專利名稱：液體噴射頭、液體噴射裝置及液體噴射頭的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及從噴嘴噴出液體后在被記錄介質(zhì)上形成圖像或文字或者薄膜材料的 液體噴射頭、使用它的液體噴射裝置及液體噴射頭的制造方法。
背景技術(shù)：
近幾年來，向記錄紙等噴出墨滴從而描繪文字、圖形并加以記錄，或者向元件基板 的表面噴出液體材料而形成功能性薄膜的噴墨方式的液體噴射頭、使用該噴射頭的液體噴 射裝置被廣泛利用。該方式通過供給管，由液體罐向液體噴射頭供給油墨或液體材料，再從 液體噴射頭的噴嘴噴出油墨而記錄文字或圖形，或者噴出液體材料而形成規(guī)定形狀的功能 性薄膜。圖9是專利文獻(xiàn)1所述的這種噴墨頭100的示意性的剖面圖。噴墨頭100具備上 蓋125、由壓電體構(gòu)成的PZT片103和底蓋137等3層結(jié)構(gòu)。上蓋125具備用于噴出小滴油 墨的噴嘴127。在PZT片103的上面，形成由剖面形狀成為向底側(cè)凸出的細(xì)長的槽構(gòu)成的油 墨通道107。油墨通道107被朝著與長度方向正交的方向并列地形成多個(gè)，鄰接的油墨通道 107之間，被側(cè)壁113分開。在側(cè)壁113的上部側(cè)壁面，形成電極115。在鄰接的油墨通道 107的側(cè)壁面上，也形成電極。這樣，側(cè)壁113就被在鄰接的油墨通道的側(cè)壁面上形成的未 圖示的電極和電極115夾住。油墨通道107和噴嘴127連通。在PZT片103上，從背面?zhèn)绕鹦纬晒┙o管道132和 排出管道133，在其兩端部附近和油墨通道107連通。從供給管道132供給油墨，從排出管 道133排出油墨。在油墨通道107的左端部及右端部的PZT片103的表面，形成凹部129。 在凹部129的底面形成電極，與在油墨通道107的側(cè)壁面上形成的電極115電性導(dǎo)通。連 接端子134被納入凹部129中，與在凹部129的底面形成的未圖示的電極電連接。該噴墨頭100的動作如下從供給管道132供給的油墨充滿油墨通道107，從排出 管道133排出。就是說，油墨通過供給管道132、油墨通道107及排出管道133地進(jìn)行循環(huán) 流動。然后，對右側(cè)和左側(cè)的連接端子134施加電壓時(shí)，油墨通道107的側(cè)壁就在壓電厚度 滑移效應(yīng)的作用下變形。這樣，油墨通道107的容積瞬時(shí)性地減小，內(nèi)壓增大，從噴嘴127 噴射出小滴油墨。該油墨噴出方法，使油墨經(jīng)由供給管道132和排出管道133而始終循環(huán)。因此，即 使氣泡或灰塵等異物混入油墨通道107的內(nèi)部，也能夠迅速地將這些異物向外部排出，所 以能夠防止出現(xiàn)噴嘴堵塞不能噴射出油墨或者字跡濃度不勻之類的問題。專利文獻(xiàn)1 日本特表2000-512233號公報(bào)可是，在上述圖9的現(xiàn)有技術(shù)的例子中，在油墨通道107的兩端附近形成供給管道 132和排出管道133之際，需要高超的技術(shù)。在PZT片103的表面并列多個(gè)地形成的油墨通 道107，例如槽的寬度為70 80 μ m,槽的深度為300 400 μ m,槽的長度為數(shù)mm 10mm， 劃分鄰接的油墨通道107的壁的厚度為70 80μπι。該油墨通道107的槽，是使較薄的圓 盤的外周部埋入金剛石等磨料的切割刀片高速旋轉(zhuǎn)、磨削PZT片103的表面而形成的。因此，槽的剖面成為朝著深度方向凸出的凸?fàn)?。特別是在槽的長度方向的兩端附近，被轉(zhuǎn)印出 磨削用刀片的外形形狀。作為形成圖9所示的油墨通道107的方法，考慮首先形成多個(gè)槽然后再形成供給 管道132和排出管道133的方法時(shí)，需要使供給管道132和排出管道133在多個(gè)槽的底部 中連通。可是，在槽的長度方向的兩端附近，底面并不平坦。因此，與槽的底面匹配地形成 供給管道132和排出管道133非常困難。另外，從背面?zhèn)饶ハ鱌ZT片103時(shí)，槽最深的部分 首先開口，該開口部逐漸擴(kuò)大?？墒?，槽的底面局部開口時(shí)，該開口部附近的側(cè)壁就得不到 底部的支撐。因此，難以不損壞底部開了 口的槽的較薄的側(cè)壁113地磨削供給管道132和 排出管道133。另外，在劃分槽的側(cè)壁上還形成電極。從背面?zhèn)容^深地磨削PZT片103時(shí)， 在槽的側(cè)壁上形成的電極也被磨削，致使電極的電阻增大，帶來驅(qū)動側(cè)壁的電力產(chǎn)生偏差 等問題。進(jìn)而，如果要在槽的底面平坦的區(qū)域形成供給管道132和排出管道133，油墨就不 能夠在槽的長度方向的兩端部循環(huán)。因此，產(chǎn)生油墨的沉淀，氣泡或灰塵存留在該沉淀中。 因此，就會影響本方式的這樣的優(yōu)點(diǎn)使油墨循環(huán)，從而將異物從油墨通道107中除去，防 止噴嘴127堵塞等。另一方面，可以考慮先從PZT片103的背面?zhèn)刃纬晒┙o管道132和排出管道133， 然后在PZT片103的表面?zhèn)刃纬刹鄣姆椒ǎ@時(shí)，雖然供給管道132和排出管道133的磨削 比較容易，但在形成槽之際，卻要求進(jìn)行高精度的控制。切割刀片通常具有2英寸 4英寸 的直徑。例如使用直徑為2英寸的切割刀片，形成例如從PZT片103的表面起為350 μ m的 深度的槽時(shí)，如果使槽的深度的誤差為10 μ m，那么槽的長度的誤差就大約達(dá)120 μ m，成為 它的12倍。使用直徑為4英寸的切割刀片時(shí)，對于深度方向的誤差而言，長度方向的誤差 就大約成為它的16倍。