專利名稱：光學(xué)元件、其制造方法及使用該光學(xué)元件的光學(xué)頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)元件及其制造方法、以及用該光學(xué)元件來記錄、重現(xiàn)信息的光學(xué)頭。
背景技術(shù)：
對(duì)于利用激光在光盤上記錄或重現(xiàn)信息的光學(xué)頭，迄今進(jìn)行著推進(jìn)裝置的小型化、低成本化的研究，在磁光記錄用的光學(xué)頭中，例如已知有(日本)特開平10-143934號(hào)公報(bào)公開的光學(xué)頭。
圖47示出這種現(xiàn)有光學(xué)頭的結(jié)構(gòu)，以下參照?qǐng)D面來說明該圖所示的結(jié)構(gòu)。在圖47中，181是硅基板，182是發(fā)射圖中的x軸方向的偏振光的半導(dǎo)體激光器，183及184是聚焦誤差信號(hào)及跟蹤誤差信號(hào)檢測(cè)用的受光部，185及186是磁光信號(hào)檢測(cè)用的受光部，半導(dǎo)體激光器182及受光部183～186被一體設(shè)置在硅基板181上。187是衍射效率不依賴于入射光偏振方向的衍射元件，具有下述作用透射入射光的大體70％，±1級(jí)衍射光分別各衍射大體10％，將±1級(jí)衍射光分別引導(dǎo)到受光部183及184。
188是設(shè)有具有偏振依賴性光學(xué)膜的光學(xué)面188a和反射面188b的偏振棱鏡。以下，在光學(xué)面的偏振特性的說明中，將包含光學(xué)面188a的法線矢量和圖中x軸的面內(nèi)的偏振稱為P偏振，將上述P偏振的偏振面圍繞光軸旋轉(zhuǎn)90度所得的平面內(nèi)的偏振稱為S偏振，則光學(xué)面188a具有下述作用透射P偏振分量的大體80％，反射大體20％，大體100％地反射S偏振分量。189是物鏡，190是記錄有磁光信號(hào)的光盤，191是例如由鈮酸鋰晶體等雙折射材料構(gòu)成的渥拉斯頓棱鏡。
在如上構(gòu)成的現(xiàn)有光學(xué)頭中，從半導(dǎo)體激光器182出射的光透過衍射元件187及偏振棱鏡188，由物鏡189會(huì)聚到光盤190上。在光盤190上由于克爾效應(yīng)而使偏振略微旋轉(zhuǎn)并反射的光再次透過物鏡189后，入射到偏振棱鏡188上，由光學(xué)面188a透射P偏振分量的大體80％，反射P偏振分量的大體20％和由于克爾效應(yīng)而產(chǎn)生的S偏振分量的大體100％。
透過光學(xué)面188a的光由衍射元件187衍射±1級(jí)衍射光各10％，由受光部183及184進(jìn)行光接收。詳細(xì)的檢測(cè)原理的說明將省略，通過對(duì)該光接收信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算，能得到聚焦誤差信號(hào)及跟蹤誤差信號(hào)。另一方面，光學(xué)面188a反射的光由反射面188b反射后，由渥拉斯頓棱鏡191分離為相互正交的偏振分量，分別由受光部185及186進(jìn)行光接收，通過該光接收信號(hào)的差動(dòng)來檢測(cè)磁光信號(hào)。
然而，在上述現(xiàn)有例中，為了對(duì)光進(jìn)行分支，需要偏振棱鏡188、衍射元件187以及渥拉斯頓棱鏡191這3個(gè)元件，并且在進(jìn)行偏振分離的渥拉斯頓棱鏡191中使用鈮酸鋰晶體等雙折射材料，這成為成本增加的原因，成為低成本化面臨的問題。
此外，在來自半導(dǎo)體激光器182的光通過衍射元件187時(shí)，除了信號(hào)檢測(cè)所用的0級(jí)光之外還產(chǎn)生1級(jí)衍射光，所以會(huì)聚到光盤上的0級(jí)光與光源的光量之比光利用效率降低，并且該1級(jí)衍射光入射到物鏡189上，會(huì)聚到光盤190上，其反射光被引導(dǎo)到受光部183及184和受光部185及186上，從而有下述問題影響聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)、及磁光信號(hào)的檢測(cè)，導(dǎo)致伺服工作的精度降低、及磁光信號(hào)的質(zhì)量降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第1目的在于提供一種低成本的光學(xué)元件。此外，本發(fā)明的第2目的在于提供一種光利用效率高的光學(xué)元件。此外，本發(fā)明的第3目的在于提供一種光學(xué)元件，由于不在從光源射向光盤的往路光路上設(shè)置衍射光柵，從而不會(huì)產(chǎn)生使伺服信號(hào)及RF信號(hào)的質(zhì)量降低的由1級(jí)衍射光所引起的雜散光。再者，本發(fā)明提供一種使用這種光學(xué)元件的光學(xué)頭和該光學(xué)元件的制造方法。
本發(fā)明的第1光學(xué)元件由第1基板、和第2基板接合而成，該第1基板由多種透明基材經(jīng)形成有衍射光柵或由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的至少1個(gè)第1接合面接合而成；該第2基板由多種透明基材經(jīng)形成有衍射光柵或由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面接合而成。入射到上述第1基板上的光的至少一部分由上述第1接合面中的至少1個(gè)反射后，入射到上述第2基板上，進(jìn)而其至少一部分由上述第2接合面中的至少1個(gè)反射。此外，包含上述第1接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含上述第2接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面所成的角為大體45度。
在上述第1光學(xué)元件中，最好，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第1接合面分支出的光束的光路上，而且形成有透射光束的一部分、反射一部分的無偏振性膜；在上述第2接合面中的另外至少1個(gè)上，形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
在本發(fā)明中，“大體透射”是指入射光的97％以上透射。此外，“大體反射”是指入射光的97％以上反射。
在上述第1光學(xué)元件中，最好，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第1接合面分支出的光束的光路上，而且形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
在上述第1光學(xué)元件中，最好，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第1接合面分支出的光束的光路上，而且形成有反射型衍射光柵；在上述第2接合面中的另外至少1個(gè)上，形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
在上述第1光學(xué)元件中，最好，上述第2基板相對(duì)于光學(xué)元件的出射面傾斜規(guī)定的角度。
在上述第1光學(xué)元件中，最好，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；在上述第1接合面的另外至少1個(gè)上形成有反射型衍射光柵；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述反射型衍射光柵反射的光束的光路上，而且形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
本發(fā)明的第2光學(xué)元件由第1基板、第2基板、以及衍射基板依次接合而成，該第1基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的至少1個(gè)第1接合面接合而成；該第2基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面接合而成；該衍射基板在一個(gè)面上具有衍射光柵。入射到上述第1基板上的光的至少一部分由上述第1接合面中的至少1個(gè)反射后，入射到上述第2基板上，進(jìn)而其至少一部分由上述第2接合面中的至少1個(gè)反射。此外，包含上述第1接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含上述第2接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面所成的角為大體45度。
在上述第2光學(xué)元件中，最好，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第1接合面分支出的光束的光路上，而且形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
本發(fā)明的第3光學(xué)元件由第1基板、第2基板、以及第3基板依次接合而成，該第1基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的至少1個(gè)第1接合面接合而成；該第2基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面接合而成；該第3基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第3接合面接合而成。入射到上述第1基板上的光的至少一部分由上述第1接合面中的至少1個(gè)反射后，入射到上述第2基板上，進(jìn)而其至少一部分由上述第2接合面中的至少1個(gè)反射，其余透射，上述透射的光入射到上述第3接合面上。此外，包含上述第1接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含上述第2接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面所成的角為大體45度。
在上述第3光學(xué)元件中，最好，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第1接合面分支出的光束的光路上，而且形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜；上述第3接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第2接合面分支出的光束的光路上，而且形成有透射光束的一部分、反射一部分的無偏振性膜。
在上述第3光學(xué)元件中，最好，包含上述第1接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含上述第3接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面大體平行。
本發(fā)明的第4光學(xué)元件由第1基板、第2基板、以及第3基板依次接合而成，該第1基板由1種透明基材或多種透明基材接合而成；該第2基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面接合而成；該第3基板由1種透明基材或多種透明基材接合而成。入射到上述第1基板上的光的至少一部分由上述第1基板和第2基板的接合面 第1接合面反射后，入射到上述第2基板上，進(jìn)而其至少一部分由上述第2接合面中的至少1個(gè)反射。此外，包含上述第1接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含上述第2接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面所成的角為大體45度。
在上述第4光學(xué)元件中，在上述第1接合面上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)上形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
本發(fā)明的第5光學(xué)元件由第1基板、和第2基板接合而成，該第1基板由多種透明基材和1/4波片接合而成，上述多種透明基材間的接合面中的至少1個(gè)是形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面；該第2基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面接合而成。此外，在上述第1接合面上，形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
其次，本發(fā)明的光學(xué)頭包括光源，出射線偏振光；物鏡，將來自上述光源的光會(huì)聚到信息記錄媒體上；上述本發(fā)明的第1～第5中的任一個(gè)的光學(xué)元件，被配置在上述光源和上述物鏡之間的光路中；以及受光元件，接收由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)光的來自上述信息記錄媒體的光。
在上述本發(fā)明的光學(xué)頭中，最好，上述光源和上述受光元件被設(shè)置在同一殼體內(nèi)部。
在上述本發(fā)明的光學(xué)頭中，最好，使由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的一對(duì)光束中的一個(gè)會(huì)聚到從上述光學(xué)元件來看比上述受光元件上的受光面近的一側(cè)，使另一個(gè)會(huì)聚到比上述受光元件上的上述受光面遠(yuǎn)的一側(cè)；上述一對(duì)光束分別由上述受光元件上的三分的受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到聚焦誤差信號(hào)。
在上述本發(fā)明的光學(xué)頭中，最好，由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的至少1個(gè)由上述受光元件上的多分受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到跟蹤誤差信號(hào)。
其次，本發(fā)明的光學(xué)元件的第1制造方法具有下述步驟將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有衍射光柵或由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有衍射光柵或由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第2截面和上述第2接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第2截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第2方向，此時(shí)，接合上述第1截面和上述第2截面，使得上述第1方向和上述第2方向所成的角度為大體45度，得到上述第1基板和上述第2基板接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
本發(fā)明的光學(xué)元件的第2制造方法具有下述步驟在第1玻璃平板的單面上形成由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；接合上述第1基板的一個(gè)上述第2截面和上述第1玻璃平板的上述光學(xué)膜，接合上述第2基板的另一個(gè)上述第2截面和第3玻璃平板，得到上述第1玻璃平板、上述第2基板以及上述第3玻璃平板依次接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
本發(fā)明的光學(xué)元件的第3制造方法具有下述步驟將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第2截面和上述第2接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第2截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第2方向，此時(shí)，接合上述第1截面和上述第2截面，使得上述第1方向和上述第2方向所成的角度為大體45度，而且接合上述第2基板和玻璃平板，得到上述第1基板、上述第2基板以及上述玻璃平板依次接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
在上述第3制造方法中，最好，上述玻璃平板在其單面上包括衍射光柵，將上述玻璃平板的與包括上述衍射光柵的面相反一側(cè)的面接合在上述第2基板上。
