專利名稱:基板傳送機(jī)臺(tái)及其檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種基板傳送機(jī)臺(tái)及其檢測(cè)裝置,特別是涉及一種可檢測(cè)在其上傳送的基板是否發(fā)生缺角的基板傳送機(jī)臺(tái)。
背景技術(shù):
近年來(lái),在液晶面板的制造過程中,隨著玻璃基板面積的日趨擴(kuò)大,發(fā)現(xiàn)基板在機(jī)臺(tái)上傳送的過程中,容易發(fā)生缺角的情況;舉例來(lái)說,在濕式蝕刻機(jī)臺(tái)中,其利用滾子作為傳送機(jī)制,在傳送基板時(shí),須在滾子上方設(shè)置一壓板,以確?;逖匾患榷ǚ较蛞苿?dòng),然而,該壓板在使用不當(dāng)?shù)臓顩r下,會(huì)產(chǎn)生使基板發(fā)生缺角的問題。
在現(xiàn)有的機(jī)臺(tái)中,并未有檢測(cè)缺角(破片)的類似功能,詳而言之,如圖1所示,當(dāng)基板1從一機(jī)臺(tái)將要被移送至另一機(jī)臺(tái)時(shí),基板1通過滾子2被傳送至一既定位置,且在到達(dá)既定位置前,可借助一減速檢測(cè)器3使?jié)L子1減速,然后再借助一停止檢測(cè)器4使?jié)L子1停止,從而使基板1停止在此既定位置上,然后位于基板1下方的舉起構(gòu)件5可將基板1舉起,并利用未圖示的機(jī)械手傳送至下一機(jī)臺(tái);應(yīng)了解的是當(dāng)停止檢測(cè)器4未檢測(cè)到基板1時(shí),基板會(huì)繼續(xù)前進(jìn)至停止銷6處,此時(shí)基板1可由停止銷6保持而不致于掉落在機(jī)臺(tái)外,且機(jī)臺(tái)會(huì)發(fā)出警報(bào)通知操作者有異常狀況。
如上所述,由于公知機(jī)臺(tái)并沒有檢測(cè)缺角的功能,當(dāng)具有缺角的基板被移送至另一機(jī)臺(tái)時(shí),因?yàn)榛宓某叽绮环纫蛩兀瑫?huì)被另一機(jī)臺(tái)的操作者發(fā)覺,這不僅造成其它機(jī)臺(tái)操作者的困擾,同時(shí)也會(huì)造成制造工時(shí)的浪費(fèi);另外,當(dāng)基板的缺角擴(kuò)大時(shí),其將會(huì)產(chǎn)生破片掉落于機(jī)臺(tái)中,這不僅需將整個(gè)機(jī)臺(tái)停機(jī)進(jìn)行清理,嚴(yán)重時(shí),基板的破片甚至?xí)?duì)機(jī)臺(tái)造成損害。
發(fā)明內(nèi)容
因此,本發(fā)明的目的在于提供一種基板傳送機(jī)臺(tái),其可檢測(cè)在其上傳送的基板是否發(fā)生缺角。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種檢測(cè)裝置,其可在不修改原有機(jī)臺(tái)電氣的前提下,檢測(cè)基板是否發(fā)生缺角。
根據(jù)本發(fā)明,提供一種基板傳送機(jī)臺(tái),其用以傳送一基板,且包括一舉起構(gòu)件以及多個(gè)第一檢測(cè)器,其中舉起構(gòu)件用以將基板舉起,而第一檢測(cè)器用以檢測(cè)基板是否有缺角,且與舉起構(gòu)件耦合,當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器沒有檢測(cè)到缺角時(shí)發(fā)出一信號(hào),以到達(dá)舉起構(gòu)件。
在一較佳實(shí)施例中,基板傳送機(jī)臺(tái)還包括多個(gè)開關(guān),分別與第一檢測(cè)器耦合,其中當(dāng)任一第一檢測(cè)器檢測(cè)到缺角時(shí),使開關(guān)斷路,以使信號(hào)無(wú)法傳遞到舉起構(gòu)件。
此外,開關(guān)以串聯(lián)的方式相互耦合,且分別為一繼電器。
在另一較佳實(shí)施例中,基板傳送機(jī)臺(tái)還包括多個(gè)滾子以及一第二檢測(cè)器,其中滾子用以傳送基板,而第二檢測(cè)器用以檢測(cè)基板是否到達(dá)一既定位置,且與滾子耦合,當(dāng)?shù)诙z測(cè)器檢測(cè)基板到達(dá)既定位置時(shí),使?jié)L子停止。
第二檢測(cè)器以串聯(lián)的方式與第一檢測(cè)器耦合,且用以檢測(cè)基板是否有缺角,而當(dāng)?shù)诙z測(cè)器檢測(cè)到缺角時(shí),使第一檢測(cè)器的信號(hào)無(wú)法傳遞到舉起構(gòu)件。
