專利名稱：噴墨頭的制造方法及電極形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實施方式涉及噴墨頭的制造方法及電極形成方法。
背景技術(shù)：
噴墨頭隨著施加電壓而使壓電部件變形，從而噴出油墨。在壓電部件上形成有用于向壓電部件施加電壓的電極。電極可以通過電解鍍(電解> y ^ )形成在壓電部件上。在先專利文獻專利文獻專利文獻I :日本特開2003-341073號公報作為形成壓電部件的材料，有時使用鉛，有時不使用鉛。不使用鉛的壓電部件一般與使用鉛的壓電部件相比電阻率較小。當通過電解鍍在不使用鉛的壓電部件上形成電極時，恐怕在壓電部件中的不形成電極的區(qū)域上會有微電流流過，從而導致析出鍍層。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明第一方面的噴墨頭的制造方法，通過無鉛壓電部件隨著被施加驅(qū)動電壓的變形來噴出油墨，在所述噴墨頭的制造方法中，在所述無鉛壓電部件上形成第一導電圖案， 至少在所述無鉛壓電部件中的形成所述第一導電圖案的區(qū)域以外的區(qū)域形成絕緣層，通過電解鍍在所述第一導電圖案上形成第二導電圖案，從而形成用于施加所述驅(qū)動電壓的電
極。


圖I是第一實施方式的噴墨頭的截面圖。
圖2是第一實施方式的噴墨頭的截面圖。
圖3是用于說明第一實施方式的噴墨頭的動作的圖。
圖4是用于說明第一實施方式的噴墨頭的動作的圖。
圖5是表示第一實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。
圖6是表示第一實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。
圖7是表示第一實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。
圖8是表示第一實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。
圖9是表示第一實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。
圖10是油墨供給裝置的概略圖。
圖11是第二實施方式的噴墨頭的外觀圖。
圖12是第二實施方式的噴墨頭的截面圖。
圖13是第二實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。
圖14是第二實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。
圖15是第二實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。
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圖16是第二實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。圖17是第三實施方式的噴墨頭的外觀圖。圖18是第三實施方式的噴墨頭的截面圖。圖19是表示第三實施方式的壓電部件的驅(qū)動部的結(jié)構(gòu)的圖。圖20是表示第三實施方式的壓電部件的驅(qū)動部的形成工序的圖。圖21是表示第三實施方式的壓電部件的驅(qū)動部的形成エ序的圖。圖22是表示第三實施方式的壓電部件的驅(qū)動部的形成エ序的圖。圖23是表示第三實施方式的壓電部件的驅(qū)動部的形成ェ序的圖。