本發(fā)明的光學(xué)元件的第4制造方法具有下述步驟將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第3接合面接合而成的第3層疊部件，按與上述第3接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第3截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第3接合面的第3基板；設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第2截面和上述第2接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第2截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第2方向，此時(shí)，接合上述第1截面和上述第2截面，使得上述第1方向和上述第2方向所成的角度為大體45度，而且接合上述第2基板和上述第3基板，得到上述第1基板、上述第2基板以及上述第3基板依次接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
在上述第4制造方法中，最好，設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第3截面和上述第3接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第3截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第3方向，此時(shí)，接合上述第2截面和上述第3截面，使得上述第1方向和上述第3方向大體平行。
本發(fā)明的光學(xué)元件的第5制造方法具有下述步驟將多個(gè)透明基板和1/4波片經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有衍射光柵或由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；接合上述第1截面和上述第2截面，得到上述第1基板和上述第2基板接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
本發(fā)明的光學(xué)元件的第6制造方法具有下述步驟將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體35度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；交替接合上述第2基板和透明基板，按與上述第2基板和上述透明基板的接合面第3接合面以大體45度的角度交叉的相互平行的多個(gè)第3截面切斷來得到第3基板；設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第3截面和上述第3接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第3截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第3方向，此時(shí)，接合上述第1截面和上述第3截面，使得上述第1方向和上述第3方向平行，得到上述第1基板和上述第3基板接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
本發(fā)明的光學(xué)元件的第7制造方法具有下述步驟將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體30度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；交替接合上述第2基板和透明基板，按與上述第2基板和上述透明基板的接合面即第3接合面以大體35度的角度交叉的相互平行的多個(gè)第3截面切斷來得到第3基板；設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第3截面和上述第3接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第3截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第3方向，此時(shí)，接合上述第1截面和上述第3截面，使得上述第1方向和上述第3方向平行，得到上述第1基板和上述第3基板接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。


圖1是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的光學(xué)頭的結(jié)構(gòu)圖。
圖2A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的光分支元件的外觀透視圖。
圖2B是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的光分支元件的分解透視圖。
圖3A是從x軸正向看到的本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的光分支元件內(nèi)部的光路圖。
圖3B是圖3A的3B-3B線的向視剖面圖。
圖3C是圖3A的3C-3C線的向視剖面圖。
圖4是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的光分支元件的光路的說明圖。
圖5是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的受光元件的平面圖。
圖6A～圖6E是依次示出本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的光分支元件的制作過程的說明圖。
圖7A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的另一光分支元件的外觀透視圖。
圖7B是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的另一光分支元件的分解透視圖。
圖8A是從x軸正向看到的本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的另一光分支元件內(nèi)部的光路圖。
圖8B是圖8A的8B-8B線的向視剖面圖。
圖8C是圖8A的8C-8C線的向視剖面圖。
圖9A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的光分支元件的外觀透視圖。
圖9B是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的光分支元件的分解透視圖。
圖10A是從x軸正向看到的本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的光分支元件內(nèi)部的光路圖。
圖10B是圖10A的10B-10B線的向視剖面圖。
圖10C是圖10A的10C-10C線的向視剖面圖。
圖11是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的光分支元件的光路的說明圖。
圖12是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的受光元件的平面圖。
圖13A～圖13E是依次示出本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的光分支元件的制作過程的說明圖。
圖14A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)3的光分支元件的外觀透視圖。
圖14B是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)3的光分支元件的分解透視圖。
圖15A是從x軸正向看到的本發(fā)明實(shí)施形態(tài)3的光分支元件內(nèi)部的光路圖。
圖15B是圖15A的15B-15B線的向視剖面圖。
圖15C是圖15A的15C-15C線的向視剖面圖。
圖16是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)3的光分支元件的光路的說明圖。
圖17是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)3的受光元件的平面圖。
圖18A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)4的光分支元件的外觀透視圖。
圖18B是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)4的光分支元件的分解透視圖。
圖19A是從x軸正向看到的本發(fā)明實(shí)施形態(tài)4的光分支元件內(nèi)部的光路圖。
圖19B是圖19A的19B-19B線的向視剖面圖。
圖19C是圖19A的19C-19C線的向視剖面圖。
圖20是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)4的光分支元件的光路的說明圖。
圖21是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)4的受光元件的平面圖。
圖22A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)5的光分支元件的外觀透視圖。
圖22B是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)5的光分支元件的分解透視圖。
圖23A是從x軸正向看到的本發(fā)明實(shí)施形態(tài)5的光分支元件內(nèi)部的光路圖。
圖23B是圖23A的23B-23B線的向視剖面圖。
圖23C是圖23A的23C-23C線的向視剖面圖。
圖23D是圖23A的23D-23D線的向視剖面圖。
圖24是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)5的光分支元件的光路的說明圖。
圖25是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)5的受光元件的平面圖。
圖26A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的光分支元件的外觀透視圖。
圖26B是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的光分支元件的分解透視圖。
圖27A是從x軸正向看到的本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的光分支元件內(nèi)部的光路圖。
圖27B是圖27A的27B-27B線的向視剖面圖。
圖27C是圖27A的27C-27C線的向視剖面圖。
圖27D是圖27A的27D-27D線的向視剖面圖。
圖28是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的光分支元件的光路的說明圖。
圖29是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的受光元件的平面圖。
圖30A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的另一光分支元件的外觀透視圖。
圖30B是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的另一光分支元件的分解透視圖。
圖31A是從x軸正向看到的本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的另一光分支元件內(nèi)部的光路圖。
圖31B是圖31A的31B-31B線的向視剖面圖。
圖31C是圖31A的31C-31C線的向視剖面圖。
圖32是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的另一光分支元件的光路的說明圖。
圖33是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的另一受光元件的平面圖。
圖34A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)7的光分支元件的外觀透視圖。
圖34B是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)7的光分支元件的分解透視圖。
圖35是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)7的光分支元件內(nèi)部的光路圖。
圖36是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)7的光分支元件的光路的說明圖。
圖37是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)7的受光元件的平面圖。
圖38是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)8的光學(xué)頭的結(jié)構(gòu)圖。
圖39是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)8的光學(xué)頭的主要部分的分解透視圖。
圖40是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)9的光學(xué)頭的結(jié)構(gòu)圖。
圖41A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)9的光分支元件的外觀透視圖。
圖41B是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)9的光分支元件的分解透視圖。
圖42A是從x軸正向看到的本發(fā)明實(shí)施形態(tài)9的光分支元件內(nèi)部的光路圖。
圖42B是圖42A的42B-42B線的向視剖面圖。
圖42C是圖42A的42C-42C線的向視剖面圖。
圖43是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)9的光分支元件的光路的說明圖。
圖44是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)9的受光元件的平面圖。
圖45A～圖45D是依次示出本發(fā)明實(shí)施形態(tài)9的光分支元件的制作過程的說明圖。
圖46A～圖46F是依次示出本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的光分支元件的制作過程的說明圖。
圖47是現(xiàn)有光學(xué)頭的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照?qǐng)D面來說明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。
(實(shí)施形態(tài)1)圖1是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的光學(xué)頭的結(jié)構(gòu)圖。1表示將出射光的偏振面配置為圖中的xz平面的半導(dǎo)體激光器，2表示層疊的多個(gè)玻璃基板組合而構(gòu)成的光分支元件，3表示物鏡，4表示記錄有磁光信號(hào)的光盤，5表示受光元件，6表示從半導(dǎo)體激光器1出射的光束、或由光盤4反射的光束。
圖2A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的光分支元件2的外觀透視圖，圖2B是其分解透視圖。11及12是將層疊的玻璃基板平行切斷而制作的第1基板及第2基板，光分支元件2是第1基板11和第2基板12接合而構(gòu)成的。11a及12a～12c是第1基板11及第2基板12的內(nèi)部所設(shè)的光學(xué)面，在各光學(xué)面上分別設(shè)有具有1種光學(xué)功能的光學(xué)膜。
圖3A～圖3C是本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2內(nèi)部的光學(xué)面和光路的說明圖，圖3A是從x軸正向看到的光分支元件2內(nèi)部的光路圖，圖3B是圖3A的3B-3B線的向視剖面圖，圖3C是圖3A的3C-3C線的向視剖面圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖2A、圖2B相同的標(biāo)號(hào)來表示。光學(xué)面11a是在圖3A中的剖面3B-3B內(nèi)具有法線矢量的斜面，光學(xué)面12a～12c是相互平行、而且在圖3A中的剖面3C-3C內(nèi)具有法線矢量的斜面，剖面3B-3B和剖面3C-3C成45度的角度。
