專利名稱：電光裝置和具備該電光裝置的電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如在元件基板上制成周邊驅(qū)動(dòng)電路而構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)電路內(nèi)置型的液晶裝置等的電光裝置和具備該電光裝置而構(gòu)成的電子設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在這種液晶裝置等的電光裝置中，在其圖像顯示區(qū)域中以矩陣狀排列了為圖像顯示用而被驅(qū)動(dòng)的多個(gè)像素部。在各像素部中配置了例如像素電極和對各像素電極進(jìn)行開關(guān)控制的薄膜晶體管(以下，適當(dāng)?shù)胤Q為「TFT」)，沿縱橫相鄰的像素電極間的間隙設(shè)置了掃描線、數(shù)據(jù)線、電容線等的布線。特別是在驅(qū)動(dòng)電路內(nèi)置型的情況下，在同一元件基板上的周邊區(qū)域中制成了驅(qū)動(dòng)掃描線或數(shù)據(jù)線用的掃描線驅(qū)動(dòng)電路或數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路。因此，在周邊區(qū)域內(nèi)對從沿元件基板的一邊排列的多個(gè)外部電路連接端子到周邊驅(qū)動(dòng)電路的電源信號線、時(shí)鐘信號線、圖像信號線、控制信號線等的各種布線進(jìn)行了平面布局。
在此，根據(jù)電光裝置或元件基板的小型化的要求，也提出了對該各種布線的平面布局進(jìn)行改進(jìn)的技術(shù)，以使從外部電路連接端子到周邊電路的多條各種布線容納在被限制了的周邊區(qū)域內(nèi)，或使在被限制了的周邊區(qū)域內(nèi)接近地配置的各種布線間的相互間的噪聲減少。
在這種電光裝置中，既可謀求裝置或元件基板的小型化、又能提高驅(qū)動(dòng)頻率或清晰度的圖像的高品位化的要求在實(shí)踐上是極為強(qiáng)烈的。
但是，按照上述的在現(xiàn)有的周邊區(qū)域中設(shè)置各種布線的技術(shù)，在被限制了的周邊區(qū)域內(nèi)存在其一端分別連接到多個(gè)外部電路連接端子上的多條布線(在本申請的說明書中適當(dāng)?shù)胤Q為「主布線」)。而且，存在主布線的條數(shù)或外部電路連接端子的個(gè)數(shù)伴隨驅(qū)動(dòng)方式的高度復(fù)雜化而增大的趨勢。因此，對于至少某幾條主布線來說，在其另一端到達(dá)周邊驅(qū)動(dòng)電路或上下導(dǎo)通端子的途中不得不與其它的主布線發(fā)生交叉。在該交叉的部位中，在元件基板上構(gòu)筑的層疊結(jié)構(gòu)中必須經(jīng)由在構(gòu)成該至少一條主布線的導(dǎo)電膜的上側(cè)或下側(cè)層疊的其它的導(dǎo)電膜構(gòu)成的中繼布線部分。而且，鑒于通常例如由鋁等的在元件基板上構(gòu)筑的層疊結(jié)構(gòu)中電阻最低的導(dǎo)電膜形成主布線，這樣，由另一導(dǎo)電膜、即不是電阻最低的導(dǎo)電膜形成中繼布線部分這一點(diǎn)而存在顯著地導(dǎo)致主布線中的布線電阻的增大的技術(shù)的問題。而且，根據(jù)該主布線的用途，相關(guān)的主布線中的布線電阻的增大很可能導(dǎo)致各種圖像質(zhì)量的下降。
要兼顧因以這種方式使周邊區(qū)域變窄導(dǎo)致的裝置的小型化和因像素間距或布線間距的微細(xì)化導(dǎo)致的圖像質(zhì)量的提高在實(shí)踐上是極為困難的。另外，如果如上述那樣作成中繼布線部分，則導(dǎo)致因接觸電阻或接觸孔電阻引起的電阻增加，進(jìn)而導(dǎo)致元件基板上的層疊結(jié)構(gòu)和制造工藝的復(fù)雜化，也存在很可能最終導(dǎo)致裝置成品率的下降或可靠性的下降這樣的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是是例如鑒于上述的問題而進(jìn)行的，其目的在于提供能有效地實(shí)現(xiàn)主布線的低電阻化、同時(shí)能抑制主布線間的信號的相互干擾、由此可進(jìn)行高品位的圖像顯示的電光裝置和具備這樣的電光裝置的電子設(shè)備。
為了解決上述課題，本發(fā)明的電光裝置具備在元件基板上的圖像顯示區(qū)域中具備的多個(gè)像素部，在位于上述元件基板上的上述圖像顯示區(qū)域的周邊的周邊區(qū)域中具備多個(gè)外部電路連接端子；多條主布線，其一端分別連接到該多個(gè)外部電路連接端子上；以及周邊驅(qū)動(dòng)電路，連接到該主布線的另一端上，用來根據(jù)從上述外部電路連接端子經(jīng)上述主布線供給的電信號驅(qū)動(dòng)上述像素部。而且，上述多條主布線由同一導(dǎo)電膜形成，同時(shí)在上述周邊區(qū)域內(nèi)對上述多條主布線進(jìn)行了平面布局，使其相互不交叉。
按照本發(fā)明的電光裝置，在其工作時(shí)，經(jīng)外部電路連接端子和其一端連接到外部電路連接端子上的主布線分別對連接到主布線的另一端上的周邊驅(qū)動(dòng)電路供給例如圖像信號、時(shí)鐘信號及其反轉(zhuǎn)信號、電源信號、控制信號等各種電信號。或者，經(jīng)外部電路連接端子和其一端連接到外部電路連接端子上的主布線例如對在周邊區(qū)域中設(shè)置的上下導(dǎo)通端子供給對向電極電位，進(jìn)而經(jīng)該上下導(dǎo)通材料對在對向基板一側(cè)設(shè)置的對向電極供給對向電極電位。這樣的主布線例如利用作為掃描線驅(qū)動(dòng)電路、數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路等的周邊驅(qū)動(dòng)電路，通過根據(jù)如上述那樣供給的各種電信號驅(qū)動(dòng)掃描線和數(shù)據(jù)線，進(jìn)行規(guī)定方式的圖像顯示。例如，對多個(gè)像素部進(jìn)行有源矩陣驅(qū)動(dòng)。
在此，在本發(fā)明的電光裝置中，特別地上述多條主布線由同一導(dǎo)電膜形成，同時(shí)在上述周邊區(qū)域內(nèi)對上述多條主布線進(jìn)行了平面布局，使其相互不交叉。因此，在元件基板上構(gòu)筑的層疊結(jié)構(gòu)中包含在導(dǎo)電性方面優(yōu)良的導(dǎo)電膜，如果作為上述的同一導(dǎo)電膜來采用，或者將在元件基板上構(gòu)筑的層疊結(jié)構(gòu)中在導(dǎo)電性方面最優(yōu)良的導(dǎo)電膜作為上述的同一導(dǎo)電膜來采用，則可將多條主布線作為在導(dǎo)電性方面優(yōu)良的布線來構(gòu)筑。再者，即使主布線的條數(shù)或外部電路連接端子的個(gè)數(shù)伴隨驅(qū)動(dòng)方式的高度復(fù)雜化而增大，由于對多條主布線進(jìn)行了平面布局，使其相互不交叉，故沒有必要在交叉的部位中經(jīng)由中繼布線部分。而且，如果由鋁等的在元件基板上構(gòu)筑的層疊結(jié)構(gòu)中電阻最低的導(dǎo)電膜形成主布線，則與利用由與其相比不是低電阻的層疊結(jié)構(gòu)中的另一導(dǎo)電膜形成的中繼布線部分的情況相比，可顯著地降低主布線中的布線電阻。因而，可有效地在未發(fā)生之前防止起因于主布線的布線電阻的增加的各種圖像質(zhì)量的下降。換言之，可兼顧因使周邊區(qū)域變窄導(dǎo)致的裝置的小型化和因像素間距或布線間距的微細(xì)化導(dǎo)致的圖像質(zhì)量的提高。
另外，由于如上所述在主布線中可不作成中繼布線部分，故可避免因主布線中的接觸電阻或接觸孔電阻引起的電阻增加，進(jìn)而可使元件基板上的層疊結(jié)構(gòu)和制造工藝變得單純。因而，可最終地提高裝置的成品率或可靠性。而且，通過對多條主布線進(jìn)行平面布局以使其相互不交叉，也可顯著地減少例如二條主布線經(jīng)薄的層間絕緣膜交叉的情況下可看到的該二條主布線間的二種電信號的相互干擾。
以上的結(jié)果，按照本發(fā)明的電光裝置，可有效地使主布線低電阻化，同時(shí)可抑制主布線間的信號的相互干擾，由此，可進(jìn)行高品位的圖像顯示。
在本發(fā)明的電光裝置的一個(gè)形態(tài)中，包含上述周邊驅(qū)動(dòng)電路的內(nèi)部布線、從上述周邊驅(qū)動(dòng)電路朝向上述像素部引出的引出布線和從上述主布線分支的分支布線的至少一條而構(gòu)成的副布線在其第1部分中由與上述同一導(dǎo)電膜不同的另一導(dǎo)電膜來形成并經(jīng)層間絕緣膜與上述主布線交叉，而且在其第2部分中由上述同一導(dǎo)電膜來形成，在上述周邊區(qū)域內(nèi)對上述第2部分進(jìn)行了平面布局，使其與上述主布線不交叉。
