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修整光纖部件光程的方法和裝置的制作方法

文檔序號(hào):2775452閱讀:292來源:國知局
專利名稱:修整光纖部件光程的方法和裝置的制作方法
背景技術(shù)
1.發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明一般涉及光纖部件的修整,尤其涉及完成光纖部件光程修整的方法和裝置。
2.技術(shù)背景基于光纖的裝置由于它相對的低接入損耗和低成本,被廣泛地用作光通信部件。光纖部件中最主要的是光纖布拉格光柵(FBG),它通常通過紫外線(UV)波長能量照射制成。一旦FBG被裝配到基底上并退火,它就不再是光敏的,并不能被進(jìn)一步調(diào)節(jié)。因此,必須根據(jù)經(jīng)驗(yàn)預(yù)測這種光柵的最終頻率,這可能導(dǎo)致重大的誤差和不符合規(guī)格的光柵。由于連接過程和退火造成的波長移動(dòng)的不確定性,封裝光纖布拉格光柵的中心波長通常與期望的中心波長有+/-20皮米的誤差。這種波長誤差結(jié)合例如可能為+/-50皮米的分布反饋激光腔的波長移動(dòng),和+/-20皮米的剩余溫度依賴,向設(shè)計(jì)提出了嚴(yán)格的要求,例如50GHz光纖布拉格光柵的設(shè)計(jì)。
浸漬光纖馬赫-曾德耳干涉儀也能波長選擇,并用于各種通信裝置中,例如光學(xué)開關(guān)、濾光器、波分復(fù)用器、多路分解器、和加/減濾光器等等。在基于馬赫-曾德耳的裝置中,光學(xué)性能嚴(yán)格依賴于兩個(gè)干涉臂的相位差和/或光程差。試圖用UV照射光纖進(jìn)行相位修整,然而這種光纖必須是光敏的,并且在這種UV照射后一旦退火,修整過程就不能進(jìn)一步控制。此外,由于UV輻射引起的相對小的折射率變化,使用UV照射的最大修整值限制于少許波長。在一些應(yīng)用中,這種修整過程可能不足以完成必要的光程變化。
因此,用光程靈敏的基于光纖的裝置,不僅調(diào)節(jié)范圍受當(dāng)前技術(shù)的嚴(yán)格限制,調(diào)節(jié)精度也受限制。因此需要在相對寬帶波長,以及精確波長上調(diào)節(jié)光纖裝置的系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的方法和裝置實(shí)現(xiàn)了光纖裝置的調(diào)節(jié),在一個(gè)實(shí)施例中,通過精確加熱配置在張力下光柵附近的小面積光纖,以允許光柵長度改變。通過脈動(dòng)地產(chǎn)生受控量的熱源,這種光柵的光程在大約200皮米的調(diào)節(jié)范圍上可以被精確地控制在1皮米的精度。
在具有擴(kuò)散摻質(zhì)的光纖中,通過直接影響光纖折射率的熱擴(kuò)散,可以以納米的精度修整光纖長度,因此有效地改變它的光程。
在另一實(shí)施例中,通過在裝置輸入處注入寬帶能量源,并將光譜分析器耦合到它的輸出,以監(jiān)控在使用施加于光纖的局部能量受控源的修整期間光學(xué)裝置的中心頻率,從而實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)。在本發(fā)明的較佳實(shí)施例中,能量源包括激光器和特殊的CO2激光器,CO2激光器對應(yīng)于裝置中所用光纖的直徑具有相對窄的射束。來自激光器的能量被脈沖地導(dǎo)向光學(xué)裝置的小面積中,這些脈沖提供修整過程的精確控制。
修整光纖部件的方法,將輻射源導(dǎo)向部件中的部分用于加熱該部分,將寬帶信號(hào)源耦合到部件的輸入,將光譜分析器耦合器部件的輸出,并監(jiān)控部件輸出處的信號(hào),同時(shí)選擇性地從輻射源將輻射施加于部件,以完成預(yù)定的修整效果。
