專利名稱：激光打標的校正方法和校正裝置以及激光打標系統(tǒng)的制作方法
激光打標的校正方法和校正裝置以及激光打標系統(tǒng)
技術領域：
本發(fā)明涉及光學領域，特別是涉及一種激光打標的校正方法，還涉及一種激光打標的校正裝置，再涉及一種激光打標系統(tǒng)。
背景技術：
振鏡掃描式激光打標系統(tǒng)是通過光學折射、反折、聚焦把高能量的激光束引到加工產(chǎn)品上進行標記。由于光學鏡組的特性，激光的焦平面會出現(xiàn)球形、枕形失真。如圖1示， 為一正方形圖形實際標記時的失真圖形。傳統(tǒng)的校正方法主要是通過純光學、機電系統(tǒng)原理的分析，如光的折射特性、反射特性、聚焦特性、振鏡偏轉(zhuǎn)、傳動系統(tǒng)、模數(shù)轉(zhuǎn)換等誤差的分析，從而推導出一套有理論基礎的校正公式，對標記系統(tǒng)的激光進行校正，以便使圖形正確地加工到產(chǎn)品上。但實際上由于光學器件、機電器件本身誤差的存在，在標記范圍較大時，各種誤差被組合在一起放大，導致校正精度不能滿足某些高精度需求。此外傳統(tǒng)的校正公式是線性校正，而實際中在距離標記中心相等的距離位置，不同區(qū)域精度也不一樣，有的區(qū)域精度高，有的區(qū)域精度低，因此采用線性的校正公式亦會造成偏差。以上原因造成傳統(tǒng)的校正方法誤差大，達不到加工精度的要求，一般在常用的 100mm*100mm大小的加工區(qū)域，最大誤差可達0. 5mm，達不到行業(yè)要求，如半導體行業(yè)標記往往要求加工精度達到0. 01 0. 03mm。

發(fā)明內(nèi)容基于此，有必要提供一種高精度的激光打標的校正方法?！N激光打標的校正方法，包括下列步驟計算需要標記的圖形中每個點的位置信息；計算所述需要標記的圖形中每個點的DA校正值；根據(jù)所述DA校正值對每個點進行校正。優(yōu)選的，還包括下列步驟生成坐標網(wǎng)格，即將激光打標的方形區(qū)域分為a行a列的方格坐標網(wǎng)格；標記所述坐標網(wǎng)格，即將所述坐標網(wǎng)格標記在水平校正板上；測量頂點坐標，即測量所述被標記在水平校正板上的坐標網(wǎng)格中頂點的實際坐標；計算所述頂點的 DA補償值；所述DA校正值是根據(jù)所述需要標記的圖形中每個點的位置信息和所述DA補償值算出的。優(yōu)選的，所述DA補償值包括X軸方向DA補償值和Y軸方向DA補償值，具體是根據(jù)如下公式計算的X 軸方向 DA 補償值V_ = P* I IX11 -1X21 I *PPMMXSY 軸方向 DA 補償值=Vnmy = P* I IY11 -1Y21 I *PPMMYS其中P表示極性的正負，其值為1或-ι ；&表示頂點的理想坐標X值，)(2表示頂點標記后的X軸坐標測量值；PPMMXS表示X軸每毫米對應的電壓值J1表示頂點的理想坐標 Y值，Y2表示頂點標記后的Y軸坐標測量值；PPMMYS表示Y軸每毫米對應的電壓值。
優(yōu)選的，所述計算需要標記的圖形中每個點的位置信息的步驟具體是根據(jù)所述每個點的坐標計算出所在的方格，并得到所述方格的4個頂點的坐標及DA補償值。優(yōu)選的，所述計算所述需要標記的圖形中每個點的DA校正值具體是根據(jù)所述每個點的坐標和4個頂點的坐標及DA補償值進行計算X軸方向DA校正值Pnmx = Lh1* (I2^3+I1^J +h2* (l^V^+l^V^) ] / (h*l)Y軸方向DA校正值Pnmy = Di1* (I2W3^ldV4yHh2* (I2W1ZldV2y)VO^l)其中1表示所述方格寬度，h表示所述方格高度，I1表示所述標記的圖形中每個點中的一個與所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X坐標之差，I2表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與所述標記的圖形中每個點中的一個的X坐標之差，、表示所述標記的圖形中每個點中的一個與所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的Y坐標之差，h2表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與所述標記的圖形中每個點中的一個的Y坐標之差，Vlx、Vly分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X軸、 Y軸方向DA補償值，V2x, V2y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右上方的頂點的X軸、 Y軸方向DA補償值，V3x、V3y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左下方的頂點的X軸、 Y軸方向DA補償值，V4x、V4y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點的X軸、Y 軸方向DA補償值。本發(fā)明還提供一種高精度的激光打標的校正裝置。