專利名稱：感光性樹脂組成物以及其制出的彩色濾光片用透明材料的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種感光性樹脂組成物以及用其制出的彩色濾光片用透明材料。
背景技術(shù)：
近年，一種利用半透過(guò)型彩色濾光片的液晶面板被應(yīng)用于手機(jī)等用途上。所謂半透過(guò)型，意味著在液晶面板的元件內(nèi)部存在有反射型部分和透過(guò)型部分兩部分。在半透過(guò)型彩色濾光片中，當(dāng)使用相同的彩色光阻，以反射型為基本設(shè)計(jì)半透過(guò)型時(shí)，在光通過(guò)2次的反射部是沒有問題，但是在光只通過(guò)1次的透過(guò)部，有透過(guò)部的著色層的顏色變淡的問題。而且，當(dāng)以透過(guò)型為基本進(jìn)行設(shè)計(jì)時(shí)，在透過(guò)部是沒有問題，但在反射部由于光通過(guò)2次，有著色層變得過(guò)濃的問題。有鑒于此，提出了一種半透過(guò)型彩色濾光片，是以透過(guò)型為基本，使反射部的著色層的厚度變薄，并在該反射部的著色層的上面或下面配置透明層而與透過(guò)部形成同一厚度，保持整體的平坦性，且使來(lái)自透過(guò)部的透過(guò)光的顏色和來(lái)自反射部的反射光的顏色相同。
但是，在用于制作反射部的透明層的習(xí)知的透明光阻中，通過(guò)掩膜的傾斜入射光由位于彩色濾光片層的下部的反射板被傾斜反射，光阻利用該傾斜反射光進(jìn)行曝光，圖案在后烘熱后成正錐形，有起模性差的問題，且當(dāng)曝光量增大時(shí)該傾向有變大的問題。當(dāng)形成正錐形時(shí)，在反射部和透過(guò)部的交界處顏色產(chǎn)生差異，這使得利用彩色液晶顯示裝置所表示的彩色圖像和利用彩色固體拍攝元件所拍攝的彩色圖像等的品質(zhì)低下。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種即使曝光量增大也可形成圖案，并且脫模性良好、解像度也良好的感光性樹脂組成物。本發(fā)明的另一目的是提供一種利用該感光性樹脂組成物所形成的透明材料、含有該透明材料層的彩色濾光片及安裝有該彩色濾光片的液晶顯示裝置。
有鑒于此，本發(fā)明者經(jīng)過(guò)銳意的研討，發(fā)現(xiàn)當(dāng)使用將含有特定構(gòu)造的化合物的光聚合引發(fā)劑及光聚合開始助劑分別以特定的比例組合的感光性樹脂組合物時(shí)，即使增大曝光量也可形成圖案及脫模性良好，并形成本發(fā)明。
即，本發(fā)明包括以下的發(fā)明。
<1>一種感光性樹脂組成物，包括(A)粘結(jié)劑聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)含有至少1種苯乙酮類化合物的光聚合引發(fā)劑、(D)含有至少1種胺類化合物的光聚合引發(fā)劑及(E)溶劑，(C)成分及(D)成分的合計(jì)量為對(duì)(A)成分及(B)成分的合計(jì)100質(zhì)量部的0.1質(zhì)量部以上20質(zhì)量部以下，(D)成分的量為對(duì)(C)成分的1質(zhì)量部的0.6質(zhì)量部以上10質(zhì)量部以下。
<2>在上述的感光性樹脂組成物中，(C)成分所包含的苯乙酮類化合物為2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲基苯硫基)丙烷-1-酮，(D)成分所包含的胺類化合物為4，4’-雙(二乙胺基)二苯甲酮。
<3>一種圖案的形成方法，是將上述的感光性樹脂組成物涂敷于基板上，并從所涂敷的著色感光性樹脂組成物層中除去揮分成分，通過(guò)光掩膜將前述層曝光且進(jìn)行顯像。
<4>一種透明材料圖案，借由將上述的感光性樹脂組成物涂敷于基板上，并從所涂敷的著色感光性樹脂組成物層中除去揮分成分，通過(guò)光掩膜將前述層曝光且進(jìn)行顯像得到。
<5>含有上述的透明樹脂圖案的彩色濾光片。
<6>安裝有上述的彩色濾光片的液晶顯示裝置。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明中所用的(A)粘合劑聚合物[以下有時(shí)稱作(A)成分]可利用丙烯酸共聚合物，例如與含羧基單體及與其可共聚的其它單體的共聚合物等。
含羧基單體可為例如不飽和一元羧酸和不飽和二羧酸、不飽和三元羧酸等不飽和多價(jià)羧酸等、在分子中含有至少1個(gè)羧基的不飽和羧酸。這里，不飽和一元羧酸可為例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、α-氯丙烯酸、肉桂酸等。不飽和二羧酸可為例如馬來(lái)酸、富馬酸、衣康酸、檸康酸、中康酸等。不飽和多價(jià)羧酸也可為其酸酐，具體地說(shuō)例如馬來(lái)酸酐、衣康酸酐、檸康酸酐等。而且，不飽和多價(jià)羧酸也可為其單(2-甲基丙烯?；榛?酯，例如也可為琥珀酸單(2-丙烯?；一?酯、琥珀酸單(2-甲基丙烯酰基乙基)酯、鄰苯二甲酸單(2-丙烯酰基乙基)酯、鄰苯二甲酸單(甲基丙烯?；一?酯等。不飽和多價(jià)羧酸也可為其兩末端二羧基聚合物的單(甲基)丙烯酸酯，例如也可為ω-羧基聚己內(nèi)酰單丙烯酸酯、ω-羧基聚己內(nèi)酰單甲基丙烯酸酯等。這些含羧基單體可分別單獨(dú)或?qū)?種以上混合使用。
