專利名稱：液滴噴出頭的驅(qū)動裝置及驅(qū)動方法和制膜裝置及制膜方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種使壓電振動子伸縮而從噴出部噴出液滴的振動子驅(qū)動型的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置、制膜裝置、液滴噴出頭的驅(qū)動方法、制膜方法以及電子機器和器件的制造方法。本申請，以特願2002-223153號以及特願2003-072336號為基礎(chǔ)，從中取出其內(nèi)容構(gòu)成。
背景技術(shù)：
在液晶顯示屏的制造裝置和計算機終端的打印裝置中利用的、被稱為噴墨打印機的液滴噴出裝置中，采用通過壓電振動子的伸縮動作、噴吐液滴的振動子驅(qū)動型的液滴噴出頭。壓電振動子，由例如壓電元件等構(gòu)成，根據(jù)所輸入的驅(qū)動波形(例如電壓波形)進行伸長、收縮。
在這樣構(gòu)成的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置中，采用由圖15所示那樣的梯形波所構(gòu)成的電壓波形來驅(qū)動壓電振動子。例如，該圖15中的電位Vcom表示壓電振動子的規(guī)定施加電壓值，電位VH表示相對于液滴噴出方向而使壓電振動子最大收縮的電壓值，另一方面，電位VL表示相對于液滴噴出方向使壓電振動子最大伸長的電壓值。在積層型的壓電元件中，當施加電壓為電位VH時，相對于液滴噴出方向，其壓電元件進行最大收縮，通過將施加電位設(shè)成電位VL，從其收縮狀態(tài)釋放并伸長，超過所謂靜止狀態(tài)的變位0，在慣性作用下向液滴噴出方向變位。通過這樣的壓電振動子的伸縮動作，使液滴噴出裝置噴出液滴。
在此，分別對與圖15所示電壓波形的各期間T1～T5所對應(yīng)的壓電振動子的動作進行說明。在期間T1，向壓電振動子施加的電壓從電位Vcom向電位VH增加。因此，在期間T1壓電振動子的伸長量以及壓縮量增加。在期間T2，由于在壓電振動子上施加恒定的電位VH，所以壓電振動子成為恒定(最大值)的伸長量以及壓縮量。在期間T3，由于施加電壓從電位VH向電位VL減少，所以壓電振動子的伸長量以及壓縮量減少。在期間T4，由于施加恒定的電位VL，所以壓電振動子成為恒定(最小值)的伸長量以及壓縮量。在期間T5，由于施加電壓從電位VL向電位Vcom增加，所以壓電振動子的伸長量以及壓縮量增加。通過重復(fù)這樣的期間T1～T5，壓電振動子作伸縮動作，從液滴噴出裝置的液滴噴出頭噴出液滴。
然而，壓電振動子由于要反復(fù)進行伸長以及收縮的機械性動作，元件本身會疲勞而劣化，而急劇的伸縮動作造成熱負載增大，從急劇伸縮狀態(tài)向停止狀態(tài)移動時造成機械負載的增大，這樣加速了元件的劣化，縮短了其壽命。
但是，在依據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置中，如圖15所示，由于采用梯形波的電壓波形驅(qū)動壓電振動子，所以在波形的各變化點A0～A5，壓電振動子的動作狀態(tài)急劇變化。因此，如上所述，對壓電振動子的機械、熱負載增大，而加速了元件的劣化，因而存在不能長期穩(wěn)定從液滴噴出頭噴出液滴的問題。
本發(fā)明正是針對上述問題的發(fā)明，其目的在于提供一種抑制壓電振動子的劣化而可以長期穩(wěn)定進行液滴的噴出動作的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置、制膜裝置、液滴噴出頭的驅(qū)動方法、制膜方法以及電子機器和器件的制造方法發(fā)明內(nèi)容為了達到上述目的的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，是在具有壓電振動子、并在上述壓電振動子上施加規(guī)定的驅(qū)動波形后從噴出部噴出液滴的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置中，包括由曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形驅(qū)動上述壓電振動子的驅(qū)動控制裝置。
依據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，由于驅(qū)動控制裝置采用由曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形驅(qū)動壓電振動子，所以壓電振動子，根據(jù)曲線的驅(qū)動波形進行的伸縮動作變得平緩，可以抑制機械負載、熱負載的增大。
因此，依據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，由于驅(qū)動控制裝置采用由曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形驅(qū)動壓電振動子，所以在壓電振動子中，根據(jù)曲線的驅(qū)動波形進行的伸縮動作變得平緩，可以抑制機械負載、熱負載的增大。這樣，可以減輕壓電振動子的劣化，實現(xiàn)長壽命化。這樣，可以長期穩(wěn)定地從液滴噴出頭噴出液滴。
優(yōu)選上述驅(qū)動波形是沒有尖銳邊緣的波形。
依據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，由于壓電振動子由沒有尖銳邊緣形成的急劇變化點的驅(qū)動波形所驅(qū)動，所以壓電振動子的動作狀態(tài)的變化變得平緩，可以抑制機械負載、熱負載的增大。此外，尖銳邊緣是指例如圖2的電壓波形中的變位點A0～A5，向壓電振動子施加的電壓急劇變化的點。
這樣，如果驅(qū)動波形采用沒有尖銳邊緣的波形，則壓電振動子由沒有急劇變化點的驅(qū)動波形所驅(qū)動，因此壓電振動子的動作狀態(tài)的變化變得平緩，可以更有效的抑制機械負載、熱負載的增大。因此，可以長期穩(wěn)定地從液滴噴出頭噴出液滴。
優(yōu)選上述驅(qū)動波形是由波形變換裝置對矩形或者梯形的方波進行變換所生成的波形。
依據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，由于驅(qū)動波形根據(jù)矩形或者梯形的方波生成，因此可以利用現(xiàn)有的驅(qū)動裝置生成的方波，廉價生成由曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形。