第一檢測(cè)器分別設(shè)置在位于既定位置的基板的角落。
基板傳送機(jī)臺(tái)還包括一第三檢測(cè)器,其與滾子耦合,用以使?jié)L子減速。
在另一較佳實(shí)施例中,基板傳送機(jī)臺(tái)還包括一控制單元,其與舉起構(gòu)件耦合,其中當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器沒有檢測(cè)到缺角時(shí),使控制單元和舉起構(gòu)件之間導(dǎo)通。
在另一較佳實(shí)施例中,第一檢測(cè)器是以成對(duì)的方式設(shè)置,且相鄰的第一檢測(cè)器之間的間隔為5mm。
在另一較佳實(shí)施例中,基板傳送機(jī)臺(tái)還包括一本體以及一位置調(diào)整組件,其中本體上設(shè)有舉起構(gòu)件,而位置調(diào)整組件以可移動(dòng)的方式設(shè)置于本體上,且其上分別設(shè)有第一檢測(cè)器,用以調(diào)整第一檢測(cè)器的位置。
位置調(diào)整組件分別包括一基底以及一移動(dòng)板,其中基底以可移動(dòng)的方式設(shè)置于本體上,而移動(dòng)板以可移動(dòng)的方式設(shè)置于基底上,且第一檢測(cè)器分別以可移動(dòng)方式設(shè)置于移動(dòng)板上。
本體上形成有一第一導(dǎo)槽,且基底上形成有與第一導(dǎo)槽對(duì)應(yīng)的一第一導(dǎo)軌,通過第一導(dǎo)軌在第一導(dǎo)槽上移動(dòng),使基底可在該本體上移動(dòng)。
此外,上述位置調(diào)整組件還包括一第一定位構(gòu)件,穿過基底與本體結(jié)構(gòu),用以將基底定位于本體上。
基底上形成有一第二導(dǎo)槽,且移動(dòng)板上形成有與第二導(dǎo)槽對(duì)應(yīng)的一第二導(dǎo)軌,通過第二導(dǎo)軌在第二導(dǎo)槽上移動(dòng),使移動(dòng)板可在基底上移動(dòng)。
位置調(diào)整組件還包括一第二定位構(gòu)件,穿過移動(dòng)板與基底結(jié)合,用以將移動(dòng)板定位于基底上。
移動(dòng)板上形成有一第三導(dǎo)槽,用以供第一檢測(cè)器穿過,而使第一檢測(cè)器可在移動(dòng)板上移動(dòng)。
另外本發(fā)明提供一種檢測(cè)裝置,其適用于一機(jī)臺(tái),其中機(jī)臺(tái)用以傳送一基板,且具有一舉起構(gòu)件以及多個(gè)滾子,而上述檢測(cè)裝置包括多個(gè)第一檢測(cè)器以及一第二檢測(cè)器;第一檢測(cè)器用以檢測(cè)基板是否有缺角,第二檢測(cè)器用以檢測(cè)基板是否到達(dá)一既定位置,且分別與舉起構(gòu)件、滾子、第一檢測(cè)器耦合,其中當(dāng)?shù)诙z測(cè)器檢測(cè)基板到達(dá)既定位置時(shí),使?jié)L子停止,且起動(dòng)第一檢測(cè)器檢測(cè)基板是否有缺角,當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器沒有檢測(cè)到缺角時(shí)發(fā)出一信號(hào),以達(dá)到舉起構(gòu)件。
為了使本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易于理解,下面特舉一較佳實(shí)施例,并配合附圖進(jìn)行詳細(xì)說明如下。
圖1為公知的基板傳送機(jī)臺(tái)的示意圖;圖2為本發(fā)明的基板傳送機(jī)臺(tái)的示意圖;圖3為本發(fā)明的位置調(diào)整組件的示意圖;圖4、5為本發(fā)明的檢測(cè)裝置的示意圖;圖6是顯示基板在機(jī)臺(tái)上傳送時(shí),各組件的動(dòng)作示意圖。
具體實(shí)施例方式
圖2、3、4、5顯示本發(fā)明的基板傳送機(jī)臺(tái)100,用以傳送一基板1,其包括多個(gè)滾子110、一舉起構(gòu)件120、多個(gè)第一檢測(cè)器130、一第二檢測(cè)器140、一第三檢測(cè)器150、兩個(gè)停止銷160、多個(gè)開關(guān)170、一本體180、多個(gè)位置調(diào)整組件190、以及一控制單元210,其中第一檢測(cè)器130、第二檢測(cè)器140、第三檢測(cè)器150、開關(guān)170、位置調(diào)整組件190、以及控制單元210構(gòu)成本發(fā)明的檢測(cè)裝置。