作為能夠與該含羧基單體共聚的其它單體，可舉出例如苯乙烯、α-甲基苯乙烯、o-乙烯基甲苯、m-乙烯基甲苯、p-乙烯基甲苯、p-氯苯乙烯、o-甲氧基苯乙烯、m-甲氧基苯乙烯、p-甲氧基苯乙烯、o-乙烯基芐基甲基醚、m-乙烯基芐基甲基醚、p-乙烯基芐基甲基醚、o-乙烯基芐基環(huán)氧丙基醚、m-乙烯基芐基環(huán)氧丙基醚、p-乙烯基芐基環(huán)氧丙基醚、茚等芳香族乙烯化合物；甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸甲酯、乙基丙烯酸酯、乙基甲基丙烯酸酯、n-丙基丙烯酸酯、n-丙基甲基丙烯酸酯、i-丙基丙烯酸酯、i-丙基甲基丙烯酸酯、n-丁基丙烯酸酯、n-丁基甲基丙烯酸酯、i-丁基丙烯酸酯、i-丁基甲基丙烯酸酯、sec-丁基丙烯酸酯、sec-丁基甲基丙烯酸酯、t-丁基丙烯酸酯、t-丁基甲基丙烯酸酯、2-羥乙基丙烯酸酯、2-羥乙基甲基丙烯酸酯、2-羥丙基丙烯酸酯、2-羥丙基甲基丙烯酸酯、3-羥丙基丙烯酸酯、3-羥丙基甲基丙烯酸酯、2-羥丁基丙烯酸酯、2-羥丁基甲基丙烯酸酯、3-羥丁基丙烯酸酯、3-羥丁基甲基丙烯酸酯、4-羥丁基丙烯酸酯、4-羥丁基甲基丙烯酸酯、烯丙基丙烯酸酯、烯丙基甲基丙烯酸酯、芐基丙烯酸酯、芐基甲基丙烯酸酯、環(huán)己基丙烯酸酯、環(huán)己基甲基丙烯酸酯、苯基丙烯酸酯、苯基甲基丙烯酸酯、2-甲氧基乙基丙烯酸酯、2-甲氧基乙基甲基丙烯酸酯、2-苯氧基乙基丙烯酸酯、2-苯氧基乙基甲基丙烯酸酯、甲氧基二甘醇丙烯酸酯、甲氧基二甘醇甲基丙烯酸酯、甲氧基三甘醇丙烯酸酯、甲氧基三甘醇甲基丙烯酸酯、甲氧基丙二醇丙烯酸酯、甲氧基丙二醇甲基丙烯酸酯、甲氧基雙丙二醇丙烯酸酯、甲氧基雙丙二醇甲基丙烯酸酯、異冰片丙烯酸酯、異冰片甲基丙烯酸酯、二環(huán)戊二烯基丙烯酸酯、二環(huán)戊二烯甲基丙烯酸酯、2-羥基-3-苯氧基丙基丙烯酸酯、2-羥基-3-苯氧基丙基甲基丙烯酸酯、丙三醇單丙烯酸酯、丙三醇單甲基丙烯酸酯等不飽和羧酸酯類；2-氨基乙基丙烯酸酯、2-氨基乙基甲基丙烯酸酯、2-二甲基氨基乙基丙烯酸酯、2-二甲基氨基乙基甲基丙烯酸酯、2-氨基丙基丙烯酸酯、2-氨基丙基甲基丙烯酸酯、2-二甲基氨基丙基丙烯酸酯、2-二甲基氨基丙基甲基丙烯酸酯、3-氨基丙基丙烯酸酯、3-氨基丙基甲基丙烯酸酯、3-二甲基氨基丙基丙烯酸酯、3-二甲基氨基丙基甲基丙烯酸酯等不飽和羧酸氨基烷基酯類；縮水甘油丙烯酸酯、縮水甘油甲基丙烯酸酯等不飽和羧酸縮水甘油酯類；乙酸乙烯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯酯類；乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基環(huán)氧丙基醚等不飽和醚類；丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯代丙烯腈、偏二氰乙烯等丙烯腈化合物；丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、α-氯代丙烯酰胺、N-2-羥乙基丙烯酰胺、N-2-羥乙基甲基丙烯酰胺等不飽和酰胺類；馬來(lái)酸酐縮亞胺、N-苯基馬來(lái)酸酐縮亞胺、N-環(huán)己基馬來(lái)酸酐縮亞胺等不飽和亞胺類；1，3-丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯等脂肪族共軛二烯類；聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚-n-丁基丙烯酸酯、聚-n-丁基甲基丙烯酸酯、在聚硅氧烷的聚合物分子鏈的末端具有單丙烯?；騿渭谆；叻肿訂误w類等。這些單體可分別單獨(dú)或?qū)?種以上混合使用。
該共聚合物中之含羧基單體單位的含有量在質(zhì)量分率上通常為10～50質(zhì)量％左右，較佳為15～40質(zhì)量％左右，最佳為25～40質(zhì)量左右。
作為該丙烯酸類共聚合物，可舉出例如(甲基)丙烯酸/甲基(甲基)丙烯酸酯共聚合物、(甲基)丙烯酸/芐基(甲基)丙烯酸酯共聚合物、(甲基)丙烯酸/2-羥乙基(甲基)丙烯酸酯/芐基(甲基)丙烯酸酯共聚合物、(甲基)丙烯酸/甲基(甲基)丙烯酸酯/聚苯乙烯高分子單體共聚合物、(甲基)丙烯酸/甲基(甲基)丙烯酸酯/聚甲基(甲基)丙烯酸酯高分子單體共聚合物、(甲基)丙烯酸/芐基(甲基)丙烯酸酯/聚苯乙烯高分子單體共聚合物、(甲基)丙烯酸/芐基(甲基)丙烯酸酯/聚甲基(甲基)丙烯酸酯高分子單體共聚合物、(甲基)丙烯酸/2-羥乙基(甲基)丙烯酸酯/芐基(甲基)丙烯酸酯/聚苯乙烯高分子單體共聚合物、(甲基)丙烯酸/2-羥乙基(甲基)丙烯酸酯/芐基(甲基)丙烯酸酯/聚甲基(甲基)丙烯酸酯高分子單體共聚合物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/芐基(甲基)丙烯酸酯/N-苯基馬來(lái)酸酐縮亞胺共聚合物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單(2-丙烯?；一?/苯乙烯/芐基(甲基)丙烯酸酯/N-苯基馬來(lái)酸酐縮亞胺共聚合物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單(2-丙烯?；一?/苯乙烯/烯丙基(甲基)丙烯酸酯/N-苯基馬來(lái)酸酐縮亞胺共聚合體(甲基)丙烯酸/芐基(甲基)丙烯酸酯/N-苯基馬來(lái)酸酐縮亞胺/苯乙烯/丙三醇單(甲基)丙烯酸酯共聚合物等。另外，所謂(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。
其中又以(甲基)丙烯酸/芐基(甲基)丙烯酸酯共聚合物、(甲基)丙烯酸/芐基(甲基)丙烯酸酯/苯乙烯共聚合物、(甲基)丙烯酸/甲基(甲基)丙烯酸酯共聚合物、(甲基)丙烯酸/甲基(甲基)丙烯酸酯/苯乙烯共聚合體等為佳。
(A)成分的聚苯乙烯換算重量平均分子量(以聚苯乙烯為標(biāo)準(zhǔn)品，利用凝膠滲透色譜法求得的值)在3,000～400,000的范圍內(nèi)為佳，較佳為5,000～100,000的范圍，最佳為6,000～40,000。而且，酸值以30～250為佳，較佳為60～180的范圍，更佳為65～140的范圍。這里的酸值是中和丙烯酸系聚合物1g所必需的氫氧化鉀的量(mg)的測(cè)定值，通常可借由將(A)成分利用氫氧化鉀水溶液進(jìn)行滴定求得。
