技術(shù)編號(hào):2675926
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基板傳送機(jī)臺(tái)及其檢測(cè)裝置,特別是涉及一種可檢測(cè)在其上傳送的基板是否發(fā)生缺角的基板傳送機(jī)臺(tái)。背景技術(shù) 近年來(lái),在液晶面板的制造過(guò)程中,隨著玻璃基板面積的日趨擴(kuò)大,發(fā)現(xiàn)基板在機(jī)臺(tái)上傳送的過(guò)程中,容易發(fā)生缺角的情況;舉例來(lái)說(shuō),在濕式蝕刻機(jī)臺(tái)中,其利用滾子作為傳送機(jī)制,在傳送基板時(shí),須在滾子上方設(shè)置一壓板,以確保基板沿一既定方向移動(dòng),然而,該壓板在使用不當(dāng)?shù)臓顩r下,會(huì)產(chǎn)生使基板發(fā)生缺角的問(wèn)題。在現(xiàn)有的機(jī)臺(tái)中,并未有檢測(cè)缺角(破片)的類(lèi)似功能,詳而言之...
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- 楊老師:物理電子學(xué)