圖4是光分支元件2內(nèi)部的光的分支的示意性說明圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)使用與圖2A～圖2B及圖3A～圖3C相同的標(biāo)號(hào)。在圖4中，OL表示物鏡，LD表示半導(dǎo)體激光器。此外，圖中的虛線表示圖在虛線上下圍繞光軸旋轉(zhuǎn)了45度。在圖2A～圖4中，光學(xué)面11a是透射P偏振分量的65％、反射35％、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面12a是透射光束的40％、反射60％的無偏振依賴性的光學(xué)面，光學(xué)面12b是大致100％地透射P偏振分量、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面12c是大致100％地反射光束的光學(xué)面。
圖5是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的受光元件5上的受光區(qū)及光接收點(diǎn)的平面圖，13表示二分受光部，14、15分別表示三分受光部。
圖6A～圖6E是本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2的制作過程的說明圖，以下用該圖來說明光分支元件2的制作工序的概況。
首先制作圖6A所示的、玻璃平板層疊所得的部件19。在該部件19的玻璃平板的接合面(第2接合面)上，分別設(shè)有第2基板的光學(xué)面12a～12c上形成的各1種光學(xué)膜，圖6A中的12a～12c示出第2基板12的各光學(xué)面上形成的光學(xué)膜被設(shè)置在該接合面上。
接著，將部件19沿圖6A的虛線、即與形成有光學(xué)膜12a～12c的玻璃平板的接合面以45度交叉的面(第2截面)平行切斷來制作圖6B所示的基板20。進(jìn)而，通過將基板2 0沿圖6B的虛線切斷來制作圖6C所示的第2分束基板22。
此外，通過與基板20同樣的工序來制作圖6C所示的第1分束基板21。此時(shí)，在第1分束基板21內(nèi)部的接合面(第1接合面)上形成第1基板11的光學(xué)面11a上形成的光學(xué)膜。這里，圖6C中的11a及12a～12c也示出第1基板11及第2基板12的各光學(xué)面上形成的光學(xué)膜被設(shè)置在該接合面上。
接著，接合第1分束基板21和第2分束基板22。此時(shí)，如圖6C所示，定義與第2分束基板22的主面(上述第2截面)和形成有光學(xué)膜12a～12c的接合面交叉而得到的直線正交、而且被包含在第2分束基板22的主面內(nèi)的第2直線22a。同樣，定義與第1分束基板21的主面(上述第2截面)和形成有光學(xué)膜11a的接合面交叉而得到的直線正交、而且被包含在第1分束基板21的主面內(nèi)的第1直線21a。第1分束基板21和第2分束基板22的兩個(gè)主面接合，使得第1直線21a和第2直線22a所成的角度為45度。
接著，沿圖6D所示的虛線切斷。在圖6D中，為了易于理解切斷位置，分離描繪了第1分束基板21和第2分束基板22，實(shí)際上第1分束基板21和第2分束基板22是接合著的。
其結(jié)果是，如圖6E所示，得到5個(gè)光分支元件2。
用圖1及圖4來說明如上構(gòu)成的光學(xué)頭的工作。從半導(dǎo)體激光器1出射的光6入射到光分支元件2上，作為P偏振光入射到光學(xué)面11a上。透過光學(xué)面11a的光從光分支元件2出射，由物鏡3會(huì)聚到光盤4上。在光盤4上由于克爾效應(yīng)而使偏振略微旋轉(zhuǎn)并反射的光再次經(jīng)物鏡3入射到光分支元件2上，由光學(xué)面11a反射P偏振分量的35％和由于克爾效應(yīng)而產(chǎn)生的S偏振分量，入射到光學(xué)面12a上。
透過光學(xué)面12a的光由受光元件5上的二分受光部13進(jìn)行光接收，根據(jù)從二分的各個(gè)受光區(qū)得到的2個(gè)光接收信號(hào)的差動(dòng)信號(hào)，通過所謂的推挽法來得到跟蹤誤差信號(hào)。
另一方面，由無偏振依賴性的光學(xué)面12a反射的光保持偏振狀態(tài)而入射到光學(xué)面12b上。這里，光學(xué)面12a～12c是與光學(xué)面11a圍繞x軸旋轉(zhuǎn)45度所得的假想面平行的光學(xué)面，所以占來自光盤4的反射光的大部分的、xz平面內(nèi)的偏振分量作為P偏振光入射到光學(xué)面11a上，而作為P偏振光或S偏振光圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的偏振光入射到光學(xué)面12a上，向光學(xué)面12b上也入射相同偏振狀態(tài)的光束。光學(xué)面12b具有通過分別透射及反射來分離P偏振分量及S偏振分量的功能，入射到光學(xué)面12b上的光通過透射和反射以大體1∶1被分離。
光學(xué)面12b反射的光束和透過光學(xué)面12b并由光學(xué)面12c反射的光束被引導(dǎo)到受光元件5上的三分受光部14及15，通過對(duì)三分受光部14中的光接收信號(hào)的總和和三分受光部15中的光接收信號(hào)的總和進(jìn)行差動(dòng)運(yùn)算來得到磁光信號(hào)。
此外，通過分別設(shè)定光學(xué)面12b和光學(xué)面12c，使得從光分支元件2來看，將射向受光部14及15的光束一個(gè)會(huì)聚到比受光面近的一側(cè)，另一個(gè)會(huì)聚到比受光面遠(yuǎn)的一側(cè)，能夠在三分受光部14及15上形成大致相同大小的光點(diǎn)，根據(jù)受光部14及15檢測(cè)出的信號(hào)，通過周知的所謂的SSD法(Spot Size Detection，光點(diǎn)尺寸檢測(cè))來得到聚焦誤差信號(hào)。
如上所述，在本發(fā)明的光學(xué)頭中，通過將以往如圖47所示用偏振棱鏡、衍射元件以及渥拉斯頓棱鏡這3個(gè)元件來實(shí)現(xiàn)的、包含磁光信號(hào)的RF信號(hào)分離在內(nèi)的全部光分支功能集中在1個(gè)光分支元件2上，能夠削減和調(diào)整部件數(shù)并削減粘接工序，并且不使用鈮酸鋰晶體等雙折射材料來分離RF信號(hào)，所以能實(shí)現(xiàn)低成本化。
此外，在來自光源1的光通過光分支元件2到達(dá)物鏡3的光路中不使用衍射元件，只通過光學(xué)膜的透射和反射來分離光束，所以光利用效率高，不會(huì)像圖47所示的現(xiàn)有光學(xué)頭那樣，發(fā)生從光源射向光盤的光路中的衍射元件187產(chǎn)生的1級(jí)衍射光混入光接收信號(hào)的問題。
關(guān)于光利用效率，例如，在圖47的現(xiàn)有光學(xué)頭中，設(shè)衍射元件187的透射率為70％，±1級(jí)衍射光的衍射效率分別為10％，設(shè)偏振棱鏡188的透射率為80％，反射率為20％，所以光源182的光量的56％(70％×80％)從偏振棱鏡188出射。相反，在從光盤190入射到偏振棱鏡188的反射光中，16％(80％×10％×2)作為伺服信號(hào)被檢測(cè)，20％作為RF信號(hào)被檢測(cè)。
另一方面，在本實(shí)施形態(tài)中，檢測(cè)信號(hào)量與從光盤4入射到光分支元件2的反射光的比例為跟蹤誤差信號(hào)14％(35％×40％)、RF信號(hào)(兼用作聚焦誤差信號(hào))21％(35％×60％)，總共為35％，與現(xiàn)有例的36％(16％+20％)同等，但是光源1的光量的65％從光分支元件2出射，所以光利用效率與現(xiàn)有例的56％相比為1.16倍。
一般衍射元件用于將光分為0級(jí)光(透射光)和±級(jí)衍射光，但是此外還發(fā)生高級(jí)的衍射光，所以發(fā)生光量的損失。另一方面，棱鏡通過透射和反射對(duì)光進(jìn)行分支，此時(shí)光量的損失小于衍射元件。
即，在本實(shí)施形態(tài)中，通過采用不使用衍射元件對(duì)光進(jìn)行分支的結(jié)構(gòu)，能夠確保與現(xiàn)有例同等的檢測(cè)信號(hào)量，同時(shí)提高光利用效率。
此外，本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2能夠通過層疊、切斷蒸鍍有光學(xué)膜的玻璃平板的工序的組合來制作，能夠以低成本來制作，也適合大量生產(chǎn)。
在本實(shí)施形態(tài)中跟蹤方式采用了推挽法，但是使用例如(日本)特表平11-513835號(hào)公報(bào)公開的、將光束分割為多份來進(jìn)行運(yùn)算的跟蹤方式也能得到同樣的效果。
此外，本實(shí)施形態(tài)在第1基板11及第2基板12內(nèi)部的光學(xué)膜上對(duì)光進(jìn)行分支，但是也可以在第1基板和第2基板的接合面上設(shè)置光學(xué)膜對(duì)光進(jìn)行分支。
圖7A是將第1基板31和第2基板32的接合面作為光分支面、用玻璃基板來構(gòu)成第1基板31的本實(shí)施形態(tài)的另一形態(tài)的光分支元件2的外觀透視圖，圖7B是其分解透視圖。31及33是玻璃基板，32是將層疊的玻璃基板平行切斷而制作的分束基板，光分支元件2是在相對(duì)于光的入射面傾斜45度的分束基板32的兩側(cè)接合玻璃基板31及33而構(gòu)成的。31a是玻璃基板31和分束基板32的接合面上形成的光學(xué)面，32a～32c是形成分束基板32的玻璃基板的接合面上形成的光學(xué)面，光學(xué)面31a、32a、32b、32c分別對(duì)應(yīng)于圖2所示的光學(xué)面11a、12a、12b、12c，設(shè)有同樣的光學(xué)膜。
圖8A～圖8C是圖7所示的光分支元件2內(nèi)部的光學(xué)面和光路的說明圖，圖8A是從x軸正向看到的光分支元件2內(nèi)部的光路圖，圖8B是圖8A的8B-8B線的向視剖面圖，圖8C是圖8A的8C-8C線的向視剖面圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖7A、圖7B相同的標(biāo)號(hào)來表示。光學(xué)面31a是在圖8A中的剖面8B-8B內(nèi)具有法線矢量的斜面，光學(xué)面32a～32c是相互平行、而且在圖8A中的剖面8C-8C內(nèi)具有法線矢量的斜面，剖面8B-8B和剖面8C-8C成45度的角度。
該基板的制作過程的概況如下所述。在圖6A～圖6E所示的工序中，制成在單面上形成有光學(xué)面31a的玻璃平板來取代第1分束基板21。然后，在與第2分束基板22同樣形成的分束基板的一個(gè)面上接合形成有光學(xué)面31a的玻璃平板，在另一個(gè)面上接合玻璃平板。然后，通過將其切斷，能夠得到光分支元件2。
在這樣構(gòu)成的實(shí)施形態(tài)中，光學(xué)頭的工作與圖1～圖6所示的實(shí)施形態(tài)相同，能得到同樣的效果。此外，在該結(jié)構(gòu)中，將層疊的玻璃基板平行切斷來制作的分束基板為1個(gè)，所以能夠減少切斷等的工時(shí)。
(實(shí)施形態(tài)2)在本實(shí)施形態(tài)中，光分支元件2及受光元件5與實(shí)施形態(tài)1不同，其他構(gòu)件與實(shí)施形態(tài)1相同，所以省略它們的說明。圖9A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的光分支元件2的外觀透視圖，圖9B是其分解透視圖。41及42是將層疊的玻璃基板切斷而制作的第1基板及第2基板，光分支元件2是第1基板41、第2基板42以及玻璃基板43接合而構(gòu)成的。41a及42a～42e是第1基板41及第2基板42內(nèi)部所設(shè)的光學(xué)面，在各光學(xué)面上分別設(shè)有具有1種光學(xué)功能的光學(xué)膜。
圖10A～圖10C是本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2內(nèi)部的光學(xué)面和光路的說明圖，圖10A是從x軸正向看到的光分支元件2內(nèi)部的光路圖，圖10B是圖10A的10B-10B線的向視剖面圖，圖10C是圖10A的10C-10C線的向視剖面圖。光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖9A、圖9B相同的標(biāo)號(hào)來表示。光學(xué)面41a是在圖10A中的剖面10B-10B內(nèi)具有法線矢量的斜面，光學(xué)面42a～42e是相互平行、而且在圖10A中的剖面10C-10C內(nèi)具有法線矢量的斜面，剖面10B-10B和剖面10C-10C成45度的角度。
圖11是圖9A、圖9B及圖10A～圖10C所示的光分支元件2內(nèi)部的光的分支的示意性說明圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)使用與圖9A～圖10C相同的標(biāo)號(hào)。此外，圖中的虛線表示圖在虛線上下圍繞光軸旋轉(zhuǎn)了45度。在圖9A～圖11中，光學(xué)面41a是透射P偏振分量的65％、反射35％、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面42a～42c是透射光束的一部分、反射一部分的無偏振依賴性的光學(xué)面，例如，光學(xué)面42a是反射80％、其余透射的光學(xué)面，光學(xué)面42b是反射14.2％、其余透射的光學(xué)面，光學(xué)面42c是反射16.6％、其余透射的光學(xué)面，光學(xué)面42d是大致100％地透射P偏振分量、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面42e是大致100％地反射光束的光學(xué)面。
圖12是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的受光元件5上的受光區(qū)及光接收點(diǎn)的平面圖，44表示二分受光部，45、46表示三分受光部，47、48表示RF信號(hào)受光部。
圖13A～圖13E是本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2的制作過程的說明圖，以下用該圖來說明光分支元件2的制作工序的概況。
首先制作圖13A所示的分束基板54。該分束基板54與實(shí)施形態(tài)1中說明過的分束基板20同樣，是將層疊的玻璃平板相對(duì)于接合面以規(guī)定的角度(例如45度)平行切斷來制作的。在該分束基板54的玻璃平板的接合面上，分別設(shè)有第2基板42的光學(xué)面42a～42e上形成的1種光學(xué)膜，圖中的42a～42e示出第2基板42的各光學(xué)面上形成的光學(xué)膜被設(shè)置在該接合面上。
接著，將分束基板54沿圖13A的虛線切斷來制作圖13B所示的基板56。此外，通過與分束基板56同樣的工序來制作圖13B所示的基板55。此時(shí)，在基板55內(nèi)部的光學(xué)面上形成第1基板41的光學(xué)面41a上形成的光學(xué)膜。這里，圖13B中的41a及42a～42e也示出第1基板41及第2基板42的各光學(xué)面上形成的光學(xué)膜被設(shè)置在該接合面上。
接著，接合基板55、基板56以及玻璃基板57，制作圖13C所示的復(fù)合基板58。這里，也與用圖6C說明過的同樣，將基板55的光學(xué)面41a和基板56的光學(xué)面42a～42e設(shè)定為規(guī)定的角度。即，設(shè)與基板55的主面(與基板56接合的面)和光學(xué)面41a交叉而得到的直線正交、而且被包含在基板55的主面內(nèi)的直線的方向?yàn)榈?方向，同樣，設(shè)與基板56的主面(與基板55接合的面)和光學(xué)面42a～42e交叉而得到的直線正交、而且被包含在基板5 6的主面內(nèi)的直線的方向?yàn)榈?方向，此時(shí)，基板55和基板56的兩個(gè)主面接合，使得第1直線和第2直線所成的角度為45度。
最后，通過沿圖13D所示的虛線切斷，如圖13E所示得到3個(gè)光分支元件2。
用圖1及圖11來說明如上構(gòu)成的光學(xué)頭的工作。從半導(dǎo)體激光器1出射的光6入射到光分支元件2上，作為P偏振光入射到光學(xué)面41a上。透過光學(xué)面41a的光從光分支元件2出射，由物鏡3會(huì)聚到光盤4上。在光盤4上由于克爾效應(yīng)而使偏振略微旋轉(zhuǎn)并反射的光再次經(jīng)物鏡3入射到光分支元件2上，由光學(xué)面41a反射P偏振分量的35％和由于克爾效應(yīng)而產(chǎn)生的S偏振分量，入射到光學(xué)面42a上。
