專利名稱：平板顯示器件的制造方法及制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平板顯示器件，特別涉及一種適合于采用不需要照相工藝的構(gòu)圖工序的平板顯示器件及其制造方法，從而降低其處理時(shí)間和使構(gòu)圖缺陷最小化。
背景技術(shù)：
顯示器件正在成為用于視頻信息溝通的增長(zhǎng)的重點(diǎn)。流行的顯示器件陰極射線管(CRT)或布勞恩管具有質(zhì)量重和尺寸大的問(wèn)題。
包括液晶顯示器件(LCD)、場(chǎng)發(fā)射顯示器(FED)、等離子顯示板(PDP)、或電致發(fā)光(EL)顯示的平板顯示器件已經(jīng)商品化。
由于其能夠滿足重量輕和物理輪廓薄的要求，液晶顯示器件已經(jīng)迅速地在各種應(yīng)用領(lǐng)域中取代了CRT。
具體地說(shuō)，利用薄膜晶體管(以下，稱之為“TFT”)驅(qū)動(dòng)液晶單元的有源矩陣型液晶顯示器件具有圖像質(zhì)量好和消電低的優(yōu)點(diǎn)。由于批量生產(chǎn)技術(shù)中的改進(jìn)和富有成效的研發(fā)結(jié)果，TFT LCD已經(jīng)快速地發(fā)展為大尺寸和高清晰度。
如圖1中所示的有源矩陣型液晶顯示器件包括粘結(jié)在一起的濾色片基板22和TFT陣列基板23以及位于它們之間的液晶層15。圖1中所示的液晶顯示器件代表整個(gè)有效圖像區(qū)域的一部分。
濾色片基板22包括位于上玻璃基板12的后表面上的黑矩陣(圖中沒(méi)有示出)、濾色片13和公共電極14。偏振片11粘接在上玻璃基板12上。包括紅(R)、綠(G)和藍(lán)(B)濾色片的濾色片13透過(guò)特定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的可見(jiàn)光，以顯示彩色。
在TFT陣列基板23中，在下玻璃基板16的前表面上數(shù)據(jù)線19和柵線18彼此交叉。在這些交叉點(diǎn)上形成有TFT’s 20。像素電極21形成在位于下玻璃基板16的前表面上的數(shù)據(jù)線19與柵線18之間的單元區(qū)域中。TFT 20響應(yīng)來(lái)自柵線18的掃描信號(hào)用來(lái)開(kāi)關(guān)位于數(shù)據(jù)線19與像素電極21之間的數(shù)據(jù)傳送通道，從而驅(qū)動(dòng)像素電極21。偏振片17粘接在TFT陣列基板23的后表面上。
液晶層15通過(guò)施加到其上的電場(chǎng)來(lái)控制由TFT陣列基板23所入射的光的透光量。
粘接在濾色片基板22和TFT基板23上的偏振片11和17透過(guò)沿一個(gè)方向偏振后的光。當(dāng)液晶層15為90°TN模式時(shí)其偏振方向垂直地交叉。
定向膜(圖中沒(méi)有示出)形成在濾色片基板22和陣列TFT基板23的液晶的相背的表面上。
用于有源矩陣型液晶顯示器件的制造方法劃分為例如，清洗基板工序；構(gòu)圖基板工序；形成/摩擦定向膜工序；粘結(jié)基板/注入液晶工序；封裝工序；檢測(cè)工序和維修工序。清洗基板工序利用清潔溶液除去污染液晶顯示面板的基板表面的雜質(zhì)。構(gòu)圖基板工序分成濾色片基板的構(gòu)圖工序和TFT陣列基板的構(gòu)圖工序。
在形成/摩擦定向膜的工序中，在每個(gè)濾色片基板和TFT陣列基板上面涂定向膜。用摩擦布摩擦定向膜。在粘結(jié)基板/注入液晶工序中，濾色片基板和TFT陣列基板粘結(jié)在一起并且通過(guò)液晶注入孔注入液晶和襯墊料。然后，用密封劑密封液晶注入孔。
封裝工序?qū)⑵渖显O(shè)置有例如柵驅(qū)動(dòng)集成電路和數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)集成電路的集成電路的載帶封裝(以下，稱之為“TCP”)與基板的焊盤(pán)部分連接。除了利用前面提到的TCP的帶式自動(dòng)粘結(jié)方法(tape automated bonding method)以外，驅(qū)動(dòng)集成電路可以通過(guò)玻上芯片COG方法直接固定到基板上。檢測(cè)工序包括在TFT陣列基板上形成像素電極和例如數(shù)據(jù)線和柵線等信號(hào)線之后進(jìn)行的電測(cè)試；和在粘結(jié)基板/注入液晶工序之后進(jìn)行的電測(cè)試和肉眼檢查。在維修工序中，在由檢測(cè)工序判斷出的可能需要修理的基板上進(jìn)行修復(fù)。在檢測(cè)工序中，不能維修的基板作為廢品處理。
