專利名稱：相對(duì)于顯微鏡的照明光路調(diào)節(jié)燈的方法和相應(yīng)的顯微鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在沒(méi)有射線均化器的情況下相對(duì)于顯微鏡的照明光路調(diào)節(jié)燈的方法和實(shí)現(xiàn)這種方法的合適顯微鏡。
背景技術(shù)：
在顯微鏡照明系統(tǒng)中對(duì)燈的調(diào)節(jié)，無(wú)論是對(duì)顯微鏡進(jìn)行初調(diào)還是在換燈后進(jìn)行，通常根據(jù)傳統(tǒng)的調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)，要求保證物場(chǎng)的均勻照明。因此，第一個(gè)調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)是光源亦即燈弧或燈變換器在物鏡光瞳中要有清晰圖象。該調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)可借助于所謂的伯特蘭透鏡進(jìn)行檢驗(yàn)，所述透鏡在顯微鏡的視場(chǎng)中構(gòu)成物鏡光瞳?？梢圆徊捎们逦鷪D象的視覺(jué)控制，而是在伯特蘭透鏡的像平面內(nèi)設(shè)置一個(gè)CCD攝像機(jī)，用攝像機(jī)的成象評(píng)價(jià)清晰圖象。第二個(gè)標(biāo)準(zhǔn)是檢驗(yàn)物場(chǎng)本身的照明是否均勻和是否要對(duì)燈光的最大均勻度進(jìn)行重調(diào)。因此，燈光的調(diào)節(jié)目標(biāo)總是要達(dá)到在物場(chǎng)中充分均勻的照明。
由于其復(fù)雜性的限制，這種傳統(tǒng)的調(diào)燈的方法無(wú)論在初裝時(shí)還是在換燈后都是自動(dòng)進(jìn)行的，不需通過(guò)手動(dòng)來(lái)保證物場(chǎng)的均勻照明。另一方面的經(jīng)驗(yàn)表明，特別對(duì)于顯微鏡的常規(guī)用戶，要求按照傳統(tǒng)調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行燈調(diào)節(jié)是一種過(guò)高要求。
在微刻設(shè)備的照明裝置中采用光束均化器，該均化器能保證對(duì)成象掩模的均勻照明。另外，通過(guò)使光源相對(duì)于照明光路的位置調(diào)節(jié)到光束均化器的最大光照功率，由此可最佳地利用從光源發(fā)出的光照功率。
現(xiàn)在可以考慮，在顯微鏡照明系統(tǒng)的光束均化器中采用例如用于混光的所謂蠅眼透鏡或玻璃棒。這樣可以不依賴燈相對(duì)于照明光路的位置而確保物場(chǎng)的均勻照明，因此可完全省略燈的調(diào)節(jié)。然而使用這樣的光束均化器會(huì)在顯微鏡中引入不可實(shí)現(xiàn)的高額花費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是，提供一種在顯微鏡中調(diào)節(jié)燈的簡(jiǎn)單方法，該方法能確保需照明的物場(chǎng)得到均勻照射并能很好地適應(yīng)自動(dòng)調(diào)節(jié)。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種顯微鏡，其能在適用本發(fā)明所述方法的前提下，很好地進(jìn)行燈的自動(dòng)調(diào)節(jié)，從而確保物場(chǎng)的均勻照明。
所述目的是通過(guò)與權(quán)利要求1相應(yīng)的燈調(diào)節(jié)方法和具有權(quán)利要求5所述特征的顯微鏡實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例可由從屬權(quán)利要求的特征得出。
本發(fā)明基于這樣的認(rèn)識(shí)，即，在燈恒定運(yùn)行的情況下，如果以面積計(jì)在顯微鏡物鏡光瞳平面后面或照明光路的光瞳平面后面得到的總光照功率最大的話，則在光照系統(tǒng)的光路中不用光束均化器也能保證光亮場(chǎng)的均勻照明。因此，在本發(fā)明所述方法中，用檢測(cè)器測(cè)量顯微鏡物鏡光瞳平面后面或照明光路的光瞳平面后面以面積計(jì)的總光照功率，并相對(duì)于照明光路如此地調(diào)節(jié)燈體，使得用檢測(cè)器檢測(cè)到的總光照功率最大。這里重要的是，光照功率的總檢測(cè)僅在穿過(guò)限制光流的聚光元件后才實(shí)現(xiàn)。
