落在象素區(qū)中，此外能防止落在象素區(qū)中的功能液滴從開口部719溢出。
而且，經過以上的工序，取得顯示裝置基體700A。把該顯示裝置基體700A安放在圖1所示的描繪裝置1的設置臺24上，進行以下的空穴注入/輸送層形成工序(S113)、發(fā)光層形成工序(S114)。
如圖27所示，在空穴注入/輸送層形成工序(S113)中，從功能液滴噴出頭31對象素區(qū)即各開口部719內噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組成物。然后，如圖28所示，進行干燥處理和熱處理，使第一組成物中包含的極性溶劑蒸發(fā)，在象素電極713(電極面713a)上形成空穴注入/輸送層717a。
接著說明發(fā)光層形成工序(S114)。該發(fā)光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層717a的再溶解，作為形成發(fā)光層時使用的第二組成物的溶劑，使用對于空穴注入/輸送層717a不溶解的非極性溶劑。
可是，空穴注入/輸送層717a對于非極性溶劑的親和性低，所以，即使對空穴注入/輸送層717a上噴出包含非極性溶劑的第二組成物，也無法使空穴注入/輸送層717a和發(fā)光層717b緊貼，或者有可能無法均勻涂敷發(fā)光層717b。
因此，為了提高空穴注入/輸送層717a對于非極性溶劑以及發(fā)光層形成材料的表面親和性，希望在形成發(fā)光層前進行表面處理(表面改性處理)。通過在空穴注入/輸送層717a上涂敷與形成發(fā)光層時使用的第二組成物的非極性溶劑相同的溶劑或類似于它的溶劑即表面改性材料，使它干燥，進行該表面處理。
通過進行這樣的處理，空穴注入/輸送層717a的表面變得對非極性溶劑容易親和，在此后的工序中，能對空穴注入/輸送層717a均勻涂敷包含發(fā)光層形成材料的第二組成物。
然后，如圖29所示，把包含與各種顏色中的任意顏色(在圖29的例子中，藍色(B))對應的發(fā)光層形成材料的第二組成物作為功能液滴，向象素區(qū)(開口部719)內注入給定量。注入象素區(qū)內的第二組成物在空穴注入/輸送層717a上擴散，充滿開口部719內。須指出的是，萬一第二組成物偏離象素區(qū)，落在圍堰部718的上表面718t上時，該上表面718t如上所述進行了疏液處理，所以第二組成物容易落入開口部719內。
然后，通過進行干燥工序等，對噴出后的第二組成物進行干燥處理，使第二組成物中包含的非極性溶劑蒸發(fā)，如圖30所示，在空穴注入/輸送層717a上形成發(fā)光層717b。在該圖的情況下，形成與藍色(B)對應的發(fā)光層717b。
同樣，使用功能液滴噴出頭31，如圖31所示，依次進行與所述藍色(B)所對應的發(fā)光層717b時同樣的工序，形成與其它顏色(紅色(R)和綠色(G))對應的發(fā)光層717b。須指出的是，發(fā)光層717b的形成順序并不局限于例示的順序，可以用任意的順序形成。例如能按照發(fā)光層的形成材料決定形成的順序。作為R、G、B三色的排列圖案，有條紋排列、鑲嵌排列和三角排列。
如上所述，在象素電極713上形成功能層717即空穴注入/輸送層717a和發(fā)光層717b。然后轉移到對置電極形成工序(S115)。
在對置電極形成工序(S115)中，如圖32所示，在發(fā)光層717b和有機物圍堰層718b的全面，通過例如蒸鍍法、濺射法、CVD法等形成陰極704(對置電極)。該陰極704在本實施例中，例如由鈣層和鋁層層疊構成。
在陰極704的上部，適當設置作為電極的Al膜、Ag膜、用于防止其氧化的SiO2、SiN等保護層。
這樣形成陰極704后，進行通過密封構件密封該陰極704的上部的密封處理和布線處理等其他處理，得到顯示裝置700。
下面，圖33是等離子體型顯示裝置(PDP裝置，以下只稱作顯示裝置800)的主要部分分解立體圖。須指出的是，在圖中，以切掉其一部分的狀態(tài)表示顯示裝置800。
該顯示裝置800包含彼此相對配置的第一襯底801、第二襯底802、形成在它們之間的放電顯示部803。放電顯示部803由多個放電室805構成。多個放電室805中，紅色放電室805R、綠色放電室805G、藍色放電室805B等三個放電室805成為組，構成一個象素。