在包括液晶顯示器件的大部分平板顯示器件的制造方法中，通過(guò)光刻法將設(shè)置在基板上的薄膜材料進(jìn)行構(gòu)圖。該光刻工序通常包括涂光刻膠、對(duì)準(zhǔn)掩膜、曝光、顯影以及清洗的一系列照相光序。但是，光刻法存在的問(wèn)題是其完成所需的時(shí)間長(zhǎng)，浪費(fèi)了許多光刻膠材料和剝離溶液，并且需要如曝光設(shè)備等昂貴設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明旨在一種液晶顯示器件及其制造方法，其基本上克服了由于現(xiàn)有技術(shù)的局限和缺點(diǎn)而存在的一個(gè)或多個(gè)問(wèn)題。
一種適合于采用不需要照相工藝的構(gòu)圖工序的平板顯示器件及其制造方法，從而降低其處理時(shí)間和使構(gòu)圖缺陷最小化。
在隨后的描述中將給出本發(fā)明的附加特征和優(yōu)點(diǎn)，其部分可由描述顯然看出，或者可通過(guò)本發(fā)明的實(shí)施而獲悉。通過(guò)文字描述和其權(quán)利要求以及附圖中具體給出的結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)和獲得本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)。
為了實(shí)現(xiàn)這些和其它優(yōu)點(diǎn)，根據(jù)本發(fā)明一方面的一種平板顯示器件的制造方法包括形成軟模作為可滲透結(jié)構(gòu)；在薄膜上涂布蝕刻劑(etch-resist)；通過(guò)將軟模壓到蝕刻劑上在薄膜上形成蝕刻劑圖案；將軟模從蝕刻劑圖案上分離；以及通過(guò)利用蝕刻劑圖案作為掩模對(duì)薄膜進(jìn)行蝕刻。
在該制造方法中，形成軟模的步驟包括利用主模(master mold)形成可滲透結(jié)構(gòu)；以及在可滲透結(jié)構(gòu)的表面上形成薄膜樹(shù)脂層，用來(lái)阻止溶劑流入到可滲透結(jié)構(gòu)中以及快速的空氣流入。
在該制造方法中，可滲透結(jié)構(gòu)具有硅微粒(silica particle)。
在該制造方法中，薄膜樹(shù)脂層是聚二甲基硅氧烷、聚亞安酯和交聯(lián)酚醛清漆樹(shù)脂(cross-linked novolac resin)中的至少一種。
在該制造方法中，薄膜樹(shù)脂層的厚度是大約1μm至100μm。
在該制造方法中，平板顯示器件是液晶顯示器件LCD、場(chǎng)發(fā)射顯示器件FED、等離子體顯示板PDP和電致發(fā)光EL中的任何一種。
根據(jù)本發(fā)明另一方面的一種平板顯示件的制造裝置包括形成為可滲透結(jié)構(gòu)的軟模；涂布裝置，用來(lái)將蝕刻劑涂布在整個(gè)薄膜之上；以及裝置，用于通過(guò)將軟模壓到蝕刻劑上而在薄膜上形成蝕刻劑圖案，將軟模從蝕刻劑圖案上分離并且通過(guò)利用蝕刻劑圖案作為掩模對(duì)薄膜進(jìn)行蝕刻。
在該制造裝置中，軟模包括形成在可滲透結(jié)構(gòu)的表面上的薄膜樹(shù)脂層，用于阻止溶劑流入到可滲透結(jié)構(gòu)中以及快速的空氣流入。
在該制造裝置中，可滲透結(jié)構(gòu)具有硅微粒。
在該制造裝置中，薄膜樹(shù)脂層是聚二甲基硅氧烷、聚亞安酯和交聯(lián)酚醛清漆樹(shù)脂中的至少一個(gè)。
在該制造裝置中，薄膜樹(shù)脂層的厚度是大約1μm至100μm。
在該制造裝置中，平板顯示件是液晶顯示器件LCD、場(chǎng)發(fā)射顯示器件FED、等離子體顯示板PDP和電致發(fā)光EL中的任何一種。
