專利名稱：微型噴射裝置的噴嘴板組件和制造噴嘴板組件的方法
技術領域：
本發(fā)明涉及微型噴射裝置和噴墨打印頭領域，特別涉及微型噴射裝置的噴嘴板組件。
微型噴射裝置通常是指一種為打印紙、人體或機動車提供預定量液體(諸如油墨、噴射液體或石油產品)的裝置，在該裝置中所采用的方法是將預定量的電能或熱能施加到上述液體中以使所述液體發(fā)生體積上的變化。這種方法能夠將預定量的液體施加于一個特定的物體上。
近年來，電子技術的進步使得這種微型噴射裝置得以迅猛的發(fā)展。因此，微型噴射裝置已廣泛地用于人們的日常生活中。日常使用的微型噴射裝置的一個例子是噴墨打印機。
噴墨打印機是微型噴射裝置中的一種形式，其不同于常規(guī)的點式打印機的地方在于通過使用墨盒能夠以各種顏色實現印刷工作。與常規(guī)的點式打印機相比，噴墨打印機的另外的優(yōu)點是噪聲低、印刷質量有提高。因此，噴墨打印機已獲得極大的普及。
噴墨打印機通常具有打印頭，通過接通或斷開從一外部裝置施加的電信號，所述打印頭將液態(tài)的油墨變化為氣泡狀態(tài)。然后，呈氣泡狀態(tài)的油墨膨脹并被排出，以在打印紙上實現打印。
下面幾篇美國專利文獻描述了現有技術的幾種噴墨打印頭的結構和操作。授予Vaught等人的、題目為“熱噴墨打印機”的美國專利No.4,490,728描述了一種基本的打印頭。授予Aden等人的、題目為“用于噴墨打印頭的薄膜裝置以及用于制造該裝置的方法”的美國專利No.4,809,428以及授予Komuro的、題目為“用于噴液記錄頭的基底的制造方法和由這種方法所制造的基底”的美國專利No.5,140,345描述了噴墨打印頭的制造方法。授予Johnson等人的，題目為“用于噴墨打印頭高溫操作的油墨通道幾何結構”的美國專利No.5,274,400描述了改變供墨通道的尺寸以設置流阻的方法。授予Keefe等人的、題目為“噴墨打印頭”的美國專利No.5,420,627描述了一種特別的打印頭設計形式。
一般來說，這樣一種傳統(tǒng)的噴墨打印頭包括一個具有噴嘴的噴嘴板，所述噴嘴具有用于噴墨的微小直徑。在噴墨過程中，噴嘴板用作將油墨最終噴射到外部的打印紙上的噴射口，并因此而在決定打印質量方面起到一個相當重要組件的作用。因此，在設計制作噴嘴板的材料，以及在設計噴嘴的尺寸和形狀時，必須考慮油墨的特性。
一般來說，在這樣一個噴墨頭中，噴嘴板的外表面被做成光滑的，以具有低的粗糙度。由此，噴嘴板與油墨之間的表面張力增加，它們之間的接觸角變大，從而防止了因那些呈氣泡狀且準備排出的墨滴流向鄰近的噴嘴而產生的相互干擾。
對于噴嘴板的外表面，干擾問題可以通過降低表面粗糙度而很容易地得以糾正。然而，如果噴嘴板的內表面降低粗糙度，則該內表面與油墨之間的表面張力增加。這樣，噴嘴板與油墨之間的接觸角變大。其結果是，將要向著噴嘴排出的油墨粘附在噴嘴板的內表面上，而不是被氣泡化。在這種情況下，所粘附的墨滴切斷了油墨供應通道與油墨腔之間的墨路，因此破壞了油墨的順暢供應。
如果油墨的供應不順暢，并且因此而造成盛放在油墨腔中的油墨不充足，則當對打印頭進行高速驅動時，會在油墨腔中產生大量的空氣氣泡。于是，所產生的空氣氣泡阻止了油墨墨滴穿過噴嘴，由此而引起這樣一個問題，即油墨不能被噴到打印紙上。其結果是，整個打印質量明顯下降。
為克服這樣的問題，授予Suzuki的題目為“液滴噴射裝置”的美國專利No.5,563,640已經公開了這樣一種方法，其中噴嘴板的外表面由對油墨粘附性很差的材料制成，例如由聚砜、聚醚砜、或聚酰亞胺制成。同時，噴嘴板的內表面用一層對油墨具有很好的粘附性的材料覆蓋，例如是SiO2膜。這樣，在油墨接觸外表面和內表面時可以獲得不同的表面張力，由此而克服了上述的干擾問題和產生空氣氣泡的問題。
此外，授予Bayard等人的題目為“用于改進噴墨打印頭的相變化防止油墨接觸角的減小的方法”的美國專利No.5,378,504已經公開了這樣一種方法，即將一層具有高耐久性的附加涂層材料淀積到噴嘴板的外表面上，以防止表面張力降低，并保持噴嘴板的外表面的狀態(tài)。