滾子110用以將基板1傳送至一既定位置。舉起構(gòu)件120用以將到達(dá)既定位置的基板1舉起,停止銷160可使傳送超過既定位置的基板1維持在機(jī)臺(tái)100上,本體180為基板傳送機(jī)臺(tái)100的基本構(gòu)成,其上可設(shè)置上述各組件。
第一檢測(cè)器130如圖2所示,在本實(shí)施例中,其設(shè)置數(shù)量為六個(gè),用以檢測(cè)基板1的三個(gè)角落上是否有缺角,且分別與舉起構(gòu)件120、開關(guān)170耦合,當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器130沒有檢測(cè)到缺角時(shí)發(fā)出一信號(hào),以達(dá)到能舉起構(gòu)件120,使舉起構(gòu)件120可舉起基板1。
如圖3所示,將每?jī)蓚€(gè)第一檢測(cè)器130設(shè)置于一位置調(diào)整組件190上,位置調(diào)整組件190以可移動(dòng)的方式設(shè)置于本體180上,用以調(diào)整第一檢測(cè)器130的位置,且包括一基底191、兩個(gè)移動(dòng)板192、兩個(gè)第一定位構(gòu)件193、以及四個(gè)第二定位構(gòu)件194,其中基底191由三個(gè)平面構(gòu)成,基底191的一平面與本體180的頂面平行,其他兩平面則與本體180的頂面垂直。
參考圖3,本體180上形成有兩個(gè)第一導(dǎo)槽181,基底191上形成有與第一導(dǎo)槽181對(duì)應(yīng)的兩個(gè)第一導(dǎo)軌191a(由于與第一導(dǎo)槽181重迭,在圖上標(biāo)示在同一位置),通過第一導(dǎo)軌191a在第一導(dǎo)槽181上移動(dòng),使基底191可在本體180上移動(dòng),并通過第一定位構(gòu)件193穿過基底191與本體180結(jié)合,可將基底191定位于本體180的一既定位置上;基底191上形成有兩個(gè)第二導(dǎo)槽191b,各移動(dòng)板192上分別形成有與第二導(dǎo)槽191b對(duì)應(yīng)的一第二導(dǎo)軌192a(由于與第二導(dǎo)槽191b重迭,在圖上標(biāo)示在同一位置),通過第二導(dǎo)軌192a在第二導(dǎo)槽191b上移動(dòng),使移動(dòng)板192可在基底191上移動(dòng),且由于第二定位構(gòu)件194穿過移動(dòng)板192與基底191結(jié)合,可將移動(dòng)板192定位于基底191的一既定位置上;移動(dòng)板192上分別形成有一第三導(dǎo)槽192b,用以供第一檢測(cè)器130穿過,以使第一檢測(cè)器130可在移動(dòng)板192上移動(dòng)。
應(yīng)了解的是第一定位構(gòu)件和第二定位構(gòu)件可以是一螺絲,在本體和基底上分別設(shè)有定位螺孔,可通過螺絲與螺孔嚙合而將基底和移動(dòng)板分別定位于本體和基底上;此外,第一檢測(cè)器本身可以是兩段式的結(jié)構(gòu),以便在第三導(dǎo)槽上定位。
另外,如圖2所示,第一檢測(cè)器130分別設(shè)置在到達(dá)既定位置的基板1的角落,并以成對(duì)的方式設(shè)置,相鄰的第一檢測(cè)器130之間的間隔可小至5mm。
參考圖4,每一第一檢測(cè)器130a、130b、130c、130d、130e、130f可分別與一開關(guān)170a、170b、170c、170d、170e、170f耦合,當(dāng)任一第一檢測(cè)器130檢測(cè)到缺角時(shí),使對(duì)應(yīng)的開關(guān)170斷路,以使信號(hào)無(wú)法傳遞到舉起構(gòu)件120。
如圖4所示,開關(guān)170以串聯(lián)的方式相互耦合,且可分別為一繼電器,如圖5所示。
參考圖2,第二檢測(cè)器140設(shè)置于到達(dá)既定位置的基板1的一角落,且與滾子110耦合,用以檢測(cè)基板1是否到達(dá)一既定位置,當(dāng)?shù)诙z測(cè)器140檢測(cè)基板1到達(dá)既定位置時(shí),使?jié)L子110停止。
