一種柔性顯示面板母板及柔性顯示面板的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種柔性顯示面板母板及柔性顯示面板的制作方法，涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，解決了現(xiàn)有的柔性顯示面板在制作中打底層與載體基板分離產(chǎn)生微塵污染周圍工藝環(huán)境的問題。一種柔性顯示面板母板，包括：載體基板以及形成在所述載體基板上的至少一個(gè)柔性顯示面板單元，其中，所述柔性顯示面板單元包括形成在所述載體基板上的打底層、柔性襯底以及顯示元器件，所述柔性顯示面板單元的打底層包括第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低于所述第二區(qū)域的打底層的激光吸收率，且所述第二區(qū)域的打底層的臨界能量不大于所述第一區(qū)域的打底層的臨界能量；所述第一區(qū)域位于柔性顯示面板單元的邊緣區(qū)域。
【專利說明】一種柔性顯示面板母板及柔性顯示面板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種柔性顯示面板母板及柔性顯示面板的制 作方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著技術(shù)的發(fā)展，柔性顯示裝置獲得越來越廣泛的應(yīng)用。柔性顯示裝置包括有機(jī) 發(fā)光二極管顯示裝置、電泳顯示裝置等。由于柔性顯示面板的襯底為柔性襯底，在其上面很 難形成其他顯示元器件?，F(xiàn)有的柔性顯示面板的制作主要是以載體基板（一般為玻璃基 板）作為載具承載著柔性襯底，再在柔性襯底上形成顯示元器件，最后將柔性顯示面板和 玻璃基板分離得到柔性顯示面板。
[0003] 具體的，如圖1所示，在玻璃基板10上形成打底層11，在所述打底層11上面形成 柔性襯底12,再在所述柔性襯底12上形成顯示元器件13,最后將打底層11與玻璃基板10 分離，得到包括打底層的柔性顯示面板。
[0004] 如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中一般采用激光從底面透過玻璃基板10照射在打底層11 上，利用激光破壞打底層與玻璃基板的接著界面達(dá)到分離的效果。但激光的高溫照射下，玻 璃基板和打底層分離時(shí)打底層的底部會有部分脫落，產(chǎn)生的微塵污染周圍工藝環(huán)境。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005] 本發(fā)明的實(shí)施例提供一種柔性顯示面板母板及柔性顯示面板的制作方法，通過所 述柔性顯示面板母板形成所述柔性顯示面板，在制作過程中可避免激光去除產(chǎn)生的微塵污 染周圍工藝環(huán)境。
[0006] 為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：
[0007] 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種柔性顯示面板母板，包括：載體基板以及形成在所述載 體基板上的至少一個(gè)柔性顯示面板單元，其中，所述柔性顯示面板單元包括形成在所述載 體基板上的打底層、柔性襯底以及顯示元器件，所述柔性顯示面板單元的打底層包括第一 區(qū)域和第二區(qū)域，所述第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低于所述第二區(qū)域的打底層的激光 吸收率，且所述第二區(qū)域的打底層的臨界能量不大于所述第一區(qū)域的打底層的臨界能量； 所述第一區(qū)域位于柔性顯示面板單元的邊緣區(qū)域。
[0008] 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種柔性顯示面板的制作方法，包括：
[0009] 在載體基板上制作柔性顯示面板單元的打底層，其中，所述柔性顯示面板單元的 打底層包括第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低于所述第二區(qū)域 的打底層的激光吸收率，且所述第二區(qū)域的打底層的臨界能量不大于所述第一區(qū)域的打底 層的臨界能量；所述第一區(qū)域位于柔性顯示面板單元的邊緣區(qū)域；
