專利名稱：：液體噴射設(shè)備及其方法、用于形成電路板的布線圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及在載體上噴射液體的液體噴射設(shè)備、液體噴射方法和用于在電路板上形成布線圖案的方法。
背景技術(shù)：
：已知具有一種如同專利公開1中描述的靜電吸引型噴墨打印機(jī)。這種類型的噴墨打印機(jī)包括多個(gè)凸起的墨導(dǎo)管，每個(gè)導(dǎo)管從尖端部分噴墨，對著噴墨導(dǎo)管的各個(gè)尖端設(shè)置并被接地的相對電極，以及用于對每個(gè)墨導(dǎo)管的墨施加噴射電壓的噴射電極。此外，制備了兩種凸起的墨導(dǎo)管，每個(gè)導(dǎo)管具有用于引導(dǎo)墨的不同的槽的寬度，并通過選擇使用這些導(dǎo)管使得凸起的墨導(dǎo)管能夠噴射兩種尺寸的墨滴。這種常規(guī)的噴墨打印機(jī)對噴射電極施加脈沖電壓以噴射墨滴，并通過在噴射電極和相對電極之間產(chǎn)生的電場引導(dǎo)墨滴朝向相對電極側(cè)。在上述的使墨帶電并借助于電場的靜電吸引力使墨噴出的噴墨打印機(jī)中，在墨被噴射到具有絕緣的由合成硅石制成的圖像接收層的載體上的情況下，由附著在載體上的以前被噴出的墨滴攜帶的電荷不被釋放。這電荷在先前附著的墨滴和新噴射的墨滴之間產(chǎn)生斥力，使墨滴在周圍分散。因此，墨滴不能達(dá)到預(yù)定的位置。這引起例如清晰度降低和濺污現(xiàn)象，分散的墨使周圍環(huán)境變臟。為了解決這些問題，披露了一種現(xiàn)有技術(shù)(例如見專利文件2),其中通過減少載體的表面電阻，由墨滴攜帶的電荷以臺階狀的方式被釋放，以抑制連續(xù)到達(dá)的墨滴被電場分散，其中使用具有墨接收層的載體或支承件，所述載體或支承件含有四銨鹽型的導(dǎo)電劑，并在20。C和30%RH下具有9xl0Uft/cn^或更小的表面電阻。還披露了一種現(xiàn)有技術(shù)(例如見專利文件3),其中由墨滴攜帶的電荷以臺階狀的方式被從支承件的導(dǎo)電層釋放，以抑制連續(xù)到達(dá)的墨滴被電場分散，其中使用由樹脂片或樹脂涂覆的片制成的支承件，該支承件具有分別在其上表面、下表面和側(cè)面上的上表面導(dǎo)電部分、下表面導(dǎo)電部分和側(cè)表面導(dǎo)電部分。其中j!表面導(dǎo)電層具有圖像接收層，并且每個(gè)導(dǎo)電層具有l(wèi)xlO"Q/cm2或更小的固有表面電阻和0.1-20nm的厚度。還已知一種使用如專利文件4，5，6和7所述的靜電吸引力的常規(guī)的噴墨打印機(jī)。這些打印機(jī)的每一種具有在頭部內(nèi)的用于噴墨的噴射電極，和以預(yù)定距離被設(shè)置在和打印頭相對的位置的接地的相對電極。記錄介質(zhì)例如紙張被輸送到相對電極和頭部之間的空間內(nèi)。通過對噴射電極施加電壓，使墨帶電并從頭部朝向相對電極噴射。專利文件1:JPHll-277747A(圖2和圖3)專利文件2:JPS58-177390A;專利文件3:JP2000-242024A;專利文件4:JPH08-238774A;專利文件5:JP2000-127410A;專利文件6:JPH11-198383A;專利文件7:JPH10-278274A。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的問題然而，在上述的現(xiàn)有技術(shù)中，在使噴射的墨滴微小的情況下，因?yàn)殡妶鍪茌d體的表面條件的影響，例如墨滴的尺寸是不穩(wěn)定的，因此產(chǎn)生了不能穩(wěn)定地保持正常噴墨的問題。即，在上述的專利文件1所述的噴墨打印機(jī)中，當(dāng)在絕緣的載體上噴墨時(shí)，由于先前附著的墨滴的電荷產(chǎn)生的斥力，產(chǎn)生了這樣的問題沉積的位置精度被減小，墨滴的尺寸不穩(wěn)定。在專利文件2中所述的載體和專利文件3所述的支承件中，墨滴附著在其上的表面的電阻被減小，不過，對于特別易受電場影響的微小的墨滴，該效果顯得不足，因此下一個(gè)墨滴受到先前到達(dá)的墨滴的影響而被分散在周圍，這引起了滴落位置的精度降低的問題。此外，載體的墨接收層或支承件的導(dǎo)電層的濕氣含量由于在噴射時(shí)的環(huán)境的改變而改變，這引起支承件的導(dǎo)電率的改變。這引起由于環(huán)境的改變使得不能穩(wěn)定地保持滴落位置的精度的問題。滴落位置的低的精度不僅降低打印的圖像的質(zhì)量，而且還引起嚴(yán)重的問題，例如，尤其是當(dāng)根據(jù)噴墨技術(shù)使用導(dǎo)電墨畫電路的布線圖案時(shí)。即，低的位置精度使得不能畫出所需寬度的布線，甚至有時(shí)引起電路的斷路或短路。此外，因?yàn)橛捎谙惹暗竭_(dá)的墨滴的影響使得下一個(gè)墨滴的排出量改變和不穩(wěn)定，形成的點(diǎn)的直徑的尺寸也變得不穩(wěn)定。此外，在專利文件4-7中披露的噴墨打印機(jī)中，因?yàn)橄鄬﹄姌O和頭部相對地設(shè)置，電場受到記錄介質(zhì)的厚度和/或材料類型的影響，因而墨的排出量有時(shí)不均勻，因此墨點(diǎn)的直徑有時(shí)在幾個(gè)位置內(nèi)改變。為了解決這個(gè)問題，可以使用導(dǎo)電的記錄介質(zhì)作為相對電極，不過，這不適用于絕緣的記錄介質(zhì)。因此，關(guān)于每個(gè)所述的發(fā)明，其一個(gè)目的在于使得穩(wěn)定地噴射恒定量的墨滴，特別是即使在噴射微小墨滴的情況下。解決問題的措施所述問題是通過一種液體噴射設(shè)備解決的，所述設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴;被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場從而噴出所述小滴；用于對所述噴射電極施加電壓的電壓施加單元；包括用于接收噴射的小滴的絕緣材料的載體；以及噴射氣氛調(diào)節(jié)單元，用于保持從液體噴射頭噴射的氣氛為9。C或更高以及小于水的飽和溫度的露點(diǎn)。此外，上述問題通過一種液體噴射設(shè)備的液體噴射方法解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；用于對所述噴射電極施加電壓的電壓施加單元；所述方法包括以下步驟在被保持為9。C或更高以及小于水的飽和溫度的露點(diǎn)的氣氛中朝向包括絕緣材料的載體噴射小滴。載體表面的電場對電場強(qiáng)度有影響，所述電場強(qiáng)度集中在噴嘴的尖端以使小滴飛出。在噴嘴和載體之間的電場強(qiáng)度的改變引起用于克服在噴嘴尖端的溶液表面的表面張力的靜電力的改變，這引起噴射量和臨界電壓的改變。在載體是絕緣的情況下，臨界電壓按照絕對濕度改變。其中，絕對濕度是蒸氣的質(zhì)量對除去蒸氣之外的氣體(干空氣)之比，也^皮稱為混合比。因而，4吏絕對濕度成為0.007kg/kg或以上(優(yōu)選地0.01kg/kg或以上)，即，在大氣壓下使露點(diǎn)為9"或以上(優(yōu)選地14。C或以上)，可以加速電荷從載體表面向空氣的泄放，因而抑制載體表面的電場的影響。同時(shí)，"露點(diǎn)，，是一個(gè)溫度，在此溫度下，氣體中的濕氣達(dá)到飽和狀態(tài)而凝結(jié)成露。"載體"是用于接收噴射的溶液小滴的滴落的物體。例如，當(dāng)把噴射溶液的技術(shù)用于噴墨打印機(jī)時(shí)，記錄介質(zhì)例如紙或片便相當(dāng)于載體，在利用導(dǎo)電膏形成電路的情況下，用作基底的在其上要形成電路的板便相當(dāng)于載體。此外，上述問題可以通過一種液體噴射i殳備來解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；用于對所述噴射電極施加電壓的電壓施加單元；以及包括絕緣材料的、至少在用于接收噴射的小滴的區(qū)域具有109H/cm2或更小的表面電阻的載體。另外，上述問題還通過一種液體噴射設(shè)備的液體噴射方法解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；用于對所述噴射電極施加電壓的電壓施加單元；所述方法包括以下步驟朝向包括絕緣材料的、至少在用于接收噴射的小滴的區(qū)域具有109Q/cm2或更小的表面電阻的栽體噴射小滴。即，通過使載體的表面電阻為109ft/cm2或更小，加速從載體表面向空氣的電荷泄漏，以便抑制來自載體表面的電場的影響。此外，上述問題可以通過一種液體噴射設(shè)備來解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；用于對所述噴射電極施加電壓的電壓施加單元；以及包括絕緣材料的載體，所述載體具有使得至少在用于接收噴射的小滴的區(qū)域的表面電阻為109il/cm2或更小的表面處理層。另外，上述問題還通過一種液體噴射設(shè)備的液體噴射方法解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；用于對所述噴射電極施加電壓的電壓施加單元；所迷方法包括以下步驟朝向包括絕緣材料的載體噴射小滴，該載體具有使得至少在用于接收噴射的小滴的區(qū)域的表面電阻為10911/112或更小的表面處理層。即，通過提供具有表面處理層的載體，使得表面電阻成為1090/112或更小，加速電荷從載體表面的泄漏，從而抑制來自載體表面的電場的影響。此外，上述問題可以通過一種液體噴射設(shè)備來解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；用于對所述噴射電極施加電壓的電壓施加單元；以及包括絕緣材料的載體，所述載體至少在用于接收噴射的小滴的區(qū)域具有通過涂覆表面活性劑而形成的表面處理層。另外，上述問題還通過一種液體噴射設(shè)備的液體噴射方法解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；以及用于對所述噴射電極施加電壓的電壓施加單元；所述方法包括以下步驟朝向包括絕緣材料的載體噴射小滴，該載體至少在用于接收噴射的小滴的區(qū)域具有通過涂覆表面活性劑而形成的表面處理層。即，通過在載體上涂覆表面活性劑而形成表面處理層，使得能夠減小表面電阻，這加速載體表面的電荷泄漏，并抑制載體表面的電場的影響。此外，所述問^i可以通過一種液體噴射方法來解決，所述方法包括以下步驟通過至少在用于接收噴射的小滴的區(qū)域涂覆表面活性劑在包括絕緣材料的載體上形成表面處理層；通過對噴嘴內(nèi)的溶液施加噴射電壓以從噴嘴的尖端在載體的表面處理層上噴射小滴；以及在噴射的小滴干燥和固化之后，除去附著有小滴的部分之外的表面處理層。即，表面電阻被減小，載體表面的電荷泄漏被加速，并且抑制載體表面的電場的影響。此外，除去小滴著陸的部分之外，表面處理層被除去，因而阻止由于表面活性劑引起的表面電阻的減小而導(dǎo)致的漏電的發(fā)生。另外，上述問題可以通過一種液體噴射"i殳備來解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；以及用于對噴射電極施加一種信號波形的電壓的電壓施加單元，所述信號波形的電壓值至少部分地滿足下面的表達(dá)式(A)中的Vs(V)，其中接收噴射的小滴的絕緣載體的表面電位的最大值用Vmax(V)表示，其最小值用Vmi"V)表示。另外，上述問題可以通過一種液體噴射設(shè)備的液體噴射方法來解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；以及用于對噴射電極施加電壓的電壓施加單元，所述方法包括以下步驟對噴射電極施加一種信號波形的電壓，所述信號波形的電壓值至少部分地滿足下面的表達(dá)式(A)中的Vs(V)，其中接收噴射的小滴的絕緣載體的表面電位的最大值用V咖x(V)表示，其最小值用Vw"V)表示。上述的液體噴射方法最好包括在對噴射電極施加電壓之前測量絕緣載體的表面電位的步驟；以及獲得最大值Vmax(V)和最小值Vn^(v)的步驟。[公式IIVs^Vmid-V|max-mini,Vmid=VS(A)其中V—x.一(V)由下式(B)確定，Vmid(V)由下式(C)確定。Vmid=(Vmax+D/2(C)如上所述，當(dāng)輸出到噴射電極的信號波形的電壓至少部分地滿足Vs時(shí)，使得在絕緣載體的表面上的任意位置的表面電位的影響更小，這使得用于噴射的電場幾乎是均勻的。另外，上述問題可以通過一種液體噴射i殳備來解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；檢測單元，用于檢測接收噴射的小滴的絕緣載體的表面電位；以及用于施加一種信號波形的電壓的電壓施加單元，所述信號波形的電壓值至少部分地滿足前述的表達(dá)式(A)中的Vs(V)，其中由檢測單元檢測的絕緣載體的表面電位的最大值用Vmax(V)表示，其最小值用Vmi"V)表示。在上述的液體噴射設(shè)備中，檢測單元檢測絕緣載體的表面電位，并從這個(gè)檢測獲得最大值Vm^(V)和最小值Vmin(V)。根據(jù)這些值，電壓施加單元施加信號波形的電壓，電壓值至少部分地滿足上面給出的表達(dá)式(A)的Vs(V)。這使得在絕緣載體的表面上的任意位置的表面電位的影響更小，使得用于噴射的電場幾乎是均勻的。另外，可以對噴射電極施加滿足上述的表達(dá)式(A)的Vs的保持恒定電位的信號波形的電壓。即使在施加給噴射電極的電壓是保持恒定電位的信號波形時(shí)，也可以使得在絕緣載體的表面上的任意位置的表面電位的影響較小，這使得用于噴射的電場幾乎是均勻的。其中，恒定電壓的絕對值優(yōu)選地是V|max.min^5倍或更大，更優(yōu)選地是10倍或更大。此外，可以對噴射電極施加滿足上述表達(dá)式(A)的Vs的脈沖電壓的信號波形的電壓。在這種情況下，優(yōu)選地施加于噴射電極的脈沖電壓的最大值大于Vmid，脈沖電壓的最小值小于Vmid。在上述的情況下，優(yōu)選地可以滿足這樣的條件，即，在幾個(gè)差值之內(nèi)，在脈沖電壓的最大值和Vmid之間的差值以及在Vmid和脈沖電壓的最小值之間的差值中，一個(gè)大于另一個(gè)。即使在施加于噴射電極的電壓是脈沖電壓的信號波形時(shí)，也可以使得絕緣載體的表面上的任意位置的表面電位的影響較小，這使得用于噴射的電場幾乎是均勻的。其中，優(yōu)選地，脈沖電壓的最大值的絕對值或者最小值的絕對值是V|max_min|W5倍或更大，更優(yōu)逸地是10倍或更大。另外，上述問題可以通過一種液體噴射設(shè)備來解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；電壓施加單元，用于對噴射電極施加電壓；ii以及和接收噴射的小滴的絕緣載體相對設(shè)置的靜電消除器，用于使絕緣載體放電。另外，上述問題可以通過一種液體噴射設(shè)備的液體噴射方法來解決，所述液體噴射設(shè)備包括具有噴嘴的液體噴射頭，用于從尖端部分噴射帶電的溶液的小滴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場而噴出所述小滴；電壓施加單元，用于對噴射電極施加電壓；所述方法包括以下步驟在通過對噴射電極施加噴射電壓而噴射小滴之前使絕緣載體放電。通過使絕緣載體的表面放電，使得絕緣載體的表面電位較小，也能夠使得絕緣載體的表面電位的改變是均勻的。作為靜電消除器，可以使用和接收噴射的小滴的絕緣載體相對地設(shè)置的i文電電極，并且該放電電極^皮施加交流電壓。此外，這個(gè)放電電極可以和噴射電極共享。通過對和絕緣載體相對的放電電極施加交流電壓，可以使絕緣載體的表面放電，這使得絕緣載體的表面電位較小，也能夠使得絕緣載體的表面電位的改變是均勻的。關(guān)于靜電消除器，可以使用電暈放電型的靜電消除器，或者使用其中對絕緣載體照射光的靜電消除器。其中對于在靜電消除器中使用的光的波長沒有特定的限制，只要光的照射可以引起放電即可，不過，優(yōu)選地使用軟X射線、紫外射線或a射線。在液體噴射頭內(nèi)的噴嘴的內(nèi)徑優(yōu)選地是20微米或更小。這樣，電場強(qiáng)度的分布變窄，使得電場可以被集中。結(jié)果，形成的小滴是微小的并且其形狀穩(wěn)定。小滴在由噴嘴噴出之后立即被電場和電荷之間的靜電力加速。當(dāng)小滴飛離噴嘴時(shí)，電場急劇下降，由于空氣的阻力使小滴的速度降低。不過，當(dāng)具有集中的電場的微小的小滴接近載體時(shí)，其被在載體側(cè)感應(yīng)的相反極性的電荷吸引。