因此，難以使供給管道132和排出管道133的開口端部與槽的長度 方向的端部吻合。若槽的長度方向的端部與供給管道132及排出管道133的外周端部發(fā)生 錯(cuò)位，則在油墨通道107的端部仍然會出現(xiàn)油墨的沉淀或滯留的現(xiàn)象，不能發(fā)揮本方式的 這樣的優(yōu)點(diǎn)使油墨循環(huán)從而防止噴嘴127堵塞。另外，專利文獻(xiàn)1的噴墨頭100將連接端子134納入在PZT片103的表面形成的 凹部129中，使上蓋125的外面趨于平坦。在連接端子134的下表面形成的電極和在劃分 油墨通道107的側(cè)壁的側(cè)壁面形成的電極，通過側(cè)壁面、PZT片103的表面、凹部129的底 面而電連接。在與油墨通道107的長度方向正交的方向高密度地形成多個(gè)油墨通道107，需 要使各側(cè)壁的電極互相電性分離。這樣，在PZT片103的表面及凹部129的底面也同樣需 要高密度地分離形成多個(gè)電極?？墒牵貏e是凹部1 的底面彎曲，在該彎曲面上形成高精 細(xì)的電極圖案，需要高超的布圖技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是針對上述情況構(gòu)思的，其目的在于提供不需要高超的加工技術(shù)也能夠 減少液體的沉淀或滯留的結(jié)構(gòu)的液體噴射頭、使用它的液體噴射裝置及液體噴射頭的制造 方法。本發(fā)明的液體噴射頭，其中具備噴嘴板，該噴嘴板具有對被記錄介質(zhì)噴射液體的 噴嘴；壓電板，在該壓電板的一個(gè)面上具有細(xì)長的槽，另一個(gè)面與所述噴嘴板接合；以及蓋板，該蓋板具有對所述槽供給所述液體的液體供給孔和從所述槽排出所述液體的液體排出 孔，設(shè)置在所述壓電板的一個(gè)面上，所述壓電板的細(xì)長的槽的所述槽的長度方向而且深度 方向的剖面，具有朝著深度方向凸出的凸?fàn)?，在所述凸?fàn)畹捻敳恐?，和所述噴嘴連通，在所 述凸?fàn)畹牡撞恐?，和所述液體供給孔及所述液體排出孔連通。另外，所述槽的所述剖面，是朝著深度方向凸的圓弧狀。另外，所述槽在長度方向的一個(gè)或兩個(gè)開口端部中，和所述液體供給孔或所述液 體排出孔連通。另外，所述蓋板具備多個(gè)從所述槽排出所述液體的液體排出孔或向所述槽供給所 述液體的液體供給孔。另外，所述噴嘴板具備多個(gè)與所述槽連通的噴嘴。另外，還具有保持提供給所述液體供給孔的液體的液體供給腔和保持從所述液體 排出孔排出的液體的液體排出腔；具備在所述蓋板的和所述壓電板相反側(cè)的面上設(shè)置的流 路構(gòu)件。另外，還具備驅(qū)動電路，該驅(qū)動電路對在所述槽的側(cè)壁上形成的電極供給驅(qū)動電 力；撓性基板，該撓性基板設(shè)置在所述壓電板上，安裝所述驅(qū)動電路；以及基體，該基體在 所述噴嘴板露出外部的狀態(tài)下，收納所述壓電板及所述蓋板，并且將所述撓性基板固定在 外側(cè)面上。采用本發(fā)明的液體噴射裝置，具備權(quán)利要求1 7中任意一項(xiàng)所述的液體噴射 頭；液體罐，該液體罐在向所述蓋板的液體供給孔供給液體的同時(shí)，還貯存從所述蓋板的液 體排出孔排出的液體；按壓泵，該按壓泵從所述液體罐向所述液體供給孔按壓所述液體而 進(jìn)行供給；吸引泵，該吸引泵從所述液體排出孔向所述液體罐吸引所述液體而進(jìn)行排出。另外，在從所述液體排出孔起到所述液體罐為止的路線上，還具備具有脫氣功能 的脫氣單元。本發(fā)明的液體噴射頭的制造方法，包含槽加工工序，在壓電板的一個(gè)面上形成深 度方向成為凸?fàn)畹募?xì)長的槽；蓋板粘貼工序，將具有液體供給孔和液體排出孔的蓋板粘貼 到所述壓電板的一個(gè)面上；切削加工工序，切削加工所述壓電板的另一個(gè)面；噴嘴板粘貼 工序，將形成液體噴射用的噴嘴的噴嘴板粘貼到所述壓電板的另一個(gè)面上，使所述噴嘴和 所述槽連通。另外，還具有流路構(gòu)件粘貼工序，將具有保持提供給所述液體供給孔的液體的液 體供給腔和保持從所述液體排出孔排出的液體的液體排出腔的流路構(gòu)件，粘貼到所述蓋板 的與壓電板相反的一側(cè)上。(發(fā)明效果)本發(fā)明的液體噴射頭，具備噴嘴板，該噴嘴板具有對被記錄介質(zhì)噴射液體的噴 嘴；壓電板，在該壓電板的一個(gè)面上具有細(xì)長的槽，另一個(gè)面與所述噴嘴板接合；以及蓋 板，該蓋板具有向槽供給液體的液體供給孔和從槽排出液體的液體排出孔，設(shè)置在壓電板 的一個(gè)面上。壓電板的細(xì)長的槽采用下述結(jié)構(gòu)該槽的長度方向而且深度方向的剖面，為朝 著深度方向凸出的凸?fàn)?；在該凸?fàn)畹捻敳恐?，和噴嘴連通；在該凸?fàn)畹牡撞恐?，和液體供給 孔及液體排出孔連通。這樣，提供給槽內(nèi)的液體，從槽的凸?fàn)畹牡撞考撮_口較寬的一個(gè)面的 一側(cè)流入，從相同的一個(gè)面的一側(cè)流出。因此，液體在槽內(nèi)部區(qū)域中滯留的區(qū)域減少，能夠迅速地將由氣泡或灰塵構(gòu)成的液體內(nèi)的異物從槽內(nèi)部區(qū)域中去除。其結(jié)果，能夠提供噴嘴 堵塞減少、可靠性高的液體噴射頭。