在理解本發(fā)明的基礎(chǔ)上而得出了一個(gè)簡(jiǎn)單的調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)，其優(yōu)越之處在于它適合在更換燈之后自動(dòng)調(diào)節(jié)燈或是在初調(diào)時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)燈。因此，對(duì)燈的調(diào)節(jié)優(yōu)選通過(guò)電動(dòng)的軟件控制來(lái)實(shí)現(xiàn)。然而，本發(fā)明的知識(shí)還可以在手工調(diào)節(jié)燈時(shí)使用，這是因?yàn)樽鳛榻柚诓靥m透鏡在物鏡光瞳中燈弧的清晰圖象的一般調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)際上也可以由不熟練的操作者非常簡(jiǎn)單地檢查和實(shí)現(xiàn)最大總光照功率的調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)。
適合于自動(dòng)進(jìn)行燈調(diào)節(jié)的顯微鏡優(yōu)選在沒(méi)有光束均化器的照明光路中包括電動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器以及分析和控制計(jì)算器，所述驅(qū)動(dòng)器相對(duì)于照明光路調(diào)節(jié)所述燈。分析和控制計(jì)算器控制電動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器以便依次進(jìn)行燈的調(diào)節(jié)，直到設(shè)置在照明光路光瞳平面或顯微鏡物鏡后面的檢測(cè)器測(cè)到最大總光照功率為止。
可以將檢測(cè)光照功率的檢測(cè)器一體地設(shè)置在照明光路中。在這種情況下，優(yōu)選的是，在顯微鏡的載物臺(tái)上設(shè)置反射區(qū)和由檢測(cè)器檢測(cè)從反射區(qū)反射的光。另外的方案是，也可以設(shè)置一部分照明光反射到檢測(cè)器上。
此外，還可以在顯微鏡載物臺(tái)上或多或少敞開(kāi)地設(shè)置測(cè)量光照功率的檢測(cè)器。這種實(shí)施形式特別適合于重新裝備已有的顯微鏡以及在現(xiàn)有顯微鏡系列內(nèi)采用本發(fā)明。
作為檢測(cè)器可以使用單個(gè)二極管、四象限二極管或CCD攝像器。在使用四象限二極管或CCD傳感器的情況下，用單個(gè)傳感器部件或傳感器區(qū)域檢測(cè)出的光照功率在檢測(cè)器輸出端進(jìn)行面積積分。例如在無(wú)論如何也設(shè)置有適合圖象記錄的CCD攝像器的反射照明顯微鏡中，當(dāng)然要特別考慮使用CCD傳感器或CCD攝像器。
為了應(yīng)用本發(fā)明，可以在三個(gè)彼此正交的空間方向上相對(duì)于照明光路調(diào)節(jié)所述燈，還可以僅在兩個(gè)彼此垂直的空間方向上調(diào)節(jié)所述燈，并且使得設(shè)在光路中的聚光元件可沿其余的照明光路的光軸移動(dòng)。
為了找到最大光照功率，優(yōu)選采用梯度法。在這種梯度法中，以輸出位置為出發(fā)點(diǎn)，得出與燈相對(duì)于照明光路的位置變化和/或燈和聚光元件相對(duì)于照明光路的位置變化相關(guān)的光照功率最大梯度，然后，將照明光路中的燈和/或聚光元件調(diào)整到光照功率的最大梯度的方向。


下面將結(jié)合附圖中描述的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的細(xì)節(jié)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。在附圖中圖1是帶有與載物臺(tái)成一體的檢測(cè)器的反射照明顯微鏡的剖面圖；圖2是在顯微鏡中執(zhí)行自動(dòng)調(diào)燈程序步驟的流程圖；圖3是在梯度法中執(zhí)行尋找最大光照功率的程序步驟的流程圖；圖4是在照明光路中一體地設(shè)置檢測(cè)器的顯微鏡的剖面圖。
具體實(shí)施例方式
在圖1中，在容納照明光路的顯微鏡支架上部標(biāo)以參考標(biāo)記(1)。在顯微鏡上以公知的方式設(shè)置用于聚焦的且高度可調(diào)的載物臺(tái)(2)。此外，在顯微鏡上還以公知方式設(shè)置了放有物鏡(4)的物鏡旋轉(zhuǎn)臺(tái)(3)，在圖1中僅示出了一個(gè)物鏡。