具體實施例方式(第一實施方式)對第一實施方式中的噴墨頭進行說明。利用圖I和圖2，對噴墨頭I的構(gòu)造進行說明。圖I是噴墨頭的截面圖。圖2是與圖I的紙面直交的面的噴墨頭的截面圖。噴墨頭I具有基板10。基板10通過層壓兩個壓電部件11、12而形成。作為壓電部件11的材料，可以使用不含鉛的材料、具體而言可以使用鈮酸系列介電材料。作為鈮酸系列介電材料，例如有鈮酸鈉、鈮酸鉀、鈮酸鈉鉀。作為壓電部件12的材料，可以使用與壓電部件11相同的材料、或也可以使用與壓電部件11的材料不同的材料。如圖2所示，對兩個壓電部件11、12進行極化處理，兩個壓電部件11、12的極化方向P1、P2彼此不同。箭頭Pl的方向是壓電部件11的極化方向，箭頭P2的方向是壓電部件 12的極化方向。用電極50覆蓋構(gòu)成壓力室13的壓電部件11、12。基板10具有壓力室13。如圖2所示，多個壓力室13沿一個方向排列。壓力室13 由壓電部件11、12構(gòu)成，構(gòu)成壓力室13的壓電部件11、12相當于驅(qū)動部。在壓力室13的內(nèi)壁面上形成有電極。電極用于向構(gòu)成壓力室13的壓電部件11、 12施加電壓。形成在壓力室13內(nèi)壁面上的電極通過形成于基板10表面上的電極與驅(qū)動電路連接。驅(qū)動電路以規(guī)定的驅(qū)動模式向壓電部件11、12施加電壓?？虿考?0被設(shè)置在基板10的表面上，框部件20擋住一部分壓力室13。框部件 20具有開口部21，開口部21與壓力室13連接。蓋部件30被固定在框部件20上。蓋部件30具有開口部31，開口部31與框部件 20的開口部21連接。開口部21、31成為向壓力室13引導油墨的通道。開口部31通過軟管與油墨容器(ink tank)連接。噴嘴板40被固定于基板10的端面，噴嘴板40擋住壓力室13。噴嘴板40也被固定在框部件20和蓋部件30上。噴嘴板40具有噴嘴41，噴嘴41與壓力室13連接。與每個壓力室13對應(yīng)地設(shè)置噴嘴41。以下，利用圖3和圖4對噴墨頭I的動作進行說明。如果從電極50向構(gòu)成壓力室 13的壓電部件11、12施加電壓，則如圖3和圖4所示，可以使壓電部件11、12變形。在圖3所示的狀態(tài)下，由于壓電部件11、12的變形，壓力室13A的容積增加。由于使壓力室13A的容積增加，從而可以將油墨吸入壓力室13A的內(nèi)部。即，油墨通過開口部 31、21向壓力室13A移動。與壓力室13A相鄰的壓力室13B的容積因壓電部件11、12的變形而減少。在圖4所示的狀態(tài)下，壓力室13A的容積因壓電部件11、12的變形而減少。通過減少壓力室13A的容積,從而可以使壓力室13A的內(nèi)壓上升,從而噴出被吸入壓力室13A內(nèi)的油墨。壓力室13A內(nèi)的油墨通過噴嘴41向噴墨頭I的外部噴出。與壓力室13A相鄰的壓力室13B的容積因壓電部件11、12的變形而增加。以下，利用圖5至圖9對噴墨頭I的制造方法進行說明。首先，如圖5所示，通過層壓平板狀的壓電部件11、12來形成基板10。正如利用圖2所說明的那樣，壓電部件11、12向箭頭P1、P2的方向極化。在基板10的表面形成玻璃涂層(絕緣層)70。玻璃涂層70形成在壓電部件11的表面，在本實施方式中，形成在基板 10的整個表面上。作為構(gòu)成玻璃涂層70的玻璃涂層劑，可以使用例如墨東化成公司生產(chǎn)的 SIRAGUSITAL (墨束化成裂乃'> 9夕'' '> 夕一卟)。· ·玻璃涂層70可以利用眾所周知的方法形成在基板10上。具體可以利用干法涂層或濕法涂層形成玻璃涂層70。形成玻璃涂層70時的溫度如果過高，則擔心基板10(壓電部件11、12)會劣化，所以考慮到這點，優(yōu)選形成玻璃涂層70。例如，可以使形成玻璃涂層70 的溫度小于等于基板10(壓電部件11、12)的居里溫度的一半。然后，如圖6所示，在形成有玻璃涂層70的基板10上形成多個槽71。槽71相當于壓力室13?？梢岳美绮ＡУ缎纬刹?1?？紤]噴墨頭I的結(jié)構(gòu)等，可以適當?shù)卦O(shè)置形成槽71的位置、數(shù)量。在本實施方式中，多個槽71沿一個方向排列形成，且設(shè)置有兩列多個槽71的列。然后，在玻璃涂層70的整個表面上涂敷抗蝕劑并進行曝光和顯影，以使抗蝕劑只殘留在未形成電極的區(qū)域。