顯微鏡照明裝置以及顯微鏡的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種顯微鏡照明裝置以及顯微鏡,能夠降低制造成本并能夠低成本地在較廣的觀察倍率范圍內(nèi)進(jìn)行良好的照明。顯微鏡照明裝置(10)具備射出照明光的光源(11)、使照明光向樣本(SP)照射的聚光透鏡(15)以及配置在光源(11)與聚光透鏡(15)之間的集光鏡(12)。集光鏡(12)具有將從光源(11)上的一點射出的光變換為收斂光束的正焦度。集光鏡(12)由具有正焦度的兩片透鏡(透鏡(13)、透鏡(14))構(gòu)成,在透鏡面(S1)與透鏡面(S4)之間具有集光鏡(12)的后側(cè)焦點位置。
【專利說明】
顯微鏡照明裝置以及顯微鏡
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種在顯微鏡中采用的照明裝置(以后記為顯微鏡照明裝置)以及顯微鏡。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯微鏡照明裝置所包括的光學(xué)系統(tǒng)中包括將從光源射出的光取入到光學(xué)系統(tǒng)的集光鏡。集光鏡一般具有復(fù)雜的形狀,因此很難抑制制造成本。這成為妨礙顯微鏡照明裝置的制造成本降低的一個主要因素。與顯微鏡照明裝置關(guān)聯(lián)的技術(shù)例如記載在專利文獻(xiàn)I中。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2011-209441號公報
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]發(fā)明要解決的問題
[0005]根據(jù)專利文獻(xiàn)I所記載的技術(shù),不需要對集光鏡的透鏡面實施耐熱處理,因此能夠降低照明裝置的制造成本。但是,該技術(shù)并不是降低集光鏡自身的制造成本。因此,尋求一種通過降低集光鏡自身的制造成本來進(jìn)一步降低照明裝置的制造成本的技術(shù)。
[0006]另一方面,顯微鏡所要求的照明性能根據(jù)觀察倍率而不同。為了在從低倍到高倍的較廣的觀察倍率范圍內(nèi)實現(xiàn)良好的觀察,而顯微鏡照明裝置中包括的集光鏡的作用是非常重要的。
[0007]基于以上那樣的實際情況,本發(fā)明的目的在于提供一種能夠降低制造成本并能夠低成本地在較廣的觀察倍率范圍內(nèi)進(jìn)行良好的照明的顯微鏡照明裝置以及顯微鏡。
[0008]用于解決問題的方案
[0009]本發(fā)明的第一方式提供一種顯微鏡照明裝置,具備:光源,其射出照明光;聚光透鏡,其使所述照明光向樣本照射;以及集光鏡,其被配置在所述光源與所述聚光透鏡之間,由分別具有正焦度的兩片透鏡構(gòu)成,其中,所述集光鏡在所述集光鏡的最接近所述光源的透鏡面與所述集光鏡的最接近所述聚光透鏡的透鏡面之間具有該集光鏡的后側(cè)焦點位置。
[0010]本發(fā)明的第二方式提供一種顯微鏡照明裝置,在第一方式所記載的顯微鏡照明裝置中,在將所述集光鏡的最接近所述光源的透鏡面與所述集光鏡的后側(cè)焦點位置之間的距離設(shè)為FB、將所述集光鏡的焦距設(shè)為F時,滿足以下的條件式。
[0011]0<FB/F <0.3
[0012]本發(fā)明的第三方式提供一種顯微鏡照明裝置,在第一方式所記載的顯微鏡照明裝置中,在所述集光鏡的最接近所述光源的透鏡面與所述集光鏡的后側(cè)焦點位置之間還具備用于使所述照明光擴(kuò)散的光擴(kuò)散單元。