這使得即使在小滴是微小的情況下，小滴也能落在載體上。在另一方面，使小滴成為微小的可以引起電場的集中，但是在載體的表面的電場分布不均勻的情況下，當(dāng)小滴成為微小的時(shí)候，其易于受到根據(jù)載體的表面條件而改變的電場的影響。不過，按照上述的不同的發(fā)明，因?yàn)椴痪鶆虻碾妶龅挠绊懕灰种疲?dāng)小滴是微小的時(shí)候，可以更有效和更顯著地改善小滴的穩(wěn)定噴射。噴嘴的內(nèi)徑最好是8微米或更小。通過設(shè)置噴嘴的直徑為8微米或更小，可以使電場更加集中，使小滴更微小，并且可以在飛行期間減少由于對相對電極的距離的改變而產(chǎn)生的對電場強(qiáng)度分布的影響。因而，相對電極的位置精度、栽體的特性或厚度對小滴形狀和著陸精度的影響可以被減小。此外，通過加強(qiáng)電場的集中，可以減小電場串撓的影響，電場串撓是在多個(gè)噴嘴的結(jié)構(gòu)導(dǎo)致噴嘴密度較高的情況下出現(xiàn)的一個(gè)問題，因而可以實(shí)現(xiàn)較高的噴嘴密度。此外，設(shè)置噴嘴內(nèi)徑為4微米或更小允許顯著的電場集中，能夠得到較高的最大電場強(qiáng)度，使得小滴具有穩(wěn)定的形狀并極其微小，并加快小滴的初始噴射速度。這使得能夠改善飛行的穩(wěn)定性，從而進(jìn)一步改善著陸精度和噴射響應(yīng)。此外，通過增強(qiáng)電場集中，電場串撓的影響幾乎無效，電場串撓是在多個(gè)噴嘴的結(jié)構(gòu)導(dǎo)致噴嘴密度較高的情況下出現(xiàn)的一個(gè)問題，因而可以實(shí)現(xiàn)更高的噴嘴密度。在上述的結(jié)構(gòu)中，噴嘴的內(nèi)徑最好是0.2微米或更大。通過設(shè)置噴嘴內(nèi)徑為0.2微米或更大，可以改善小滴的帶電效率，因而可以改善小滴的噴射穩(wěn)定性。在此后的說明中，"噴嘴的內(nèi)徑，，也稱為"噴嘴直徑"，指的是在噴射小滴的尖端部分噴嘴的內(nèi)徑。噴嘴的液體噴射開口的截面不限于圓形。例如，當(dāng)液體噴射開口的截面為多邊形、星形或其它形狀時(shí)，"內(nèi)徑"指的是所述截面形狀的外接圓的直徑。關(guān)于"噴嘴直徑"、"噴嘴的尖端部分的內(nèi)徑"、或者在具有其它的數(shù)值限制的情況下，其具有相似的含義。"噴嘴半徑"指的是噴嘴直徑(噴嘴的尖端部分的內(nèi)徑)的1/2的長度。此外，關(guān)于上述的液體噴射設(shè)備(1)優(yōu)選地，噴嘴由絕緣材料制成，噴射電壓施加電極被插入噴嘴內(nèi)部，或者在噴嘴內(nèi)部鍍覆金屬作為所述電極。(2)在前述的每個(gè)發(fā)明中所述的結(jié)構(gòu)中，或者在前述的(1)的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選地，噴嘴由絕緣材料制成，所述電極被插入噴嘴內(nèi)部或者在噴嘴內(nèi)部鍍覆金屬作為所述電極，并且用于噴射的電極也被提供在噴嘴的外部。關(guān)于在噴嘴外部的用于噴射的電極，例如其沿著噴嘴尖端部分邊緣的圓周被設(shè)置，設(shè)置在噴嘴尖端部分的整個(gè)側(cè)面，或者部分地設(shè)置在噴嘴尖端部分的側(cè)面。(3)在前述的每個(gè)發(fā)明中所述的結(jié)構(gòu)中，或者在前述的(1)或(2)的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選地，施加于噴嘴的用于驅(qū)動的電壓v在由下式表示的范圍內(nèi)其中y是溶液的表面張力(n/m)，So是真空的介電常數(shù)(f/m)，d是噴嘴直徑(m)，h是噴嘴和載體之間的距離(m),k是和噴嘴形狀有關(guān)的比例常數(shù)(1.5<k<8.5)。(4)在前述的每個(gè)發(fā)明中所述的結(jié)構(gòu)中，或者在前述的(1)，(2)或(3)的結(jié)構(gòu)中，施加的電壓的任意信號波形最好是1000v或以下。通過如上所述設(shè)置噴射電壓的上限值，可以使得噴射控制較容易，通過改善設(shè)備的耐用性可以改善精度，并可以容易地實(shí)施安全措(5)在前述的每個(gè)發(fā)明中所述的結(jié)構(gòu)中，或者在前述的(1),(2)，(3)或(4)的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選地，施加的噴射電壓為500v或更小。通過如上所述設(shè)置噴射電壓的上限值，可以使得噴射控制較容易，通過進(jìn)一步改善設(shè)備的耐用性可以進(jìn)一步改善精度，并可以容易地實(shí)施安全措施。(6)在前述的每個(gè)發(fā)明中所述的結(jié)構(gòu)中，或者在前述的(1)到(5)任何一個(gè)的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選地，噴嘴和載體之間的距離為500微米或更小，以利用微小的噴嘴直徑獲得高的著陸精度。(7)在前述的每個(gè)發(fā)明中所述的結(jié)構(gòu)中，或者在前述的(1)到(6)任何一個(gè)的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選地，對噴嘴內(nèi)部的溶液施加壓力。(8)在前述的每個(gè)發(fā)明中所述的結(jié)構(gòu)中，或者在前述的(1)到(7)任何一個(gè)的結(jié)構(gòu)中，在由單個(gè)脈沖進(jìn)行噴射的情況下，優(yōu)選地，施加的脈沖的脈沖寬度At不小于由下式確定的時(shí)間常數(shù)T。T=e/o(2)其中s是溶液的介電常數(shù)(F/m)，(T是溶液的導(dǎo)電率(S/m)。此外，可以使用上述的任何一種液體噴射方法借助于噴射金屬膏來形成電路板的布線圖案。在這種情況下，最好是在形成布線圖案之后除去表面活性劑。這阻止了由于表面活性劑的表面電阻的減小而引起短路。本發(fā)明的效果當(dāng)用于噴射小滴的氣氛被保持為9。C或更高并且小于飽和溫度的露點(diǎn)時(shí)，絕對濕度變成0.007kg/kg或更高。即使當(dāng)載體是絕緣的時(shí)候，這個(gè)氣氛也有效地加速載體表面的電荷的泄漏，因而抑制載體表面的電場的影響，因此改善了著陸的小滴的位置精度，并且也抑制了噴射的小滴的尺寸和著陸點(diǎn)的直徑的改變，因而實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定性。此外，保持所述氣氛小于飽和溫度阻止了在噴射頭和載體上的露的形成。在至少于接收噴射的小滴的區(qū)域具有109n/cn^或更低的表面電阻的情況下，在載體表面至少在接收噴射的小滴的區(qū)域具有表面電阻為109Q/cii^或更低的表面處理層的情況下，或者在載體表面至少于接收噴射的小滴的區(qū)域具有通過涂覆表面活性劑而形成的表面處理層的情況下，可以有效地實(shí)現(xiàn)載體表面的電荷的泄漏，改善著陸小滴的位置精度，并且還可以抑制噴射的小滴的尺寸和著陸點(diǎn)的直徑的改變，在接收噴射的小滴之前預(yù)先利用表面活性劑涂覆載體表面的液體噴射方法中，載體的表面電阻被減少，并且加速載體的電荷的泄漏，因此抑制載體表面的電場的影響。當(dāng)去除除了小滴著陸的部分之外的表面處理層時(shí)，可以阻止由于表面活性劑引起的表面電阻的減少而導(dǎo)致的泄漏的發(fā)生。還能夠避免附著有表面活性劑的栽體在以后的處理或使用時(shí)遇到的麻煩。具體地說，當(dāng)使用上述結(jié)構(gòu)的液體噴射方法用于形成電路板的布線圖案時(shí)，沿著所需的布線圖案沉積金屬膏的小滴，然后在形成布線圖案之后去除表面活性劑，因而除去布線圖案之外的部分具有高的絕緣性能，使得可以形成細(xì)的高密度的布線圖案而不會發(fā)生短路或類似現(xiàn)象。當(dāng)滿足上述的表達(dá)式(A)的Vs(V)的信號波形的電壓被施加于噴射電極時(shí)，絕緣載體的表面電位幾乎不影響用于噴射的電場的值，這使得即使在接收噴射的小滴的載體是絕緣載體時(shí)，也能使得從噴射開口噴射的液體的量是均勻的。通過對絕緣載體的表面進(jìn)行放電可以使得絕緣載體的表面電位是均勻的，因此即使在接收噴射的小滴的載體是絕緣載體時(shí)，也能使得從噴射開口噴射的液體的量是均勻的。在這種情況下，借助于使用噴射電極也作為放電電極，可以簡化液體噴射設(shè)備的結(jié)構(gòu)。通過把液體噴射頭的噴嘴直徑制造成微小的，可以使得電場強(qiáng)度分布較窄，因而使得電場能夠被集中。結(jié)果，可以使形成的小滴是微小的，小滴的形狀可以被穩(wěn)定，并且可以減小施加的總電壓。雖然微小的小滴易于受載體側(cè)的不均勻的表面電位的影響，但是上述的每個(gè)結(jié)構(gòu)可以抑制這種影響。因而，對于微小的小滴，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的噴射。圖1A表示當(dāng)噴嘴直徑為cp0.2微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為2000微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖1B表示當(dāng)噴嘴直徑為(p0.2微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為IOO微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖2A表示當(dāng)噴嘴直徑為(p0.4微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為2000微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖2B表示當(dāng)噴嘴直徑為cp0.4微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為IOO微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖3A表示當(dāng)噴嘴直徑為(pl微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為2000微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖3B表示當(dāng)噴嘴直徑為cpl微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為IOO微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖4A表示當(dāng)噴嘴直徑為cp8微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為2000微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖4B表示當(dāng)噴嘴直徑為cp8微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為IOO微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖5A表示當(dāng)噴嘴直徑為(p20微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為2000微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布;圖5B表示當(dāng)噴嘴直徑為cp20微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為IOO微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖6A表示當(dāng)噴嘴直徑為cp50微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為2000微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖6B表示當(dāng)噴嘴直徑為cp50微米，噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為IOO微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布；圖7是表示在圖1A到圖6B的每個(gè)條件下最大電場強(qiáng)度的圖表；圖8表示在噴嘴中的彎液部分噴嘴的噴嘴直徑和最大電場強(qiáng)度之間的關(guān)系；圖9表示噴嘴的噴嘴直徑和在彎液部分要被射出的小滴開始飛出的噴射開始電壓、初始噴射的小滴的瑞利邊緣電壓以及噴嘴內(nèi)的噴射開始電壓和銳利邊緣電壓之比的關(guān)系；圖10A表示在噴嘴直徑和在噴嘴的尖端部分的強(qiáng)電場區(qū)域之間的關(guān)系；圖IOB是表示對應(yīng)于圖10A中的小噴嘴直徑的區(qū)域的放大的曲線；圖ll是表示液體噴射設(shè)備的示意的結(jié)構(gòu)的方框圖；圖12是沿著噴嘴取的液體噴射機(jī)構(gòu)的截面圖；圖13A表示和施加于溶液的電壓的關(guān)系，表示非噴射狀態(tài)；圖13B表示和施加于溶液的電壓的關(guān)系，表示噴射狀態(tài)；圖14A是局部切開的截面圖，表示噴嘴內(nèi)部的流體通路的形狀的另一個(gè)例子，該通路在溶液腔一側(cè)是圓形的；圖14B是局部切開的截面圖，表示噴嘴內(nèi)部的流體通路的形狀的另一個(gè)例子，該通路的內(nèi)壁具有錐形的圓周面；圖14C是局部切開的截面圖，表示噴嘴內(nèi)部的流體通路的形狀的另一個(gè)例子，該通路具有錐形的圓周面和線性流體通路的組合；圖15表示在絕對濕度和露點(diǎn)之間的關(guān)系；圖16是表示在絕對濕度和露點(diǎn)之間的關(guān)系的圖表；圖17是表示在相對濕度和露點(diǎn)之間的關(guān)系的曲線；圖18是局部切開的截面圖，表示按照本發(fā)明的第二實(shí)施例的液體噴射纟幾構(gòu)；圖19A表示穩(wěn)態(tài)電壓的波形；圖19B表示另一個(gè)穩(wěn)態(tài)電壓的波形；圖20是局部切開的截面圖，表示按照本發(fā)明的第三實(shí)施例的液體噴射纟幾構(gòu)；圖21A是表示脈沖電壓的波形的圖21B是表示另一個(gè)脈沖電壓的波形的圖22A是表示脈沖電壓的波形的圖22B是表示另一個(gè)脈沖電壓的波形的圖23A是表示脈沖電壓的波形的圖23B是表示另一個(gè)脈沖電壓的波形的圖24是局部切開的截面圖，表示按照本發(fā)明的第四實(shí)施例的液體噴射機(jī)構(gòu)；圖25是局部切開的截面圖，表示按照本發(fā)明的第五實(shí)施例的液體噴射機(jī)構(gòu)；圖26是局部切開的截面圖，表示按照本發(fā)明的第六實(shí)施例的液體噴射機(jī)構(gòu)；圖27是表示在載體的表面電阻和沉積的小滴的直徑的分散現(xiàn)象的偏差率之間的關(guān)系的圖表；圖28是表示露點(diǎn)和載體的表面電位分布、噴射電壓以及沉積的小滴的直徑的分散現(xiàn)象的偏差率之間的關(guān)系的圖表；圖29是表示在好的露點(diǎn)環(huán)境下在偏壓和脈沖電壓以及沉積的小滴的直徑之間的關(guān)系的圖表；圖30是用于說明按照本發(fā)明的實(shí)施例的電場強(qiáng)度的計(jì)算的示意圖31是表示本發(fā)明的液體噴射機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子的截面圖；以及圖32是用于說明在按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的液體噴射設(shè)備中，基于距離-電壓關(guān)系的噴射條件的圖。具體實(shí)施例方式下面參照用于實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。下面的實(shí)施例具有技術(shù)上的對于實(shí)施本發(fā)明是優(yōu)選的種種限制，但是本發(fā)明的范圍不限于下面的實(shí)施例以及示例的附圖。