按照該形態(tài)，在周邊區(qū)域中設(shè)置了內(nèi)部布線、引出布線和分支布線等的副布線。這些布線中的周邊驅(qū)動(dòng)電路的內(nèi)部布線是連接構(gòu)成周邊驅(qū)動(dòng)電路內(nèi)例如移位寄存器的多個(gè)排列的電路間的布線。
引出布線是將掃描線、數(shù)據(jù)線、電容線等從圖像顯示區(qū)域引向周邊區(qū)域用的布線。分支布線是供給例如電源信號或時(shí)鐘信號等在周邊驅(qū)動(dòng)電路的多個(gè)部位中共同地使用的各種電信號用的布線。
這樣的副布線在其第1部分中由例如相對于在導(dǎo)電性方面最優(yōu)良的導(dǎo)電膜來說經(jīng)層間絕緣膜被層疊了的第二、第三等在導(dǎo)電性方面優(yōu)良的金屬膜或?qū)щ娦远嗑Ч枘さ葮?gòu)成，以與主布線相交的方式進(jìn)行了平面布局。進(jìn)而，這樣的副布線在其第2部分中由例如與主布線同樣地在導(dǎo)電性方面最優(yōu)良的導(dǎo)電膜構(gòu)成，以與主布線不相交的方式進(jìn)行了平面布局。因而，對于副布線來說，只要不與主布線相抵觸，可提高其導(dǎo)電性。
在該形態(tài)中，可經(jīng)在上述層間絕緣膜中開了孔的接觸孔電連接上述第1部分與上述第2部分間。
如果以這種方式來構(gòu)成，副布線可起到包含經(jīng)接觸孔交叉地延伸以便避開主布線的第1部分和第2部分而構(gòu)成的1條布線的功能。此外，也可用接觸孔以外的方式連接該第1部分與第2部分間。
在本發(fā)明的電光裝置的另一個(gè)形態(tài)中，在與上述元件基板對向地配置的對向基板上的上述周邊區(qū)域中還具備對向電極，在上述元件基板上的上述周邊區(qū)域中還具備上述多條主布線中的至少一條的用來對上述對向電極供給對向電極電位的對向電極電位線與取得上述對向電極之間的上下導(dǎo)通的上下導(dǎo)通端子，在上述周邊區(qū)域中，上述對向電極電位線在上述多條主布線中處于靠近上述元件基板的邊緣的位置上，在上述周邊區(qū)域中，上述周邊驅(qū)動(dòng)電路與上述上下導(dǎo)通端子和上述對向電極電位線相比處于靠近上述元件基板的中央的位置上。
按照該形態(tài)，在其工作時(shí)，經(jīng)外部電路連接端子和其一端連接到外部電路連接端子上的主布線例如對在周邊區(qū)域中設(shè)置的上下導(dǎo)通端子供給對向電極電位，進(jìn)而經(jīng)該上下導(dǎo)通材料對在對向基板一側(cè)設(shè)置的對向電極供給對向電極電位。由此，通過在對向電極與例如在像素部中被設(shè)置的像素電極之間發(fā)生縱向電場，可驅(qū)動(dòng)例如在兩基板間被夾持的液晶等的電光物質(zhì)。在此，特別是在周邊區(qū)域中，位于多條主布線中靠近元件基板的邊緣處。例如，對向電極電位線從外部連接端子起沿元件基板的邊緣延伸。與此不同，由于周邊驅(qū)動(dòng)電路與上下導(dǎo)通端子和對向電極電位線相比處于靠近元件基板的中央的位置上，故可比較簡單地得到除了對向電極電位線外的主布線與對向電極電位線不交叉的平面布局。
此外，較為理想的是，在周邊區(qū)域中對向電極電位線在多條主布線中處于靠近元件基板的最邊緣的位置上。由此，可比較簡單地得到除了對向電極電位線外的全部主布線與對向電極電位線不交叉的平面布局。
在該形態(tài)中，可構(gòu)成為沿上述元件基板的一邊排列了上述多個(gè)外部電路連接端子，上述多個(gè)外部電路連接端子中連接上述對向電極電位線的一端的外部電路連接端子在上述多個(gè)外部電路連接端子的排列中處于靠近端部的位置上。
如果以這種方式來構(gòu)成，則對向電極電位線從靠近邊緣的外部電路連接端子起延伸，處于靠近元件基板的邊緣的位置上。因而，可非常簡單地得到除了對向電極電位線外的主布線與對向電極電位線不交叉的平面布局。
此外，較為理想的是，連接對向電極電位線的一端的外部電路連接端子在周邊區(qū)域中在多個(gè)外部電路連接端子的排列中處于最端部的位置上。例如，從排列了多個(gè)外部電路連接端子的邊來看，沿元件基板的右邊緣延伸的對向電極電位線的前端連接到右端的外部電路連接端子上，例如，沿元件基板的左邊緣延伸的對向電極電位線的前端連接到左端的外部電路連接端子上。由此，即使在外部電路連接端子的附近的周邊區(qū)域中，也可比較簡單地得到除了對向電極電位線外的主布線與對向電極電位線不交叉的平面布局。
另外，在本發(fā)明的電光裝置的另一形態(tài)中，在與上述元件基板對向地配置的對向基板上的上述周邊區(qū)域中還具備對向電極，在上述元件基板上的上述周邊區(qū)域中還具備上述多條主布線中的至少一條的用來對上述對向電極供給對向電極電位的對向電極電位線與取得上述對向電極之間的上下導(dǎo)通的上下導(dǎo)通端子。在上述周邊區(qū)域中，上述對向電極電位線與除了上述對向電極電位線外的一條或多條主布線相比處于靠近上述元件基板的邊緣的位置上，與除了上述對向電極電位線外的另一條或多條主布線相比處于靠近上述元件基板的中央的位置上，在上述周邊區(qū)域中，上述周邊驅(qū)動(dòng)電路的一部分與上述上下導(dǎo)通端子和上述對向電極電位線相比處于部分地靠近上述元件基板的中央的位置上，在上述周邊區(qū)域中，上述周邊驅(qū)動(dòng)電路的另一部分與上述上下導(dǎo)通端子和上述對向電極電位線相比處于部分地靠近上述元件基板的邊緣的位置上。
按照該形態(tài)，在其工作時(shí)，經(jīng)外部電路連接端子和其一端連接到外部電路連接端子上的主布線例如對在周邊區(qū)域中設(shè)置的上下導(dǎo)通端子供給對向電極電位，進(jìn)而經(jīng)該上下導(dǎo)通材料對在對向基板一側(cè)設(shè)置的對向電極供給對向電極電位。在此，特別是在周邊區(qū)域中，對向電極電位線與除了對向電極電位線外的一條或多條主布線相比處于靠近元件基板的邊緣的位置上。另一方面，在周邊區(qū)域中，與除了對向電極電位線外的另一條或多條主布線相比，對向電極電位線處于靠近元件基板的中央的位置上。因而，可比較簡單地得到除了對向電極電位線外的主布線與對向電極電位線不交叉的平面布局。
在該形態(tài)中，沿上述元件基板的一邊排列了上述多個(gè)外部電路連接端子，上述多個(gè)外部電路連接端子中連接除了對向電極電位線外的另一條或多條主布線的一端的外部電路連接端子可在上述多個(gè)外部電路連接端子的排列中處于靠近端部的位置上。
如果這樣來構(gòu)成，則在周邊區(qū)域中除了對向電極電位線外的另一條或多條主布線從靠近邊緣的外部電路連接端子延伸，處于元件基板的靠近邊緣的位置上。另一方面，除了對向電極電位線外的一條或多條主布線從靠近中央的外部電路連接端子延伸，處于元件基板的靠近中央的位置上。因而，可比較簡單地得到除了對向電極電位線外的主布線與對向電極電位線不交叉的平面布局。
在具備上述的對向電極的各種形態(tài)中，可構(gòu)成為上述多條主布線包含在分別供給時(shí)鐘信號及其反轉(zhuǎn)信號作為上述電信號的同時(shí)不與上述對向電極電位線交叉的一對時(shí)鐘信號線。
如果這樣來構(gòu)成，則由于如假定交叉則相互干擾就變得顯著的時(shí)鐘信號線與對向電極電位線未交叉，故可有效地避免時(shí)鐘信號的電位根據(jù)對向電極電位的變動(dòng)而變動(dòng)或?qū)ο螂姌O電位根據(jù)時(shí)鐘信號的電位的變動(dòng)而變動(dòng)的情況。由此，可進(jìn)行高品位的圖像顯示。
在本發(fā)明的電光裝置的另一形態(tài)中，上述多條主布線包含供給時(shí)鐘信號及其反轉(zhuǎn)信號作為上述電信號用的一對時(shí)鐘信號線和供給電源信號作為上述電信號用的電源布線，上述一對時(shí)鐘信號線與上述電源布線不交叉。
按照該形態(tài)，由于如假定交叉則相互干擾就變得顯著的時(shí)鐘信號線與電源布線未交叉，故可有效地避免時(shí)鐘信號的電位根據(jù)電源信號的電位的變動(dòng)而變動(dòng)或電源信號的電位根據(jù)時(shí)鐘信號的電位的變動(dòng)而變動(dòng)的情況。由此，可進(jìn)行高品位的圖像顯示。
在本發(fā)明的電光裝置的另一形態(tài)中，以避免相互交叉而彎曲地行進(jìn)的方式對上述多條主布線進(jìn)行了平面布局。
按照該形態(tài)，通過對于主布線來說使其彎曲地行進(jìn)，一邊以其布線長度變長為犧牲，一邊避免主布線交叉的事態(tài)。在此，通過降低構(gòu)成主布線的同一導(dǎo)電膜的電阻，可將與布線長度對應(yīng)的布線電阻抑制得較低，另一方面，可獲得因不利用交叉時(shí)所必要的中繼布線帶來的利益。
此外，在該形態(tài)中，優(yōu)選以在數(shù)學(xué)或幾何學(xué)方面盡可能減少交叉部位的方式進(jìn)行平面布局，即使彎曲地行進(jìn)也減少交叉部位。另一方面，對于上述的副布線來說，因可進(jìn)行交叉，一邊可提高布線間距，一邊可避免對于主布線的交叉，在周邊區(qū)域中對主布線和副布線進(jìn)行平面布局。