這樣，如果驅(qū)動波形根據(jù)矩形或者梯形的方波生成，則可以利用現(xiàn)有的驅(qū)動裝置生成的方波，廉價生成由曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形。因此，利用現(xiàn)有的驅(qū)動裝置，可以提供能長期穩(wěn)定地從液滴噴出頭噴出液滴的廉價的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置。
另外，優(yōu)選上述驅(qū)動波形包括用于噴出上述液滴的噴出波形、和在不噴出上述液滴的程度使上述壓電振動子微振動的微振動波形。
依據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，不僅對噴出液滴時的噴出波形，而且也可以把用于防止功能性液體的干燥所引起的噴出不穩(wěn)定以及噴嘴孔的堵塞而使壓電振動子微振動的微振動波形變成曲線波形。這樣，可以減輕機械負載和由此產(chǎn)生的熱負載，抑制壓電振動子的劣化，延長其壽命。
另外，用于達到上述目的的制膜裝置，包括上述液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，從上述液滴噴出頭噴出功能型液體，對被處理物的規(guī)定部位進行制膜處理。
依據(jù)該制膜裝置，由于在制膜裝置中包括采用機械負載、熱負載小的壓電振動子構(gòu)成液滴噴出頭，可以長期穩(wěn)定地噴出液滴。
優(yōu)選該制膜裝置是制造彩色濾光片的裝置。
依據(jù)該制膜裝置，由于在彩色濾光片的制造中使用可以長期穩(wěn)定地噴出液滴的制膜裝置，所以和現(xiàn)有技術(shù)相比，可以廉價制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所構(gòu)成的高質(zhì)量的彩色濾光片。
優(yōu)選該制膜裝置是制造成為有機電熒光元件的構(gòu)成要素的膜的裝置。
依據(jù)該制膜裝置，由于在有機電熒光(EL)元件的制造中使用可以長期穩(wěn)定地噴出液滴的制膜裝置，所以和現(xiàn)有技術(shù)相比，可以廉價制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所構(gòu)成的高質(zhì)量的有機EL元件(裝置)。
優(yōu)選該制膜裝置是從上述液滴噴出頭噴出包含金屬微粒子的液狀體的裝置，是通過在所希望的面上噴出該液狀體而制造成為金屬布線的膜的裝置。
依據(jù)該制膜裝置，由于在成為金屬布線的膜的制造中使用可以長期穩(wěn)定地噴出液滴的制膜裝置，所以和現(xiàn)有技術(shù)相比，可以廉價制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所構(gòu)成的金屬布線，即斷線概率低而可以高密度配置的金屬布線。
另外，用于達到上述目的的液滴噴出頭的驅(qū)動方法，是由規(guī)定驅(qū)動波形使壓電振動子伸縮從而從噴出部噴出液滴的液滴噴出頭的驅(qū)動方法，包括采用由曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形驅(qū)動上述壓電振動子的處理。
依據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動方法，由于壓電振動子采用由曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形所驅(qū)動，所以壓電振動子，根據(jù)曲線的驅(qū)動波形進行的伸縮動作變得平緩，可以抑制機械負載、熱負載的增大。
因此，依據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動方法，由于壓電振動子采用由曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形所驅(qū)動，在壓電振動子，根據(jù)曲線的驅(qū)動波形進行的伸縮動作變得平緩，可以抑制機械負載、熱負載的增大。這樣，可以減輕壓電振動子的劣化，實現(xiàn)長壽命化。因此，通過采用該液滴噴出頭的驅(qū)動方法，可以起到能長期穩(wěn)定地從液滴噴出頭噴出液滴的效果。
優(yōu)選上述驅(qū)動波形是沒有尖銳邊緣的波形。
依據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動方法，由于壓電振動子由沒有尖銳邊緣形成的急劇變化點的驅(qū)動波形所驅(qū)動，所以壓電振動子的動作狀態(tài)的變化變得平緩，可以抑制機械負載、熱負載的增大。
這樣，如果驅(qū)動波形采用沒有尖銳邊緣的波形，則壓電振動子由沒有急劇變化點的驅(qū)動波形所驅(qū)動，所以壓電振動子的動作狀態(tài)的變化變得平緩，可以更有效地抑制機械負載、熱負載的增大。因此，通過采用該液滴噴出頭的驅(qū)動方法，可以起到能長期穩(wěn)定地從液滴噴出頭噴出液滴的效果。
優(yōu)選上述驅(qū)動波形是根據(jù)矩形或者梯形的方波所生成的波形。
依據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動方法，由于驅(qū)動波形根據(jù)矩形或者梯形的方波生成，因此可以利用現(xiàn)有的驅(qū)動裝置生成的方波，廉價生成由曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形。
這樣，如果驅(qū)動波形根據(jù)矩形或者梯形的方波生成，則可以利用現(xiàn)有的驅(qū)動裝置生成的方波，廉價生成由曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形。因此，利用現(xiàn)有的驅(qū)動裝置，可以提供能長期穩(wěn)定地從液滴噴出頭噴出液滴的廉價的液滴噴出頭的驅(qū)動方法。
優(yōu)選上述驅(qū)動波形包括用于噴出上述液滴的噴出波形、和在不噴出上述液滴的程度使上述壓電振動子微振動的微振動波形。
依據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動方法，不僅對在噴出液滴時的噴出波形，而且也可以將用于防止功能性液體的干燥所引起的噴出不穩(wěn)定以及噴嘴孔的堵塞而使壓電振動子微振動的微振動波形變成曲線波形。這樣，可以減輕機械負載和由此產(chǎn)生的熱負載，抑制壓電振動子的劣化，延遲其壽命。