一種激光打標的校正裝置，包括存儲器、DA補償值計算模塊、DA校正值計算模塊以及處理模塊；所述存儲器與所述DA補償值計算模塊、DA校正值計算模塊以及處理模塊均相連接，用于存儲被標記在水平校正板上的a行a列的方格坐標網(wǎng)格中頂點的坐標實際測量值；所述DA補償值計算模塊接收所述頂點的坐標實際測量值，并計算所述頂點的DA補償值后存儲在所述存儲器中；所述處理模塊用于計算需要標記的圖形中每個點的位置信息； 所述DA校正值計算模塊接收所述頂點的DA補償值以及需要標記的圖形中每個點的位置信息，計算需要標記的圖形中每個點的DA校正值。優(yōu)選的，所述DA補償值包括X軸方向DA補償值和Y軸方向DA補償值，具體是根據(jù)如下公式計算的X 軸方向 DA 補償值=Vnmx = P* I IX11 -1X21 | *PPMMXSY 軸方向 DA 補償值=Vnmy = P* I IY11 -1Y21 | *PPMMYS其中P表示極性的正負，其值為1或-1 ；&表示頂點的理想坐標X值，)(2表示頂點標記后的X軸坐標測量值；PPMMXS表示X軸每毫米對應的電壓值J1表示頂點的理想坐標 Y值，Y2表示頂點標記后的Y軸坐標測量值；PPMMYS表示Y軸每毫米對應的電壓值。優(yōu)選的，所述計算需要標記的圖形中每個點的位置信息的步驟具體是根據(jù)所述每個點的坐標計算出所在的方格，并得到所述方格的4個頂點的坐標及DA補償值。優(yōu)選的，所述計算所述需要標記的圖形中每個點的DA校正值具體是根據(jù)所述每個點的坐標和4個頂點的坐標及DA補償值進行計算X軸方向DA校正值Pnmx = Qll* (lA+l^V J +h2* (l^V^+l^Vj ] / (h*l)
Y軸方向DA校正值Pnmy = Di1* (I2W^ldV4yHh2* (I2^JldV2y) ]/(h*l)其中1表示所述方格寬度，h表示所述方格高度，I1表示所述標記的圖形中每個點中的一個與所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X坐標之差，I2表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與所述標記的圖形中每個點中的一個的X坐標之差，、表示所述標記的圖形中每個點中的一個與所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的Y坐標之差，h2表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與所述標記的圖形中每個點中的一個的Y坐標之差，Vlx、Vly分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X軸、 Y軸方向DA補償值，V2x, V2y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右上方的頂點的X軸、 Y軸方向DA補償值，V3x、V3y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左下方的頂點的X軸、 Y軸方向DA補償值，V4x、V4y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點的X軸、Y 軸方向DA補償值。本發(fā)明再提供一種高精度的激光打標系統(tǒng)。一種激光打標系統(tǒng)，包括激光器、透鏡組、振鏡、振鏡掃描模塊，還包括所述的校正裝置，用于對所述振鏡進行校正。采用了上述校正方法的激光打標系統(tǒng)實現(xiàn)了高精度的激光打標，無論標記機的光、電系統(tǒng)誤差來自哪里，校正過程中以有限個點的誤差，推出無限個點的誤差并進行校正，校正精度高。在坐標網(wǎng)格為64行64列時，能達到0.01mm級別的標記精度，基本滿足目前所有行業(yè)的標記精度要求。

圖1為一正方形圖形在實際標記時的失真圖形；圖2是一個實施例中激光打標系統(tǒng)的誤差的獲取方法流程圖；圖3為一個實施例中N = 16時方格坐標網(wǎng)格圖；圖4為激光打標的校正方法流程圖；圖5為本發(fā)明激光打標系統(tǒng)的校正裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式

本發(fā)明激光打標的校正方法首先需要獲得誤差數(shù)據(jù)。如圖2所示，在優(yōu)選的實施例中，誤差數(shù)據(jù)可以通過如下步驟獲得S10，生成坐標網(wǎng)格。將待標記的區(qū)域(例如一個100mm*100mm正方形)分為2k行2k列的方格坐標網(wǎng)格(k為正整數(shù))，k的大小可以根據(jù)校正精度選擇，k越大校正精度越高，但同時會使得校正需要的時間呈幾何增長。在優(yōu)選的實施例中，N為16、32或64(即k = 4、5、6)，圖3為一個實施例中N = 16時方格坐標網(wǎng)格圖。S20，標記坐標網(wǎng)格。將方格坐標網(wǎng)格圖用待校正的激光打標系統(tǒng)標記在水平校正板上。