如圖4所示,第二檢測(cè)器140以串聯(lián)的方式分別經(jīng)由各開關(guān)170與第一檢測(cè)器130耦合,用以檢測(cè)基板1的一角落是否有缺角,當(dāng)?shù)诙z測(cè)器140檢測(cè)到基板1的此角落有缺角時(shí),使第一檢測(cè)器140的信號(hào)無(wú)法傳遞到舉起構(gòu)件120。
參考圖2,第三檢測(cè)器150與滾子110耦合,用以使?jié)L子110減速。
參考圖5,控制單元210為基板傳送機(jī)臺(tái)100的控制中心,可分別與上述各組件耦合,并包括一控制器211(PLC)、一解碼器(SDS)212、以及一輸入輸出總線端口(SAB)213,當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器130沒有檢測(cè)到缺角時(shí),使控制單元210和舉起構(gòu)件120之間導(dǎo)通,以使舉起構(gòu)件120舉起基板1。
在控制單元210的輸入輸出總線端口213和第二檢測(cè)器140之間,除了傳送信號(hào)外也傳送電力。開關(guān)170如圖5所示,為一繼電器的形式,需在一回路的部分171使開關(guān)170電力通過,才可使位于第二檢測(cè)器140和控制單元210之間的部分172導(dǎo)通;此外,如果開關(guān)170在回路的部分171上有電力通過,則須借助第一檢測(cè)器130的信號(hào)觸發(fā)一光纖電路221,且此光纖電路221可觸動(dòng)位于回路上的晶體管222,而使部分171上有電力通過;此外,在回路上還設(shè)有一二極管223,借此使回路上的電力可沿一既定方向傳送,利用上述構(gòu)成即可借助第一檢測(cè)器130以及第二檢測(cè)器140的檢測(cè)結(jié)果,來(lái)決定控制單元210是否須驅(qū)動(dòng)舉起構(gòu)件120。
本發(fā)明的基板傳送機(jī)臺(tái)的構(gòu)成如上所述,以下參考圖6說明其動(dòng)作方式。
如圖6所示,當(dāng)基板1從一起始位置傳送至一終點(diǎn)位置(上述既定位置),首先會(huì)被第一檢測(cè)器130a、130b檢測(cè)到,此時(shí)第一檢測(cè)器130a、130b導(dǎo)通與其對(duì)應(yīng)的開關(guān)170a、170b;接著,繼續(xù)前進(jìn)的基板1被第一檢測(cè)器130c、130d檢測(cè)到,此時(shí)第一檢測(cè)器130c、130d導(dǎo)通與其對(duì)應(yīng)的開關(guān)170c、170d;然后,繼續(xù)前進(jìn)的基板1被第三檢測(cè)器150c檢測(cè)到,此時(shí)第三檢測(cè)器150將通過控制單元210使?jié)L子110減速,此后,基板1被第一檢測(cè)器130e檢測(cè)到,使與第一檢測(cè)器130e對(duì)應(yīng)的開關(guān)170e導(dǎo)通;最后,基板1被第一檢測(cè)器130f檢測(cè)到,使與第一檢測(cè)器130f對(duì)應(yīng)的開關(guān)170f導(dǎo)通,如圖6b所示,并且基板1被第二檢測(cè)器140檢測(cè)到,此時(shí)第二檢測(cè)器140通過控制單元210使?jié)L子110停止,基板1停止在既定位置上,各第一檢測(cè)器130于此時(shí)判斷基板1是否具有缺角,當(dāng)各第一檢測(cè)器130以及第二檢測(cè)器140均未檢測(cè)到缺角時(shí),控制單元210和舉起構(gòu)件120之間導(dǎo)通,第一檢測(cè)器130的信號(hào)達(dá)到舉起構(gòu)件120,進(jìn)而使舉起構(gòu)件120將基板1舉起。
應(yīng)了解的是當(dāng)上述任一第一檢測(cè)器130檢測(cè)到缺角時(shí),將使與其對(duì)應(yīng)的開關(guān)170斷路,其信號(hào)無(wú)法傳遞到舉起構(gòu)件120,進(jìn)而使舉起構(gòu)件120無(wú)法將基板1舉起,并會(huì)發(fā)出警報(bào)。當(dāng)?shù)诙z測(cè)器140檢測(cè)到缺角時(shí),其也通過控制單元210使舉起構(gòu)件120無(wú)法將基板1舉起。
如上所述,利用在基板的四個(gè)角落設(shè)置可檢測(cè)破片的檢測(cè)器,當(dāng)在機(jī)臺(tái)內(nèi)部發(fā)生缺角時(shí)能第一時(shí)間發(fā)現(xiàn),并且能盡快有效的處置,因此降低缺角產(chǎn)品的產(chǎn)生。