然而，為了在噴嘴板上形成噴嘴，需要一種復雜的工藝，這種工藝要采用高成本的設備，例如需要采用激發(fā)物(excimer)激光器。此外，如果在噴嘴板的內表面上形成SiO2膜，則噴嘴直徑變得很窄，并且不能均勻地形成SiO2膜。此外，由于需要附加的涂層工序將涂層材料淀積到噴嘴板的外表面上，所以整個工藝變得相當復雜。
為克服這一問題，可采用電沉積方法，所述電沉積方法能夠省去附加的涂層工序，并且只需要使用投資成本低的裝置。但在這種情況下，由于受電解液的限制，所述內表面的粗糙度不能超過0.016μm至0.025μm，并且不能獲得所期望的表面張力。
因此本發(fā)明的目的是提供一種用于微型噴射裝置的改進的噴嘴板。
本發(fā)明另一目的是提供一種能防止油墨粘附在噴嘴板的內表面上的噴嘴板。
本發(fā)明的又一目的是提供一種能防止在噴嘴板外表面上于噴嘴之間的干擾的噴嘴板。
本發(fā)明的又一目的是提供一種能防止形成空氣氣泡的噴嘴板，這里所說的空氣氣泡將會切斷油墨的供應。
本發(fā)明的又一目的是提供一種用于制造微型噴射裝置的噴嘴板的改進的方法。
又一目的是提供一種用于制造微型噴射裝置的噴嘴板的簡易的方法，所述微型噴射裝置的噴嘴板在內側和外側上能產生不同的表面張力。
又一目的是提供一種用于制造微型噴射裝置的噴嘴板的廉價的方法。
為實現本發(fā)明的上述目的，將一塊限定了噴嘴區(qū)的主板浸入到電解液中，在所述電解液中，NiH2·SO3·H、NiCl2、H3BO3、C12H25SO4·NaS和去離子水以一預定的比例混合。然后，順序地幾次施加具有預定強度的電流，由此而將具有多個噴嘴的噴嘴板鍍到主板的表面上。
這里，通過熱處理和表面處理工藝而對主板的表面進行了拋光。因此，噴嘴板上與主板表面接觸的那個外表面保持很低的粗糙度。此外，通過在由NiH2·SO3·H、NiCl2、H3BO3和十二烷基硫酸鈉(C12H25SO4·NaS)組成的電解液中進行電離而使得最終形成的噴嘴板的內表面粗糙，從而保持很高的粗糙度。其結果是，與內表面相接觸的油墨的表面張力變得比與外表面相接觸的油墨的表面張力小。
通過參照下文中結合附圖所作的詳細描述，將會對本發(fā)明有更完整的理解，而且本發(fā)明的許多附加的優(yōu)點也將顯現出來。在所述附圖中，同樣的標號表示同樣的或類似的元件。


圖1-4是示出本發(fā)明噴嘴板組件的制造工藝的視圖；圖5示出了根據本發(fā)明的噴嘴板組件的實施例；圖6是沿圖5的VI-VI線截取的截面圖，示出了根據本發(fā)明的噴嘴板組件的操作。
現在將參照附圖對本發(fā)明作更全面的描述，在所述附圖中示出了本發(fā)明的優(yōu)選實施例。由于說明書中提到的術語是根據本發(fā)明的功能確定的，所以這些術語可以根據技術人員的意圖或根據通常的實踐而改變，應當考慮本發(fā)明說明書的整體內容來確定這些術語。
如圖1所示，用化學汽相淀積的方法在硅-基體201上形成最好是由釩制成的第一金屬膜203，在所述基底201上有一層由SiO2制成的保護膜202。此時，第一金屬膜203的作用是使得下文中所描述的第二金屬膜204能夠牢固地固定到所述保護膜202上。
然后，用化學汽化噴鍍的方法在第一金屬膜203上形成最好是由鎳制成的第二金屬膜204。這里，用于促進粘附的第一金屬膜203已經在保護膜202上形成。因此，第二金屬膜204能夠更牢固地形成在保護膜202上。第二金屬膜204形成在保護膜202上，從而使得噴嘴板組件100能夠容易地與主板200分離，所述噴嘴板組件100將通過電鍍的方法形成。
然后，在第一和第二金屬層203、204上局部形成圖案膜(未示出)，將所述圖案膜作為掩膜對所述金屬層進行蝕刻，從而使保持膜202可以被局部曝光。然后，用化學制品將剩余的圖案膜除去，借此而完成了用于限定噴嘴區(qū)域10′的主板200。