在下面要說明的每個(gè)實(shí)施例中的液體噴射設(shè)備的噴嘴直徑(內(nèi)徑)優(yōu)選的為25微米或更小，更優(yōu)選的為小于20微米，進(jìn)一步優(yōu)選的為IO微米或更小，再優(yōu)選的為8微米或更小，尤其優(yōu)選的為4微米或更小。噴嘴直徑最好大于0，2微米。下面參照圖1A-6B說明在噴嘴直徑和電場強(qiáng)度之間的關(guān)系。圖1A-6B分別表示相應(yīng)于在常規(guī)的參考中使用的噴嘴直徑cp為0.2，0.4，1.8，20，和50孩走米的電場強(qiáng)度分布。在每個(gè)圖中，噴嘴中心位置表示在噴嘴的液體噴射開口的液體噴射表面中的中心位置。圖1A，2A，3A，4A，5A和6A表示當(dāng)噴嘴和相對電極之間的距離被設(shè)置為2000微米時(shí)的電場強(qiáng)度分布，圖1B，2B，3B，4B，5B和6B表示當(dāng)所述距離^皮i殳置為100孩吏米時(shí)的分布。其中在每種條件下，施加的電壓被保持為200V的恒定電壓。在每個(gè)圖中的分布線表示范圍為lxlO6-lxl07V/m的電場強(qiáng)度。圖7是表示在每個(gè)條件下的最大電場強(qiáng)度的圖表。由圖1A-6B可以看出，當(dāng)噴嘴直徑被設(shè)置為20微米(圖5A，5B)或更大時(shí)，場強(qiáng)的分布在一個(gè)寬度范圍內(nèi)擴(kuò)展。由圖7還可以看出，噴嘴和相對電極之間的距離影響電場強(qiáng)度。由這些事實(shí)可見，當(dāng)噴嘴直徑為8微米(圖4A，4B)或更小時(shí)，電場集中，并且與相對電極的距離的改變對電場強(qiáng)度分布的影響很小。因而，當(dāng)噴嘴直徑被設(shè)置為8微米或更小時(shí)，可以獲得穩(wěn)定的噴射，而不受相對電極分位置精度的改變和載體的材料特性及厚度的改變的影響。接著，圖8表示假定液體表面處于噴嘴的尖端位置時(shí)噴嘴直徑和最大電場強(qiáng)度之間的關(guān)系。由圖8可見，當(dāng)噴嘴直徑為(p4微米或更小時(shí)，電場集中變得極大，并且可以使得最大場強(qiáng)較高。這使得溶液的初始噴射速度可以較快，以使得小滴的飛行速度增加，因?yàn)樵趪娮旒舛瞬糠蛛姾梢苿铀俣仍黾樱士梢愿纳茋娚漤憫?yīng)速度。下面說明噴射的小滴可以充電至的最大電荷量?？紤]到小滴的瑞利分裂(瑞利邊緣(margin))，小滴可充電至的最大電荷量由下式(3)表示<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>(3)其中q是電荷量(C)，其給出瑞利邊緣，￡0是真空的介電常數(shù)(F/m)，Y是溶液的表面張力(N/m)，d。是小滴的直徑(m)。因?yàn)橛墒?3)給出的電荷量q接近于瑞利邊緣，即使在相同的電場強(qiáng)度下，靜電力也較強(qiáng)，并且改善了噴射穩(wěn)定性，不過，相反地，當(dāng)電荷量q太接近瑞利邊緣時(shí)，溶液可能在噴嘴的液體噴射開口處被分散，引起不穩(wěn)定的噴射。圖9表示在噴嘴直徑、使要被噴射的小滴從噴嘴的尖端部分開始飛行的噴射開始電壓、初始噴射的小滴的瑞利邊緣電壓、以及噴嘴中噴射開始電壓與銳利邊緣電壓之比之間的關(guān)系。由圖9的曲線可以看出，當(dāng)噴嘴直徑在0.2-4微米的范圍內(nèi)時(shí)，噴射開始電壓對銳利邊緣電壓之比超過0.6，即使在低的噴射電壓下也能給予小滴相對多的電荷，在所述范圍內(nèi)產(chǎn)生良好的小滴充電效率和穩(wěn)定的噴射。例如，圖10A，10B是表示在噴嘴直徑和在噴嘴的尖端部分處強(qiáng)電場區(qū)域之間的關(guān)系的曲線，所述區(qū)域由至噴嘴的中心的距離表示。這些曲線表明，隨著噴嘴直徑成為0.2微米或更小，電場集中的區(qū)域變得極窄。這意味著，噴射的小滴不能接收足夠的能量用于加速，并且飛行穩(wěn)定性減小。因此，最好是設(shè)置噴嘴直徑大于0.2微米。[第一實(shí)施例(液體噴射設(shè)備的整體結(jié)構(gòu))下面參照圖11-14Ci兌明作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的液體噴射設(shè)備10。圖11是示意地表示液體噴射設(shè)備10的結(jié)構(gòu)的方框圖。液體噴射設(shè)備10包括載體K,用于在載體K上噴射帶電溶液小滴的液體噴射機(jī)構(gòu)50，用于容納液體噴射機(jī)構(gòu)50和噴射的小滴在其上著陸的載體K的恒溫器41，空氣調(diào)節(jié)器70，其作為調(diào)節(jié)噴射環(huán)境的單元，用于調(diào)節(jié)恒溫器41內(nèi)部的環(huán)境的溫度和濕度，用于過濾在恒溫器41和空氣調(diào)節(jié)器70之間循環(huán)的空氣中的灰塵的空氣過濾器42，用于檢測恒溫器41的內(nèi)部和外部之間的壓力差的壓差計(jì)43，用于調(diào)節(jié)恒溫器41和空氣調(diào)節(jié)器70之間空氣循環(huán)的流量的流量控制閥44，用于調(diào)節(jié)在恒溫器41和空氣調(diào)節(jié)器70之間空氣循環(huán)的排氣量的流量的出口流量控制閥45，用于檢測恒溫器41內(nèi)部的露點(diǎn)的露點(diǎn)濕度計(jì)46，以及用于進(jìn)行流量控制閥44、出口流量控制閥45和空氣調(diào)節(jié)器70的操作控制的控制器60。下面說明每個(gè)部分。(溶液)作為由液體噴射設(shè)備10進(jìn)行噴射的溶液的例子，有關(guān)無機(jī)液體可以提及的有水，COCh，HBr,HN03,H2S04，SOCl2，S02C12，F(xiàn)S03H及其類似物。關(guān)于有機(jī)液體，可以提及的有醇類例如曱醇，正丙醇，異丙醇，正丁醇，2-甲基-l-丙醇，叔丁醇，4-曱基-2-戊醇，苯甲醇，ct松油醇，乙二醇，丙三醇，二甘醇，三甘醇，酚類例如苯酚，鄰甲苯酚，間甲苯分配，對甲苯酚，醚類例如二噁烷，糠醛，乙二醇二甲醚，甲基溶纖劑，乙基溶纖劑，丁基溶纖劑，乙基卡必醇，丁基卡必醇，丁基卡必醇乙酸酯，表氯醇，酮類例如丙酮，曱乙酮，甲基異丁基曱酮，苯乙酮，脂肪酸例如甲酸，乙酸二氯醋酸，三氯乙酸，酯類例如甲酸甲酯，曱酸乙酯，乙酸甲酯，乙酸乙酯，乙酸丁酯，乙酸異丁酯，丙烯酸3-曱氧基酯，丙烯酸正戊酯，丙酸乙酯，乳酸乙酯，苯甲酸甲酯，丙二酸二乙酯，鄰苯二甲酸二曱酯，鄰苯二曱酸二乙酸，碳酸二乙酯，碳酸乙烯酯，碳酸丙二酯，乙酸溶纖劑，丁基卡必醇乙酸酯，乙酰乙酸乙酯，氰乙酸甲酯，氰乙酸乙酯，含氮的化合物例如硝基甲烷，硝基苯，乙腈，丙腈，丁二腈，戊腈，氰苯，乙胺，二乙胺，二氨基乙烷，苯胺，甲基苯基胺，N，N-二甲基苯胺，鄰曱苯胺，對曱苯胺，氮雜環(huán)己烷，嘧啶，ot-曱基吡啶，2,6-二甲基氮雜苯，喹啉，丙鄰二胺，甲酰胺，N-曱基甲酰胺，二甲基曱醇胺，N,N-二曱基乙酰胺，乙酰胺，甲氨基乙醛縮二曱醇，2-羥基異丁醇，1,1，3，3-四甲基脲，N-曱基吡咯烷酮，含硫的混合物例如二甲亞砜，環(huán)丁砜，碳?xì)寤衔锢绫剑瑢蹅慊N，萘，環(huán)己苯，環(huán)己烯，卣代碳?xì)浠衔锢?,l-二氯乙烷，1，2-二氯乙烷，1，1，1-三氯乙烷，1，1，1，2-四氯乙烷，1，1，2，2-四氯乙烷，五氯乙烷，1，2-二氫乙烯(順式)，四氯乙烯，氯代仲丁烷，l-氯-2-甲基丙烷，2-氯-2-曱基丙烷，溴代甲烷，三溴甲烷，正丙基溴，以及其類似物。此外，上述的液體中的至少兩種可被混和并被用作所述溶液。另外，在使用含有高導(dǎo)電率的大量的物質(zhì)(例如銀粉末)的導(dǎo)電膏進(jìn)行噴射的情況下，要被溶解的或要被分散在上述溶液中的對象物質(zhì)不受限制，只要該對象物質(zhì)不是導(dǎo)致噴嘴阻塞的粗糙的顆粒即可。關(guān)于熒光材料，例如PDP，CRT，F(xiàn)ED等，可以使用常規(guī)的已知材料而沒有限制。例如，作為紅色熒光材料，可以提及的有(Y，Gd)B03:Eu，Y03:Eu等，作為綠色熒光材料，可以提及的有Zn2Si04:Mn，BaAl12019:Mn，(Ba，Sr，Mg)Oa-AL203:Mn等，作為藍(lán)色焚光材料，可以提及的有BaMgAL14023:Eu，BaMgAl1()017:Eu等。為了把上述的對象物質(zhì)牢固地附著在記錄介質(zhì)上，最好是添加各種黏合劑。關(guān)于所用的勦合劑，例如可以提及的有纖維素及其衍生物，例如乙基纖維素、曱基纖維素、硝酸纖維素，醋酸纖維素，羥乙基纖維素及其類似物；(曱基)丙烯酸系樹脂，例如醇酸樹脂，聚甲基丙烯酸，聚甲基丙烯酸甲酯，曱基丙烯酸2-乙基己基酯和異丁烯酸的共聚物，甲基丙烯酸月桂酯和甲基丙烯酸2-羥基乙酯的共聚物，及其類似物以及它們的金屬鹽；聚(曱基丙烯酰胺)樹脂，例如聚(N-異丙基丙烯酰胺)，聚(N-N，二曱基丙烯酰胺)及其類似物；苯乙烯基樹脂，例如聚苯乙烯，丙烯腈和苯乙烯的共聚物，苯乙烯和馬來酸的共聚物，苯乙烯和isoplene的共聚物，及其類似物；丙乙烯-壓克力樹脂，例如丙烯酸和丙烯酸正丁酯的共聚物，及其類似物;各種飽和的和不飽和的聚酯樹脂；聚烯烴型樹脂，例如聚丙烯及其類似物；卣化聚合物，例如聚氯乙烯，聚偏二氯乙烯及其類似物；乙烯基樹脂，例如聚醋酸乙烯，氯乙烯和乙烯基的共聚物，及其類似物；聚碳酸酯樹脂；環(huán)氧樹脂；聚氨酯樹脂；聚甲醛樹脂，例如聚乙烯醇縮曱醛，聚乙烯縮丁醛，聚乙烯醇縮醛及其類似物；聚乙烯基樹脂，例如乙烯和乙酸乙烯酯的共聚物，乙烯和丙烯酸乙酯的共聚物，及其類似物；氨基樹脂，例如苯代三聚氰胺及其類似物；尿素樹脂；三聚氰胺曱醛樹脂，聚乙烯醇樹脂和它們的陰離子或陽離子變化物；聚乙烯吡咯烷酮及其共聚物；均聚物共聚物，以及交聯(lián)的烯化氧，例如聚環(huán)氧乙烷，羧化聚環(huán)氧樹脂及其類似物；聚烷基二醇，例如聚乙二醇，聚丙二醇及其類似物；聚醚多元醇；SBR，NBR橡膠；糊精；藻酸鹽；天然的或者半合成樹脂，例如膠質(zhì)及其delivertives，casein酪蛋白，黃蜀葵，黃芪膠，短梗霉多糖，阿拉伯樹膠，刺槐豆膠，瓜爾豆膠，果膠，角叉膠，皮膠，清蛋白，各種淀粉，玉米淀粉，營養(yǎng)土豆泥，紫菜，瓊脂，大豆蛋白及其類似物；薛烴樹脂；酮樹脂；松香和松香脂；聚乙烯異丁醚，聚乙烯亞胺，聚(磺酸亞乙基酯)，聚(磺酸乙烯酯)。這些樹脂不僅可以用作均聚物，而且可以被混和，只要它們是兼容的即可。在使用液體噴射設(shè)備10作為一種形成圖案的方法的情況下，其一般被用于顯示器應(yīng)用中。具體地說，該設(shè)備用于形成等離子顯示板的熒光物質(zhì)、形成等離子顯示板的肋，用于形成等離子顯示板的電極，用于形成CRT的熒光物質(zhì)，用于形成FED(場發(fā)射顯示器)板的熒光物質(zhì)，用于形成FED板的肋、液晶顯示器的濾色器(RGB染色層，黑色基質(zhì)層)、用于液晶顯示器的隔離物(相應(yīng)于黑色基質(zhì)、點(diǎn)圖案等的圖案)。這里的肋一般指的是一種阻擋壁，并被用于例如等離子顯示板中，用于隔離每種顏色的等離子區(qū)域。至于其它的應(yīng)用，可以提及的有微透鏡；磁性物質(zhì)、鐵電物質(zhì)、導(dǎo)電膏(布線、天線)的圖案涂層，以及半導(dǎo)體中使用的類似物；標(biāo)準(zhǔn)的印刷；在特殊介質(zhì)(膜，布，鋼板等)上的印刷；在彎曲的表面上的印刷；作為制圖使用的用于各種印刷的印刷板；使用本發(fā)明作為處理方法的黏合劑、密封物質(zhì)及其類似物的涂覆；作為生物或醫(yī)療用途的醫(yī)藥供應(yīng)品(例如混和多種少量的成分)、用于診斷基因的試樣及其類似物的涂覆；以及其它類似的應(yīng)用。(載體)作為載體K，可以使用下述物質(zhì)的任何一種(1)由具有109Q/cm2或更小的表面電阻的材料制成的，(2)具有在絕緣的基體材料上形成的表面處理層，在其上要沉積小滴的表面部分，所述處理層由具有109Q/cm2或更小的表面電阻的材料形成，(3)具有在絕緣材料上形成的表面處理層，其中在其上要沉積小滴的表面部分所述處理層用表面活性劑涂覆。在任何情況下，當(dāng)小滴被沉積在載體K的表面上時(shí)，由于表面部分的低的電阻，有助于小滴的電荷的泄放，從而抑制對來自載體表面的電場的影響。作為在上面的(2)中所述的在載體K內(nèi)的絕緣材料的表面上形成表面處理層的一種方法，可以使用下述的方法。使用化學(xué)鍍覆、真空蒸發(fā)、賊射或類似處理在表面上形成金屬膜。在另一方面，可以采用這樣的方法在絕緣材料的表面上涂覆導(dǎo)電聚合物的溶液、與金屬氧化物或有機(jī)半導(dǎo)體混和的溶液、或溶解有表面活性劑的溶液，所述金屬氧化物是金屬粉末、金屬纖維、碳黑、碳纖維、錫氧化物、銦氧化物等。作為涂覆方法，可以使用濺射涂覆、浸漬涂覆、刷子涂覆、擦抹涂覆、滾子涂覆、絲桿(wirebar)涂覆、擠壓涂覆、旋涂等?？梢允褂萌魏畏椒?。作為在上面的(2)中所述的在載體K內(nèi)的涂覆有表面活性劑的絕緣材料的表面上形成表面處理層的一種方法，其中可以使用低分子表面活性劑。通過刷洗、用布或其類似物擦抹、或者由于低的熱阻而通過加熱被分解以及被除去，可以容易地從載體除去低分子表面活性劑。因此，最好是預(yù)先在載體表面上涂覆低分子表面活性劑，并在完成小滴噴射之后除去表面處理層的不需要的部分。這個(gè)處理使得液體噴射設(shè)備20能夠形成具有被保持的載體表面的絕緣的電路，這在后面進(jìn)行說明。因?yàn)榈头肿颖砻婊钚詣穸染哂写蟮囊蕾囆?，溫度調(diào)節(jié)裝置41最好由空氣調(diào)節(jié)器70調(diào)節(jié)到具有所需的絕對濕度的環(huán)境的氣氛，以便在繪制圖案之前使涂覆有表面活性劑的載體K在其中存留至少一小時(shí)或更長的時(shí)間。作為低分子量表面活性劑，有關(guān)非離子劑可以提及的有甘油酯肪酸脂，聚氧化乙烯，烷基醚，烷基聚氧化乙烯，苯基醚，N，N-雙-(2-羥基乙基)，烷基胺(烷基二乙醇胺)N-2-羥乙基-N-2-羥烷基胺(羥烷基單乙醇胺)，聚乙烯二醇烴基醚，聚氧化乙烯，烷基胺脂肪酸酯，烷基二乙醇胺，烷基锍鹽，烷基苯锍鹽，烷基磷酸四烷基銨鹽，三烷基節(jié)基，銨鹽，烷基甜菜堿，烷基咪唑4翁甜菜堿及其類似物。此外，關(guān)于聚合物的表面活性劑，可以提及的有聚醚酯胺(PEEA)，聚醚酰胺酰亞胺(PEAI)，聚環(huán)氧乙烷-表氯醇(PEO-ECH)的共聚物及其類似物。關(guān)于陰離子的表面活性劑，可以提及的例如有確酸坑基西旨(侈寸:ft口，ElectrostripperAofKaoCorporation，ElenonNo.19ofDai-ichiKogyoSeiyakuCo.,LTD(兩者都是商標(biāo)))，關(guān)于兩性離子的表面活性劑，可以提及的有甜菜堿(例如，AmogenK(商標(biāo))ofDai-ichikogyoSeiyakuCo.，LTD),關(guān)于非離子表面活性劑，可以提及的有聚氧化乙烯脂肪酸酯(例如NonionL(商標(biāo))ofNOFCorporation),透明乳化齊'j(Emulgen106，120，147，420，220，905,910ofKaoCorporation,NonionEofNOFCorporation(兩者都是商才示))。關(guān)于其它的非離子表面活性劑，也可用的有聚氧化乙烯烷基酚醚，聚脂肪酸醇酯，聚氧化乙烯失水山梨糖醇脂肪酸酯，以及聚氧化乙烯烷基胺。關(guān)于具有l(wèi)(^Q/cm2或更小的表面電阻的材料，可以使用的有金屬、導(dǎo)電的聚合物材料、金屬纖維、碳黑、碳纖維、金屬氧化物例如氧化錫和氧化銦、有機(jī)半導(dǎo)體以及它們的類似物。關(guān)于絕緣材料，可以使用的有蟲漆，日本漆，酚醛樹脂，尿素樹脂，聚酯，環(huán)氧樹脂，硅樹脂，聚乙烯，聚苯乙烯，柔性氯乙烯樹脂，硬的氯乙烯樹脂，醋酸纖維素，聚對苯二甲酸乙二醇酯，Teflon(商標(biāo))，天然橡膠，柔性橡膠，ebonite石更橡膠，丁基橡膠，neoprene氯丁橡膠，硅橡膠，白云母，云母塑膠板，云母石，石棉板，資器料，滑石，氧化鋁瓷，氧化鈦陶瓷，鈉鈣玻璃(sodaglass)，硼硅酸玻璃，石英玻璃，以及它們的類似物。(恒溫器)恒溫器41具有用于載體K的輸入開口和輸出開口(未示出)，和在液體噴射機(jī)構(gòu)50的液體噴射頭56的內(nèi)部的存儲器。恒溫器41和入口管48以及出口管49相連，該入口管用于從調(diào)節(jié)空氣的溫度和濕度的空氣調(diào)節(jié)器70供應(yīng)空氣，該出口管用于把內(nèi)部的空氣送到空氣調(diào)節(jié)器70，其形成一種密封的結(jié)構(gòu)，除去上述的循環(huán)之外，關(guān)閉來自敞開的空氣的流動通路。