(A)成分以對(duì)感光性樹脂組成物的固體成分的質(zhì)量分率表示，其使用范圍通常為5質(zhì)量％以上70質(zhì)量％以下，較佳為10質(zhì)量％以上60質(zhì)量％以下，最佳為15質(zhì)量％以上50質(zhì)量％以下。當(dāng)(A)成分的含有量為5質(zhì)量％以上70質(zhì)量％以下時(shí)，能夠形成圖案，而且解像度及殘膜率有上升的傾向，處于較佳水平。另外，本發(fā)明中所謂的感光性樹脂組成物中的固體成分，是指除去溶液的成分的合計(jì)。
本發(fā)明中所用的(B)光聚合性化合物[以下有時(shí)稱作(B)成分]是借由使光照射而利用從光聚合引發(fā)劑產(chǎn)生的活性游離基、酸等進(jìn)行聚合得到的化合物，例如具有聚合性的碳-碳不飽和結(jié)合的化合物等。
(B)成分以4官能以上的多官能的光聚合性化合物為佳。作為4官能以上的多官能的光聚合性化合物可為例如季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、一縮二季戊四醇五丙烯酸酯、一縮二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、一縮二季戊四醇六丙烯酸酯、一縮二季戊四醇六甲基丙烯酸酯等。該光聚合性化合物可分別單獨(dú)或?qū)?種以上組合使用，其含有量以對(duì)感光性樹脂組成物的固體成分的質(zhì)量分率表示，通常為5質(zhì)量％以上80質(zhì)量％以下，較佳為10質(zhì)量％以上70質(zhì)量％以下，最佳為15質(zhì)量％以上60質(zhì)量％以下。
本發(fā)明所使用的光聚合引發(fā)劑為(C)含有至少一種乙酰苯類化合物的光聚合引發(fā)劑[以下有時(shí)稱作(C)成分]。作為乙酰苯類化合物可為例如二乙氧基乙酰苯、2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲硫基苯基)丙烷-1-酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、芐基二甲基酮縮醇、2-羥基-2-甲基-1-[4-(2-羥乙氧基)苯基]丙烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮的低聚物等，較佳可為2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲硫基苯基)丙烷-1-酮等。
而且也可將復(fù)數(shù)個(gè)乙酰苯類化合物及其它的光聚合引發(fā)劑組合使用。在與其它的光聚合引發(fā)劑組合時(shí)，乙酰苯類化合物在光聚合引發(fā)劑中的比例通常在30質(zhì)量％以上，較佳為50質(zhì)量％以上。
作為乙酰苯類以外的光聚合引發(fā)劑，可為借由光照射而產(chǎn)生活性游離基的活性游離基發(fā)生劑、增感劑等。
活性游離基發(fā)生劑可為例如苯偶因類化合物、二苯甲酮類化合物、噻噸酮類化合物、三嗪類化合物等。
苯偶因類化合物可為例如苯偶因、苯偶因甲基醚、苯偶因乙基醚、苯偶因異丙基醚、苯偶因異丁基醚等。
二苯甲酮類化合物可為例如二苯甲酮、o-苯酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯酰-4’-甲基二苯基硫化物、3，3’，4，4’-四(t-丁基過(guò)氧羰基)二苯甲酮、2，4，6-三甲基二苯甲酮等。
噻噸酮類化合物可為例如2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2，4-二氯代噻噸酮、1-氯代-4-丙氧基噻噸酮等。
三嗪類化合物可為例如2，4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧萘基)-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧苯乙烯基)-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙氨基-2-甲苯基)乙烯基]-1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3，4-二甲氧苯基)乙烯基]-1，3，5-三嗪等。
作為活性游離基發(fā)生劑，也可使用例如2，4，6-三甲基苯?；届⒀趸铩?，2’-雙(o-氯苯)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑、10-丁基-2-氯代吖啶酮、2-乙基蒽醌、苯偶酰、9，10-菲醌、樟腦醌、苯酰甲酸甲酯、二茂鈦化合物等。
作為酸發(fā)生劑，可為例如4-羥基苯基二甲基锍p-甲苯磺酸鹽、4-羥基苯基二甲基锍六氟偶銻鹽、4-乙酸基苯基二甲基锍p-甲苯磺酸鹽、4-乙酸基苯基·甲基·芐基锍六氟偶銻鹽、三苯基锍p-甲苯磺酸鹽、三苯基锍六氟偶銻鹽、二苯基碘鎓p-甲苯磺酸鹽、二苯基碘鎓六氟偶銻鹽等鎓鹽類和硝基芐基甲苯碘鹽類、苯偶因甲苯碘鹽類等。
而且，在上述化合物中，也有作為活性游離基發(fā)生劑在生成活性游離基的同時(shí)還生成酸的化合物，例如三嗪類光聚合引發(fā)劑也可作為酸發(fā)生劑使用。
在本發(fā)明中所使用的光聚合開始助劑為(D)含有至少1種胺類化合物的光聚合開始助劑[以下有時(shí)稱作(D)成分]，與光聚合引發(fā)劑組合使用，用于促進(jìn)利用光聚合引發(fā)劑使聚合開始的光聚合性化合物的聚合。
作為胺類化合物，可為例如三乙醇胺、甲二乙醇胺、三異丙醇胺、4-二甲胺苯甲酸甲酯、4-二甲胺苯甲酸乙酯、4-二甲胺苯甲酸異戊酯、苯甲酸2-二甲胺乙酯、4-二甲胺苯甲酸2-乙基己酯、N，N-二甲基對(duì)甲苯胺、4，4’-雙(二甲胺)二苯甲酮(通稱米蚩酮)、4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮、4，4’-雙(乙基甲胺)二苯甲酮等，其中以4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮為佳。而且，也可將復(fù)數(shù)個(gè)胺類化合物和其它的光聚合開始助劑組合使用。當(dāng)與其它的光聚合開始助劑組合時(shí)，胺類化合物在光聚合開始助劑中的比例通常為40質(zhì)量％以上，較佳為50質(zhì)量％以上。