然后，用除油液對第二金屬層204的表面進行除油，并將主板200放入加熱槽中，在最好是32℃至37℃的溫度下對主板200進行熱處理10至14分鐘。當完成了這種熱處理時，將主板200浸入到化學鈍化液中，以進行表面處理。因此，構成主板200的最上表面的第二金屬膜204的外表面變得具有較低的粗糙度。優(yōu)選的是，在22℃至27℃的溫度下對主板200的表面處理10至20秒。
接下來，如果準備用主板200輔助形成本發(fā)明的噴嘴板組件100，則將該主板200浸入到電解液中，在所述電解液中，NiH2SO3·H、NiCl2、H3BO3、十二烷基硫酸鈉(C12H25SO4·NaS)和去離子水以預定的比例混合。這樣，本發(fā)明的噴嘴板8被鍍到主板200的表面上。
所述電解液最好由280g/l至320g/l的NiH2·SO3·H、18g/l至22g/l的NiCl2、28g/l至32g/l的H3BO3和0.03g/l至0.08g/l的C12H25SO4·NaS組成，更好的是由300g/l的NiH2·SO3·H、20g/l的NiCl2、30g/1的H3BO3和0.05g/l的C12H25SO4·NaS組成。這里，在主板200浸入于其中的電解液中，存在著用于電鍍(coating)噴嘴板8的靶極材料(target substance)，例如鎳。
接下來，靶極材料和主板200連接到外電源上。這里，靶極材料連接到正極(+)上，而主板200連接到負極(-)上。
然后，接通電源，以在靶極材料與主板200之間順序地幾次施加具有預定強度的電流。較優(yōu)選的是，施加電流強度為0.1A/m2的電流達40至60分鐘，施加電流強度為0.2A/m2的電流達25至35分鐘，施加電流強度為0.3A/m2的電流達18至22分鐘，施加電流強度為0.4A/m2的電流達18至22分鐘，施加電流強度為0.1A/m2的電流達8至12分鐘。更優(yōu)選的是，施加電流強度為0.1A/m2的電流達60分鐘，施加電流強度為0.2A/m2的電流達30分鐘，施加電流強度為的電流0.3A/m2達20分鐘，施加電流強度為0.4A/m2的電流達20分鐘，施加電流強度為0.1A/m2的電流達10分鐘。
當完成了這種電流供應過程時，連接到正極上的靶極材料被溶解并迅速電離，被電離的靶極材料通過作為介質的電解液而移動，并沉積到與負極相連接的主板200上，由此而在主板200上形成由鎳制成的噴嘴板8，如圖2所示。該噴嘴板8被電鍍而逐步充滿主板200的噴嘴區(qū)域10′。當這一過程完成時，噴嘴板8的內表面13上具有非常高的粗糙度。
同時，被鍍上的噴嘴板8的厚度可通過下列公式進行調節(jié)。δ=(P1-P2)×104S×γ]]>其中δ是噴嘴板的厚度，P1是在鍍上噴嘴板之前主板的重量，P2是在鍍上噴嘴板之后主板的重量，S是噴嘴板的覆蓋面積，γ是該噴嘴板的比重。
將有關的數值代入到上述等式中，即可確定和調節(jié)一個實際產品的噴嘴板8的厚度。該噴嘴板8的電鍍厚度最好是在約15μm至25μm的范圍內。
當具有所需厚度的噴嘴板8被做好時，工人斷開電源，以完成噴嘴板8的電鍍工序。然后，將鍍有噴嘴板8的主板200從電解液中取出，并將其插入到玻璃槽中。然后，對噴嘴板8進行熱處理。最好是在20℃至30℃的溫度下對噴嘴板8進行熱處理。通過這種方式，噴嘴板8就具有了相當的機械強度。接下來，將噴嘴板8浸入到去離子水中，清潔約5分鐘，并進行干燥。
上述用于形成本發(fā)明的噴嘴板8的過程適合于一般的電沉積方法。這種電沉積方法簡單且不需要高成本的設備和復雜的技術。因此，如果按照本發(fā)明生產制造噴嘴板，則該制造方法的整體產量可顯著提高。
當完成了上述干燥過程時，開始進行在噴嘴板8上形成油墨腔隔擋層7的過程。如圖3所示，在噴嘴板8上沉積30μm厚的有機薄膜，例如聚酰亞胺層7′。然后，將由鋁制成的厚度為0.8μm至1μm的保護掩模層20沉積到聚酰亞胺層7′上。