[0013]本發(fā)明的第四方式提供一種顯微鏡照明裝置,在第三方式所記載的顯微鏡照明裝置中,所述光擴(kuò)散單元是形成于所述集光鏡的透鏡面的光擴(kuò)散圖案。
[0014]本發(fā)明的第五方式提供一種顯微鏡照明裝置,在第一方式所記載的顯微鏡照明裝置中,所述集光鏡具有將從所述光源上的一點射出的光變換為收斂光束的正焦度。
[0015]本發(fā)明的第六方式提供一種顯微鏡照明裝置,在第一方式至第五方式中的任一方式所記載的顯微鏡照明裝置中,所述兩片透鏡中的至少一方是菲涅爾透鏡。
[0016]本發(fā)明的第七方式提供一種顯微鏡照明裝置,在第六方式所記載的顯微鏡照明裝置中,所述兩片透鏡中的接近所述光源的透鏡是使形成有菲涅爾圖案的透鏡面朝向所述光源側(cè)的菲涅爾透鏡。
[0017]本發(fā)明的第八方式提供一種顯微鏡照明裝置,在第六方式所記載的顯微鏡照明裝置中,所述兩片透鏡中的接近所述聚光透鏡的透鏡是使形成有菲涅爾圖案的透鏡面朝向所述聚光透鏡側(cè)的菲涅爾透鏡。
[0018]本發(fā)明的第九方式提供一種顯微鏡照明裝置,在第六方式所記載的顯微鏡照明裝置中,所述菲涅爾透鏡的形成有菲涅爾圖案的透鏡面具有將非球面形狀變換為所述菲涅爾圖案而得到的形狀。
[0019]本發(fā)明的第十方式提供一種具備第一方式所記載的顯微鏡照明裝置的顯微鏡。
[0020]發(fā)明的效果
[0021 ]根據(jù)本發(fā)明,能夠提供一種能夠降低制造成本并能夠低成本地在較廣的觀察倍率范圍內(nèi)進(jìn)行良好的照明的顯微鏡照明裝置以及顯微鏡。
【附圖說明】
[0022]圖1是表示實施例1所涉及的顯微鏡I的結(jié)構(gòu)的圖。
[0023]圖2是表示實施例1所涉及的顯微鏡照明裝置10的結(jié)構(gòu)的圖。
[0024]圖3是用于說明集光鏡12的作用的圖。
[0025]圖4是用于說明使兩片透鏡的間隔變寬的集光鏡12a的圖。
[0026]圖5是表示實施例2所涉及的顯微鏡照明裝置30的結(jié)構(gòu)的圖。
[0027]圖6是表示實施例3所涉及的顯微鏡照明裝置40的結(jié)構(gòu)的圖。
[0028]圖7是表示實施例4所涉及的顯微鏡照明裝置50的結(jié)構(gòu)的圖。
[0029]圖8是表示實施例5所涉及的顯微鏡照明裝置60的結(jié)構(gòu)的圖。
【具體實施方式】
[0030][實施例1]
[0031]圖1是表示本實施例所涉及的顯微鏡I的結(jié)構(gòu)的圖。如圖1所示,顯微鏡I具備用于配置樣本SP的臺2、鏡臺3、支承臺2的鏡柱4、顯微鏡照明裝置10以及包括物鏡21和目鏡22的觀察光學(xué)系統(tǒng)20。
[0032]顯微鏡照明裝置10配置在臺2的下方,觀察光學(xué)系統(tǒng)20配置在臺2的上方。即,顯微鏡I是通過觀察光學(xué)系統(tǒng)20從上方對由作為透射照明單元的顯微鏡照明裝置10所照明的樣本SP進(jìn)行觀察的正立顯微鏡。
[0033]圖2是表示本實施例所涉及的顯微鏡照明裝置10的結(jié)構(gòu)的圖。如圖2所示,顯微鏡照明裝置10具備射出照明光的光源11、使照明光向樣本SP照射的聚光透鏡15、配置在光源11與聚光透鏡15之間的集光鏡12以及開口光圈16。
[0034]光源11例如是鹵素?zé)簟㈡u燈、汞燈、氙氣燈、LED等。
[0035]集光鏡12由兩片具有正焦度的透鏡(具有透鏡面SI和透鏡面S2的透鏡13、具有透鏡面S3和透鏡面S4的透鏡14)構(gòu)成,整體如圖3所示那樣具有將從光源11上的一點射出的光變換為收斂光束并會聚于點Pl那樣的正焦度。此外,在采用了柯勒照明的一般的照明裝置中,通常情況是集光鏡將從光源上的一點射出的光變換為平行光束并由配置在集光鏡與聚光透鏡之間的場鏡將從集光鏡射出的平行光束變換為收斂光束。