在本發(fā)明的電光裝置的另一形態(tài)中，上述多條主布線至少部分地包含由在與上述同一導(dǎo)電膜分開的層中形成的另一導(dǎo)電膜構(gòu)成的冗余布線。
按照該形態(tài)，主布線除了由同一導(dǎo)電膜構(gòu)成的布線部外利用包含在與該同一導(dǎo)電膜分開的層中形成的另一導(dǎo)電膜構(gòu)成的冗余布線的冗余結(jié)構(gòu)，可進(jìn)一步降低主布線的布線電阻。另外，即使假定構(gòu)成冗余結(jié)構(gòu)的二條布線部分中的一方斷線，由于還留下能起到布線的功能的可能性，故也可提高該電光裝置中的可靠性。
此外，本發(fā)明的電光裝置，具備在元件基板上的圖像顯示區(qū)域中具備的多個(gè)像素部，在位于上述元件基板上的圖像顯示區(qū)域的周邊的周邊區(qū)域中具備多個(gè)外部電路連接端子；掃描線驅(qū)動(dòng)電路；數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路；其一端連接到上述外部電路連接端子上其另一端連接到上述掃描線驅(qū)動(dòng)電路上的掃描線驅(qū)動(dòng)電路用布線；其一端連接到上述外部電路連接端子上其另一端連接到上述數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路上的數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路用布線；以及其一端連接到上述外部電路連接端子上用來供給上述多個(gè)像素部的圖像信號的圖像信號布線。而且，在上述周邊區(qū)域內(nèi)對上述掃描線驅(qū)動(dòng)電路用布線、上述數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路用布線和上述圖像信號布線進(jìn)行了平面布局，使其相互不交叉。
此外，在本發(fā)明的電光裝置的一個(gè)形態(tài)中，可在上述掃描線驅(qū)動(dòng)電路用布線與上述數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路用布線之間配置上述圖像信號布線。
此外，在本發(fā)明的電光裝置的另一形態(tài)中，可在與上述元件基板對向地配置的對向基板上的上述周邊區(qū)域中還具備對向電極和其一端連接到上述外部電路連接端子上其另一端對上述對向電極供給對向電位用的對向電極電位線，將上述對向電極電位線配置成包圍上述掃描線驅(qū)動(dòng)電路用布線。
本發(fā)明的電子設(shè)備為了解決上述課題具備上述的本發(fā)明的電光裝置(其中包含其各種形態(tài))而構(gòu)成。
由于本發(fā)明的電子設(shè)備具備上述的本發(fā)明的電光裝置，故通過利用主布線適當(dāng)?shù)毓┙o各種電信號可實(shí)現(xiàn)能進(jìn)行高品位的圖像顯示的電視、攜帶電話機(jī)、電子筆記本、文字處理器、尋像器型或監(jiān)視器直接觀察型的磁帶攝像機(jī)、工作站、可視電話、POS終端、觸摸面板等的各種電子設(shè)備。此外，作為本發(fā)明的電子設(shè)備，也可實(shí)現(xiàn)例如電子紙等的電泳裝置。


圖1是示出本實(shí)施例中的電光裝置的整體結(jié)構(gòu)的平面圖。
圖2是圖1的H-H’剖面圖。
圖3是示出構(gòu)成電光裝置的圖像顯示區(qū)域的以矩陣狀形成的多個(gè)像素中設(shè)置的各種元件、布線等的等效電路圖。
圖4是示出在TFT陣列基板上形成的各種驅(qū)動(dòng)電路和各種信號布線的結(jié)構(gòu)的等效電路圖。
圖5是示出在TFT陣列基板上形成的各種驅(qū)動(dòng)電路和各種信號布線的結(jié)構(gòu)的等效電路圖。
圖6是示出本發(fā)明的實(shí)施例的電光裝置中的形成了數(shù)據(jù)線、掃描線、像素電極等的TFT陣列基板的互相鄰接的多個(gè)像素組的平面圖。
圖7是圖6的A-A’剖面圖。
圖8是圖4或圖5的B-B’剖面圖。
圖9是圖4或圖5的C-C’剖面圖。
圖10是與變形形態(tài)有關(guān)的主布線和冗余布線的一個(gè)剖面圖。
圖11是與變形形態(tài)有關(guān)的主布線和冗余布線的另一剖面圖。
圖12是作為本發(fā)明的電子設(shè)備的實(shí)施例的投射型彩色顯示裝置的一例的彩色液晶投影機(jī)的示意性的剖面圖。
具體實(shí)施例方式
從以下說明的實(shí)施例可明白本發(fā)明的這樣的作用和其它的優(yōu)點(diǎn)。
以下，根據(jù)附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施例。以下的實(shí)施例是將本發(fā)明的電光裝置應(yīng)用于TFT有源矩陣驅(qū)動(dòng)方式的液晶裝置的實(shí)施例。
(電光裝置的整體結(jié)構(gòu))首先，參照圖1和圖2說明與本實(shí)施例有關(guān)的電光裝置的整體結(jié)構(gòu)。圖1是示出與本實(shí)施例有關(guān)的電光裝置的整體結(jié)構(gòu)的平面圖，圖2是圖1的H-H’剖面圖。在此，以作為電光裝置的一例的驅(qū)動(dòng)電路內(nèi)置型的TFT有源矩陣驅(qū)動(dòng)方式的液晶裝置為例。
在圖1和圖2中，在與本實(shí)施例有關(guān)的電光裝置中對向地配置了TFT陣列基板10和對向基板20。在TFT陣列基板10與對向基板20之間封入了液晶層50，利用在位于圖像顯示區(qū)域10a的周圍的密封區(qū)52a中設(shè)置的密封材料52互相粘接了TFT陣列基板10與對向基板20。
密封材料52由貼合兩基板用的例如光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂等構(gòu)成，在制造工藝中將其涂敷在TFT陣列基板10上，該樹脂是利用紫外線、加熱等使其硬化的樹脂。此外，該密封材料52中散布了使兩基板間的距離(基板間的間隙)為規(guī)定值用的玻璃纖維或玻璃珠等的間隙材料。但是，如果是特別大型的電光裝置，則可在液晶層50中散布間隙材料，以代替在密封材料52中散布或同時(shí)在兩者中散布。
與配置了密封材料52的密封區(qū)52a的內(nèi)側(cè)并行地在對向基板20一側(cè)設(shè)置了規(guī)定圖像顯示區(qū)域10a的框緣區(qū)域的遮光性的框緣遮光膜53。但是，也可在TFT陣列基板10一側(cè)設(shè)置這樣的框緣遮光膜53的一部分或全部作為內(nèi)置遮光膜。
在本實(shí)施例中，在圖像顯示區(qū)域10a的周邊規(guī)定了周邊區(qū)域。即，從TFT陣列基板10的中央來看，將從框緣遮光膜53起靠近邊緣的區(qū)域規(guī)定為周邊區(qū)域。
在周邊區(qū)域中的位于密封區(qū)52a的外側(cè)的區(qū)域中沿TFT陣列基板10的一邊(即，圖1中的下邊)設(shè)置了數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101和外部電路連接端子102。此外，沿與該一邊鄰接的二邊(即，圖1中的左右兩邊)而且以被框緣遮光膜53覆蓋的方式設(shè)置了掃描線驅(qū)動(dòng)電路104。再者，為了連接在圖像顯示區(qū)域10a的兩側(cè)設(shè)置的二個(gè)掃描線驅(qū)動(dòng)電路104間，沿TFT陣列基板10的剩下的一邊(即，圖1中的上邊)而且以被框緣遮光膜53覆蓋的方式設(shè)置了多條布線105。在本實(shí)施例中，特別是在周邊區(qū)域中對其一端分別連接到外部電路連接端子102上的多條主布線108進(jìn)行了布線。主布線108的另一端連接到數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101、掃描線驅(qū)動(dòng)電路104等上。此外，在后面詳細(xì)地?cái)⑹鲞@些TFT陣列基板10上的電路結(jié)構(gòu)及其工作以及主布線108的平面布局。
在圖2中，在TFT陣列基板10上并在形成了像素開關(guān)用的TFT及掃描線、數(shù)據(jù)線等的布線的像素電極9a上形成了取向膜。另一方面，在對向基板20上，除了對向電極21外，形成了柵格狀或條狀的遮光膜23，進(jìn)而在最上層部分上形成了取向膜。此外，液晶層50例如由混合了一種或幾種向列液晶的液晶構(gòu)成，在該一對取向膜間取規(guī)定的取向狀態(tài)。
在圖1中，在TFT陣列基板10的4個(gè)角部附近設(shè)置了連接到作為在TFT陣列基板10上進(jìn)行了平面布局的主布線108中的1條的對向電極電位線上的上下導(dǎo)通端子106t。在這些上下導(dǎo)通端子106t上分別配置了上下導(dǎo)通材料106。將上下導(dǎo)通材料106構(gòu)成為與對向電極21的四角進(jìn)行了面接觸，經(jīng)主布線108對對向電極21供給來自外部電路連接端子102的對向電極電位。