透過光學(xué)面42a的光由受光元件5上的二分受光部44進(jìn)行光接收，根據(jù)該光接收信號(hào)，通過所謂的推挽法來得到跟蹤誤差信號(hào)。
從光學(xué)面42a反射的光束入射到光學(xué)面42b上，透過光學(xué)面42b的光束入射到光學(xué)面42c上。光學(xué)面42b及光學(xué)面42c反射光束的一部分，分別引導(dǎo)到受光元件5上的三分受光部45及46，通過所謂的SSD法來得到聚焦誤差信號(hào)。
從無偏振依賴性的光學(xué)面42a反射、透過光學(xué)面42b及42c的光保持偏振狀態(tài)而入射到光學(xué)面42d上。這里，光學(xué)面42a～e是與光學(xué)面41a圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的假想面平行的光學(xué)面，所以占來自光盤4的反射光的大部分的、xz平面內(nèi)的偏振分量作為P偏振光入射到光學(xué)面41a上，而作為P偏振光或S偏振光圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的偏振光入射到光學(xué)面42a上，向光學(xué)面42d上也入射相同偏振狀態(tài)的光束。光學(xué)面42d具有通過分別透射及反射來分離P偏振分量及S偏振分量的功能，入射到光學(xué)面42d上的光通過透射和反射以大體1∶1被分離。
光學(xué)面42d反射的光束和透過光學(xué)面42d并由光學(xué)面42e反射的光束分別被引導(dǎo)到受光元件5上的受光部47及48，通過對(duì)受光部47及48中的光接收信號(hào)進(jìn)行差動(dòng)運(yùn)算來得到磁光信號(hào)。
在如上構(gòu)成的本實(shí)施形態(tài)中，除了實(shí)施形態(tài)1的效果之外，還具有減少RF信號(hào)的放大噪聲、提高信號(hào)質(zhì)量的效果。以下，說明其理由。
在實(shí)施形態(tài)1中，從相同的光接收點(diǎn)檢測(cè)RF信號(hào)和聚焦誤差信號(hào)，所以為了得到RF信號(hào)，需要對(duì)三分過的受光部14、15進(jìn)行光接收所得的信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算，對(duì)多個(gè)信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算而得到的信號(hào)的放大噪聲按照運(yùn)算的次數(shù)而增大。另一方面，在本實(shí)施形態(tài)中，劃分了RF信號(hào)和聚焦誤差信號(hào)的檢測(cè)區(qū)，所以RF信號(hào)的受光部47、48未被分割。因此，本實(shí)施形態(tài)能夠減小放大噪聲。
此外，光學(xué)面42a沿與受光元件5上的受光面不平行的方向進(jìn)行反射，從而防止了由光學(xué)面增大所引起的光分支元件的Y方向尺寸擴(kuò)大。
在本實(shí)施形態(tài)中，也不使用衍射元件對(duì)光進(jìn)行分支，所以如果使檢測(cè)信號(hào)量與現(xiàn)有例同等，則能夠使光利用效率比現(xiàn)有例提高。
在上述結(jié)構(gòu)中，設(shè)從光盤4入射到光分支元件2上的反射光量為100％，則本實(shí)施形態(tài)的檢測(cè)信號(hào)量為跟蹤誤差信號(hào)7％、聚焦誤差信號(hào)8％、RF信號(hào)20％，與現(xiàn)有例的伺服信號(hào)16％、RF信號(hào)20％同等，而與實(shí)施形態(tài)1同樣，光利用效率為現(xiàn)有例的1.16倍。
(實(shí)施形態(tài)3)在本實(shí)施形態(tài)中，光分支元件2及受光元件5與實(shí)施形態(tài)1及2不同，其他構(gòu)件與實(shí)施形態(tài)1及2相同，所以省略它們的說明。圖14A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)3的光分支元件2的外觀透視圖，圖14B是其分解透視圖。61、62及63是將層疊的玻璃基板平行切斷而制作的第1基板、第2基板及第3基板，光分支元件2是第1基板61、第2基板62以及第3基板63接合而構(gòu)成的。61a、62a～62d及63a、63b是第1基板61、第2基板62、及第3基板63內(nèi)部所設(shè)的光學(xué)面，在各光學(xué)面上分別設(shè)有具有1種光學(xué)功能的光學(xué)膜。
圖15A～圖15C是本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2內(nèi)部的光學(xué)面和光路的說明圖，圖15A是從x軸正向看到的光分支元件2內(nèi)部的光路圖，圖15B是圖15A的15B-15B線的向視剖面圖，圖15C是圖15A的15C-15C線的向視剖面圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖14A、圖14B相同的標(biāo)號(hào)來表示。光學(xué)面61a是在圖15A中的剖面15B-15B內(nèi)具有法線矢量的斜面，光學(xué)面62a～62d及光學(xué)面63a、63b是相互平行、而且在圖15A中的剖面15C-15C內(nèi)具有法線矢量的斜面，剖面15B-15B和剖面15C-15C成45度的角度。
圖16是圖14A、圖14B及圖15A～圖15C所示的光分支元件2內(nèi)部的光的分支的示意性說明圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)使用與圖14A、圖14B及圖15A～圖15C相同的標(biāo)號(hào)。此外，圖中的虛線表示圖在虛線上下圍繞光軸旋轉(zhuǎn)了45度。在圖14A～圖16中，光學(xué)面61a是透射P偏振分量的70％、反射30％、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面62a是大致100％地透射P偏振分量、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面62b、62c、63a是透射光束的50％、反射50％的無偏振依賴性的光學(xué)面，光學(xué)面62d、63b是大致100％地反射光束的光學(xué)面。
圖17是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)3的受光元件5上的受光區(qū)及光接收點(diǎn)的平面圖，64表示二分受光部，65、66表示RF信號(hào)受光部，67、68表示三分受光部。
本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2是通過將在層疊的玻璃平板的接合面上設(shè)有具有光學(xué)功能的光學(xué)膜的部件相對(duì)于該接合面以規(guī)定的角度(例如45度)平行切斷來制作分束基板，將3個(gè)分束基板接合后切斷，用與實(shí)施形態(tài)1同樣的方法來制作的。即，在實(shí)施形態(tài)1中說明過的圖6A～圖6E中，在第2分束基板22的與第1分束基板21相反的一側(cè)層疊通過與基板21、22同樣的方法而得到的第3分束基板即可。
用圖1及圖16來說明如上構(gòu)成的光學(xué)頭的工作。從半導(dǎo)體激光器1出射的光6入射到光分支元件2上，作為P偏振光入射到光學(xué)面61a上。透過光學(xué)面61a的光從光分支元件2出射，由物鏡3會(huì)聚到光盤4上。在光盤4上由于克爾效應(yīng)而使偏振略微旋轉(zhuǎn)并反射的光再次經(jīng)物鏡3入射到光分支元件2上，由光學(xué)面61a反射P偏振分量的30％和由于克爾效應(yīng)而產(chǎn)生的S偏振分量，入射到光學(xué)面62a上。
光學(xué)面62a～62d是與光學(xué)面61a圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的假想面平行的光學(xué)面，所以占來自光盤4的反射光的大部分的、xz平面內(nèi)的偏振分量作為P偏振光入射到光學(xué)面61a上，而作為P偏振光或S偏振光圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的偏振光入射到光學(xué)面62a上。光學(xué)面62a具有通過分別透射及反射來分離P偏振分量及S偏振分量的功能，入射到光學(xué)面62a上的光通過透射和反射以大體1∶1被分離。
透過光學(xué)面62a的光入射到光學(xué)面63a上，透過光學(xué)面63a的光由受光元件5上的二分受光部64進(jìn)行光接收，根據(jù)該光接收信號(hào)，通過所謂的推挽法來得到跟蹤誤差信號(hào)。從光學(xué)面62a反射的S偏振光束由光學(xué)面62b進(jìn)行分支，透過光學(xué)面62b的光束由光學(xué)面62c進(jìn)行分支，透過光學(xué)面62c的光到達(dá)光學(xué)面62d。光學(xué)面62c及光學(xué)面62d反射的光束分別被引導(dǎo)到受光元件5上的三分受光部67及68，通過所謂的SSD法來得到聚焦誤差信號(hào)。
光學(xué)面62b反射的光束、和光學(xué)面63a反射、再由光學(xué)面63b反射的光束分別被引導(dǎo)到受光元件5上的受光部65及66，通過對(duì)受光部65及66中的光接收信號(hào)進(jìn)行差動(dòng)運(yùn)算來得到磁光信號(hào)。
在如上構(gòu)成的本實(shí)施形態(tài)中，除了實(shí)施形態(tài)2的效果之外，還能防止RF信號(hào)的載波電平降低，得到質(zhì)量良好的信號(hào)。以下，說明其理由。
在實(shí)施形態(tài)2中，入射到第2基板上的光到達(dá)進(jìn)行偏振分離來檢測(cè)RF信號(hào)的光學(xué)面之前，由3個(gè)光學(xué)面透射、或反射。在這3個(gè)光學(xué)面上施有通過透射和反射來分離光束的光學(xué)膜，在透射及反射時(shí)在P偏振分量和S偏振分量之間產(chǎn)生微小的相位差。這些光學(xué)面的P偏振及S偏振的方向相對(duì)于來自光盤的反射光的主要偏振分量為±45度的方向，所以如果該相位差增大，則來自光盤的反射光的線偏振度降低。因此，如果多次通過這種光學(xué)面，則由于相位差的累積而使信號(hào)光的線偏振度惡化，載波電平降低。另一方面，在本實(shí)施形態(tài)中，入射到第2基板上的光由最初入射到的光學(xué)面62a進(jìn)行用于檢測(cè)RF信號(hào)的偏振分離，所以不會(huì)由于光學(xué)面的相位差的累積而使信號(hào)光的線偏振度降低并使RF信號(hào)的質(zhì)量降低。
(實(shí)施形態(tài)4)在本實(shí)施形態(tài)中，光分支元件2及受光元件5與實(shí)施形態(tài)1～3不同，其他構(gòu)件與實(shí)施形態(tài)1～3相同，所以省略它們的說明。圖18A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)4的光分支元件2的外觀透視圖，圖18B是其分解透視圖。81、及82是將層疊的玻璃基板切斷而制作的第1基板、及第2基板，光分支元件2是第1基板81和第2基板82接合而構(gòu)成的。81a、及82a～82e是第1基板81及第2基板82內(nèi)部所設(shè)的光學(xué)面，在各光學(xué)面上分別設(shè)有具有1種光學(xué)功能的光學(xué)膜。
圖19A～圖19C是本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2內(nèi)部的光學(xué)面和光路的說明圖，圖19A是從x軸正向看到的光分支元件2內(nèi)部的光路圖，圖19B是圖19A的19B-19B線的向視剖面圖，圖19C是圖19A的19C-19C線的向視剖面圖。光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖18A、圖18B相同的標(biāo)號(hào)來表示。光學(xué)面81a是在圖19A中的剖面19B-19B內(nèi)具有法線矢量的斜面，光學(xué)面82a～82e是相互平行、而且在圖19A中的剖面19C-19C內(nèi)具有法線矢量的斜面，剖面19B-19B和剖面19C-19C成45度的角度。
圖20是圖18A、圖18B及圖19A～圖19C所示的光分支元件2內(nèi)部的光的分支的示意性說明圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)使用與圖18A、圖18B及圖19A～圖19C相同的標(biāo)號(hào)。此外，圖中的虛線表示圖在虛線上下圍繞光軸旋轉(zhuǎn)了45度。在圖18A～圖20中，光學(xué)面81a是透射P偏振分量的70％、反射30％、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面82a是大致100％地透射P偏振分量、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面82b是透射光束的50％、反射50％的無偏振依賴性的光學(xué)面，光學(xué)面82c、82d是大致100％地透射P偏振分量、透射S偏振分量的50％、反射50％的光學(xué)面，光學(xué)面82e是大致100％地反射光束的光學(xué)面。
圖21是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)4的受光元件5上的受光區(qū)及光接收點(diǎn)的平面圖，83是二分受光部，84、87是RF信號(hào)受光部，85、86是三分受光部。
本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2是通過將在層疊的玻璃平板的接合面上設(shè)有具有光學(xué)功能的光學(xué)膜的部件相對(duì)于該接合面以規(guī)定的角度(例如45度)平行切斷來制作分束基板，將2個(gè)分束基板接合后切斷，用與實(shí)施形態(tài)1同樣的方法(參照?qǐng)D6A～圖6E)來制作的。
用圖1及圖20來說明如上構(gòu)成的光學(xué)頭的工作。從半導(dǎo)體激光器1出射的光6入射到光分支元件2上，作為P偏振光入射到光學(xué)面81a上。透過光學(xué)面81a的光從光分支元件2出射，由物鏡3會(huì)聚到光盤4上。在光盤4上由于克爾效應(yīng)而使偏振略微旋轉(zhuǎn)并反射的光再次經(jīng)物鏡3入射到光分支元件2上，由光學(xué)面81a反射P偏振分量的30％和由于克爾效應(yīng)而產(chǎn)生的S偏振分量，入射到光學(xué)面82a上。
光學(xué)面82a～82e是與光學(xué)面81a圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的假想面平行的光學(xué)面，所以占來自光盤4的反射光的大部分的、xz平面內(nèi)的偏振分量作為P偏振光入射到光學(xué)面81a上，而作為P偏振光或S偏振光圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的偏振光入射到光學(xué)面82a上。光學(xué)面82a具有通過分別透射及反射來分離P偏振分量及S偏振分量的功能，入射到光學(xué)面82a上的光通過透射和反射以大體1∶1被分離。
透過光學(xué)面82a的光入射到光學(xué)面82b上，透過光學(xué)面82b的光由受光元件5上的二分受光部83進(jìn)行光接收，根據(jù)該光接收信號(hào)，通過所謂的推挽法來得到跟蹤誤差信號(hào)。
從光學(xué)面82a反射的S偏振光束、及從光學(xué)面82b反射的P偏振光束入射到光學(xué)面82c上，透過光學(xué)面82c的光束入射到光學(xué)面82d上。光學(xué)面82c及光學(xué)面82d被施以大致100％地透射P偏振光、透射S偏振光的50％、反射50％的光學(xué)膜，所以光學(xué)面82c及光學(xué)面82d只反射光學(xué)面82a反射的光束，各個(gè)反射光被引導(dǎo)到受光元件5上的RF信號(hào)受光部84及三分受光部85。由光學(xué)面82a反射、并透過光學(xué)面82c及82d的光束、和由光學(xué)面82b反射、并透過光學(xué)面82c及82d的光束由光學(xué)面82e反射并分別引導(dǎo)到受光元件5上的三分受光部86及RF信號(hào)受光部87。