由于檢測(cè)器設(shè)置于一位置調(diào)整組件上,其位置可隨意調(diào)整,由此可對(duì)檢測(cè)聯(lián)機(jī)操作時(shí)不同位置的缺角進(jìn)行適當(dāng)?shù)臋z測(cè)。
另外,由于本發(fā)明是通過外部串接開關(guān)的方式來(lái)檢測(cè)基板的缺角問題,因此不需要大幅度修改機(jī)臺(tái)上的電氣和控制器,就可以最少的成本來(lái)完成對(duì)它們的改進(jìn)。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示,但并非用以限定本發(fā)明,任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的實(shí)質(zhì)和范圍內(nèi),可作出更動(dòng)與修改,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以后附的權(quán)利要求書所界定。
權(quán)利要求
1.一種檢測(cè)裝置,適用于一機(jī)臺(tái),該機(jī)臺(tái)用以傳送一基板,且具有一舉起構(gòu)件以及多個(gè)滾子,該檢測(cè)裝置包括多個(gè)第一檢測(cè)器,用以檢測(cè)該基板是否有缺角;以及一第二檢測(cè)器,用以檢測(cè)該基板是否到達(dá)一既定位置,且分別與舉起構(gòu)件、滾子、第一檢測(cè)器耦合,其中當(dāng)?shù)诙z測(cè)器檢測(cè)基板到達(dá)既定位置時(shí),使?jié)L子停止,且起動(dòng)第一檢測(cè)器檢測(cè)基板是否有缺角,當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器沒有檢測(cè)到缺角時(shí),發(fā)出一信號(hào)到達(dá)舉起構(gòu)件。
2.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置,其中還包括多個(gè)開關(guān),分別與第一檢測(cè)器耦合,其中當(dāng)任一第一檢測(cè)器檢測(cè)到缺角時(shí),使開關(guān)斷路,以使信號(hào)無(wú)法傳遞到舉起構(gòu)件。
3.如權(quán)利要求2所述的檢測(cè)裝置,其中開關(guān)以串聯(lián)的方式相互耦合。
4.如權(quán)利要求2所述的檢測(cè)裝置,其中開關(guān)分別為一繼電器。
5.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置,其中第二檢測(cè)器以串聯(lián)的方式與第一檢測(cè)器耦合,用以檢測(cè)基板是否有缺角,當(dāng)?shù)诙z測(cè)器檢測(cè)到缺角時(shí),使第一檢測(cè)器的信號(hào)無(wú)法傳遞到舉起構(gòu)件。
6.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置,其中第一檢測(cè)器分別設(shè)置在位于既定位置的基板的角落。
7.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置,其中還包括一第三檢測(cè)器,其與滾子耦合,用以使?jié)L子減速。
8.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置,其中機(jī)臺(tái)還包括一控制單元,其與舉起構(gòu)件耦合,當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器沒有檢測(cè)到缺角時(shí),控制單元和舉起構(gòu)件之間導(dǎo)通。
9.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置,其中第一檢測(cè)器以成對(duì)的方式設(shè)置,相鄰的第一檢測(cè)器之間的間隔為5mm。
10.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置,其中機(jī)臺(tái)還包括一本體,而檢測(cè)裝置還包括一位置調(diào)整組件,以可移動(dòng)的方式設(shè)置于本體上,其上分別設(shè)有第一檢測(cè)器,用以調(diào)整第一檢測(cè)器的位置。