S30，測量頂點坐標。測量被標記在水平校正板上的方格坐標網(wǎng)格圖中頂點的實際坐標。在優(yōu)選的實施例中是遍測所有頂點的坐標。而實際生產(chǎn)中，可能只會對正方形區(qū)域的部分區(qū)域進行標記， 所以也可以只測量部分區(qū)域的頂點坐標。另外，由于誤差往往有一定的規(guī)律性，也可以只測量部分頂點的坐標，其余頂點坐標根據(jù)規(guī)律性算出。另外該測量可以人工進行，亦可以采用設備自動進行，例如采用一個圖形采集裝置采集標記在水平校正板上的圖像后通過測量裝置自動測量。S40,計算頂點的DA補償值。DA補償值是指為了修正誤差，對激光打標系統(tǒng)中的振鏡偏轉(zhuǎn)角度進行補償而施加的控制振鏡偏轉(zhuǎn)的電壓值。在優(yōu)選的實施例中，DA補償值的計算方法如下 X 軸方向 DA 補償值=Vnmx = P* I IX11 -1X21 I *PPMMXSY 軸方向 DA 補償值=Vnmy = P* I IY11 -1Y21 | *PPMMYS其中P表示極性的正負，其值為1或-1 ；X1表示頂點的理想坐標X值，\表示頂點標記后的X軸坐標測量值；PPMMXS表示X軸每毫米對應的電壓值J1表示頂點的理想坐標Y值，Y2表示頂點標記后的Y軸坐標測量值；PPMMYS表示Y軸每毫米對應的電壓值。 PPMMXS (或PPMMYQ具體是根據(jù)公式PPMMXS = R/L算出，R是振鏡控制卡的分辨率，例如 16位卡的分辨率就為65535 的16次方減1)，L是坐標軸的范圍，即待標記范圍的長度或?qū)挾取Ｉ鲜鯯30中得到的頂點坐標和S40得到的DA補償值都需要存儲起來。在優(yōu)選的實施例中，可以存儲在一個二維表格中，該二維表格的C++描述如下struct IA {double χ ；double y ；}；typedef vector < struct IA > ROffADJUST_VEC ；typedef vector < ROffADJUST_VEC > R0WC0L_VEC ；vector可為STL中線性表數(shù)組，也可以是自行實現(xiàn)的線性數(shù)組，由于線性數(shù)組直接存取的效率高，故采用之。圖3是本發(fā)明激光打標的校正方法流程圖。包括下列步驟Sl 10，計算需要標記的圖形中每個點的位置信息。在優(yōu)選的實施例中，是根據(jù)需要標記的圖形中每個點的坐標計算出其處于方格坐標網(wǎng)格的哪個方格中，并得到該方格的4個頂點的坐標及DA補償值。S120，計算需要標記的圖形中每個點的DA校正值。該DA校正值是指激光打標時需要對激光打標系統(tǒng)中的振鏡偏轉(zhuǎn)角度進行校正而施加的控制振鏡偏轉(zhuǎn)的電壓值，是根據(jù)需要標記的圖形中每個點的位置信息和DA補償值算出的，具體計算公式如下X軸方向DA校正值Pnmx = [hi* (1A+13V J +h2* (l^V^+l^Vj ] / (h*l)Y軸方向DA校正值Pnmy = Eh1*+h2* (l^v^+l^v^) ] / (h*l)其中1表示所述方格寬度，h表示所述方格高度(在優(yōu)選的實施例中方格為正方格，因此1 = Iihl1表示標記的圖形中每個點中的一個(即被校正點，下同)與4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X坐標之差，I2表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與標記的圖形中每個點中的一個的X坐標之差，Ii1表示標記的圖形中每個點中的一個與4 個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的Y坐標之差，h2表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與標記的圖形中每個點中的一個的Y坐標之差，Vlx, Vly分別表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V2x, V2y分別表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右上方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V3x、V3y分別表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左下方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V4x, V4y分別表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值。S130，根據(jù)所述DA校正值對每個點進行校正。校正完成后，激光打標系統(tǒng)根據(jù)校正結(jié)果進行標記。本發(fā)明還提供一種采用了上述校正方法的激光打標系統(tǒng)的校正裝置。圖5為本發(fā)明激光打標系統(tǒng)的校正裝置500的結(jié)構(gòu)示意圖。