專利名稱：液滴噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出裝置，特別是涉及一種具有噴出液滴的描繪系統(tǒng)、對所噴出的液滴照射激光的光學系統(tǒng)的液滴噴出裝置，其中，也涉及用于形成布線圖案的液滴噴出裝置。
背景技術(shù)：
在采用液滴噴出技術(shù)形成金屬布線圖案的干燥及燒成工序中，存在著如何縮短工序時間、降低成本并節(jié)省能源等問題?，F(xiàn)狀是采用加熱板或潔凈烘箱(clean oven)，進行干燥及燒成，但由于工序耗時長，存在成本方面及能源方面的課題。因此，提出了一種在通過液滴噴出形成金屬布線圖案后，采用激光進行干燥及燒成的工序。
在專利文獻1中，提出了一種在基板上將導電性材料噴出到工件上來描繪導電層，并在所描繪的上述導電層上通過燈光或激光進行加熱處理的噴墨裝置。在該裝置中，分別設(shè)有噴出導電性材料的噴墨處理室、和進行燈光或激光照射的照射室。工件在噴墨處理室進行描繪處理之后，被運送到照射室，進行激光等的照射處理。
特開2004-241770號公報在專利文獻1的裝置中，由于噴出導電性材料的描繪系統(tǒng)和為了將用于干燥或燒成的燈光或激光照射到所噴出的導電性材料的光學系統(tǒng)是分別設(shè)置的，所以，很難正確管理與液滴噴出及激光照射相關(guān)的參數(shù)，例如從液滴彈落到工件之后到被激光照射所需的時間等。而且，在專利文獻1的裝置中，由于描繪系統(tǒng)和光學系統(tǒng)位于不同的基準面上，所以在校準所描繪的導電層與上述激光的照射點時，存在著費時的問題。另外，為了將工件從噴墨處理室運送到激光照射室，存在需要花費運送時間的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種液滴噴出裝置，該裝置容易管理與液滴噴出及激光照射相關(guān)的參數(shù)，并可準確、迅速地進行將液滴噴出到工件的描繪系統(tǒng)、和所噴出的液滴與激光點的定位。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，其特征在于，具有基臺；描繪系統(tǒng)，其包括將功能液以液滴形態(tài)噴出的液滴噴出頭、保持上述液滴噴出頭的滑架、保持描繪有上述液滴的工件的載物臺；光學系統(tǒng)，其包括輸出激光的光源、在上述光源與上述液滴之間構(gòu)成并使入射到該液滴的上述激光通過的光程，在上述基臺上，以該基臺上面作為共同的基準面構(gòu)筑上述描繪系統(tǒng)和上述光學系統(tǒng)，并且通過兩個系統(tǒng)的聯(lián)動控制進行圖案的描繪、定影。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，其特征在于上述光程包含相對上述載物臺從上方使上述激光入射到上述液滴的第一光程。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，其特征在于上述光程包含相對上述載物臺從斜方向使上述激光入射到上述液滴的第二光程。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，其特征在于上述光程包含相對上述載物臺從平行方向使上述激光入射到上述液滴的第三光程。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，具有保護上述液滴噴出頭免受上述激光影響的保護罩，上述保護罩側(cè)面，在進行上述第三光程的光程調(diào)整時，可作為激光點位置確認用的平面而使用。
在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，上述第一光程，可用于使激光照射到彈落在工件上的液滴。上述第二光程，可用于使激光照射到飛行中的液滴或彈落到工件上的液滴。上述第三光程，可用于使激光照射到剛噴出的液滴、飛行中的液滴或彈落到工件上的液滴。另外，上述光程，可通過在上述基臺上，配置于規(guī)定位置的多個透鏡等構(gòu)成。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，具有設(shè)置在上述基臺上，用于校準上述工件與上述描繪系統(tǒng)的第一電子相機；和用于校準上述描繪系統(tǒng)與上述光學系統(tǒng)的第二電子相機。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，在描繪過程中，上述滑架及上述液滴噴出頭相對上述基臺其位置被固定，通過移動上述載物臺來進行描繪。