另外，用于達到上述目的的制膜方法，采用上述液滴噴出頭的驅(qū)動方法。
依據(jù)該制膜方法，由于采用施加在液滴噴出頭的壓電振動子上機械負載、熱負載小的驅(qū)動方法，因此可以長期穩(wěn)定地噴出液滴進行制膜，可以長期進行高質(zhì)量的制膜。
優(yōu)選該制膜方法在制造成為彩色濾光片的構(gòu)成要素的膜時使用。
依據(jù)該制膜方法，由于采用可以長期穩(wěn)定地進行制膜的制膜方法制造彩色濾光片，所以和現(xiàn)有技術(shù)相比，可以廉價制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所構(gòu)成的高質(zhì)量的彩色濾光片。
優(yōu)選該制膜方法在制造成為有機電熒光元件的構(gòu)成要素的膜時使用。
依據(jù)該制膜方法，由于采用可以長期穩(wěn)定地進行制膜的制膜方法制造有機EL元件，所以和現(xiàn)有技術(shù)相比，可以廉價制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所構(gòu)成的高質(zhì)量的有機EL元件。
優(yōu)選該制膜方法，通過從上述液滴噴出頭在所希望的面上噴出包含金屬微粒子的液狀體，制造成為金屬布線的膜。
依據(jù)該制膜方法，由于采用可以長期穩(wěn)定地進行制膜的制膜方法制造成為金屬布線的膜，所以和現(xiàn)有技術(shù)相比，可以廉價制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所構(gòu)成的金屬布線，即斷線概率低而可以高密度配置的金屬布線。
另外，用于達到上述目的的電子機器，包括用上述制膜方法所制造的器件。
依據(jù)該電子機器，和現(xiàn)有技術(shù)相比，由于可以提供由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所構(gòu)成的電子機器，所以產(chǎn)生不良情況的概率比現(xiàn)有技術(shù)低，可以低成本并且迅速提供具有高性能并且具有更高密度化的電子器件或者光學器件等的電子機器。
另外，用于達到上述目的器件的制造方法，通過在基板上的規(guī)定部分上涂敷功能性液體而進行制造，包括采用上述液滴噴出頭的驅(qū)動方法，從上述液滴噴出頭在上述基板的規(guī)定部位上噴出上述功能性液體的工藝。
依據(jù)該器件的制造方法，和現(xiàn)有技術(shù)相比，由于可以制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所構(gòu)成的器件，所以產(chǎn)生不良情況的概率比現(xiàn)有技術(shù)低，可以低成本并且迅速提供高性能并且更高密度化的器件。


圖1是表示依據(jù)本發(fā)明一實施例的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置的電路構(gòu)成的方框圖。
圖2是表示依據(jù)本實施例的壓電振動子的驅(qū)動波形的圖。
圖3a～圖3c表示近似成曲線波形的驅(qū)動波形以及微振動波形的一例。
圖4是表示本實施例的制膜裝置的概要的示意立體圖。
圖5是表示基板上的彩色濾光片區(qū)域的圖。
圖6a～圖6f是表示按照工藝順序說明彩色濾光片區(qū)域的形成方法的圖，是該彩色濾光片區(qū)域的主要部分的截面圖。
圖7是表示包括有機EL元件的EL顯示器的一例的電路圖。
圖8是表示圖7所示EL顯示器中像素部的平面結(jié)構(gòu)的放大俯視圖。
圖9a～圖9e是表示按照工藝順序說明有機EL元件的制造方法的圖，是主要部分的截面圖。
圖10a～圖10c是表示按順序說明圖9的后續(xù)工藝的主要部分截面圖。
圖11a～圖11c是表示按順序說明圖10的后續(xù)工藝的主要部分截面圖。
圖12表示包括本實施例的光學元件的電子機器的一例。
圖13表示包括本實施例的光學元件的電子機器的另一例。
圖14表示包括本實施例的光學元件的電子機器的另外一例。
圖15是表示依據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的方形波的壓電振動子的驅(qū)動波形圖。
具體實施例方式
以下參照

本發(fā)明的一實施例。
圖1表示依據(jù)本實施例的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置的電路構(gòu)成方框圖。如該圖所示，依據(jù)本實施例的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，由作為驅(qū)動控制裝置的驅(qū)動控制電路10，和根據(jù)從驅(qū)動控制電路10供給的驅(qū)動波形進行伸縮的、從液滴噴出頭的噴出部噴出液滴的壓電元件等構(gòu)成的壓電振動子20，和產(chǎn)生梯形方波的現(xiàn)有技術(shù)的驅(qū)動波形的驅(qū)動波形產(chǎn)生電路30構(gòu)成。
此外，驅(qū)動波形產(chǎn)生電路30，由D/A轉(zhuǎn)換器301、前置放大器302、和功率放大器303構(gòu)成，由于是和現(xiàn)有技術(shù)的驅(qū)動波形產(chǎn)生電路具有相同的構(gòu)成，故在此省略其詳細說明。由該驅(qū)動波形產(chǎn)生電路30產(chǎn)生的驅(qū)動波形，向驅(qū)動控制電路10供給。另外，驅(qū)動控制電路10和壓電振動子20設(shè)置在包括噴出部的液滴噴出頭部4側(cè)。另一方面，驅(qū)動波形產(chǎn)生電路30，設(shè)置在采用依據(jù)本實施例的液滴噴出頭的液滴噴出裝置(制膜裝置)本體側(cè)。然后，驅(qū)動控制電路10和驅(qū)動波形產(chǎn)生電路30之間，采用例如FFC(Flexible Flat Cable)等連接。而且，功率放大器303的輸出通過FFC向驅(qū)動控制電路10傳送。
在此，從驅(qū)動波形產(chǎn)生電路30通過FFC向設(shè)置在液滴噴出頭部4上的壓電振動子20供給的驅(qū)動波形，大致分成用于從液滴噴出頭部4噴出液滴的噴出波形和用于使壓電振動子20微振動的微振動波形。上述噴出波形，是為了噴出規(guī)定量的液滴而由最大電位、最小電位以及波形形狀所規(guī)定的波形。另一方面，微振動波形，是為了防止在液滴噴出頭部4的噴嘴孔中噴出用液干燥而造成的噴吐不穩(wěn)定以及堵塞、通過使壓電振動子20按照不從液滴噴出頭部4噴出液滴的程度進行微振動、而使噴嘴孔中的噴出液滴(功能性液體)的液面(彎月面)微振動的波形。