[0010] 在所述打底層上制作柔性襯底；
[0011] 在所述柔性襯底上制作顯示元器件；
[0012] 利用激光照射所述打底層；
[0013] 將所述打底層和載體基板分離。
[0014] 本發(fā)明的實(shí)施例提供一種柔性顯示面板母板及柔性顯示面板的制作方法，所述柔 性顯示面板母板上柔性顯示面板單元的打底層包括第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第一區(qū)域的 打底層的激光吸收率低于所述第二區(qū)域的打底層的激光吸收率，第二區(qū)域的打底層容易與 載體基板脫離且產(chǎn)生微塵少，且所述第二區(qū)域的打底層的臨界能量不大于所述第一區(qū)域的 打底層的臨界能量，則在相同激光強(qiáng)度下，第二區(qū)域的打底層與載體基板脫離的情況下第 一區(qū)域的打底層仍附著在載體基板上，由于第一區(qū)域位于柔性顯示單元的邊緣區(qū)域，則第 二區(qū)域的打底層與載體基板脫離即使激光使得第二區(qū)域的打底層有脫落也不會擴(kuò)散至周 圍環(huán)境，避免對周圍工藝環(huán)境的影響，進(jìn)而可以通過將柔性顯示面板對應(yīng)第一區(qū)域的部分 與第二區(qū)域的部分?jǐn)嚅_，或者直接將柔性顯示面板和載體基板對應(yīng)第一區(qū)域的部分切除， 再采用機(jī)械方式例如利用吸附裝置吸附柔性顯示面板，使其與載體基板分離。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015] 為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本 發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以 根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016] 圖1為現(xiàn)有技術(shù)利用激光將打底層和載體基板去除的示意圖；
[0017] 圖2為圖3所示的柔性顯示面板母板的A-A'向示意圖；
[0018] 圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板母板示意圖；
[0019] 圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種柔性顯示面板母板示意圖；
[0020] 圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種柔性顯示面板母板示意圖；
[0021] 圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板的制作方法示意圖；
[0022] 圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種柔性顯示面板的制作方法示意圖。
[0023] 附圖標(biāo)記：
[0024] 10-玻璃基板；11-打底層；12-柔性襯底；13-顯示元器件；111-第一區(qū)域； 112-第二區(qū)域。
【具體實(shí)施方式】
[0025] 下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完 整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于 本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他 實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0026] 本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板母板，如圖2所示，包括：載體基板（即圖 2中的玻璃基板10)以及形成在所述載體基板上的至少一個(gè)柔性顯示面板單元，其中，所述 柔性顯示面板單元包括形成在所述載體基板上的打底層11、柔性襯底12以及顯示元器件 13,所述打底層包括第一區(qū)域111和第二區(qū)域112,所述第一區(qū)域111的打底層的激光吸收 率低于所述第二區(qū)域112的打底層的激光吸收率，且所述第二區(qū)域112的打底層的臨界能 量不大于所述第一區(qū)域111的打底層的臨界能量；所述第一區(qū)域111位于柔性顯示面板單 元的邊緣區(qū)域。