在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，通過上述光程的激光所照射區(qū)域，沿著上述工件的移動方向，位于上述液彈落到上述工件的區(qū)域的前方。
在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，上述功能液包含電元件、光學元件或電光學元件的材料，上述裝置將上述液滴噴出到上述工件上后描繪規(guī)定的圖案，并通過對上述液滴照射激光使圖案定影，來制造設(shè)備。
在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，上述功能液含有導電性粒子，上述裝置將上述液滴噴出到上述工件上、描繪規(guī)定的圖案，并通過對上述液滴照射上述激光，使該液滴干燥、使上述導電性粒子燒結(jié)來形成布線圖案。
作為上述功能液，優(yōu)選使用在溶媒中分散有金屬微粒的功能液。在該方式中，上述激光除了對液滴進行干燥以外，例如，還用于布線的形成、或金屬微粒的燒結(jié)，而對液滴進行照射。另外，所謂電光學裝置是指包含發(fā)揮電作用、光學作用或電光學作用的元件的器件，舉例來說，就是半導體裝置、布線基板、或有機EL、液晶、場致發(fā)光、電泳等各種顯示裝置。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，用于形成電布線、金屬布線、有機EL元件、濾色器、光致抗蝕層、微透鏡陣列、電致發(fā)光元件、或生物物質(zhì)等功能元件的圖案。所使用的功能液，包含例如用于形成上述圖案的成分、與該成分適合的溶媒。
根據(jù)本發(fā)明，通過將描繪系統(tǒng)和光學系統(tǒng)設(shè)置在同一基準上，并通過兩個系統(tǒng)的聯(lián)動控制，可簡單確立描繪系統(tǒng)和光學系統(tǒng)的定位，由此可使激光準確地照射到噴出的液滴，從而，易于管理與液滴噴出及激光照射相關(guān)的參數(shù)。
另外，根據(jù)本發(fā)明，由于能夠使激光正確地照射到液滴，所以，在嚴密的定時，例如，在液滴剛從液滴噴出頭噴出之后、或剛到達工件之后、或在液滴飛行當中，會對液滴照射激光，使液滴干燥，從而，可縮小液滴的直徑和彈落直徑。


圖1是用于說明本發(fā)明的一實施例的液滴噴出裝置的控制構(gòu)造概略的框圖。
圖2是用于說明本發(fā)明的一實施例的液滴噴出裝置的構(gòu)成的外觀3是圖2主要部分的主視圖。
圖4是用于說明圖2所示的描繪系統(tǒng)及攝像系統(tǒng)的模式圖。
圖5是用于說明圖2所示的描繪系統(tǒng)及光學系統(tǒng)的模式圖。
圖6(A)～(D)是用于說明在圖2所示的液滴噴出裝置中采用第一光程的布線圖案形成方法的工序圖。
圖7(A)及(B)是用于說明在圖2所示的液滴噴出裝置中采用第二光程的布線圖案形成方法的工序圖。
圖8(A)及(B)是用于說明在圖2所示的液滴噴出裝置中采用第三光程的布線圖案形成方法的工序圖。
圖9(A)及(B)是用于說明在圖2所示的液滴噴出裝置中制作校準標記工序的工序圖，特別是用于說明使激光點與液滴噴出頭的定位工序的圖。
圖10(A)及(B)是用于說明在圖2所示的液滴噴出裝置中制作校準標記工序的工序圖，特別是，(A)是用于說明在工件上制造校準標記的工序的圖，(B)是用于說明使CCD相機識別校準標記的工序的圖。
圖11(A)及(B)是用于說明圖2所示的使用液滴噴出裝置的實驗結(jié)果的圖，是用于說明(A)是沒有激光照射的比較例，(B)是有激光照射的實施結(jié)果的圖。
圖12(A)及(B)是用于說明圖2所示的采用液滴噴出裝置的實驗結(jié)果的圖，(A)是液滴噴出量多的情況下金屬布線圖案的形成例，最右面的圖案是有激光照射的實施例，其他的是沒有激光照射的比較例，(B)是液滴噴出量少的情況下金屬布線圖案的形成例，上面的圖案是有激光照射的實施例，下面的圖案是沒有激光照射的比較例。
圖中1-液滴噴出裝置，2-基臺(防振臺)，2a-橋架(bridge)，3-描繪系統(tǒng)，4-光學系統(tǒng)，4a、4b、4c-第一～第三光程，5-攝像系統(tǒng)，31-液滴噴出頭，32-滑架，33-滑架用θ方向旋轉(zhuǎn)體，33-角度載物臺，34-滑架用Z軸方向移動體，35-滑架用進給方向移動體，3a-載物臺，3b-載物臺用θ方向旋轉(zhuǎn)體，3c-載物臺用進給方向移動體，3d-載物臺用掃描方向移動體，40-激光源，51-第一CCD相機(第一電子相機)，52-第一CCD相機用Z軸方向移動體，53-第二CCD相機(第二電子相機)，55-隔板，56-光束阻斷器(beam diffuser)，60-控制部，D-液滴，P-布線圖案，S-激光點