圖1是本發(fā)明的第1實(shí)施方式涉及的液體噴射頭的示意性的分解斜視圖。圖2是本發(fā)明的第1實(shí)施方式涉及的液體噴射頭的示意性的縱剖面圖。圖3是本發(fā)明的第2實(shí)施方式涉及的液體噴射頭的示意性的縱剖面圖。圖4是本發(fā)明的第3實(shí)施方式涉及的液體噴射頭的示意性的縱剖面圖。圖5是本發(fā)明的第4實(shí)施方式涉及的液體噴射頭的示意性的斜視圖。圖6是本發(fā)明的第4實(shí)施方式涉及的液體噴射頭的示意性的縱剖面圖。圖7是本發(fā)明的第5實(shí)施方式涉及的液體噴射裝置的說明圖。圖8是表示本發(fā)明的第6實(shí)施方式涉及的液體噴射頭的制造方法的工序圖。圖9是現(xiàn)有技術(shù)的眾所周知的噴墨頭的剖面示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明涉及的液體噴射頭，其中具備噴嘴板，該噴嘴板具有對被記錄介質(zhì)噴射液 體的噴嘴；壓電板，在該壓電板的一個(gè)面上具有細(xì)長的槽，另一個(gè)面與所述噴嘴板接合；以 及蓋板，該蓋板具有對所述槽供給噴射用液體的液體供給孔和從該槽排出供給的液體的液 體排出孔，設(shè)置在所述壓電板的一個(gè)面上。進(jìn)而，在壓電板的一個(gè)面上形成的細(xì)長的槽的長 度方向的剖面，具有朝著深度方向凸出的凸?fàn)睿徊墼谠撏範(fàn)畹捻敳考床鄣牡撞恐?，和噴嘴?的噴嘴連通。再進(jìn)而，槽在該凸?fàn)畹牡撞考葱纬刹鄣囊粋€(gè)面的開口部中，和液體供給孔及液 體排出孔連通。通過該結(jié)構(gòu)，液體從槽的開口較寬的一個(gè)面的一側(cè)流入，從相同的開口較寬的一 個(gè)面的一側(cè)流出。因此，液體在槽內(nèi)部區(qū)域中滯留的區(qū)域減少，能夠迅速地將氣泡或灰塵等 異物從槽內(nèi)部區(qū)域去除。其結(jié)果，能夠減少噴嘴堵塞及從噴嘴噴出的液量的偏差導(dǎo)致的記 錄缺陷。另外，由于即使氣泡等混入槽內(nèi)部也能夠迅速地將它除去，所以在大量記錄的產(chǎn)業(yè) 用裝置中利用時(shí)，也能夠減少連續(xù)發(fā)生記錄缺陷導(dǎo)致的損失。此外，能夠使槽的剖面形狀成為朝著深度方向凸的圓弧狀。通過使槽的剖面成為 圓弧狀，能夠使從液體供給孔去往液體排出孔的液流減少沉淀，能夠更加迅速地排出混入 液體的異物。另外，使用圓盤狀的切割刀片進(jìn)行切削加工，能夠容易地形成槽。另外，能夠在壓電板的一個(gè)面上設(shè)置蓋板，以便使在壓電板的一個(gè)面上形成的細(xì) 長的槽，在其長度方向的一個(gè)或兩個(gè)開口端部中，和液體供給孔或液體排出孔連通。這樣， 因?yàn)槟軌蚧旧蠌牟鄣膬?nèi)部除去液體滯留的區(qū)域，所以能夠更加迅速地除去混入液體的氣 泡或灰塵。此外，一個(gè)槽除了可以連通一個(gè)噴嘴以外，還可以連通多個(gè)噴嘴。另外，既可以使 一個(gè)液體供給孔、一個(gè)液體排出孔與一個(gè)槽連通，還可以使多個(gè)液體供給孔或多個(gè)液體排 出孔與一個(gè)槽連通。通過使噴嘴的數(shù)量為多個(gè)，能夠提高記錄密度或記錄速度。另外，通過 連通多個(gè)液體供給孔或液體排出孔，能夠提高液體的流速，并能提高混入的異物的排出速 度，所以能夠提供不容易出現(xiàn)噴嘴堵塞的可靠性高的液體噴射頭。
另外，形成槽的壓電板的一個(gè)面平坦。因此，能夠容易地在壓電板的一個(gè)面上形成 用于連接驅(qū)動電路的電極端子。另外，依據(jù)本發(fā)明涉及的液體噴射頭的制造方法，包含槽加工工序，在由壓電體 構(gòu)成的或埋入壓電體的壓電板的一個(gè)面上形成深度方向成為凸?fàn)畹募?xì)長的槽；蓋板粘貼工 序，準(zhǔn)備在另一個(gè)面上具有液體供給孔和液體排出孔的蓋板，將該蓋板的另一個(gè)面粘貼到 所述壓電板的一個(gè)面上；切削加工工序，切削加工所述壓電板的另一個(gè)面；以及噴嘴板粘 貼工序，準(zhǔn)備形成液體噴射用的噴嘴的噴嘴板，將噴嘴板粘貼到經(jīng)過切削加工的壓電板的 加工面上，以便使該噴嘴和壓電板的槽連通。通過這樣地進(jìn)行制造，不需要高超的磨削技術(shù)就能夠使液體供給孔9及液體排出 孔10與槽5的兩頭的開口端部一致或者大體一致地連通。另外，如果在蓋板粘貼工序之后 磨削壓電板的另一個(gè)面，由于蓋板成為壓電板的加強(qiáng)材料，所以容易磨削壓電板。下面，根 據(jù)實(shí)施方式詳細(xì)講述本發(fā)明。(第1實(shí)施方式)圖1是本發(fā)明的第1實(shí)施方式即液體噴射頭1的示意性的分解斜視圖。圖2(a) 是部分AA的示意性的縱剖面圖，圖2(b)是部分BB的示意性的縱剖面圖。液體噴射頭1，具備層疊噴嘴板2、壓電板4、蓋板8及流路構(gòu)件11而成的結(jié)構(gòu)。作 為壓電板4，例如能夠使用由PZT等構(gòu)成的壓電陶瓷。在壓電板4的一個(gè)面7上，具有多個(gè) 細(xì)長的槽5(5a、"·5(1)。各槽fe、…5d將長度方向作為χ方向，朝著與它正交的y方向排 列。各槽...5d被各側(cè)壁6a、6b、6c隔開。各槽的寬度例如為50 μ m 100 μ m，隔開各 槽^1、’"5(1的各側(cè)壁6a、6b、6c的寬度也可以為50μπι ΙΟΟμπι。圖1所示的壓電板4 的面前一側(cè)的側(cè)面，表示槽5a的長度方向而且是深度方向的剖面。槽5的長度方向(χ方 向)及深度方向(-ζ方向)的剖面形狀在深度方向上具有凸?fàn)?。更具體地說，在深度方向 上具備凸的圓弧狀。在壓電板4的一個(gè)面7上粘貼蓋板8而接合。作為蓋板8，可以使用和壓電板4相 同的材料。如果使用相同的材料，因?yàn)閷τ跍囟茸兓缘臒崤蛎浡氏嗤?，所以不容易由?周圍溫度變化而變形或者剝離。蓋板8具備從一個(gè)面到另一個(gè)面地貫通的液體供給孔9和 液體排出孔10。使液體供給孔9與各槽fe、…、5d的長度方向的一頭的開口端、液體排出 孔10與各槽fe、…、5d的長度方向的另一頭的開口端分別一致或者大體一致地粘貼。