在圖1的顯微鏡中，反射照明光路中主要設(shè)有用于調(diào)節(jié)科勒氏照明條件的普通部件。作為光源可以使用鹵燈或氣體放電燈(5)。從燈(5)發(fā)出的光由聚光元件(9)和可能的話還結(jié)合聚光鏡(17)進(jìn)行準(zhǔn)直，所述聚光鏡(17)會(huì)聚向后面照射的光并使光反射回?zé)?5)。在準(zhǔn)直光路的區(qū)域內(nèi)，設(shè)置一個(gè)開(kāi)口直徑可調(diào)的視場(chǎng)光闌(10)，所述視場(chǎng)光闌與顯微鏡物鏡(4)的焦點(diǎn)平面共軛設(shè)置。視場(chǎng)光闌(10)后面設(shè)置的透鏡(11)使視場(chǎng)光闌(10)的成像在無(wú)窮遠(yuǎn)處。在透鏡(11)的焦點(diǎn)平面上，設(shè)置第二開(kāi)口直徑可調(diào)的光闌(12)，該光闌可調(diào)節(jié)照射孔。該孔徑光闌(12)可通過(guò)后面設(shè)置的透鏡(13)在無(wú)窮遠(yuǎn)處成像，并且在通過(guò)分束器(14)將光入射到觀測(cè)光路中之后，所述光通過(guò)照明光路和觀測(cè)光路的共用部件中的鏡筒透鏡(15)射到顯微鏡物鏡(4)的出射光瞳(18)。
在顯微鏡的載物臺(tái)(2)上一體地設(shè)置作為檢測(cè)器的大結(jié)型二極管(16)，借助該二極管可檢測(cè)由顯微鏡物鏡(4)聚焦的總發(fā)光強(qiáng)度。二極管(16)可以由簡(jiǎn)單的大結(jié)型二極管構(gòu)成。然而，特別優(yōu)選的是用四象限二極管構(gòu)成二極管(16)。在后一種情況下，二極管(16)可以同時(shí)起校準(zhǔn)載物臺(tái)的作用，其中把由四象限二極管構(gòu)成的坐標(biāo)系的中點(diǎn)作為參考點(diǎn)、即載物臺(tái)X-Y方向調(diào)節(jié)的零點(diǎn)來(lái)使用。
這里，二極管(16)的光敏表面直徑(在象限二極管中，四個(gè)象限共有的直徑)至少要與物鏡(4)的焦點(diǎn)平面內(nèi)照射區(qū)的直徑一樣大。
為了實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)燈，通過(guò)兩個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器(6，7)可在兩個(gè)垂直于照明光路光軸(19)的方向上調(diào)節(jié)燈(5)的燈座(8)。通過(guò)另一個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器(20)可沿光軸(19)的方向移動(dòng)聚光透鏡(9)。另外可選地，就燈(5)的移動(dòng)或是聚光透鏡(9)的移動(dòng)而言，還可以通過(guò)三個(gè)相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器使燈(5)沿三個(gè)彼此垂直的空間方向移動(dòng)，但這相應(yīng)地需要昂貴的機(jī)械結(jié)構(gòu)，因?yàn)檫@要求具備沿三個(gè)彼此垂直的空間方向相互能獨(dú)立調(diào)節(jié)的自由度。
燈(5)的調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)器(6，7)和聚光透鏡(9)的調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)器(20)通過(guò)接口(21)受控制計(jì)算機(jī)(22)的控制。通過(guò)同一接口(21)還可以將二極管(16)的輸出信號(hào)送入控制計(jì)算機(jī)(22)。