[0027] 需要說明的是，柔性顯示面板的制作主要是以載體基板（一般為玻璃基板）作為 載具承載著柔性襯底，再在柔性襯底上形成顯示元器件?，F(xiàn)有技術(shù)中為了防止柔性襯底被 破壞，一般在載體基板上先形成打底層，最后將打底層和玻璃基板分離得到柔性顯示面板。 本發(fā)明實(shí)施例中，在柔性顯示面板的制作過程中，在載體基板上形成打底層、柔性襯底以及 顯示元器件的基板即為本發(fā)明實(shí)施例中的柔性顯示面板母板。將柔性顯示母板的載體基板 與打底層分離即得到柔性顯示面板。
[0028] 所述打底層的臨界能量即為打底層與載體基板脫離需要的激光強(qiáng)度。臨界能量越 大則打底層與載體基板脫離需要的激光強(qiáng)度越高；反之，臨界能量越小則打底層與載體基 板脫離需要的激光強(qiáng)度越低?，F(xiàn)有技術(shù)中，一般采用非晶硅、氮化硅以及IT0(Indium tin oxide，氧化銦錫）等作為打底層，且由非晶硅、氮化硅以及ΙΤ0形成打底層的臨界能量接 近。本發(fā)明實(shí)施例中，所述第二區(qū)域的打底層的臨界能量不大于所述第一區(qū)域的打底層的 臨界能量，可以是第二區(qū)域的打底層的臨界能量小于第一區(qū)域的打底層的臨界能量，或者， 第二區(qū)域的打底層的臨界能量等于第一區(qū)域的打底層的臨界能量。本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)選以第 二區(qū)域的打底層的臨界能量小于第一區(qū)域的打底層的臨界能量。
[0029] 具體的，當(dāng)?shù)诙^(qū)域的打底層的臨界能量等于第一區(qū)域的打底層的臨界能量，由 于所述第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低于所述第二區(qū)域的打底層的激光吸收率，則在相 同激光強(qiáng)度下，第二區(qū)域的打底層與載體基板脫離優(yōu)先第一區(qū)域的打底層，即第二區(qū)域的 打底層與載體基板脫離的情況下第一區(qū)域的打底層仍附著在載體基板上。
[0030] 具體的，當(dāng)?shù)诙^(qū)域的打底層的臨界能量小于第一區(qū)域的打底層的臨界能量，且 第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低于第二區(qū)域的打底層的激光吸收率，則在相同激光強(qiáng)度 下，第二區(qū)域的打底層與載體基板脫離優(yōu)先第一區(qū)域的打底層，即進(jìn)一步有利于第二區(qū)域 的打底層與載體基板脫離的情況下第一區(qū)域的打底層仍附著在載體基板上。
[0031] 另外需要說明的是，對于部分材料，激光吸收率還可能與臨界能量成反比，即激光 吸收率越高，則臨界能量越小。則本發(fā)明實(shí)施例中，所述第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低 于所述第二區(qū)域的打底層的激光吸收率，則第一區(qū)域的打底層的臨界能量大于第二區(qū)域的 打底層的臨界能量，即第二區(qū)域的打底層的臨界能量小于所述第一區(qū)域的打底層的臨界能 量。
[0032] 本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性顯示面板母板，包括：載體基板以及形成在所述載 體基板上的至少一個(gè)柔性顯示面板單元，圖2所示為在所述載體基板上形成一個(gè)柔性顯示 面板單元的示意圖。為了批量生產(chǎn)，還可以在一塊載體基板上形成多個(gè)柔性顯示面板單元， 其中，一個(gè)柔性顯示面板單元最終將成為一個(gè)柔性顯示面板，可以是在形成之后再將所述 多個(gè)顯示面板單元切割，使其成為多個(gè)柔性顯示面板。