在第一襯底801的上表面以給定間隔把地址電極806形成條紋狀，覆蓋該地址電極806和第一襯底801的上表面形成介質層807。在介質層807上設置隔壁808，使其位于各地址電極806之間，并且沿著各地址電極806。該隔壁808如圖所示，包含在地址電極806的寬度方向兩側延伸的部分、在與地址電極806正交的方向延伸的未圖示的部分。
而且，由該隔壁808隔離的區(qū)域成為放電室805。
在放電室805內配置有熒光體809。熒光體809發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍色(B)的任意光，在紅色放電室805R的底部形成紅色熒光體809R，在綠色放電室805G的底部形成紅色熒光體809G，在藍色放電室805B的底部形成紅色熒光體809B。
在第二襯底802的圖中下側的面上，在與所述地址電極806正交的方向，以給定間隔把多個顯示電極形成條紋狀。而且，覆蓋它們而形成由介質層812、MgO等構成的保護層813。
第一襯底801和第二襯底802在地址電極806和顯示電極811彼此正交的狀態(tài)下貼在一起。須指出的是，所述地址電極806和顯示電極811連接在未圖示的交流電源上。
而且，通過對各電極806、811通電，在放電顯示部803中，熒光體809激勵發(fā)光，能顯示彩色。
在本實施例中，能使用圖1所示的描繪裝置1形成所述地址電極806、顯示電極811和熒光體809。下面，舉例表示第一襯底801的地址電極806形成工序。
這時，在把第一襯底801放在描繪裝置1的設置臺24上的狀態(tài)下，進行以下的工序。
首先，通過功能液滴噴出頭31，把含有導電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，落在地址電極形成區(qū)中。該液體材料作為導電膜布線形成用材料，是把金屬等導電性微粒分散在分散劑中的材料。作為導電性微粒，使用含有金、銀、銅、鈀、鎳等的金屬微粒、導電性聚合物等。
關于成為補充對象的全部地址電極形成區(qū)，液體材料的補充如果結束，就把噴出后的液體材料進行干燥處理，使液體材料中包含的分散劑蒸發(fā)，從而形成地址電極806。
可是，在上面舉例表示了地址電極806的形成，但是關于所述顯示電極811和熒光體809，也能通過所述各工序形成。
在形成顯示電極811時，與地址電極806同樣，把含有導電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，落在顯示電極形成區(qū)中。
此外，在形成熒光體809時，從功能液滴噴出頭31把包含與各色(R、G、B)對應的熒光材料的液體材料(功能液)作為液滴噴出，落在對應的顏色的放電室805內。
圖34是電子發(fā)射裝置(也稱作FED裝置或SED裝置以下只稱作顯示裝置900)的主要部分剖視圖。須指出的是，在圖34中，使其一部分為截面表示顯示裝置900。
該顯示裝置900包含彼此相對配置的第一襯底901、第二襯底902、形成在它們之間的場致發(fā)射顯示部903。場致發(fā)射顯示部903由配置為矩陣狀的多個電子發(fā)射部905構成。
在第一襯底901的上表面，彼此正交形成構成陰極906的第一元件電極906a和第二元件電極906b。此外，在由第一元件電極906a和第二元件電極906b劃分的部分形成具有間隔908的導電性膜907。即由第一元件電極906a、第二元件電極906b和導電性膜907構成多個電子發(fā)射部905。導電性膜907由氧化鈀(PdO)等構成，此外，在形成導電性膜907后，通過成形形成間隔908。
在第二襯底902的下表面形成與陰極906對峙的陽極909。在陽極909的下表面形成格子狀的圍堰部911，在由圍堰部911包圍的向下的各開口部912中，與電子發(fā)射部905對應配置熒光體913。熒光體913發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍色(B)的任意光，在各開口部912中以所述給定的圖案配置紅色熒光體913R、綠色熒光體913G、藍色熒光體913B。
然后，把這樣構成的第一襯底901和第二襯底902以微小的間隙貼在一起。在該顯示裝置900中，通過導電性膜(間隔908)907，使從陰極即第一元件電極906a或第二元件電極906b飛出的電子撞擊陽極909上形成的熒光體913，激勵發(fā)光，能顯示彩色。
這時與其它實施例同樣，能使用描繪裝置1形成第一元件電極906a、第二元件電極906b、導電性膜907和陽極909，并且能使用描繪裝置1形成各色熒光體913R、913G、913B。
