069]再者，為了提升圖1A所示的顯示裝置100的制作工藝可靠度及制作工藝良率，本發(fā)明的顯示裝置100的測試墊109可為一圖案化測試墊。詳細(xì)而言，在測試顯示裝置100性能的測試步驟中，必須以探針接觸測試墊109，探針會于接觸測試墊109時于測試墊109的導(dǎo)電層該層上留下孔洞，而此導(dǎo)電層上的孔洞容易隨著時間推移受到水氧等因素而腐蝕擴大，造成驅(qū)動單元106與柵極驅(qū)動電路107之間的線路異常或斷路，進而降低顯示裝置100的可靠度及制作工藝良率。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實施例的測試墊可圖案化成數(shù)個導(dǎo)電層彼此分離的功能性區(qū)塊，而該些功能性區(qū)塊再通過其他連接層電連接。
[0070]參見圖2及圖3A，其中圖2是本發(fā)明實施例的測試墊109的上視圖，而圖3A是圖2的測試墊109沿著線段3-3的剖視圖。如以上兩圖所示，測試墊109包括設(shè)于基板102上的導(dǎo)電層M，且此導(dǎo)電層M包括第一區(qū)300及第二區(qū)302。此第一區(qū)300的導(dǎo)電層用以傳遞兩線路110之間的信號，而此第二區(qū)302的導(dǎo)電層用以在測試步驟中與探針進行觸碰。此第一區(qū)300的導(dǎo)電層直接接觸線路110，而第二區(qū)302的導(dǎo)電層與第一區(qū)300的導(dǎo)電層分離設(shè)置，亦即僅觀察導(dǎo)電層M該層時，第一區(qū)300與第二區(qū)302并無連接或接觸，例如，第一區(qū)300的導(dǎo)電層與第二區(qū)302的導(dǎo)電層可通過一主間隙304分隔。此外，第二區(qū)302的導(dǎo)電層也與線路110分離。易言之，僅觀察導(dǎo)電層M該層中，第二區(qū)302的導(dǎo)電層不直接接觸第一區(qū)300的導(dǎo)電層以及線路110。第一區(qū)300及第二區(qū)302經(jīng)由接觸孔，由其他連接層電連接。
[0071]本發(fā)明通過將會與探針進行觸碰的第二區(qū)302的導(dǎo)電層與用以傳遞信號的第一區(qū)300的導(dǎo)電層及線路110分離，可將測試步驟后的腐蝕現(xiàn)象僅局限于第二區(qū)302的導(dǎo)電層，而不會腐蝕至第一區(qū)300的導(dǎo)電層及線路110。因此，即使于測試步驟后發(fā)生腐蝕的現(xiàn)象，本發(fā)明的圖案化測試墊109仍可良好地通過第一區(qū)300的導(dǎo)電層及線路110傳遞信號，因此，圖案化測試墊109可提升此顯示裝置100的可靠度及制作工藝良率。
[0072]此外，導(dǎo)電層M的第一區(qū)300對第二區(qū)302的面積的比值范圍為2至1000，例如為4至10。若此第一區(qū)300對第二區(qū)302的面積比值太大，例如大于1000，則用以與探針進行觸碰的第二區(qū)302的導(dǎo)電層的面積太小，會使得測試步驟不易進行。然而，若此第一區(qū)300對第二區(qū)302的面積比值太小，例如小于2，則用以傳遞信號的第一區(qū)300的導(dǎo)電層的面積太小，會使電阻上升。此外，此測試墊109的尺寸為100 μ m至1000 μ m，例如為500 μ m至800 μ m。此測試墊109的尺寸可為測試墊109的長度L或?qū)挾萕。