其它的光聚合開始助劑可為例如烷氧基蒽類化合物、噻噸酮類化合物等。
作為烷氧基蒽類化合物可為例如9，10-二甲氧基蒽、2-乙基-9，10-二甲氧基蒽、9，10-二乙氧基蒽、2-乙基-9，10-二乙氧基蒽等。
作為噻噸酮類化合物可為例如2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2，4-二氯代噻噸酮、1-氯代-4-丙氧基噻噸酮等。
作為(D)成分可使用市場(chǎng)上銷售的產(chǎn)品，例如商品名[EAB-F][保土谷化學(xué)工業(yè)(株)制、4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮]等。
本發(fā)明的感光性樹脂組成物中的(C)成分及(D)成分的組合可為例如二乙氧基苯乙酮/4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮、2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲硫基苯基)丙烷-1-酮/4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮/4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮、芐基二甲基酮縮醇/4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮、2-羥基-2-甲基-1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]丙烷-1-酮/4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮/4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮、2-羥基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮的低聚物/4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮、2-芐基-2-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮/4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮的組合等，較佳為2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲硫基苯基)丙烷-1-酮/4，4’-雙(二乙胺)二苯甲酮的組合。
本發(fā)明的感光性樹脂組成物中的(C)成分及(D)成分的含有量以其合計(jì)量對(duì)(A)成分及(B)成分的合計(jì)100質(zhì)量部表示，通常為0.1質(zhì)量部以上20質(zhì)量部以下，較佳為0.5質(zhì)量部以上15質(zhì)量部以下，最佳為1質(zhì)量部以上10質(zhì)量部以下。而且，(D)成分的含有量對(duì)每(C)成分1質(zhì)量部具有0.6質(zhì)量部以上10質(zhì)量部以下為佳，1質(zhì)量部以上8質(zhì)量部以下為較佳，1.5質(zhì)量部以上5質(zhì)量部以下為最佳。
在本發(fā)明中所使用的(E)溶劑[以下有時(shí)稱作(E)成分]可為例如醚類、芳香族烴類、酮類、醇類、酯類、酰胺類等。
作為醚類，可為例如四氫呋喃、四氫化吡喃、1，4-二噁烷、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一丙基醚、乙二醇一丁基醚、二乙二醇一甲醚、二乙二醇一乙醚、二乙二醇一丁基醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇二丙基醚、二乙二醇二丁基醚、丙二醇一甲醚乙酸鹽、丙二醇一乙醚乙酸鹽、丙二醇一丙基醚乙酸鹽、乙二醇一甲醚乙酸鹽、乙二醇一乙醚乙酸鹽、乙基二甘醇一乙醚乙酸鹽、丁基二甘醇一乙醚乙酸鹽、丙二醇甲基醚乙酸鹽、甲氧基丁基乙酸鹽、甲氧基戊基乙酸鹽、甲氧基苯、乙氧基苯、甲基甲氧基苯等。
作為芳香族烴類，可為例如苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等。
作為酮類，可為例如丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、環(huán)己酮等。
作為醇類可為例如甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、丙三醇等。
作為酯類，可為例如乙酸乙酯、乙酸-n-丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丁酸異丁酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、烷基醚類、乳酸甲酯、乳酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-羰基丁酸甲酯、2-羰基丁酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸鹽、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸鹽、γ-丁內(nèi)酯等。
作為酰胺類，可為例如N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等。
其它的溶劑可采用例如N-甲基吡咯烷酮、二甲基磺基氧化物等。
在上述的溶劑中，又以使用3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙二醇一乙醚乙酸鹽、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、乙基二甘醇一乙醚乙酸鹽、丁基二甘醇一乙醚乙酸鹽、丙二醇一甲醚乙酸鹽、2-庚酮等為佳。