此外，微振動波形，根據(jù)施加在壓電振動子20上的時序分為以下4種。即，在液滴噴出裝置接入電源的狀態(tài)下常時使壓電振動子20微振動的常時微振動波形、在液滴噴出前使壓電振動子20微振動的噴出前微振動波形、在液滴噴出中使壓電振動子20微振動的噴出中微振動波形、以及在液滴噴出后使壓電振動子20微振動的噴出后微振動波形。向液滴噴出頭部4是施加噴出波形，還是施加微振動波形，由模擬開關(guān)TG選擇。
在本實施例中，驅(qū)動控制電路10，作為波形變換裝置，由與驅(qū)動波形產(chǎn)生電路30的輸出串聯(lián)連接的、主要是FFC的電感成分的電感L、和由通過電感L后輸入的驅(qū)動波形驅(qū)動壓電振動子20的模擬開關(guān)TG所構(gòu)成。
這樣，依據(jù)本實施例的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，通過由電感L和可等價表示成電容C的壓電振動子20所構(gòu)成的低通LC濾波器，如圖2所示，將由驅(qū)動波形產(chǎn)生電路30產(chǎn)生的梯形方波(a)變成由曲線波形構(gòu)成驅(qū)動波形(b)后，施加在壓電振動子20的端子之間。另外，消除了梯形方波中的變化點A0～A5，變成緩和的曲線。即，向壓電振動子20施加的電壓，急劇變化的變化點的尖銳邊緣(方波(a)的變化點A0～A5)，在驅(qū)動波形(b)中已消失。
這樣，在由曲線波形驅(qū)動的壓電振動子20中，和由梯形方波驅(qū)動的情況相比，可以減輕機械負載和所伴隨的熱負載，抑制壓電振動子20的劣化，延長其壽命。因此，可以從液滴噴出頭部4長期穩(wěn)定地噴出液滴。另外，電感L和電阻R的值，優(yōu)選根據(jù)壓電振動子20中的等價電容C、和驅(qū)動波形的頻率采用最佳值。
以上，對將梯形驅(qū)動波形變換成近似成曲線波形的驅(qū)動波形并由該驅(qū)動波形驅(qū)動壓電振動子20的方法進行了說明，如上述那樣，將驅(qū)動波形大致分成用于噴出液滴的噴出波形、和用于防止噴嘴孔的堵塞以及噴出不穩(wěn)定的微振動波形。以上說明的將驅(qū)動波形變換成曲線波形的方法，不僅將噴出波形變換成曲線波形，而且在將微振動波形變換成曲線波形中也使用。圖3a～圖3c是表示近似成曲線波形的驅(qū)動波形以及微振動波形的一例。圖3a是表示近似成曲線波形的噴出波形的圖，圖3b是表示近似成曲線波形的微振動波形的圖，圖3c是表示近似成曲線波形的噴出波形和微振動波形的合成圖。
如圖3a所示，噴出波形w1為微觀上整體近似成曲線的波形。另外，如圖3b所示，微振動波形w2和噴出波形w1相同，為微觀上近似成曲線的波形。另外，在圖3c中表示的是在液滴噴出期間T10之前向壓電振動子20供給微振動波形w2、在液滴噴出期間T10內(nèi)向壓電振動子20供給噴出波形w1的驅(qū)動波形的例子。此外，并不只是將圖3c所示在液滴噴出期間T10之前的微振動波形(噴出前微振動波形)變換成近似成曲線的波形，而是將上述常時微振動波形、噴出中微振動波形、噴出后微振動波形也變換成微觀上近似成曲線的波形。
這樣，依據(jù)本實施例的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，由于也將微振動波形變換成曲線波形，所以和由梯形方波驅(qū)動的情況相比，可以減輕機械負載和所伴隨的熱負載，抑制壓電振動子20的劣化，延長其壽命。另外，在本實施例中，從驅(qū)動波形產(chǎn)生電路30觀察液滴噴出頭部4時的阻抗，只是增大了將梯形驅(qū)動波形變換成近似曲線波形的驅(qū)動波形的FFC那一部分。為此，向壓電振動子20供給的電流只減小了FFC的阻抗那一部分，可以實現(xiàn)壓電振動子20的長壽命化。
(適用例)以下，采用圖4對包括上述實施例的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置的制膜裝置(液滴噴出裝置)進行說明。圖4是表示本實施例的制膜裝置的概要的示意立體圖。
該制膜裝置1，例如是彩色濾光片制造用的裝置，由載置在基臺2上的可以在X方向以及Y方向上移動的XY臺3、設(shè)置在該XY臺3的上方的液滴噴出頭部4構(gòu)成。
在XY臺3上，載置形成了例如黑底的未著色狀態(tài)的基板S。液滴噴出頭部4，安裝在設(shè)置在臺架5上的支撐部件6上，具有分別噴吐紅、藍、綠的各色墨水的各色用獨立噴頭4a…。在這些噴頭4a…上，分別獨立連接墨水供給管7以及電信號用電纜(FFC等、未圖示)。
在墨水供給管7a的另一方端部，通過包含三通閥、溶解氧氣計等閥箱8與墨水供給裝置9連接。
這樣構(gòu)成的該制膜裝置1，通過將貯罐內(nèi)的墨水、經(jīng)過墨水供給管7b、閥箱8、墨水供給管7a移送給液滴噴出頭部4，由此噴出并涂敷在基板S上。
然后，制膜裝置1，如圖1等所示那樣，由于包括減少了施加在壓電振動子20上的機械以及熱負載的液滴噴出頭部4，可以長期穩(wěn)定噴出液滴。
采用這樣構(gòu)成的制膜裝置1，為了在基板S上噴出墨水制造彩色濾光片，首先將基板S設(shè)置在XY臺3上的規(guī)定位置上。在此，作為基板S，采用具有適度的機械強度并且透光性高的透明基板。具體地講，采用透明玻璃基板、丙稀玻璃、塑料基板、塑料薄膜以及這些的表面處理品等。
另外，在本例中，在例如如圖5所示那樣的長方形形狀的基板S上，按照提高生產(chǎn)效率的觀點，將多個彩色濾光片區(qū)域5 1形成為矩陣狀。這些彩色濾光片區(qū)域51，通過在以后切斷基板S，可以作為適合液晶顯示裝置的彩色濾光片使用。此外，作為彩色濾光片區(qū)域51，將圖5所示的R色墨水、G色墨水以及B色墨水分別形成規(guī)定圖案，在本例中配置成現(xiàn)有的周知的帶狀型。此外，作為該形成圖案，除了帶狀型以外，也可以是馬賽克型、三角型或者方型等。
為了形成這樣的彩色濾光片區(qū)域5 1，首先在圖6a所示透明的基板S的一面上形成黑底52，作為該黑底52的形成方法，將沒有透光性的樹脂(優(yōu)選黑色)、采用旋轉(zhuǎn)噴涂等方法涂敷成規(guī)定厚度(例如2μm程度)。以該黑底52的格子所包圍的最小顯示要素，即濾光片元件53，例如其X軸方向的寬度為30μm，Y軸方向上的長度為100μm左右。