根據(jù)引導(dǎo)到受光元件5上的三分受光部85及86的光束，通過所謂的SSD法來得到聚焦誤差信號(hào)，根據(jù)引導(dǎo)到RF信號(hào)受光部84及87的光束來得到磁光信號(hào)。
在如上構(gòu)成的本實(shí)施形態(tài)中，除了實(shí)施形態(tài)3的效果之外，還采用接合2個(gè)分束基板的結(jié)構(gòu)，從而能夠削減光分支元件的制作工時(shí)及材料，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)低成本化。
(實(shí)施形態(tài)5)在本實(shí)施形態(tài)中，光分支元件2及受光元件5與實(shí)施形態(tài)1～4不同，其他構(gòu)件與實(shí)施形態(tài)1～4相同，所以省略它們的說明。圖22A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)5的光分支元件2的外觀透視圖，圖22B是其分解透視圖。101、102及103是將層疊的玻璃基板平行切斷而制作的第1基板、第2基板及第3基板，光分支元件2是第1基板101、第2基板102以及第3基板103接合而構(gòu)成的。101a、102a、102b及103a～103d是第1基板101、第2基板102及第3基板103內(nèi)部所設(shè)的光學(xué)面，在各光學(xué)面上分別設(shè)有具有1種光學(xué)功能的光學(xué)膜。
圖23A～圖23D是本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2內(nèi)部的光學(xué)面和光路的說明圖，圖23A是從x軸正向看到的光分支元件2內(nèi)部的光路圖，圖23B是圖23A的23B-23B線的向視剖面圖，圖23C是圖23A的23C-23C線的向視剖面圖，圖23D是圖23A的23D-23D線的向視剖面圖。光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖22A、圖22B相同的標(biāo)號(hào)來表示。
光學(xué)面101a及103a～103d是在圖23A中的剖面23B-23B內(nèi)具有法線矢量的斜面，光學(xué)面102a、102b是相互平行、而且在圖23A中的剖面23D-23D內(nèi)具有法線矢量的斜面，剖面23B-23B和剖面23C-23C平行，剖面23B-23B和剖面23D-23D成45度的角度。
圖24是圖22A、圖22B及圖23A～圖23D所示的光分支元件2內(nèi)部的光的分支的示意性說明圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)使用與圖22A、圖22B及圖23A～圖23D相同的標(biāo)號(hào)。此外，圖中的虛線表示圖在虛線上下圍繞光軸旋轉(zhuǎn)了45度。在圖22A～圖24中，光學(xué)面101a是透射P偏振分量的70％、反射30％、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面102a是大致100％地透射P偏振分量、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面103b、103c是透射光束的50％、反射50％的無偏振依賴性的光學(xué)面，光學(xué)面102b、103a、103d是大致100％地反射光束的光學(xué)面。
圖25是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)5的受光元件5上的受光區(qū)及光接收點(diǎn)的平面圖，104是二分受光部，105、106是RF信號(hào)受光部，107、108是三分受光部。
本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2是通過將在層疊的玻璃平板的接合面上設(shè)有具有光學(xué)功能的光學(xué)膜的部件相對(duì)于該接合面以規(guī)定的角度(例如45度)平行切斷來制作分束基板，將3個(gè)分束基板接合后切斷，用與實(shí)施形態(tài)1同樣的方法來制作的。即，在實(shí)施形態(tài)1中說明過的圖6A～圖6E中，在第2分束基板22的與第1分束基板21相反的一側(cè)層疊通過與基板21、22同樣的方法而得到的第3分束基板即可。但是，與實(shí)施形態(tài)3不同的是，第2分束基板22和第3分束基板接合時(shí)兩個(gè)基板的方向不同。即，設(shè)與第2分束基板22的與第3分束基板接合的接合面和第2分束基板22內(nèi)的光學(xué)面102a交叉而得到的直線正交、而且與第2分束基板2 2的該接合面平行的方向?yàn)榈?分束基板22的第2方向，并且設(shè)與第3分束基板的與第2分束基板22接合的接合面和第3分束基板內(nèi)的光學(xué)面103a交叉而得到的直線正交、而且與第3分束基板的該接合面平行的方向?yàn)榈?分束基板的第3方向，此時(shí)，在實(shí)施形態(tài)3中，接合第2分束基板22和第3分束基板，使得上述第2方向和上述第3方向所成的角度為大體平行。與此相對(duì)，在本實(shí)施形態(tài)中，接合第2分束基板22和第3分束基板，使得上述第2方向和上述第3方向所成的角度為大體45度。
用圖1及圖24來說明如上構(gòu)成的光學(xué)頭的工作。從半導(dǎo)體激光器1出射的光6入射到光分支元件2上，作為P偏振光入射到光學(xué)面101a上。透過光學(xué)面101a的光從光分支元件2出射，由物鏡3會(huì)聚到光盤4上。在光盤4上由于克爾效應(yīng)而使偏振略微旋轉(zhuǎn)并反射的光再次經(jīng)物鏡3入射到光分支元件2上，由光學(xué)面101a反射P偏振分量的30％和由于克爾效應(yīng)而產(chǎn)生的S偏振分量，入射到光學(xué)面102a上。
光學(xué)面102a、102b是與光學(xué)面101a圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的假想面平行的光學(xué)面，所以占來自光盤4的反射光的大部分的、xz平面內(nèi)的偏振分量作為P偏振光入射到光學(xué)面101a上，而作為P偏振光或S偏振光圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的偏振光入射到光學(xué)面102a上。光學(xué)面102a具有通過分別透射及反射來分離P偏振分量及S偏振分量的功能，入射到光學(xué)面102a上的光通過透射和反射以大體1∶1被分離。
透過光學(xué)面102a的P偏振光入射到光學(xué)面103b上，透過光學(xué)面103b的光由受光元件5上的二分受光部104進(jìn)行光接收，根據(jù)該光接收信號(hào)，通過所謂的推挽法來得到跟蹤誤差信號(hào)。光學(xué)面103b反射的P偏振光由光學(xué)面103c及103d反射，都被引導(dǎo)到受光元件5上的受光部105。
光學(xué)面102a反射的S偏振光由光學(xué)面102b及光學(xué)面103a反射，再由光學(xué)面103b反射50％并引導(dǎo)到RF信號(hào)受光部106。透過光學(xué)面103b的S偏振光由光學(xué)面103c反射一部分，由光學(xué)面103d反射其余部分，分別引導(dǎo)到受光元件5上的三分受光部107及108，通過所謂的SSD法來得到聚焦誤差信號(hào)。通過對(duì)接收入射到RF信號(hào)受光部105的P偏振光束、和入射到RF信號(hào)受光部106的S偏振光束而得到的信號(hào)進(jìn)行差動(dòng)運(yùn)算來得到磁光信號(hào)。
在如上構(gòu)成的本實(shí)施形態(tài)中，與其他實(shí)施形態(tài)相比，能夠縮小光分支元件的y軸方向尺寸，所以產(chǎn)量增加，有利于元件的低成本化，并且如果將棱鏡的y軸方向配置為光學(xué)頭的厚度方向，則也有利于光學(xué)頭的薄型化。
(實(shí)施形態(tài)6)在本實(shí)施形態(tài)中，光分支元件2及受光元件5與實(shí)施形態(tài)1～5不同，其他構(gòu)件與實(shí)施形態(tài)1～5相同，所以省略它們的說明。圖26A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的光分支元件2的外觀透視圖，圖26B是其分解透視圖。121及122是將層疊的玻璃基板平行切斷而制作的第1基板、及第2基板，123是在玻璃基板的一個(gè)面上設(shè)有衍射光柵的第3基板，光分支元件2是第1基板121、第2基板122以及第3基板123接合而構(gòu)成的。121a及122a、122b是第1基板121、及第2基板122內(nèi)部所設(shè)的光學(xué)面，在各光學(xué)面上分別設(shè)有具有1種光學(xué)功能的光學(xué)膜。123a及123b是在第3基板123的與接合面相反一側(cè)的面上所設(shè)的衍射光柵，分別被配置在透過光學(xué)面122a的光束和由光學(xué)面122b反射的光束通過的光路上。
圖27A～圖27D是本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2內(nèi)部的光學(xué)面和光路的說明圖，圖27A是從x軸正向看到的光分支元件2內(nèi)部的光路圖，圖27B是圖27A的27B-27B線的向視剖面圖，圖27C是圖27A的27C-27C線的向視剖面圖，圖27D是圖27A的27D-27D線的向視剖面圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖26A、圖26B相同的標(biāo)號(hào)來表示。
光學(xué)面121a是在圖27A中的剖面27B-27B內(nèi)具有法線矢量的斜面，光學(xué)面122a、122b是相互平行、而且在圖27A中的剖面27D-27D內(nèi)具有法線矢量的斜面，剖面27B-27B和剖面27C-27C平行，剖面27B-27B和剖面27D-27D成45度的角度。
圖28是圖26A、圖26B及圖27A～圖27D所示的光分支元件2內(nèi)部的光的分支的示意性說明圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)使用與圖26A、圖26B及圖27A～圖27D相同的標(biāo)號(hào)。此外，圖中的虛線表示圖在虛線上下圍繞光軸旋轉(zhuǎn)了45度。在圖26A～圖28中，光學(xué)面121a是透射P偏振分量的70％、反射30％、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面122a是大致100％地透射P偏振分量、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面122b是大致100％地反射光束的光學(xué)面，衍射光柵123a及123b是透射光束的50％、作為±1級(jí)衍射光分別衍射20％的衍射光柵，衍射光柵123a具有光柵圖案不同的2個(gè)區(qū)，具有使入射到各區(qū)上的光束向互不相同的方向衍射或透射的功能，衍射光柵123b具有沿光軸方向移動(dòng)±1級(jí)衍射光的會(huì)聚位置的透鏡功能。
圖29是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的受光元件5上的受光區(qū)及光接收點(diǎn)的平面圖，124～131表示受光部。
本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2是通過將在層疊的玻璃平板的接合面上設(shè)有具有光學(xué)功能的光學(xué)膜的部件相對(duì)于該接合面以規(guī)定的角度(例如45度)平行切斷來制作分束基板，將2個(gè)分束基板、和在玻璃平板的一個(gè)面上形成有衍射光柵的衍射基板接合后切斷，用與實(shí)施形態(tài)1同樣的方法來制作的。即，在實(shí)施形態(tài)1中說明過的圖6A～圖6E中，在第2分束基板22的與第1分束基板21相反的一側(cè)層疊在單面上形成有衍射光柵的玻璃平板即可。
用圖1及圖28來說明如上構(gòu)成的光學(xué)頭的工作。從半導(dǎo)體激光器1出射的光6入射到光分支元件2上，作為P偏振光入射到光學(xué)面121a上。透過光學(xué)面121a的光從光分支元件2出射，由物鏡3會(huì)聚到光盤4上。在光盤4上由于克爾效應(yīng)而使偏振略微旋轉(zhuǎn)并反射的光再次經(jīng)物鏡3入射到光分支元件2上，由光學(xué)面121a反射P偏振分量的30％和由于克爾效應(yīng)而產(chǎn)生的S偏振分量，入射到光學(xué)面122a上。
光學(xué)面122a、122b是與光學(xué)面121a圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的假想面平行的光學(xué)面，所以占來自光盤4的反射光的大部分的、xz平面內(nèi)的偏振分量作為P偏振光入射到光學(xué)面121a上，而作為P偏振光或S偏振光圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的偏振光入射到光學(xué)面122a上。光學(xué)面122a具有通過分別透射及反射來分離P偏振分量及S偏振分量的功能，入射到光學(xué)面122a上的光通過透射和反射以大體1∶1被分離。
透過光學(xué)面122a的P偏振光入射到衍射光柵123a上，衍射光柵123a的二分的各區(qū)的透射光都被引導(dǎo)到受光部124。衍射光柵123a的二分的各區(qū)的±1級(jí)衍射光沿因區(qū)而異的方向進(jìn)行衍射，一個(gè)區(qū)的±1級(jí)衍射光被引導(dǎo)到受光部125及128，另一個(gè)區(qū)的±1級(jí)衍射光被引導(dǎo)到受光部126及127。通過受光部125及128檢測(cè)出的信號(hào)的和信號(hào)和受光部126及127檢測(cè)出的信號(hào)的和信號(hào)的差動(dòng)運(yùn)算，通過所謂的推挽法來得到跟蹤誤差信號(hào)。
光學(xué)面122a反射的S偏振光由光學(xué)面122b反射，入射到衍射光柵123b上。衍射光柵123b的透射光被引導(dǎo)到受光部129。衍射光柵123b的±1級(jí)衍射光分別沿光軸方向移動(dòng)其會(huì)聚位置，一個(gè)會(huì)聚到從光分支元件來看比受光元件近的一側(cè)，另一個(gè)會(huì)聚到從光分支元件來看比受光元件遠(yuǎn)的一側(cè)，分別被引導(dǎo)到三分的受光部130及131，通過所謂的SSD法來得到聚焦誤差信號(hào)。
此外，通過對(duì)接收入射到受光部124的P偏振光束、和入射到受光部129的S偏振光束而得到的信號(hào)進(jìn)行差動(dòng)運(yùn)算來得到磁光信號(hào)。
在本實(shí)施形態(tài)中，使用衍射光柵對(duì)來自盤的反射光進(jìn)行分支，從而能夠削減光分支元件內(nèi)的光學(xué)面的數(shù)目，削減工時(shí)，所以能進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)低成本化。此外，用于檢測(cè)跟蹤誤差信號(hào)的光束分割不是在受光元件上，而是在光分支元件的面上，從而分割光束的位置上的光束直徑增大，所以能夠減小光分支元件的相對(duì)位置偏離的影響。
接著，用圖30A～圖33來說明用衍射光柵簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)的另一實(shí)施形態(tài)。在本實(shí)施形態(tài)中，光分支元件2及受光元件5與以上實(shí)施形態(tài)不同，其他構(gòu)件與實(shí)施形態(tài)1～5相同，所以省略它們的說明。
圖30A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)6的另一光分支元件2的外觀透視圖，圖30B是其分解透視圖。141及142是將層疊的玻璃基板平行切斷而制作的第1基板、及第2基板，光分支元件2是第1基板141和第2基板142接合而構(gòu)成的。141a及142a～142c是第1基板141、及第2基板142內(nèi)部所設(shè)的光學(xué)面，在光學(xué)面141a、142b、142c上分別設(shè)有具有1種光學(xué)功能的光學(xué)膜，在光學(xué)面142a上設(shè)有反射型衍射光柵。