本發(fā)明的附加特色和優(yōu)點(diǎn)將在以下詳細(xì)描述中體現(xiàn),對于本領(lǐng)域熟練的技術(shù)人員附加特色和優(yōu)點(diǎn)將在描述中顯現(xiàn)出來,或者通過實(shí)施這里所述的本發(fā)明和以下的權(quán)利要求書和附圖而得以了解。
應(yīng)該了解以上的一般描述僅僅是本發(fā)明的實(shí)例,并試圖提供概況用于理解權(quán)利要求所述本發(fā)明的本質(zhì)和特征。包括的附圖用于提供對本發(fā)明進(jìn)一步的了解,被結(jié)合入說明書中,成為說明書的一部分。附圖顯示了本發(fā)明的各種特征和實(shí)施例,與描述一起用于解釋本發(fā)明的原理和操作。


圖1是光纖布拉格光柵放大的側(cè)面示意圖,顯示了部分的封裝;圖2是圖1中顯示的光纖布拉格光柵和實(shí)施本發(fā)明方法所用結(jié)構(gòu),以及它們與光柵關(guān)系的頂面圖;圖3是說明使用圖2中所示裝置和方法修整光纖布拉格光柵的波形圖;圖4是用作加/減濾光器的馬赫-曾德耳干涉儀的示意圖,可以在圖4所指的位置處根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例修整它。
較佳實(shí)施例的詳細(xì)描述首先參考圖1,它顯示了典型的光纖布拉格光柵組件10,它包括光纖12,光纖上跨度大約30厘米的中心區(qū)域14被刻痕,期望光柵調(diào)節(jié)到1559.25nm。光纖12通過一對分離的玻璃料18和20由如β-鋰霞石的負(fù)膨脹系數(shù)基底16支撐。在玻璃料18和20之間,存在橫跨光柵14,且每個(gè)長度為大約10厘米的端部區(qū)域22和24,使得玻璃料18和20間的總距離為大約50厘米。
光纖12以大約10kpsi的張力裝配到基底16上,光柵14由傳統(tǒng)方法形成,使用紫外光改變根據(jù)波長選中的圖形中光纖12纖芯的折射率,例如波長為大約1559.2納米。當(dāng)然,用本發(fā)明的修整方法還可以修整其它頻率的光纖布拉格光柵。然后,將光柵組件10退火,這樣除去了光纖12的光敏性,防止了任何進(jìn)一步的變化。結(jié)果,裝配在基底16上光柵的精確頻率可以較大地變化。在最終封裝圖1中顯示的光柵之前,用圖2顯示的和現(xiàn)在描述的方法和裝置,它可以被精確修整,結(jié)果將它調(diào)節(jié)到精確的頻率。
在圖2中,顯示了光柵組件10的頂面示意圖。通過加熱圖2中光柵端部22中圓圈A所包圍的隔離區(qū)域,將光柵修整成光柵區(qū)域14本身的期望光程,雖然在需要時(shí)修整可以發(fā)生在端部22或24中的任何一端或兩端。這里揭示了光纖12中接近于光柵14的區(qū)域可以被加熱以改變它的粘度,粘度是沖擊激光束的寬度“w”函數(shù),并與加熱部分22的延伸速度的三倍成反比例,加熱后根據(jù)以下公式 ,其中“T”是加熱溫度,“z”是激光束的位置。
在加熱“t”時(shí)間后,局部光纖延伸Δ(使得光柵間距變短)為 因此,發(fā)現(xiàn)通過用適當(dāng)?shù)臒嵩春驼丈鋾r(shí)間控制局部粘度,可以獲得少量的大約為幾納米的延伸。在描述獲得結(jié)果的特定實(shí)例之前,以下是圖2中裝置和方法的概述。
在圖2中,通過向光柵組件10的輸入19提供寬帶光能源,并將光譜分析器32耦合到光柵組件10的輸出21,可以獲得光柵14的實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)。因此,在修整之前,可以通過觀察分析器32的顯示輸出確定光柵的波長。假設(shè)期望修整光柵組件14,將它調(diào)節(jié)成期望的頻率,那將局部熱源施加于10mm部分22的中心,在較佳實(shí)施例中它離開玻璃料185mm,在圓圈區(qū)域A所指定的位置中。CO2激光器40提供所用的能量,該激光器的頻率提供區(qū)域A的加熱。