(像素部的結(jié)構(gòu))其次，參照圖3說明本實(shí)施例中的電光裝置的像素部。在此，圖3是示出構(gòu)成電光裝置的圖像顯示區(qū)域的以矩陣狀形成的多個(gè)像素中設(shè)置的各種元件、布線等的等效電路圖。
在圖3中，在本實(shí)施例中的電光裝置的圖像顯示區(qū)域10a(見圖1)內(nèi)以矩陣狀形成的多個(gè)像素部中，分別形成了像素電極9a和以開關(guān)方式控制該像素電極9a用的TFT30，被供給以后詳細(xì)地?cái)⑹龅膱D像信號S1、S2、...、Sn的數(shù)據(jù)線6a與該TFT30的源電連接。
此外，掃描線3a電連接到TFT30的柵上，被構(gòu)成為以規(guī)定的時(shí)序并以脈沖方式以線順序的方式按該順序?qū)呙杈€3a施加掃描信號G1、G2、...、Gm。像素電極9a電連接到TFT30的漏上，通過在一定期間內(nèi)關(guān)閉作為開關(guān)元件的TFT30，以規(guī)定的時(shí)序?qū)懭霃臄?shù)據(jù)線6a供給的圖像信號S1、S2、...、Sn。
經(jīng)像素電極9a對作為電光物質(zhì)的一例的液晶寫入的規(guī)定電平的圖像信號S1、S2、...、Sn在與對向基板上形成的對向電極21之間在一定期間內(nèi)被保持。通過利用被施加的電壓電平使分子集合的取向或秩序變化，液晶對光進(jìn)行調(diào)制，可進(jìn)行灰度顯示。如果是常白模式，則根據(jù)以各像素的單位被施加的電壓，減少對于入射光的透射率，如果是常黑模式，則根據(jù)以各像素的單位被施加的電壓，增加對于入射光的透射率，作為整體，從電光裝置射出具有與圖像信號對應(yīng)的對比度的光。
在此，為了防止被保持了的圖像信號漏泄，與在像素電極9a與對向電極21(見圖1及圖2)之間被形成的液晶電容并聯(lián)地附加存儲(chǔ)電容器70。與掃描線3a并列地設(shè)置該存儲(chǔ)電容器70，該存儲(chǔ)電容器70沿掃描線3a設(shè)置，包含電容線300，該電容線300包含固定電位側(cè)電容電極，同時(shí)其電位被定為規(guī)定的電位。利用存儲(chǔ)電容器70提高了各像素電極中的電荷保持特性。此外，電容線300的電位可常時(shí)地固定于一個(gè)電壓值，也可按規(guī)定的周期在多個(gè)電壓值間變動(dòng)并在上述周期內(nèi)固定于某個(gè)電壓值。
接著，參照圖4和圖5說明與本實(shí)施例有關(guān)的電光裝置的TFT陣列基板上的電路結(jié)構(gòu)和主布線的平面布局。在此，圖4是示出在TFT陣列基板上形成的各種驅(qū)動(dòng)電路和各種信號布線的結(jié)構(gòu)的等效電路圖。圖5是示出更具體地表明圖4的各種驅(qū)動(dòng)電路和各種信號布線的結(jié)構(gòu)的等效電路圖。此外，在以下的說明中，在信號和布線L之后分別附以同一字母記號來稱呼經(jīng)外部電路連接端子102輸入到TFT陣列基板10內(nèi)的信號名稱及其信號布線。即，例如對于作為信號名稱的“時(shí)鐘信號CLX”，將其信號布線稱呼為“時(shí)鐘信號線LCLX”。
如圖4和圖5中所示，在TFT陣列基板10上，形成了構(gòu)成對數(shù)據(jù)線6a供給圖像信號的手段的一例的數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101和取樣電路301以及構(gòu)成對掃描線3a供給掃描信號的手段的一例的掃描線驅(qū)動(dòng)電路104作為電光裝置的驅(qū)動(dòng)電路。此外，沿TFT陣列基板10的一邊形成了包含從外部控制電路輸入對這些驅(qū)動(dòng)電路供給的各種信號用的多個(gè)端子的外部電路連接端子102(參照圖1)。從外部電路連接端子102起配置主布線108。
數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101具備移位寄存器電路101a、波形選擇電路101b和緩沖電路101c作為主要的構(gòu)成要素。
移位寄存器電路101a將從外部控制電路經(jīng)外部電路連接端子102和主布線108中的布線LVSSX和布線LVDDX供給的負(fù)電源VSSX和正電源VDDX作為電源來使用，根據(jù)從相同的外部控制電路供給的開始信號SPX開始傳送工作。接著，根據(jù)經(jīng)外部電路連接端子102和主布線108中的時(shí)鐘信號線LCLX和反相位時(shí)鐘信號線LCLXINV供給的移位寄存器電路101a用的時(shí)鐘信號CLX和反相位時(shí)鐘信號CLXINV按規(guī)定的時(shí)序依次對波形選擇電路101b輸出傳送信號。
波形選擇電路101b也稱為“使能電路”，通過將從移位寄存器電路101a依次輸出的傳送信號的脈沖寬度限制為從外部控制電路經(jīng)外部電路連接端子102輸入的使能信號ENB1～ENB4的脈沖寬度來規(guī)定后述的取樣電路301中的各取樣期間。更具體地說，與上述的移位寄存器電路101a的各級對應(yīng)地設(shè)置了波形選擇電路101b，例如，利用NAND電路和倒相器等來構(gòu)成波形選擇電路101b，從移位寄存器電路101a依次輸出的傳送信號電位高電平，而且，進(jìn)行時(shí)間軸上的波形的選擇控制，使得只在使能信號ENB1～ENB4的某一個(gè)為高電平時(shí)數(shù)據(jù)線114被驅(qū)動(dòng)。
緩沖電路101c在對以這種方式進(jìn)行了波形的選擇的傳送信號進(jìn)行了緩沖后，經(jīng)取樣電路驅(qū)動(dòng)信號線114供給取樣電路301作為取樣電路驅(qū)動(dòng)信號。緩沖電路101c也可進(jìn)行電平移動(dòng)處理、倒相處理等的信號處理。
取樣電路301具備多個(gè)作為對圖像信號進(jìn)行取樣用的開關(guān)用電路元件的一例的TFT202而被構(gòu)成。但是，作為該開關(guān)用電路元件，如圖中所示，是第1導(dǎo)電溝道型的TFT，可以是n溝道型的TFT，也可以是p溝道型的TFT。再者，也可利用互補(bǔ)型的TFT等來構(gòu)成。上述的數(shù)據(jù)線6a的圖3中的下端連接到TFT202的漏上，經(jīng)引出布線116將圖像信號線115連接到該TFT202的源上，同時(shí)連接到數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101上的取樣電路驅(qū)動(dòng)信號線114連接到該TFT202的柵上。構(gòu)成為根據(jù)從數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101通過取樣電路驅(qū)動(dòng)信號線114供給取樣電路驅(qū)動(dòng)信號的情況，由取樣電路301對圖像信號線115上的圖像信號VID1～VID6進(jìn)行取樣，以供給各數(shù)據(jù)線6a。
從外部電路連接端子102經(jīng)主布線108供給的且如上所述那樣由取樣電路301寫入到數(shù)據(jù)線6a中的圖像信號S1、S2、...、Sn可按該順序以線順序的方式來供給，但在本實(shí)施例中，圖像信號S1、S2、...、Sn與被以串-并方式展開的圖像信號VID1～VID6的每一個(gè)相對應(yīng)，被構(gòu)成為對6條數(shù)據(jù)線6a的組按每個(gè)組來供給。此外，關(guān)于圖像信號的相展開的數(shù)目，也可不限于6相，例如構(gòu)成為將被展開為9相、12相、24相等多相的圖像信號供給以與該展開數(shù)對應(yīng)的數(shù)為一組的數(shù)據(jù)線6a的組。
掃描線驅(qū)動(dòng)電路104具備移位寄存器電路和緩沖電路作為構(gòu)成要素。而且，將從外部控制電路經(jīng)外部電路連接端子102和主布線108中的布線LVSSX和布線LVDDX供給的負(fù)電源VSSX和正電源VDDX作為電源來使用，根據(jù)從相同的外部控制電路供給的開始信號SPX開始其內(nèi)置移位寄存器電路的傳送工作。接著，根據(jù)經(jīng)外部電路連接端子102和主布線108中的時(shí)鐘信號線LCLY和反相位時(shí)鐘信號線LCLYINV供給的內(nèi)置移位寄存器電路用的時(shí)鐘信號CLY和反相位時(shí)鐘信號CLYINV按規(guī)定的時(shí)序依次對上述的掃描線3a以脈沖方式施加掃描信號。
此外，在TFT陣列基板10上對作為主布線108中的一條的對向電極電位線LLCCOM進(jìn)行了布線，使其連接到上下導(dǎo)通端子106t上，通過TFT陣列基板10上的4個(gè)角部。而且，經(jīng)上下導(dǎo)通材料106、上下導(dǎo)通端子106t和對向電極電位線LLCCOM對對向電極21供給規(guī)定的電位。利用這些電位供給，可進(jìn)行上述那樣的在像素電極9a與對向電極21的兩電極間被夾持的液晶的驅(qū)動(dòng)。