包括存儲器510、DA補償值計算模塊520、 處理模塊530以及DA校正值計算模塊M0。存儲器510與DA補償值計算模塊520、處理模塊530以及DA校正值計算模塊540均相連接。存儲器510用于存儲被標記在水平校正板上的a行a列的方格坐標網(wǎng)格中頂點的坐標實際測量值。DA補償值計算模塊520接收頂點的坐標實際測量值，計算頂點的DA補償值并存儲在存儲器510中。在優(yōu)選的實施例中，DA補償值的計算方法如下X 軸方向 DA 補償值=Vnmx = P* I IX11 -1X21 | *PPMMXSY 軸方向 DA 補償值=Vnmy = P* I IY11 -1Y21 | *PPMMYS其中P表示極性的正負，其值為1或-1 ；X1表示頂點的理想坐標X值，\表示頂點標記后的X軸坐標測量值；PPMMXS表示X軸每毫米對應的電壓值J1表示頂點的理想坐標Y值，Y2表示頂點標記后的Y軸坐標測量值；PPMMYS表示Y軸每毫米對應的電壓值。 PPMMXS (或PPMMYQ具體是根據(jù)公式PPMMXS = R/L算出，R是振鏡控制卡的分辨率，例如 16位卡的分辨率就為65535 的16次方減1)，L是坐標軸的范圍，即待標記范圍的長度或?qū)挾?。處理模塊530用于計算需要標記的圖形中每個點的位置信息。在優(yōu)選的實施例中，是根據(jù)需要標記的圖形中每個點的坐標計算出其處于方格坐標網(wǎng)格的哪個方格中，并得到該方格的4個頂點的坐標及DA補償值。上述得到的頂點的坐標實際測量值、DA補償值以及每個點的位置信息均存儲在存儲器510中。DA校正值計算模塊540接收頂點的DA補償值以及需要標記的圖形中每個點的位置信息，計算需要標記的圖形中每個點的DA校正值。具體計算公式如下X軸方向DA校正值Pnmx = Eh1* (lA+l^V J +h2* (l^V^+l^Vj ] / (h*l)Y軸方向DA校正值
Pnmy = Eh1* (I2W^ldV4y) +h2* (l^V^+l^V^) ] / (h*l)其中1表示所述方格寬度，h表示所述方格高度(在優(yōu)選的實施例中方格為正方格，因此1 =Iihl1表示標記的圖形中每個點中的一個(即被校正點，下同)與4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X坐標之差，I2表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與標記的圖形中每個點中的一個的X坐標之差，Ii1表示標記的圖形中每個點中的一個與4 個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的Y坐標之差，h2表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與標記的圖形中每個點中的一個的Y坐標之差，Vlx, Vly分別表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V2x, V2y分別表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右上方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V3x、V3y分別表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左下方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V4x, V4y分別表示4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值。在優(yōu)選的實施例中，存儲器510存儲的測量值具體是通過如下步驟獲得的首先將待標記的區(qū)域(例如一個100mm*100mm正方形)分為2k行2k列的方格坐標網(wǎng)格(k為正整數(shù))，k的大小可以根據(jù)校正精度選擇，k越大校正精度越高，但同時會使得校正需要的時間呈幾何增長。該方格坐標網(wǎng)絡可以由激光打標系統(tǒng)的振鏡掃描模塊生成。在優(yōu)選的實施例中，N為16、32或64(即k = 4、5、6)。其次用待校正的激光打標系統(tǒng)將方格坐標網(wǎng)格圖標記在水平校正板上。然后測量被標記在水平校正板上的方格坐標網(wǎng)格圖中頂點的實際坐標。在優(yōu)選的實施例中是遍測所有頂點的坐標。而實際生產(chǎn)中，可能只會對正方形區(qū)域的部分區(qū)域進行標記，所以也可以只測量部分區(qū)域的頂點坐標。另外，由于誤差往往有一定的規(guī)律性，也可以只測量部分頂點的坐標，其余頂點坐標根據(jù)規(guī)律性算出。另外該測量可以人工進行，亦可以采用設備自動進行，例如采用一個圖形采集裝置采集標記在水平校正板上的方格坐標網(wǎng)格并通過一個測量裝置自動測量后存儲在存儲器510中。本發(fā)明還提供一種激光打標系統(tǒng)，與本領域人員習知的傳統(tǒng)的激光打標系統(tǒng)一樣包括激光器、透鏡組、振鏡、振鏡掃描模塊，區(qū)別在于還包括上述的校正裝置，用于對所述振鏡進行校正。