[0033] 本發(fā)明實(shí)施例中，所述柔性顯示面板母板上的各柔性顯示單元的打底層包括第一 區(qū)域和第二區(qū)域，且所述第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低于所述第二區(qū)域的打底層的激 光吸收率，第二區(qū)域的打底層容易與載體基板脫離且產(chǎn)生微塵少，且所述第二區(qū)域的打底 層的臨界能量不大于所述第一區(qū)域的打底層的臨界能量，則在相同激光強(qiáng)度下，第二區(qū)域 的打底層與載體基板脫離的情況下第一區(qū)域的打底層仍附著在載體基板上，由于第一區(qū)域 位于柔性顯示單元的邊緣區(qū)域，則第二區(qū)域的打底層與載體基板脫離即使激光使得第二區(qū) 域的打底層有脫落也不會擴(kuò)散至周圍環(huán)境，避免對周圍工藝環(huán)境的影響，進(jìn)而可以通過將 柔性顯示面板對應(yīng)第一區(qū)域的部分與第二區(qū)域的部分?jǐn)嚅_，或者直接將柔性顯示面板和載 體基板對應(yīng)第一區(qū)域的部分切除，再采用機(jī)械方式例如利用吸附裝置吸附柔性顯示面板， 使其與載體基板分離。
[0034] 需要說明的是，通過將柔性顯示面板對應(yīng)第一區(qū)域的部分與第二區(qū)域的部分?jǐn)?開，或者直接將柔性顯示面板和載體基板對應(yīng)第一區(qū)域的部分切除，再采用機(jī)械方式例如 利用吸附裝置吸附柔性顯示面板，使其與載體基板分離，可以是在另外的工藝環(huán)境下進(jìn)行。 例如在載體基板上形成柔性顯示面板之后，在第一車間利用激光照射，將第二區(qū)域的打底 層與載體基板脫離，再在第二車間將將柔性顯示面板和載體基板對應(yīng)第一區(qū)域的部分切 除，再采用機(jī)械方式例如利用吸附裝置吸附柔性顯示面板，使其與載體基板分離。這樣即使 激光照射打底層，第二區(qū)域的打底層與載體基板脫離時(shí)產(chǎn)生微塵，也可以保證第一車間工 藝環(huán)境的潔凈。
[0035] 可選的，形成打底層的材料包括：非晶硅、氮化硅、氧化硅、聚酰亞胺（PI)或氧化 銦錫（Indium tin oxide,氧化銦錫）。當(dāng)然，形成打底層的材料還可以是其他的塑料或氧 化物等，本發(fā)明實(shí)施例僅以上述為例進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0036] 可選的，所述第一區(qū)域的打底層由第一材料形成；所述第二區(qū)域的打底層由第二 材料形成，其中，所述第一材料的激光吸收率低于所述第二材料的激光吸收率。即在第一區(qū) 域和第二區(qū)域分別采用不同的材料，利用不同的材料特性保證第一區(qū)域的打底層的激光吸 收率低于所述第二區(qū)域的打底層的激光吸收率。
[0037] 當(dāng)然，還可以采用同一材料在載體基板上形成打底層，通過不同的溫度以及打底 層表面參數(shù)（例如表面粗糙度）不同等使得第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低于所述第二 區(qū)域的打底層的激光吸收率。
[0038] 可選的，所述第一材料為非晶硅，所述第二材料為氮化硅。發(fā)明人通過實(shí)驗(yàn)獲得以 下幾種材料在與載體基板脫離所需的激光強(qiáng)度關(guān)系：a-si (非晶硅）>PI(聚酰亞胺塑料） >IT0(Indium tin oxide,氧化銦錫）>SiNx(氮化娃）=SiOx(氧化娃）。本發(fā)明實(shí)施例 優(yōu)選載體基板為玻璃基板，第一材料為非晶硅，第二材料為氮化硅。當(dāng)然，第一材料和第二 材料還可以其他物質(zhì)，本發(fā)明實(shí)施例僅以上述為例進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0039] 可選的，如圖2、圖3所示，所述第一區(qū)域111位于柔性顯示面板單元相對的兩側(cè)的 邊緣區(qū)域。如圖3所示，第一區(qū)域111設(shè)置在柔性顯示面板單元相對的兩側(cè)的邊緣區(qū)域，則 在柔性顯示面板單元的顯示元器件形成之后，可以通過將柔性顯示面板單元相對的兩側(cè)的 邊緣第一區(qū)域與第二區(qū)域斷開（可以是沿圖3所示的虛線將柔性顯示面板單元第一區(qū)域和 第二區(qū)域切開），或者，將柔性顯示面板單元以及載體基板相對的兩側(cè)的邊緣即第一區(qū)域切 除（可以是沿圖3所示的虛線切除），再將第二區(qū)域的打底層與載體基板進(jìn)行機(jī)械分離（例 如可以是通過吸附裝置等吸附柔性顯示面板使其與載體基板分離）得到柔性顯示面板。