[0036]集光鏡12在集光鏡12的最接近光源11的透鏡面(透鏡面SI)與集光鏡12的最接近樣本SP的透鏡面(透鏡面S4)之間具有集光鏡12的后側(cè)焦點位置PBF。此外,在本說明書中,關(guān)于顯微鏡照明裝置10,將樣本SP側(cè)定義為前側(cè),將光源11側(cè)定義為后側(cè)。另外,后側(cè)焦點位置Pbf是從樣本SP側(cè)入射的與光軸AX平行且光線高不同的光線相交的位置。
[0037]根據(jù)如以上那樣構(gòu)成的顯微鏡照明裝置10以及顯微鏡I,能夠降低制造成本,能夠低成本地在較廣的觀察倍率范圍內(nèi)進(jìn)行良好的照明。以下,詳細(xì)地說明這一點。
[0038]在圖2的(a)中與顯微鏡照明裝置10的結(jié)構(gòu)要素一起繪制有從樣本SP向光源11追蹤、且影響低倍率下的觀察的、比較小的數(shù)值孔徑的光線。在低倍率下的觀察中觀察區(qū)域廣,因此對顯微鏡照明裝置10要求抑制照明不均的同時對較廣的區(qū)域進(jìn)行照明的性能。一般地,光源11的亮度從中心越趨向周邊則越低,從光源11的出射角度越大則出射光量越低。因此,為了在低倍率下的觀察中抑制照明不均的影響,期望光學(xué)系統(tǒng)被設(shè)計成從樣本SP的觀察區(qū)域內(nèi)的各點向光源11追蹤的光線以較小的角度入射至光源11的大致中心。
[0039]顯微鏡照明裝置10如上述那樣具有由兩片透鏡構(gòu)成的集光鏡12。因此,在從樣本SP向光源11追蹤光線的情況下,如圖2的(a)所示,不僅是樣本SP的軸上的光線,軸外的光線也能夠以較小的入射角入射至光源11的中心附近。因而,能夠抑制照明不均來對樣本SP的較廣的區(qū)域進(jìn)行照明。
[0040]另外,顯微鏡照明裝置10通過將集光鏡12設(shè)為兩片結(jié)構(gòu),與一片結(jié)構(gòu)的情況相比,還能夠減輕集光鏡12的透鏡形狀的復(fù)雜度。因此,能夠降低集光鏡12的制造成本、甚至是顯微鏡照明裝置10的制造成本。
[0041]在圖2的(b)中與顯微鏡照明裝置1的結(jié)構(gòu)要素一起繪制有從樣本SP向光源11追蹤、且影響高倍率下的觀察的、比較高的數(shù)值孔徑的光線。在高倍率下的觀察中,存在觀察區(qū)域窄而光量相應(yīng)地不足的傾向,因此要求更高的數(shù)值孔徑。此外,在圖2的(b)中僅記載了從軸上追蹤的光線。
[0042]顯微鏡照明裝置10如上述那樣在透鏡面SI與透鏡面S4(在本實施例中,為構(gòu)成集光鏡12的兩片透鏡)之間具有集光鏡12的后側(cè)焦點位置Pbf。因此,在從樣本SP向光源11追蹤光線的情況下,如圖2的(b)所示那樣具有高的數(shù)值孔徑的光線在經(jīng)過后側(cè)焦點位置PBF2后,通過具有正焦度的透鏡13朝向內(nèi)折射而入射至光源11。即,在顯微鏡照明裝置10中,在不存在透鏡13的情況下無法入射至光源11的光線由于透鏡13的存在而入射至光源11,因此能夠?qū)崿F(xiàn)高的數(shù)值孔徑。
[0043]此外,為了實現(xiàn)更高的數(shù)值孔徑,期望顯微鏡照明裝置10滿足以下的條件式。其中,F(xiàn)B為集光鏡12的最接近光源11的透鏡面(透鏡面SI)與集光鏡12的后側(cè)焦點位置Pbf之間的距離,F(xiàn)為集光鏡12的焦距。此外,后側(cè)焦點位置Pbf如上述那樣位于透鏡13與透鏡14之間。