下面將結(jié)合附圖2詳細(xì)說(shuō)明自動(dòng)調(diào)燈時(shí)經(jīng)歷的方法步驟。調(diào)節(jié)過(guò)程從啟動(dòng)步驟(30)開(kāi)始，例如可以通過(guò)以下方式完成，即，用戶通過(guò)操作面確認(rèn)已完成的燈的更換。在隨后的初始化步驟(31)中，載物臺(tái)(2)沿顯微鏡物鏡(4)的光軸方向和沿垂直于所述光軸的兩個(gè)方向移動(dòng)，使得二極管(16)位于顯微鏡物鏡(4)的下方，由此可以檢測(cè)顯微鏡物鏡(4)聚集的總光照功率。只要顯微鏡帶有電動(dòng)的聚焦驅(qū)動(dòng)器和電動(dòng)的X-Y工作臺(tái)，就可以自然地自動(dòng)實(shí)現(xiàn)初始化。在這種情況下，控制和分析計(jì)算機(jī)(22)相應(yīng)地控制用于聚焦的電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和載物臺(tái)的橫向位置。如果不設(shè)置聚焦用的電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和X-Y工作臺(tái)，用戶將通過(guò)操作面獲得指示，以相應(yīng)地調(diào)節(jié)載物臺(tái)使得二極管(16)直接位于物鏡(4)下方。
在隨后的兩個(gè)步驟(32，33)中，進(jìn)行變量賦值，其中將變量“新位置”的值賦予變量“舊位置”，將變量“位置a”的值賦予變量“新位置”。為了程序的第一次運(yùn)行，對(duì)于初始化步驟(31)中的這些變量使用固定的給定值。在后面的步驟(34)中，控制燈的驅(qū)動(dòng)器(6，7)和聚光透鏡的驅(qū)動(dòng)器(20)，使得驅(qū)動(dòng)器取的是變量“新位置”的值。接著，用二極管(16)進(jìn)行光照功率測(cè)量并且讀出測(cè)得的光照功率，隨后在步驟(35)中進(jìn)行另一次變量賦值，其中，將測(cè)得的光照功率值賦予變量“新位置的光照功率”。在下面的步驟(36)中，判斷詢問(wèn)同樣在初始化步驟中賦予了值的變量“舊位置的光照功率”的值是否小于變量“新位置的光照功率”的值。如果問(wèn)題的答案是否定的，那么，在步驟(37)中，賦予變量“實(shí)際步寬”的值將是變量“遞減”的值，而在后面的步驟(38)中將變量“舊位置的光照功率”的值賦予變量“新位置的光照功率”。在后面的步驟(39)中，計(jì)算變量“位置a”的值，該值為變量“舊位置”同變量“實(shí)際步寬”的值和變量“光照功率導(dǎo)數(shù)”的值之積的和。在后面的判斷步驟(40)中需檢查，變量“實(shí)際步寬”的值是否大于給定的極限值。如果問(wèn)題的答案是肯定的，則使具有新值的程序跳回到上述步驟(32)，從而重新進(jìn)行下面的步驟。相反地，如果步驟(40)中的答案是否定的，則結(jié)束程序。
如果在上述步驟(36)中查詢變量“舊位置的光照功率”的值是否小于或等于變量“新位置的光照功率”的值時(shí)，其結(jié)果為肯定的話，則在步驟(41)中將變量“遞增”的值賦予變量“實(shí)際步寬”，并在后面的步驟(42)中測(cè)量光照功率的梯度。有關(guān)光照功率梯度測(cè)量的細(xì)節(jié)在下面將結(jié)合附圖3中的流程圖詳細(xì)說(shuō)明。在光照功率梯度測(cè)量之后，將測(cè)得的梯度值賦予變量“光照功率導(dǎo)數(shù)”，在后面的步驟(43)中，把變量“新位置”同變量“實(shí)際步寬”和光照功率導(dǎo)數(shù)的積之和的值賦予“位置a”。此后，程序經(jīng)過(guò)分支進(jìn)入查詢步驟(40)，在此查詢變量“實(shí)際步寬”的值是否大于極限值，并且在答案為否定的情況下結(jié)束程序，而在答案為肯定的情況時(shí)，應(yīng)在這種情況下使程序返回到初始化步驟(31)后面的步驟(32)。
下面將結(jié)合附圖3詳細(xì)說(shuō)明確定光照功率梯度的方法。在兩個(gè)開(kāi)始的賦值步驟中，把變量“光照功率”的值賦予變量“實(shí)際光照功率”并將變量“新位置”的值賦予變量“實(shí)際位置”。所述變量的值或者從圖2所示的流程圖中得到，或者在圖2所示的初始化步驟(31)中確定。在兩個(gè)另外的初始化步驟(53，54)中，確定變址變量的值(i)和(N)。此后，使每個(gè)燈驅(qū)動(dòng)器(6，7)或聚光透鏡的驅(qū)動(dòng)器(20)依次移動(dòng)預(yù)定的增量di，并在步驟(55)中測(cè)量射入二極管(16)的光照功率。在下面的步驟(56)中，測(cè)量光照功率的變化，亦即計(jì)算變量“光照功率”和變量“實(shí)際光照功率”的差。這些步驟對(duì)所有三個(gè)驅(qū)動(dòng)器都是單獨(dú)的，并依次完成。當(dāng)出現(xiàn)用于控制所有三個(gè)驅(qū)動(dòng)器的光照功率差值之后，在步驟(37)中計(jì)算光照功率梯度，即，計(jì)算變量“光照功率導(dǎo)數(shù)”值的矢量量值。在后面的步聚(39)和(43)中，用這樣算出的矢量量值“光照功率導(dǎo)數(shù)”的值計(jì)算新的需控制的位置“位置a”。