[0040] 可選的，如圖4所示，所述第一區(qū)域111位于柔性顯示面板單元四周的邊緣區(qū)域。 在柔性顯示面板單元的顯示元器件形成之后，可以通過將柔性顯示面板單元相對的四周的 邊緣第一區(qū)域與第二區(qū)域斷開（可以是沿圖4所示的虛線將柔性顯示面板單元第一區(qū)域和 第二區(qū)域切開），或者，將柔性顯示面板單元以及載體基板對應(yīng)的第一區(qū)域切除（可以是沿 圖4所示的虛線切除），再將第二區(qū)域的打底層與載體基板進(jìn)行機(jī)械分離得到柔性顯示面 板。
[0041] 或者，可選的，如圖5所示，所述第一區(qū)域111位于柔性顯示面板單元的四個(gè)邊角 區(qū)域。第一區(qū)域設(shè)置在柔性顯示面板單元的四個(gè)邊角，可以沿圖4所示的虛線將柔性顯示 面板單元包括第一區(qū)域的部分與第二區(qū)域的部分?jǐn)嚅_，或者，將柔性顯示面板單元和載體 基板對應(yīng)包括第一區(qū)域的部分切除，再將第二區(qū)域的打底層與載體基板進(jìn)行機(jī)械分離得到 柔性顯示面板。
[0042] 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種柔性顯示面板的制作方法，如圖6所示，所述方法包括：
[0043] 步驟101、在載體基板上制作柔性顯示面板單元的打底層。
[0044] 其中，所述柔性顯示面板單元的打底層包括第一區(qū)域和第二區(qū)域，第一區(qū)域的打 底層的激光吸收率低于所述第二區(qū)域的打底層的激光吸收率，且所述第二區(qū)域的打底層的 臨界能量不大于所述第一區(qū)域的打底層的臨界能量；所述第一區(qū)域位于柔性顯示面板單元 的邊緣區(qū)域。
[0045] 可選的，所述第一區(qū)域的打底層由第一材料形成；所述第二區(qū)域的打底層由第二 材料形成，其中，所述第一材料的激光吸收率低于所述第二材料的激光吸收率。其進(jìn)一步可 選的，所述第一區(qū)域位于柔性顯示面板單元相對的兩側(cè)的邊緣區(qū)域?；蛘撸龅谝粎^(qū)域形 成在柔性顯示面板單元四周的邊緣區(qū)域。或者所述第一區(qū)域形成在柔性顯示面板單元的四 個(gè)邊角區(qū)域。可選的，形成打底層的材料包括：非晶硅、氮化硅、氧化硅、聚酰亞胺或氧化銦 錫。優(yōu)選的，所述第一材料為非晶硅，所述第二材料為氮化硅。
[0046] 優(yōu)選的，第二區(qū)域的打底層的臨界能量小于第一區(qū)域的打底層的臨界能量。具體 的，當(dāng)?shù)诙^(qū)域的打底層的臨界能量小于第一區(qū)域的打底層的臨界能量，且第一區(qū)域的打 底層的激光吸收率低于第二區(qū)域的打底層的激光吸收率，則在相同激光強(qiáng)度下，第二區(qū)域 的打底層與載體基板脫離優(yōu)先第一區(qū)域的打底層，即進(jìn)一步有利于第二區(qū)域的打底層與載 體基板脫離的情況下第一區(qū)域的打底層仍附著在載體基板上。
[0047] 步驟102、在所述打底層上制作柔性襯底。
[0048] 具體在打底層上制作柔性襯底可以參照現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實(shí)施例不作具體贅述。
[0049] 步驟103、在所述柔性襯底上制作顯示元器件。
[0050] 步驟104、利用激光照射所述打底層。
[0051] 具體可以是激光透過載體基板照射打底層，破壞打底層與玻璃基板的接著界面。 由于所述第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低于所述第二區(qū)域的打底層的激光吸收率，且所 述第二區(qū)域的打底層的臨界能量不大于所述第一區(qū)域的打底層的臨界能量，則在相同激光 強(qiáng)度下，第二區(qū)域的打底層與載體基板脫離的情況下第一區(qū)域的打底層仍附著在載體基板 上，由于第一區(qū)域的打底層附著在載體基板，則第二區(qū)域的打底層與載體基板脫離即使激 光使得第二區(qū)域的打底層有脫落也不會擴(kuò)散至周圍環(huán)境，避免對周圍工藝環(huán)境的影響。優(yōu) 選的，本發(fā)明實(shí)施例中以激光照射使得第二區(qū)域的打底層與載體基板脫離，且第一區(qū)域的 打底層與載體基板附著為例。