傳統(tǒng)的CO2激光器,如功率穩(wěn)定性在每小時(shí)+/-1%內(nèi)的SYNRAD 48-2W,可用于本發(fā)明的較佳實(shí)施例。來自CO2激光器40的光束42穿過控制光閥43,穿過分束器44,到達(dá)焦距為1.5英寸由ZnSe制成的聚焦透鏡46,因此該透鏡離光纖布拉格光柵上的位置A大約1.5英寸。激光束42穿過分束器44,它用于同軸對準(zhǔn)來自氦氖激光器48的可視光束45,以提供可視的組合射束42和45,使得顯微鏡50能夠位于鄰近位置A的區(qū)域中,用于可視地觀察激光束42照射的區(qū)域,以確保沒有塵粒或其它污染物,并使CO2激光器精確地對準(zhǔn)光纖區(qū)域A。顯微鏡的放大率為大約100x,以監(jiān)控加熱區(qū)域A。
聚焦激光束的直徑實(shí)質(zhì)等于光纖的直徑,在較佳實(shí)施例中為125μm。如圖2所示,橫向地提供來自激光器40的沖擊加熱光束42,基底16未被加熱,因此不會(huì)干擾光纖布拉格光柵14的修整。在一個(gè)修整光纖布拉格光柵10的實(shí)例中,光纖布拉格光柵在玻璃料之間的長度為50mm,張力σ等于10kpsi,激光寬度“w”為0.2mm,在一秒內(nèi)修整1.5皮米,這需要粘度為13.0dPa.s。這導(dǎo)致對于光纖中所用石英的粘度溫度為1200℃。
為了達(dá)到修整速度為每秒1皮米,首先使用具有類似張力和連接長度的封裝光柵校準(zhǔn)激光功率和聚焦條件。光柵安裝在XYZ位移平臺(tái)60上(圖2中虛線框中所示的),并使用氦氖激光束45和顯微鏡50定位。由于顯微鏡視區(qū)相對淺的深度,所以它有效地記錄了加熱區(qū)域的側(cè)向和軸向位置。如果有必要進(jìn)行更精確的記錄,垂直于第一顯微鏡方向和激光方向的第二顯微鏡可用于精確的對準(zhǔn)。一旦對準(zhǔn)了參考光纖布拉格光柵,平臺(tái)60可以容納移動(dòng)到同一初始位置的其它光柵。用可視激光束45、顯微鏡50、和位移平臺(tái)60類似地完成每個(gè)被修整光柵的最后調(diào)節(jié)和觀察。
用受控機(jī)電光閥43使激光束42產(chǎn)生脈動(dòng),光閥43提供持續(xù)時(shí)間和頻率可選的脈沖,通常持續(xù)時(shí)間為1到30秒。光閥43是商業(yè)中可獲得的單元,并允許激光器40保持持續(xù)接通,具有較好的穩(wěn)定性。如圖3中波形圖所示,可以以較小的增量接近調(diào)節(jié)光柵波長的目標(biāo)。因此,用接近于0.660瓦特的激光功率和2.5秒的照射時(shí)間完成例如4皮米的修整段。圖3顯示了五次連續(xù)照射,表現(xiàn)為光柵調(diào)節(jié)波長中的相對線性移動(dòng)。在照射激光束42大約10秒之后,波長移動(dòng)趨于穩(wěn)定。0.5秒的照射時(shí)間產(chǎn)生小于1pm的波長移動(dòng),它超過了光譜分析器32的分辨率。用以下等式顯示波長移動(dòng)ΔλBraggλBragg=-Δl]]>其中“l(fā)”是兩個(gè)玻璃料18和20之間的光纖長度。因此光柵修整和布拉格波長的調(diào)節(jié)量為ΔλBragg=-σw3l(tη(T,z))λBragg]]>其中Δ來自以上的等式1。
如從以上所能看出的,1.5皮米的調(diào)節(jié)段對應(yīng)于50nm的光纖延伸,允許光柵14縮小或增加頻率200皮米。因此該系統(tǒng)可用于提供如Lucent 50 GHz光柵的中心波長調(diào)節(jié)的嚴(yán)格修整。
圖2的裝置還可用于調(diào)節(jié)不處于張力下裝配的光學(xué)裝置,因此光程的變化不是通過允許光纖松弛,而是通過光纖中摻質(zhì)的擴(kuò)散。這改變了折射率,因此改變了光程,用于例如圖4中所示馬赫-曾德耳干涉儀的精確調(diào)節(jié)。