蓋 板8在該液體供給孔9和液體排出孔10的中間區(qū)域中關(guān)閉各槽如、…、5d的開口部。就 是說，各槽fe、…、5d通過鄰接的各槽如、…、5d和蓋板8的液體供給孔9及液體排出孔 10而連通。因?yàn)檫@樣地使蓋板8的液體供給孔9及液體排出孔10和各槽fe、-,5d的兩頭 的開口端部分別一致或者大體一致地粘貼，所以能夠縮小蓋板8和壓電板4之間的液體滯 留區(qū)域。而且，槽5朝著深度方向具有凸?fàn)畹钠拭?，液體從該凸?fàn)畹牡撞考撮_口較寬的一個(gè) 面的一側(cè)流入流出，所以液體在槽5內(nèi)部也不沉淀地流動。這樣，能夠迅速地將混入液體內(nèi) 的氣泡或灰塵等異物從槽5的區(qū)域排出。使噴嘴板2與壓電板4的另一個(gè)面粘貼后接合。作為噴嘴板2，可以使用聚酰亞胺 樹脂等高分子材料。噴嘴板2具備從壓電板4側(cè)的一個(gè)面到其相反側(cè)的另一個(gè)面地貫通的 噴嘴3。噴嘴3和壓電板4的槽5在槽5的深度方向的頂部中連通。噴嘴3具有開口剖面從一個(gè)面朝著另一個(gè)面縮小的漏斗狀的形狀。漏斗狀的傾斜面，對于噴嘴板2的法線而言， 例如大約具有10度的傾斜角。使流路構(gòu)件11和與蓋板8的壓電板4相反側(cè)的表面粘貼而接合。流路構(gòu)件11在 蓋板8側(cè)的另一個(gè)面上具備由凹部形成的液體供給腔12和液體排出腔13。液體供給腔12 與蓋板8的液體供給孔9對應(yīng)地連通，液體排出腔13與蓋板8的液體排出孔10對應(yīng)地連 通。流路構(gòu)件11在和蓋板8側(cè)相反的一側(cè)的一個(gè)面上具備與液體供給腔12及液體排出腔 13連通的開口部。進(jìn)而，具備固定在各開口部上的供給用接頭14及排出用接頭15。液體 供給腔12的上表面從液體供給用的開口部朝著基準(zhǔn)方向的周邊部傾斜，空間變窄，從而減 少液體的沉淀或滯留。液體排出腔13也同樣。通過這種結(jié)構(gòu)，由供給用接頭14供給的液體充滿液體供給腔12及液體供給孔9， 流入各槽如、-5d0進(jìn)而，從各槽fe、…5d排出的液體流入液體排出孔10及液體排出腔 13，從排出用接頭15流出。各槽^ι、···5(1的底面的深度朝著長度方向的端部變淺。因此， 液體在各槽fe、…5d內(nèi)也不會沉淀地流動。該液體噴射頭1的動作如下。首先將壓電板4分極。還如圖2(b)所示，在各側(cè)壁 6a、6b、6c的兩側(cè)面形成驅(qū)動電極16a、16b、16c、16d，分別利用驅(qū)動電極16a、16b、驅(qū)動電極 16b、16c、驅(qū)動電極16c、16d夾住各側(cè)壁6a、6b、6c。而且，向供給用接頭14供給液體，使各 槽^1、513、5(3充滿液體，例如對在側(cè)壁6a上形成的驅(qū)動電極16a和16b施加電壓。于是，側(cè) 壁6a就在壓電效應(yīng)例如壓電厚度滑移效應(yīng)的作用下變形，使槽fe的容積變化。由于該容 積變化，槽fe內(nèi)填充的液體就從噴嘴3a噴出。其它的各側(cè)壁6b、6c也能夠同樣地獨(dú)立驅(qū) 動。例如作為液體如果使用油墨，就能夠在記錄介質(zhì)的紙上進(jìn)行描繪。另外，作為液體如果 使用液體金屬材料，就能夠在基板上形成電極圖案。特別是像本第1實(shí)施方式所示，在槽5的開口部側(cè)設(shè)置供給/排出液體用的蓋 板8，使槽的底部成為朝著深度方向凸的圓弧狀后，即使由氣泡或灰塵構(gòu)成的異物混入各槽 5a.5b.5c中時(shí)，也能夠減少異物的滯留時(shí)間，降低產(chǎn)生噴嘴3的堵塞或液體的噴出壓力被 混入的氣泡吸收這樣不良情況的概率。此外，在壓電板4上形成的槽5的個(gè)數(shù)，例如可以為數(shù)個(gè) 數(shù)百個(gè)以上。槽5的長 度方向的縱剖面既可以是朝著其深度方向凸的倒梯形形狀，也可以是槽5的長度方向的兩 側(cè)面是朝著側(cè)面或深度方向凸的圓弧狀，槽5的底邊可以是平坦的。另外，壓電板4的y方 向端部的槽5d，是為了在側(cè)壁6c上形成電極。這樣，不必采用使噴嘴3或液體供給孔9、液 體排出孔10與槽5d連通的結(jié)構(gòu)。另外，對于在槽5的底邊中連通的噴嘴3的位置沒有特別的限定，但是作為噴嘴3 的設(shè)置位置，最好設(shè)置在槽5的長度方向(χ方向)及寬度方向(y方向)的對稱軸或?qū)ΨQ 中心上。側(cè)壁6的變形給液體帶來的沖擊波容易在槽5的區(qū)域的對稱軸或?qū)ΨQ中心的位置 收斂，能夠使來自噴嘴3的噴出壓力成為最大。另外，雖然后文將要具體講述，但是在壓電板4的一個(gè)面7上形成槽5，與蓋板8粘 貼固定后磨削壓電板4的另一個(gè)面。在磨削壓電板4的另一個(gè)面之際，既可以磨削到槽5 的底面開口為止，也可以在槽5的底面開口之前停止磨削，使槽5的底面薄薄地殘留壓電材 料。使槽5的底面薄薄地殘留壓電材料時(shí)，需要形成與噴嘴板2的噴嘴3對應(yīng)的貫通孔。因 此，在需要進(jìn)行高精度的開孔加工的同時(shí)，還增加了工序數(shù)量。另外，由于在槽5的底邊側(cè)留下一層壓電材料，所以從槽5的區(qū)域到噴嘴3的噴出口為止的距離變長，流路阻力增大， 噴出速度下降。因此，最好將槽5的底部開口而使噴嘴板2的表面成為槽5的底邊。另外，在上述第1實(shí)施方式中，設(shè)置流路構(gòu)件11，使供給及排出的液體不沉淀地流 動。但是流路構(gòu)件11并不是本發(fā)明必不可少的構(gòu)件。