接下來，在保護掩模層20上沉積一層感光性樹脂層(未示出)，然后用該感光性樹脂層作為掩模，對所述保護掩模層20添加圖案。這里，由于最終的油墨腔的圖案是在感光性樹脂層上限定的，所以當施加圖案過程完成時，可在所述保護掩模層20上獲得油墨腔的精確圖案。
接下來，用化學制品除去感光性樹脂層，并且用所述保護掩模層20作為掩模對聚酰亞胺層7′施加圖案。這里，如上所述，由于已經在保護掩模層20上獲得了油墨腔的精確圖案，所以當完成了施加圖案過程時，聚酰亞胺層7′上被加工成包括油墨腔區(qū)域的最終的油墨腔隔擋層。
如圖4所示，已用化學制品將所述保護掩模層，并且用化學制品(例如，氟化氫)將與油墨腔隔擋層7相結合的噴嘴板8從主板200上分開，所述油墨腔隔擋層7用于限定油墨腔9。當完成了這一分開過程時，就制成了噴嘴板組件100，在所述噴嘴板組件100中形成有多個用于噴墨的噴嘴。這里，噴嘴20貫穿噴嘴板8的內表面13，并向著外表面14暴露。
如上所述，主板200的表面通過熱處理和表面處理過程而被拋光。因此，與主板200的表面相接觸并最終通過上述分開過程而與主板200分開的噴嘴板8的外表面14可保持極低的粗糙度，最好是0.008μm至0.016μm。采用具有NiH2·SO3·H、NiCl2、H3BO3、C12H25SO4·NaS的電解液使最終形成的噴嘴板8的內表面13粗糙，由此而保持較高的粗糙度，最好是1.0μm至1.5μm。
如圖5中所示，包括有油墨腔隔擋層7(其限定了油墨腔9)的噴嘴板組件100面對著打印紙定位，因此而構成噴墨打印頭的結構。這里，用于限定供墨路徑的供墨通道300在與油墨腔9相鄰處形成，從外部裝置進給的油墨如箭頭記號所示流過該供墨通道300。這樣，油墨腔9充滿了油墨。
現在，將對采用本發(fā)明的噴嘴板組件100的噴墨打印頭的操作進行講解說明。如圖6所示，如果從外電源向電極層(未示出)施加一個電信號，則與該電極層相連接的加熱器11被供以電能并被迅速加熱至500℃或更高的溫度。在這個過程中，電能被轉換成500℃至550℃的熱能。
然后這種熱能被傳遞給與加熱器11相接觸的油墨腔4，充滿油墨腔4的油墨400被迅速加熱并轉變?yōu)闅馀荨＿@里，如果向油墨腔4連續(xù)傳遞熱能，則氣泡化的油墨400的體積迅速變化并且膨脹。這樣，氣泡化的油墨400通過噴嘴板8上的噴嘴10排出，并準備噴射。如圖中箭頭405所示，油墨400由于其自身的重量而依次變化為橢圓形和圓形，并被噴射到打印紙上，由此而完成快速打印。
如上所述，采用由NiH2·SO3·H、NiCl2、H3BO3、C12H25SO4·NaS制成的電解液使形成的噴嘴板8的內表面13粗糙，由此而保持1.0μm至1.5μm的高粗糙度。因此，在噴嘴板8的內表面13與油墨400之間的表面張力可顯著降低。這樣，可防止油墨400粘附。于是，油墨可從供墨通道300平順地供給到油墨腔9中。此外，對油墨腔9中可供給足夠量的油墨，借此避免了空氣氣泡的形成。
同時，噴嘴板8的外表面14與主板200的拋光表面相接觸，并最終與該表面分離，由此保持在約0.008μm至0.016μm范圍內的低粗糙度。此外，與油墨400的表面張力可得到很大的提高。其結果是，油墨400如圖6中的虛線401所示分散開并向著鄰近的噴嘴流動時的相互干擾的問題可得以解決。
在現有技術中，為了糾正諸如相互干擾或產生空氣氣泡之類的問題，需要一種通過采用高成本的設備來形成膜的方法，這樣使得整個產量降低。但是，在本發(fā)明中，內表面13與外表面14具有不同粗糙度的噴嘴板8是通過采用低成本的電沉積方法加工的。因此，不需要復雜的工藝方法，例如形成膜的工藝方法，上述諸如相互干擾或產生空氣氣泡之類的問題就可得以解決。
同時，在油墨400被噴射的狀態(tài)下，如果從外部裝置施加的電信號臨時斷開，則加熱器11迅速冷卻。于是，保留在油墨腔4中的呈氣泡狀態(tài)的油墨400迅速收縮并產生恢復力，使油墨復原到原始狀態(tài)。這樣產生的恢復力使保持在油墨腔9中的壓力迅速降低。這樣，流過供墨通道300的油墨可迅速地再填充油墨腔9。于是，噴墨打印頭重復上述由電信號驅動的油墨噴射和油墨再填充的過程，由此而在打印紙上完成打印任務。