恒溫器還具有較少受外部溫度的影響的熱隔離結(jié)構(gòu)。在出口管49的空氣調(diào)節(jié)器70的上游側(cè)，提供有敞開的空氣的入口49a，由該入口進(jìn)入的敞開的空氣由空氣調(diào)節(jié)器70進(jìn)行空氣調(diào)節(jié)，以便被提供給恒溫器41?？梢栽诔隹诠?9的中部提供一個(gè)吹風(fēng)機(jī)，以《更可靠地排空或吸入敞開的空氣。此外，可以在入口管48或出口管49中提供一個(gè)流量計(jì)，用于檢測流量，并把結(jié)果輸出到控制器60。在本實(shí)施例中吸入來自敞開的空氣的空氣，但是可以使用惰性氣體或其它氣體來代替而不吸入敞開的空氣。當(dāng)使用惰性氣體時(shí)，可以提供用于供應(yīng)該氣體的單元，以用于循環(huán)所述惰性氣體。其中，作為惰性氣體，可以使用氮、氬、氦、氖、氙、氪等。空氣過濾器42被提供在入口管48的中部，但是可以被附加地提供在敞開的空氣的入口49a。(差動壓力計(jì)、流量控制閥和出口流量控制閥)壓差計(jì)43檢測在恒溫器41的內(nèi)部和外部之間的壓差，并把結(jié)果輸出到控制器60。流量控制閥44和出口流量控制閥45是電磁閥，每個(gè)閥門的行程由來自控制器60的控制信號控制。控制器60根據(jù)壓差計(jì)43檢測的壓差進(jìn)行控制，以便調(diào)節(jié)由流量控制閥44和出口流量控制閥45通過的空氣的流量，使得恒溫器41的內(nèi)部壓力等于外部壓力或略高于外部壓力。所述內(nèi)部壓力最好被設(shè)置為略高于外部壓力，以阻止具有不同于目標(biāo)值的溫度和濕度的外部空氣流入恒溫器41。(露點(diǎn)濕度計(jì))露點(diǎn)濕度計(jì)46檢測恒溫器41內(nèi)部的大氣的露點(diǎn)，并把結(jié)果發(fā)送給控制器60。露點(diǎn)可以由恒溫器的內(nèi)部溫度和濕度計(jì)算，因此可以安裝溫濕計(jì)代替露點(diǎn)濕度計(jì)46，可以由其輸出計(jì)算露點(diǎn)。因?yàn)槁饵c(diǎn)和絕對濕度(混合比)具有如圖15和16所示的關(guān)系，露點(diǎn)可以在獲得絕對濕度之后被算出。類似地，按照圖17所示的在露點(diǎn)和相對濕度之間的關(guān)系，露點(diǎn)可以在獲得相對濕度之后被算出。相對濕度由氣體中的蒸氣對氣體中的蒸氣的飽和量的百分?jǐn)?shù)表示。(空氣調(diào)節(jié)器)空氣調(diào)節(jié)器70包括用于使空氣流通到恒溫器41的吹風(fēng)機(jī)，用于加熱或冷卻通過的空氣的熱交換器，以及被提供在其下游側(cè)的加濕器和除濕器。按照控制器60的控制，空氣調(diào)節(jié)器70對通過其中的空氣進(jìn)4亍加熱或冷卻，或者加濕或除濕。(控制器)除去上述的恒溫器41的內(nèi)部壓力的控制之外，控制器60還控制恒溫器41內(nèi)部的大氣的露點(diǎn)。即，控制器60由露點(diǎn)濕度計(jì)46的輸出計(jì)算露點(diǎn)和飽和溫度，并使用控制方法例如PID(比例-積分-微分)控制進(jìn)行溫度控制、濕度控制或者它們的組合控制，以便露點(diǎn)為9'C或9。C以上。(液體噴射機(jī)構(gòu))液體噴射機(jī)構(gòu)50被設(shè)置在上述的恒溫器41的內(nèi)部，并通過頭驅(qū)動單元(未示出)沿給定的方向傳送液體噴射頭56。圖12沿噴嘴所取的液體噴射機(jī)構(gòu)50的截面圖。液體噴射機(jī)構(gòu)50包括液體噴射頭56，其具有超微直徑的噴嘴51，用于從尖端部分噴射可帶電的溶液的小滴；相對電極23,具有和噴嘴51的尖端部分相對的表面，并在該相對的表面支撐用于接收小滴的載體K;溶液供應(yīng)單元53,用于向噴嘴51內(nèi)部的流體通路52供應(yīng)溶液；以及噴射電壓施加單元35,用于對噴嘴51內(nèi)部的'溶液施加噴射電壓。其中，噴嘴51、溶液供應(yīng)單元53的一部分以及噴射電壓施加單元35的一部分被整體地形成在液體噴射頭56中。為了說明方便，在圖12中以向上的方向示出了噴嘴51的尖端部分，但是實(shí)際使用時(shí)噴嘴51是朝水平方向或朝向下方的，最好垂直向下。(噴嘴)噴嘴51和噴嘴板56c的板部分形成一個(gè)整體，并垂直于噴嘴板56c的扁平面安裝。當(dāng)小滴被噴射時(shí)，噴嘴51用于沿垂直于載體K的接收表面(小滴落下的表面)進(jìn)行導(dǎo)向。噴嘴51具有一個(gè)從尖端部分沿噴嘴51的中心通過的噴嘴內(nèi)部的流體通路52?，F(xiàn)在更詳細(xì)地說明噴嘴51。在尖端部分的開口直徑和在噴嘴51內(nèi)的噴嘴內(nèi)流體通路52的直徑相同，它們具有極小的直徑，如上所述。具體地說，例如，噴嘴內(nèi)流體通路52的內(nèi)徑被設(shè)置為25微米或更小，優(yōu)選地小于20樣i米，更優(yōu)選地為IO微米或更小，再優(yōu)選地為8微米或更小，尤其優(yōu)選地小于4微米或更小，在本實(shí)施例中被設(shè)置為l微米。噴嘴51的尖端部分的外徑被設(shè)置為2微米，噴嘴51的根部的直徑為5微米，噴嘴51的高度被設(shè)置為100微米。噴嘴被形成近似為截頭錐形。噴嘴的內(nèi)徑優(yōu)選地被設(shè)置為大于0.2微米。同時(shí)，噴嘴51的高度可以是O微米。即，噴嘴51可以被構(gòu)成具有和噴嘴板56c相同的高度，噴射開口可被簡單地形成在扁平的噴嘴板56c的下表面處，通過噴嘴內(nèi)流體通路52到達(dá)溶液腔54。噴嘴內(nèi)流體通路52可以不被形成具有均勻的內(nèi)徑的直的通路，如圖14A,14B，14C所示。例如，如圖14A所示，流體通路52可被構(gòu)成使得在溶液腔54側(cè)的一端具有圓形的截面，這將在后面進(jìn)行說明。如圖14B所示，在流體通路52的溶液腔側(cè)的一端的內(nèi)徑可祐沒置為大于噴孔側(cè)的內(nèi)徑，使得流體通路52的內(nèi)表面可形成錐形圓周的形狀。此外，如圖14C所示，流體通路52可以只在溶液腔54側(cè)的一端具有錐形圓周面的形狀，在離開錐形表面的噴孔側(cè)則呈具有均勻內(nèi)徑的直的通路。在圖12中，液體噴射頭56只具有一個(gè)噴嘴51，但是可以提供有多個(gè)噴嘴51。當(dāng)提供有多個(gè)噴嘴51時(shí)，每個(gè)噴嘴51最好單獨(dú)地具有噴射電極58、供應(yīng)通道57和溶液腔54。(溶液供應(yīng)單元)溶液供應(yīng)單元53包括溶液腔54,其被提供在噴嘴51的根部的噴射頭56的內(nèi)部，并和流體通路52、用于向溶液腔54供應(yīng)溶液的供應(yīng)通道57以及包括壓電元件或其類似物的用于對溶液腔54施加'溶液的供應(yīng)壓力的供應(yīng)泵(未示出)連通。供應(yīng)泵利用保持的供應(yīng)壓力向噴嘴51的尖端部分供應(yīng)溶液，以使得溶液不會溢出尖端部分之外(見圖13A)。供應(yīng)泵包括一個(gè)這樣的殼體其利用由于在液體噴射頭和供應(yīng)箱之間設(shè)置的位置而引起的壓差，并且可以只由溶液供應(yīng)通路構(gòu)成而不提供單獨(dú)的溶液供應(yīng)單元。雖然和設(shè)計(jì)有關(guān)，但基本上在啟動時(shí)當(dāng)溶液被提供給液體噴射頭時(shí)泵開始工作，以從噴射頭56噴出液體。溶液按照液體的噴射被供應(yīng)，使得在噴射頭56內(nèi)部的容積改變和供應(yīng)泵的壓力最佳化。(噴射電壓供應(yīng)單元)噴射電壓供應(yīng)單元35包括4皮提供在溶液腔54和液體噴射頭56內(nèi)部的流體通路52之間的邊界位置處的噴射電極58，用于提供噴射電壓；偏壓源30，用于對噴射電極58恒定地提供直流偏壓；以及噴射電壓源31，用于對噴射電極58提供在偏壓上疊加的用于噴射所需的脈沖電壓。噴射電極58直接和溶液腔54內(nèi)部的溶液接觸，以使溶液帶電并提供噴射電壓。由偏壓源30產(chǎn)生的偏壓一直在這樣的程度上被提供給溶液，即，使得溶液不被噴出，借以預(yù)先減少在噴射時(shí)要施加的電壓，并改善噴射的響應(yīng)性。噴射電壓源31只在噴射溶液時(shí)才提供疊加在偏壓上的脈沖電壓。該脈沖電壓被這樣設(shè)置，使得疊加的電壓V滿;^由下式(1)表示的條件"V￡od"V2eo其中y:溶液的表面張力(N/m)，s。真空介電常數(shù)(F/m),d:噴嘴直徑(m)，h:噴嘴和載體之間的距離(m)，k:取決于噴嘴形狀的比例常數(shù)(1.5〈k〈8.5)。作為一個(gè)例子，當(dāng)偏壓為DC300V，！^沖電壓為100V時(shí)，在噴射時(shí)疊加的電壓是400V。(液體噴射頭)液體噴射頭56包括位于圖12的下層的底層56a,位于底層上方用于形成溶液的供應(yīng)通道的流體通道層56b，以及在流體通道層56b上方形成的噴嘴板56c，噴射電極58被插在流體通道層56b和噴嘴板56c之間。底層56a由硅襯底或高絕緣的樹脂或陶瓷制成。在底層上形成有可溶的樹脂層，除去給定的圖案之外的其它部分以形成供應(yīng)通道57和溶液腔54，并在被除去的部分上形成絕緣的樹脂層。這個(gè)絕緣的樹脂層成為流體通道層56b。通過鍍覆導(dǎo)電材料(例如MP)在絕緣的樹脂層上方形成噴射電極58，并在該電極的上方進(jìn)而形成絕緣的光刻膠樹脂層。這個(gè)光刻膠樹脂層將成為噴嘴板56c，使得這個(gè)樹脂層具有把噴嘴51的高度考慮進(jìn)去的厚度。利用電子束方法或飛(千萬億分之一)秒激光對這個(gè)絕緣的光刻膠樹脂層進(jìn)行光刻以形成噴嘴形狀。噴嘴內(nèi)流體通路52也通過光刻和顯影被形成。然后，除去沿著供應(yīng)通道57和溶液腔54的可溶樹脂層以形成供應(yīng)通道57和溶液腔54，這樣^^制成液體噴射頭56。其中，具體講，噴嘴板56c和噴嘴51的材料可以是絕緣材料，例如環(huán)氧樹脂、PMMA、酚、鈉玻璃、石英玻璃等；半導(dǎo)體，例如硅；或者導(dǎo)體，例如Ni、SUS等。不過，當(dāng)噴嘴板56c和噴嘴51由導(dǎo)體制成時(shí)，至少噴嘴51的尖端部分的頂部邊沿，優(yōu)選地是尖端部分的圓周面，要覆蓋絕緣膜。當(dāng)噴嘴51由絕緣材料制成或者由覆蓋尖端部分的表面的絕緣膜制成時(shí)，可以有效地抑制當(dāng)噴射電壓施加于溶液時(shí)從噴嘴尖端部分到相對電極23的電流泄漏。包括噴嘴51的噴嘴板56c可以具有斥水性(例如噴嘴板56c由含氟的樹脂制成)，或者由在噴嘴51的表面層的具有斥水性的斥水膜制成(例如，噴嘴板56c的表面層由金屬膜制成，并通過利用金屬或斥水樹脂進(jìn)行類低共熔體鍍敷而在金屬膜上方形成斥水層)。其中斥水性的特征是排斥液體。通過按照液體選擇斥水處理方法，可以控制噴嘴板108的斥水性。作為斥水處理方法，可以提及的有陰離子或或陽離子含氟樹脂的電淀積；含氟聚合物、硅樹脂、聚二曱基硅氧烷的局部涂覆；燒結(jié)方法；含氟聚合物的類低共熔體淀積；非晶合金鍍膜的蒸氣淀積；有機(jī)硅化合物、含氟有機(jī)硅化合物及其類似物的附著，它們主要由聚二曱基硅氧烷制成，所述聚二曱基硅氧烷是通過等離子CVD方法的等離子聚合作用獲得的，其中使用的單體是六甲基二硅氧坑。(相對電極)相對電極23具有垂直于噴嘴51的凸出方向的相對表面，沿著相對表面支撐著載體K。在噴嘴51的尖端部分和相對電極23之間的距離優(yōu)選地被設(shè)置為500微米或更小，更優(yōu)選地為IOO微米或更小，作為一個(gè)例子，其被設(shè)置為100微米。相對電極23被接地，因此保持地電位。因而，當(dāng)施加脈沖電壓時(shí)，借助于在噴嘴51的尖端部分和相對表面之間產(chǎn)生的電場所引起的靜電力把噴出的小滴引向相對電極23的一側(cè)。在液體噴射機(jī)構(gòu)50中，因?yàn)閲娮?1極小，在噴嘴51的尖端部分的電場集中使得電場被增強(qiáng)，因此小滴可以不用相對電極23的誘導(dǎo)而噴出，但是最好是由噴嘴51和相對電極23之間的靜電力進(jìn)行誘導(dǎo)。此外，這種結(jié)構(gòu)使得能夠通過使相對電極23接地而使帶電的小滴的電荷被釋放。(由液體噴射機(jī)構(gòu)進(jìn)行的微滴的噴射操作)下面參照圖12到圖13B說明在液體噴射機(jī)構(gòu)50中的噴射操作。溶液被供應(yīng)給噴嘴內(nèi)部流體通路52，在這種狀態(tài)下，偏壓源30通過噴射電極58向溶液提供偏壓。這使得溶液能夠帶電并在噴嘴51的尖端部分形成凹入的彎液(圖13A)。然后，當(dāng)噴射電壓源31供應(yīng)噴射脈沖電壓時(shí)，借助于集中在噴嘴51的尖端部分的電場所引起的靜電力把溶液導(dǎo)向噴嘴51的尖端部分，這形成向外凸出的凸起彎液。電場集中在該凸起彎液的頂點(diǎn)，從而反抗溶液的表面張力最終把微滴噴射到相對電極側(cè)(圖13B)。(液體噴射設(shè)備的總體操作)把載體K承載在恒溫器41內(nèi)部的液體噴射機(jī)構(gòu)50的相對電極23上。此時(shí)，按照差動壓力計(jì)43的檢測結(jié)果，控制器60控制流量控制閥44和出口流量控制閥45，以調(diào)節(jié)恒溫器41內(nèi)部的壓力略高于外部壓力?？諝庹{(diào)節(jié)器70進(jìn)行操作以循環(huán)恒溫器41內(nèi)部的空氣，并且當(dāng)由露點(diǎn)濕度計(jì)46給出的露點(diǎn)低于9'C時(shí)，控制器60借助于空氣調(diào)節(jié)器70進(jìn)行加熱和加濕把露點(diǎn)調(diào)節(jié)到9。C或以上。在這種氣氛中，通過上述的液體噴射機(jī)構(gòu)50進(jìn)行小滴的噴射操作。(本實(shí)施例的效果)液體噴射機(jī)構(gòu)50使用從未實(shí)現(xiàn)過的噴嘴51的微直徑噴射小滴，使得借助于在噴嘴內(nèi)部流體通路52中的帶電溶液使電場集中，從而增加電場強(qiáng)度。在常規(guī)的噴嘴中(例如內(nèi)徑為100微米)，因?yàn)殡妶鑫幢患校M(jìn)行噴射所需的電壓太高，而使用過去認(rèn)為不能實(shí)現(xiàn)的微徑噴嘴，則使得能夠在比以前較低的電壓下噴射溶液。因?yàn)閲娮斓奈?，由于低的噴嘴傳?dǎo)性，可以容易地實(shí)現(xiàn)減少每單位時(shí)間的噴射流量的控制，并且還實(shí)現(xiàn)具有足夠小的直徑(在上述條件下為0.8微米)的小滴的噴射。此外，因?yàn)閲娚涞男〉问菐щ姷?，使得即使對于微滴，蒸氣壓力也被減小，從而通過抑制蒸發(fā)來減少小滴質(zhì)量的損失，這穩(wěn)定了飛行，并阻止小滴的著陸精度降低。此外，在液體噴射設(shè)備10中，因?yàn)榭刂破?0調(diào)節(jié)恒溫器41內(nèi)部的大氣的露點(diǎn)為9。C或以上，加速了沉積的小滴的電荷從載體表面的泄漏，使得抑制由沉積在載體K的表面上的微滴的電荷所引起的電場的影響。這使得能夠改善小滴著陸的位置精度，并使得能夠抑制和穩(wěn)定噴射的小滴和沉積的點(diǎn)的尺寸改變。此外，按照載體K本身的材料、表面處理層的材料或表面活性劑的涂覆，至少在小滴在載體K的表面上著陸的區(qū)域，表面電阻被設(shè)置為l(10Q/cm2。因此，更加速沉積的小滴的電荷從載體表面的泄漏，更好地抑制沉積在載體K的表面上的小滴的電荷引起的電場的影響。這使得能夠進(jìn)一步改善小滴著陸的位置精度，還使得能夠更好地抑制和穩(wěn)定噴射的小滴和沉積的點(diǎn)的尺寸改變。(其它)為了得到電濕(electro-wetting)效應(yīng)，可以在噴嘴51的外表面上提供一個(gè)電極，或者在噴嘴內(nèi)部流體通路52的內(nèi)表面上提供一個(gè)電極，該內(nèi)部電極上被絕緣膜覆蓋。當(dāng)電壓#:加于該電極上時(shí)，對于由噴射電極58對其施加電壓的溶液，電濕效應(yīng)可以改善流體通路52的內(nèi)表面的可濕性，從而使得能夠平滑地對流體通路52供應(yīng)溶液并改善噴射響應(yīng)。在噴射電壓供應(yīng)單元35中，在恒定地施加偏壓的條件下施加脈沖電壓以觸發(fā)小滴的噴射，但是可以使用這樣的結(jié)構(gòu)恒定地施加具有用于噴射所需的幅值的交流電壓或連續(xù)的矩形波電壓，并通過轉(zhuǎn)換頻率的高低進(jìn)行噴射。