[0044]0<FB/F <0.3...(I)
[0045]條件式(I)是表示后側(cè)焦點位置Pbf應(yīng)該位于透鏡面SI與透鏡面S4之間的哪里的條件式。當(dāng)FB/F變大到超過條件式(I)的上限值、即后側(cè)焦點位置Pbf離透鏡面SI過遠(yuǎn)時,如圖4所示,高的數(shù)值孔徑的光線入射至透鏡13時的光線高度變得過高。因此,即使通過透鏡13使光線朝向內(nèi)折射,也無法使光線入射至光源11內(nèi),因此難以獲得更高的數(shù)值孔徑。此外,在圖4中示出了具備與集光鏡12相比使兩片透鏡(透鏡13、透鏡14)的間隔變寬的集光鏡12a的例子。
[0046][實施例2]
[0047]圖5是表示實施例2所涉及的顯微鏡照明裝置30的結(jié)構(gòu)的圖。顯微鏡照明裝置30與實施例1所涉及的顯微鏡照明裝置10的不同點在于具備擴(kuò)散元件31。其它的點與顯微鏡照明裝置10相同,因此對相同的結(jié)構(gòu)要素附加相同的附圖標(biāo)記并省略說明。另外,本實施例所涉及的顯微鏡與實施例1所涉及的顯微鏡I的不同點在于具備顯微鏡照明裝置30來代替顯微鏡照明裝置10。
[0048]擴(kuò)散元件31是使照明光擴(kuò)散的光擴(kuò)散單元,例如是合成石英玻璃(frost)型擴(kuò)散板、乳白玻璃(opal)型擴(kuò)散板、腐蝕型擴(kuò)散板。擴(kuò)散元件31被設(shè)置在集光鏡12的最接近光源11的透鏡面(透鏡面SI)與集光鏡12的后側(cè)焦點位置Pbf之間。
[0049 ]以下,詳細(xì)地說明擴(kuò)散元件31的作用。
[0050]從光源11射出并經(jīng)由透鏡13入射至擴(kuò)散元件31的光通過擴(kuò)散元件31擴(kuò)散而向各個方向射出。因此,在顯微鏡照明裝置30中,能夠視為光源存在于擴(kuò)散元件31的位置。即,擴(kuò)散元件31作為模擬光源而發(fā)揮功能。
[0051 ]在實施例1中,如上所述,在從樣本SP向光源11追蹤光線的情況下,數(shù)值孔徑越高的光線,入射至光源11所處的面時的光線高度越高。因此,導(dǎo)致超過規(guī)定的數(shù)值孔徑的光線從光源11偏離。這成為限制數(shù)值孔徑的主要原因。然而,將擴(kuò)散元件31設(shè)置在透鏡面SI與集光鏡12的后側(cè)焦點位置Pbf之間,由此在不存在擴(kuò)散元件31的情況下不能入射至光源11的光線也能夠入射至作為模擬光源的擴(kuò)散元件31。即,由于擴(kuò)散元件31的作用,能夠使光線入射至光源11。因此,能夠?qū)崿F(xiàn)更高的數(shù)值孔徑。
[0052]根據(jù)本實施例所涉及的顯微鏡照明裝置30,與顯微鏡照明裝置10相比,能夠?qū)崿F(xiàn)更高的數(shù)值孔徑。另外,顯微鏡照明裝置30也是由兩片透鏡構(gòu)成集光鏡12,因此與顯微鏡照明裝置10同樣地,能夠抑制照明不均地對樣本SP的較廣的區(qū)域進(jìn)行照明并且降低集光鏡12的制造成本。
[0053]此外,在顯微鏡照明裝置30中,擴(kuò)散元件31被配置在透鏡面SI與后側(cè)焦點位置Pbf之間,但是只要配置在透鏡面SI與透鏡面S3之間即可,例如,擴(kuò)散元件31也可以配置在后側(cè)焦點位置Pbf。但是,通過將擴(kuò)散元件31設(shè)置在透鏡面SI與后側(cè)焦點位置Pbf之間,能夠與將擴(kuò)散元件31設(shè)置在后側(cè)焦點位置Pbf的情況相比,將通過擴(kuò)散元件31擴(kuò)散的照明光更多地引導(dǎo)至樣本SP。因此,能夠改善照明效率來更亮地對樣本SP進(jìn)行照明。因而,期望將擴(kuò)散元件31配置在透鏡面SI與后側(cè)焦點位置Pbf之間。另外,顯微鏡照明裝置30也與顯微鏡照明裝置10同樣地期望滿足條件式(I)以實現(xiàn)更高的數(shù)值孔徑。