如上所述，在本發(fā)明中，通過采用低成本的電沉積方法使得所形成的噴嘴板的內、外表面具有不同的粗糙度。這樣，制造過程的整個產量得到提高，并且諸如相互干擾或產生空氣氣泡之類的問題可得以解決。
雖然在本說明書中主要對噴墨打印頭進行了講解說明，但是本發(fā)明還可適用于醫(yī)用器械的微型泵或燃油噴射裝置。上文中已參照實施例對本發(fā)明進行了描述。但很明顯，對于本技術領域的技術人員來說，根據上述描述可作出其它的改進和變化。因此，本發(fā)明包含了所有落入所附權利要求書的精神和保護范圍內的各種改進和變型。
權利要求
1.一種制造微型噴射裝置的噴嘴板組件的方法，包括以下步驟形成限定噴嘴區(qū)域的主板；拋光所述主板的表面；在所述主板的表面上電沉積噴嘴板；將所述噴嘴板與所述主板分離。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述形成主板的步驟還包括以下步驟在形成于基體上的保護膜上形成第一金屬層；在第一金屬膜上形成第二金屬層；和蝕刻所述第一金屬層和第二金屬層，露出保護膜的部分，以限定噴嘴區(qū)域。
3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述形成第一金屬層的步驟包括形成由釩構成的第一金屬層。
4.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述形成第二金屬層的步驟還包括形成由鎳構成的第二金屬層。
5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述拋光主板表面的步驟還包括對第二金屬層的表面進行除油；對第二金屬層的表面進行熱處理；和將主板浸入到鈍化液中。
6.如權利要求5所述的方法，其特征在于，所述熱處理是在約32℃至37℃的溫度下進行的。
7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述熱處理是在約10至14分鐘內完成的。
8.如權利要求5所述的方法，其特征在于，在鈍化液中的所述浸漬是在約22℃至27℃的溫度范圍內進行的。
9.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所述浸漬是在約10至20秒內完成的。
10.如權利要求1所述的方法，其特征在于，電沉積噴嘴板的所述步驟是在由NiH2·SO3·H、NiCl2、H3BO3、和C12H25SO4·NaS組成的水溶液中進行的。
11.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述水溶液具有以下濃度，即，具有約280g/liter至320g/liter的NiH2·SO3·H、約18g/liter至22g/liter的NiCl2、約28g/liter至32g/liter的H3BO3和約0.03g/liter至0.08g/liter的C12H25SO4·NaS。
12.如權利要求11所述的方法，其特征在于，所述水溶液具有以下濃度，即，具有約300g/liter的NiH2·SO3·H、約20g/liter的NiCl2、約30g/liter的H3BO3和約0.05g/liter的C12H25SO4·NaS。
13.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述電沉積步驟包括電沉積鎳金屬。
14.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述電沉積噴嘴板的步驟是通過下述方式進行的，即，順次地向在電解液中的噴嘴板和靶極材料提供電能，以提供約0.1A/m2的電流強度持續(xù)約40至60分鐘，然后提供約0.2A/m2的電流強度持續(xù)25至35分鐘，然后提供約0.3A/m2的電流強度持續(xù)約18至22分鐘，然后提供約0.4A/m2的電流強度持續(xù)約18至22分鐘，然后提供約0.1A/m2的電流強度持續(xù)約8至12分鐘。