現(xiàn)在參考圖4,顯示了被構(gòu)造為加-減濾光器60的馬赫-曾德耳光學(xué)裝置,使用本發(fā)明另一實(shí)施例的方法可以精確地調(diào)節(jié)它。馬赫-曾德耳加-減濾光器60包括在第一耦合器63處熔合的第一和第二光纖62和64,并具有在其中分別形成的分支光柵66和68,光柵可被調(diào)節(jié)以符合以下將更詳細(xì)描述的波長λ1。光纖延續(xù)到第二溶接耦合器65,并在在光纖62的輸入69處和光纖64的輸出70處終止。光纖62的輸入61接收例如八個(gè)調(diào)制信號(hào)信息的離散波長λ1-λ8。加-減濾光器60在輸出端67處除去λ1頻率,并允許將在輸入69處的λ1′加到輸出70處的λ2-λ8。
馬赫-曾德耳裝置60以傳統(tǒng)方法制造,并必須被修整以調(diào)節(jié)光柵66和68。通常,使用紫外線輻射修整如裝置60的馬赫-曾德耳裝置,然而如上所述,一旦該裝置被退火該輻射就無效了,并且這種退火影響光程,因此改變了任何可能發(fā)生的修整。此外,紫外線輻射不能有效地改變折射率,因此,不能有效地改變光學(xué)裝置的光程。結(jié)果在過去,經(jīng)常在加入端69之前配置隔離器以降低多反射干擾。通過使用圖2所示的修整裝置并將受控量的熱量施加在精確的位置,馬赫-曾德耳裝置60的光柵66和68可以精確地相位匹配。耦合器63和65也可被修整以改變它們的有效耦合長度,以提供50/50耦合器。
用類似于以上參考圖2描述的方式通過激光束42將精確量的能量施加到鄰近于箭頭B所指干涉光柵66或68中的一個(gè)光纖區(qū)域,例如在圖4中,纖芯摻質(zhì)向包層擴(kuò)散,降低了折射率并縮短了干涉臂66、68其中之一的光程。根據(jù)那條支路需要光學(xué)縮短以實(shí)現(xiàn)兩個(gè)干涉光柵的相位匹配,可以將能量施加到光柵66或68中心的任一側(cè)。通過在輸入端61提供寬度信號(hào),并監(jiān)控端口70的輸出以確定由于濾光器除去λ1缺少波長λ1處的能量,可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)的修整。能量的大小稍大于相對于第一實(shí)施例所述的,其中摻Ge光纖需要稍大于來自激光器40的脈沖,在大約10到30秒的時(shí)間內(nèi)將目標(biāo)區(qū)域B處的光纖溫度升高到大約1600℃。對于摻Fl或Bo的光纖,大約1400℃的較低溫度能導(dǎo)致光纖折射率n的期望變化,以完成修整。通過在觀察分析器32的輸出找出λ1頻率的期望最大抑制時(shí)逐漸地施加激光束42的脈沖,以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)修整。另一種方案是,可以監(jiān)控輸出67找出在除去端口67處λ1頻率最大反射的電平。
除了使干涉光柵66和68相位匹配外,還可以調(diào)節(jié)耦合器63和去耦合器65用于提供相等的能量分割,通過將激光能量施加到箭頭C和D分別所示的一個(gè)或其它支路,再次引起纖芯中摻質(zhì)的擴(kuò)散降低折射率“n”。
通過相位修整馬赫曾德耳裝置兩臂之間光程中的不平衡量,同樣的擴(kuò)散修整技術(shù)還可用于不平衡和橋式濾光器,以及用這種相位修整和耦合器修整可以將串?dāng)_和光學(xué)開關(guān)優(yōu)化成優(yōu)于40dB。
在本發(fā)明的第一實(shí)施例中,通過延長光柵到玻璃料的邊緣連接縮短光柵間隔以增加光柵中心頻率。在第二實(shí)施例中,減小折射率以減小光纖部件的光程。用任何一個(gè)實(shí)施例,都可以完成光纖部件的精確調(diào)節(jié)。
對本領(lǐng)域熟練的技術(shù)人員顯而易見的是不脫離以下權(quán)利要求所定義本發(fā)明的精神或范圍可以做出對這里所述本發(fā)明較佳實(shí)施例的各種變化。