[0054][實施例3]
[0055]圖6是表示實施例3所涉及的顯微鏡照明裝置40的結(jié)構(gòu)的圖。顯微鏡照明裝置40與實施例1所涉及的顯微鏡照明裝置10的不同點在于具備集光鏡42來代替集光鏡12。其它的點與顯微鏡照明裝置10相同,因此對相同的結(jié)構(gòu)要素附加相同的附圖標(biāo)記并省略說明。另夕卜,本實施例所涉及的顯微鏡與實施例1所涉及的顯微鏡I的不同點在于具備顯微鏡照明裝置40來代替顯微鏡照明裝置10。
[0056]集光鏡42的由兩片具有正焦度的透鏡構(gòu)成且整體具有將從光源11上的一點射出的光變換為收斂光束那樣的正焦度的點與集光鏡12相同。另外,集光鏡42的在透鏡面SI與透鏡面S4之間具有集光鏡42的后側(cè)焦點位置Pbf的點也與集光鏡12相同。
[0057]集光鏡42與集光鏡12的不同點在于包括在透鏡面S2形成有光擴(kuò)散圖案的透鏡43來代替透鏡13。形成于透鏡面S2的光擴(kuò)散圖案是使照明光擴(kuò)散的光擴(kuò)散單元,與實施例2所涉及的顯微鏡照明裝置30的擴(kuò)散元件31同樣地發(fā)揮作用。
[0058]根據(jù)顯微鏡照明裝置40,與顯微鏡照明裝置30同樣地,能夠與顯微鏡照明裝置10相比實現(xiàn)更高的數(shù)值孔徑。另外,在顯微鏡照明裝置40中,形成于透鏡面S2的擴(kuò)散圖案作為光擴(kuò)散單元而發(fā)揮功能,因此能夠省略擴(kuò)散元件31。因此,部件件數(shù)少,從而能夠以更低的成本獲得與顯微鏡照明裝置30同樣的效果。另外,與顯微鏡照明裝置30相比反射面數(shù)少,因此反射面上的光量損失變少,能夠進(jìn)行更亮的照明。并且,顯微鏡照明裝置40也是由兩片透鏡構(gòu)成集光鏡42,因此,與顯微鏡照明裝置10和顯微鏡照明裝置30同樣地,能夠抑制照明不均地對樣本SP的較廣的區(qū)域進(jìn)行照明并且降低集光鏡42的制造成本。
[0059]此外,顯微鏡照明裝置40也期望滿足條件式(I)以實現(xiàn)更高的數(shù)值孔徑。在顯微鏡照明裝置40中,通過滿足條件式(I),能夠防止透鏡面S2離后側(cè)焦點位置Pbf過遠(yuǎn)。因此,能夠高效地利用由透鏡面S2擴(kuò)散的光。
[0060][實施例4]
[0061]圖7是表示實施例4所涉及的顯微鏡照明裝置50的結(jié)構(gòu)的圖。顯微鏡照明裝置50與實施例1所涉及的顯微鏡照明裝置10的不同點在于具備集光鏡52來代替集光鏡12。其它的點與顯微鏡照明裝置10相同,因此對相同的結(jié)構(gòu)要素附加相同的附圖標(biāo)記并省略說明。另夕卜,本實施例所涉及的顯微鏡與實施例1所涉及的顯微鏡I的不同點在于具備顯微鏡照明裝置50來代替顯微鏡照明裝置10。
[0062]集光鏡52的由兩片具有正焦度的透鏡構(gòu)成且整體具有將從光源11上的一點射出的光變換為收斂光束那樣的正焦度的點與集光鏡12相同。另外,集光鏡52的在透鏡面SI與透鏡面S4之間具有集光鏡52的后側(cè)焦點位置Pbf的點也與集光鏡12相同。
[0063]集光鏡52與集光鏡12的不同點在于兩片透鏡均是菲涅爾透鏡(菲涅爾透鏡53、菲涅爾透鏡54)。兩片菲涅爾透鏡中的接近光源11的菲涅爾透鏡53是使形成有菲涅爾圖案的透鏡面(以后記為菲涅爾面)朝向光源11側(cè)的菲涅爾透鏡。另外,接近聚光透鏡15的菲涅爾透鏡54是使菲涅爾面朝向聚光透鏡15側(cè)的菲涅爾透鏡。