然后，進行電鍍的前處理，從而在形成電極的區(qū)域形成電鍍芯。 如果剝離抗蝕劑，則電鍍芯只存在于形成電極的區(qū)域。在本實施方式中，雖然在形成了槽71之后涂敷抗蝕劑，但也可以在形成槽71之前涂敷抗蝕劑。具體地說，在玻璃涂層70的整個表面上涂敷抗蝕劑之后，進行曝光和顯影，以使抗蝕劑只殘留在未形成電極的區(qū)域。然后，可以在形成電極的區(qū)域的規(guī)定位置形成槽71。在使用液體抗蝕劑的情況下，優(yōu)選在涂敷抗蝕劑之后形成槽71。如果在形成了槽 71之后涂敷液體抗蝕劑，則導致液體抗蝕劑將堵塞槽71，有時難以去除抗蝕劑。在形成了槽71之后涂敷液體抗蝕劑時，優(yōu)選使用干膜抗蝕劑或電沉積抗蝕劑。如果使用干膜抗蝕劑或電抗蝕劑，則可以防止抗蝕劑堵塞槽71。然后，通過進行無電解Ni電鍍，從而在存在電鍍芯的區(qū)域形成有鎳的第一導電圖案72(參考圖7)。第一導電圖案72的區(qū)域Al形成在槽71上，與壓電部件11、12接觸。第一導電圖案72的區(qū)域Al相當于圖3中說明的電極50。第一導電圖案72的區(qū)域A2形成在槽71以外的規(guī)定區(qū)域上，形成于玻璃涂層70的表面。即，玻璃涂層70處于第一導電圖案 72(區(qū)域A2)和壓電部件11之間。然后，通過電解鍍，在第一導電圖案72的表面形成第二導電圖案72 (鍍金)73。通過這樣，可以在基板10的表面上形成用于向壓電部件11、12施加驅(qū)動電壓的電極50、74。 電極50、74是層壓第一導電圖案72和第二導電圖案73的結(jié)構(gòu)。電極50是相當于圖7所示的區(qū)域Al的部分的電極，電極74是相當于圖7所示的區(qū)域A2的部分的電極。通過形成第二導電圖案72 (鍍金)73，從而可以降低電極50、74的電阻值，并可防止電極50、74的電阻值變化。另外，為了防止形成氧化膜，而可以使用鍍金。只要一部分與第一導電圖案72連接，就容易進行電解鍍。與第一導電圖案72連接的部分在電解鍍之后清除即可。然后，如圖8所示，在電極50、74的上面配置兩個框部件80。每個框部件80沿著槽71 (電極50)的列配置?？虿考?0具有兩個開口部81，在各開口部81的內(nèi)側(cè)具有槽 71 (電極50)的列。框部件80相當于在圖I中說明的框部件20，開口部81相當于框部件 20的開口部21。如果沿著三條截斷線CL截斷圖8所示的部件，就能得到圖9所示的結(jié)構(gòu)體。在圖 9中，如果將蓋部件30固定在框部件20上，就能得到圖I中說明的噴墨頭I。如圖9所示， 如果向框部件20的開口部21供給油墨，就可以向位于開口部21內(nèi)側(cè)的多個槽71 (壓力室 13)供給油墨。根據(jù)本實施方式，通過電解鍍在第一導電圖案72上形成第二導電圖案73時，第一導電圖案72以外的區(qū)域被玻璃涂層70覆蓋。在壓電部件11被玻璃涂層70覆蓋的狀態(tài)下進行電解鍍，從而可以防止鍍層向第一導電圖案72以外的區(qū)域析出。尤其是在密集地形成第一導電圖案72時，可以明顯地防止鍍層的析出。壓電部件11由不含鉛的材料形成，其與通過PZT形成的電壓部件相比電阻率較小。在這里，在不形成玻璃涂層70且壓電部件11露出的狀態(tài)下，如果要通過電解鍍形成第二導電圖案73，則擔心在未形成第一導電圖案72的區(qū)域有弱電流流過，從而導致析出鍍層。在本實施方式中，由于利用玻璃涂層(絕緣層)70覆蓋第一導電圖案72以外的區(qū)域， 從而可以防止微電流在第一導電圖案72以外的區(qū)域流過，并可以防止析出鍍層。另外，在通過無電解鍍形成第一導電圖案72之前，通過用玻璃涂層70覆蓋壓電部件11的表面，從而可以防止無電解鍍的前處理液滲入壓電部件11的粒子之間。通過防止前處理液滲入壓電部件11的粒子之間，從而可以將電極74只形成在規(guī)定的區(qū)域。由于玻璃涂層70是比壓電部件11更致密的材質(zhì)，因此可以防止電鍍滲出。