因?yàn)閲娚湫〉涡枰谷芤簬щ姡?dāng)施加頻率超出使溶液帶電的速度的噴射電壓時(shí)，溶液不被噴射，通過把頻率轉(zhuǎn)換為使溶液能夠充分帶電的頻率引起溶液的噴射。因此，溶液的噴射可以被這樣控制當(dāng)噴射被停止時(shí)，施加其頻率比能夠噴射的頻率高的噴射電壓，并只在噴射時(shí)才把頻率降低到能夠噴射的頻帶。在這種情況下，施加于溶液的電位本身不改變，使得進(jìn)一步改善時(shí)間可響應(yīng)性，結(jié)果使得改善小滴的著陸精度。在上述的液體噴射頭56中，噴嘴51的材料本身是絕緣的，構(gòu)成的噴嘴的絕緣擊穿電壓可以是10kV/mm或更高，優(yōu)選地為21Kv/mm或更高，更優(yōu)選地為30kV/mm或更高。這些情況也可以實(shí)和噴嘴51幾乎相同的效果。(形成電路板的布線圖案的應(yīng)用)上述的液體噴射設(shè)備10可用于形成電路板的布線圖案。在這種情況下，要被噴射設(shè)備20噴射的溶液在其中包含多種微?；蚓哂姓承缘恼承灶w粒，用于相互連接而形成電子電路，并包含分散劑用于分散所述微?；蛘承灶w粒。關(guān)于微粒，可以使用金屬和金屬化合物的顆粒。關(guān)于細(xì)顆粒，可以提及的有導(dǎo)電的細(xì)顆粒，例如Au，Pt，Ag，In，Cu,Ni，Cr，Rh，Pd，Zn，Co，Mo，Ru，W，Os，Ir，F(xiàn)e，Mn，Ge，Sn，Ga，及其類似物。特別是當(dāng)使用Au，Ag或Cu的金屬細(xì)顆粒時(shí)，則是優(yōu)選的，因?yàn)榭梢詫?shí)現(xiàn)具有低電阻和高抗腐蝕性的電路。關(guān)于金屬化合物的細(xì)顆粒，可以提及的有導(dǎo)電的細(xì)顆粒，例如ZnS，CdS，Cd2Sn04，ITO(In203-Sn02)，Ru02，Tr02,Os02，Mo02，Re02，W02，YBa2Cu307-x，以及它們的類似物；通過加熱還原而呈現(xiàn)導(dǎo)電性的細(xì)顆粒，例如ZnO，CdO，Sn02，In02，Sn04，以及它們的類似物；半導(dǎo)體細(xì)顆粒，例如Ni-Cr，Cr-SiO，Cr畫MgF，Au-Si02，AuMgF，PtTa2Os，AuTa205Ta2，Cr3Si，TaSi2，以及它們的類似物；導(dǎo)電的細(xì)顆粒，例如SrTi03，BaTi03，Pb(Zr，Ti)03,以及它們的類似物；以及半導(dǎo)體細(xì)顆粒，例如Si02，Al203，Ti02，以及它們的類似物。關(guān)于粘性顆粒，可以提及的有熱固樹脂類型的黏合劑，橡膠型的黏合劑，乳劑型的黏合劑，多環(huán)芳香烴，陶瓷型的黏合劑，以及它們的類似物。分散劑用作細(xì)顆粒的保護(hù)性膠體。關(guān)于這種分散劑，可以使用的有聚亞氨酯和鏈烷醇胺的嵌段共聚物，聚酯，聚丙烯腈，以及它們的類似物。根據(jù)和顆粒的親和力選擇溶劑，具體地說，關(guān)于溶劑，可以提及的有以水作為主要成分的溶劑，PGMEA，環(huán)己胺，(丁基)-二甘醇-乙醚乙酸酯，3-二曱基-2-咪唑啉BMA，以丙二醇單甲基乙酸酯(propylenemonomethylacetate)為主要成分的溶劑，以及它們的類似物。下面給出用于制備例如溶解金屬微粒作為微粒的水溶液的方法的說明。首先，在金屬離子源例如氯金酸和銀硝酸鹽中，溶解水可溶的聚合物，并在攪拌的同時(shí)，加入烷醇，例如二甲基氨基乙醇。在幾十秒到幾分鐘的時(shí)間內(nèi)，金屬離子被還原，沉積平均顆粒直徑等于或小于100納米的金屬細(xì)顆粒。接著，利用一些方法例如超過濾技術(shù)從含有該沉淀物的溶液中除去氯離子和硝酸鹽離子，所得的溶液被濃縮和干燥。用上述方法制備的水支持的溶液可以被穩(wěn)定地溶解，并和用于溶膠凝膠處理的粘結(jié)劑，例如水、基于醇的溶劑、四乙氧基硅烷，三乙氧基硅烷以及它們的類似物混和。下面說明用于制備具有金屬細(xì)顆粒作為溶解的細(xì)顆粒的油支持的溶液的方法。首先，在水可混溶有機(jī)溶劑例如丙酮中溶解油可溶的聚合物，該溶液和用上述方法制備的水支持的溶液混和。所得混合物起初是一種非均質(zhì)的系統(tǒng)，不過，通過在攪拌的同時(shí)對該混合物添加烷醇，金屬細(xì)顆粒便在油相中沉淀，呈在聚合材料中分散的形式。通過對溶液進(jìn)行洗涂、濃縮和干燥，獲得油支持的溶液。用上述方法制備的油支持的溶液可以被穩(wěn)定地溶解，并和溶劑相混合，所述溶劑例如為芳香溶劑、酮、酯以及它們的類似物；聚酯；環(huán)氧樹脂；丙烯酸樹脂；聚氨基曱酸乙酯樹脂以及它們的類似物混和。當(dāng)形成布線圖案時(shí)，首先，在作為基板的玻璃制成的板的表面上涂覆表面活性劑，在其上要形成用于布線圖案的表面(表面處理層的形成處理)。作為這種表面活性劑，考慮到以后的去除，最好使用前述的低分子劑。具體地說，在本實(shí)施例中，涂覆抗靜電劑Colcoat200(Colcoat公司的商標(biāo))，借以使形成的表面處理層的表面電阻為109Q/cm2。接著，把板設(shè)置在恒溫器41內(nèi)，并由液體噴射機(jī)構(gòu)50噴射小滴以形成布線圖案(小滴噴射處理)。此時(shí)，特別地使用SilverNanoPaste(Harima化學(xué)公司的商標(biāo))作為小滴以形成線寬10微米和長10毫米的布線圖案。在噴射小滴之后，溶液的溶劑被蒸發(fā)，此后或者同時(shí)，在200。C下把板加熱60分鐘(圖案固定處理)。此后，在其上已經(jīng)完成布線圖案的形成的玻璃板利用純水被清洗10分鐘(表面處理層去除處理)。利用這個(gè)處理，除去沉積的位置之外的Colcote200的表面處理層被洗掉和去除。其中去除了表面處理層的玻璃板表面的部分的表面電阻成為10"Q/cm2。即，除了布線圖案之外的部分具有高的絕緣能力，這使得能夠形成細(xì)的高密度的布線圖案而不發(fā)生短路或類似情況。[第二實(shí)施例下面參照圖18說明按照靜電吸引型液體噴射設(shè)備的第二實(shí)施例的液體噴射機(jī)構(gòu)101。圖18是表示液體噴射機(jī)構(gòu)101的主要部分的示意圖。噴嘴51表示為以和在實(shí)際使用時(shí)相同的方式朝向下方。其中和上述的液體噴射機(jī)構(gòu)50相同的元件用相同的標(biāo)號表示，并省略其重復(fù)的說明。假定液體噴射機(jī)構(gòu)101不在可以被設(shè)置為合適的露點(diǎn)的恒溫器41內(nèi)被使用，這和上述的液體噴射才幾構(gòu)50不同。因此，液體噴射機(jī)構(gòu)101使用和液體噴射機(jī)構(gòu)50中使用的不同的方法抑制來自栽體表面上的不均勻的電位分布的影響。如圖18所示，液體噴射機(jī)構(gòu)101包括用于朝向絕緣的栽體102噴射可帶電的液體的液體噴射頭56，以及具有充電單元104的噴射電壓施加單元，該充電單元用于利用電壓信號驅(qū)動噴射頭56以進(jìn)行噴射操作，還用于驅(qū)動噴射頭56以使得絕緣載體102帶電。(絕緣載體)絕緣載體102由具有非常高的電阻率的絕緣材料(電介質(zhì))制成，表面102a的表面電阻率優(yōu)選地為101()0/112或以上，更優(yōu)選地為1012Q/cm2或以上。例如，絕緣載體由以下材料制成蟲漆，日本漆，酚醛樹脂，尿素樹脂，聚酯，環(huán)氧樹脂，硅酮，聚乙烯，聚苯乙烯，柔性的聚氯乙烯樹脂，硬的聚氯乙烯樹脂，醋酸纖維素，聚對苯二曱酸乙二醇酯，Teflon(商標(biāo))，天然橡膠，柔性橡膠，硬橡膠，丁基橡膠，氯丁橡膠，硅橡膠，白云母，云母塑膠板，云母石，石棉板，瓷器料，滑石，氧化鋁資，氧化鈦陶資，鈉鈞玻璃，硼硅酸玻璃(bolosilicateglass)，石英玻璃，以及它們的類似物。其中絕緣栽體102可以具有板、盤、片或基座的形狀。其中絕緣載體102可以具有板、盤、片或基座的形狀。絕緣載體102與導(dǎo)電材料例如接地線、導(dǎo)線或電極隔離，并處于電浮動狀態(tài)。因而，表面102a可以被帶電(沒有正負(fù)電荷的限制)或者被放電。在把液體噴射機(jī)構(gòu)IOI應(yīng)用于噴墨打印機(jī)的情況下，記錄介質(zhì)例如紙、塑料膜或片狀部件相應(yīng)于絕緣載體102。當(dāng)載體102呈片狀時(shí)，可以對著液體噴射頭56設(shè)置一個(gè)支撐部件例如壓紙巻筒，該支撐部件支撐著載體102,和載體的背面接觸，并也由絕緣材料制成。利用絕緣材料制成支撐部件使得栽體102是電浮動的。除了載體102的表面102a之外的其它表面，考慮到電阻率，可以和導(dǎo)電部件例如接地線、布線、電極接觸。布線或電極可以形成在表面102a的一部分而不是全部上。即，布線、電極或其它的導(dǎo)電部件可凈皮形成在除了沉積液體的部分之外的表面102上。前述的相對電極23可被提供在載體102的背面(相對于噴射頭56而言為載體102的反面)。液體噴射才幾構(gòu)101可以優(yōu)選地配備有載體移動^li構(gòu)，用于沿著橫跨從噴射頭56噴射液體的方向的表面移動載體102。具體地i兌，載體移動機(jī)構(gòu)可以沿著垂直于液體噴射方向的表面(下文稱為"垂直表面")移動載體，也可以通過沿著在垂直表面內(nèi)相互垂直的兩個(gè)方向移動載體102來沿著該垂直表面移動載體102。載體移動機(jī)構(gòu)可以在垂直表面內(nèi)只沿一個(gè)方向移動載體102，這種載體移動機(jī)構(gòu)作為用于輸送記錄介質(zhì)的輸送機(jī)構(gòu)被用于噴墨打印機(jī)中。液體噴射機(jī)構(gòu)101優(yōu)選地配備有頭移動機(jī)構(gòu)，用于沿著橫跨從噴射頭56噴射液體的方向的表面移動液體噴射頭56。具體地說，頭移動機(jī)構(gòu)可以沿著垂直于液體噴射方向的表面(下文稱"垂直表面")移動噴射頭56，還可以通過在垂直表面內(nèi)相互垂直的兩個(gè)方向中移動噴射頭56來沿著該垂直表面移動噴射頭56。當(dāng)載體移動機(jī)構(gòu)只沿著垂直表面內(nèi)的一個(gè)方向移動載體102時(shí)，頭移動機(jī)構(gòu)在垂直于載體102的運(yùn)動方向中往返移動噴射頭56。(具有充電單元的噴射電壓施加單元)具有充電單元104的噴射電壓施加單元包括穩(wěn)定電壓施加部分104a，用于對噴射電極58施加相對于地的一個(gè)穩(wěn)定的電壓。其中，所述穩(wěn)定的電壓是一個(gè)保持恒定電位的電壓。該穩(wěn)定的電壓可以是正的或者是負(fù)的。該穩(wěn)定的電壓的值由Vs(V)表示。該穩(wěn)定的電壓Vs根據(jù)表面102a的表面電位(相對于地)被設(shè)置，表面102a是載體102的噴射頭56側(cè)的表面。即，當(dāng)測量在表面102a內(nèi)的表面電位分布時(shí)，由Vmax(V)給出相對于地的表面電位的最大值，由Vmin(V)表示表面電位的最小值(Vmin<Vmax)，用V—x-一(V)表示最大值Vmax和最小值Vmin之間的電位差，用V^d(V)表示最大值V隨和最小值V^之間的中值，穩(wěn)定電壓施加部分104a對噴射電極58施加滿足下式(A)的穩(wěn)定的電壓Vs:V3^Vmid-Vimax-mini,Vmid十Vimax-niini^V3(A)其中，電位差V—^iw由最大值V甜和最小值V^按照式(B)表示，中值Vmid滿足下式(C):V|max-min|=IVmax-VminI(B)Vmid=(Vraax+V^)/2(C)絕緣栽體102的表面電位是在穩(wěn)定電壓施加部分104a對噴射電極58施加穩(wěn)定的電壓Vs之前用靜電電壓計(jì)測量的電位。由穩(wěn)定電壓施加部分104a施加的穩(wěn)、定的電壓的波形如圖19A和19B所示。在圖19A和圖19B中，縱軸表示施加于噴射電極58的電壓，橫軸表示從對噴射電極58施加電壓時(shí)起經(jīng)過的時(shí)間。當(dāng)如圖19A，19B所示的穩(wěn)定的電壓^f皮穩(wěn)定電壓施加部分104a施加時(shí)，〗更產(chǎn)生電場，該電場4吏載體102的表面102a帶電。同時(shí)，在圖18中，穩(wěn)定電壓施加部分104a的正負(fù)方向可以顛倒。(使用這種液體噴射機(jī)構(gòu)的液體噴射方法，和這種液體噴射機(jī)構(gòu)的操作)在由具有充電單元104的噴射電壓施加單元的穩(wěn)定電壓施加部分104a施加穩(wěn)定的電壓之前，用靜電電壓計(jì)測量在載體102的表面102a內(nèi)的表面電位分布，由表面電位分布獲得表面電位的最大值Vmax和最小值Vmin。對于最大值V,x和最小值Vmin，穩(wěn)定的電壓Vs由式39(A)，(B)，(C)獲得。在栽體移動機(jī)構(gòu)移動絕緣載體102的同時(shí)，頭移動機(jī)構(gòu)移動液體噴射頭56。其中，載體102和噴射頭56二者都被移動，或者可移動其中任何一個(gè)。幾乎在載體102和噴射頭56開始運(yùn)動的同時(shí)，由穩(wěn)定電壓施加部分104s施加的電壓被設(shè)置為穩(wěn)定的電壓Vs，該電壓Vs被施加于噴射電極58。當(dāng)這個(gè)穩(wěn)定的電壓施加于噴射電極58時(shí)，在噴嘴51的尖端部分和載體102之間產(chǎn)生電場，借以使液體從在噴嘴51的尖端部分形成的噴射開口朝向載體102噴時(shí)。如圖19A，19B所示，當(dāng)噴射電極58相對于地的電壓被表示為時(shí)間T的函數(shù)V(T)時(shí)，電壓V(T)是恒定的穩(wěn)定的電壓Vs，并且總是滿足式(A)中的Vs，當(dāng)波形由圖19A中的實(shí)線曲線所示的穩(wěn)定的電壓Vs被保持施加于噴射電極58時(shí)，液體被連續(xù)地保持噴射，直到穩(wěn)定電壓施加部分104a停止施加電壓。在保持液體被連續(xù)地噴射的同時(shí)，載體102和噴射頭56的至少一個(gè)^皮移動(噴射頭56相對地掃描載體102)，因此在載體102的表面102a上形成由液體構(gòu)成的線的圖案。代替由圖19A的曲線所示的波形，具有由圖19B所示的實(shí)線曲線表示的波形的穩(wěn)定的電壓Vs可以由穩(wěn)定的電壓施加部分104a施加于噴射電極58。當(dāng)噴嘴51通過載體102的表面102a內(nèi)的一個(gè)點(diǎn)時(shí)，該點(diǎn)借助于由噴射電極58產(chǎn)生的電場帶電，因而該點(diǎn)的表面電位被改變。雖然在測量的時(shí)刻表面102a的表面電位已經(jīng)改變，因?yàn)槭┘佑趪娚潆姌O58的穩(wěn)定的電壓Vs滿足式(A),在表面102a內(nèi)的任何點(diǎn)改變?yōu)楹愣ǖ碾娢?，這使得在表面102a內(nèi)的任何點(diǎn)被改變?yōu)橐粋€(gè)恒定的電壓，并使得在表面102a內(nèi)的表面電位分布是均勻的。這個(gè)均勻性使得噴射的液體的量是均勻的，并且可以避免和點(diǎn)相關(guān)的液體的噴射故障。另外，可以不測量在載體102的表面102a上的表面電位分布，并且在這種情況下，可以對噴射電極58施加超過表面102a上的一個(gè)預(yù)定的最大表面電位的足夠大的穩(wěn)定的電壓，或者對噴射電極58施加小于一個(gè)預(yù)定的最小表面電位的足夠小的穩(wěn)定的電壓。[第三實(shí)施例I下面參照圖20說明按照靜電吸引型液體噴射設(shè)備的第三實(shí)施例的液體噴射機(jī)構(gòu)201。(不同之處)如圖20所示，液體噴射機(jī)構(gòu)201被在恒溫器41的外面4吏用，如同在液體噴射機(jī)構(gòu)101中一樣，并且包括液體噴射頭56，以及具有充電單元204的噴射電壓施加單元。液體噴射頭56具有和第二實(shí)施例中的相同的結(jié)構(gòu)，不過具有充電單元204的噴射電壓施加單元和第二實(shí)施例的不同。雖然在第二實(shí)施例中具有充電單元104的噴射電壓施加單元施加穩(wěn)定的電壓，但在第三實(shí)施例中具有充電單元204的噴射電壓施力口單元施加脈沖電壓。具有充電單元204的噴射電壓施加單元包括穩(wěn)定電壓施加部分204a，用于對噴射電極58—直施加相對于地的恒定偏壓Vt(V)(偏壓Vi可以是正的、負(fù)的或零)，以及用于對噴射電極58施加疊加在偏壓Vi上的脈沖電壓V2(V)(脈沖電壓Vz可以是正的或負(fù)的)的脈沖電壓施加部分204b。