這些溶劑可分別單獨(dú)或?qū)?種以上組合使用，在本發(fā)明的感光性樹脂組成物中的(E)成分的含有量以質(zhì)量分率表示，通常在50質(zhì)量％以上90質(zhì)量％以下，較佳為60質(zhì)量％以上85質(zhì)量％以下。
本發(fā)明的感光性樹脂組成物也可含有填充劑、粘合劑聚合物以外的高分子化合物、粘合促進(jìn)劑、防氧化劑、紫外線吸收劑、防凝結(jié)劑、有機(jī)酸、有機(jī)氨基化合物、硬化劑、著色劑等添加劑。
作為填充劑，可為例如玻璃、氧化鋁等微粒。
作為粘合劑聚合物以外的高分子化合物，可為例如聚乙烯醇、聚丙烯醇、聚乙二醇單烷基醚、聚根皮烷基丙烯酸酯、分散劑等。
分散劑可為例如Disperbyk-115、Disperbyk-160、Disperbyk-160、Disperbyk-162、Disperbyk-163、Disperbyk-164、Disperbyk-166、Disperbyk-167、Disperbyk-169、Disperbyk-170、Disperbyk-171、Disperbyk-174、Disperbyk-182(全都為BYKChemie公司制)等。
粘合促進(jìn)劑可為例如乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基甲基二甲氧基硅烷、2-(3，4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯代丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯代丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯基丙基三甲氧基硅烷、3-巰基丙基三甲氧基硅烷等。
防氧化劑可為例如4，4’-硫基雙(6-t-丁基-3-甲基苯酚)、2，6-二-t-丁基-4-甲基苯酚等。
紫外線吸收劑可為例如2-(2-羥基-3-t-丁基-5-甲基苯基)-5-氯代苯并三唑等苯并三唑類、2-羥基-4-辛氧基二苯甲酮等二苯甲酮類、2，4-二-t-丁基苯基-3，5-二-t-丁基-4-羥基苯甲酸酯等苯甲酸酯類、2-(4，6-二苯基-1，3，5-三嗪-2-基)-5-己氧基苯酚等三嗪類等。
防凝結(jié)劑可為例如聚丙烯酸鈉等。
有機(jī)酸可為例如甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、三甲基乙酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛酸等脂肪族一元羧酸類；草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、巴西二酸、甲基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、環(huán)己酸二羧酸、衣康酸、檸康酸、馬來(lái)酸、富馬酸、中康酸等脂肪族二羧酸類；丙三羧酸、烏頭酸、樟腦三酸等脂肪族三元羧酸類；苯甲酸、甲苯酸、枯茗酸、二甲基苯甲酸、均三甲苯酸等芳香族一元羧酸類；鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對(duì)苯二甲酸等芳香族二羧酸類；偏苯三酸、均苯三甲酸、偏苯四甲酸、均苯四甲酸等芳香族聚羧酸類等。
有機(jī)氨基化合物可為例如n-丙胺、i-丙胺、n-丁胺、i-丁胺、sec-丁胺、t-丁胺、n-戊胺、n-己胺、n-庚胺、n-辛胺、n-壬胺、n-癸胺、n-十一烷胺、n-十二烷胺等一元烷胺類；
環(huán)己胺、2-甲基環(huán)己胺、3-甲基環(huán)己胺、4-甲基環(huán)己胺等一元環(huán)烷胺類；甲基乙基胺、二乙胺、甲基n-丙胺、乙基n-丙胺、二n-丙胺、二i-丙胺、二n-丁胺、二i-丁胺、二sec-丁胺、二t-丁胺、二n-戊胺、二n-己胺等二烷胺類；甲基環(huán)己胺、乙基環(huán)己胺等一元烷基一元環(huán)烷胺類；二環(huán)己胺等二環(huán)烷胺類；二甲基乙基胺、甲基二乙胺、三乙胺、二甲n-丙胺、二乙基n-丙胺、甲基二n-丙胺、乙基二n-丙胺、三n-丙胺、三i-丙胺、三n-丁胺、三i-丁胺、三sec-丁胺、三t-丁胺、三n-戊胺、三n-己胺等三元烷胺類；二甲基環(huán)己胺、二乙基環(huán)己胺等二烷基一元環(huán)烷胺類；甲基二環(huán)己胺、乙基二環(huán)己胺、三環(huán)己胺等一元烷基二環(huán)烷胺類；2-氨基乙醇、3-氨基-1-丙醇、1-氨基-2-丙醇、4-氨基-1-丁醇、5-氨基-1-戊醇、6-氨基-1-己醇等一元烷醇胺類；4-氨基-1-環(huán)己醇等一元環(huán)烷醇胺類；二乙醇胺、二n-丙醇胺、二i-丙醇胺、二n-丁醇胺、二i-丁醇胺、二n-戊醇胺、二n-己醇胺等二烷醇胺類；二(4-環(huán)己醇)胺等二環(huán)烷醇胺類；三乙醇胺、三n-丙醇胺、三i-丙醇胺、三n-丁醇胺、三i-丁醇胺、三n-戊醇胺、三n-己醇胺等三烷醇胺類；三(4-環(huán)己醇)胺等三環(huán)烷醇胺類；3-氨基-1，2-二硫代丙醇、2-氨基-1，3-二硫代丙醇、4-氨基-1，2-丁二醇、4-氨基-1，3-丁二醇、3-二甲胺-1，2-二硫代丙醇、3-二乙胺-1，2-二硫代丙醇、2-二甲胺-1，3-二硫代丙醇、2-二乙胺-1，3-二硫代丙醇等氨基烷二醇類；
