專利名稱：原材料及燃料的排放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可用于各種機(jī)器的液體排放裝置，這些機(jī)器通過排放液體狀態(tài)的原材料或燃料進(jìn)行工作，或者通過排放液體狀態(tài)的原材料或燃料對(duì)它們進(jìn)行處理。
迄今為止，人們已經(jīng)知道了在某些領(lǐng)域有一種將液體作為微細(xì)顆粒排放的裝置，一種噴墨裝置，例如JP-A-6-40030公開的一種裝置。但是，由于這種類型的排放裝置用于相對(duì)穩(wěn)定，使用過程中環(huán)境溫度、壓力等變化較小的條件下，因而它們無法暴露在工作條件劇烈變化的條件下。
一方面，在制造半導(dǎo)體等的過程中，各種化學(xué)物質(zhì)的微細(xì)粉末用作輔助材料。由于僅僅通過機(jī)械粉碎無法達(dá)到所要求的粉末精細(xì)度，人們開發(fā)出了新的制造粉末的方法。作為其中一種方法，迫切地需要采用一種方法，該方法能夠以微細(xì)顆粒形式將原材料供給到反應(yīng)容器，例如反應(yīng)室中以進(jìn)行干燥。目前，迫切的需要開發(fā)一種裝置，它能夠在很好地控制的條件下，將液體以半徑從幾百納米到幾十微米的粉末的形式穩(wěn)定地滴落，這種裝置可以作為上述方法中所采用的裝置。
此外，能夠以特定的比例充分地混合原材料，以便精確控制地進(jìn)行反應(yīng)的裝置，以及能夠在各種燃燒設(shè)備中以微細(xì)顆粒形式供應(yīng)燃料，以便進(jìn)一步提高燃料效率方法的開發(fā)，有強(qiáng)烈的需求。
在這些類型的設(shè)備中，由于在設(shè)備運(yùn)行過程中，因工作溫度等的波動(dòng)引起排放空間中的環(huán)境經(jīng)常出現(xiàn)劇烈變化。目前，不可能提供一種能夠以所需的微細(xì)顆粒的形式供應(yīng)液體，而與排放空間的環(huán)境波動(dòng)無關(guān)的裝置。
本發(fā)明的目的在于提供一種排放例如原材料及燃料等的液體的裝置，其結(jié)構(gòu)使其能夠根據(jù)環(huán)境波動(dòng)穩(wěn)定地調(diào)節(jié)液體排放條件，甚至在排放空間的環(huán)境劇烈突然地變化的條件下，仍能夠穩(wěn)定地排放液體。
經(jīng)過各種調(diào)查研究并考慮到上述的現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明者已經(jīng)發(fā)現(xiàn)本發(fā)明的目的可以如下地實(shí)現(xiàn)，在與混合/反應(yīng)容器3，例如反應(yīng)器相連接的液體排放裝置4和欲排出液體的存儲(chǔ)罐1之間，提供一個(gè)緩沖容器2作為對(duì)抗排放液體的混合/反應(yīng)容器3中壓力變化的裝置；提供一個(gè)壓力控制裝置10，以控制混合/反應(yīng)容器3中的壓力，并作為控制混合/反應(yīng)容器3中的壓力波動(dòng)的裝置，并提供釋放裝置8，其能夠?qū)⒕彌_容器2中的壓力釋放到周圍大氣中，作為根據(jù)緩沖容器2和混合/反應(yīng)容器3之間的混合/反應(yīng)容器3的壓力變化，控制緩沖容器2中壓力波動(dòng)的裝置。本發(fā)明在上述發(fā)現(xiàn)的基礎(chǔ)上已經(jīng)完成。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的原材料及燃料的排放裝置一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)視圖。