在本實施方式中，雖然使用了玻璃涂層劑作為玻璃涂層70的材料，但也可以使用其他材料。作為涂層70的材料，例如可以使用聚酰亞胺(PI)這樣的有機材料。在通過電解鍍形成第二導電圖案73時，為了防止在第一導電圖案71以外的區(qū)域析出鍍層，只要涂層 70的材料具有絕緣性即可。在通過電解鍍形成第一導電圖案72時，為了防止前處理液滲入、鍍層滲出，玻璃涂層70只要是比壓電部件11更致密的層即可。如果考慮噴墨頭I的制造工序，則優(yōu)選耐無電解鍍以外的處理(例如蝕刻)的玻璃涂層70。另外，在使用噴墨頭時，由于與油墨接觸，因此優(yōu)選耐油墨的玻璃涂層70。在本實施方式中，在基板10的整個表面形成有玻璃涂層70，也可以只在基板10的一部分區(qū)域形成玻璃涂層70。具體地說，可以至少在形成電極74的區(qū)域形成玻璃涂層70。形成電極50、74的方法并不僅限于本實施方式中說明的方法。只要在槽71的表面形成有電極50，在槽71以外的區(qū)域形成有電極74即可。例如，在圖6所示的狀態(tài)下，對玻璃涂層70的整個表面進行無電解鍍。然后，在形成電極50、74的區(qū)域形成掩膜，可以利用蝕刻去除未形成電極50、74的區(qū)域的電鍍。在本實施方式中，在通過無電解鍍形成第一導電圖案72之前形成了玻璃涂層70， 但也可以在形成第一導電圖案72之后，在第一導電圖案72以外的區(qū)域形成玻璃涂層70。如果在形成第一導電圖案72之后，在第一導電圖案72以外的區(qū)域形成玻璃涂層70，就可以在通過電解鍍形成第二導電圖案73時，防止在第一導電圖案72以外的區(qū)域析出鍍層。(第二實施方式)對第二實施方式的噴墨頭進行說明。利用圖10對向本實施方式的噴墨頭I供給油墨的油墨供給裝置100進行說明。第一油墨容器111通過軟管101與噴墨頭I的油墨供給口 Ia連接。在第一油墨容器111中收容油墨I，通過第一泵121的動作(壓力調(diào)整)，將第一油墨容器111內(nèi)的油墨I通過軟管101提供給油墨供給口 la。第一泵121通過軟管102與第一油墨容器111連接。第一油墨容器111內(nèi)的氣壓由第一泵121調(diào)整，以保持處于高于大氣壓的狀態(tài)。可以將第一油墨容器111內(nèi)的油墨I 通過軟管101提供給噴墨頭I。標注在第一泵121上的箭頭表示通過第一泵121的動作使空氣移動的方向。第二油墨容器112通過軟管103與噴墨頭I的油墨排出口 Ib連接，從油墨排出口 Ib排出的油墨被收容在第二油墨容器112中。第二油墨容器112內(nèi)的油墨I通過輸送泵 122的動作穿過軟管105被導向第一油墨容器111。油墨I以第一油墨容器111、噴墨頭I 及第二油墨容器112的路徑循環(huán)。標注在輸送泵122上的箭頭表示隨著輸送泵122的動作油墨I的移動方向。第二泵123通過軟管104與第二油墨容器112連接。第二泵123對第二油墨容器 112內(nèi)的氣壓進行調(diào)整以保持處于低于大氣壓的狀態(tài)。標注在第二泵123上的箭頭表示通過第二泵123的動作(壓力調(diào)整)使空氣移動的方向。驅(qū)動電路130向噴墨頭I發(fā)送驅(qū)動信號。噴墨頭I接收來自驅(qū)動電路130的驅(qū)動信號后噴出油墨。以下，對本實施方式的噴墨頭的構(gòu)造進行說明。圖11是本實施方式的噴墨頭的外觀圖。圖12是圖11的Xl-Xl截面圖。在圖11和圖12中，X軸、Y軸和Z軸是彼此直交的軸。在基板10的上面設(shè)置有驅(qū)動部14。驅(qū)動部14通過層壓兩個壓電部件11、12而構(gòu)成?；?0例如可以由氧化鋁、鈮酸系列介電材料形成。壓電部件11、12例如可以由鈮酸系列介電材料形成。與第一實施方式同樣地，壓電部件11、12被向彼此相反方向極化。如圖11所示，多個驅(qū)動部14沿Y方向排列，設(shè)置有兩個由多個驅(qū)動器14構(gòu)成的列。在Y方向相鄰的兩個驅(qū)動部14之間具有壓力室，可以通過使兩個驅(qū)動部14的變形而變化壓力室的容積。