[0052] 當(dāng)然，也可以是在相同激光強(qiáng)度下照射打底層，使得第一區(qū)域的打底層和第二區(qū) 域的打底層與載體基板的接著力變小，再利用機(jī)械等方法將所述打底層與載體基板分離。
[0053] 步驟105、將所述打底層和載體基板分離。
[0054] 具體的，可以是采用機(jī)械剝離等方法，由于第二區(qū)域的打底層與載體基板脫離之 后，可以通過外力使其與載體基板分離。
[0055] 可選的，如圖7所示，所述將打底層和載體基板分離具體包括：
[0056] 步驟1051、將柔性顯示面板單元對應(yīng)包括打底層第一區(qū)域的部分與其他部分?jǐn)?開。
[0057] 所述柔性顯示面板單元對應(yīng)打底層第一區(qū)域的部分可以是如圖3、圖4所示，沿虛 線將柔性顯示面板單元對應(yīng)第一區(qū)域的部分與對應(yīng)第二區(qū)域的部分?jǐn)嚅_；還可以是如圖5 所示，將柔性顯示面板單元沿虛線將對應(yīng)包括第一區(qū)域的部分和第二區(qū)域的部分（即圖5 所示的每一條虛線對應(yīng)的第一區(qū)域和第二區(qū)域的部分），與其他第二部分（即四條虛線交 叉形成的中間區(qū)域的部分）斷開。
[0058] 具體的，將柔性顯示面板單元對應(yīng)包括打底層第一區(qū)域的部分與其他第二部分?jǐn)?開，可以是利用刀輪將柔性顯示面板單元以及載體基板對應(yīng)包括打底層第一區(qū)域的部分切 除，從而使得柔性顯示面板單元對應(yīng)包括打底層第一區(qū)域的部分與其他第二部分?jǐn)嚅_；還 可以是利用刀輪僅將柔性顯示面板單元對應(yīng)包括打底層第一區(qū)域的部分與其他對應(yīng)第二 區(qū)域的部分切開斷開。這樣載體基板不受損傷，還可以繼續(xù)用于其他柔性顯示面板的制作。
[0059] 步驟1052、采用機(jī)械方法將柔性顯示面板單元對應(yīng)打底層第二區(qū)域的部分與載體 基板分離。
[0060] 在相同激光強(qiáng)度下，第二區(qū)域的打底層與載體基板脫離的情況下第一區(qū)域的打底 層仍附著在載體基板上，可以通過將第一區(qū)域與其他第二部分?jǐn)嚅_，再采用機(jī)械方式例如 利用吸附裝置直接將對應(yīng)柔性顯示面板的部分吸附，使其與載體基板分離。例如可以通過 刀輪將柔性顯示面板單元包括第一區(qū)域的部分切割，使得柔性顯示面板對應(yīng)包括打底層第 一區(qū)域的部分與其他部分?jǐn)嚅_，利用吸附裝置直接將對應(yīng)柔性顯示面板的部分吸附，或者 直接用力取下載體基板，使得將第二區(qū)域的打底層和載體基板分離。
[0061] 以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何 熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵 蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1. 一種柔性顯示面板母板，包括：載體基板以及形成在所述載體基板上的至少一個(gè)柔 性顯示面板單元，其中，所述柔性顯示面板單元包括形成在所述載體基板上的打底層、柔性 襯底以及顯示元器件，其特征在于，所述柔性顯示面板單元的打底層包括第一區(qū)域和第二 區(qū)域，所述第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低于所述第二區(qū)域的打底層的激光吸收率，且 所述第二區(qū)域的打底層的臨界能量不大于所述第一區(qū)域的打底層的臨界能量；所述第一區(qū) 域位于柔性顯示面板單元的邊緣區(qū)域。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板母板，其特征在于，形成打底層的材料包括：非 晶硅、氮化硅、氧化硅、聚酰亞胺或氧化銦錫。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性顯示面板母板，其特征在于，所述第一區(qū)域的打底層由 第一材料形成；所述第二區(qū)域的打底層由第二材料形成；其中，所述第一材料的激光吸收 率低于所述第二材料的激光吸收率。