在優(yōu)選的實施例中，上述激光打標系統(tǒng)還包括一個圖形采集裝置和一個測量裝置。圖形采集裝置用于采集標記在水平校正板上的方格坐標網(wǎng)格圖并傳輸給測量裝置。測量裝置用于測量采集到方格坐標網(wǎng)格的各頂點坐標，并將測量結(jié)果存儲在校正裝置的存儲器中。本發(fā)明實現(xiàn)了高精度的激光打標，無論標記機的光、電系統(tǒng)誤差來自哪里，校正過程中以有限個點的誤差，推出無限個點的誤差并進行校正，校正精度高。在坐標網(wǎng)格為64 行64列時，能達到0. Olmm級別的標記精度，基本滿足目前所有行業(yè)的標記精度要求。以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應以所附權(quán)利要求為準。
權(quán)利要求
1.一種激光打標的校正方法，包括下列步驟 計算需要標記的圖形中每個點的位置信息；計算所述需要標記的圖形中每個點的DA校正值； 根據(jù)所述DA校正值對每個點進行校正。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光打標的校正方法，其特征在于，還包括下列步驟 生成坐標網(wǎng)格，即將激光打標的方形區(qū)域分為a行a列的方格坐標網(wǎng)格； 標記所述坐標網(wǎng)格，即將所述坐標網(wǎng)格標記在水平校正板上；測量頂點坐標，即測量所述被標記在水平校正板上的坐標網(wǎng)格中頂點的實際坐標； 計算所述頂點的DA補償值；所述DA校正值是根據(jù)所述需要標記的圖形中每個點的位置信息和所述DA補償值算出的。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光打標的校正方法，其特征在于，所述DA補償值包括X軸方向DA補償值和Y軸方向DA補償值，具體是根據(jù)如下公式計算的X 軸方向 DA 補償值=Vmnx = P* I IX11 -1X21 I *PPMMXS Y 軸方向 DA 補償值=Vmny = P* I IY11 -1Y21 I *PPMMYS其中P表示極性的正負，其值為1或-1 ；X1表示頂點的理想坐標X值，&表示頂點標記后的X軸坐標測量值；PPMMXS表示X軸每毫米對應的電壓值J1表示頂點的理想坐標Y值， Y2表示頂點標記后的Y軸坐標測量值；PPMMYS表示Y軸每毫米對應的電壓值。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光打標的校正方法，其特征在于，所述計算需要標記的圖形中每個點的位置信息的步驟具體是根據(jù)所述每個點的坐標計算出所在的方格，并得到所述方格的4個頂點的坐標及DA補償值。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光打標的校正方法，其特征在于，所述計算所述需要標記的圖形中每個點的DA校正值具體是根據(jù)所述每個點的坐標和4個頂點的坐標及DA補償值進行計算X軸方向DA校正值P_ = IX* (I^l1W4xHh2* (I2W1Jl1W2x)Va^l) Y軸方向DA校正值Pmny = IX* (I^IdV4y)+M(I2MZidV2y)Va^I)其中1表示所述方格寬度，h表示所述方格高度，1工表示所述標記的圖形中每個點中的一個與所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X坐標之差，I2表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與所述標記的圖形中每個點中的一個的X坐標之差，Ii1表示所述標記的圖形中每個點中的一個與所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的Y坐標之差，h2表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與所述標記的圖形中每個點中的一個的Y坐標之差，Vlx、Vly分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V2x, V2y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右上方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V3x、V3y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左下方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V4x, V4y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值。