應(yīng)當(dāng)理解前面概要性的解釋和以下作為示例的詳細(xì)說(shuō)明和解釋都準(zhǔn)備為本發(fā)明的權(quán)利要求提供進(jìn)一步的解釋。


結(jié)合所附附圖解釋本發(fā)明的實(shí)施例并且與說(shuō)明書(shū)一起來(lái)解釋本發(fā)明的原理，這些附圖用來(lái)進(jìn)一步地理解發(fā)明并且合并在其中和構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分。
在這些附圖中圖1所示為有源矩陣型液晶顯示器件的透視圖；圖2所示為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的平板顯示器件的制造方法；圖3所示為當(dāng)圖2中所示的基板與軟模接觸時(shí)蝕刻劑溶液的運(yùn)動(dòng)圖；圖4所示為在圖2工序的過(guò)程中產(chǎn)生的氣泡和由于該氣泡而產(chǎn)生的蝕刻劑圖案缺陷的剖面圖；以及圖5A至5H所示為圖2中所示軟模的制造方法中每個(gè)步驟的剖面圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在詳細(xì)解釋本發(fā)明的實(shí)施例，具體的例子在所附附圖中給出。在盡可能的情況下，在所有附圖中采用相同的附圖標(biāo)記表示相同或類似的部分。
參照?qǐng)D2，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的平板顯示器件的制造方法包括涂布工序，在玻璃基板31的像素陣列的薄膜32a上涂布蝕刻劑溶液33a；利用軟模34的蝕刻劑溶液33a的構(gòu)圖工序；用于對(duì)薄膜32a進(jìn)行構(gòu)圖的蝕刻工序；蝕刻劑圖案33b的剝離工序；以及薄膜圖案32b的檢測(cè)工序。
在玻璃基板31上形成的像素陣列的薄膜32a是通過(guò)現(xiàn)有技術(shù)中已知的涂布工藝或沉積工藝在玻璃基板31上由基本材料(basic material)形成的，其中基本材料用作平板顯示器件的像素陣列中的金屬圖案、有機(jī)圖案和無(wú)機(jī)圖案。
蝕刻劑溶液33a可以是具有耐熱性和耐化學(xué)腐蝕性的材料，例如以大約5％至30％的重量比向乙醇溶液中添加交聯(lián)酚醛清漆樹(shù)脂而形成的溶液。通過(guò)例如噴嘴噴射和旋轉(zhuǎn)涂布等涂布工藝將蝕刻劑溶液33a涂布在整個(gè)薄膜32a上。
軟模34具有已經(jīng)形成的溝槽34a，其中溝槽34a對(duì)應(yīng)于要在玻璃基板31上形成的圖案。將軟模34對(duì)準(zhǔn)蝕刻劑溶液33a，并且然后向蝕刻劑溶液33a上施加僅夠使溶液與薄膜32a相接觸的壓力。通過(guò)軟模34的重量可以滿足該壓力需要。與此同時(shí)，在大約130℃或更低的溫度下將玻璃基板31烘焙10分鐘至2小時(shí)。然后如圖3中所示，蝕刻劑溶液33a通過(guò)由軟模34與玻璃基板31之間的壓力所產(chǎn)生的毛細(xì)作用力和軟模34與蝕刻劑溶液33a之間的排斥力而運(yùn)動(dòng)到軟模34的溝槽34a中。
結(jié)果以圖案形狀在薄膜32a上形成呈軟模34的溝槽圖案的反向復(fù)制(reverse copy)圖案的蝕刻劑圖案33b。
在軟模34從玻璃基板31上分離開(kāi)之后，執(zhí)行濕刻工序或干刻工序。在此時(shí)，蝕刻劑圖案33b用作掩模，使得只有位于蝕刻劑圖案33b的下部的薄膜32a保留在玻璃基板31上。薄膜32a的其余部分被去除。隨后，通過(guò)剝離工序除去蝕刻劑圖案33b以及通過(guò)薄膜圖案32b的電學(xué)和光學(xué)測(cè)試進(jìn)行對(duì)薄膜圖案32b的檢查，例如短路、斷線等。
在與玻璃基板31分離開(kāi)之后，利用紫外線和臭氧(O3)清洗軟模34并且然后在另一個(gè)薄膜32a的構(gòu)圖工序中重新使用。