然后，如圖6b所示，從上述液滴噴出頭部4噴出墨滴(液滴)54，著陸到濾光片元件53上。對于噴出的墨滴54的量，是考慮到加熱工藝中墨滴的體積減少后的足夠的量。
這樣在基板S上的所有濾光片元件53上填充墨滴54后，采用加熱器對基板S加熱到規(guī)定溫度(例如70℃左右)進行加熱處理。通過該加熱處理，使墨水的溶劑蒸發(fā)，減少墨水的體積。當該體積減少比較多時，直到獲得作為彩色濾光片的足夠墨膜的厚度為止，反復(fù)進行墨水噴出工藝和加熱工藝。通過該處理，使包含在墨水中的溶劑蒸發(fā)，最終只殘留下包含在墨水中的固形部分進行膜化，成為圖6c所示的彩色濾光片55。
然后，使基板S平坦化，并且為了保護彩色濾光片55，如圖6d所示，在基板S上形成覆蓋彩色濾光片55和黑底52的保護膜56。該保護膜55的形成，雖然可以采用旋轉(zhuǎn)噴涂法、滾筒涂敷法、剝離法等方法，也可以和彩色濾光片55的情況同樣，采用圖4所示制膜裝置1進行。
然后，如圖6e所示，在該保護膜56的整個面上，采用濺射法或者真空蒸度法等形成透明導電膜57。然后，對透明導電膜57圖案化，使像素電極58與上述濾光片元件53對應(yīng)進行圖案化。此外，在液晶顯示屏的驅(qū)動中采用TFT(Thin Film Transistor)時，不需要該圖案化。
在采用這樣的制膜裝置1制造彩色濾光片中，由于使用可以長期穩(wěn)定噴出液滴的制膜裝置1進行制造，和現(xiàn)有技術(shù)相比，可以廉價制造由控制高精度控制膜厚、平坦度、形成位置等的膜所構(gòu)成的高質(zhì)量的彩色濾光片。
此外，本發(fā)明的制膜裝置1，并不限定于圖4所示構(gòu)成，特別是液滴噴出頭部4的構(gòu)成沒有必要包括3個頭4a的構(gòu)成。
另外，上述制膜裝置1，也可以在為由有機EL元件的構(gòu)成要素的薄膜的形成中使用。圖7、圖8表示包括這樣的有機EL元件的EL顯示器的一例的概略構(gòu)成圖，在這些圖中符號70表示EL顯示器。
該EL顯示器70，如電路圖的圖7所示，在透明的基板上分別形成多條掃描線131、在與這些掃描線131交叉的方向上延伸的多條信號線132、與這些信號線132并列延伸的多條共用供電線133的布線，在掃描線131以及信號線132的各交點上設(shè)置像素(像素區(qū)域)71。
對信號線132，設(shè)置包括移位寄存器、電平轉(zhuǎn)換器、視頻線、模擬開關(guān)的數(shù)據(jù)側(cè)驅(qū)動電路72。
另一方面，對掃描線131，設(shè)置包括移位寄存器以及電平轉(zhuǎn)換器的掃描側(cè)驅(qū)動電路73。另外，在像素區(qū)域71的每一個上，設(shè)置通過掃描線131向其柵極供給掃描信號的開關(guān)薄膜晶體管142、通過該開關(guān)薄膜晶體管142保持從信號線132供給的圖像信號的保持電容cap、將保持電容cap所保持的圖像信號向柵極供給的電流薄膜晶體管143、當通過該電流薄膜晶體管143與共用供電線133電連接時從共用供電線133流入驅(qū)動電流的像素電極141、夾入在該像素電極141和反射電極154之間的發(fā)光部140。
在這樣的構(gòu)成中，如果驅(qū)動掃描線131、使開關(guān)薄膜晶體管142導通，這時的信號線132的電位保持在保持電容cap上，根據(jù)該保持電容cap的狀態(tài)，確定電流薄膜晶體管143的導通、截止狀態(tài)。然后通過電流薄膜晶體管143的通道，從共用供電線133向像素電極141流入電流，進一步在經(jīng)過發(fā)光部140后，流入到反射電極154中。這樣，發(fā)光部140根據(jù)流入其中的電流量進行發(fā)光。
在此，各像素71的平面結(jié)構(gòu)，在除去反射電極和有機EL元件的狀態(tài)下的放大俯視圖如圖8所示，平面形狀為長方形的像素電極141的四邊，被信號線132、共用供電線133、掃描線131以及未圖示的其它像素電極用的掃描線所包圍。
然后，用圖9～圖11，對包含在這樣的EL顯示器70中的有機EL元件的制造方法進行說明。此外，在圖9～圖11中，為了簡化說明，只畫出了單一像素71。
首先，準備基板。在此，在有機EL元件中，由后述的發(fā)光層形成的發(fā)射光可以從基板側(cè)取出，也可以從與基板相反一側(cè)取出。在從基板側(cè)取出發(fā)射光的構(gòu)成中，作為基板材料采用玻璃或者石英、樹脂等透明或者半透明的材料，特別優(yōu)選采用廉價的玻璃。
另外，也可以在基板上配置彩色濾光膜和包含熒光性物質(zhì)的顏色變換膜、或者電介體反射膜，控制發(fā)光顏色。
另外，當是從與基板相反一側(cè)取出發(fā)射光的構(gòu)成時，基板也可以是不透明的，這時，可以采用在鋁等陶瓷、不銹鋼等金屬片上實施表面氧化等絕緣處理后的材料、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等。
在本例中，作為基板，如圖9a所示，采用由玻璃等構(gòu)成的透明基板121。然后，對此，根據(jù)需要以TEOS(四乙氧基硅烷)和氧氣等作為原料，采用等離子CVD法形成厚度約200nm～500nm的硅氧化膜構(gòu)成的下底氧化膜(未圖示)。
然后，將透明基板121的溫度設(shè)定成約350℃，在下底保護膜的表面上采用等離子CVD法形成厚度約30nm～70nm的由非晶形硅膜構(gòu)成半導體膜200。然后，對該半導體膜200實施激光退火或者固相生長法等結(jié)晶化工藝，使半導體膜200結(jié)晶成多晶硅膜。在激光退火法中，例如采用由受激準分子激光器產(chǎn)生光束長軸為400mm的線束，其輸出強度例如為200mJ/cm2。對于線束，在其短軸方向相當于激光強度的峰值的90％的部分對各區(qū)域重疊進行線束掃描。
然后，如圖9b所示，對半導體膜(多晶硅膜)200進行圖案化后作為島狀的半導體膜210，對其表面，以TEOS和氧氣等作為原料，采用等離子CVD法形成厚度約60nm～150nm的由硅氧化膜或者氮化膜構(gòu)成的柵極絕緣膜220。此外，半導體膜210，為圖8所示的電流薄膜晶體管143的通道區(qū)域以及源極·漏極區(qū)域，在不同截面位置上也可以形成為開關(guān)薄膜晶體管142的通道區(qū)域以及源極、漏極區(qū)域。即，在圖9～圖11所示的工藝中，同時制作2種晶體管142、143，但由于采用相同的步驟制作，在以下的說明種有關(guān)晶體管，只對電流薄膜晶體管143進行說明，而省略開關(guān)薄膜晶體管142的說明。