驅(qū)動部14的動作與在圖3和圖4中說明過的情況相同。在構(gòu)成壓力室的驅(qū)動部14的壁面上形成有電極。如果通過電極向驅(qū)動部14施加電壓，則可以使驅(qū)動部14變形。如果由于驅(qū)動部14的變形使壓力室的容積增加，則可以將油墨吸入壓力室。如果由于驅(qū)動部14的變形使壓力室的容積減少，則可以噴出油墨?；?0具有供給口 IOa和排出口 10b。供給口 IOa位于在X方向上相鄰的兩個驅(qū)動部14之間。排出口 IOb相對于驅(qū)動部14位于供給口 IOa側(cè)的相反側(cè)。在基板10的上面配置有框部件20，框部件20包圍多個驅(qū)動部14。在驅(qū)動部14和框部件20的上面固定有噴嘴板40。噴嘴板40具有多個噴嘴41,與壓力室對應(yīng)地設(shè)置各噴嘴41。如圖11所不，多個噴嘴41沿Y方向排列，且設(shè)置有兩個由多個噴嘴41構(gòu)成的列。在本實施方式中，雖然設(shè)置有兩列沿Y方向排列的多個噴嘴41，但可以只設(shè)置一列沿Y方向排列的多個噴嘴41?？梢赃m當?shù)卦O(shè)定噴嘴41的數(shù)量。以下，對本實施方式的噴墨頭的動作進行說明。圖12所示的箭頭表示油墨的移動方向。油墨從供給口 IOa向噴墨頭I的內(nèi)部移動。通過了供給口 IOa的油墨相對于供給口 IOa繼續(xù)沿X方向向兩側(cè)移動。來自供給口 IOa的油墨向壓力室移動。如果油墨在壓力室內(nèi)時驅(qū)動部14發(fā)生變形，則壓力室內(nèi)的油墨就可以通過噴嘴41向噴墨頭I的外部噴出。 通過了壓力室的油墨向基板10的排出口 IOb移動。如果油墨從供給口 IOa向排出口 IOb移動，則即使在噴墨頭I的內(nèi)部產(chǎn)生氣泡，由于油墨的移動也可以將氣泡排出至噴墨頭I的外部。另外，如果油墨從供給口 IOa繼續(xù)向排出口 IOb移動，則可以阻止噴墨頭I的內(nèi)部的油墨的溫度變化。以下，利用圖13至圖16對噴墨頭I的制造方法進行說明。如圖13所示，在基板10的表面形成驅(qū)動部14。例如可以在層壓兩個壓電部件11、 12之后將驅(qū)動部14加工成圖13所示的形狀。與第一實施方式同樣地在基板10和驅(qū)動部 14的表面形成玻璃涂層70。玻璃涂層70是比壓電部件11、基板10更致密的層。在本實施方式中，在基板10和驅(qū)動部14的整個表面形成玻璃涂層70。在本實施方式中，作為玻璃涂層70的材料，除了玻璃涂層劑材料以外，例如可以使用聚酰亞胺(PI) 等有機材料。在形成玻璃涂層70時，優(yōu)選使用干法涂層。在用濕法涂層形成玻璃涂層70時，涂層劑容易積存在驅(qū)動部14的基端部分。然后，在玻璃涂層70的整個表面涂敷抗蝕劑，并進行曝光和顯影，以使抗蝕劑只留在未形成電極50、74的區(qū)域。然后，在圖14所示的驅(qū)動部14形成槽(壓力室)13。如圖15所示，通過形成許多槽13，從而可以形成沿Y方向排列的多個驅(qū)動部14。然后，在未形成抗蝕劑的區(qū)域和槽13 上通過無電解鍍形成第一導電圖案72。然后，利用電解鍍在第一導電圖案72上形成第二導電圖案73，從而可以形成電極 50、74。電極50、74是層壓了第一導電圖案72和第二導電圖案73而成的結(jié)構(gòu)。電極50是沿槽13的壁面形成的電極，其與驅(qū)動部14接觸。電極74形成在槽13以外的區(qū)域，在電極 74與基板10之間存在玻璃涂層70。如圖16所示，如果準備兩個圖15所示的結(jié)構(gòu)體，則可以形成一部分噴墨頭I。在基板10上形成有排出口 10b。即使在本實施方式中，在通過電解鍍形成第二導電圖案73時，也可以用玻璃涂層 70覆蓋第一導電圖案72以外的區(qū)域，從而可以防止在進行電解鍍時鍍層向第一導電圖案 72以外的區(qū)域析出。另外，在通過無電解鍍形成第一導電圖案72之前，在基板10、驅(qū)動部14的表面形成玻璃涂層70，從而可以防止電鍍的前處理液滲入基板10、驅(qū)動部14的粒子之間。(第三實施方式)對第三實施方式的噴墨頭進行說明。圖17是本實施方式的噴墨頭的外觀圖，圖18