11.如權(quán)利要求10所述的檢測(cè)裝置,其中位置調(diào)整組件分別包括一基底,以可移動(dòng)的方式設(shè)置于本體上;以及一移動(dòng)板,以可移動(dòng)的方式設(shè)置于基底上,且第一檢測(cè)器分別以可移動(dòng)方式設(shè)置于移動(dòng)板上。
12.如權(quán)利要求11所述的檢測(cè)裝置,其中本體上形成有一第一導(dǎo)槽,基底上形成有與第一導(dǎo)槽對(duì)應(yīng)的一第一導(dǎo)軌,通過第一導(dǎo)軌在第一導(dǎo)槽上移動(dòng),使基底可在本體上移動(dòng)。
13.如權(quán)利要求11所述的檢測(cè)裝置,其中位置調(diào)整組件還包括一第一定位構(gòu)件,其穿過基底與本體結(jié)合,用以將基底定位于本體上。
14.如權(quán)利要求11所述的檢測(cè)裝置,其中基底上形成有一第二導(dǎo)槽,移動(dòng)板上形成有與第二導(dǎo)槽對(duì)應(yīng)的一第二導(dǎo)軌,通過第二導(dǎo)軌在第二導(dǎo)槽上移動(dòng),使移動(dòng)板可在基底上移動(dòng)。
15.如權(quán)利要求11所述的檢測(cè)裝置,其中位置調(diào)整組件還包括一第二定位構(gòu)件,其穿過移動(dòng)板與基底結(jié)合,用以將移動(dòng)板定位于基底上。
16.如權(quán)利要求11所述的檢測(cè)裝置,其中移動(dòng)板上形成有一第三導(dǎo)槽,用以使第一檢測(cè)器穿過,第一檢測(cè)器可在移動(dòng)板上移動(dòng)。
17.一種基板傳送機(jī)臺(tái),包括一舉起構(gòu)件,用以將一基板舉起;以及多個(gè)第一檢測(cè)器,檢測(cè)基板是否有缺角,并與舉起構(gòu)件耦合,其中當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器沒有檢測(cè)到缺角時(shí),發(fā)出一信號(hào)到達(dá)舉起構(gòu)件。
18.如權(quán)利要求17所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中還包括多個(gè)開關(guān),分別與第一檢測(cè)器耦合,其中當(dāng)任一第一檢測(cè)器檢測(cè)到缺角時(shí),使開關(guān)斷路,以使信號(hào)無(wú)法傳遞到舉起構(gòu)件。
19.如權(quán)利要求18所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中開關(guān)以串聯(lián)的方式相互耦合。
20.如權(quán)利要求18所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中開關(guān)分別為一繼電器。
21.如權(quán)利要求17所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中還包括多個(gè)滾子,用以傳送基板。
22.如權(quán)利要求21所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中還包括一第二檢測(cè)器,用以檢測(cè)基板是否到達(dá)一既定位置,且與滾子耦合,其中當(dāng)?shù)诙z測(cè)器檢測(cè)基板到達(dá)既定位置時(shí),使?jié)L子停止。
23.如權(quán)利要求22所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中第二檢測(cè)器以串聯(lián)的方式與第一檢測(cè)器耦合,用以檢測(cè)基板是否有缺角,當(dāng)?shù)诙z測(cè)器檢測(cè)到缺角時(shí),第一檢測(cè)器的信號(hào)無(wú)法傳遞到舉起構(gòu)件。
24.如權(quán)利要求22所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中第一檢測(cè)器分別設(shè)置在位于既定位置的基板的角落。
25.如權(quán)利要求21所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中還包括一第三檢測(cè)器,其與滾子耦合,用以使?jié)L子減速。