15.如權利要求14所述的方法，其特征在于，所述電沉積噴嘴板的步驟是通過下述方式進行的，即，順次地向在電解液中的噴嘴板和靶極材料提供電能，以形成約0.1A/m2的電流強度持續(xù)約60分鐘，然后提供約0.2A/m2的電流強度持續(xù)30分鐘，然后提供約0.3A/m2的電流強度持續(xù)約20分鐘，然后提供約0.4A/m2的電流強度持續(xù)約20分鐘，然后提供約0.1A/m2的電流強度持續(xù)約10分鐘。
16.如權利要求1所述的方法，其特征在于，當使噴嘴板獲得所期望厚度時，所述電沉積步驟停止。
17.如權利要求16所述的方法，其特征在于，電沉積的噴嘴板的厚度是用下列公式由主板的增重確定的δ=(P1-P2)×104S×γ]]>其中δ是噴嘴板的厚度，P1是在噴嘴板被鍍上之前主板的重量，P2是在噴嘴板鍍上之后主板的重量，S是噴嘴板的電沉積的面積，γ是該噴嘴板比重。
18.如權利要求1所述的方法，其特征在于，進行所述電沉積步驟，以使沉積的噴嘴板的厚度在約15μm至25μm的范圍內。
19.如權利要求16所述的方法，其特征在于，還包括以下步驟將噴嘴板從電解液中移出；在20℃至30℃的溫度下處理噴嘴板；和將噴嘴板浸入到去離子水中約5分鐘。
20.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括以下步驟在將噴嘴板與主板分離之前，在所述噴嘴板上形成油墨腔隔擋層。
21.如權利要求20所述的方法，其特征在于，所述在噴嘴板上形成油墨腔隔擋層的步驟還包括以下步驟在噴嘴板上沉積有機薄膜。
22.如權利要求21所述的方法，其特征在于，還包括所述有機薄膜是由聚酰亞胺制成的。
23.如權利要求21所述的方法，其特征在于，還包括沉積所述有機薄膜至30μm的厚度。
24.如權利要求21所述的方法，其特征在于，還包括以下步驟在所述有機薄膜上沉積保護掩模；在所述保護掩模上沉積感光性樹脂；對所述感光性樹脂層進行光蝕刻，以形成油墨腔隔擋層的圖案；和除去感光性樹脂，利用保護掩模使有機薄膜呈現圖案，并除去保護掩模。
25.一種制造微型噴射裝置的噴嘴板時的組件，包括基體；形成在所述基體上的保護膜；用化學汽相淀積方法在所述保護膜上形成的一層釩膜，所述釩膜具有噴嘴區(qū)，在所述噴嘴區(qū)內暴露出所述保護膜；用化學汽相淀積方法在所述釩膜上形成的一層鎳膜，隨后所述鎳膜被拋光至均方根粗糙度約為0.008至0.016μm；和電沉積在鎳膜上的厚度約為15至25μm的鎳噴嘴板，其所達到的均方根粗糙度約為1.0至1.5μm。
26.如權利要求25所述的組件，其特征在于，還包括所述的噴嘴板在由NiH2·SO3·H、NiCl2、H3BO3和C12H25SO4·NaS組成的電解液中被電沉積。
27.一種微型噴射裝置的噴嘴板組件，包括厚度約為15至25μm的鎳制成的板，所述板具有噴嘴區(qū)，所述板的一個表面的均方根粗糙度約為0.008至0.016μm，而所述板的相反表面的均方根粗糙度約為1.0至1.5μm，所述噴嘴板是通過在由NiH2·SO3·H、NiCl2、H3BO3和C12H25SO4·NaS組成的電解液中電沉積而制成的。
28.如權利要求27所述的噴嘴板組件，其特征在于，還包括在所述相反表面上形成的油墨腔隔擋層。
全文摘要
一種微型噴射裝置的噴嘴板組件和用于制造該噴嘴板組件的方法,在所述方法中,把限定了噴嘴區(qū)的主板浸入到由NiH
文檔編號B41J2/05GK1253039SQ9912600
公開日2000年5月17日 申請日期1999年11月3日 優(yōu)先權日1998年11月3日
發(fā)明者安秉善, 達尼夫·B·尼科萊維奇, 斯米諾娃·V·康斯坦蒂諾夫娜 申請人:三星電子株式會社