本發(fā)明的原材料及燃料排放裝置(以下有時(shí)稱為液體排放裝置)是一個(gè)液體排放裝置，它包括排放液體存儲(chǔ)罐1，通過閥門6與存儲(chǔ)罐1相連的緩沖容器2，液體排放裝置4，以及接收排放液體并發(fā)揮客觀作用的混合/反應(yīng)容器3，其特征在于，控制混合/反應(yīng)容器3中壓力的裝置10設(shè)置在混合/反應(yīng)容器3和緩沖容器2之間，以將反應(yīng)器3的壓力和緩沖容器2的壓力的相對(duì)關(guān)系維持恒定。如果要求，可以在存儲(chǔ)罐1和閥門6之間設(shè)置一個(gè)泵5。優(yōu)選地，泵5具有控制在預(yù)定范圍內(nèi)供應(yīng)的液體壓力的功能。
盡管緩沖容器2的形狀、尺寸等等，可以根據(jù)使用目的等進(jìn)行選擇，但是只要供應(yīng)液體至液體排放裝置4的壓力控制功能不受干擾，對(duì)上述形狀、尺寸沒有限制。緩沖容器2的材料可以按照使用目的、排放液體的物化特性等進(jìn)行選擇。
如果要求，液體溫度控制裝置可以設(shè)置在緩沖容器2上。
對(duì)于設(shè)置于緩沖容器2和液體存儲(chǔ)罐1之間的控制閥5而言，一般使用具有控制容器2內(nèi)液體高度的功能的單向閥。
緩沖容器2可以通過一條諸如管道的連接路徑與排放裝置4相連。
作為排放裝置，可以使用日本專利申請(qǐng)9-361375中公開的滴液排放裝置。作為參考，此處引入日本專利申請(qǐng)9-361375的說明書。更具體地說，上述專利申請(qǐng)的圖5中公開的滴液排放裝置是適合應(yīng)用的。排放裝置排放口的直徑大致在幾微米至幾十微米之間，其可以通過諸如激光加工和沖壓之類的機(jī)械方法等技術(shù)來形成。排放口的數(shù)量可以根據(jù)應(yīng)用的場(chǎng)合適當(dāng)選擇。
在抗熱性、抗化學(xué)腐蝕、抗溶解等方面，陶瓷材料適用于形成排放裝置4。
對(duì)于排放液體的混合/反應(yīng)容器3，不僅尺寸、形狀等等，而且其使用的材料都根據(jù)應(yīng)用的場(chǎng)合來選擇。例如，如果本發(fā)明的液體排放裝置用于一個(gè)氣相反應(yīng)的反應(yīng)裝置中，則將不銹鋼容器或內(nèi)表面襯有玻璃等的容器用作混合/反應(yīng)容器3。如果液體排放裝置是用于干燥液體的小室，則一般使用不銹鋼元件。在燃燒室的情況下，適于采用由堅(jiān)固的陶瓷，高溫抗性金屬材料等制造的容器。
位于混合/反應(yīng)容器3和緩沖容器2之間的、控制混合/反應(yīng)容器3中壓力，以便將反應(yīng)器3的壓力和緩沖容器2的壓力的相對(duì)關(guān)系維持恒定的壓力控制裝置10是一個(gè)系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以具有一個(gè)能夠檢測(cè)環(huán)境變化的零件(未示出)，特別是在混合/反應(yīng)容器3中。該系統(tǒng)配置有一控制閥9，以能夠根據(jù)混合/反應(yīng)容器3中壓力的變化而變化壓力，并且能夠通過打開閥門9，將混合/反應(yīng)容器3中的壓力調(diào)節(jié)到緩沖容器2中的壓力。此外，最好在混合/反應(yīng)容器3和緩沖容器2之間設(shè)置一預(yù)定隔膜11，以防止反應(yīng)氣體的污染和反流。
最好設(shè)置一裝置，它能夠釋放緩沖容器2中的壓力，將緩沖容器2中的壓力急速降低到工作環(huán)境周圍的壓力，以便應(yīng)付發(fā)生異常事件。該裝置可選地設(shè)置，以根據(jù)工作狀態(tài)釋放容器2中的壓力。作為這類裝置，最好在緩沖容器2的上部安裝具有用于釋放壓力的閥門7的釋放系統(tǒng)。