26.如權(quán)利要求17所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中還包括一控制單元,其與舉起構(gòu)件耦合,其中當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器沒有檢測(cè)到缺角時(shí),控制單元和舉起構(gòu)件之間導(dǎo)通。
27.如權(quán)利要求17所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中第一檢測(cè)器以成對(duì)的方式設(shè)置,相鄰的第一檢測(cè)器之間的間隔為5mm。
28.如權(quán)利要求17所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中還包括一本體,其上設(shè)有舉起構(gòu)件;以及一位置調(diào)整組件,以可移動(dòng)的方式設(shè)置于本體上,其上分別設(shè)有第一檢測(cè)器,用以調(diào)整第一檢測(cè)器的位置。
29.如權(quán)利要求28所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中位置調(diào)整組件分別包括一基底,以可移動(dòng)的方式設(shè)置于本體上;以及一移動(dòng)板,以可移動(dòng)的方式設(shè)置于基底上,第一檢測(cè)器分別以可移動(dòng)方式設(shè)置于移動(dòng)板上。
30.如權(quán)利要求29所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中本體上形成有一第一導(dǎo)槽,基底上形成有與第一導(dǎo)槽對(duì)應(yīng)的一第一導(dǎo)軌,通過第一導(dǎo)軌在第一導(dǎo)槽上移動(dòng),使基底可在本體上移動(dòng)。
31.如權(quán)利要求29所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中位置調(diào)整組件還包括一第一定位構(gòu)件,其穿過基底與本體結(jié)合,用以將基底定位于本體上。
32.如權(quán)利要求29所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中基底上形成有一第二導(dǎo)槽,移動(dòng)板上形成有與第二導(dǎo)槽對(duì)應(yīng)的一第二導(dǎo)軌,通過第二導(dǎo)軌在第二導(dǎo)槽上移動(dòng),使移動(dòng)板可在基底上移動(dòng)。
33.如權(quán)利要求29所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中位置調(diào)整組件還包括一第二定位構(gòu)件,其穿過移動(dòng)板與基底結(jié)合,用以將移動(dòng)板定位于基底上。
34.如權(quán)利要求29所述的基板傳送機(jī)臺(tái),其中移動(dòng)板上形成有一第三導(dǎo)槽,用以使第一檢測(cè)器穿過,使第一檢測(cè)器可在移動(dòng)板上移動(dòng)。
全文摘要
一種基板傳送機(jī)臺(tái)及其檢測(cè)裝置,其中基板傳送機(jī)臺(tái)包括多個(gè)滾子、一舉起構(gòu)件、多個(gè)第一檢測(cè)器、以及一第二檢測(cè)器;滾子和舉起構(gòu)件分別用以傳送和舉起基板,而第一檢測(cè)器用以檢測(cè)基板是否有缺角;第二檢測(cè)器用以檢測(cè)基板是否到達(dá)一既定位置,且分別與舉起構(gòu)件、滾子、第一檢測(cè)器耦合,其中當(dāng)?shù)诙z測(cè)器檢測(cè)基板到達(dá)既定位置時(shí),使?jié)L子停止,并起動(dòng)第一檢測(cè)器檢測(cè)基板是否有缺角,當(dāng)?shù)谝粋蓽y(cè)器沒有檢測(cè)到缺角時(shí),發(fā)出一信號(hào)達(dá)到舉起構(gòu)件。
文檔編號(hào)G02F1/13GK1540408SQ0312324
公開日2004年10月27日 申請(qǐng)日期2003年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月24日
發(fā)明者林威呈, 古國(guó)仕, 葉啟聰, 薛裕耀 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司