在本實(shí)施例中，尤其是在圖1中示出的密封區(qū)52a的內(nèi)側(cè)配置了掃描線驅(qū)動(dòng)電路104。即，在圖4和圖5中，與通過4個(gè)上下導(dǎo)通端子106t而包圍圖像顯示區(qū)域10a和各種驅(qū)動(dòng)電路的并沿TFT陣列基板10的邊緣進(jìn)行了布線的對向電極電位線LLCCOM相比，在TFT陣列基板10的靠近中央處配置了掃描線驅(qū)動(dòng)電路104。掃描線驅(qū)動(dòng)電路104通過以這種方式進(jìn)行配置，與在周邊區(qū)域中密封區(qū)52a的外側(cè)配置掃描線驅(qū)動(dòng)電路104的情況相比，削減了TFT陣列基板10上的周邊區(qū)域的空間且可謀求裝置整體的小型化，而且，可對包含到達(dá)對向電極電位線LLCCOM和掃描線驅(qū)動(dòng)電路104的各種信號布線的多條主布線108的組和包含到達(dá)數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101的各種信號布線的多條主布線108的組進(jìn)行平面布局，使其相互不交叉。而且，可對到達(dá)掃描線驅(qū)動(dòng)電路104的主布線108a進(jìn)行平面布局，使其即使在組之間相互也不交叉。此外，即使在到達(dá)數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101的主布線108b的組之間，除了為連接到移位寄存器電路101a、波形選擇電路101b、緩沖電路101c上所必要的交叉部外，能以相互不交叉的方式進(jìn)行平面布局。此外，到達(dá)取樣電路301的主布線108c、即圖像信號線115除了為連接到取樣電路301上所必要的交叉部外，能以相互不交叉的方式進(jìn)行平面布局。
(外部電路連接端子和信號布線的配置結(jié)構(gòu))其次，接著一邊參照圖4和圖5，一邊說明外部電路連接端子102和連接到外部電路連接端子102上的各種信號布線的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。此外，在以下的說明中，在信號和端子T之后分別附以同一字母記號來稱呼經(jīng)外部電路連接端子102輸入到TFT陣列基板10內(nèi)的信號名稱及其輸入端子。即，例如對于作為信號名稱的“時(shí)鐘信號CLX”，將其輸入端子稱呼為“端子TCLX”。
如上所述，沿TFT陣列基板10的一邊設(shè)置的外部電路連接端子102具備大體被分類為對向電極電位線用、掃描線驅(qū)動(dòng)電路用、圖像信號用和數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路用的4個(gè)用途的多個(gè)端子組而被構(gòu)成。更具體地說，外部電路連接端子102具備端子TLCCOM作為對向電極電位線LLCCOM用、具備端子TSPY、端子TVSSY、端子TVDDY、端子TCLX和端子TCLXINV作為掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用、具備端子TVID1～TVID6作為圖像信號VID1～VID6用以及具備端子TVSSX、端子TSPX、端子TVDDX、端子TCLX和端子TCLXINV、端子TENB1～TBNB4和端子TVSSX作為數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101用而被構(gòu)成。
在此，在本實(shí)施例中，如圖4和圖5中所示，在右端和左端的兩端配置了外部電路連接端子102中的供給對向電極電位LCCOM用的2個(gè)端子TLCCOM。而且，將兩端連接到該2個(gè)端子TLCCOM上的對向電極電位線LLCCOM如上所述，連接到4個(gè)上下導(dǎo)通端子106t上，以包圍密封區(qū)52a的外周的方式進(jìn)行了布線。再有，上下導(dǎo)通端子106t也可以是1個(gè)。
其次，與在兩端配置的端子TLCCOM相連從右側(cè)起按下述順序并排地配置了驅(qū)動(dòng)掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的端子TCLY、端子TCLYINV、端子TVDDY和端子TSPY。另一方面，從左側(cè)起按下述順序并排地配置了驅(qū)動(dòng)掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的端子TSPY和端子TVSSY。
通過用這樣的位置關(guān)系配置并構(gòu)成對向電極電位線用的端子TLCCOM和掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的端子組，可使連接到掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的端子組上的多條主布線108a、即驅(qū)動(dòng)掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的多條信號布線的全部在連接到TLCCOM上的對向電極電位線LLCCOM的內(nèi)側(cè)(即，靠近TFT陣列基板10的中央)進(jìn)行布線。而且，如圖5中所示，在右側(cè)的掃描線驅(qū)動(dòng)電路104和左側(cè)的掃描線驅(qū)動(dòng)電路104的外側(cè)且沿對向電極電位線LLCCOM的內(nèi)側(cè)配置了時(shí)鐘信號線LCLY、反相時(shí)鐘信號線LCLYINV和作為恒定電位線的布線LVDDY，使其在圖上的右側(cè)起電連接到左右的掃描線驅(qū)動(dòng)電路104上。即，在如本實(shí)施例那樣在密封區(qū)52a的內(nèi)側(cè)配置了掃描線驅(qū)動(dòng)電路104的情況下，對向電極電位線LLCCOM與上述的掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的信號布線組在基板平面上不交叉。因而，在其制造工序階段中可將對向電極電位線LLCCOM和驅(qū)動(dòng)掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的信號布線組108a作為同時(shí)形成的同一布線層來形成。
假定在采取通過用夾住層間絕緣膜等而分開的布線層形成對向電極電位線LLCCOM和驅(qū)動(dòng)掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的信號布線組以構(gòu)成為在平面上看使之交叉的方法的情況下，可認(rèn)為由于特別是在其交叉部分中從各自的信號布線產(chǎn)生的信號的噪聲的緣故而存在產(chǎn)生互相干擾等的不良情況。與此不同，如上所述，在本實(shí)施例中，由于對向電極電位線LLCCOM與掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的信號布線組在平面上看不交叉，用同一布線層來形成，故可在未發(fā)生之前防止這樣的不良情況。
另外，如果假定將作為供給對向電極電位LCCOM的外部電路連接端子102的端子TLCCOM和驅(qū)動(dòng)掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的端子組配置成與圖4或圖5中示出的相反的位置關(guān)系，即，如果端子TLCCOM處于靠近中央的位置上，則必須使連接到各自的端子上的布線相互間在基板平面上彼此交叉，必須采取將某一條主布線108在中途轉(zhuǎn)換連接到另外的布線層上等的手段。此時(shí)，由于經(jīng)例如在層間絕緣膜中穿通地設(shè)置的接觸孔等互相連接不同的布線層，故導(dǎo)致制造工序的復(fù)雜化，進(jìn)而在這樣的連接部位上特別是產(chǎn)生布線電阻增大等的不良情況的可能性很大。與此不同，通過如本實(shí)施例那樣采取圖4和圖5中示出的那樣的外部電路連接端子102的配置結(jié)構(gòu)，即通過將端子TLCCOM配置在靠近邊緣的位置上，對于對向電極電位線LLCCOM和驅(qū)動(dòng)掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的信號布線組108a來說，在制造工序中可比較容易地形成，而且適當(dāng)?shù)胤乐沽似鹨蛴诓季€電阻的信號延遲等的不良情況。
此外，在密封區(qū)52a的外側(cè)的區(qū)域中形成掃描線驅(qū)動(dòng)電路104的情況下，相對于上述的例子相反地配置供給對向電極電位的端子TLCCOM和掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的端子組，可構(gòu)成為在基板平面上兩者彼此不交叉。通過以這種方式來構(gòu)成，與上述的情況同樣，在基板平面上主布線108彼此不交叉，當(dāng)然可防止因轉(zhuǎn)換連接引起的布線電阻的增大。