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性顯示面板母板，其特征在于，所述第一材料為非晶硅，所 述第二材料為氮化硅。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板母板，其特征在于，所述第二區(qū)域的打底層的 臨界能量小于所述第一區(qū)域的打底層的臨界能量。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的柔性顯示面板母板，其特征在于，所述第一區(qū)域位 于柔性顯示面板單元相對兩側(cè)的邊緣區(qū)域。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的柔性顯示面板母板，其特征在于，所述第一區(qū)域位 于柔性顯示面板單元四周的邊緣區(qū)域。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的柔性顯示面板母板，其特征在于，所述第一區(qū)域位 于顯示面板單元的四個(gè)邊角區(qū)域。
9. 一種柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，包括： 在載體基板上制作柔性顯示面板單元的打底層，其中，所述柔性顯示面板單元的打底 層包括第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第一區(qū)域的打底層的激光吸收率低于所述第二區(qū)域的打 底層的激光吸收率，且所述第二區(qū)域的打底層的臨界能量不大于所述第一區(qū)域的打底層的 臨界能量；所述第一區(qū)域位于柔性顯示面板單元的邊緣區(qū)域； 在所述打底層上制作柔性襯底； 在所述柔性襯底上制作顯示元器件； 利用激光照射所述打底層； 將所述打底層和載體基板分離。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的制作方法，其特征在于，形成打底層的材料包括：非晶硅、氮 化硅、氧化硅、聚酰亞胺或氧化銦錫。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的制作方法，其特征在于，所述第一區(qū)域的打底層由第一材 料形成；所述第二區(qū)域的打底層由第二材料形成；其中，所述第一材料的激光吸收率低于 所述第二材料的激光吸收率。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制作方法，其特征在于，所述第一材料為非晶硅，所述第二 材料為氮化硅。
13. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述第二區(qū)域的打底層的臨界能量 小于所述第一區(qū)域的打底層的臨界能量。
14. 根據(jù)權(quán)利要求9-13任一項(xiàng)所述的制作方法，其特征在于，所述第一區(qū)域位于柔性 顯示面板單元相對兩側(cè)的邊緣區(qū)域。
15. 根據(jù)權(quán)利要求9-13任一項(xiàng)所述的制作方法，其特征在于，所述第一區(qū)域位于柔性 顯示面板單元四周的邊緣區(qū)域。
16. 根據(jù)權(quán)利要求9-13任一項(xiàng)所述的制作方法，其特征在于，所述第一區(qū)域位于柔性 顯示面板單元的四個(gè)邊角區(qū)域。
17. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述將所述打底層和載體基板分離 具體包括： 將柔性顯示面板單元對應(yīng)包括打底層第一區(qū)域的部分與其他部分?jǐn)嚅_，采用機(jī)械方法 將柔性顯示面板單元對應(yīng)打底層第二區(qū)域的部分與載體基板分離。
【文檔編號】G09F9/33GK104091535SQ201410306919
【公開日】2014年10月8日 申請日期:2014年6月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月30日
【發(fā)明者】謝明哲, 謝春燕, 劉陸 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司