權(quán)利要求
1.一種修整光纖部件的方法,其特征在于,它包括以下步驟將輻射源導(dǎo)向部件中的一部分用于加熱該部分;將寬帶信號(hào)源耦合到部件的輸入端;將光譜分析器耦合到部件的輸出端;以及監(jiān)控部件輸出處的信號(hào),同時(shí)選擇性地從輻射源將輻射施加于部件,以獲得預(yù)定的修整效果。
2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,導(dǎo)向步驟包括提供射束寬度滿足部件中光纖尺寸的輻射射束。
3.如權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,選擇性地施加步驟包括將光閥插入射束的光程中,并開啟或關(guān)閉光閥以使射束產(chǎn)生脈動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,導(dǎo)向步驟包括使用CO2激光器產(chǎn)生輻射射束。
5.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,導(dǎo)向步驟包括使用CO2激光器作為輻射源,并進(jìn)一步使用可視光譜激光器,它的射束同軸對準(zhǔn)CO2激光器的射束,射到部件上的一部分。
6.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,導(dǎo)向步驟包括定位光纖布拉格光柵部件,使接近于光柵的一部分對準(zhǔn)輻射,并且選擇性地施加步驟使該部分塑性變形,以改變光纖布拉格光柵部件的光程,用于調(diào)節(jié)光纖布拉格光柵部件。
7.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,導(dǎo)向步驟包括使馬赫-曾德耳部件的一部分對準(zhǔn)輻射,并且選擇性地施加步驟擴(kuò)散該部分纖芯中的摻質(zhì),以改變折射率和光程,用于調(diào)節(jié)馬赫-曾德耳部件。
8.一種修整光纖部件的裝置,其特征在于,它包括CO2激光器,用于將其發(fā)出的射束導(dǎo)向光纖部件的一部分;控制器,耦合在激光器射束的光路中,用于選擇性地使射束產(chǎn)生脈動(dòng)以控制光纖部件中該部分的加熱;寬帶信號(hào)源,耦合到光纖部件的輸入端;檢測器,耦合到部件的輸出端用于監(jiān)控輸出端處的信號(hào),同時(shí)射束施加到部件,以預(yù)定的方式修整光纖部件。
9.如權(quán)利要求8所述的裝置,其特征在于,光纖部件是具有光纖在張力下裝配在基底上的光纖布拉格光柵,并且來自CO2激光器的射束加熱光纖布拉格光柵中接近于光柵部分的一部分,以改變光柵部分的光程用于修整光纖布拉格光柵。
10.如權(quán)利要求8所述的裝置,其特征在于,光纖部件是馬赫-曾德耳干涉儀,并且來自CO2激光器的射束加熱馬赫-曾德耳干涉儀中一個(gè)支路的至少一部分,使得纖芯摻質(zhì)擴(kuò)散,以改變支路的折射率用于修整馬赫-曾德耳干涉儀。
11.如權(quán)利要求8所述的裝置,其特征在于,還包括可視光譜激光器和用于將可視光譜激光器的射束與CO2激光器的射束同軸對準(zhǔn)的光學(xué)元件,用于使光纖部件的所述部分對準(zhǔn)CO2激光器的射束。
12.如權(quán)利要求11所述的裝置,其特征在于,還包括安放光纖部件的XYZ平臺(tái),用于使部件對準(zhǔn)射束的定位。
13.如權(quán)利要求12所述的裝置,其特征在于,還包括光學(xué)顯微鏡,它被定位用于觀察可視光譜激光器的射束,用于定位所述射束沖擊光纖部件中所述部分的光學(xué)部件。
14.光纖布拉格光柵,其特征在于,它包括基底;光纖,在張力下裝配在基底上,該光纖的邊界區(qū)域沿其中光柵的相反兩側(cè)延伸;和至少一個(gè)邊界區(qū)域被塑性變形,以將光纖布拉格光柵調(diào)節(jié)成預(yù)定的頻率。