4-氨基-1，2-環(huán)己二醇、4-氨基-1，3-環(huán)己二醇等氨基環(huán)烷二醇類；1-氨基環(huán)戊酮甲醇、4-氨基環(huán)戊酮甲醇等含氨基環(huán)烷酮甲醇類；1-氨基環(huán)己酮甲醇、4-氨基環(huán)己酮甲醇、4-二甲基氨基環(huán)戊烷基甲醇、4-二乙基氨基環(huán)戊烷基甲醇、4-二甲基氨基環(huán)己烷基甲醇、4-乙基氨基環(huán)己烷基甲醇等含氨基環(huán)烷甲醇類；β-丙氨酸、2-氨基丁酸、3-氨基丁酸、4-氨基丁酸、2-氨基異乙酸、3-氨基異乙酸、2-氨基戊酸、5-氨基戊酸、6-氨基己酸、1-氨基環(huán)丙烷基羧酸、1-氨基環(huán)己烷基羧酸、4-氨基環(huán)己烷基羧酸等氨基羧酸類；苯胺、o-甲基苯胺、m-甲基苯胺、p-甲基苯胺、p-乙基苯胺、p-n-丙基苯胺、p-i-丙基苯胺、p-n-丁基苯胺、p-t-丁基苯胺、1-萘胺、2-萘胺、N，N-二甲基苯胺、N，N-二乙基苯胺、p-甲基-N，N-二甲基苯胺等芳香族胺類；o-氨基芐醇、m-氨基芐醇、p-氨基芐醇、p-二甲基氨基芐醇、p-二乙基氨基芐醇等氨基芐醇類；o-氨基苯酚、m-氨基苯酚、p-氨基苯酚、p-二甲基氨基苯酚、p-二乙基氨基苯酚等氨基苯酚類；m-氨基苯甲酸、p-氨基苯甲酸、p-二甲基氨基苯甲酸、p-二乙基氨基苯甲酸等氨基苯甲酸類等。
作為硬化劑，可為例如借由加熱而能夠與粘合劑聚合物中的羧基進(jìn)行反應(yīng)并將粘合劑聚合物交聯(lián)的化合物。而且其也可為能夠單獨(dú)進(jìn)行聚合并使圖案硬化的化合物。作為該化合物，可為例如環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物等。
前述環(huán)氧化合物可為例如雙酚A類環(huán)氧樹脂、氫化雙酚A類環(huán)氧樹脂、雙酚F類環(huán)氧樹脂、氫化雙酚F類環(huán)氧樹脂、漆用酚醛型環(huán)氧樹脂、其它的芳香族類環(huán)氧樹脂、脂環(huán)族類環(huán)氧樹脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹脂、縮水甘油酸酯類樹脂、縮水甘油胺類樹脂、環(huán)氧化油等環(huán)氧樹脂和這些環(huán)氧樹脂的溴化誘導(dǎo)物、環(huán)氧樹脂及其溴化誘導(dǎo)體以外的脂肪族、脂環(huán)族或芳香族的環(huán)氧化合物、丁二烯的(共)聚合物的環(huán)氧化物、異戊二烯的(共)聚合體的環(huán)氧化物、縮水甘油(偏)丙烯酸酯的(共)聚合物、三縮水甘油異三聚氰酯等。
前述的氧雜環(huán)丁烷化合物可為例如碳酸酯雙氧雜環(huán)丁烷、苯二甲基雙氧雜環(huán)丁烷、己二酸酯雙氧雜環(huán)丁烷、對(duì)苯二甲酸酯雙氧雜環(huán)丁烷、環(huán)己烷二羧酸雙氧雜環(huán)丁烷等。
本發(fā)明的感光性組成物在含有作為硬化劑的環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物等的場(chǎng)合，也可含有能夠使環(huán)氧化合物的環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷化合物的氧雜環(huán)丁烷骨架開環(huán)聚合的化合物。該化合物可為例如多價(jià)羧酸類、多價(jià)羧酸酐類、酸發(fā)生劑等。
前述的多價(jià)羧酸類可為例如苯二甲酸、3，4-二甲基苯二甲酸、間苯二甲酸、對(duì)苯二甲酸、均苯四甲酸、偏苯三酸、1，4，5，8-萘四羧酸、3，3’，4，4’-二苯甲酮四羧酸等芳香族多價(jià)羧酸類；琥珀酸、戊二酸、己二酸、1，2，3，4-丁烷四羧酸、馬來(lái)酸、富馬酸、衣康酸等脂肪族多價(jià)羧酸類；六氫化鄰苯二甲酸、3，4-二甲基四氫化鄰苯二甲酸、六氫化間苯二甲酸、六氫化對(duì)苯二甲酸、1，2，4-環(huán)戊烷三元羧酸、1，2，4-環(huán)己烷三元羧酸、環(huán)戊烷四羧酸、1，2，4，5-環(huán)己烷四羧酸等脂環(huán)族多價(jià)羧酸類等。
前述的多價(jià)羧酸酐類可為例如鄰苯二甲酸酐、均苯四酸二酐、偏苯三酸酐、3，3’，4，4’-二苯甲酮四羧酸二酐等芳香族多價(jià)羧酸酐類；衣康酸酐、琥珀酸酐、檸康酸酐、十二碳烯基琥珀酸酐、丙三羧酸酐、馬來(lái)酸酐、1，2，3，4-丁烷四羧酸二酐等脂肪族多價(jià)羧酸酐；六氫化鄰苯二甲酸酐、3，4-二甲基四氫化鄰苯二甲酸酐、1，2，4-環(huán)戊烷三元羧酸酐、1，2，4-環(huán)己烷三元羧酸酐、環(huán)戊烷四羧酸酐、1，2，4，5-環(huán)己烷四羧酸二酐、雙環(huán)庚烯二甲酸酐、吖嗪酸酐等脂環(huán)族多價(jià)羧酸酐類；乙二醇雙偏苯三酸酯酸、甘油偏苯三酸酯酐等含酯基羧酸酐類等。
作為前述的羧酸酐類，也可使用作為環(huán)氧樹脂硬化劑在市場(chǎng)上銷售的產(chǎn)品。該環(huán)氧樹脂硬化劑可為例如商品名[旭電化硬化劑一EH-700][旭電化工業(yè)(株)制]、商品名[リカシツドHH][新日本理化(株)制]、商品名[MH-700][新日本理化(株)制]等。
該硬化劑可分別單獨(dú)或?qū)?種以上組合使用。
利用本發(fā)明的感光性樹脂組成物形成圖案的方法，具體地說(shuō)是將本發(fā)明的感光性樹脂組成物涂敷于基板上，并從所涂敷的感光性樹脂組成物層中除去溶劑等揮分成分，且通過(guò)光掩膜將揮分成分被除去的層進(jìn)行曝光之后顯像的。借此可得到透明材料圖案。
作為基板，可為玻璃基板、硅基板、聚碳酸酯基板、聚酯基板、芳香族聚酰胺基板、聚酰胺基亞胺基板、聚酰亞胺基板、Al基板、GaAs基板等表面平坦的基板。對(duì)這些基板也可先施以利用有機(jī)硅烷偶合劑等藥品的藥品處理、等離子處理、離子鍍敷處理、噴濺處理、汽相反應(yīng)處理、真空蒸鍍處理等前期處理。當(dāng)使硅基板等作為基板時(shí)，也可在該硅基板等的表面形成電荷耦合器件(CCD)、薄膜晶體管(TFT，Thin FilmTransistor)等。
在該基板上涂敷感光性樹脂組成物時(shí)，可采用例如旋轉(zhuǎn)涂敷法(旋轉(zhuǎn)覆膜法)、流延涂敷法、滾動(dòng)涂敷法、縫隙涂敷法、縫隙&旋轉(zhuǎn)涂敷法等常用的涂敷方法將本發(fā)明的感光性樹脂在基板等上進(jìn)行涂敷，接著借由加熱使溶劑等揮發(fā)成分揮發(fā)。這樣一來(lái)，就在基板等的上面形成由感光性樹脂組成物的固體成分構(gòu)成的層。