8是圖17的X2-X2的截面圖。在圖17中，X軸、Y軸和Z軸是彼此直交的軸。X軸、Y軸和Z 軸的關(guān)系在圖18至圖23中是一樣的。噴墨頭I具有層壓結(jié)構(gòu)，從最上層向下層重疊有壓電部件201、振動板202、腔板 (cavity plate) 203、隔板 204、聯(lián)接板(manifold plate) 205、206 和噴嘴板 40。噴嘴板 40 具有多個噴嘴41。振動板202具有用于吸入油墨的供給口 209。隔板204和聯(lián)接板205、206形成有與噴嘴41對應(yīng)的開口部，通過這些開口部形成液體室207。液體室207內(nèi)的油墨被導向噴嘴41。壓電部件201被成膜在振動板202上，并被進行極化處理。在本實施方式中，極化方向是與振動板202的面垂直的方向。在壓電部件201的上面(振動板202的相反側(cè)的面)形成有與各液體室207對應(yīng)的電極208。如圖19所示，電極208沿X方向延伸。振動板202由導電性金屬形成，振動板202和電極208將壓電部件201夾在中間。在多個電極208上連接配線，從驅(qū)動部向多個電極208施加電壓。如果向電極208 施加電壓，則在與極化方向相同的方向上形成有電場。電極208作為正極，振動板202作為接地極。位于被施加有電壓的電極208的正下方的壓電部件201 (相當于驅(qū)動部)被驅(qū)動， 壓電部件201向與極化方向直交的方向收縮。由于振動板202不收縮，因此振動板202和壓電部件201向液體室207側(cè)變形成凸狀。如果振動板202和壓電部件201向液體室207側(cè)變形成凸狀，則液體室207內(nèi)的容積降低，液體室207的內(nèi)壓上升。由于液體室207的內(nèi)壓上升，所以液體室207內(nèi)的油墨從噴嘴41噴出。如果停止對電極208施加電壓，則壓電部件201和振動板202從彎曲形狀復原到平板形狀，液體室207恢復到原來的容積。液體室207成為減壓狀態(tài)，從而油墨被吸入液體室207。以下，利用圖20至圖23對在壓電部件201上形成電極208的方法進行說明。圖 20至圖23是從相同方向觀察壓電部件201時的圖。首先，準備圖20所示的平板狀的壓電部件201，如圖21所示，在壓電部件201的表面形成玻璃涂層70。玻璃涂層70是比壓電部件201更致密的層。如圖21所示，在壓電部件201中的形成電極208的一部分區(qū)域Rl上未形成有玻璃涂層70。區(qū)域Rl是相當于電極208的一部分的區(qū)域。例如,可以在將區(qū)域Rl遮蔽(masking) 的狀態(tài)下，在壓電部件201的表面涂敷玻璃涂層劑。在涂敷了玻璃涂層劑之后將掩膜撕掉， 就可以形成圖21所示的玻璃涂層70。然后，如圖22所示，在形成有玻璃涂層70的面上通過無電解鍍形成第一導電層 75。第一導電層75通過鍍鎳形成。第一導電層75形成在壓電部件201的整個面上。然后，通過蝕刻來去除第一導電層75中的形成電極208的區(qū)域以外的區(qū)域。形成電極208的區(qū)域是區(qū)域Rl和區(qū)域R2。在區(qū)域R1，第一導電層75與壓電部件201接觸。在區(qū)域R2，在第一導電層75和壓電部件201之間存在玻璃涂層70。然后，通過電解鍍，在第一導電層75的表面形成第二導電層76。在本實施方式中， 第二導電層76由鍍金構(gòu)成。電極208具有層壓了第一導電層75和第二導電層76的結(jié)構(gòu)。根據(jù)本實施方式，在通過電解鍍形成第二導電層76時，由于第一導電層75以外的區(qū)域被玻璃涂層70覆蓋，因此在第一導電層75以外的區(qū)域可以防止鍍層因電解鍍而析出。