然后，如圖9c所示，采用濺射法形成由鋁、鉭、鉬、鈦、鎢等金屬膜構(gòu)成的導電膜后，對其圖案化，形成柵極143A。
然后，在該狀態(tài)下注入高濃度的磷離子，在半導體膜210上形成相對于柵極143A自己匹配的源極·漏極區(qū)域143a、143b。此外，沒有導入雜質(zhì)的部分成為通道區(qū)域143c。
然后，如圖9d所示，在形成層間絕緣膜230之后，形成連接孔232、234，在這些連接孔232、234內(nèi)埋入中繼電極236、238。
然后，如圖9e所示，在層間絕緣膜230上，形成信號線132、共用供電線133以及掃描線(圖9中未示出)。在此，中繼電極238和各布線也可以在同一工藝中形成。這時，中繼電極236，由后述的ITO膜形成。
然后，以覆蓋各布線的上面的方式形成層間絕緣膜240，在中繼電極236對應(yīng)的位置上形成連接孔(未圖示)，按照埋入在該連接孔內(nèi)那樣形成ITO膜，進一步，對該ITO膜圖案化，在由信號線132、共用供電線133以及掃描線(未圖示)所包圍的規(guī)定位置上，形成與源極·漏極區(qū)域143a電連接的像素電極141。在此，信號線132以及共用供電線133、進一步在掃描線(未圖示)中夾持的部分，成為后述的空穴注入層和發(fā)光層的形成場所。
然后，如圖10a所示，以包圍上述形成場所那樣形成隔壁150。該隔壁150作為分割部件發(fā)揮作用，優(yōu)選采用例如聚酰亞胺等絕緣性有機材料形成。對于隔壁150的膜厚，例如形成為具有1μm～2μm的高度。另外，隔壁150優(yōu)選對從液滴噴出頭部4噴出的液體具有非親和性。為了使隔壁150表現(xiàn)出非親和性，例如采用對隔壁150的表面用氟類化合物等進行表面處理的方法。作為氟類化合物，例如有CF4、SF5、CHF3等，作為表面處理，例如可以舉出等離子處理、UV照射處理等。
然后，在這樣構(gòu)成的基礎(chǔ)上，在空穴注入層和發(fā)光層的形成場所、即這些形成材料的涂敷位置和其周圍的隔壁150之間，形成足夠高的階梯111。
然后，如圖10b所示，在使基板121的上面向上的狀態(tài)下，將空穴注入層的形成材料、由上述液滴噴出頭部4在上述隔壁150所包圍的涂敷位置、即隔壁150內(nèi)選擇性地涂敷液狀的形成材料114A。
作為空穴注入層的形成材料，可以舉出聚合物前體是聚四氫苯硫基亞苯基的聚亞苯基亞乙烯、1，1-雙(4-N，N-二甲苯基氨基苯基)環(huán)己烷、三(8-羥基喹啉)鋁等。
這時，液狀的形成材料114A由于流動性高而向水平方向擴散，由于形成有包圍所涂敷的位置的隔壁150，可以防止形成材料114A越過隔壁150向外層擴散。
然后，如圖10c所示，通過加熱或者光照射使液狀的前體114A的溶劑蒸發(fā)，在像素電極141上形成固態(tài)的空穴注入層140A。
然后，如圖11a所示，在使基板121的上面向上的狀態(tài)下，由上述液滴噴出頭部4在上述隔壁150內(nèi)的空穴注入層140A上選擇性地涂敷作為墨水的發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)114B。
作為發(fā)光層形成材料，優(yōu)選采用例如包含共軛系高分子有機化合物的前體、和用于改變所獲得的發(fā)光層的發(fā)光材料的熒光色素所構(gòu)成的材料。
共軛系高分子有機化合物的前體，在與熒光色素等一起從液滴噴出頭部4噴出形成薄膜后，通過加熱硬化，生成成為共軛系高分子有機EL層的發(fā)光層，例如對于前體的锍鹽，通過加熱處理使锍基脫離，成為共軛系高分子有機化合物等。
這樣的共軛系高分子有機化合物，其固體具有強熒光，可以形成均質(zhì)的固體超薄膜。并且富有形成能，與ITO電極之間的密接性高。進一步，這樣的化合物的前體，在硬化后由于形成牢固的共軛系高分子膜，在加熱硬化前可以將前體溶液調(diào)整成后述的在噴墨圖案化中可以適用的所希望的粘度，可以簡便并且在短時間進行最佳條件的膜形成。
作為這樣的前體，優(yōu)選例如PPV(聚(對-亞苯基亞乙烯基))或者其衍生物的前體。PPV或者其衍生物的前體，由于可以在水或者有機溶劑中溶解，并且，可以聚合物化，所以在光學也上可以獲得高質(zhì)量的薄膜。進一步，由于PPV具有強熒光，并且也是雙鍵的π電子在聚合物鏈上非極化的導電性高分子，因此可以獲得高性能的有機EL元件。
作為這樣的PPV或者PPV衍生物的前體，例如可以舉出PPV(聚(對-亞苯基亞乙烯基))前體、MO-PPV(聚(2，5-二甲氧基-1，4-亞苯基亞乙烯基))前體、CN-PPV(聚(2，5-雙己氧基-1，4-亞苯基-(1-氰基亞乙烯)))前體、MEH-PPV(聚[2-甲氧基-5-(2′-乙基己氧基)]-對-亞苯基亞乙烯基)前體。
PPV或者其衍生物的前體，如上所述可以在水中溶解，通過制膜后的加熱進行高分子化并形成PPV。上述PPV前體所代表的前體的含量，相對于組成物整體優(yōu)選在0.01質(zhì)量％～10.0質(zhì)量％，更優(yōu)選0.1質(zhì)量％～5.0質(zhì)量％。如果前體的添加量過少，則形成共軛系高分子膜不充分，如果過多，則組成物的粘度變高，會出現(xiàn)不適合采用噴墨法進行高精度的圖案化的情況。
進一步，作為發(fā)光層的形成材料，優(yōu)選包含至少1種熒光色素。這樣，可以改變發(fā)光層的發(fā)光特性，例如作為提高發(fā)光層的發(fā)光效率、或者改變光吸收極大波長(發(fā)光色)的方式也是有效的。即，熒光色素不僅僅作為發(fā)光層材料，而且可以作為發(fā)光功能本身的色素材料利用。例如，以共軛系高分子有機化合物上的載流子再結(jié)合所生成的激發(fā)子的能量，可以基本上轉(zhuǎn)移到熒光色素分子上。這時，發(fā)光由于只是由熒光量子效率高的熒光色素分子產(chǎn)生，所以發(fā)光層的電流量子效率也增加。因此，通過在發(fā)光層的形成材料中加入熒光色素，同時發(fā)光層的發(fā)光光譜也是熒光分子的光譜，因此作為改變發(fā)光色的方式也是有效的。
此外，在此所稱電流量子效率，是指用于根據(jù)發(fā)光功能考察發(fā)光性能的尺度，由下式定義。
ηE＝放出的光子的能量/輸入的電能然后，通過由熒光色素的摻入引起光吸收極大波長變換，例如可以進行紅、藍、綠三原色的發(fā)光。其結(jié)果可以獲得全彩色顯示體。
進一步，通過摻入熒光色素，可以大幅度提高EL元件的發(fā)光效率。