另一方面，由流入到蝕刻劑溶液33a中的外來(lái)空氣以及在蝕刻劑構(gòu)圖工序的蝕刻劑溶液33a中的揮發(fā)溶劑所產(chǎn)生的脫氣可能在蝕刻劑溶液33a中產(chǎn)生氣泡。換句話說(shuō)，如圖4中所示，在蝕刻劑溶液33a中存在微小的氣泡41，并且當(dāng)軟模34與蝕刻劑溶液33a接觸時(shí)大氣中的空氣混入蝕刻劑溶液33a。蝕刻劑溶液33a中的氣泡在烘烤工序中以及在施加到軟模34上的壓力的作用下增大，這些氣泡是產(chǎn)生蝕刻劑圖案33b的凹陷或缺失的原因。
由于蝕刻劑溶液33a中溶劑的蒸發(fā)速度比軟模34的快，因此其吸收蝕刻劑溶液33a中的溶劑使得其凝固，在蝕刻劑構(gòu)圖工序中產(chǎn)生的氣泡保留在蝕刻劑溶液33a和蝕刻劑圖案33b中。因此，這些氣泡導(dǎo)致蝕刻劑圖案33b的圖案缺陷。
如果薄膜圖案32b是信號(hào)線，那么由于蝕刻劑圖案33b中的圖案缺陷，薄膜圖案32b可能存在意外的短路或斷路，從而阻止信號(hào)正常地提供給顯示器件。
為了防止由于殘留氣泡而引起的蝕刻劑的圖案缺陷，根據(jù)本發(fā)明的用于平板顯示器件的制造方法和制造裝置可以將軟模34的至少一部分制造成具有能夠吸入和排出氣泡的多孔結(jié)構(gòu)。這里，該多孔結(jié)構(gòu)可以是具有多個(gè)微小開(kāi)口的連續(xù)氣泡狀或者是具有滲透性的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
圖5A至5H所示為根據(jù)本發(fā)明的軟模34的制造方法的每個(gè)步驟的剖面圖。
如圖5A中所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的軟模34的制造方法在主板51的整個(gè)表面上涂布光阻52a。隨后，如圖5B中所示，本發(fā)明將光掩模54對(duì)準(zhǔn)光阻52a，紫外線UV穿過(guò)光掩模54照射到光阻52a上，并且然后通過(guò)顯影處理形成光阻圖案52b。在這種方式中，形成光阻圖案52b的主板51用作第一主模從而形成多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)。
如圖5C所示，通過(guò)圖5A和5B中的工序制造出的第一主模設(shè)置在第一框架53中。第一框架53其上放置有第一主模的底平面以及高度高于軟模34的高度的側(cè)壁。如圖5D中所示，當(dāng)?shù)谝恢髂７胖脮r(shí)，其中均勻混合有多孔樹(shù)脂顆粒例如硅微粒的溶液57a注入到第一框架53中并且通過(guò)烘烤工序使多孔樹(shù)脂溶液固化。如圖5E中所示，將以這種方式固化后的多孔樹(shù)脂溶液57a切割成預(yù)定尺寸并且與第一主模相分離。
在切割步驟中分離的圖5F中的多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b具有從第一主模的凸出的圖案相反地復(fù)制出的雕刻圖案57c。在其上形成有雕刻圖案57c的多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b的表面上形成薄膜樹(shù)脂層。薄膜樹(shù)脂層防止蝕刻劑溶液33a的溶劑快速地流入到多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)中并且使得只有少量的溶劑分子和溶劑的蒸發(fā)氣體在軟模和蝕刻劑溶液33a的接觸、施加壓力和烘焙工序中通過(guò)多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)。為此，如圖5F和5G中所示，提供擁有薄膜樹(shù)脂材料溶液58a并且其中固定有第二主模的第二框架59。這里，第二主模制成第二主基板55中，在第二主基板55中存在尺寸小于多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b的雕刻圖案57c的凸出圖案56b。薄膜樹(shù)脂材料溶液58a包括當(dāng)與多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b粘接時(shí)良好并且具有較高彈性的橡膠材料，例如，聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚亞安酯和交聯(lián)酚醛清漆樹(shù)脂。