[0073]參見圖3A，導(dǎo)電層M設(shè)于基板102上。此導(dǎo)電層M可為一金屬層，且其材料可為單層或多層的銅、鋁、鎢、金、鉻、鎳、鉬、鈦、銥、銠、上述的合金、上述的組合或其它導(dǎo)電性佳的金屬材料。在其他實施例中，導(dǎo)電層M可為一非金屬材料，只要使用的材料具有導(dǎo)電性，且受到腐蝕后會有腐蝕擴散的情況的材料即可。例如，在圖3A所示的實施例中，導(dǎo)電層M為雙層的導(dǎo)電層，其包括第一導(dǎo)電層Ml以及第二導(dǎo)電層M2。在一實施例中，第一導(dǎo)電層Ml與第二導(dǎo)電層M2的材料相同。然而，在其它實施例中，第一導(dǎo)電層Ml與第二導(dǎo)電層M2的材料可以不同。此兩導(dǎo)電層M1、M2之間設(shè)有介電層(ILD) 206A。此第一導(dǎo)電層Ml及第二導(dǎo)電層M2具有相同的圖案，且相對應(yīng)的圖案之間通過設(shè)于介電層206A中的導(dǎo)孔Vl電連接。上述介電層206A的材料可為氧化娃、氮化娃、氮氧化娃、硼磷娃玻璃(BPSG)、磷娃玻璃(PSG)、旋涂式玻璃(SOG)、其它任何適合的介電材料、或上述的組合。上述經(jīng)由導(dǎo)孔Vl電連接第一導(dǎo)電層Ml及第二導(dǎo)電層M2的材料可為第一導(dǎo)電層Ml或第二導(dǎo)電層M2本身或其組合,或是其材料可包括銅、鋁、鎢、摻雜多晶硅、其它任何適合的導(dǎo)電材料、或上述的組合。
[0074]此外，在一實施例中，如圖3A所示，第一區(qū)300的導(dǎo)電層與第二區(qū)302的導(dǎo)電層可通過連接層211電連接，因連接層211相對于導(dǎo)電層抗腐蝕能力較高，因此不接觸的第一區(qū)300與第二區(qū)302通過連接層211電連接，也同時保護導(dǎo)電層不受水氧的影響而腐蝕。此連接層211的材料可為透明導(dǎo)電材料，例如為銦錫氧化物(ITO)氧化錫(T0)、氧化銦鋅(IZO)、氧化銦鎵鋅(IGZO)、氧化銦錫鋅(ITZO)、氧化銻錫(ATO)、氧化銻鋅(AZO)、上述的組合或其它抗腐蝕能力較高的適合的透明導(dǎo)電氧化物材料。連接層211可通過設(shè)于介電層206B中的導(dǎo)孔V2電連接至第一導(dǎo)電層Ml或第二導(dǎo)電層M2，并由此將第一區(qū)300的導(dǎo)電層與第二區(qū)302的導(dǎo)電層電連接。
[0075]此外，導(dǎo)電層M也可為單層的導(dǎo)電層。例如，如圖3B所示，基板102上僅形成有單層的導(dǎo)電層M，且第一區(qū)300的導(dǎo)電層與第二區(qū)302的導(dǎo)電層也可通過連接層211經(jīng)由導(dǎo)孔電連接。例如，連接層211可通過設(shè)于介電層206中的導(dǎo)孔V3電連接至導(dǎo)電層M，以將第一區(qū)300的導(dǎo)電層與第二區(qū)302的導(dǎo)電層電連接。
[0076]再參照圖2，在圖2所示的實施例中，主間隙304可環(huán)繞第二區(qū)302的導(dǎo)電層。主間隙304的寬度可為ΙΟμ??至ΙΟΟμ??，例如為20μπι至40μπι。此外，主間隙304的寬度與測試墊109的寬度W的比值為0.01至0.25，例如為0.025至0.1。若此主間隙304的寬度太寬，例如其寬于100 μ m，或其與測試墊109的寬度W比值大于0.25，則主間隙304會占據(jù)過多測試墊109的面積，使導(dǎo)電層M的面積減少，造成電阻增加。然而，若此主間隙304的寬度太窄，例如其窄于10 μ m，或其與測試墊109的寬度W比值小于0.01，則此主間隙304無法有效防止第一區(qū)300的導(dǎo)電層不被腐蝕。例如，當(dāng)主間隙304的寬度太窄時，若探針因偏移而觸碰至主間隙304，仍可能造成第一區(qū)300的導(dǎo)電層的暴露，使第一區(qū)300的導(dǎo)電層被腐蝕。