作為熒光色素，在形成產(chǎn)生紅色發(fā)光的發(fā)光層時，優(yōu)選采用具有紅色光的若丹明或者若丹明衍生物。這些熒光色素，由于是低分子，因此可以在水溶液中溶解，并且與PPV的相溶性好，容易形成均勻穩(wěn)定的發(fā)光層。作為這樣的熒光色素，具體講可以舉出若丹明B、若丹明B堿、若丹明6G、若丹明101過氯酸鹽等。也可以將2種以上混合后使用。
另外，形成產(chǎn)生綠色發(fā)光的發(fā)光層時，優(yōu)選采用具有綠色發(fā)光的喹吖酮及其衍生物。這些熒光色素，和上述紅色熒光色素同樣，由于是低分子因此可以在水溶液中溶解，并且與PPV的相溶性好，容易形成發(fā)光層。
另外，在形成產(chǎn)生藍色發(fā)光的發(fā)光層時，優(yōu)選采用具有藍色發(fā)光的二苯乙烯基聯(lián)(二)苯及其衍生物。這些熒光色素，和上述紅色熒光色素同樣，由于是低分子因此可以在水·乙醇混合溶液中溶解，并且與PPV的相溶性好，容易形成發(fā)光層。
另外，作為具有藍色發(fā)光的其它熒光色素，可以舉出香豆素及其衍生物。這些熒光色素，和上述紅色熒光色素同樣，由于是低分子因此可以在水溶液中溶解，并且與PPV的相溶性好，容易形成發(fā)光層。作為這樣的熒光色素，具體講，可以舉出香豆素、香豆素-1、香豆素-6、香豆素-7、香豆素120、香豆素138、香豆素152、香豆素153、香豆素3 11、香豆素314、香豆素334、香豆素337、香豆素343等。
進一步，作為其它具有藍色發(fā)光的熒光色素，可以舉出四苯基丁二烯(TPB)或者TPB衍生物。這些熒光色素，和上述紅色熒光色素同樣，由于是低分子因此可以在水溶液中溶解，并且與PPV的相溶性好，容易形成發(fā)光層。
關(guān)于以上熒光色素，各色均可以只使用1種，或者也可以2種以上混合使用。
對于這些熒光色素，相對于上述共軛系高分子有機化合物的前體固形成分，優(yōu)選添加0.5質(zhì)量％～10質(zhì)量％，更優(yōu)選添加1.0質(zhì)量％～5.0質(zhì)量％。如果熒光色素的添加量過多，則維持發(fā)光層的耐氣候性以及耐久性變得困難，另一方面，如果添加量過少，則不能充分獲得上述那樣通過添加熒光色素的效果。
另外，對于上述前體以及熒光色素，優(yōu)選在極性溶劑中溶解或者分散后作為墨水，并從液滴噴出頭部4噴出該墨水。極性溶劑，由于容易將上述前體、熒光色素溶解或者均勻分散，可以防止在液滴噴出頭部4的噴嘴孔中引起發(fā)光層材料中的固形成分粘附而引起堵塞的情況。
作為這樣的極性溶劑，具體地講，可以舉出與水、甲醇、乙醇等具有相溶性的乙醇、N，N-二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、二甲咪唑啉(DMI)、二甲亞砜(DMSO)等有機溶劑或者無機溶劑，也可以將這些溶劑2種以上適當混合使用。
進一步，優(yōu)選在上述形成材料中添加濕潤劑。這樣，可以有效防止形成材料在液滴噴出頭部4的噴嘴孔中干燥、凝固。作為有關(guān)濕潤劑，例如可以舉出甘油、二甘醇等多元醇。也可以將這些2種以上混合使用。作為該濕潤劑的添加量，優(yōu)選相對于形成材料的整體量，在5質(zhì)量％～20質(zhì)量％的程度。
并且，也可以加入其他的添加劑、涂敷膜穩(wěn)定化材料，例如可以采用穩(wěn)定劑、粘度調(diào)整劑、防老化劑、pH調(diào)整劑、防腐劑、樹脂乳劑和流平劑等。
如果這樣發(fā)光層的形成材料114B從液滴噴出頭部4的噴嘴孔中噴出，則形成材料114A涂敷在隔壁150內(nèi)的空穴注入層140A上。
在此，通過形成材料114A的噴出進行的發(fā)光層的形成，是通過將發(fā)射紅色光的發(fā)光層材料、發(fā)射綠色光的發(fā)光層材料、發(fā)射藍色光的發(fā)光層材料噴吐到分別對應(yīng)的像素71上涂敷而實施。此外，與各色對應(yīng)的像素71，以按照一定規(guī)則配置的方式預(yù)先確定。
在這樣將各色的發(fā)光層形成材料噴出并進行涂敷后，通過使發(fā)光層形成材料114B中的溶劑蒸發(fā)，如圖11b所示，在空穴注入層140A上形成固態(tài)的發(fā)光層140B，這樣獲得由空穴注入層140A和發(fā)光層140B構(gòu)成的發(fā)光部140。在此，對于發(fā)光層形成材料1 14B中的溶劑的蒸發(fā)，根據(jù)需要進行加熱或者減壓等處理，但由于發(fā)光層的形成材料通常干燥性良好，容易速干，不需要進行特別的處理，因此，通過依次噴出各色的發(fā)光層形成材料，可以按照其涂敷順序形成各色的發(fā)光層140B。
然后，如圖11c所示，在透明基板121的表面整體上，或者帶狀上形成反射電極154，獲得有機EL元件。
在這樣的有機EL元件的制造方法中，由于將稱為空穴注入層140A和發(fā)光層140B的成為有機EL元件的構(gòu)成要素的薄膜，通過制膜裝置1制作，因此可以高精度地控制空穴注入層140A和發(fā)光層140B的膜厚、平坦度、形成位置等，可以降低產(chǎn)生不合格品的概率，因此，可以比較廉價并且穩(wěn)定地形成有機EL元件。
(電子機器)以下對包括作為上述實施例的光學元件(彩色濾光片或者有機EL元件)的器件的電子機器的例子進行說明。
圖12表示手機電話機的一例的立體圖。在圖12中，符號1000表示手機電話機本體，符號1001表示采用上述光學元件的顯示部。
圖13表示手表型電子機器的一例的立體圖。在圖13中，符號1100表示手表本體，符號1101表示采用上述彩色濾光片的顯示部。
圖14表示文字處理機、微計算機等便攜式信息處理裝置的一例的立體圖。在圖14中，符號1200表示信息處理裝置，符號1202表示鍵盤等的輸入部，符號1204表示信息處理裝置本體，符號1206表示采用上述彩色濾光片的顯示部。
圖12～圖14所示的電子機器，由于采用了上述實施例的光學元件，因此可以良好進行圖像顯示，可以降低制造成本，同時縮短制造時間。
此外，本發(fā)明并不限定于上述實施例，只要是在不脫離本發(fā)明的要旨范圍內(nèi)，顯然可以進行各種變形。例如，也可以采用電阻R替代電感L。這時，構(gòu)成低通型RC濾波器，施加在壓電振動子20上的驅(qū)動波形成為圖2(c)所示的積分波形，雖然不能完全消除變換點(殘留下了變化點A0、A2、A4)，在這一點上不能期待和電感L相同程度的效果，但也具有一定的效果。另外，也可以同時采用電感L和電阻R兩方的構(gòu)成。