[0064]通過本實施例所涉及的顯微鏡照明裝置50也能夠獲得與顯微鏡照明裝置10同樣的效果。另外,通過使接近光源11的菲涅爾透鏡53的菲涅爾面朝向外側(cè)(S卩,光源11側(cè)),與朝向內(nèi)側(cè)的情況相比能夠使構(gòu)成菲涅爾面的斜面的傾斜角度平緩。因此,能夠使制造性提高并低成本地制造集光鏡52。另外,通過使接近聚光透鏡15的菲涅爾透鏡54的菲涅爾面朝向外側(cè)(即,聚光透鏡15側(cè)),與朝向內(nèi)側(cè)的情況相比,能夠使主要影響低倍率下的觀察的入射至視野周邊的光線以更大的角度折射。因此,能夠以更窄的間隔配置菲涅爾透鏡53和菲涅爾透鏡54來縮短集光鏡52的全長。
[0065]此外,期望菲涅爾透鏡53和菲涅爾透鏡54的材料是樹脂材料。作為樹脂材料,例如優(yōu)選使用聚碳酸酯樹脂、丙烯酸系樹脂、ZEONEX(日本瑞翁(Zeon)服份有限公司的商品名)等。由樹脂材料構(gòu)成的集光鏡52與一般的玻璃制的集光鏡相比能夠大為便宜地制造,因此能夠進(jìn)一步大幅地降低顯微鏡照明裝置50的制造成本。另外,能夠廉價地制造集光鏡的優(yōu)點無論菲涅爾透鏡的材料如何都源于其形狀的特征。在通過不是菲涅爾透鏡的普通的透鏡構(gòu)成集光鏡的情況下,呈中心厚、周邊薄的形狀,但是在該形狀下,在透鏡成形時為了去除變形而花費較長時間。與此相對地,菲涅爾透鏡的厚度薄并且透鏡內(nèi)的厚度的差小,因此難以受到變形的影響。因此,能夠縮短用于去除變形的時間。因而,制造節(jié)拍變短,能夠廉價地制造。
[0066][實施例5]
[0067]圖8是表示實施例5所涉及的顯微鏡照明裝置60的結(jié)構(gòu)的圖。顯微鏡照明裝置60與實施例4所涉及的顯微鏡照明裝置50的不同點在于具備集光鏡62來代替集光鏡52。其它的點與顯微鏡照明裝置50相同,因此對相同的結(jié)構(gòu)要素附加相同的附圖標(biāo)記并省略說明。
[0068]集光鏡62與實施例4的集光鏡52的不同點在于具備菲涅爾透鏡63來代替菲涅爾透鏡53。菲涅爾透鏡63與菲涅爾透鏡53的不同點在于在平面(透鏡面S2)形成有光擴(kuò)散圖案。其它的點與菲涅爾透鏡53相同。
[0069]形成于透鏡面S2的光擴(kuò)散圖案是使照明光擴(kuò)散的光擴(kuò)散單元,與實施例2所涉及的顯微鏡照明裝置30的擴(kuò)散元件31和實施例3所涉及的顯微鏡照明裝置40的光擴(kuò)散圖案同樣地發(fā)揮作用。
[0070]因而,根據(jù)本實施例所涉及的顯微鏡照明裝置60,具有與顯微鏡照明裝置50相同的效果,還能夠?qū)崿F(xiàn)比顯微鏡照明裝置50更高的數(shù)值孔徑。另外,通過在透鏡面形成擴(kuò)散圖案,能夠與獨立地設(shè)置擴(kuò)散元件的情況相比減少部件件數(shù),因此能夠低成本地實現(xiàn)較高的數(shù)值孔徑。另外,由于反射面數(shù)也不增加,因此還能夠防止反射面上的光量損失的增加。
[0071]上述的各實施例是為了容易地理解發(fā)明而示出的具體例,本發(fā)明不限定于這些實施例。顯微鏡照明裝置以及顯微鏡在不脫離由權(quán)利要求書規(guī)定的本發(fā)明的思想的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變形、變更。也可以將該說明書中所說明的個別的實施例的脈絡(luò)中的幾個特征組合來形成單個的實施例。