本發(fā)明液體排放裝置工作的一個(gè)例子將參照?qǐng)D1進(jìn)行說明，圖1示出本發(fā)明液體排放裝置一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)。
圖1所示的液體排放裝置用于制造微粒尺寸分布均勻分陶瓷粉末。氧化鋯作為陶瓷材料使用。它與適當(dāng)?shù)妮o助藥劑混合，以形成液流從而制備漿液。該漿液使用圖1所示的液體排放裝置排放到一個(gè)有熱空氣吹入的熱而干的容器3中。漿液中含有的粘合劑硬化干燥，而使含有氧化鋯的漿液凝固。固化的微粒被回收，并穿過一個(gè)熱分解爐，以獲得所需尺寸的氧化鋯。
在該操作中，為了檢測(cè)控制閥9的工作狀態(tài)，由送風(fēng)機(jī)輸送的熱空氣量被強(qiáng)制地增大，以使容器3中的壓力升高。當(dāng)連續(xù)地吹入熱空氣而控制閥9關(guān)閉，使容器3中的內(nèi)壓超過一特定水平時(shí)，漿液從噴嘴中的排放停止了。當(dāng)空氣供應(yīng)立刻停止并在釋放了控制閥9后重新開始時(shí)，漿液的排出也重新開始。
另一方面，當(dāng)控制閥9保持打開，熱空氣被供應(yīng)而改變吹入氣體的量、以提高容器2中的壓力的情況下，對(duì)排放條件沒有大影響。
人們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，本發(fā)明的排放裝置可以適當(dāng)?shù)乜刂?，并且作為一種穩(wěn)定的液體排放裝置是很有用的。
根據(jù)本發(fā)明的原材料及燃料排放裝置，可以容易而穩(wěn)定地調(diào)節(jié)混合/反應(yīng)容器3中的壓力，而且按照工作環(huán)境的變化可以獲得穩(wěn)定的排放條件。
權(quán)利要求
1.一種原材料及燃料的排放裝置，包括一個(gè)排放液體的存儲(chǔ)罐(1)，通過閥門(6)與存儲(chǔ)罐(1)相連的緩沖容器(2)，液體排放裝置(4)，以及接收排放液體并且/或者發(fā)揮預(yù)定功能的混合/反應(yīng)容器(3)，其特征在于，控制混合/反應(yīng)容器(3)中壓力的裝置(10)設(shè)置在混合/反應(yīng)容器(3)和緩沖容器(2)之間，以使反應(yīng)器(3)的壓力和緩沖容器(2)的壓力維持預(yù)定的的相對(duì)關(guān)系。
2.如權(quán)利要求1所示的原材料及燃料的排放裝置，其特征在于還設(shè)置有能夠?qū)⒕彌_容器(2)中的壓力釋放到周圍大氣中的釋放裝置(8)。
全文摘要
一種排放諸如原材料及燃料的液體的裝置,即使在排放空間的環(huán)境劇烈突然地變化的條件下,它也能夠通過根據(jù)環(huán)境波動(dòng)將排放條件調(diào)節(jié)到最佳,而穩(wěn)定地排放液體。其在混合/反應(yīng)容器3的液體排放裝置4和排放液體存儲(chǔ)罐1之間安裝緩沖容器2和控制裝置10,并且安裝能夠釋放容器2中壓力的釋放裝置,根據(jù)混合/反應(yīng)容器3中壓力的波動(dòng),控制緩沖容器2中壓力的波動(dòng)。
文檔編號(hào)B41J2/01GK1240712SQ991101
公開日2000年1月12日 申請(qǐng)日期1999年7月2日 優(yōu)先權(quán)日1999年7月2日
發(fā)明者武內(nèi)幸久, 高橋伸夫 申請(qǐng)人:日本礙子株式會(huì)社