[0077]此外，第一區(qū)300的導(dǎo)電層也環(huán)繞第二區(qū)302的導(dǎo)電層，且第一區(qū)300的導(dǎo)電層更可通過一或多條第一間隙306分隔成彼此分離的多個區(qū)塊，亦即此多個區(qū)塊之間不直接接觸，例如圖2所示的區(qū)塊300A、300B。彼此分離的多個區(qū)塊300A、300B可更進一步提升此顯示裝置100的制作工藝可靠度及制作工藝良率。詳細(xì)而言，在測試步驟中，探針可能會因為偏移而觸碰到第一區(qū)300的導(dǎo)電層，故第一區(qū)300的導(dǎo)電層也可能因此于測試步驟后發(fā)生腐蝕現(xiàn)象。此時彼此分離的區(qū)塊300A、300B可將此腐蝕現(xiàn)象局限于被探針觸碰到的區(qū)塊內(nèi)，而信號仍可通過第一區(qū)300的導(dǎo)電層中未被腐蝕的其它區(qū)塊傳遞。例如，若探針觸碰至區(qū)塊300A，由于區(qū)塊300A、300B彼此分離，故腐蝕現(xiàn)象被局限于區(qū)塊300A內(nèi)，而信號仍可通過未被腐蝕的區(qū)塊300B傳遞。因此,將第一區(qū)300的導(dǎo)電層通過一或多條第一間隙306分隔成彼此分離的多個區(qū)塊可更進一步提升此顯示裝置100的可靠度及制作工藝良率。
[0078]上述第一間隙306的寬度可為3μηι至50μηι,例如為ΙΟμπι至20μηι?；蛘?第一間隙306的寬度與測試墊109的寬度W的比值為0.0033至0.1，例如為0.01至0.02。若此第一間隙306的寬度太寬，例如其寬于50 μ m，或其與測試墊109的寬度W比值大于0.1，則第一間隙306會占據(jù)過多測試墊109的面積，使導(dǎo)電層M的面積減少，造成電阻增加。然而，若此第一間隙306的寬度太窄，例如其窄于3 μ m，或其與測試墊109的寬度W比值小于0.0033，則此第一間隙306無法有效分隔區(qū)塊300A與區(qū)塊300B。
[0079]再者，第一區(qū)300的彼此分離的多個區(qū)塊300A、300B內(nèi)可還包括一或多條區(qū)塊內(nèi)間隙308而將區(qū)塊300A、300B分隔成多個子區(qū)塊。上述多個子區(qū)塊彼此大抵分離，僅通過一小部分彼此連接。例如區(qū)塊300A可通過多條區(qū)塊內(nèi)間隙308分隔成多個子區(qū)塊300Aa、300Ab，此子區(qū)塊300Aa、300Ab之間彼此大抵分離，僅通過附圖中左上及左下的一小部分彼此物理連接。上述彼此分離的多個子區(qū)塊300Aa、300Ab也可進一步提升此顯示裝置100的制作工藝可靠度及制作工藝良率。例如，當(dāng)探針因偏移而觸碰到子區(qū)塊300Ab時，由于子區(qū)塊300Aa、300Ab僅通過一小部分連接，故腐蝕現(xiàn)象易被局限于子區(qū)塊300Ab內(nèi)，即使子區(qū)塊300Ab因腐蝕而破壞，信號仍可通過未被腐蝕的區(qū)塊300Aa傳遞。因此，將多個區(qū)塊300A、300B通過區(qū)塊內(nèi)間隙308分隔成多個子區(qū)塊(例如子區(qū)塊300Aa、300Ab)可更進一步提升此顯示裝置100的可靠度及制作工藝良率。
[0080]上述區(qū)塊內(nèi)間隙308的寬度可為3 μ m至50 μ m,例如為10 μ m至20 μ m?；蛘撸瑓^(qū)塊內(nèi)間隙308的寬度與測試墊109的寬度W的比值為0.0033至0.1，例如為0.01至0.02。若此區(qū)塊內(nèi)間隙308的寬度太寬，例如其寬于50 μ m，或其與測試墊109的寬度W比值大于0.1，則區(qū)塊內(nèi)間隙308會占據(jù)過多測試墊109的面積，使導(dǎo)電層M的面積減少，造成電阻增力口。然而，若此區(qū)塊內(nèi)間隙308的寬度太窄，例如其窄于3 μ m，或其與測試墊109的寬度W比值小于0.0033，則子區(qū)塊300Aa、300Ab過于接近，內(nèi)間隙308無法有效分隔