[0072]例如也可以在實施例4所涉及的顯微鏡照明裝置50設(shè)置實施例2所涉及的擴(kuò)散元件31。另外,實施例4以及實施例5所涉及的由兩片透鏡構(gòu)成的集光鏡(集光鏡52和集光鏡62)可以是兩片透鏡均為菲涅爾透鏡,也可以僅某一方為菲涅爾透鏡。另外,在兩片透鏡均為菲涅爾透鏡的情況下,可以使兩個菲涅爾面均朝向集光鏡的外側(cè),也可以僅使一方朝向外側(cè)。并且,菲涅爾面也可以具有將非球面形狀變換為菲涅爾圖案而得到的形狀。此外,各實施例所涉及的顯微鏡不限于正立顯微鏡,也可以構(gòu)成為倒立顯微鏡。
【主權(quán)項】
1.一種顯微鏡照明裝置,其特征在于,具備: 光源,其射出照明光; 聚光透鏡,其使所述照明光向樣本照射;以及 集光鏡,其被配置在所述光源與所述聚光透鏡之間,由分別具有正焦度的兩片透鏡構(gòu)成, 其中,所述集光鏡在所述集光鏡的最接近所述光源的透鏡面與所述集光鏡的最接近所述聚光透鏡的透鏡面之間具有該集光鏡的后側(cè)焦點位置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡照明裝置,其特征在于, 在將所述集光鏡的最接近所述光源的透鏡面與所述集光鏡的后側(cè)焦點位置之間的距離設(shè)為FB、將所述集光鏡的焦距設(shè)為F時,滿足以下的條件式, 0<FB/F<0.3o3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡照明裝置,其特征在于, 在所述集光鏡的最接近所述光源的透鏡面與所述集光鏡的后側(cè)焦點位置之間還具備用于使所述照明光擴(kuò)散的光擴(kuò)散單元。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯微鏡照明裝置,其特征在于, 所述光擴(kuò)散單元是形成于所述集光鏡的透鏡面的光擴(kuò)散圖案。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡照明裝置,其特征在于, 所述集光鏡具有將從所述光源上的一點射出的光變換為收斂光束的正焦度。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項所述的顯微鏡照明裝置,其特征在于, 所述兩片透鏡中的至少一方是菲涅爾透鏡。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯微鏡照明裝置,其特征在于, 所述兩片透鏡中的接近所述光源的透鏡是使形成有菲涅爾圖案的透鏡面朝向所述光源側(cè)的菲涅爾透鏡。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯微鏡照明裝置,其特征在于, 所述兩片透鏡中的接近所述聚光透鏡的透鏡是使形成有菲涅爾圖案的透鏡面朝向所述聚光透鏡側(cè)的菲涅爾透鏡。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯微鏡照明裝置,其特征在于, 所述菲涅爾透鏡的形成有菲涅爾圖案的透鏡面具有將非球面形狀變換為所述菲涅爾圖案而得到的形狀。10.—種顯微鏡,其特征在于,具備根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項所述的顯微鏡照明裝置。
【文檔編號】G02B21/08GK105911683SQ201610085648
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年2月15日
【發(fā)明人】小林大
【申請人】奧林巴斯株式會社