在本實(shí)施例中，較為理想的是，由包含鋁等低電阻的金屬膜或合金膜構(gòu)成了對向電極電位線LLCCOM和掃描線驅(qū)動(dòng)電路104的驅(qū)動(dòng)用的各主布線108a。通過這樣來構(gòu)成，可降低這些信號布線的時(shí)間常數(shù)，可防止因布線的迂回引起的信號延遲。另外，如果由低電阻的金屬膜或合金膜形成主布線108a，則也容易采取以相互不交叉的方式使包含對向電極電位線LLCCOM的多條主布線108彎曲地行進(jìn)的結(jié)構(gòu)。即，因彎曲地行進(jìn)的緣故，布線長度增大，伴隨于此，布線電阻增大，但通過由低電阻的金屬膜或合金膜來形成，可使因彎曲地行進(jìn)帶來的缺點(diǎn)變得幾乎或完全不明顯。相反，由于使其彎曲地行進(jìn)可避免主布線108的交叉，故可在被限制了的周邊區(qū)域內(nèi)對數(shù)目更多的主布線108進(jìn)行平面布局。
再者，在外部電路連接端子102中，與掃描線驅(qū)動(dòng)電路104用的端子TSPY和端子TVSSY相連從左側(cè)起按下述順序并排地配置了圖像信號用的端子TVID1～TVID6、數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101用的端子TVSSY、端子TSPY、端子TVDDY、端子TCLX和端子TCLXINV、端子TENB1～TBNB4和端子TVSSX。
在此，作為連接到端子TVID1～TVID6上的主布線108c的6條圖像信號線115各自在基板平面上彼此不交叉地且也與連接到外部電路連接端子102上的其它的任一條信號布線在基板平面上彼此不交叉地在取樣電路301與數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101之間的區(qū)域中進(jìn)行了布線。具體地說，在掃描線驅(qū)動(dòng)電路104的驅(qū)動(dòng)用的主布線108a的布線LVSSY與數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101的驅(qū)動(dòng)用的主布線108b的布線LVSSX之間配置了圖像信號線115。而且，為了將各圖像信號線115電連接到取樣電路301上，經(jīng)未圖示的接觸孔與引出布線116連接。而且，與其它的圖像信號線115相互交叉地配置引出布線116。
此外，對于連接到數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路用的各端子上的多條主布線108b、即作為恒定電位線的布線LVSSX和作為恒定電位線的布線LVDDX、開始信號線LSPX、時(shí)鐘信號線LCLX和反相位時(shí)鐘信號線LCLXINV以及使能信號線LENB1～LENB4來說，各自在基板平面上彼此不交叉地且也與連接到外部電路連接端子102上的其它的任一條主布線108在基板平面上彼此不交叉地進(jìn)行了布線，以便到達(dá)數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101。具體地說，在主布線108a和主布線108c的內(nèi)側(cè)且以包圍數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101的方式配置布線LVSSX。然后，在布線LVSSX的內(nèi)側(cè)配置了作為其它的主布線108b的開始信號線LSPX、時(shí)鐘信號線LCLX和反相位時(shí)鐘信號線LCLXINV以及使能信號線LENB1～LENB4。然后，為了電連接到數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101的移位寄存器電路101a、波形選擇電路101b和緩沖電路101c上，經(jīng)接觸孔與引出布線連接。然后，與其它的主布線108b相互交叉地配置引出布線。
由于如上所述地配置了外部電路連接端子102，故按照本實(shí)施例，由于在基板平面上無交叉地對連接到各自的端子上的多條主布線108進(jìn)行布線的緣故，故可將連接到外部電路連接端子102上的全部的主布線108作為在其制造工序的階段中同時(shí)形成的同一布線層來形成。因此，可謀求制造工序的簡化。而且，如已敘述的那樣，可在未發(fā)生之前防止交叉的主布線108間的干擾等的不良情況，也可在未發(fā)生之前防止起因于布線中途的接觸孔等產(chǎn)生的接觸電阻或布線電阻的信號延遲等的不良情況。
在本實(shí)施例中，較為理想的是，將圖像信號用的端子TVID1～TVID6配置成被恒定電位線用或?qū)儆诘皖l控制信號的信號布線用的端子夾持其兩側(cè)，而且將其配置在盡可能離開屬于用于驅(qū)動(dòng)數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101的高頻控制信號的信號布線用的端子的位置上。更具體地說，如圖4和圖5中所示，將圖像信號用的端子TVID1～TVID6配置成被恒定電位線用的端子TVSSY和端子TVSSX所夾持，而且，將其配置在盡可能離開屬于高頻控制信號的布線用的端子TCLXINV、端子TCLX和端子TENB1～TBNB4和的位置上。一般來說，由于電磁波隨距離和障礙物的介入而減少，故通過如本實(shí)施例那樣來配置，可減少對于圖像信號線115的高頻的時(shí)鐘噪聲等的跳入。即，通過在離開高頻控制信號用的布線組較遠(yuǎn)的位置上配置圖像信號線115，減少了噪聲的影響，而且，利用恒定電位線的介入，成為與高頻控制信號的布線進(jìn)行電屏蔽的形態(tài)。因而，可維持高品位的圖像顯示而不會(huì)因噪聲的影響而導(dǎo)致圖像質(zhì)量惡化。
(像素部的詳細(xì)結(jié)構(gòu))以下，參照圖6和圖7說明數(shù)據(jù)線6a、掃描線3a、TFT30等的與實(shí)現(xiàn)上述那樣的電路工作的電光裝置的像素部有關(guān)的實(shí)際的結(jié)構(gòu)。在此，圖6是示出本實(shí)施例的電光裝置中的形成了數(shù)據(jù)線、掃描線、像素電極等的TFT陣列基板的互相鄰接的多個(gè)像素組的平面圖，圖7是其A-A’剖面圖。
在圖6中，在TFT陣列基板10上以矩陣狀設(shè)置了多個(gè)像素電極9a(用點(diǎn)線部9a’示出了輪廓)，分別沿像素電極9a的縱橫的邊界，設(shè)置了數(shù)據(jù)線6a和掃描線3a。數(shù)據(jù)線6a例如由鋁膜等的金屬膜或合金膜構(gòu)成，掃描線3a例如由導(dǎo)電性的多晶硅膜等構(gòu)成。此外，這樣來配置掃描線3a，使其與半導(dǎo)體層1a中的用圖中右上斜線區(qū)域示出的溝道區(qū)1a’相對，掃描線3a起到柵電極的功能。即，在掃描線3a與數(shù)據(jù)線6a交叉的部位上分別在溝道區(qū)1a’上設(shè)置了將掃描線3a的主線部作為柵電極被對向地配置的像素開關(guān)用的TFT30。
如圖7中所示，電光裝置具備透明的TFT陣列基板10和與其對向地配置的透明的對向基板20。TFT陣列基板10例如由石英基板、玻璃基板、硅基板構(gòu)成，對向基板20例如由玻璃基板或石英基板構(gòu)成。在TFT陣列基板10上，設(shè)置了像素電極9a，在其上側(cè)，設(shè)置了被進(jìn)行了研磨處理等的規(guī)定的取向處理的取向膜16。其中，像素電極9a例如由ITO(銦錫氧化物)膜等的透明導(dǎo)電性薄膜構(gòu)成。另一方面，在對向基板20的整個(gè)面上設(shè)置了對向電極21，在其下側(cè)，設(shè)置了被進(jìn)行了研磨處理等的規(guī)定的取向處理的取向膜22。其中，對向電極21與上述的像素電極9a同樣地例如由ITO膜等透明導(dǎo)電性薄膜構(gòu)成，上述的取向膜16和22例如由聚酰亞胺薄膜等的透明的有機(jī)膜構(gòu)成。液晶層50在沒有被施加來自像素電極9a的電場的狀態(tài)下，由取向膜16和22取規(guī)定的取向狀態(tài)。
TFT30，如圖7中所示，具有LDD(輕摻雜漏)結(jié)構(gòu)，作為其構(gòu)成要素，具備如上所述起到柵電極的功能的掃描線3a；例如由多晶硅膜構(gòu)成且利用來自掃描線3a的電場形成溝道的半導(dǎo)體層1a的溝道區(qū)1a’；包含對掃描線3a與半導(dǎo)體層1a進(jìn)行絕緣的柵絕緣膜的絕緣膜2；半導(dǎo)體層1a的低濃度源區(qū)1b和低濃度漏區(qū)1c；以及半導(dǎo)體層1a的高濃度源區(qū)1d和高濃度漏區(qū)1e。