圖4中示出了本發(fā)明所述采用透光照明的顯微鏡。在圖4所示實(shí)施例中將用比圖1中大100的參考標(biāo)記表示與圖1所示實(shí)施例所用部件相應(yīng)的部件。從燈(105)射出的光由聚光透鏡(109)和聚光鏡(117)進(jìn)行準(zhǔn)直。在聚光透鏡(109)后設(shè)置開(kāi)口直徑可變的光闌(110)，該光闌與后面的光學(xué)元件相對(duì)于物鏡(104)的焦點(diǎn)平面共軛設(shè)置并且起調(diào)節(jié)照明場(chǎng)的作用。在視場(chǎng)光闌(110)后面設(shè)置的透鏡(111)在孔徑光闌(112)的平面內(nèi)形成燈(105)的光源圖像。同時(shí)透鏡(111)使視場(chǎng)光闌(110)趨向無(wú)窮遠(yuǎn)。在偏轉(zhuǎn)鏡(114)后面設(shè)置另外兩個(gè)透鏡(113，115)，它們一起一方面使孔徑光闌(112)的平面形成在與載物臺(tái)(102)成一體的透射聚光鏡(125)的后焦點(diǎn)平面，同時(shí)又使視場(chǎng)光闌(110)趨向無(wú)窮遠(yuǎn)。通過(guò)調(diào)節(jié)視場(chǎng)光闌(110)和孔徑光闌(112)的開(kāi)口直徑，還可以在該實(shí)施例中以公知的方式調(diào)節(jié)所謂的科勒氏照明。
為了測(cè)量照明光路內(nèi)總的光照功率，在孔徑光闌(112)的后面設(shè)置半透鏡(123)，通過(guò)半透鏡可以輸出耦合較少部分照明光，并且使光通過(guò)后面的透鏡(124)聚焦到與顯微鏡座成一體的二極管(116)上。
同樣在該實(shí)施例中，可沿兩個(gè)互相垂直的方向且同時(shí)垂直于光軸(119)電動(dòng)地調(diào)節(jié)燈(105)，為此，設(shè)置了電動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器(106，107)。此外，還是在該實(shí)施例中，可通過(guò)電動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器(120)沿光軸(119)的方向調(diào)節(jié)聚光透鏡(109)，進(jìn)而調(diào)節(jié)照明。通過(guò)控制計(jì)算機(jī)(122)實(shí)現(xiàn)對(duì)調(diào)節(jié)燈(105)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(106，107)的控制和對(duì)軸向移動(dòng)聚光透鏡(109)的驅(qū)動(dòng)器(120)的控制，以及對(duì)設(shè)在顯微鏡架上的接口(121)的控制，其中通過(guò)該接口可以將二極管(116)的輸出信號(hào)送入控制計(jì)算機(jī)(122)。
在圖4所示具有與照明光路一體的二極管(116)的實(shí)施例中，以上結(jié)合附圖2和3所述的方法對(duì)調(diào)節(jié)燈(105)具有如下意義，孔徑光闌(112)的位置相對(duì)于聚光鏡(125)入射光瞳的位置是共軛的，而且考慮到通過(guò)兩個(gè)透鏡(113，115)起到的放大或縮小作用，所述孔徑光闌的開(kāi)口直徑將對(duì)應(yīng)于聚光鏡(125)的光瞳直徑。雖然該要求在圖1所示實(shí)施例中未提出，但是在此需要的是，使二極管(116)的光敏區(qū)直徑大于或等于由物鏡(4)照亮的光場(chǎng)的直徑。
上述本發(fā)明的方法實(shí)際上不僅可以用來(lái)相對(duì)于照明光路調(diào)節(jié)燈(5，105)，而且還可以在初調(diào)時(shí)，相對(duì)于聚光器(9，109)調(diào)節(jié)聚光鏡(17，117)。為此可以交替地把燈和凹面鏡調(diào)節(jié)到逐步逼近二極管(16，116)的最大功率。在對(duì)聚光鏡進(jìn)行粗調(diào)后，需要進(jìn)行大約3-4次逼近，以便實(shí)現(xiàn)最佳調(diào)節(jié)。然后，在更換燈時(shí)，只需垂直于光軸調(diào)節(jié)燈和沿光軸方向調(diào)節(jié)聚光透鏡(9，109)。后來(lái)在更換燈時(shí)，不需要調(diào)節(jié)聚光鏡(17，117)。