圖31A～圖31C是本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2內(nèi)部的光學(xué)面和光路的說明圖，圖31A是從x軸正向看到的光分支元件2內(nèi)部的光路圖，圖31B是圖31A的31B-31B線的向視剖面圖，圖31C是圖31A的31C-31C線的向視剖面圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖30A、圖30B相同的標(biāo)號(hào)來表示。
光學(xué)面141a是在圖31A中的剖面31B-31B內(nèi)具有法線矢量的斜面，光學(xué)面142a～142c是相互平行、而且在圖31A中的剖面31C-31C內(nèi)具有法線矢量的斜面，剖面31B-31B和剖面31C-31C成45度的角度。
圖32是圖30A、圖30B及圖31A～圖31C所示的光分支元件2內(nèi)部的光的分支的示意性說明圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)使用與圖30A、圖30B及圖31A～圖31C相同的標(biāo)號(hào)。此外，圖中的虛線表示圖在虛線上下圍繞光軸旋轉(zhuǎn)了45度。在圖30A～圖32中，光學(xué)面141a是透射P偏振分量的70％、反射30％、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面142a是形成有反射型衍射光柵的光學(xué)面，該反射型衍射光柵具有光柵圖案不同的2個(gè)區(qū)，具有使入射到各區(qū)上的光束向互不相同的方向衍射或反射的功能，光束的50％作為0級(jí)光反射，作為±1級(jí)衍射光分別衍射并反射20％。光學(xué)面142b是大致100％地透射P偏振分量、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面142c是大致100％地反射光束的光學(xué)面。
圖33是受光元件5上的受光區(qū)及光接收點(diǎn)的平面圖，145～152表示受光部。
本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2是通過將在層疊的玻璃平板的接合面上設(shè)有衍射光柵或由光學(xué)面構(gòu)成的1種功能元件的部件相對(duì)于該接合面以規(guī)定的角度(例如45度)平行切斷來制作分束基板，將2個(gè)分束基板接合后切斷，用與實(shí)施形態(tài)1同樣的方法(參照?qǐng)D6A～圖6E)來制作的。
用圖1及圖32來說明如上構(gòu)成的光學(xué)頭的工作。從半導(dǎo)體激光器1出射的光6入射到光分支元件2上，作為P偏振光入射到光學(xué)面141a上。透過光學(xué)面141a的光從光分支元件2出射，由物鏡3會(huì)聚到光盤4上。在光盤4上由于克爾效應(yīng)而使偏振略微旋轉(zhuǎn)并反射的光再次經(jīng)物鏡3入射到光分支元件2上，由光學(xué)面141a反射P偏振分量的30％和由于克爾效應(yīng)而產(chǎn)生的S偏振分量，入射到光學(xué)面142a上。
入射到光學(xué)面142a的二分的各區(qū)上的光分別在空間上被二分，向不同方向衍射及反射。入射到二分的各區(qū)上的光束的50％作為0級(jí)光、20％作為+1級(jí)光、20％作為-1級(jí)光分別反射，都入射到光學(xué)面142b上。光學(xué)面142b是與光學(xué)面141a圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的假想面平行的光學(xué)面，而且具有通過分別透射及反射來分離P偏振分量及S偏振分量的功能，所以光學(xué)面142a上的0級(jí)光及±1級(jí)光由光學(xué)面142b通過透射和反射以大體1∶1來分離。
在光學(xué)面142a反射的0級(jí)光內(nèi)，光學(xué)面142b反射的S偏振分量被引導(dǎo)到受光部145，透過光學(xué)面142b的P偏振分量的光束由光學(xué)面142c反射并被引導(dǎo)到受光部149，根據(jù)受光部145及149檢測(cè)出的信號(hào)的差動(dòng)信號(hào)來得到磁光信號(hào)。
光學(xué)面142a的二分的區(qū)中的一個(gè)區(qū)上的+1級(jí)光的一部分由光學(xué)面142b反射而入射到受光部146，其余則透過光學(xué)面142b，由光學(xué)面142c反射而入射到受光部150。
光學(xué)面142a的二分的區(qū)中的另一個(gè)區(qū)上的+1級(jí)光的一部分由光學(xué)面142b反射而入射到受光部147，其余則透過光學(xué)面142b，由光學(xué)面142c反射而入射到受光部151。
根據(jù)受光部146及150檢測(cè)出的信號(hào)的和信號(hào)、和受光部147及151檢測(cè)出的信號(hào)的和信號(hào)的差動(dòng)信號(hào)，通過所謂的推挽法來得到跟蹤誤差信號(hào)。
光學(xué)面142a的二分的各區(qū)上的-1級(jí)光的一部分都由光學(xué)面142b反射，其余則透過光學(xué)面142b，由光學(xué)面142c反射，分別被引導(dǎo)到三分的受光部148及152，通過所謂的SSD法來得到聚焦誤差信號(hào)。
在本實(shí)施形態(tài)中，也使用衍射光柵對(duì)來自盤的反射光進(jìn)行分支，從而能夠用少的光學(xué)面來構(gòu)成，削減接合等的工時(shí)，所以能進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)低成本化。此外，用于檢測(cè)跟蹤誤差信號(hào)的光束分割不是在受光元件上，而是在光分支元件內(nèi)部的光學(xué)面上，從而分割光束的位置上的光束直徑增大，所以能夠減小光分支元件的相對(duì)位置偏離的影響。
(實(shí)施形態(tài)7)在本實(shí)施形態(tài)中，光分支元件2、光盤4及受光元件5與實(shí)施形態(tài)1～6不同，其他構(gòu)件與實(shí)施形態(tài)1～6相同，所以省略它們的說明。在本實(shí)施形態(tài)中，光盤4例如是通過記錄標(biāo)記的反射率的不同而記錄有信號(hào)的磁光盤以外的光盤。
圖34A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)7的光分支元件的外觀透視圖，圖34B是其分解透視圖。161是將玻璃基板及1/4波片層疊所得的部件平行切斷而制成的第1基板，162是將層疊的玻璃基板平行切斷而制作的第2基板，光分支元件2是第1基板161和第2基板162接合而構(gòu)成的。161b是1/4波片，使得P偏振分量和S偏振分量的相位相差90度。161a及162a～162c是第1基板161及第2基板162內(nèi)部的光學(xué)面，在各光學(xué)面上分別設(shè)有具有1種光學(xué)功能的光學(xué)膜。
圖35是光分支元件2內(nèi)部的光學(xué)面和光路的說明圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖34A、圖34B相同的標(biāo)號(hào)來表示。1/4波片161b及光學(xué)面161a、162a～162c是在xz平面內(nèi)具有法線矢量的斜面。
圖36是圖34A、圖34B及圖35所示的光分支元件2內(nèi)部的光的分支的示意性說明圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖34A、圖34B及圖35相同的標(biāo)號(hào)來表示。在圖34A～圖36中，光學(xué)面161a是大致100％地透射P偏振分量、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面162a及162b是透射光束的50％、反射50％的無偏振依賴性的光學(xué)面，光學(xué)面162c是大致100％地反射光束的光學(xué)面。
圖37是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)7的受光元件5上的受光區(qū)及光接收點(diǎn)的平面圖，163表示二分受光部，164、165表示三分受光部。
本實(shí)施形態(tài)的光分支元件2是通過將玻璃平板和1/4波片層疊所得的部件相對(duì)于接合面以規(guī)定的角度(例如45度)平行切斷來制作第1分束基板，將在層疊的玻璃平板的接合面上設(shè)有具有光學(xué)功能的光學(xué)膜的部件相對(duì)于接合面以規(guī)定的角度(例如45度)平行切斷來制作第2分束基板，將第1分束基板、和第2分束基板接合后切斷來制作的?；镜闹圃旃ば蚺c實(shí)施形態(tài)1中說明過的圖6A～圖6E相同。只是，使用層疊有1/4波片的上述第1分束基板來取代第1分束基板21。此外，在圖6C的接合工序中，在實(shí)施形態(tài)1中，使直線21a和直線22a所成的角度為45度來進(jìn)行接合，而在本實(shí)施形態(tài)中，使直線21a和直線22a平行來進(jìn)行接合。
用圖1及圖36來說明如上構(gòu)成的光學(xué)頭的工作。從半導(dǎo)體激光器1出射的光6入射到光分支元件2，作為P偏振光入射到光學(xué)面161a上，大致100％透射。透過光學(xué)面161a的光透過1/4波片161b而變?yōu)閳A偏振光，從光分支元件2出射，由物鏡3會(huì)聚到光盤4上。在光盤4上通過反射率變化而受到調(diào)制并反射的光再次經(jīng)物鏡3入射到光分支元件2上，入射到1/4波片161b上。透過1/4波片161b的反射光還原為線偏振光，作為S偏振光入射到光學(xué)面161a上，大致100％地反射。
光學(xué)面161a反射的光入射到光學(xué)面162a上。透過光學(xué)面162a的光由受光元件5上的二分受光部163進(jìn)行光接收，根據(jù)其差動(dòng)信號(hào)，通過所謂的推挽法來得到跟蹤誤差信號(hào)，再根據(jù)二分受光部各自的光接收信號(hào)的相加信號(hào)來得到RF信號(hào)。光學(xué)面162a反射的光入射到光學(xué)面162b上，一部分反射，一部分透射，透射的光由光學(xué)面162c反射。光學(xué)面162b及162c分別反射的光被引導(dǎo)到受光元件5上的三分受光部164及165，通過所謂的SSD法來得到聚焦誤差信號(hào)。
如上構(gòu)成的本實(shí)施形態(tài)能夠應(yīng)用于例如相變記錄用的光學(xué)頭，與以上實(shí)施形態(tài)同樣，通過將所有光分支功能集中在1個(gè)光分支元件上，能夠削減部件數(shù)、工時(shí)，能實(shí)現(xiàn)低成本化。此外，能夠使光源的光量的100％從光分支元件出射，不使用衍射元件，所以光利用效率高，也不會(huì)由于衍射元件所引起的往路的1級(jí)衍射光而發(fā)生雜散光。
(實(shí)施形態(tài)8)在本實(shí)施形態(tài)中，半導(dǎo)體激光器1、光分支元件2及受光元件5與實(shí)施形態(tài)1～7不同，其他構(gòu)件與實(shí)施形態(tài)1～7相同，所以省略它們的說明。圖38示出本發(fā)明實(shí)施形態(tài)8的光學(xué)頭的結(jié)構(gòu)。171是在同一基板上設(shè)有半導(dǎo)體激光器及受光元件的收發(fā)光元件，172是層疊的多個(gè)玻璃基板組合而構(gòu)成的光分支元件，其他構(gòu)件與圖1所示的相同，附以相同的標(biāo)號(hào)。
圖39是本實(shí)施形態(tài)的結(jié)構(gòu)的說明圖。在該圖中，173是硅基板，174是發(fā)射圖中的z軸方向的偏振光的半導(dǎo)體激光器，175是微鏡(マィクロミラ)，176是受光部，半導(dǎo)體激光器174、微鏡175、及受光部176被一體設(shè)置在硅基板173上，形成收發(fā)光元件171。177～179分解圖示了構(gòu)成光分支元件172的分束基板，各分束基板是將層疊的玻璃基板相對(duì)于接合面以規(guī)定的角度平行切斷而制作的。此外，180表示光路。
本實(shí)施形態(tài)的光分支元件172在實(shí)施形態(tài)5的光分支元件(圖22A、圖22B)上添加了大致100％地反射光束的光學(xué)面177a，其他結(jié)構(gòu)完全相同。此外，受光部176的配置也與實(shí)施形態(tài)5(參照?qǐng)D25)相同。
在如上構(gòu)成的光學(xué)頭中，從半導(dǎo)體激光器174出射的光由微鏡175反射，入射到光分支元件172，由光學(xué)面177a反射。此時(shí)，光束的偏振方向?yàn)閳D中的x軸方向，然后，經(jīng)與實(shí)施形態(tài)5同樣的工作來檢測(cè)伺服信號(hào)及RF信號(hào)。
本實(shí)施形態(tài)采用了下述結(jié)構(gòu)在以上實(shí)施形態(tài)的光分支元件上附加了大致100％地反射光束的光學(xué)面177a，將受光元件和半導(dǎo)體激光器一體設(shè)置。由此，能夠削減部件數(shù)、工時(shí)，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)低成本化，并且實(shí)現(xiàn)大幅度的小型化。
本實(shí)施形態(tài)采用了在實(shí)施形態(tài)5的基礎(chǔ)上將半導(dǎo)體激光器和受光元件一體設(shè)置的結(jié)構(gòu)，該集成化結(jié)構(gòu)在其他實(shí)施形態(tài)中也是可以的，能得到同樣的效果。
此外，在上述實(shí)施形態(tài)中，半導(dǎo)體激光器和受光元件被設(shè)置在同一基板173上，但是也可以將它們?cè)O(shè)置在不同基板上，將兩個(gè)基板放置在同一殼體內(nèi)。在此情況下，也能夠削減部件數(shù)并實(shí)現(xiàn)小型化。
(實(shí)施形態(tài)9)在本實(shí)施形態(tài)中，收發(fā)光元件及光分支元件與實(shí)施形態(tài)8不同，其他構(gòu)件與實(shí)施形態(tài)8相同，所以省略它們的說明。圖40示出本發(fā)明實(shí)施形態(tài)9的光學(xué)頭的結(jié)構(gòu)。201是在同一基板上設(shè)有半導(dǎo)體激光器及受光元件的收發(fā)光元件，202是光分支元件，其他構(gòu)件與圖1所示的相同，附以相同的標(biāo)號(hào)。
圖41A是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)9的光分支元件202的外觀透視圖，圖41B是其分解透視圖。203及204是將層疊的玻璃基板平行切斷而制作的第1基板及第2基板，光分支元件202是第1基板203和第2基板204接合而構(gòu)成的。203a、203b及204a～204d是第1基板203及第2基板204內(nèi)部所設(shè)的光學(xué)面，在光學(xué)面203a、204a～204d上分別設(shè)有具有1種光學(xué)功能的光學(xué)膜，在光學(xué)面203b上設(shè)有反射型衍射光柵。
圖42A～圖42C是光分支元件202內(nèi)部的光學(xué)面和光路的說明圖，圖42A是從x軸正向看到的光分支元件202內(nèi)部的光路圖，圖42B是圖42A的42B-42B線的向視剖面圖，圖42C是圖42A的42C-42C線的向視剖面圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)用與圖41A、圖41B相同的標(biāo)號(hào)來表示。
光學(xué)面203a、203b、204a、204b是在圖42A中的剖面42B-42B內(nèi)具有法線矢量的斜面，光學(xué)面204c、204d是相互平行、而且在圖42A中的剖面42C-42C內(nèi)具有法線矢量的斜面，剖面42B-42B和剖面42C-42C成45度的角度。
圖43是圖41A、圖41B及圖42A～圖42C所示的光分支元件202內(nèi)部的光的分支的示意性說明圖，光學(xué)面的標(biāo)號(hào)使用與圖41A、圖41B及圖42A～圖42C相同的標(biāo)號(hào)。此外，圖中的虛線表示圖在虛線上下圍繞光軸旋轉(zhuǎn)了45度。
在圖41A～圖43中，光學(xué)面203a是透射P偏振分量的70％、反射30％、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面203b是形成有反射型衍射光柵的光學(xué)面，該反射型衍射光柵具有光柵圖案不同的2個(gè)區(qū)，具有使入射到各區(qū)上的光束向互不相同的方向衍射或反射的功能，光束的50％作為0級(jí)光反射，作為±1級(jí)衍射光分別衍射并反射20％。光學(xué)面204c是大致100％地透射P偏振分量、大致100％地反射S偏振分量的光學(xué)面，光學(xué)面204a、204b、204d是大致100％地反射光束的光學(xué)面。