另外，作為電感L和電阻R，也可以利用在驅(qū)動控制電路10和驅(qū)動波形產(chǎn)生電路30之間連接的FFC和模擬開關(guān)等中寄生的電感成分和電阻成分。
另外，通過從上述實施例的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置中噴出包含有金屬微粒子的液體，也可以制作成為金屬布線的膜。這樣，由于可以長期穩(wěn)定制作出成為金屬布線的膜，所以和現(xiàn)有技術(shù)相比，可以廉價制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置的膜所構(gòu)成的金屬布線，即斷線概率低、高密度配置的金屬布線。
此外，適用本發(fā)明制造的器件并不限定于上述實施例，可以在采用功能型液體并實施規(guī)定的制膜處理后所制造的物品中廣泛使用。例如作為一例，除此之外，可以在微透鏡陣列的制造方法中適用。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，是具有壓電振動子、并在所述壓電振動子上施加規(guī)定驅(qū)動波形時從噴出部噴出液滴的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，其特征是，具有通過由曲線形狀構(gòu)成的所述驅(qū)動波形驅(qū)動所述壓電振動子的驅(qū)動控制裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，其特征是，所述驅(qū)動波形是沒有尖銳邊緣的波形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，其特征是，所述驅(qū)動波形是由波形變換裝置對矩形或者梯形的方波進行變換所生成的波形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，其特征是，所述驅(qū)動波形包括用于噴出所述液滴的噴出波形，和在不噴出所述液滴的程度使所述壓電振動子微振動的微振動波形。
5.一種制膜裝置，其特征是，包括權(quán)利要求1所述的液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，從所述液滴噴出頭噴出功能型液體，對被處理物的規(guī)定部位進行制膜處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制膜裝置，其特征是，所述制膜裝置是制造彩色濾光片的裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制膜裝置，其特征是，所述制膜裝置是制造成為有機電熒光元件的構(gòu)成要素的膜的裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制膜裝置，其特征是，所述制膜裝置是從所述液滴噴出頭噴出包含金屬微粒子的液狀體的裝置，是通過在所希望的面上噴出該液狀體而制造成為金屬布線的膜的裝置。
9.一種液滴噴出頭的驅(qū)動方法，其特征是，是由規(guī)定驅(qū)動波形使壓電振動子伸縮、從而從噴出部噴出液滴的液滴噴出頭的驅(qū)動方法，包括通過由曲線波形構(gòu)成的所述驅(qū)動波形驅(qū)動所述壓電振動子的處理。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液滴噴出頭的驅(qū)動方法，其特征是，所述驅(qū)動波形是沒有尖銳邊緣的波形。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液滴噴出頭的驅(qū)動方法，其特征是，所述驅(qū)動波形是根據(jù)矩形或者梯形的方波所生成的波形。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液滴噴出頭的驅(qū)動方法，其特征是，所述驅(qū)動波形包括用于噴出所述液滴的噴出波形、和在不噴出所述液滴的程度使所述壓電振動子微振動的微振動波形。
13.一種制膜方法，其特征是，采用權(quán)利要求9所述的液滴噴出頭的驅(qū)動方法制膜。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的制膜方法，其特征是，所述制膜方法，在制造成為彩色濾光片的構(gòu)成要素的膜時使用。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的制膜方法，其特征是，所述制膜方法，在制造成為有機電熒光元件的構(gòu)成要素的膜時使用。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的制膜方法，其特征是，所述制膜方法，通過從所述液滴噴出頭在所希望的面上噴出包含金屬微粒子的液狀體，制造成為金屬布線的膜。
17.一種電子機器，其特征是，包括采用權(quán)利要求13所述的制膜方法所制造的器件。
18.一種器件的制造方法，其特征是，通過在基板上的規(guī)定部分上涂敷功能性液體進行制造，包括采用權(quán)利要求9所述的液滴噴出頭的驅(qū)動方法、從所述液滴噴出頭在所述基板的規(guī)定部位上噴出所述功能性液體的工藝。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液滴噴出頭的驅(qū)動裝置、制膜裝置、液滴噴出頭的驅(qū)動方法、制膜方法以及電子機器和器件的制造方法，該液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，可以抑制壓電振動子的劣化，可從液滴噴出頭長期穩(wěn)定地噴出液滴。該液滴噴出頭的驅(qū)動裝置，包括由規(guī)定驅(qū)動波形伸縮的壓電振動子(20)、作為驅(qū)動控制裝置的驅(qū)動控制電路(10)、驅(qū)動波形產(chǎn)生電路(30)。驅(qū)動控制電路(10)，根據(jù)由驅(qū)動波形產(chǎn)生電路(30)所產(chǎn)生的波形，生成由沒有尖銳邊緣的曲線波形構(gòu)成的驅(qū)動波形，驅(qū)動壓電振動子(20)。
文檔編號G02B5/20GK1483577SQ0314365
公開日2004年3月24日 申請日期2003年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月31日
發(fā)明者臼田秀范 申請人:精工愛普生株式會社