第一元件電極906a、第二元件電極906b、導電性膜907具有圖35(A)所示的平面形狀，在形成它們時，如圖35(B)所示，預先殘留形成第一元件電極906a、第二元件電極906b、導電性膜907的部分，形成圍堰部BB(光刻法)。接著在由圍堰部BB構成的溝部分形成第一元件電極906a、第二元件電極906b(基于描繪裝置1的噴墨法)，使溶劑干燥，進行成膜后，形成導電性膜907(基于描繪裝置1的噴墨法)。然后形成導電性膜907后，除去圍堰部BB(灰化剝離處理)，轉移到所述成形處理。須指出的是，與所述有機EL裝置時同樣，希望進行對第一襯底901以及第二襯底902的親液化處理、對圍堰部911、BB的疏液化處理。
此外，作為其他電光裝置，可以考慮到金屬布線的形成、透鏡的形成、抗蝕劑的形成和光擴散體的形成等的裝置。通過在各種電光裝置(器件)的制造中使用所述描繪裝置1，能高效制造各種電光裝置。
權利要求
1.一種擦拭裝置，通過涂有溶解功能液的清洗液的擦拭薄片擦拭功能液滴噴出頭的噴嘴面，其特征在于包括送出擦拭薄片的送出卷軸；對從所述送出卷軸送出的所述擦拭薄片噴霧、涂抹清洗液的噴霧頭；把涂抹了清洗液的所述擦拭薄片按在功能液滴噴出頭的噴嘴面上，進行擦拭動作的擦拭構件；卷繞經由了擦拭構件的所述擦拭薄片的卷繞卷軸；蓋箱，其至少覆蓋所述送出卷軸、所述卷繞卷軸、所述擦拭構件和所述噴霧頭、以及經由所述擦拭構件從所述送出卷軸到達所述卷繞卷軸的所述擦拭薄片的輸送路線；以及支撐這些構成零件的裝置框架，在所述蓋箱上，形成有所述擦拭構件突出的構件開口。
2.根據權利要求1所述的擦拭裝置，其特征在于在所述構件開口的開口邊緣部，配置有密封所述構件開口和所述擦拭構件之間的間隙的氣密性材料。
3.根據權利要求1所述的擦拭裝置，其特征在于還具有支撐所述擦拭構件，并且使之從所述構件開口出沒的出沒移動機構；開關所述構件開口的開關蓋；與基于所述出沒移動機構的所述擦拭構件沒入動作聯(lián)動，關閉所述開關蓋的蓋聯(lián)動機構。
4.根據權利要求1所述的擦拭裝置，其特征在于在上端部配置所述擦拭構件，在上部配置所述噴霧頭，在下部配置所述送出卷軸和所述卷繞卷軸；所述蓋箱由覆蓋上部的上覆蓋部和覆蓋下部的下覆蓋部構成；所述上覆蓋部和所述下覆蓋部分別可自由拆裝地安裝于所述裝置框架。
5.根據權利要求4所述的擦拭裝置，其特征在于所述上覆蓋部形成截斷所述構件開口的對開構造，并分別可自由拆裝地安裝于所述裝置框架。
6.根據權利要求4所述的擦拭裝置，其特征在于還具有支撐所述噴霧頭的托架臂、以及通過所述托架臂使所述噴霧頭在所述擦拭薄片的寬度方向掃描噴霧的頭掃描機構；在所述上覆蓋部上，形成所述托架臂所面對的狹長開口。
7.根據權利要求1所述的擦拭裝置，其特征在于所述蓋箱具有相互平行地對峙的一對側板；所述一對側板中的至少一方兼作所述裝置框架。
8.根據權利要求1所述的擦拭裝置，其特征在于在所述蓋箱上連接有與排氣設備連接的排氣管路。
9.根據權利要求1所述的擦拭裝置，其特征在于還具有在所述蓋箱內配置的加濕裝置。
10.根據權利要求1所述的擦拭裝置，其特征在于還具有在所述蓋箱的底面接受清洗液的防液盤。
11.一種描繪裝置，其特征在于包括權利要求1所述的擦拭裝置；以及所述功能液滴噴出頭；一邊使功能液滴噴出頭對于工件相對移動，一邊驅動該功能液滴噴出頭噴出，從而利用功能液滴對所述工件進行描繪。
12.一種電光裝置的制造方法，其特征在于使用權利要求11所述的描繪裝置，在所述工件上形成基于功能液滴的成膜部。
13.一種電光裝置，其特征在于使用權利要求11所述的描繪裝置，在所述工件上形成基于功能液滴的成膜部。
14.一種電子設備，其特征在于搭載有由權利要求12所述的電光裝置的制造方法制造的電光裝置、或權利要求13所述的電光裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種擦拭裝置(103)，其特征在于具有至少覆蓋送出卷軸(131)、卷繞卷軸(132)、擦拭構件(151)、噴霧頭(202)、以及經由擦拭構件(151)而從送出卷軸(131)到卷繞卷軸(132)的擦拭薄片(111)的薄片輸送路線的蓋箱(117)，在蓋箱(117)上形成擦拭構件(151)突出的構件開口(261)。
文檔編號G02F1/13GK1644377SQ200510004659
公開日2005年7月27日 申請日期2005年1月21日 優(yōu)先權日2004年1月22日
發(fā)明者藤森和義, 小松孝一郎, 白崎亨 申請人:精工愛普生株式會社