15.馬赫-曾德耳干涉儀,其特征在于,它包括一對光纖,在接近一端的第一耦合器處和相反端的第二耦合器處熔合;光柵,形成于第一和第二耦合器間的每個(gè)光纖中;和其中接近于第一和第二耦合器中一個(gè)的至少一個(gè)光柵區(qū)域中的光纖纖芯摻質(zhì)被擴(kuò)散,以調(diào)節(jié)馬赫-曾德耳干涉儀。
16.修整光纖部件的方法,其特征在于,它包括以下步驟提供CO2激光器輻射源;將CO2激光器的射束聚焦成滿足部件中光纖大小的射束寬度;使部件中的一部分對準(zhǔn)聚焦射束,用于加熱該部分;將寬帶信號(hào)源耦合到部件的輸入端;將光譜分析器耦合到部件的輸出端;和監(jiān)控部件輸出端處的信號(hào),同時(shí)選擇性地從輻射源將輻射施加于部件,以獲得預(yù)定的修整效果。
17.如權(quán)利要求16所述的方法,其特征在于,還包括使可視光譜激光器的射束同軸對準(zhǔn)CO2激光器的射束,用于使光纖部件中的所述部分對準(zhǔn)CO2激光束射束。
18.如權(quán)利要求17所述的方法,其特征在于,還包括配置光學(xué)顯微鏡的步驟,用于觀察沖擊光纖部件中所述部分的可視光譜激光器的射束,用于精確地配置其射束沖擊光纖部件所述部分的光學(xué)部件。
19.修整光纖部件的方法,其特征在于,包括以下步驟將CO2激光器射束導(dǎo)向光纖部件的一部分,用于加熱該部分;和控制射束在該部分上的施加,以獲得預(yù)定的修整效果。
20.如權(quán)利要求19所述的方法,其特征在于,導(dǎo)向步驟包括提供射束寬度滿足部件中光纖尺寸的輻射射束。
21.如權(quán)利要求20所述的方法,其特征在于,控制步驟包括將光閥插入射束的光程中,并開啟或關(guān)閉光閥以使射束產(chǎn)生脈動(dòng)。
22.如權(quán)利要求21所述的方法,其特征在于,導(dǎo)向步驟還包括使用可視光譜激光器,它的射束同軸對準(zhǔn)CO2激光器的射束,射到部件上的所述部分。
23.如權(quán)利要求19所述的方法,其特征在于,導(dǎo)向步驟包括配置光纖布拉格光柵,接近于光柵的一部分對準(zhǔn)輻射射束,并且控制步驟使該部分塑性變形,以改變光纖布拉格光柵部件的光程,用于調(diào)節(jié)光纖布拉格光柵部件。
24.如權(quán)利要求19所述的方法,其特征在于,導(dǎo)向步驟包括使馬赫-曾德耳部件的一部分對準(zhǔn)輻射射束,并且控制步驟擴(kuò)散該部分纖芯中的摻質(zhì),以改變折射率和光程,用于調(diào)節(jié)馬赫-曾德耳部件。
全文摘要
本發(fā)明的方法和裝置完成修整,因此調(diào)節(jié)光纖裝置,在一個(gè)實(shí)施例中通過精確加熱光纖中的小區(qū)域(A),以允許它在封裝中的張力下延伸。通過脈動(dòng)地產(chǎn)生精確量的熱源(40),該延伸在大約200皮米的調(diào)節(jié)范圍上可被精確地控制在1皮米的精度內(nèi)。在另一實(shí)施例中,用纖芯摻質(zhì)能擴(kuò)散的光纖,可以以納米精度修整光纖的光程。通過使用施加到光纖上局部能量的受控源,通過在裝置的輸入端注入寬帶能量(30)并將光譜分析器(32)耦合到裝置的輸出端監(jiān)控修整期間光學(xué)裝置的頻率特征,從而在兩個(gè)系統(tǒng)中都可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)修整。
文檔編號(hào)G02B6/02GK1375069SQ00810042
公開日2002年10月16日 申請日期2000年5月16日 優(yōu)先權(quán)日1999年7月9日
發(fā)明者陳剛, 吳奇 申請人:康寧股份有限公司
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