特別是槽5的數(shù)量較少時(shí)，或者即使 槽5的數(shù)量較多也可以采用使蓋板8具有流路構(gòu)件11的功能的結(jié)構(gòu)。另外，在第1實(shí)施方式中，如圖2 (b)所示，將多個(gè)噴嘴3與y方向平行地排成一列。 但是并不局限于此。可以將規(guī)定數(shù)量的噴嘴3對于y方向而言具有角度地斜著排列。例如 在3循環(huán)驅(qū)動各側(cè)壁6上形成的驅(qū)動電極16時(shí)，可以將噴嘴3以每三個(gè)對于y方向而言斜 著排列。而且，時(shí)間序列地對鄰接的噴嘴3施加驅(qū)動信號，與該驅(qū)動信號同步地輸送被記錄 介質(zhì)。這樣，能夠獨(dú)立地驅(qū)動鄰接的噴嘴3，而且能夠高速度地在被記錄介質(zhì)上進(jìn)行記錄。(第2實(shí)施方式)圖3是本發(fā)明的第2實(shí)施方式即液體噴射頭1的示意性的縱剖面圖。本第2實(shí)施 方式在噴嘴板2具備與一個(gè)槽對應(yīng)的2個(gè)噴嘴3a、3b的這一點(diǎn)上，與第1實(shí)施方式不同，其 它方面都和第1實(shí)施方式相同。下面，主要講述與第1實(shí)施方式不同的部分。另外，以下對 于相同的部分或具有相同的功能的部分，賦予相同的附圖標(biāo)記。如圖3所示，液體噴射頭1，具備依次層疊噴嘴板2、壓電板4、蓋板8、流路構(gòu)件11 的結(jié)構(gòu)。在壓電板4的一個(gè)面上，具有細(xì)長的槽5，其長度方向及深度方向上的剖面朝著深 度方向具有凸?fàn)睢娮彀?的2個(gè)噴嘴3a、!3b在該凸?fàn)畹捻敳恐信c槽5連通。與槽5的長 度方向的中央部相比，噴嘴3a位于靠近一頭的端部側(cè)，噴嘴北位于槽5的另一頭的端部 側(cè)。從供給用接頭14供給的液體，經(jīng)由液體供給腔12及液體供給孔9，從槽5的剖面形狀 為凸?fàn)畹牡撞康囊欢碎_口部流入，從相同的底部的另一端開口部經(jīng)由液體排出孔10、液體 排出腔13，從排出用接頭15流出。此外在這里，所謂“槽5的深度方向上的凸?fàn)畹捻敳俊保?并不意味著是槽5的最深部的一點(diǎn)，在槽5的底邊存在擴(kuò)大時(shí)，也可以將該擴(kuò)大的某個(gè)底邊 稱作頂部。這在其它實(shí)施方式中也同樣。壓電板4上形成的槽5的一個(gè)或兩個(gè)的開口端部，與蓋板8的液體供給孔9及液體 排出孔10的開口部一致或者大體一致。另外，槽5的剖面在噴嘴板2側(cè)具有凸?fàn)睢Ｒ虼耍?在蓋板8和壓電板4之間以或在槽5內(nèi)部中，液體的流動難以產(chǎn)生沉淀，即使氣泡或灰塵混 入內(nèi)部也能夠迅速排出，所以能夠減少噴嘴3的堵塞、混入的氣泡成為空氣彈簧吸收內(nèi)部 的噴出壓力、噴嘴3不能夠噴出液體的不良情況。在劃分槽5的側(cè)壁的壁面上形成的未圖示的驅(qū)動電極，在槽5的長度方向的中央 部中被電性分離。使噴嘴3a噴射液體時(shí)，將驅(qū)動電壓給予噴嘴3a側(cè)的驅(qū)動電極，使噴嘴3a 側(cè)的側(cè)壁變形；使噴嘴北噴射液體時(shí)，將驅(qū)動電壓給予噴嘴北側(cè)的驅(qū)動電極，使噴嘴北側(cè) 的側(cè)壁變形。就是說，因?yàn)槟軌蚴箖蓚€(gè)噴嘴獨(dú)立地噴射液體，所以能夠提高記錄密度及記錄 速度。(第3實(shí)施方式)圖4是本發(fā)明的第3實(shí)施方式即液體噴射頭1的示意性的縱剖面圖。本第3實(shí)施 方式在噴嘴板2具備與一個(gè)槽5對應(yīng)的2個(gè)噴嘴3a、3b ；蓋板8具備1個(gè)液體供給孔9和2 個(gè)液體排出孔10a、10b這兩點(diǎn)上，與第1實(shí)施方式不同，其它方面都和第1實(shí)施方式相同。 下面，主要講述與第1實(shí)施方式不同的部分。
如圖4所示，液體噴射頭1，具備依次層疊噴嘴板2、壓電板4、蓋板8、流路構(gòu)件11 的結(jié)構(gòu)。在壓電板4的一個(gè)面上，具備細(xì)長的槽5，槽5的長度方向及深度方向的剖面，在深 度方向上具有凸?fàn)?。蓋板8具備與槽5的長度方向的中央開口部對應(yīng)的液體供給孔9和與 槽5的長度方向的兩端的開口部對應(yīng)的2個(gè)液體排出孔10a、10b。就是說，槽5在剖面為凸 狀的底部中與液體供給孔9及液體排出孔10a、10b連通。流路構(gòu)件11具備與蓋板8的液體供給孔9對應(yīng)的液體供給腔12和與兩個(gè)液體排 出孔10a、IOb的每個(gè)對應(yīng)的液體供給腔13a、13b。液體供給腔12在與蓋板8相反側(cè)的一個(gè) 面上開口，由在該開口部設(shè)置的供給用接頭14供給液體。液體排出腔13a、13b的每一個(gè)在 蓋板8的一個(gè)面上開口，由在該開口部設(shè)置的排出用接頭15a、Mb排出液體。槽5在深度 方向上具有凸?fàn)?，噴嘴?的2個(gè)噴嘴3a、!3b在其頂部中與槽5連通。噴嘴3a位于液體供 給孔9和液體排出孔IOa之間，噴嘴北位于液體供給孔9和液體排出孔IOb之間。由供給用接頭14供給的液體，通過液體供給腔12及液體供給孔9，從槽5的中央 部流入，從槽5的兩端部通過2個(gè)液體排出孔10a、IOb及液體排出腔13a、13b，從排出用接 頭15a、15b向外部流出。在壓電板4上形成的槽5的兩個(gè)開口端部，與蓋板8的2個(gè)液體排 出孔10a、10b的開口部一致或者大體一致。另外，槽5的剖面在噴嘴板2側(cè)具有凸?fàn)?。?此，由于在蓋板8和壓電板4之間或在槽5的內(nèi)部中，液體的沉淀或滯留減少，即使氣泡或 灰塵混入內(nèi)部也能夠迅速將其排出，所以能夠減少噴嘴3的堵塞。