以上結(jié)合梯度法描述了本發(fā)明的方法，所述梯度法可用于確定具有最大光照功率的燈的位置。梯度法所具備的優(yōu)點(diǎn)是，一方面可比較簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)，另一方面只需較少的逼近步驟便可實(shí)現(xiàn)最佳調(diào)節(jié)。除了梯度法，還可以考慮其他算法，例如，依次控制每個(gè)驅(qū)動(dòng)器，直到每個(gè)方向上的運(yùn)動(dòng)達(dá)到最大光照功率為止，而且這些步驟可以多次相繼地重復(fù)進(jìn)行，直到檢測(cè)的光照功率達(dá)到絕對(duì)最大值為止。
權(quán)利要求
1.相對(duì)于顯微鏡的照明光路(19，119)調(diào)節(jié)燈(5，105)的方法，所述顯微鏡的照明光路中沒(méi)有光束均化器，其中用二極管(16，116)測(cè)量顯微鏡物鏡的光瞳平面(18)后面或照明光路的光瞳平面(112)后面的總光照功率，并且相對(duì)于照明光路(19，119)調(diào)節(jié)燈體(105，115)，使得由檢測(cè)器檢測(cè)的光照功率最大。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中通過(guò)電動(dòng)的軟件控制實(shí)現(xiàn)對(duì)燈的調(diào)節(jié)。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中由分析計(jì)算機(jī)(22，122)控制使燈移動(dòng)的電機(jī)(6，7，20；106，107，120)，直到檢測(cè)器(16，116)檢測(cè)的光照功率達(dá)到最大時(shí)為止。
4. 如權(quán)利要求3所述的方法，其中為尋找光照功率的最大值采用的是梯度法。
5.顯微鏡，其帶有沒(méi)有光束均化器的照明光路(19，119)，相對(duì)于照明光路調(diào)節(jié)燈(5，105)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)器(6，7，20；106，107，120)，并且還帶有分析和控制計(jì)算機(jī)(22，122)，該計(jì)算機(jī)依次控制電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，直到利用設(shè)在照明光路和顯微鏡物鏡的光瞳平面后面的檢測(cè)器(16，116)測(cè)到最大光照功率為止。
6.如權(quán)利要求5所述的顯微鏡，其中設(shè)有載物臺(tái)(2)和與載物臺(tái)(2)成一體的檢測(cè)器(16)。
7.如權(quán)利要求5所述的顯微鏡，其中檢測(cè)器(116)與照明光路成一體。
8.如權(quán)利要求5-7之一所述的顯微鏡，其中設(shè)有在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下可沿光軸(19，119)移動(dòng)的聚光元件(9，109)。
9.如權(quán)利要求5-8之一所述的顯微鏡，其中尋找最大光照功率的分析計(jì)算機(jī)(22，122)采用了梯度法，其中從輸出位置開(kāi)始查找與燈和/或聚光元件位置變化有關(guān)的最大光照功率梯度，而且，沿總光照功率的最大梯度方向調(diào)節(jié)燈(5，105)和/或聚光元件(9，109)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種在顯微鏡中自動(dòng)調(diào)燈的方法,所述顯微鏡的照明光路中沒(méi)有光束均化器,本發(fā)明還涉及為使用該方法而設(shè)置的顯微鏡。根據(jù)本發(fā)明,用檢測(cè)器總體地測(cè)量顯微鏡物鏡的光瞳平面后面或照明光路的光瞳平面后面的光照功率,并且相對(duì)于照明光路調(diào)節(jié)所述燈,使得由檢測(cè)器檢測(cè)的光照功率最大。在顯微鏡中,根據(jù)本發(fā)明所述方法,為了自動(dòng)調(diào)燈,例如在更換燈之后自動(dòng)調(diào)燈,而設(shè)置了用于調(diào)節(jié)燈的電機(jī)驅(qū)動(dòng)器,所述驅(qū)動(dòng)器由分析和控制計(jì)算機(jī)依次控制,直到用檢測(cè)器測(cè)出最大光照功率為止。
文檔編號(hào)G02B21/06GK1385729SQ02124659
公開(kāi)日2002年12月18日 申請(qǐng)日期2002年3月3日 優(yōu)先權(quán)日2001年3月3日
發(fā)明者P·奧特 申請(qǐng)人:卡爾蔡斯半導(dǎo)體制造技術(shù)股份公司