圖44是收發(fā)光元件201上的收發(fā)光部及光接收點(diǎn)的平面圖，205表示發(fā)射圖中X軸方向的偏振光的半導(dǎo)體激光器，206表示微鏡，207～214表示受光部。
用圖43及圖44來說明如上構(gòu)成的光學(xué)頭的工作。從半導(dǎo)體激光器205出射的光6由微鏡206反射而入射到光分支元件202上，由光學(xué)面204a、204b反射，作為P偏振光入射到光學(xué)面203a上。
透過光學(xué)面203a的光從光分支元件202出射，由物鏡3會(huì)聚到光盤4上。在光盤4上由于克爾效應(yīng)而使偏振略微旋轉(zhuǎn)并反射的光再次經(jīng)物鏡3入射到光分支元件202上，由光學(xué)面203a反射P偏振分量的30％和由于克爾效應(yīng)而產(chǎn)生的S偏振分量，入射到光學(xué)面203b上。
入射到光學(xué)面203b的二分的各區(qū)上的光分別在空間上被二分，向不同方向衍射及反射。入射到二分的各區(qū)上的光束的50％作為0級(jí)光、20％作為+1級(jí)光、20％作為-1級(jí)光分別反射，都入射到光學(xué)面204c上。
光學(xué)面204c是與光學(xué)面203a圍繞光軸旋轉(zhuǎn)45度所得的假想面平行的光學(xué)面，而且具有通過分別透射及反射來分離P偏振分量及S偏振分量的功能，所以光學(xué)面203b上的0級(jí)光及±1級(jí)光由光學(xué)面204c通過透射和反射以大體1∶1來分離。
在光學(xué)面203b反射的0級(jí)光內(nèi)，透過光學(xué)面204c的P偏振分量被引導(dǎo)到受光部207，光學(xué)面204c反射的S偏振分量由光學(xué)面204d反射并被引導(dǎo)到受光部211，根據(jù)受光部207及211檢測(cè)出的信號(hào)的差動(dòng)信號(hào)來得到磁光信號(hào)。
光學(xué)面203b的二分的區(qū)中的一個(gè)區(qū)上的+1級(jí)光的一部分透過光學(xué)面204c，入射到受光部208，其余則由光學(xué)面204c反射，再由光學(xué)面204d反射而入射到受光部212。
光學(xué)面203b的二分的區(qū)中的另一個(gè)區(qū)上的+1級(jí)光的一部分透過光學(xué)面204c，入射到受光部209，其余則由光學(xué)面204c反射，再由光學(xué)面204d反射而入射到受光部213。
根據(jù)受光部208及212檢測(cè)出的信號(hào)的和信號(hào)、和受光部209及213檢測(cè)出的信號(hào)的和信號(hào)的差動(dòng)信號(hào)，通過所謂的推挽法來得到跟蹤誤差信號(hào)。
光學(xué)面203b的二分的各區(qū)上的-1級(jí)光的一部分都由透過光學(xué)面204c，其余則由光學(xué)面204c反射，再由光學(xué)面204d反射，分別被引導(dǎo)到三分的受光部210及214，通過所謂的SSD法來得到聚焦誤差信號(hào)。
在本實(shí)施形態(tài)中，也與實(shí)施形態(tài)8同樣，通過將受光元件和半導(dǎo)體激光器一體設(shè)置，能夠削減部件數(shù)、工時(shí)，實(shí)現(xiàn)低成本化，并且實(shí)現(xiàn)小型化。
本實(shí)施形態(tài)的光學(xué)反射面204a及204b是出于下述目的而設(shè)置的為了通過SSD法來得到聚焦誤差信號(hào)，調(diào)整光路長(zhǎng)度，使得來自光盤4的反射光在收發(fā)光元件201的受光面附近聚焦。該光學(xué)面204a及204b和光學(xué)面204c及204d不是相互平行的光學(xué)面，所以不能用實(shí)施形態(tài)1中所示的制作方法來制作。
圖45A～圖4D及圖46A～圖46F是本實(shí)施形態(tài)的光分支元件202的制作過程的說明圖，以下用該圖來說明光分支元件202的制作過程的概況。
首先，制作圖45A所示的、玻璃平板層疊所得的部件220。在該部件220的玻璃平板的接合面(第1接合面)上分別設(shè)有第1基板的光學(xué)面203a、203b上形成的光學(xué)膜及反射型衍射元件，圖中的203a、203b示出第1基板203的各光學(xué)面上形成的光學(xué)膜及反射型衍射元件被設(shè)置在該接合面上。將該部件220沿圖45A的虛線、即沿與玻璃平板的接合面(第1接合面)以大體45度(圖45A的角度θ1)交叉的面(第1截面231)平行切斷來制作圖45B所示的第1分束基板221。
另外，制作圖45C所示的、玻璃平板層疊所得的部件222。在該部件222的玻璃平板的接合面(第2接合面)上分別設(shè)有第2基板的光學(xué)面204c、204d上形成的光學(xué)膜，圖中的204c、204d示出第2基板的光學(xué)面上形成的光學(xué)膜被設(shè)置在該接合面上。將該部件222沿圖45C的虛線、即沿與玻璃平板的接合面(第2接合面)以大體35.3度(圖45C的角度θ2)交叉的面(第2截面232)平行切斷來制作圖45D所示的第2分束基板223。
接著，如圖46A所示，將第2分束基板223、在兩面上形成有反射膜204a及204b的玻璃平板224、以及未形成反射膜的玻璃平板225作為一個(gè)單位，將多個(gè)該單位如圖46B所示層疊來制成部件226。接著，將部件226沿圖46B的虛線、即沿與基板223和玻璃平板224、225的接合面(第3接合面)以大體45度(圖46B的角度θ3)交叉的面(第3截面233)平行切斷來制作圖46C所示的第3分束基板227。
接著，如圖46D所示來接合第1分束基板221和第3分束基板227。此時(shí)，設(shè)與第1截面231和第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與第1截面231平行的方向?yàn)樯鲜龅?分束基板221的第1方向221a，并且設(shè)與第3截面233和第3接合面交叉而得到的直線正交、而且與第3截面233平行的方向?yàn)榈?分束基板227的第3方向227a，此時(shí)，使第1方向221a和第3方向227a平行來接合第1分束基板221和第3分束基板227。
最后，通過沿圖46E所示的虛線、即沿與第1方向221a及第3方向227a平行的面及與其正交的面切斷，來得到圖46F所示的光分支元件202。
該制作方法與實(shí)施形態(tài)1中所示的方法相比，材料的浪費(fèi)少，并且能夠應(yīng)用于以上說明過的所有實(shí)施形態(tài)。
在用該加工方法來制作的情況下，光學(xué)面204c及204d相對(duì)于第3分束基板227的底面(收發(fā)光元件一側(cè)的面)的傾斜角度為54.7度。
與此相對(duì)，在上述加工方法中，如果圖45C中的第2截面232的切斷角度θ2為大體30度、圖46B中的第3截面233的切斷角度θ3為35.3度，則光學(xué)面204c及204d相對(duì)于第3分束基板227的底面的傾斜角度為45度。在此情況下，光學(xué)面204c反射的光束與第3分束基板227的底面平行來前進(jìn)，所以能夠?qū)⒌?分束基板227做薄，使圖46B的切斷工序中的產(chǎn)量增加，所以能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。
發(fā)明的效果從以上實(shí)施形態(tài)1～9可知，本發(fā)明的光學(xué)頭通過將所有光分支功能集中在1個(gè)光分支元件上，能夠削減部件數(shù)、工時(shí)，能實(shí)現(xiàn)低成本化。此外，在來自光源的光通過光分支元件到達(dá)物鏡的光路中不設(shè)置衍射元件，只通過光學(xué)膜的透射和反射來分離光束，所以光利用效率高，也不會(huì)發(fā)生使伺服信號(hào)及RF信號(hào)的質(zhì)量降低的由往路的1級(jí)衍射光所引起的雜散光。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)元件，由第1基板、和第2基板接合而成，該第1基板由多種透明基材經(jīng)形成有衍射光柵或由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的至少1個(gè)第1接合面接合而成；該第2基板由多種透明基材經(jīng)形成有衍射光柵或由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面接合而成；其特征在于，入射到上述第1基板上的光的至少一部分由上述第1接合面中的至少1個(gè)反射后，入射到上述第2基板上，進(jìn)而其至少一部分由上述第2接合面中的至少1個(gè)反射；包含上述第1接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含上述第2接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面所成的角為大體45度。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件，其中，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第1接合面分支出的光束的光路上，而且形成有透射光束的一部分、反射一部分的無偏振性膜；在上述第2接合面中的另外至少1個(gè)上，形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
3.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件，其中，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第1接合面分支出的光束的光路上，而且形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
4.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件，其中，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第1接合面分支出的光束的光路上，而且形成有反射型衍射光柵；在上述第2接合面中的另外至少1個(gè)上，形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
5.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件，其中，上述第2基板相對(duì)于光學(xué)元件的出射面傾斜規(guī)定的角度。
6.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件，其中，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；在上述第1接合面的另外至少1個(gè)上形成有反射型衍射光柵；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述反射型衍射光柵反射的光束的光路上，而且形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
7.一種光學(xué)頭，其特征在于，包括光源，出射線偏振光；物鏡，將來自上述光源的光會(huì)聚到信息記錄媒體上；如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件，被配置在上述光源和上述物鏡之間的光路中；以及受光元件，接收由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)光的來自上述信息記錄媒體的光。
8.如權(quán)利要求7所述的光學(xué)頭，其中，上述光源和上述受光元件被設(shè)置在同一殼體內(nèi)部。
9.如權(quán)利要求7所述的光學(xué)頭，其中，使由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的一對(duì)光束中的一個(gè)會(huì)聚到從上述光學(xué)元件來看比上述受光元件上的受光面近的一側(cè)，使另一個(gè)會(huì)聚到比上述受光元件上的上述受光面遠(yuǎn)的一側(cè)；上述一對(duì)光束分別由上述受光元件上的三分的受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到聚焦誤差信號(hào)。
10.如權(quán)利要求7所述的光學(xué)頭，其中，由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的至少1個(gè)由上述受光元件上的多分受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到跟蹤誤差信號(hào)。
11.一種光學(xué)元件，由第1基板、第2基板、以及衍射基板依次接合而成，該第1基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的至少1個(gè)第1接合面接合而成；該第2基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面接合而成；該衍射基板在一個(gè)面上具有衍射光柵；其特征在于，入射到上述第1基板上的光的至少一部分由上述第1接合面中的至少1個(gè)反射后，入射到上述第2基板上，進(jìn)而其至少一部分由上述第2接合面中的至少1個(gè)反射；包含上述第1接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含上述第2接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面所成的角為大體45度。
12.如權(quán)利要求11所述的光學(xué)元件，其中，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第1接合面分支出的光束的光路上，而且形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
13.一種光學(xué)頭，其特征在于，包括光源，出射線偏振光；物鏡，將來自上述光源的光會(huì)聚到信息記錄媒體上；如權(quán)利要求11所述的光學(xué)元件，被配置在上述光源和上述物鏡之間的光路中；以及受光元件，接收由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)光的來自上述信息記錄媒體的光。
14.如權(quán)利要求13所述的光學(xué)頭，其中，上述光源和上述受光元件被設(shè)置在同一殼體內(nèi)部。
15.如權(quán)利要求13所述的光學(xué)頭，其中，使由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的一對(duì)光束中的一個(gè)會(huì)聚到從上述光學(xué)元件來看比上述受光元件上的受光面近的一側(cè)，使另一個(gè)會(huì)聚到比上述受光元件上的上述受光面遠(yuǎn)的一側(cè)；上述一對(duì)光束分別由上述受光元件上的三分的受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到聚焦誤差信號(hào)。
16.如權(quán)利要求13所述的光學(xué)頭，其中，由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的至少1個(gè)由上述受光元件上的多分受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到跟蹤誤差信號(hào)。
17.一種光學(xué)元件，由第1基板、第2基板、以及第3基板依次接合而成，該第1基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的至少1個(gè)第1接合面接合而成；該第2基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面接合而成；該第3基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第3接合面接合而成；其特征在于，入射到上述第1基板上的光的至少一部分由上述第1接合面中的至少1個(gè)反射后，入射到上述第2基板上，進(jìn)而其至少一部分由上述第2接合面中的至少1個(gè)反射，其余透射，上述透射的光入射到上述第3接合面上；包含上述第1接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含上述第2接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面所成的角為大體45度。