為了使隔開槽5的側(cè)壁6變形而在側(cè)壁面上設(shè)置的未圖示的驅(qū)動電極，在槽5的 長度方向的中央部中被電性分離。使噴嘴3a噴射液體時(shí)，將驅(qū)動電壓給予噴嘴3a —側(cè)的 驅(qū)動電極，使噴嘴3a —側(cè)的側(cè)壁變形；使噴嘴北噴射液體時(shí)，將驅(qū)動電壓給予噴嘴北一側(cè) 的驅(qū)動電極，使噴嘴北一側(cè)的側(cè)壁變形。這樣，能夠增大液體的記錄密度或提高記錄速度。 進(jìn)而，槽5的形狀或液體的流動以槽5的中心線CC為軸而對稱。因此，能夠相同地設(shè)定噴 嘴3a噴射液滴的噴射條件和噴嘴北噴射液滴的噴射條件。例如能夠?qū)娚湟旱蔚囊旱瘟?或噴射時(shí)刻相同地設(shè)定。此外，在上述第3實(shí)施方式中，從槽5的中央部供給液體，從兩端部排出液滴。但 并不局限于此。例如既可以從槽5的兩端部供給液體，從中央部排出；也可進(jìn)一步增加液體 排出孔10或液體供給孔9。(第4實(shí)施方式)圖5及圖6是本發(fā)明的第4實(shí)施方式即液體噴射頭1的說明圖。圖5(a)是液體 噴射頭1的整體斜視圖，(b)是液體噴射頭1的內(nèi)部的斜視圖。圖6(a)是部分DD的縱剖 面圖，(b)是部分EE的縱剖面圖。如圖5(a)及(b)所示，液體噴射頭1具備噴嘴板2、壓電板4、蓋板8和流路構(gòu)件 11的層疊結(jié)構(gòu)。噴嘴板2和壓電板4的χ方向的寬度，大于蓋板8和流路構(gòu)件11，在χ方 向的一端中突出。在壓電板4的一個(gè)面7上，朝y方向地排列著多個(gè)槽5。蓋板8具備從一 個(gè)面貫通到另一個(gè)面的液體供給孔9和液體排出孔10。液體供給孔9和液體排出孔10的 另一個(gè)面中的開口部，與各槽5的長度方向(χ方向)中的一端和另一端的各開口部一致或 者大體一致地連通。如圖6(a)及(b)所示，流路構(gòu)件11具備由在蓋板8側(cè)的另一個(gè)面上開口的凹部 構(gòu)成的液體供給腔12及液體排出腔13，在與蓋板8相反側(cè)的一個(gè)面上，具備分別與液體供給腔12及液體排出腔13連通的供給用接頭14及排出用接頭15。在壓電板4的突出的一端的一個(gè)面7上，匯總性地形成多個(gè)電極端子，各電極端子 與在各槽5的側(cè)壁上形成的未圖示的驅(qū)動電極電連接。將撓性基板(以下稱作“FPC”)24 與壓電板4的一個(gè)面7粘接固定。FPCM具備多個(gè)與該壓電板4側(cè)的表面分離的電極，各電 極通過壓電板4上的各電極端子和導(dǎo)電材料而電連接。在FPC24的表面，具備作為驅(qū)動電 路的驅(qū)動器IC25及連接器26。驅(qū)動器IC25從連接器沈輸入驅(qū)動信號，生成用于驅(qū)動槽5 的側(cè)壁的驅(qū)動電壓，通過FPCM上的電極、壓電板4上的電極端子，供給側(cè)壁的未圖示的驅(qū) 動電極。底座21收納壓電板4等。在底座21的下面，露出噴嘴板2的液體噴射面。將 FPC24從壓電板4的突出端部側(cè)拉到外部，固定在底座21的外側(cè)面上。在底座21的上面， 具備2個(gè)貫通孔，供給液體用的供給管22貫通一個(gè)貫通孔后，與液體供給用接頭14連接； 排出液體用的排出管23貫通另一個(gè)貫通孔后，與排出液體用接頭15連接。噴嘴板2的噴嘴3與槽5的深度方向上的凸?fàn)畹捻敳窟B接。在噴嘴板2上形成的 各噴嘴3朝著y方向排成一列，與對應(yīng)的各槽5連通。將蓋板8與壓電板4接合，以便使 液體供給孔9及液體排出孔10的各開口端部與槽5的一個(gè)及另一個(gè)開口端部分別一致或 者大體一致。就是說，槽5在剖面為凸?fàn)畹牡撞恐信c液體供給孔9及液體排出孔10連通。 FPC24被固定在底座21的側(cè)壁上。通過這種結(jié)構(gòu)，能夠減少蓋板8和壓電板4之間或槽5的內(nèi)部中的沉淀，迅速排出 混入液體的氣泡或灰塵。其結(jié)果，能夠減少噴嘴3的堵塞及液體噴出量不足等不良現(xiàn)象。另 外，雖然驅(qū)動器IC25或壓電板4的槽5的側(cè)壁由于驅(qū)動而被加熱，但是可以通過底座21或 流路構(gòu)件11，將熱量傳遞給在內(nèi)部流動的液體。就是說，可以將用于在記錄介質(zhì)上進(jìn)行記 錄的液體作為冷卻劑利用，能夠有效地向外部散熱。因此，能夠防止驅(qū)動器IC25或壓電板 4由于過熱而導(dǎo)致的驅(qū)動能力的下降，能夠提供可靠性高的液體噴射頭1。此外，可以像第2實(shí)施方式那樣給一個(gè)槽設(shè)置2個(gè)噴嘴3。還可以像第3實(shí)施方 式那樣，采用通過液體供給腔12及液體供給孔9而從槽5的中央部供給液體，通過液體排 出孔10a、10b及液體排出腔13a、13b而從槽5的兩端部排出液體，進(jìn)而從2個(gè)噴嘴獨(dú)立地 噴射液體的結(jié)構(gòu)。另外，如圖6(b)所示地將在噴嘴板2上設(shè)置的噴嘴3朝著y方向排成一 列，并不是必要的條件?？梢圆捎脤τ趛方向而言具有角度的周期性排列的結(jié)構(gòu)。(第5實(shí)施方式)圖7是本發(fā)明的第5實(shí)施方式即液體噴射裝置20的示意性的結(jié)構(gòu)圖。液體噴射 裝置20具備液體噴射頭1 ；液體罐27，該液體罐27向液體噴射頭1供給液體，貯存從液 體噴射頭1排出的液體；按壓泵觀，該按壓泵觀從液體罐27向液體噴射頭1按壓液體地 供給液體；和吸引泵四，該吸引泵四從液體噴射頭1向液體罐27吸引液體后排出。按壓 泵觀的吸引側(cè)和液體罐27被供給管22b連接，按壓泵觀的按壓側(cè)和液體噴射頭1的供給 用接頭14被供給管2 連接。