當(dāng)噴射電極58相對于地的電壓凈皮表示為時(shí)間T的函數(shù)V(T)時(shí)，當(dāng)樂K沖電壓施加部分204b處于截止?fàn)顟B(tài)時(shí)，電壓V(T)是恒定的偏壓V"當(dāng)脈沖電壓施加部分204b處于導(dǎo)通狀態(tài)時(shí)，則V(T)等于(偏壓V,+脈沖電壓V2)。其中，單元204被這樣設(shè)置，使得至少偏壓Vi或(偏壓V一脈沖電壓VJ中的任何一個(gè)滿足式(A)中的電壓Vs。具體地說，當(dāng)偏壓Vi被設(shè)置為大于最小值Vmin并小于最大值Vmax時(shí)，噴射電極107的電壓V(T)的波形跟隨圖21A或21B中的實(shí)線曲線。在圖21A和21B中，縱坐標(biāo)表示電壓，橫坐標(biāo)表示時(shí)間。圖21A的波形表示脈沖電壓V2被設(shè)置為正的情況，圖21B的波形表示脈沖電壓V2被設(shè)置為負(fù)的情況。在這種情況下，偏壓V!不滿足式(A)中的電壓Vs，因此脈沖電壓V2必須被這樣設(shè)置，使得(偏壓Vi+脈沖電壓VJ滿足式(A)中的電壓Vs。在圖21A的曲線中，電壓V(T)的最大值是(偏壓V,+脈沖電壓V2，最小值是V"并且(偏壓Vi+脈沖電壓V2-中值Vmid)大于(偏壓Vt-中值Vmid)。在圖21B的曲線中，電壓V(T)的最大值是大于中值V^的偏壓V"中值是(偏壓Vt+脈沖電壓V2)，其低于中值Vmid。在圖21B的曲線中，(中值Vmid-偏壓V,-脈沖電壓V2)大于(偏壓V廣中值Vmid7o當(dāng)偏壓V,被設(shè)置為大于最大值Vmax并且脈沖電壓V2是正時(shí)，電壓V(T)的波形如圖22A的實(shí)線所示。當(dāng)偏壓V，被設(shè)置為小于最小值Vmin并且脈沖電壓V2是負(fù)時(shí)，電壓V(T)的波形如圖22B的實(shí)線所示。在圖22A和22B中，縱坐標(biāo)表示電壓，橫坐標(biāo)表示時(shí)間。在圖22A和22B中，當(dāng)偏壓Vp滿足式(A)中的電壓Vs時(shí)，可以給予脈沖電壓V2任何值，但是當(dāng)偏壓Vt不滿足式(A)中的Vs時(shí)，脈沖電壓V2必須被這樣設(shè)置，使得(偏壓Vi+脈沖電壓V2)滿足式(A)中的電壓Vs。在圖22A的曲線中，電壓V(T)的最大值是(偏壓Vi+脈沖電壓V2)，最大值是V15并且(偏壓W+脈沖電壓Vr中值Vmid)大于(偏壓Vt-中值Vmid)。在圖22B的曲線中，電壓V(T)的最大值是偏壓V!,最小值是(偏壓K+脈沖電壓V2)，并且(中值Vmid-偏壓V,-脈沖電壓V2)大于(中值Vmid-偏壓Vj。當(dāng)偏壓Vi被設(shè)置為大于最大值V,x并且脈沖電壓V2是負(fù)時(shí)，電壓V(T)的波形如圖23A的實(shí)線曲線所示。當(dāng)偏壓W被設(shè)置為小于最小值Vmin并且脈沖電壓V2是正時(shí)，電壓V(T)的波形如圖23B的實(shí)線曲線所示。在圖23A和23B中，縱坐標(biāo)表示電壓，橫坐標(biāo)表示時(shí)間。在圖23A和23B中，當(dāng)偏壓Vp葛足式(A)中的電壓Vs時(shí)，可以給予脈沖電壓V2任何值，但是當(dāng)偏壓V!不滿足式(A)中的Vs時(shí)，脈沖電壓V2必須被這樣設(shè)置，使得(偏壓V,+脈沖電壓V2)滿足式(A)中的電壓Vs。在圖23A的曲線中，電壓V(T)的最大值是Vn其大于中值Vmid,最小值是(偏壓K+脈沖電壓V2),其小于中值Vmid。還是在圖23A的曲線中，(偏壓V,-中值Vmid)和(中值Vmid-偏壓Vi-脈沖電壓V2)中的任何一個(gè)都大于其它的一個(gè)。在另一方面，在圖23B的曲線中，電壓V(T)的最大值是(偏壓V,+脈沖電壓V2)，其大于中值Vmid，最小值是Vp其小于中值Vmid。還是在圖23B的曲線中，(偏壓K+脈沖電壓V2-中值Vmid)和(中值Vmid-偏壓V。中的任何一個(gè)都大于其它的一個(gè)。(使用這種液體噴射機(jī)構(gòu)的液體噴射方法，以及這種液體噴射機(jī)構(gòu)的操作)在由具有充電單元204的噴射電壓施加單元的穩(wěn)定電壓施加部分204a和脈沖電壓施加部分204b施加電壓之前，利用靜電電壓計(jì)測量載體102的表面102a內(nèi)的表面電位分布，并由表面電位分布獲得最大值V隨和最小值Vmin。對于該最大值V隨和最小值Vmin，由表達(dá)式(A)，(B),(C)獲得偏壓Vi和脈沖電壓V2，使得至少偏壓Vi或(偏壓Vj+脈沖電壓V2)中的任何一個(gè)滿足在表達(dá)式(A)中的電壓Vs。在載體移動機(jī)構(gòu)移動絕緣載體102的同時(shí)，頭移動機(jī)構(gòu)移動液體噴射頭56。其中，載體102和噴射頭56二者都被移動，或者其中的任何一個(gè)被移動。幾乎在載體102和噴射頭56開始運(yùn)動的同時(shí)，由穩(wěn)定電壓施加部分204a施加的穩(wěn)定的電壓被設(shè)置為偏壓Vn并把偏壓Vi施加于噴射電極58。至少在載體102或噴射頭56中的任何一個(gè)移動的同時(shí)，對噴射電極58施加,皮疊加在偏壓Vi上的樂^沖電壓V2。當(dāng)(偏壓Vi+脈沖電壓V2)被施加到噴射電極58上時(shí)，液體作為小滴從在噴嘴51的尖端部分形成的噴射開口朝向載體102噴射，從而由著陸在載體102上的小滴形成一個(gè)點(diǎn)。在重復(fù)地施加脈沖電壓V2的同時(shí)，使載體102和噴射頭56中的至少一個(gè)移動，因此，在載體102的表面102a上形成由點(diǎn)構(gòu)成的圖案。當(dāng)噴嘴51在載體102的表面102a內(nèi)的某個(gè)點(diǎn)上通過時(shí)，該點(diǎn)由噴射電極58產(chǎn)生的電場充電，因而點(diǎn)的表面電位改變。雖然在測量時(shí)表面102a的表面電位在各個(gè)點(diǎn)處不同，因?yàn)槠珘篤i或(偏壓V一脈沖電壓V2)中的至少一個(gè)滿足表達(dá)式(A)，在表面102a內(nèi)的任何點(diǎn)都變成恒定的電位，這使得表面102a內(nèi)的任何點(diǎn)都改變?yōu)楹愣ǖ碾妷海⑹沟帽砻?02a內(nèi)的表面電位分布變成均勻的。這種均勻性使得噴射的液體的量是均勻的，并使得避免和點(diǎn)相關(guān)的液體噴射故障。[第四實(shí)施例I下面參照圖24說明按照靜電吸引型液體噴射設(shè)備的第四實(shí)施例的液體噴射才幾構(gòu)301。(不同之處)如圖24所示，液體噴射才幾構(gòu)301和在液體噴射才幾構(gòu)101中一樣被用在恒溫器41的外部，且其包括液體噴射頭56。液體噴射機(jī)構(gòu)301還包括噴射電壓施加單元304，用于只在噴射液體時(shí)對噴射電極58施加相對于地的噴射電壓的脈沖波形，以及作為靜電消除單元的交流電壓施加單元305，通過在噴射液體之前對噴射電極58施加具有被設(shè)置為0V的中心的交流電壓，用于消除在載體102的表面102a上的電荷。噴射電壓施加單元304包括脈沖電壓施加部分304a。由脈沖電壓施加部分304a施加的噴射電壓V大到足以從噴射頭56的噴嘴51噴射液體，該電壓在理論上由下式(1)獲得。利用這種噴射電壓，在噴嘴51和絕緣載體102之間產(chǎn)生電場，以從噴嘴51的噴射開口噴射液體。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula>其中Y:液體的表面張力(N/m)，s。真空介電常數(shù)的電容率(F/m),d:噴嘴內(nèi)徑(噴射開口直徑)(m)，h:噴嘴和載體之間的距離(m)，k:取決于噴嘴形狀的比例常數(shù)(1.5〈k〈8.5)。構(gòu)的操作)首先，在不向噴嘴51提供液體的狀態(tài)下，交流電壓施加單元305工作而噴射電壓施力。單元304不工作。接著，在交流電壓施加單元305工作的狀態(tài)下，在載體移動機(jī)構(gòu)移動絕緣載體102的同時(shí)，頭移動機(jī)構(gòu)移動液體噴射頭56。其中，載體102和噴射頭56二者都被移動，或者其中任何一個(gè)被移動。通過對噴射電極58施加交流電壓，載體102的表面102a在和噴嘴51相對的部分被放電。至少栽體102或噴射頭51中的任何一個(gè)被移動，使得整個(gè)表面102a被放電，從而使得表面102a的表面電位分布均勻。接著，交流電壓施加單元305停止工作，且載體移動機(jī)構(gòu)和頭移動機(jī)構(gòu)也停止工作。此后，液體被提供給液體腔111和噴嘴內(nèi)流體通路113。然后，載體移動才幾構(gòu)再次移動載體102，并且頭移動才幾構(gòu)也移動液體噴射頭56。其中，載體102和噴射頭56二者都被移動，或者其中的任何一個(gè)被移動。噴射電壓施加單元304^皮操作，并且在載體102和噴射頭56中的至少一個(gè)移動的同時(shí)，以預(yù)定的定時(shí)由噴射電壓施加單元304對噴射電極58施加噴射電壓。當(dāng)對噴射電極58施加噴射電壓時(shí)，液體作為小滴從在噴嘴51的尖端部分形成的噴射開口朝向載體102噴射，以便由在載體102上著陸的小滴形成點(diǎn)。這樣，當(dāng)重復(fù)地施加噴射電壓時(shí)，載體102和噴射頭56中的至少一個(gè)被移動，因此在載體102的表面102a上形成由點(diǎn)構(gòu)成的圖案。在此，因?yàn)檩d體102的表面102a被放電并具有均勻的表面電位分布，使得液體的噴射量是恒定的，并可以避免和位置有關(guān)的液體噴射故障。在上面的說明中，噴射電極58是被交流電壓施加單元305施加交流電壓的對象，也用作為用于消除靜電的電極。不過可以在噴嘴51附近提供另一個(gè)電極作為施加交流電壓的對象，用于消除靜電(另一個(gè)電極最好是針狀的)。噴射電壓施加單元304以預(yù)定的定時(shí)施加脈沖波形的噴射電壓，不過也可以一直對噴射電極58施加恒定電壓(即，穩(wěn)定的電壓)。在這種情況下，只要保持噴射電壓施加到噴射電極58上，噴嘴51^^繼續(xù)噴射液體。第五實(shí)施例I下面參照圖25說明按照靜電吸引型液體噴射設(shè)備的第五實(shí)施例的液體噴射才幾構(gòu)401。(不同之處)如圖25所示，液體噴射機(jī)構(gòu)401也包括液體噴射頭56，以及噴射電壓施加單元304，如液體噴射機(jī)構(gòu)301中那樣。液體噴射機(jī)構(gòu)401，代替交流電壓施加單元305,還包括和絕緣載體102的表面102a相對地設(shè)置的靜電消除器405，用于消除表面102a的靜電。靜電消除器405可被這樣提供，使得其和噴射頭56—道運(yùn)動，其和噴射頭56分開地、沿著垂直于從噴射頭56噴射液體的方向的表面運(yùn)動，或者是固定的而不運(yùn)動。靜電消除器405可以是電暈放電型的，其中使用由于電場集中而導(dǎo)致的空氣的局部介電擊穿，可以是軟X射線照射型的，其中使用由于軟X射線(微弱的X射線)的非彈性地分散光子而引起的光電子發(fā)射，可以是紫外線照射型的，其中使用由于紫外線的光子吸收而引起的電子發(fā)射，或者是放射性射線照射型的，其中使用由來自放射性同位素的a射線引起的電離。當(dāng)靜電消除器405是電暈放電型時(shí)，其可以是自放電型的，或者是通過施加電壓而產(chǎn)生電暈i文電的電壓施加型的。此外，靜電消除器405最好是無氣流型的，其不會伴隨著放電作用而產(chǎn)生氣流。在此，電暈放電型的靜電消除器可以不是交流電源頻率型的，但是最好是高頻電暈放電型的，其通過對放電針施加頻率比電源頻率高得多的(大約30kHz或更高)高壓來產(chǎn)生電暈放電，以產(chǎn)生許多良好地平衡的正離子和負(fù)離子。最好使該電極靠近絕緣載體102，以賦予載體102電離的氣氛而不會由加壓的空氣吹出電離的氣流。(使用這種液體噴射機(jī)構(gòu)的液體噴射方法，以及這種液體噴射機(jī)構(gòu)的操作)首先，在不向噴嘴51提供液體的狀態(tài)下，絕緣載體102的整個(gè)表面102a由靜電消除器405放電而不操作噴射電壓施加單元304。這使得表面102a的表面電位是均勻的。接著，液體被供應(yīng)給液體腔111和噴嘴內(nèi)流體通路113。然后，載體移動機(jī)構(gòu)移動絕緣載體102，頭移動機(jī)構(gòu)移動液體噴射頭56。在此，載體102和噴射頭56可以二者都被移動，或者其中任何一個(gè)被移動。并且，噴射電壓施加單元304被操作，并且在載體102和噴射頭56中的至少一個(gè)^f皮移動的同時(shí)，以預(yù)定的定時(shí)從噴射電壓施加單元304對噴射電極58施加噴射電壓。當(dāng)噴射電壓4皮加于噴射電極58時(shí)，在噴嘴51和載體102之間產(chǎn)生電場，液體作為小滴從在噴嘴51的尖端部分形成的噴射開口朝向載體102噴射，以通過著陸在載體102上的小滴形成點(diǎn)。這樣，在重復(fù)地施加脈沖電壓的同時(shí)，使栽體102和噴射頭56中的至少一個(gè)移動，因此，在載體102的表面102a上形成由點(diǎn)構(gòu)成的圖案。其中，因?yàn)檩d體102的表面102a被放電，并且具有均勻的表面電位分布，噴射的液體的量可以是恒定的，并且可以阻止和位置有關(guān)的液體噴射故障。噴射電壓施加單元304在預(yù)定定時(shí)施加脈沖波形的噴射電壓，但是也可以對噴射電極58—直施加恒定的電壓(即穩(wěn)定的電壓)。在這種情況下，只要保持對噴射電極58施加噴射電壓，噴嘴51便繼續(xù)噴射液體。[第六實(shí)施例I下面參照圖26說明按照靜電吸引型液體噴射設(shè)備的第六實(shí)施例的液體噴射4幾構(gòu)501。如圖26所示，液體噴射機(jī)構(gòu)501也包括液體噴射頭56,還包括靜電電壓計(jì)512，其作為具有探針511的檢測單元用于檢測載體102的表面102a上的每個(gè)點(diǎn)的電位；信號發(fā)生器513,用于輸出脈沖信號以對噴射頭56的噴射電極58提供脈沖電壓；放大器514,用于以給定的系數(shù)放大從信號發(fā)生器513輸出的脈沖信號以提供給噴射電極58;控制器515;以及移動機(jī)構(gòu)(未示出)，用于把探針511定位在載體102的表面102a上的要被采樣的多個(gè)位置；控制器515用于控制信號發(fā)生器513，以對其提供信號波形的電壓，所述信號波形的電壓值的至少一部分滿足前述的表達(dá)式(A)的電壓Vs(V)，假定由靜電電壓計(jì)512檢測的絕緣載體的表面電位的最大值和最小值分別是Vmax(V)和Vmin(V)。利用面向載體102的表面102a并和其隔開的探針511，靜電電壓計(jì)512可以檢測對應(yīng)4立置的一個(gè)孩史小面積的電位。因此，在液體噴射機(jī)構(gòu)501中，移動機(jī)構(gòu)把探針511定位在每個(gè)檢測點(diǎn)上，所述檢測點(diǎn)是無數(shù)個(gè)點(diǎn)，它們相互分開一個(gè)微小的距離單位，從而檢測每個(gè)點(diǎn)的電位。檢測的每個(gè)點(diǎn)的電位被輸出到控制器。其中移動機(jī)構(gòu)可以具有相互協(xié)同操作的用于移動載體102的移動單元以及用于沿著與載體的移動方向不同的方向移動探針噴嘴511的移動單元，或者通過只移動探針或載體使載體移動到每個(gè)點(diǎn)?？刂破?15是具有用于存儲控制信號發(fā)生器的程序的芯片的控制電路。控制器515從靜電電壓計(jì)512的輸出確定栽體102的表面電位的最大值V腿和最小值Vmin。此外，控制器515使用所述V隨和Vmin由表達(dá)式(A)，(B)，(C)計(jì)算Vs的范圍，以識別滿足這個(gè)范圍的恒定值Vs。作為這個(gè)確定方法的一個(gè)例子，在由表達(dá)式(A)的條件Vs^Vmid-、隨.—確定Vs的情況下，Vs由Vs=Vraid-V|max.min|-a來確定(a是預(yù)先設(shè)置的常數(shù))。控制器還控制信號發(fā)生器513的輸出，使得施加于噴射電極58的脈沖電壓可以是通過計(jì)算處理被確定的Vs,該脈沖電壓是由放大器514放大的信號發(fā)生器513的輸出信號。在液體噴射機(jī)構(gòu)501中，上述的處理借助于合適的脈沖電壓使得能夠進(jìn)行小滴的噴射，而不在另一個(gè)處理中對絕緣載體102進(jìn)行在先的測量，其中載體的表面電位分布是未知的。這種處理使得能夠以所需的尺寸形成點(diǎn)。