在本實施方式中，在區(qū)域R2，在第一導電層75和壓電部件201之間設(shè)置有玻璃涂層70。通過設(shè)置玻璃涂層70，從而即使進行無電解鍍，也可以防止電鍍滲出。尤其區(qū)域R2 由于形成在彼此接近的位置，因此通過在區(qū)域R2形成玻璃涂層70，從而可以防止在彼此接近的兩個區(qū)域R2之間電鍍滲出。在上述實施方式中，雖然已經(jīng)對噴墨頭I的制造方法進行了說明，但噴墨頭I的制造方法以外也可以使用本實施方式。也就是說，通過無電解鍍在壓電部件上形成電極時也可以使用本實施方式。雖然已經(jīng)對本發(fā)明的幾個實施方式進行了說明，但這些實施方式只是作為例示， 沒有限制發(fā)明范圍的意思。這些實施方式可以通過其他各種方式實施，在不超出發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)，可以進行各種省略、替換、更改。這些實施方式及其變形落入發(fā)明范圍和宗旨內(nèi)， 同樣落入權(quán)利要求記載的范圍所述的發(fā)明及其同等范圍內(nèi)。符號說明
I噴墨頭10基板
11壓電部件12壓電部件
13壓力室20框部件
21開口部30蓋部件
31開口部40噴嘴板
41噴嘴50電極
權(quán)利要求
1.一種噴墨頭的制造方法，所述噴墨頭通過無鉛壓電部件隨著被施加驅(qū)動電壓的變形來噴出油墨，所述噴墨頭的制造方法的特征在于，在所述無鉛壓電部件上形成第一導電圖案，至少在所述無鉛壓電部件中的形成所述第一導電圖案的區(qū)域以外的區(qū)域形成絕緣層， 通過電解鍍在所述第一導電圖案上形成第二導電圖案，從而形成用于施加所述驅(qū)動電壓的電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的噴墨頭的制造方法，其特征在于，在形成了所述絕緣層之后，在所述絕緣層上形成所述第一導電圖案。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴墨頭的制造方法，其特征在于，所述絕緣層是比所述無鉛壓電部件致密的層。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一項所述的噴墨頭的制造方法，其特征在于，通過無電解鍍形成所述第一導電圖案。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一項所述的噴墨頭的制造方法，其特征在于，所述無鉛壓電部件由鈮酸系列介電材料形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一項所述的噴墨頭的制造方法，其特征在于，利用玻璃涂層劑形成所述絕緣層。
7.一種電極形成方法，其是在所述無鉛壓電部件上形成用于向無鉛壓電部件施加電壓的電極的方法，所述電極形成方法的特征在于，在所述無鉛壓電部件上形成第一導電圖案；至少在所述無鉛壓電部件中的形成所述第一導電圖案的區(qū)域以外的區(qū)域形成絕緣層；以及通過電解鍍在所述第一導電圖案上形成第二導電圖案，從而形成所述電極。
全文摘要
一種噴墨頭的制造方法及電極形成方法。通過電解鍍在壓電部件上形成電極。通過無鉛壓電部件隨著被施加驅(qū)動電壓的變形來噴出油墨，其中，在所述無鉛壓電部件上形成第一導電圖案，至少在所述無鉛壓電部件中的形成所述第一導電圖案的區(qū)域以外的區(qū)域形成絕緣層，通過電解鍍在所述第一導電圖案上形成第二導電圖案，從而形成用于施加所述驅(qū)動電壓的電極。
文檔編號B41J2/16GK102582261SQ2011104183
公開日2012年7月18日 申請日期2011年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月17日
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