吸引泵四的按壓側(cè)和液體罐27被排出管2 連接，吸引泵 29的吸引側(cè)和液體噴射頭1的排出用接頭15被排出管23a連接。供給管2 具備用于檢 出被按壓泵觀按壓的液體的壓力的壓力傳感器31。液體噴射頭1和第4實(shí)施方式同樣，所 以不再贅述。此外，如前所述，液體噴射頭1可以像第2實(shí)施方式那樣給一個(gè)槽5設(shè)置2個(gè)噴嘴3。還可以像第3實(shí)施方式那樣，采用通過液體供給腔12及對應(yīng)設(shè)置的液體供給孔9而從 槽5的中央部供給液體，通過2個(gè)液體排出孔10a、10b及對應(yīng)設(shè)置的2個(gè)液體排出腔13a、 13b而從槽5的兩端部排出液體，進(jìn)而從2個(gè)噴嘴獨(dú)立地噴射液體的結(jié)構(gòu)。另外，液體噴射 裝置20還具備用于使液體噴射頭1往復(fù)運(yùn)動的輸送帶、引導(dǎo)液體噴射頭1的導(dǎo)向軌道、驅(qū) 動輸送帶的驅(qū)動電動機(jī)、輸送記錄介質(zhì)的輸送滾輪、控制它們的驅(qū)動的控制部等，但是在圖 7中沒有繪出。另外，在本實(shí)施方式中，可以在液體排出孔10和液體罐27之間設(shè)置未圖示的脫氣 裝置。就是說，可以在排出管23a及2 上設(shè)置脫氣裝置。通過采用該結(jié)構(gòu)，能夠在從液體 罐27向槽5供給液體、使液體從槽5向液體罐27循環(huán)的排出管23a及2 上的路線中，對 液體含有的氣體進(jìn)行脫氣、除去。就是說，由于具備循環(huán)線路中的脫氣功能，能夠降低包含 的氣體的含有量，能夠向液體罐27供給適合于液體噴出環(huán)境的液體，所以能夠構(gòu)筑優(yōu)異的 液體再利用系統(tǒng)。通過使液體噴射裝置20成為上述結(jié)構(gòu)，能夠減少液體在蓋板8和壓電板4之間或 槽5的內(nèi)部中的沉淀或滯留，即使氣泡或灰塵混入內(nèi)部也能夠迅速將其排出。另外，在驅(qū)動 器IC25或壓電板4的側(cè)壁產(chǎn)生的熱，被通過底座21或流路構(gòu)件11傳遞給在內(nèi)部流動的液 體。因此，可以將用于在記錄介質(zhì)上進(jìn)行記錄的液體作為冷卻劑利用，能夠有效地向外部散 熱，能夠防止驅(qū)動器IC25或側(cè)壁由于過熱而導(dǎo)致的驅(qū)動能力的下降，能夠提供可靠性高的 液體噴射裝置20。(第6實(shí)施方式)圖8是表示本發(fā)明的第6實(shí)施方式即液體噴射頭1的制造方法的說明圖。對于相 同的部分或具有相同的功能的部分，賦予相同的附圖標(biāo)記。圖8 (a)表示使用切割刀片30在壓電板4的一個(gè)面7上磨削槽5的槽加工工序。 壓電板4使用PZT陶瓷。切割刀片30由圓盤狀的金屬板或合成樹脂板構(gòu)成，其外周部埋入 磨削用的金剛石磨料。使旋轉(zhuǎn)的切割刀片30在壓電板4的一個(gè)端部下降到規(guī)定的深度，然 后水平磨削到另一頭的端部為止后上升。圖8(b)表示磨削后的槽5的剖面。槽5的兩端 部與切割刀片30的外徑吻合，在深度方向上具有凸的圓弧狀。圖8 (c)表示將具有液體供給孔9和液體排出孔10的蓋板8粘貼到壓電板4的一 個(gè)面7而接合的蓋板粘貼工序后的縱剖面圖。蓋板8使用和壓電板4相同的材料，利用粘 接劑接合。使液體供給孔9的開口端部與槽5的一頭的開口端部，還使液體排出孔10的開 口端部與槽5的另一頭的開口端部一致或者大體一致。因?yàn)閷⑸w板8粘貼在壓電板4的槽 5的一側(cè)，所以使槽5的兩端部和液體供給孔9及液體排出孔10的開口端部的定位變得極 其容易。液體供給孔9或液體排出孔10與槽5的兩端部大致一致，進(jìn)而槽5在深度方向上 具有凸的圓弧狀。通過這種結(jié)構(gòu)，在液體從液體供給孔9流入槽5、從液體排出孔10排出之 際，難以在槽5內(nèi)部產(chǎn)生沉淀及滯留。圖8(d)表示切削壓電板4的另一個(gè)面17、將槽5的深度方向的頂部開口的切削加 工工序后的縱剖面圖。因?yàn)樯w板8與壓電板4的一個(gè)面接合，所以蓋板8能夠作為壓電板4 的加強(qiáng)材料發(fā)揮作用。這樣，能夠容易地利用平面磨削機(jī)切削壓電板4的另一個(gè)面17。因 為能夠從另一個(gè)面17側(cè)研磨地磨削壓電板4，所以能夠不損壞劃分槽5的側(cè)壁6地將槽5 的底面開口。
圖8 (e)表示將噴嘴板2粘貼到壓電板4的另一個(gè)面17而接合的噴嘴板粘貼工序 后的縱剖面圖。作為噴嘴板2，使用聚酰亞胺樹脂，利用粘接材料與壓電板4接合。噴嘴3 具備開口剖面積從槽5側(cè)起朝著外部逐漸減小的漏斗狀，利用激光貫穿設(shè)置該漏斗狀的貫 通孔。在槽5的長度方向的中央部，設(shè)置噴嘴3。此外，除了上述圖8所示的工序外，還可以包含準(zhǔn)備具備液體供給腔和液體排出 腔的流路構(gòu)件、與蓋板8的一個(gè)面粘貼而接合的流路構(gòu)件粘貼工序。在粘貼之際，使蓋板8 上形成的液體供給孔9及液體排出孔10與液體供給腔和液體排出腔的每一個(gè)連通。這樣， 在能夠均等地向多個(gè)槽5供給液體的同時(shí)，還能夠作為緩沖腔發(fā)揮作用，使液體泵的脈動 傳遞給噴嘴3側(cè)的情況得到緩和。另外，在上述切削加工工序中，可以在槽5的深度方向不磨削到凸的頂部開口為 止，而在深度方向的頂部留下壓電材料。在槽5的底面?zhèn)攘粝聣弘姴牧蠒r(shí)，在切削加工工序 之前或之后形成與噴嘴3對應(yīng)的貫通孔。形成該貫通孔時(shí)，因?yàn)椴荒ハ鲃澐植?的側(cè)壁6， 所以磨削時(shí)不會損壞側(cè)壁。