此外，在多次在這種載體102上噴射的情況下，載體的表面電位的影響被抑制，因而可以形成均勻的點(diǎn)。此外，代替上述用于輸出脈沖電壓的信號發(fā)生器513，可以使用穩(wěn)定電壓施加部分104a，如圖18所示，用于連續(xù)地施加恒定電壓。代替上述的用于輸出脈沖電壓的信號發(fā)生器513，也可以使用具有充電單元204的噴射電壓施加單元，如圖20所示，用于施加疊加到偏壓上的脈沖電壓。在這種情況下，控制器515優(yōu)選地控制具有充電單元204的噴射電壓施加單元，使得疊加的電壓值可以滿足條件表達(dá)式(A)。<應(yīng)用例1>(為獲得載體的表面電阻和沉積的小滴直徑的分散之間的關(guān)系而進(jìn)行的試驗(yàn))圖27是表示在載體的表面電阻和關(guān)于沉積的小滴的直徑的分散的偏差率之間的關(guān)系的圖表。這個(gè)試驗(yàn)是在以下條件下進(jìn)行的露點(diǎn)為6。C;噴嘴具有和液體噴射機(jī)構(gòu)50相同的結(jié)構(gòu)，并由玻璃制成，噴嘴直徑為l微米；噴嘴的尖端部分和載體K之間的距離為100微米；載體K的每個(gè)表面電阻被調(diào)節(jié)到1014，101G，109，108和105Q/cm2。載體K的每個(gè)表面電阻通過下述處理被調(diào)節(jié)(l)不經(jīng)涂覆，(2)涂覆抗靜電劑COLCOATP(商標(biāo)，Colcoat公司制造)，(3)涂覆抗靜電劑COLCOAT200(商標(biāo)，Colcoat公司制造)，(4)涂覆抗靜電劑COLCOATN-103X(商標(biāo)，Colcoat公司制造)，涂覆抗靜電劑COLCOATSP2001(商標(biāo)，Colcoat公司制造)。使用金屬膏作為溶液(SilverNanoPasteHarima化學(xué)公司制造)，并使用350V的相同的矩形波作為噴射電壓，噴射頻率為10Hz，占空比為50%，噴射小滴的數(shù)量是1000點(diǎn)。測量每個(gè)沉積的小滴的直徑，計(jì)算了小滴直徑的分散的偏差率(標(biāo)準(zhǔn)偏差/平均值)。按照上述的試驗(yàn)，觀察到當(dāng)表面電阻被減小到109Q/cm2時(shí)，偏差率突然減小(10"Q/cii^時(shí)的1/3或更小)，在比這更小的表面電阻下，沉積的液體的直徑顯著地穩(wěn)定。<應(yīng)用例2>(用于獲得露點(diǎn)、載體的表面電位分布、噴射電壓和沉積的小滴直徑的分散的偏差率之間的關(guān)系的試驗(yàn))圖28是表示露點(diǎn)、載體的表面電位分布、噴射電壓和沉積的小滴直徑的分散的偏差率之間的關(guān)系的圖表。這個(gè)試驗(yàn)是在以下條件下進(jìn)行的環(huán)境溫度為23°C;具有和液體噴射機(jī)構(gòu)50的結(jié)構(gòu)相同的并由玻璃制成的直徑為l微米的噴嘴；噴嘴尖端部分和載體K之間的距離為100微米；玻璃制成的載體K的每個(gè)露點(diǎn)被調(diào)節(jié)為1，3，6,9，14和17。C。使用靜電電壓計(jì)(型號為347TM，TREK公司制造)對于玻璃制成的載體K的表面內(nèi)的每個(gè)點(diǎn)，測量在每個(gè)露點(diǎn)下的表面電位分布。在此，表面電位在一個(gè)柵格上的10000個(gè)點(diǎn)的每個(gè)點(diǎn)上被測量，所述柵格具有100個(gè)垂直的點(diǎn)和100個(gè)水平的點(diǎn)，這些點(diǎn)沿垂直和水平方向間隔為3毫米。測量結(jié)果示于圖28，其中示出了10000個(gè)點(diǎn)當(dāng)中的最大電位V咖x、10000個(gè)點(diǎn)當(dāng)中的最小電位vmin、在最大電位和最小電位之間的差的絕對值v—^w以及最大電位和最小電位的平均值使用金屬膏作為溶液(由Harima化學(xué)公司制造的SilverNanoPasteTM)，并使用350V的相同的矩形波作為噴射電壓，噴射頻率為10Hz，占空比為50%，噴射了1000點(diǎn)的小滴。測量了每個(gè)沉積點(diǎn)的的直徑，并計(jì)算這些直徑的分散的偏差率(標(biāo)準(zhǔn)偏差/平均值)。按照上述的試驗(yàn)觀察到當(dāng)露點(diǎn)上升到9。C時(shí)，偏差率突然減小(為6。C時(shí)的偏差率的1/2)，在高于這個(gè)露點(diǎn)時(shí)，沉積的液體的直徑明顯地變穩(wěn)定。即，已經(jīng)證實(shí)，露點(diǎn)被設(shè)置為9'C或更高對于穩(wěn)定噴射的小滴的直徑具有顯著的效果。下面驗(yàn)證在露點(diǎn)、電位分布和噴射電壓之間的關(guān)系。第二實(shí)施例以及稍后說明減少由于表面分布和噴射電壓而導(dǎo)致的來自載體K側(cè)的電位分布的影響的條件。即，當(dāng)Vmax，Vmin5V|max-min|，V^d滿足表達(dá)式(A)的條件時(shí)(參見第二實(shí)施例的說明)，則在載體K側(cè)的電位分布的影響被減小。當(dāng)露點(diǎn)為1和3'C時(shí)，噴射電壓Vs不滿足表達(dá)式(A)，因此，由于載體K側(cè)的電位分布的影響，導(dǎo)致沉積的液體直徑的大的偏差率。當(dāng)露點(diǎn)為6。C時(shí)，噴射電壓Vs滿足式(A)，但是Vs/V|max-min|小于5，因此偏差率大。在另一方面，在滿足露點(diǎn)條件的3個(gè)應(yīng)用例中，表面電位的分散被減小，且噴射電壓Vs滿足式(A)，并且Vs/V—ax.m洲等于和大于5。結(jié)果，沉積的液體的直徑的偏差率被減小。<應(yīng)用例3>(為獲得露點(diǎn)、載體的表面電位分布、噴射電壓和沉積的小滴直徑的分散的偏差率之間的關(guān)系而進(jìn)行的試驗(yàn))在這個(gè)應(yīng)用例中，利用改變的偏壓Vi和脈沖電壓V2試驗(yàn)了3個(gè)圖案，以便比較沉積的小滴的直徑的分散。這個(gè)試驗(yàn)以和第二實(shí)施例相同的方式進(jìn)行，氣氛的露點(diǎn)為14'C，其中獲得了好的結(jié)果，如圖28所示，并在相同的環(huán)境和條件下使用玻璃載體K進(jìn)行試驗(yàn)。即，以下條件和第二實(shí)施例中的相同栽體K的表面電位的最大值和最小值，溶液，噴射的小滴的數(shù)量，施加的頻率，用于檢測電位分布的方法，以及用于計(jì)算沉積的直徑的偏差率的方法。在試驗(yàn)中，偏壓V,被連續(xù)地保持施加到噴射電極上，脈沖電壓V2只在噴射的瞬時(shí)^皮疊加。在笫一圖案中，偏壓Vi被設(shè)置為OV，脈沖電壓V2為350V，以獲得和第二應(yīng)用例相同的噴射電壓Vs(-V—V2)。在第二圖案中，偏壓Vj皮設(shè)置為-50V，脈沖電壓V2為350V。在第三圖案中，偏壓^被設(shè)置為-50V，脈沖電壓V2為550V。圖29是表示在好的露點(diǎn)環(huán)境下于偏壓和脈沖電壓以及沉積的小滴的直徑的分散之間的關(guān)系的圖表。圖29的圖表表示對于每個(gè)圖案的偏壓V"脈沖電壓V2，V卄V2，IVi+V2l/V—x-齒!，以及沉積的直徑的偏差率。下面考慮到V咖x，Vi和v^之間的關(guān)系，對在好的露點(diǎn)環(huán)境下偏壓和^o中電壓以及沉積的小滴的直徑之間的關(guān)系進(jìn)行說明。在此，關(guān)于Vmax，Vmin，V|max_min—Vmid,將參考圖28中在露點(diǎn)為14。C的一行中的說明。假定第一圖案是標(biāo)準(zhǔn)的，在第二圖案中，值V,+V2即Vs被減小，但是偏壓V!低于Vmin，使得這個(gè)狀態(tài)相應(yīng)于前述的第三實(shí)施例的圖23B的狀態(tài)，觀察到改善了偏差率。在第三圖案中，IVrHV2l/"隨+m^大于10，觀察到改善了偏差率。<應(yīng)用例4>下面通過說明一個(gè)應(yīng)用例更具體地說明本發(fā)明。在應(yīng)用例4中使用了按照第二實(shí)施例的靜電吸引型液體噴射設(shè)備101。使用了由Harima化學(xué)公司制造的SilverNanoPasteTM作為提供給噴嘴110的液體，噴嘴110由玻璃制成，內(nèi)徑(噴射開口112的直徑)為2微米，使用玻璃板作為絕緣載體102，在噴嘴110的尖端部分和載體的表面102a之間的距離為IOO孩吏米。接著，使用靜電電壓計(jì)(型號為347TM，TREK公司制造)測量被用作載體102的玻璃板的表面內(nèi)的每一點(diǎn)的表面電位，以獲得表面電位分布。其中，表面電位在一個(gè)柵格上的10000個(gè)點(diǎn)的每個(gè)點(diǎn)上被測量，所述柵格具有100個(gè)垂直的點(diǎn)和100個(gè)水平的點(diǎn)，這些點(diǎn)沿垂直和水平方向間隔為3毫米。測量結(jié)果是玻璃板的表面電位中的最大值Vmax為400V,最小值Vmin為100V，中值Vmid為250V，電位差V|max.min|A300V。通過把電壓Vs設(shè)置為表1所示的條件，電壓Vs由具有充電單元104的噴射電壓施加單元的穩(wěn)定的電壓施加部分104a提供，液體從噴嘴110朝向玻璃板噴射，在噴嘴110被移去時(shí)在玻璃板的表面上形成液體線的圖案。測量在玻璃板的表面上形成的線圖案的寬度的偏差。所述線的寬度的偏差示于表1。其中，所述偏差是通過利用激光顯微鏡(由TEYENCE公司制造)觀察線、通過圖像處理測量沿著所述線的任意點(diǎn)的線寬度、并由所述線寬度的平均值、最大值和最小值進(jìn)行計(jì)算而獲得的。表1VsVs-VmidVs/V|max-min|線寬的偏差條件(a)600V350V2.010%條件(b)1000V750V3.37%條件(c)400V150V1.355%由表l可以理解，在條件(a)和(b)中，電壓Vs滿足表達(dá)式(A)，因此條件(a)具有10%的小偏差，條件(b)也具有7%的小偏差。在條件(c)中，電壓Vs不滿足表達(dá)式(A)，因此具有55%的大的線寬度的偏差。因而，條件(a)和(b)能夠得到恒定的小滴噴射質(zhì)量，阻止了和位置相關(guān)的小滴噴射故障。<應(yīng)用例5>在應(yīng)用例5中使用了按照第二實(shí)施例的靜電吸引型液體噴射設(shè)備101。使用了由Harima化學(xué)公司制造的SilverNanoPasteTM作為提供給噴嘴110的液體，噴嘴110由玻璃制成，內(nèi)徑(噴射開口112的直徑)為2微米，使用玻璃板作為絕緣載體102，在噴嘴110的尖端部分和載體的表面102a之間的距離為100孩￡米。接著，使用和應(yīng)用例4相同的靜電電壓計(jì)測量被用作載體102的玻璃板的表面內(nèi)的每一點(diǎn)的表面電位，以獲得表面電位分布。測量結(jié)果是玻璃板的表面電位中的最大值V咖，為70V，最小值V^為-20V，中值Vmid為25V,電位差V|max.min^90V。通過把電壓Vs設(shè)置為表2所示的條件，電壓Vs由具有充電單元104的噴射電壓施加單元的穩(wěn)定電壓施加部分104a提供，液體從噴嘴110朝向玻璃板噴射，在噴嘴110移動的時(shí)在玻璃板的表面上形成液體線的圖案。和應(yīng)用例4一樣，測量在玻璃板的表面上形成線圖案的寬度的偏差。所述線的寬度的偏差示于表2。還獲得了Vs/V|max-min|并示于表2中。<table>tableseeoriginaldocumentpage53</column></row><table>由表2可以理解，在條件(d)，(e)和(f)中，電壓Vs滿足表達(dá)式(A),因此條件(d)具有6%r小偏差，條件(e)具有3%的小偏差，條件①具有1%的小偏差。隨著Vs/V—x-m^變大，線寬的偏差越小，因此發(fā)現(xiàn)Vs/V—^—優(yōu)選地為5%或更大，更優(yōu)選地為10%或更大。<應(yīng)用例6>在應(yīng)用例6中使用了按照第三實(shí)施例的靜電吸引型液體噴射設(shè)備201。使用了由Harima化學(xué)公司制造的SilverNanoPasteTM作為提供給噴嘴110的液體，噴嘴110由玻璃制成，內(nèi)徑(噴射開口112的直徑)為2微米，使用玻璃板作為絕緣載體102，在噴嘴110的尖端部分和載體的表面102a之間的距離為100孩￡米。接著，使用和應(yīng)用例4相同的靜電電壓計(jì)測量被用作載體102的玻璃板的表面內(nèi)的每一點(diǎn)的表面電位，以獲得表面電位分布。測量結(jié)果是玻璃板的表面電位中的最大值V咖x為70V,最小值V牆為-20V，中值Vmid為25V,電位差V!隨-一是90V。通過把偏壓Vi和脈沖電壓V2設(shè)置為表3所示的條件，電壓Vj由具有充電單元204的噴射電壓施加單元的穩(wěn)定電壓施加部分204a提供，電壓V2由脈沖電壓施加部分204b提供，在噴嘴no移動重復(fù)地施加脈沖電壓V2250次，借以使液體作為小滴從噴嘴110朝向玻璃板噴射250次，從而在玻璃板的表面上由小滴的點(diǎn)形成圖案。獲得了在玻璃板的表面上形成的點(diǎn)圖案的直徑的偏差率。點(diǎn)的直徑的偏差率也示于表3。關(guān)于偏差率，利用激光顯微鏡(由KEYENCE公司制造)觀察所述的點(diǎn)，通過從假定是圓的點(diǎn)的區(qū)域進(jìn)行圖像處理來測量每個(gè)點(diǎn)，獲得了測量的直徑的標(biāo)準(zhǔn)偏差和平均值，并由所述標(biāo)準(zhǔn)偏差除以所述平均值以獲得偏差率。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage54</column></row><table>由表3可以理解，在條件(g)，(h),(i)和(j)的任何一個(gè)中，至少或者偏壓(其是施加到噴射電極107的電壓的最小值)，或者最大值(偏壓V^脈沖電壓V2)滿足表達(dá)式(A)。條件(g)具有12%的小的點(diǎn)直徑的偏差率，條件(h)具有8%的更小的偏差率，條件(i)具有8%的小偏差率，條件(j)具有5%的小得多的偏差率。因而，條件(g)-(j)使得獲得了恒定的小滴噴射質(zhì)量，避免了和位置有關(guān)的小滴噴射故障。在此，在條件(g)下的偏差率大于條件(h)-(j)下的偏差率的原因被認(rèn)為是因?yàn)槠珘篧大于表面電位的最小值V^并小于最大值Vmax。為了使點(diǎn)直徑的偏差率更小，認(rèn)識到施加于噴射電極107的脈沖電壓不是圖21A和21B所示的波形，而最好是圖22A和22B或23A和23B所示的波形。在條件(j)下的偏差率最小，這是因?yàn)?V,+V2)大于Vmid，并且K小于Vmid。<應(yīng)用例7>在應(yīng)用例7中使用了按照第三實(shí)施例的靜電吸引型液體噴射設(shè)備201。使用了由Harima化學(xué)公司制造的SilverNanoPasteTM作為提供給噴嘴110的液體，噴嘴110由玻璃制成，內(nèi)徑(噴射開口112的直徑)為2微米，使用玻璃板作為絕緣載體102，在噴嘴110的尖端部分和載體的表面102a之間的距離為100孩i米。接著，使用和應(yīng)用例4相同的靜電電壓計(jì)測量被用作載體102的玻璃板的表面內(nèi)的每一點(diǎn)的表面電位，以獲得表面電位分布。測量結(jié)果是玻璃板的表面電位中的最大值Vn^為70V，最小值V^為-20V，中值V加id為25V，電位差V|max-min|A90V。通過把偏壓Vi和脈沖電壓V2設(shè)置為表4所示的每一條件，電壓Vn由具有充電單元204的噴射電壓施加單元的穩(wěn)定電壓施加部分204a提供，電壓V2由脈沖電壓施加部分204b提供，在噴嘴110移動時(shí)重復(fù)地施加脈沖電壓V2250次，借以使液體作為小滴從噴嘴110朝向玻璃板噴射250次，從而在玻璃板的表面上由小滴的點(diǎn)形成圖案。和應(yīng)用例6中一樣獲得了在玻璃板的表面上形成圖案的點(diǎn)的直徑的偏差率。點(diǎn)的直徑的偏差率也示于表4。也獲得了電壓的最大值的絕對值或最小值的絕對值(即，IV!l或IVrfV21)對V!隨如w的比(即，IV!+V2l/V—x.一)，也示于表4中。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage55</column></row><table>由表4可以理解，在條件(k)，(l)和(m)的任何一個(gè)中，至少或者偏壓V,(其是施加到噴射電極107的電壓的最小值)，或者最大值(偏壓V一脈沖電壓V2)滿足表達(dá)式(A)。