接著，將感光性樹脂組成物的固體成分構(gòu)成的層(以下有時(shí)將此稱作感光性樹脂組成物固體成分層)進(jìn)行曝光。在進(jìn)行曝光時(shí)，可通過(guò)例如光掩膜照射光線。光線通常使用被稱作g線(波長(zhǎng)436nm)、i線(波長(zhǎng)365nm)的紫外線等。雖然光線通過(guò)光掩膜照射，但這里的光掩膜是在玻璃板的表面設(shè)置遮蔽光線的遮光層的。玻璃板中間的未設(shè)置遮光層的部分為光線透過(guò)的透光部，以該透光部的圖案所決定之圖案使感光性樹脂組成物層被曝光，產(chǎn)生未照射有光線的未照射區(qū)域和照射有光線的照射區(qū)域。照射區(qū)域中的光線的照射量可根據(jù)粘合劑聚合物的重量平均分子量、單量體比、含有量、光聚合性化合物的種類和含有量、光聚合引發(fā)劑的種類和含有量、光聚合開始助劑的種類和含有量等酌情選擇。
曝光之后進(jìn)行顯像。在進(jìn)行顯像時(shí)，例如可使曝光后的感光性樹脂組成物固體物層與顯影劑接觸，具體地說(shuō)可將在其表面上形成感光性樹脂組成物固體物層的狀態(tài)的基板浸漬于顯影劑中。作為顯影劑可為例如碳酸鈉、碳酸鉀、氫氧化鈉、氫氧化鉀、四甲銨氫氧化物等堿性化合物的水溶液等。利用顯像，感光性樹脂組成物層中的未照射光線的未照射區(qū)域被除去。另一方面，光線照射區(qū)域原封不動(dòng)地留下來(lái)構(gòu)成圖案。
顯像之后，通?？山栌蛇M(jìn)行水洗、干燥而得到目的圖案。也可在干燥之后進(jìn)行加熱。將圖案借由加熱而硬化，可使其機(jī)械強(qiáng)度趨于增強(qiáng)，在使用含有硬化劑的感光性樹脂組成物時(shí)，能夠更加提高機(jī)械強(qiáng)度。加熱溫度通常在180°以上，較佳為200°以上，通常在250°以下。
利用本發(fā)明的感光性樹脂組成物所形成的圖案可作為彩色濾光片中的透明材料圖案，例如用于使外敷層、光間隔層、著色圖案的膜厚吻合的透明敷層。為了形成彩色濾光片，通常是利用前述的本發(fā)明的感光性樹脂組成物，在形成于基板上的透明材料的形成前或形成后形成著色圖案。也可在著色圖案的形成前及形成后的兩點(diǎn)形成，例如借由首先利用本發(fā)明的感光性樹脂組成物在基板上形成透明材料圖案，并在其上制作著色圖案，可作為半透過(guò)用使用。而且，也可在著色圖案上作為感光性外敷層使用。另外，借由利用本發(fā)明的感光性樹脂組成物形成透明材料圖案，形成用于使光間隔層和著色圖案的膜厚吻合的透明敷層，可由此得到彩色濾光片。
而且，在彩色濾光片制造中的著色圖案也可利用在本發(fā)明的感光性樹脂組成物中再混合必要顏色的著色劑所得到的組成物，借由進(jìn)行1次以上與前述同樣的操作而得到，但通常是利用含有著色劑、粘合劑聚合物、光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑及溶劑的著色感光性樹脂組成物，借由進(jìn)行1次以上與前述利用本發(fā)明的感光性樹脂組成物的透明材料的形成同樣的操作，可將必要的著色圖案形成于基板上或利用本發(fā)明的感光性樹脂組成物在基板上所形成的透明材料層上。這里可使用的著色劑、粘合劑聚合物、光聚合制化合物、光聚合引發(fā)劑、溶劑等可利用在該領(lǐng)域所通常應(yīng)用的，例如日本專利早期公開的特開2003-156857號(hào)案所記載的。
將借此所得的彩色濾光片進(jìn)行安裝，可得到適合的液晶顯示裝置。
在上述說(shuō)明中關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行了說(shuō)明，但是上述所說(shuō)明的本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)說(shuō)到底只是一個(gè)例子，而本發(fā)明的范圍并不限定于這些實(shí)施形態(tài)。本發(fā)明的范圍如權(quán)利要求范圍所示，另外也包含與權(quán)利要求范圍的說(shuō)明屬于均等的意義及范圍內(nèi)之所有的變更。下面，利用實(shí)施例將本發(fā)明進(jìn)行更加詳細(xì)的說(shuō)明，但是本發(fā)明并不限定于這些實(shí)施例。
本實(shí)施例所使用的成分如下所示，且在以下的說(shuō)明中有時(shí)也會(huì)省略表示。
(A)粘合劑聚合物∶甲基丙烯酸和芐基甲基丙烯酸酯的共聚合體[甲基丙烯酸單位和芐基甲基丙烯酸酯單位的比以物質(zhì)量比(摩爾比)表示為27∶73，酸值為105，聚苯乙烯換算重量平均分子量為30,000]。
關(guān)于上述的粘合劑聚合物的重量平均分子量的測(cè)定，利用GPC法按以下條件進(jìn)行。
裝置；HLC-818-GPC[TOSOH(株)制]柱；TSK-GELG2000HXL
柱溫度；40℃溶劑；THF聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)品；聚苯乙烯(TOSOH株式會(huì)社制品、Mw9100)流速；1.0ml/min注入量；50μl檢測(cè)器；RI(B)光聚合性化合物一縮二季戊四醇六丙烯酸酯(C)光聚合引發(fā)劑2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲硫基苯基)丙烷-1-酮(D)光聚合開始助劑4，4’-雙(二乙基胺)二苯甲酮(E)溶劑丙二醇一甲醚乙酸鹽分散劑BYK-170(固體成分30質(zhì)量％)(BYKChemie公司制)環(huán)氧化合物正色甲酚漆用酚醛型環(huán)氧樹脂、[スミエポキシESCN-195XL-80][住友化學(xué)工業(yè)(株)制]實(shí)施例1[感光性樹脂組成的制造](A) 1.360質(zhì)量部(B) 1.662質(zhì)量部(C) 0.060質(zhì)量部(D) 0.060質(zhì)量部(E) 11.250質(zhì)量部分散劑1.007質(zhì)量部環(huán)氧化合物0.302質(zhì)量部將以上成分進(jìn)行混合得到感光性樹脂組成物。