再有，TFT30最好如圖7中所示具有LDD結(jié)構(gòu)，但也可具有不對低濃度源區(qū)1b和低濃度漏區(qū)1c進(jìn)行雜質(zhì)注入的偏移(offset)結(jié)構(gòu)，也可以是自對準(zhǔn)型的TFT，其中，以由掃描線3a的一部分構(gòu)成的柵電極作為掩模，以高濃度注入雜質(zhì)，以自對準(zhǔn)的方式形成高濃度源和漏。此外，在本實(shí)施例中，作成在高濃度源區(qū)1d與高濃度漏區(qū)1e之間只配置了1個(gè)像素開關(guān)用TFT30的柵電極的單柵結(jié)構(gòu)，但也可在其間配置2個(gè)以上的柵電極。如果以這種方式用雙柵或三柵以上構(gòu)成TFT，則可防止溝道與源-漏區(qū)接合部的漏泄電流，可降低關(guān)斷時(shí)的電流。再者，構(gòu)成TFT30的半導(dǎo)體層1a可以是非單晶層，也可以是單晶層。在單晶層的形成中，可使用貼合法等已知的方法。通過將半導(dǎo)體層1a作成單晶層。特別是可謀求周邊電路的高性能化。
另一方面，在圖7中，通過經(jīng)電介質(zhì)膜75對向地配置作為連接到TFT30的高濃度漏區(qū)1 e和像素電極9a上的像素電位側(cè)電容電極的中繼層71和作為固定電位側(cè)電容電極的電容線300的一部分來形成存儲(chǔ)電容器70。
電容線300例如包含由Ti(鈦)、Cr(鉻)、W(鎢)、Ta(鉭)、Mo(鉬)等的高熔點(diǎn)金屬中至少一種的金屬單質(zhì)、合金、金屬硅化物、多晶硅硅化物、層疊了這些物質(zhì)的層疊體等構(gòu)成?；蛘?，也可由Al(鋁)膜來形成。
中繼層71例如由導(dǎo)電性的多晶硅膜構(gòu)成，起到像素電位側(cè)電容電極的功能。但是，中繼層71與后面敘述的電容線300同樣，也可由包含金屬或合金的單一層膜或多層膜構(gòu)成。中繼層71除了起到像素電位側(cè)電容電極的功能外，還具有經(jīng)接觸孔83和85對像素電極9a與TFT30的高濃度漏區(qū)1e進(jìn)行中繼連接的功能。
電容線300起到與中繼層71對向地配置的固定電位側(cè)電容電極的功能。如果從平面上看該電容線300，則如圖6中所示，與掃描線3a的形成區(qū)域重疊地被形成。更具體地說，電容線300具備沿掃描線3a延伸的主線部、在圖中從與數(shù)據(jù)線6a交叉的各部位起分別沿?cái)?shù)據(jù)線6a向上方突出的突出部和稍微包括與接觸孔85對應(yīng)的部位的包括部。其中，突出部利用掃描線3a上和數(shù)據(jù)線6a下的區(qū)域，對存儲(chǔ)電容器70的形成區(qū)域的增大有貢獻(xiàn)。此外，較為理想的是，電容線300從配置了像素電極9a的圖像顯示區(qū)域10a起在其周圍延伸地設(shè)置，與恒定電位源電連接，其電位被定為固定電位。作為這樣的恒定電位源，可以是對數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路101供給的正電源VDDX或負(fù)電源VSSX的恒定電位源，也可以是對對向基板20的對向電極21供給的對向電極電位LCCOM。
如圖7中所示，電介質(zhì)膜75例如膜厚約為5～200nm的比較薄的HTO(高溫氧化膜)、LTO(低溫氧化膜)等的氧化硅膜或氮化硅膜等構(gòu)成。從使存儲(chǔ)電容器70增大的觀點(diǎn)來看，只要能充分地得到膜的可靠性，電介質(zhì)膜75越薄越好。
在圖6和圖7中所示，除了上述的部分外，在TFT30的下側(cè)設(shè)置了下側(cè)遮光膜11a。以柵格狀對下側(cè)遮光膜11a進(jìn)行構(gòu)圖，由此規(guī)定了各像素的開口區(qū)域。此外，對于下側(cè)遮光膜11a來說，也與上述的電容線300同樣，由包含金屬或合金的單一層膜或多層膜構(gòu)成。此外，利用圖6中的數(shù)據(jù)線6a和以與其交叉的方式形成的電容線300也進(jìn)行了開口區(qū)域的規(guī)定。此外，對于下側(cè)遮光膜11a來說，也與上述的電容線300同樣，為了避免其電位變動(dòng)對TFT30產(chǎn)生不良影響，最好從圖像顯示區(qū)域起在其周圍延伸地設(shè)置并連接到恒定電位源上。
此外，在TFT30下設(shè)置了基底絕緣膜12?；捉^緣膜12除了從下側(cè)遮光膜11a起對TFT30進(jìn)行層間絕緣的功能外，通過在TFT陣列基板10的整個(gè)面上被形成，具有防止因TFT陣列基板10的表面研磨時(shí)的變粗糙或清洗后殘留的塵埃等而使像素開關(guān)用TFT30特性變化的功能。
另外，在掃描線3a上形成了第1層間絕緣膜41，在該第1層間絕緣膜41中分別開出了通向高濃度源區(qū)1d的接觸孔81和通向高濃度漏區(qū)1e的接觸孔83。
在第1層間絕緣膜41上形成了中繼層71和電容線300，在其上形成了第2層間絕緣膜42，在該第2層間絕緣膜42中分別開出了通向高濃度源區(qū)1d的接觸孔81和通向中繼層71的接觸孔85。
另外，在第2層間絕緣膜42上形成了數(shù)據(jù)線6a，在其上形成了第3層間絕緣膜43，在第3層間絕緣膜43中形成了通向中繼層71的接觸孔85。
(信號布線的剖面結(jié)構(gòu))其次，以下與參照圖7已說明的像素部的剖面結(jié)構(gòu)對應(yīng)地說明特別與本實(shí)施例有關(guān)的連接到外部電路連接端子上的各種信號布線的剖面結(jié)構(gòu)。在此，圖8是圖4或圖5的B-B’剖面圖，圖9是圖4或圖5的C-C’剖面圖。
如圖8中所示，連接到外部電路連接端子102的多個(gè)端子中的圖4或圖5中示出的右側(cè)一半部分的端子TCLYINV～端子TLCCOM上的主布線108全部在圖7中示出的第2層間絕緣膜42上各自彼此作為在制造工序階段中同時(shí)形成的同一布線層來構(gòu)成。另一方面，如圖9中所示，對于連接到外部電路連接端子102的多個(gè)端子中的圖4或圖5中示出的剩下的左側(cè)一半部分的端子TVDDX～端子TLCCOM上的主布線108來說，也在圖7中示出的第2層間絕緣膜42上各自彼此作為在制造工序階段中同時(shí)形成的同一布線層來構(gòu)成。即，連接到外部電路連接端子102上的全部的主布線108與參照圖7在上述的第2層間絕緣膜上形成的數(shù)據(jù)線6a的布線層一起，作為同時(shí)形成的同一布線層來構(gòu)成。這一點(diǎn)是通過按圖4或圖5中示出的那樣的順序排列外部電路連接端子102的各端子、在基板平面上以彼此不交叉的方式對連接到這些端子上的主布線108進(jìn)行布線來實(shí)現(xiàn)的。
如上所述，由于能將連接到外部電路連接端子102上的各種主布線108彼此作為同一布線層來構(gòu)成，故在這些制造工序中可比較容易地形成，進(jìn)而，通過能與數(shù)據(jù)線6a作為同一布線層來構(gòu)成，可進(jìn)一步使制造工序簡化。另外，由于數(shù)據(jù)線6a如上所述例如由鋁膜等的低電阻的金屬膜或合金膜構(gòu)成，故對于與其同時(shí)形成的連接到外部電路連接端子102上的各種主布線108來說，也可作為低電阻的信號布線來構(gòu)成，可防止信號延遲等的不良情況。
(變形形態(tài))其次，參照圖10和圖11，說明上述實(shí)施例的變形形態(tài)。在此，圖10和圖11分別是與變形形態(tài)有關(guān)的主布線和冗余布線的剖面圖，圖10是與其延伸方向垂直的剖面，即，在與圖9相同的圖4或圖5的C-C’剖面對應(yīng)的部位上切割的剖面圖，圖11是在沿其延伸方向的剖面切割的剖面圖。
如圖10和圖11中所示，在變形形態(tài)中，作為與圖9相同的由鋁膜等分別形成的多條主布線108的布線LVDDX、LSPX、LVSSX等分別具有冗余布線600。冗余布線600是與主布線108分開的層，例如由與高熔點(diǎn)金屬膜等的電容線300為同一的導(dǎo)電膜形成。此外，各冗余布線600在平面上看與對應(yīng)的主布線108重疊地延伸，在構(gòu)成冗余結(jié)構(gòu)的區(qū)域中，被形成為具有與主布線108大致同樣的平面布局。再者，冗余布線600分別經(jīng)多個(gè)接觸孔601與對應(yīng)的主布線108電連接，起到該被連接的主布線108的冗余布線的功能。關(guān)于其它的結(jié)構(gòu)，與參照圖1至圖9已說明的上述的因而，按照本變形形態(tài)，利用冗余結(jié)構(gòu)的采用，可進(jìn)一步降低主布線108的布線電阻。另外，即使假定構(gòu)成冗余結(jié)構(gòu)的主布線108和冗余布線中的一方發(fā)生斷線，由于仍存在起到布線的功能的可能性，故可降低裝置成為缺陷品的可能性，也可提高制造的成品率。
(電子設(shè)備)其次，關(guān)于作為將以上詳細(xì)地說明的電光裝置用作光閥的電子設(shè)備的一例的投射型彩色顯示裝置的實(shí)施例，說明其整體結(jié)構(gòu)、特別是光學(xué)結(jié)構(gòu)。在此，圖12是投射型彩色顯示裝置的示意性的剖面圖。