條件(k)具有5%的小的點(diǎn)直徑的偏差率，條件(l)具有2%的更小的偏差率，條件(m)具有0.8%的小得多的偏差率。因而，條件(k)-(m)使得獲得了恒定的小滴噴射質(zhì)量，避免了和位置有關(guān)的小滴噴射故障。隨著IV^V2l/V—x-n^變大，偏差率也變小，因此發(fā)現(xiàn)IV,+V2l/V—^n^最好是5或者更大，更好是10或者更大。<應(yīng)用例8>在應(yīng)用例8的條件(n)中使用了按照第四實(shí)施例的靜電吸引型液體噴射設(shè)備301。在條件(o),(p)，(q)和(r)中，使用了按照第五實(shí)施例的靜電吸引型液體噴射設(shè)備401。在條件(s)中，使用了沒有第五實(shí)施例中所示的靜電消除器405的靜電吸引型液體噴射設(shè)備401。在任何條件(n)-(r)中，使用了由Harima化學(xué)公司制造的SilverNanoPasteTM作為提供給噴嘴110的液體，噴嘴110由玻璃制成，內(nèi)徑(噴射開口112的直徑)為2微米，使用玻璃板作為絕緣載體102，在噴嘴110的尖端部分和載體的表面102a之間的距離為100孩i米。使用和應(yīng)用例4相同的靜電電壓計(jì)測量被用作載體102的玻璃板的表面內(nèi)的每一點(diǎn)的表面電位，以獲得表面電位分布。測量結(jié)果是玻璃板的表面電位中的最大值Vmax為300V，最小值Vm^為-100V，中值Vmid為100V，電位差V|max-min|A400V。在條件(n)中，在由交流電壓施加單元305對噴射電極107施加具有±500V和lHz的頻率的交流電壓的同時(shí)，通過用液體噴射頭103掃描玻璃板使玻璃板的整個(gè)表面放電。在條件(o)中，使用自放電型的靜電消除刷(由Achilles公司制造的NonSpark)作為靜電消除器405。用這個(gè)靜電消除器405掃描玻璃板而使玻璃板的整個(gè)表面放電。在條件(p)中，使用具有被特別設(shè)置為33kHz的交流頻率的靜電消除器(由KEYENCE公司制造的SJ-S)的電暈放電型和交流電壓施加方法作為靜電消除器405。這種靜電消除器405掃描玻璃板而使玻璃板的整個(gè)表面放電。在條件(q)中，使用具有被特別設(shè)置為38kHz的交流頻率的靜電消除器(由ShishidoElectrostatic公司制造的Zapp)的高頻電暈放電型和交流電壓施加方法作為靜電消除器405。這種靜電消除器405掃描玻璃板而使玻璃板的整個(gè)表面放電。在條件(r)中，使用利用由光電離作用而產(chǎn)生離子的軟X射線照射型靜電消除器(由HamamatsuPhotonicsK.K.制造的Photoionizer)作為靜電消除器405。這種靜電消除器405利用軟X射線照射玻璃板而使玻璃板的整個(gè)表面放電。在條件(s)中，不進(jìn)行靜電放電。在條件(n)-(s)中，穩(wěn)定的電壓被施加于噴射電極107上，使得在噴嘴110移動時(shí)從噴嘴IIO朝向玻璃板噴射液體，借以由在玻璃板表面上形成圖案的液體來形成線。然后，測量在玻璃板表面上形成圖案的線的寬度的偏差。用于獲得線寬的偏差的方法和應(yīng)用例1的方法相同。靜電放電方法以及測量結(jié)果示于表5。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage57</column></row><table>由表5可以理解，當(dāng)玻璃板如條件(s)那樣不被放電時(shí)，線寬的偏差高達(dá)90%。與此相對，當(dāng)玻璃板在條件(n)-(r)下被放電時(shí)，線寬的偏差比不進(jìn)行放電的情況下小。具體地說，條件(n)具有3%的小的線寬偏差，條件(p)具有10%的小的線寬偏差，條件(q)具有7%的小的線寬偏差，條件(r)具有4%的小的線寬偏差。因而，條件(n)-(r)實(shí)現(xiàn)了小滴的恒定的噴射量，避免了和位置相關(guān)的小滴噴射故障。[液體噴射設(shè)備的理論解釋I下面給出液體噴射的理論解釋，并根據(jù)所述解釋給出一個(gè)基本例子。當(dāng)然，包括在下面解釋的理論中和基本例子中所述的噴嘴結(jié)構(gòu)、噴射溶液的每個(gè)部分的材料特性、添加于噴嘴的周邊的結(jié)構(gòu)、和噴射操作相關(guān)聯(lián)的控制條件等的全部內(nèi)容，都盡可能地應(yīng)用于上述的實(shí)施例中。[用于減小噴射電壓和用于實(shí)施小滴的微小的量的穩(wěn)定的噴射的單元I在過去一直認(rèn)為在由下式限定的范圍之外噴射小滴是不可能的凡cd<f(4)其中、是使得能夠借助于靜電吸引力從噴嘴的尖端部分噴射小滴的、在溶液表面的增長波長(m)，并且由Xc-2:ryh"s。一獲得。在本發(fā)明中，回顧了在靜電吸引型噴墨打印機(jī)中的噴嘴的作用，并通過使用麥克斯韋力或其類似物在因?yàn)槠洳豢赡苄远谶^去從未嘗試過進(jìn)行噴射的區(qū)域可以形成微滴。已經(jīng)找到關(guān)于實(shí)現(xiàn)驅(qū)動電壓的減小和微量噴射的噴射條件的近似的解釋，說明如下。下面的說明可以應(yīng)用于本發(fā)明的實(shí)施例中所述的液體噴射設(shè)備。假設(shè)導(dǎo)電溶液被提供給具有內(nèi)徑d的噴嘴，噴嘴距離作為載體的無窮大導(dǎo)電平面的垂直高度為h。這個(gè)狀態(tài)如圖30所示。假定在噴嘴的尖端部分感應(yīng)的電荷Q集中在噴嘴尖端部分的一個(gè)半球部分，并近似地由下式表示。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage59</formula>其中Q:在噴嘴的尖端部分感應(yīng)的電荷，s。真空的介電常數(shù)(F/m)，s:載體的介電常數(shù)(F/m)，h:噴嘴和載體之間的距離(m),d:噴嘴的內(nèi)徑(m)，V:施加于噴嘴的總電壓，a:和噴嘴的形狀及其類似物有關(guān)的比例常數(shù)，為1-1.5，特別是在dh的情況下大約為1.0。在作為載體的板是導(dǎo)電板的情況下，假定在表面附近感應(yīng)相反的電荷以抵消由于電荷Q引起的電位，并且這個(gè)狀態(tài)相當(dāng)于電荷分布在板內(nèi)的對稱位置感應(yīng)具有相反符號的鏡電荷Q，的狀態(tài)。當(dāng)板是絕緣的板時(shí)，在板的表面處的極化作用在表面?zhèn)雀袘?yīng)相反電荷，這種狀態(tài)相當(dāng)于同樣地在對稱位置感應(yīng)由具有相反符號的介電常數(shù)確定的鏡電荷Q，的狀態(tài)。同時(shí)，假定在噴嘴尖端部分的凸彎液的頂部的曲率半徑是R(m)，在凸彎液的頂部的電場強(qiáng)度E^(V/m)由下式給出<formula>formulaseeoriginaldocumentpage59</formula>其中k:比例常數(shù)，其根據(jù)噴嘴的形狀而改變，其值為1.5-8.5，在大多數(shù)情況下大約為5(P.J.BirdseyeandD.A.Smith,SurfaceScience,23(1970)198-210)。假定簡單地有d/2=R。這相當(dāng)于表面張力使導(dǎo)電溶液在噴嘴尖端部分上升呈半球形，具有和噴嘴的半徑相同的半徑。考慮作用在噴嘴尖端部分的液體上的壓力的平衡。首先，由Sm2表示在噴嘴尖端部分的液體的表面面積，靜電力Pe由下式給出<formula>formulaseeoriginaldocumentpage59</formula>由式(7)，(8)和(9)，并取a-l，獲得<formula>formulaseeoriginaldocumentpage59</formula>在另一方面，在噴嘴尖端部分的液體的表面張力Ps由下式給出<formula>formulaseeoriginaldocumentpage59</formula>其中Y是表面張力(N/m)。由靜電力噴射液體的條件是，靜電力大于表面張力，即Pe>Ps(12)通過使用足夠小的噴嘴直徑d，可以使得靜電壓力超過表面張力，由這個(gè)表達(dá)，在V和d之間的關(guān)系由下式給出該式給出了噴射所需的最小電壓。由式(6)和(13)獲得:該式給出了本發(fā)明的操作電壓。臨界噴射電壓Vc和某個(gè)噴嘴直徑的相關(guān)性示于前述的圖9。由該圖可以理解，考慮到由于使用微直徑噴嘴而具有的場集中效應(yīng)，隨著噴嘴直徑減小，噴射起始電壓變低。在常規(guī)的考慮電場的方式中，即，當(dāng)只考慮由施加于噴嘴的電壓和噴嘴與相對電極之間的距離所確定的電場時(shí)，當(dāng)噴嘴變微小時(shí)，用于噴射所需的電壓增加。與此相反，集中局部電場強(qiáng)度時(shí)，通過使噴嘴直徑成為微小的可以減小噴射電壓。借助于靜電吸引的噴射基于在噴嘴端部的液體的充電。充電速度被認(rèn)為大約是由介電馳豫確定的時(shí)間常數(shù)。i-e/o(2)其中s:溶液的介電常數(shù)(F/m)，cj:溶液的導(dǎo)電率(S/m)。當(dāng)假定相對介電常數(shù)為10，導(dǎo)電率是10—6S/m時(shí)，則獲得T-1.854xl0_ssec?；蛘?，當(dāng)臨界頻率由fcHz表示時(shí)，fc由下式給出fe=o/e(14)對于高于這個(gè)頻率fc的電場的較大的變化，噴嘴可能不響應(yīng)，因而不可能噴射。關(guān)于上例，估計(jì)的臨界頻率大約為10kHz。此時(shí)，在噴嘴半徑為2微米，并且電壓略低于500V的情況下，在噴嘴內(nèi)的流量G可估計(jì)為10_13m3/s。對于上例的液體，在10kHz下進(jìn)行噴射是可能的，因此可以實(shí)現(xiàn)每一個(gè)循環(huán)大約10fl(femto-liter(毫微微升)，lfl:10"5升)的最小噴射量。如圖30所示，電場集中的效果和感應(yīng)的對于相對的板的鏡像力的作用是上述的每個(gè)實(shí)施例中的特征。因而，不需要如現(xiàn)有技術(shù)中那樣，板或板支撐部件是導(dǎo)電的，或者對板或板支撐部件施加電壓。即，在這些實(shí)施例中，可以使用絕緣的玻璃板、使用塑料例如聚酰亞胺的板、陶瓷板、半導(dǎo)體板或其類似物作為板。在這些實(shí)施例中，關(guān)于施加于電極的電壓，可以應(yīng)用正的電壓和負(fù)的電壓中的任何電壓。此外，保持噴嘴和載體之間的距離為500微米或更小使得溶液的噴射更容易。此外，使用檢測噴嘴位置的反饋控制(未示出)可以有利地使得噴嘴相對于載體的位置能夠保持恒定。載體可被安裝和保持在導(dǎo)電的或絕緣的載體支架上。圖31表示作為本發(fā)明的另一個(gè)基本實(shí)施例的一個(gè)例子的液體噴射設(shè)備的噴嘴部分的截面圖。電極15被提供在噴嘴1的側(cè)表面部分，用于在該電極和噴嘴內(nèi)的溶液3之間施加受控電壓。提供電極15用于控制電濕效應(yīng)。當(dāng)足夠大的電場加于構(gòu)成噴嘴的絕緣體上時(shí)，期望沒有這個(gè)電極也能發(fā)生電濕效應(yīng)。不過，在這個(gè)基本例子中，這個(gè)電極確實(shí)地控制電濕效應(yīng)，從而用于噴射控制。在噴嘴l由絕緣材料構(gòu)成、噴嘴管尖端部分的厚度為l微米、噴嘴的內(nèi)徑為2微米以及施加的電壓為300V的情況下，大約在30P下發(fā)生電濕效應(yīng)。這個(gè)壓力對于噴射是不夠的，但是可用于向噴嘴尖端部分供應(yīng)溶液，并且想到這個(gè)控制電極使得能夠控制噴射。圖9表示本發(fā)明的噴射開始電壓和噴嘴直徑的相關(guān)性。其中使用圖12所示的機(jī)構(gòu)作為液體噴射裝置。已經(jīng)證明，當(dāng)噴嘴成為微小的時(shí)，噴射開始電壓變得較低，借以使得和常規(guī)的情況相比，可以利用較低的電壓進(jìn)行噴射。在每個(gè)上述的實(shí)施例中，用于噴射液體的條件是噴嘴和載體之間的距離(h)、施加的電壓的幅值(V)以及施加的電壓的頻率(f)的函教，其中的每一項(xiàng)必須滿足作為噴射條件的某個(gè)條件。與此相對，當(dāng)任何一個(gè)條件未被滿足時(shí)，必需改變其它的參數(shù)。這個(gè)情況將參照圖32進(jìn)行說明。存在用于噴射的某個(gè)臨界電場Ec，小于這個(gè)電場則不能進(jìn)行噴射。這個(gè)臨界電場是按照噴嘴直徑、液體的表面張力和粘度而改變的值。在小于臨界電場Ec的值下，噴射是困難的。在大于臨界電場Ec的強(qiáng)度下，即，在能夠噴射的電場強(qiáng)度下，在噴嘴-載體距離(h)和施加的電壓(V)的幅值之間具有近似的比例關(guān)系。當(dāng)噴嘴-載體距離被縮短時(shí)，臨界電壓V可被減小。與此相對，當(dāng)噴嘴-栽體距離(h)極大因而施加的電壓V也大時(shí)，即使當(dāng)保持相同的電場強(qiáng)度時(shí)，也發(fā)生由電暈放電作用或其類似物引起的液體小滴的爆炸，即爆噴。如上所述，按照本發(fā)明的液體噴射設(shè)備和液體噴射方法適用于按照以下各種用途的每個(gè)用途的液體噴射構(gòu)圖，例如標(biāo)準(zhǔn)的印刷、在特殊介質(zhì)上的印刷(膜、布織、金屬板等)、利用液體或骨狀導(dǎo)電材料進(jìn)行的布線、應(yīng)用于構(gòu)成天線圖形等；在處理用途中，例如黏合劑、密封劑的涂覆，等；用于生物和醫(yī)療應(yīng)用，例如醫(yī)藥的涂覆(例如在組合多種微量成分的情況下)、診斷基因的樣本等。用于在電路板上形成布線圖案的方法適用于形成電路板的圖案。權(quán)利要求1.一種液體噴射設(shè)備，包括:液體噴射頭，其具有用于從尖端部分噴射帶電溶液的小滴的噴嘴；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場從而噴射所述小滴；電壓施加單元，用于對所述噴射電極施加電壓；包括絕緣材料的載體，用于接收噴射的小滴；以及噴射氣氛調(diào)節(jié)單元，用于將經(jīng)受液體噴射頭的噴射的氣氛保持為9℃或9℃以上并且小于水的飽和溫度的露點(diǎn)。2.如權(quán)利要求1所述的液體噴射設(shè)備，其中噴嘴的內(nèi)徑是20微米或更小。3.如權(quán)利要求2所述的液體噴射設(shè)備，其中噴嘴的內(nèi)徑是8微米或更小。4.如權(quán)利要求3所述的液體噴射設(shè)備，其中噴嘴的內(nèi)徑是4微米或更小。5.—種液體噴射設(shè)備的液體噴射方法，所述液體噴射設(shè)備包括具有用于從尖端部分噴射帶電溶液的小滴的噴嘴的液體噴射頭，被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極，對其施加電壓以產(chǎn)生電場從而噴射所述小滴，以及電壓施加單元，用于對所述噴射電極施加電壓，所述方法包括以下步驟在一種氣氛中朝向包括絕緣材料的載體噴射小滴，所述氣氛被保持為9。C或更高并且小于水的飽和溫度的露點(diǎn)。6.如權(quán)利要求5所述的液體噴射方法，其中噴嘴的噴射開口的直徑是20微米或更小。7.如權(quán)利要求6所述的液體噴射方法，其中噴嘴的噴射開口的直徑是8微米或更小。8.如權(quán)利要求7所述的液體噴射方法，其中噴嘴的噴射開口的直徑是4微米或更小。9.一種用于形成電路板的布線圖案的方法，包括以下步驟使用如權(quán)利要求5到8中任何一個(gè)所述的液體噴射方法；以及在所述載體上噴射金屬膏的小滴。全文摘要一種液體噴射設(shè)備，包括具有用于從尖端部分噴射帶電溶液的小滴的噴嘴(51)的液體噴射頭(56)；被提供在所述液體噴射頭上的噴射電極(58)，對其施加電壓以產(chǎn)生電場從而噴射所述小滴；電壓施加單元(35)，用于對所述噴射電極施加電壓；包括絕緣材料的載體K，用于接收噴射的小滴；以及噴射氣氛調(diào)節(jié)單元(70)，用于保持經(jīng)受液體噴射頭的噴射的氣氛為9℃或9℃以上并且小于水的飽和溫度的露點(diǎn)。文檔編號B41J2/14GK101386226SQ20081021028公開日2009年3月18日申請日期2004年7月29日優(yōu)先權(quán)日2003年8月8日發(fā)明者山本和典,巖下廣信,村田和廣,西尾茂申請人:柯尼卡美能達(dá)控股株式會社;獨(dú)立行政法人產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所