18.如權(quán)利要求17所述的光學(xué)元件，其中，在上述第1接合面中的至少1個(gè)上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第1接合面分支出的光束的光路上，而且形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜；上述第3接合面中的至少1個(gè)被配置在由上述第2接合面分支出的光束的光路上，而且形成有透射光束的一部分、反射一部分的無偏振性膜。
19.如權(quán)利要求18所述的光學(xué)元件，其中，包含上述第1接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含上述第3接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面大體平行。
20.一種光學(xué)頭，其特征在于，包括光源，出射線偏振光；物鏡，將來自上述光源的光會(huì)聚到信息記錄媒體上；如權(quán)利要求17所述的光學(xué)元件，被配置在上述光源和上述物鏡之間的光路中；以及受光元件，接收由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)光的來自上述信息記錄媒體的光。
21.如權(quán)利要求20所述的光學(xué)頭，其中，上述光源和上述受光元件被設(shè)置在同一殼體內(nèi)部。
22.如權(quán)利要求20所述的光學(xué)頭，其中，使由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的一對(duì)光束中的一個(gè)會(huì)聚到從上述光學(xué)元件來看比上述受光元件上的受光面近的一側(cè)，使另一個(gè)會(huì)聚到比上述受光元件上的上述受光面遠(yuǎn)的一側(cè)；上述一對(duì)光束分別由上述受光元件上的三分的受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到聚焦誤差信號(hào)。
23.如權(quán)利要求20所述的光學(xué)頭，其中，由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的至少1個(gè)由上述受光元件上的多分受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到跟蹤誤差信號(hào)。
24.一種光學(xué)元件，由第1基板、第2基板、以及第3基板依次接合而成，該第1基板由1種透明基材或多種透明基材接合而成；該第2基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面接合而成；該第3基板由1種透明基材或多種透明基材接合而成；其特征在于，入射到上述第1基板上的光的至少一部分由上述第1基板和第2基板的接合面第1接合面反射后，入射到上述第2基板上，進(jìn)而其至少一部分由上述第2接合面中的至少1個(gè)反射；包含上述第1接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含上述第2接合面上的入射光軸及反射光軸的假想面所成的角為大體45度。
25.如權(quán)利要求24所述的光學(xué)元件，其中，在上述第1接合面上形成有P偏振分量和S偏振分量的透射率及反射率不同的偏振性膜；上述第2接合面中的至少1個(gè)上形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
26.一種光學(xué)頭，其特征在于，包括光源，出射線偏振光；物鏡，將來自上述光源的光會(huì)聚到信息記錄媒體上；如權(quán)利要求24所述的光學(xué)元件，被配置在上述光源和上述物鏡之間的光路中；以及受光元件，接收由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)光的來自上述信息記錄媒體的光。
27.如權(quán)利要求26所述的光學(xué)頭，其中，上述光源和上述受光元件被設(shè)置在同一殼體內(nèi)部。
28.如權(quán)利要求26所述的光學(xué)頭，其中，使由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的一對(duì)光束中的一個(gè)會(huì)聚到從上述光學(xué)元件來看比上述受光元件上的受光面近的一側(cè)，使另一個(gè)會(huì)聚到比上述受光元件上的上述受光面遠(yuǎn)的一側(cè)；上述一對(duì)光束分別由上述受光元件上的三分的受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到聚焦誤差信號(hào)。
29.如權(quán)利要求26所述的光學(xué)頭，其中，由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的至少1個(gè)由上述受光元件上的多分受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到跟蹤誤差信號(hào)。
30.一種光學(xué)元件，由第1基板、和第2基板接合而成，該第1基板由多種透明基材和1/4波片接合而成，上述多種透明基材間的接合面中的至少1個(gè)是形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面；該第2基板由多種透明基材經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面接合而成；其特征在于，在上述第1接合面上，形成有大體透射P偏振分量、大體反射S偏振分量的偏振性膜。
31.一種光學(xué)頭，其特征在于，包括光源，出射線偏振光；物鏡，將來自上述光源的光會(huì)聚到信息記錄媒體上；如權(quán)利要求30所述的光學(xué)元件，被配置在上述光源和上述物鏡之間的光路中；以及受光元件，接收由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)光的來自上述信息記錄媒體的光。
32.如權(quán)利要求31所述的光學(xué)頭，其中，上述光源和上述受光元件被設(shè)置在同一殼體內(nèi)部。
33.如權(quán)利要求31所述的光學(xué)頭，其中，使由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的一對(duì)光束中的一個(gè)會(huì)聚到從上述光學(xué)元件來看比上述受光元件上的受光面近的一側(cè)，使另一個(gè)會(huì)聚到比上述受光元件上的上述受光面遠(yuǎn)的一側(cè)；上述一對(duì)光束分別由上述受光元件上的三分的受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到聚焦誤差信號(hào)。
34.如權(quán)利要求31所述的光學(xué)頭，其中，由上述光學(xué)元件分支為多個(gè)、射向上述受光元件的光束中的至少1個(gè)由上述受光元件上的多分受光區(qū)進(jìn)行光接收，通過運(yùn)算來得到跟蹤誤差信號(hào)。
35.一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，具有下述步驟將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有衍射光柵或由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有衍射光柵或由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第2截面和上述第2接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第2截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第2方向，此時(shí)，接合上述第1截面和上述第2截面，使得上述第1方向和上述第2方向所成的角度為大體45度，得到上述第1基板和上述第2基板接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
36.一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，具有下述步驟在第1玻璃平板的單面上形成由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；接合上述第1基板的一個(gè)上述第2截面和上述第1玻璃平板的上述光學(xué)膜，接合上述第2基板的另一個(gè)上述第2截面和第3玻璃平板，得到上述第1玻璃平板、上述第2基板以及上述第3玻璃平板依次接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
37.一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，具有下述步驟將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第2截面和上述第2接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第2截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第2方向，此時(shí)，接合上述第1截面和上述第2截面，使得上述第1方向和上述第2方向所成的角度為大體45度，而且接合上述第2基板和玻璃平板，得到上述第1基板、上述第2基板以及上述玻璃平板依次接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
38.如權(quán)利要求37所述的光學(xué)元件的制造方法，其中，上述玻璃平板在其單面上包括衍射光柵，將上述玻璃平板的與包括上述衍射光柵的面相反一側(cè)的面接合在上述第2基板上。
39.一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，具有下述步驟將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第3接合面接合而成的第3層疊部件，按與上述第3接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第3截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第3接合面的第3基板；設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第2截面和上述第2接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第2截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第2方向，此時(shí)，接合上述第1截面和上述第2截面，使得上述第1方向和上述第2方向所成的角度為大體45度，而且接合上述第2基板和上述第3基板，得到上述第1基板、上述第2基板以及上述第3基板依次接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
40.如權(quán)利要求39所述的光學(xué)元件的制造方法，其中，設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第3截面和上述第3接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第3截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第3方向，此時(shí)，接合上述第2截面和上述第3截面，使得上述第1方向和上述第3方向大體平行。
41.一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，具有下述步驟將多個(gè)透明基板和1/4波片經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有衍射光柵或由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；接合上述第1截面和上述第2截面，得到上述第1基板和上述第2基板接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
42.一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，具有下述步驟將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體35度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；交替接合上述第2基板和透明基板，按與上述第2基板和上述透明基板的接合面第3接合面以大體45度的角度交叉的相互平行的多個(gè)第3截面切斷來得到第3基板；設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第3截面和上述第3接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第3截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第3方向，此時(shí)，接合上述第1截面和上述第3截面，使得上述第1方向和上述第3方向平行，得到上述第1基板和上述第3基板接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
43.一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，具有下述步驟將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第1接合面接合而成的第1層疊部件，按與上述第1接合面以大體45度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第1截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少1個(gè)上述第1接合面的第1基板；將多個(gè)透明基板經(jīng)形成有由光學(xué)膜構(gòu)成的功能元件的第2接合面接合而成的第2層疊部件，按與上述第2接合面以大體30度的角度交叉的互相平行的多個(gè)第2截面切斷，得到在內(nèi)部具有至少2個(gè)上述第2接合面的第2基板；交替接合上述第2基板和透明基板，按與上述第2基板和上述透明基板的接合面即第3接合面以大體35度的角度交叉的相互平行的多個(gè)第3截面切斷來得到第3基板；設(shè)與上述第1截面和上述第1接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第1截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第1方向，并且設(shè)與上述第3截面和上述第3接合面交叉而得到的直線正交、而且與上述第3截面平行的方向?yàn)樯鲜龅?基板的第3方向，此時(shí)，接合上述第1截面和上述第3截面，使得上述第1方向和上述第3方向平行，得到上述第1基板和上述第3基板接合而成的復(fù)合部件；切斷上述復(fù)合部件。
全文摘要
光學(xué)元件由第1基板(11)、和第2基板(12)接合而成，該第1基板(11)由多種透明基材經(jīng)形成有光學(xué)膜的第1接合面(11a)接合而成；該第2基板(12)由多種透明基材經(jīng)形成有光學(xué)膜的、互相平行的至少2個(gè)第2接合面(12a～12c)接合而成。入射到第1基板(11)上的光的一部分由第1接合面(11a)反射后，入射到第2基板(12)上，進(jìn)而其至少一部分由第2接合面中的至少1個(gè)反射。包含第1接合面(11a)上的入射光軸及反射光軸的假想面、和包含第2接合面(12a～12c)上的入射光軸及反射光軸的假想面所成的角為大體45度。由此，能得到低成本的、由于在從光源射向光盤的往路光路上沒有衍射光柵所以光利用效率高的、信號(hào)惡化少的光學(xué)元件。
文檔編號(hào)G02B5/30GK1412752SQ02147218
公開日2003年4月23日 申請(qǐng)日期2002年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月19日
發(fā)明者永田貴之, 林卓生, 富田浩稔, 荒井昭浩, 中村徹 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社