在玻璃基板[CORNING公司制，(#7059)]及Al基板上，以旋轉(zhuǎn)覆膜法將由上述過(guò)程得到的感光性樹脂組成物進(jìn)行涂敷之后，在100℃下進(jìn)行3分鐘干燥并使揮發(fā)成分揮發(fā)，形成感光性樹脂組成物固體物層。
冷卻后對(duì)該感光性樹脂組成物固體物層通過(guò)光掩膜照射i線[波長(zhǎng)365nm]進(jìn)行曝光。i線的光源使用超高壓水銀燈，照射光量為150mJ/cm2。光掩膜使用用于形成線寬3μm、4μm、5μm、6μm、7μm、8μm、9μm、10μm、20μm、30μm、40μm、50μm及100μm的線狀的色畫素的光掩膜。
接著將曝光后的玻璃基板及Al基板[表面上形成有感光性樹脂組成物固體物層]浸漬于顯像液[以質(zhì)量分率表示，分別含有氫氧化鉀0.05％、丁基萘磺酸鈉0.2％之水溶液]中進(jìn)行顯像，并用純水洗凈。之后，在230℃下加熱20分鐘，形成透明的圖案。
將在各線寬的圖案中可解像的最小線寬作為解像度。而且，對(duì)10μm、20μm、50μm、100μm的各圖案的解像后的線寬進(jìn)行測(cè)定。在Al基板上使用10μm掩膜形成的圖案的脫模性良好，在曝光量為150mJ/cm2時(shí)，圖案的尺寸為14.0μm。解像度為8μm。當(dāng)曝光量為300mJ/cm2時(shí)，圖案的尺寸為16.2μm，解像度為10μm。
實(shí)施例2～9按表1所示的組成比將各成分混合，得到感光性樹脂組成物，并用此與實(shí)施例1同樣地形成圖案。
當(dāng)與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行評(píng)價(jià)時(shí)，得到表2所述的結(jié)果。
比較例1～4按表1所示的組成比將各成分混合，得到感光性樹脂組成物，并用此與實(shí)施例1同樣地形成圖案。
當(dāng)與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行評(píng)價(jià)時(shí)，得到表2所述的結(jié)果。
比較例5按表1所示的組成比將各成分混合，得到感光性樹脂組成物，并想用此與實(shí)施例1同樣地形成圖案，但在顯像中全部溶解，不能形成圖案。
(表1)

比率(％)100×[(C)+(D)]/[(A)+(B)](表2)


如利用本發(fā)明的感光性樹脂組成物，能夠形成即使增大曝光量也可形成圖案，而且脫模性良好，解像度也良好之透明材料圖案，對(duì)形成彩色濾光片用，特別是彩色濾光片所用的透明材料，例如用于使外敷層、光間隔層、著色圖案的膜厚吻合之透明敷層等是有用的。
權(quán)利要求
1.一種感光性樹脂組成物，其特征在于包括A粘結(jié)劑聚合物、B光聚合性化合物、C含有至少一種苯乙酮類化合物的光聚合引發(fā)劑、D含有至少一種胺類化合物的光聚合引發(fā)劑及E溶劑，對(duì)于A成分及B成分的合計(jì)100質(zhì)量部，C成分及D成分的合計(jì)量為0.1質(zhì)量部以上20質(zhì)量部以下，對(duì)于C成分的1質(zhì)量部，D成分的量為0.6質(zhì)量部以上10質(zhì)量部以下。
2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組成物，其特征在于C成分所包含的苯乙酮類化合物為2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲基苯硫基)丙烷-1-酮，D成分所包含的胺類化合物為4，4’-雙(二乙胺基)二苯甲酮。
3.一種圖案的形成方法，其特征在于將權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組成物涂敷于基板上，并從所涂敷的著色感光性樹脂組成物層中除去揮分成分，通過(guò)光掩膜將前述層曝光且進(jìn)行顯像。
4.一種透明材料圖案，其特征在于借由將權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組成物涂敷于基板上，并從所涂敷的著色感光性樹脂組成物層中除去揮分成分，通過(guò)光掩膜將前述層曝光且進(jìn)行顯像而得到的。
5.一種彩色濾光片，其特征是含有權(quán)利要求4所述的透明樹脂圖案。
6.一種液晶顯示裝置，其特征是安裝有權(quán)利要求5所述的彩色濾光片。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光性樹脂組成物、使用該組成物的圖形的形成方法、利用該方法所得到的透明材料圖案、含有該透明材料圖案的彩色濾光片及安裝有該濾光片的液晶顯示裝置，該感光性樹脂組成物包括(A)粘結(jié)劑聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)含有至少一種苯乙酮類化合物的光聚合引發(fā)劑、(D)含有至少一種胺類化合物的光聚合引發(fā)劑及(E)溶劑，(C)成分及(D)成分的合計(jì)量為對(duì)(A)成分及(B)成分的合計(jì)100質(zhì)量部的0.1質(zhì)量部以上20質(zhì)量部以下，(D)成分的量為對(duì)(C)成分的1質(zhì)量部的0.6質(zhì)量部以上10質(zhì)量部以下。如利用本發(fā)明的感光性樹脂組成物，能夠形成即使增大曝光量也可形成圖案，而且脫模性良好，解像度也良好的透明材料圖案，對(duì)形成彩色濾光片用，特別是彩色濾光片所用的透明材料，例如用于使外敷層、光間隔層、著色圖案的膜厚吻合的透明敷層等是有用的。
文檔編號(hào)G02F1/13GK1580954SQ0315353
公開日2005年2月16日 申請(qǐng)日期2003年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月15日
發(fā)明者市川幸司 申請(qǐng)人:住友化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社