參照?qǐng)D5F和5G，多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b浸入到薄膜樹(shù)脂材料溶液58a中，從而使得第二主模的凸出的圖案56b插入到雕刻圖案57c中。當(dāng)多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b浸入時(shí)，通過(guò)烘焙工序使得薄膜樹(shù)脂材料溶液58a固化。
最后，如圖5H中所示，在本發(fā)明中，將多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b從固化后的薄膜樹(shù)脂材料上分離，從而使得薄膜樹(shù)脂層58b以預(yù)定的厚度保留在包含雕刻圖案57c的多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b的表面上。另外將多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b干燥預(yù)定的時(shí)間周期從而除去被吸收到多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b中的任何殘留的溶劑。
薄膜樹(shù)脂層58b的厚度(t)是大約1μm至100μm。如上所述，薄膜樹(shù)脂層58b的厚度滿足防止蝕刻劑溶液33a的溶劑快速流入到多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b中和僅使少量的溶劑分子和溶劑的蒸發(fā)氣體能夠穿過(guò)多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b或者僅有溶劑的蒸發(fā)氣體穿過(guò)多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b的條件。
另一方面，如圖5F和5G中所示，通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂覆法以及浸煮法(digestionmethod)可以將薄膜樹(shù)脂材料溶液58a直接地分配或涂布在多孔樹(shù)脂結(jié)構(gòu)57b上。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器件的制造方法和制造裝置可以應(yīng)用于構(gòu)圖平板顯示器件的電極層、有機(jī)層和無(wú)機(jī)層的工序中，例如這些平板顯示器件可以是液晶顯示器件LCD、場(chǎng)發(fā)射顯示器件(FED)、等離子體顯示板(PDP)或電致發(fā)光顯示器件(EL)。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器件的制造方法和制造裝置通過(guò)使用軟模和蝕刻劑可以不需要照相工序而對(duì)顯示器件的薄膜進(jìn)行構(gòu)圖，并且降低其處理時(shí)間。另外，根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器件的制造方法和制造裝置為軟模提供了滲透性，允許它吸收在軟模和蝕刻劑的接觸、施加壓力和烘焙工序中從蝕刻劑的溶劑中產(chǎn)生的氣體并且將氣體排出到外面，從而防止由于蝕刻劑中殘留的氣泡而引起的薄膜中的任何圖案缺陷。另外，它在軟模和蝕刻劑的接觸表面上形成薄膜樹(shù)脂層，其允許由溶劑的蒸發(fā)而產(chǎn)生的少量的溶劑分子或氣體分子穿過(guò)，從而能夠防止軟模被溶劑滲透或膨脹。
本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚，在沒(méi)有脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，能夠?qū)Ρ景l(fā)明做出多種改進(jìn)和變形。因此，準(zhǔn)備使得本發(fā)明覆蓋落入所附權(quán)利要求及其等效物的范圍中的本發(fā)明的改進(jìn)和變形。