6.一種激光打標的校正裝置，其特征在于，包括存儲器、DA補償值計算模塊、DA校正值計算模塊以及處理模塊；所述存儲器與所述DA補償值計算模塊、DA校正值計算模塊以及處理模塊均相連接，用于存儲被標記在水平校正板上的a行a列的方格坐標網(wǎng)格中頂點的坐標實際測量值；所述 DA補償值計算模塊接收所述頂點的坐標實際測量值，并計算所述頂點的DA補償值后存儲在所述存儲器中；所述處理模塊用于計算需要標記的圖形中每個點的位置信息；所述DA校正值計算模塊接收所述頂點的DA補償值以及需要標記的圖形中每個點的位置信息，計算需要標記的圖形中每個點的DA校正值。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光打標的校正裝置，其特征在于，所述DA補償值包括X軸方向DA補償值和Y軸方向DA補償值，具體是根據(jù)如下公式計算的X 軸方向 DA 補償值=Vmnx = P* I IX11 -1X21 I *PPMMXSY 軸方向 DA 補償值=Vmny = P* I IY11 -1Y21 I *PPMMYS其中P表示極性的正負，其值為1或-1 ；X1表示頂點的理想坐標X值，&表示頂點標記后的X軸坐標測量值；PPMMXS表示X軸每毫米對應的電壓值J1表示頂點的理想坐標Y值， Y2表示頂點標記后的Y軸坐標測量值；PPMMYS表示Y軸每毫米對應的電壓值。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光打標的校正裝置，其特征在于，所述計算需要標記的圖形中每個點的位置信息的步驟具體是根據(jù)所述每個點的坐標計算出所在的方格，并得到所述方格的4個頂點的坐標及DA補償值。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光打標的校正裝置，其特征在于，所述計算所述需要標記的圖形中每個點的DA校正值具體是根據(jù)所述每個點的坐標和4個頂點的坐標及DA補償值進行計算X軸方向DA校正值P_ = IX* (I^l1W4xHh2* (I2W1Jl1W2x)Va^l)Y軸方向DA校正值Pmny = IX* (I^IdV4y)+M(I2MZidV2y)Va^I)其中1表示所述方格寬度，h表示所述方格高度，1工表示所述標記的圖形中每個點中的一個與所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X坐標之差，I2表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與所述標記的圖形中每個點中的一個的X坐標之差，Ii1表示所述標記的圖形中每個點中的一個與所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的Y坐標之差，h2表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點與所述標記的圖形中每個點中的一個的Y坐標之差，Vlx、Vly分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左上方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V2x, V2y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右上方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V3x、V3y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中左下方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值，V4x, V4y分別表示所述4個頂點中在坐標網(wǎng)格中右下方的頂點的X軸、Y軸方向DA補償值。
10.一種激光打標系統(tǒng)，其特征在于，包括激光器、透鏡組、振鏡、振鏡掃描模塊，其特征在于，還包括如權(quán)利要求6-9中任意一項所述的校正裝置，用于對所述振鏡進行校正。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種激光打標的校正方法，包括下列步驟計算需要標記的圖形中每個點的位置信息；計算所述需要標記的圖形中每個點的DA校正值；根據(jù)所述DA校正值對每個點進行校正。本發(fā)明還涉及一種激光打標的校正裝置和一種激光打標系統(tǒng)。采用了上述校正方法的激光打標系統(tǒng)實現(xiàn)了高精度的激光打標，無論標記機的光、電系統(tǒng)誤差來自哪里，校正過程中以有限個點的誤差，推出無限個點的誤差并進行校正，校正精度高。在坐標網(wǎng)格為64行64列時，能達到0.01mm級別的標記精度，基本滿足目前所有行業(yè)的標記精度要求。
文檔編號B41J29/393GK102248817SQ2010101801
公開日2011年11月23日 申請日期2010年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月21日
發(fā)明者何德樂, 吳華安, 歐景華, 盛輝, 蔡桓 申請人:深圳泰德激光科技有限公司