在圖12中，作為本實(shí)施例中的投射型彩色顯示裝置的一例的液晶投影機(jī)1100被構(gòu)成為這樣的投影機(jī)其中準(zhǔn)備了3個(gè)包含將驅(qū)動(dòng)電路安裝在TFT陣列基板上的液晶裝置的液晶模塊，分別作為RGB用的光閥100R、100G、100B來使用。在液晶投影機(jī)1100中，如果由金屬鹵素?zé)舻劝咨庠吹臒魡卧?102發(fā)射投射光，則利用3片反射鏡1106和2片分色鏡1108，分成與RGB的3原色對應(yīng)的光分量R、G、B，分別被引導(dǎo)到與各色對應(yīng)的光閥100R、100G、100B上。此時(shí)，特別是為了防止B光中因長的光路引起的光損耗，故經(jīng)由入射透鏡1122、中繼透鏡1123和射出透鏡1124構(gòu)成的中繼透鏡系統(tǒng)1121對其進(jìn)行引導(dǎo)。然后，與被光閥100R、100G、100B分別調(diào)制的3原色對應(yīng)的光分量在利用分色棱鏡1112再度被合成之后，經(jīng)投射透鏡1114作為彩色圖像投射到屏幕1120上。
本發(fā)明不限于上述的實(shí)施例，在不違反技術(shù)方案的范圍和從整個(gè)說明書讀取的發(fā)明的要旨或思想的范圍內(nèi)，可作適當(dāng)?shù)淖兏?。伴隨這樣的變更的電光裝置和電子設(shè)備也包含在本發(fā)明的技術(shù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種電光裝置，其特征在于具備在元件基板上的圖像顯示區(qū)域中具備的多個(gè)像素部；位于上述元件基板上的上述圖像顯示區(qū)域的周邊的周邊區(qū)域中的，多個(gè)外部電路連接端子；多條主布線，其一端分別連接到該多個(gè)外部電路連接端子上；以及周邊驅(qū)動(dòng)電路，連接到該主布線的另一端上，用來根據(jù)從上述外部電路連接端子經(jīng)上述主布線供給的電信號驅(qū)動(dòng)上述像素部，上述多條主布線由同一導(dǎo)電膜形成，同時(shí)在上述周邊區(qū)域內(nèi)被平面布局為相互不交叉。
2.如權(quán)利要求1中所述的電光裝置，其特征在于包含上述周邊驅(qū)動(dòng)電路的內(nèi)部布線、從上述周邊驅(qū)動(dòng)電路朝向上述像素部引出的引出布線和從上述主布線分支的分支布線中的至少一條而構(gòu)成的副布線，在其第1部分中由與上述同一導(dǎo)電膜不同的另一導(dǎo)電膜來形成經(jīng)層間絕緣膜與上述主布線交叉，而且在其第2部分中由上述同一導(dǎo)電膜來形成，在上述周邊區(qū)域內(nèi)被平面布局為與上述主布線不交叉。
3.如權(quán)利要求2中所述的電光裝置，其特征在于上述第1部分與上述第2部分間經(jīng)在上述層間絕緣膜中開孔的接觸孔電連接。
4.如權(quán)利要求1中所述的電光裝置，其特征在于在與上述元件基板對向地配置的對向基板上的上述周邊區(qū)域中還具備對向電極，在上述元件基板上的上述周邊區(qū)域中還具備上述多條主布線中的至少一條的用來對上述對向電極供給對向電極電位的對向電極電位線與用來取得上述對向電極之間的上下導(dǎo)通的上下導(dǎo)通端子，在上述周邊區(qū)域中，上述對向電極電位線在上述多條主布線中處于靠近上述元件基板的邊緣的位置上，在上述周邊區(qū)域中，上述周邊驅(qū)動(dòng)電路與上述上下導(dǎo)通端子和上述對向電極電位線相比處于靠近上述元件基板的中央的位置上。
5.如權(quán)利要求4中所述的電光裝置，其特征在于上述多個(gè)外部電路連接端子，沿上述元件基板的一邊排列，上述多個(gè)外部電路連接端子中連接上述對向電極電位線的一端的外部電路連接端子在上述多個(gè)外部電路連接端子的排列中處于靠近端部的位置上。
6.如權(quán)利要求1中所述的電光裝置，其特征在于在與上述元件基板對向地配置的對向基板上的上述周邊區(qū)域中還具備對向電極，在上述元件基板上的上述周邊區(qū)域中還具備用上述多條主布線中的至少一條的用來對上述對向電極供給對向電極電位的對向電極電位線與用來取得上述對向電極之間的上下導(dǎo)通的上下導(dǎo)通端子，在上述周邊區(qū)域中，上述對向電極電位線與除了上述對向電極電位線外的一條或多條主布線相比處于靠近上述元件基板的邊緣的位置上，與除了上述對向電極電位線外的另一條或多條主布線相比處于靠近上述元件基板的中央的位置上，在上述周邊區(qū)域中，上述周邊驅(qū)動(dòng)電路的一部分與上述上下導(dǎo)通端子和上述對向電極電位線相比處于部分地靠近上述元件基板的中央的位置上，在上述周邊區(qū)域中，上述周邊驅(qū)動(dòng)電路的另一部分與上述上下導(dǎo)通端子和上述對向電極電位線相比處于部分地靠近上述元件基板的邊緣的位置上。
7.如權(quán)利要求6中所述的電光裝置，其特征在于上述多個(gè)外部電路連接端子沿上述元件基板的一邊排列，上述多個(gè)外部電路連接端子中連接上述另一條或多條主布線的一端的外部電路連接端子在上述多個(gè)外部電路連接端子的排列中處于靠近端部的位置上。
8.如權(quán)利要求4中所述的電光裝置，其特征在于上述多條主布線包含在分別供給時(shí)鐘信號及其反轉(zhuǎn)信號作為上述電信號的同時(shí)不與上述對向電極電位線交叉的一對時(shí)鐘信號線。
9.如權(quán)利要求6中所述的電光裝置，其特征在于上述多條主布線包含在分別供給時(shí)鐘信號及其反轉(zhuǎn)信號作為上述電信號的同時(shí)不與上述對向電極電位線交叉的一對時(shí)鐘信號線。
10.如權(quán)利要求1中所述的電光裝置，其特征在于上述多條主布線包含供給時(shí)鐘信號及其反轉(zhuǎn)信號作為上述電信號用的一對時(shí)鐘信號線和供給電源信號作為上述電信號用的電源布線，上述一對時(shí)鐘信號線與上述電源布線不交叉。
11.如權(quán)利要求1中所述的電光裝置，其特征在于以避免相互交叉而彎曲地行進(jìn)的方式對上述多條主布線進(jìn)行了平面布局。
12.如權(quán)利要求1中所述的電光裝置，其特征在于上述多條主布線至少部分地包含由在與上述同一導(dǎo)電膜分開的層中形成的另一導(dǎo)電膜構(gòu)成的冗余布線。
13.一種電光裝置，其特征在于具備在元件基板上的圖像顯示區(qū)域中具備的多個(gè)像素部；位于上述元件基板上的上述圖像顯示區(qū)域的周邊的周邊區(qū)域的，多個(gè)外部電路連接端子；掃描線驅(qū)動(dòng)電路；數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路；其一端連接到上述外部電路連接端子上其另一端連接到上述掃描線驅(qū)動(dòng)電路上的掃描線驅(qū)動(dòng)電路用布線；其一端連接到上述外部電路連接端子上其另一端連接到上述數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路上的數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路用布線；以及其一端連接到上述外部電路連接端子上用來供給上述多個(gè)像素部的圖像信號的圖像信號布線，在上述周邊區(qū)域內(nèi)將上述掃描線驅(qū)動(dòng)電路用布線、上述數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路用布線和上述圖像信號布線平面布局為相互不交叉。
14.如權(quán)利要求12中所述的電光裝置，其特征在于在上述掃描線驅(qū)動(dòng)電路用布線與上述數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路用布線之間配置上述圖像信號布線。
15.如權(quán)利要求12中所述的電光裝置，其特征在于在與上述元件基板對向地配置的對向基板上的上述周邊區(qū)域中還具備對向電極和其一端連接到上述外部電路連接端子上其另一端對上述對向電極供給對向電位用的對向電極電位線，將上述對向電極電位線配置成包圍上述掃描線驅(qū)動(dòng)電路用布線。
16.一種電子設(shè)備，其特征在于具備權(quán)利要求1至權(quán)利要求15的任一項(xiàng)中所述的電光裝置。
全文摘要
一種電光裝置，在位于上述元件基板上的圖像顯示區(qū)域的周邊的周邊區(qū)域中具備多個(gè)外部電路連接端子；多條主布線，其一端分別連接到該多個(gè)外部電路連接端子上；以及周邊驅(qū)動(dòng)電路，連接到該主布線的另一端上，用來根據(jù)從上述外部電路連接端子經(jīng)上述主布線供給的電信號驅(qū)動(dòng)上述像素部。而且，上述多條主布線由同一導(dǎo)電膜形成，同時(shí)在上述周邊區(qū)域內(nèi)對上述多條主布線進(jìn)行了平面布局，使其相互不交叉。
文檔編號G02F1/1362GK1573892SQ200410046048
公開日2005年2月2日 申請日期2004年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月2日
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