在槽5的底面留下壓電材料后，從槽5的區(qū)域到噴嘴3的噴出 口為止的距離變長，流路阻力增大，噴出速度下降。因此，最好將槽5的底部開口，使噴嘴板 2的表面成為槽5的底邊。依據(jù)本發(fā)明的液體噴射頭1的制造方法后，不需要高超的磨削技術(shù)就能夠使液體 供給孔9或液體排出孔10與槽5的兩個(gè)開口端部一致或者大體一致地連通。而且，因?yàn)閺?形成槽5的表面?zhèn)认蛟谏疃确较蛏暇哂型範(fàn)畹牟?的內(nèi)部供給液體，從相同的表面?zhèn)扰懦?液體，所以能夠減少液體在槽5的內(nèi)部中的沉淀或滯留。這樣，即使氣泡或灰塵等異物混入 槽5的內(nèi)部也能夠迅速將其排出，所以能夠減少噴嘴3的堵塞。附圖標(biāo)記說明1液體噴射頭；2噴嘴板；3噴嘴；4壓電板；5槽；6側(cè)壁；7 —個(gè)面；8蓋板；9液體 供給孔；10液體排出孔；20液體噴射裝置；24 FPC ；25驅(qū)動器IC ；27液體罐；觀按壓泵；四 吸引泵。
權(quán)利要求
1.一種液體噴射頭，其中具備噴嘴板，該噴嘴板具有對被記錄介質(zhì)噴射液體的噴嘴；壓電板，在該壓電板的一個(gè)面上具有細(xì)長的槽，另一個(gè)面與所述噴嘴板接合；以及 蓋板，該蓋板具有對所述槽供給所述液體的液體供給孔和從所述槽排出所述液體的液 體排出孔，設(shè)置在所述壓電板的一個(gè)面上，所述壓電板的細(xì)長的槽的所述槽的長度方向而且深度方向的剖面，具有朝著深度方向 凸出的凸?fàn)?，在所述凸?fàn)畹捻敳恐校退鰢娮爝B通，在所述凸?fàn)畹牡撞恐校退鲆后w供 給孔及所述液體排出孔連通。
2.如權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其特征在于所述槽的所述剖面，是朝著深度方向 凸的圓弧狀。
3.如權(quán)利要求1或2所述的液體噴射頭，其特征在于所述槽在長度方向的一個(gè)或兩 個(gè)開口端部中，和所述液體供給孔或所述液體排出孔連通。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的液體噴射頭，其特征在于所述蓋板具備多個(gè)從 所述槽排出所述液體的液體排出孔或向所述槽供給所述液體的液體供給孔。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的液體噴射頭，其特征在于所述噴嘴板具備多個(gè) 與所述槽連通的噴嘴。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的液體噴射頭，其特征在于還具有保持提供給所 述液體供給孔的液體的液體供給腔和保持從所述液體排出孔排出的液體的液體排出腔；具 備在所述蓋板的和所述壓電板相反側(cè)的面上設(shè)置的流路構(gòu)件。
7.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的液體噴射頭，其特征在于還具備 驅(qū)動電路，該驅(qū)動電路對在所述槽的側(cè)壁上形成的電極供給驅(qū)動電力； 撓性基板，該撓性基板設(shè)置在所述壓電板上，安裝所述驅(qū)動電路；以及基體，該基體在所述噴嘴板露出外部的狀態(tài)下，收納所述壓電板及所述蓋板，并且將所 述撓性基板固定在外側(cè)面上。
8.一種液體噴射裝置，其中具備權(quán)利要求1 7中任意一項(xiàng)所述的液體噴射頭；液體罐，該液體罐在向所述蓋板的液體供給孔供給液體的同時(shí)，還貯存從所述蓋板的 液體排出孔排出的液體；按壓泵，該按壓泵從所述液體罐向所述液體供給孔按壓所述液體而進(jìn)行供給；以及 吸引泵，該吸引泵從所述液體排出孔向所述液體罐吸引所述液體而進(jìn)行排出。
9.如權(quán)利要求8所述的液體噴射裝置，其特征在于在從所述液體排出孔起到所述液 體罐為止的路線上，還具備具有脫氣功能的脫氣單元。
10.一種液體噴射頭的制造方法，包含槽加工工序，在壓電板的一個(gè)面上形成深度方向成為凸?fàn)畹募?xì)長的槽；蓋板粘貼工序，將具有液體供給孔和液體排出孔的蓋板粘貼到所述壓電板的一個(gè)面上；切削加工工序，切削加工所述壓電板的另一個(gè)面；噴嘴板粘貼工序，將形成液體噴射用的噴嘴的噴嘴板粘貼到所述壓電板的另一個(gè)面 上，使所述噴嘴和所述槽連通。
11.如權(quán)利要求10所述的液體噴射頭的制造方法，其特征在于還具有流路構(gòu)件粘貼 工序，將具有保持提供給所述液體供給孔的液體的液體供給腔和保持從所述液體排出孔排 出的液體的液體排出腔的流路構(gòu)件，粘貼到所述蓋板的與壓電板相反的一側(cè)上。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠減少液體在壓電板(4)形成的槽(5)內(nèi)部的沉淀、迅速排出混入槽(5)內(nèi)部的異物的液體噴射頭(1)。其中具備由具有液體噴射用的噴嘴(3)的噴嘴板(2)、接合噴嘴板(2)的壓電板(4)、具有供給及排出液體的液體供給孔(9)及液體排出孔(10)的蓋板(8)構(gòu)成的層疊結(jié)構(gòu)，槽(5)的剖面在深度方向上是凸?fàn)?，在該凸?fàn)畹捻敳恐泻蛧娮?3)連通，在凸?fàn)畹牡撞恐泻鸵后w供給孔(9)及液體排出孔(10)連通。
文檔編號B41J2/175GK102092192SQ2010105391
公開日2011年6月15日 申請日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月29日
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