權(quán)利要求
1.一種平板顯示器件的制造方法，包括形成為可滲透結(jié)構(gòu)的軟模；在薄膜上涂布蝕刻劑；通過(guò)將所述軟模壓到所述蝕刻劑上在所述薄膜上形成蝕刻劑圖案；將所述軟模從所述蝕刻劑圖案上分離；以及通過(guò)以蝕刻劑圖案作為掩模對(duì)所述薄膜進(jìn)行蝕刻。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述形成軟模的步驟包括利用主模形成可滲透結(jié)構(gòu)；以及在所述可滲透結(jié)構(gòu)的表面上形成薄膜樹(shù)脂層，用于阻止溶劑流入到所述可滲透結(jié)構(gòu)中以及快速的空氣流入。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述可滲透結(jié)構(gòu)具有硅微粒。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述薄膜樹(shù)脂層是聚二甲基硅氧烷、聚亞安酯和交聯(lián)酚醛清漆樹(shù)脂中的至少一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述薄膜樹(shù)脂層的厚度是大約1μm至100μm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述平板顯示器件是液晶顯示器件、場(chǎng)發(fā)射顯示器件、等離子體顯示板和電致發(fā)光器件中的任何一種。
7.一種平板顯示器件的制造裝置，包括以可滲透結(jié)構(gòu)形成的軟模；涂布裝置，用于在整個(gè)薄膜上涂布蝕刻劑；以及部件，其用于通過(guò)將所述軟模壓到蝕刻劑上在薄膜上形成蝕刻劑圖案，將軟模從蝕刻劑圖案上分離，以及通過(guò)利用蝕刻劑圖案作為掩模對(duì)薄膜進(jìn)行蝕刻。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造裝置，其特征在于，所述軟模包括形成在可滲透結(jié)構(gòu)表面上的薄膜樹(shù)脂層，用于阻止溶劑流入到可滲透結(jié)構(gòu)中以及快速的空氣流入。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造裝置，其特征在于，所述可滲透結(jié)構(gòu)具有硅微粒。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造裝置，其特征在于，所述薄膜樹(shù)脂層是聚二甲基硅氧烷、聚亞安酯和交聯(lián)酚醛清漆樹(shù)脂中的至少一個(gè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造裝置，其特征在于，所述薄膜樹(shù)脂層的厚度是大約1μm至100μm。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造裝置，其特征在于，所述平板顯示器件是液晶顯示器件、場(chǎng)發(fā)射顯示器件、等離子體顯示板和電致發(fā)光器件中的任何一種。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種適合于采用不需要照相工藝的構(gòu)圖工序的平板顯示器件及其制造方法，從而降低其處理時(shí)間和使構(gòu)圖缺陷最小化。根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的平板顯示裝置的制造方法和制造裝置在薄膜上涂布蝕刻劑，并且通過(guò)將具有可滲透結(jié)構(gòu)的軟模壓到蝕刻劑上在薄膜上形成蝕刻劑圖案。
文檔編號(hào)G09F9/00GK1641423SQ2004101027
公開(kāi)日2005年7月20日 申請(qǐng)日期2004年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月27日
發(fā)明者金容凡, 金珍郁 申請(qǐng)人:Lg.菲利浦Lcd株式會(huì)社