具體實施例方式
在本發(fā)明優(yōu)選的實施方式中，上述基臺是防振臺，將防振載物臺作為基準面，構(gòu)筑描繪系統(tǒng)及光學系統(tǒng)。另外，描繪系統(tǒng)及光學系統(tǒng)可采用周知的固定方式，例如，可采用螺栓螺母類、夾具類、焊接、粘結(jié)等方式安裝在基臺上。
以下，參照附圖對本發(fā)明的一個實施例進行說明。
圖1是用于說明本發(fā)明一個實施例的液滴噴出裝置的控制構(gòu)造概略的框圖。
參照圖1，本發(fā)明一個實施例的液滴噴出裝置的基本控制構(gòu)造，具有控制部60，其在基臺1上，將基臺1的上面作為共同的基準面，構(gòu)成包含液滴噴出頭31等(參照圖2)的描繪系統(tǒng)3、包含第一～第三光程等(參照圖2)對噴出的液滴乃至彈落到工件上的液滴(圖案)進行激光照射的光學系統(tǒng)4，并且，對液滴噴出、激光照射的定時、液滴噴出的位置、激光照射位置進行整體控制，通過兩個系統(tǒng)(描繪系統(tǒng)3及光學系統(tǒng)4)的聯(lián)動控制進行圖案描繪和定影；攝像系統(tǒng)5，其由控制部60控制，對描繪系統(tǒng)3和光學系統(tǒng)4進行校準，以及確保描繪系統(tǒng)3與彈落有液滴并進行圖案描繪和定影的工件W的校準。另外，控制部60可由微型計算機構(gòu)成，從描繪系統(tǒng)3、光學系統(tǒng)4以及攝像系統(tǒng)5接收傳感器信號、圖像信號等，并輸出各種驅(qū)動控制信號，對這些系統(tǒng)進行聯(lián)動控制。
圖2是用于說明本發(fā)明的一個實施例的液滴噴出裝置構(gòu)造的外觀圖。圖3是圖2主要部分的主視圖。參照圖2及圖3，本發(fā)明的一個實施例的液滴噴出裝置1，包括基臺2、描繪系統(tǒng)3、光學系統(tǒng)4、攝像系統(tǒng)5而構(gòu)成。
基臺2是防振臺。在基臺2上，以基臺2的上面作為基準面，構(gòu)筑有描繪系統(tǒng)3、光學系統(tǒng)4、以及攝像系統(tǒng)5?；_2上，在圖2中左側(cè)配置包含描繪系統(tǒng)3的實驗區(qū)域，在同圖右側(cè)配置包含光學系統(tǒng)4的激光盒區(qū)域，實驗區(qū)域與激光盒區(qū)域由隔板55隔開，在描繪系統(tǒng)3的旁邊配置有校準用的攝像系統(tǒng)5。
描繪系統(tǒng)3具有液滴噴出頭31，使功能液以液滴D的形態(tài)噴出；滑架32，保持液滴噴出頭31；載物臺3a，保持描繪有上述液滴的工件W。液滴噴出頭31通過未圖示的保護罩的保護免受光學系統(tǒng)4所輸出的激光的照射。保護罩側(cè)面，在后述的平行式第三光程4c進行光程調(diào)整時可作為激光點位置確定用的平面而使用。
描繪時(通過連續(xù)噴出液滴形成圖案時)，液滴噴出頭31一側(cè)的機構(gòu)及光學系統(tǒng)4是固定的，載物臺3a一側(cè)的機構(gòu)向掃描軸方向移動。在載物臺3a移動方向的前方，有光學系統(tǒng)4輸出的激光點區(qū)域。
通過光學系統(tǒng)4以基臺(防振臺)2的上面作為基準面而構(gòu)成，能夠以高精度形成激光程，與構(gòu)成在被驅(qū)動的部件上，例如，構(gòu)筑在滑架32上相比，由于不受驅(qū)動裝置的影響，所以，激光點位置穩(wěn)定。光學系統(tǒng)4具有輸出激光的光源S、和在光源S與液滴D之間形成并且入射到該液滴的上述激光所通過的第一～第三光程4a、4b、4c?？扇我膺x擇第一～第三光程4a、4b、4c，調(diào)整照射位置和照射角度，經(jīng)由這些光程，激光會照射到從液滴噴出頭31噴出的液滴。
第一光程4a，取液滴噴出頭31上空方向的路徑，可使激光相對載物臺3a以90度角(以90°為基準可調(diào)整角度)入射，對液滴進行照射。
第二光程4b，可使激光相對載物臺3a以45度角(以45°為基準可調(diào)整角度)入射，對液滴進行照射。從第二光程4b入射的激光點呈橢圓形，激光強度的分布狀態(tài)也有變化。
第三光程4c，穿過液滴噴出頭31與載物臺3a之間，使激光相對載物臺3a平行入射，可用于對剛噴出或飛行中的液滴照射激光。來自第三光程4c的激光，受到光束阻斷器56的阻擋。根據(jù)第三光程4c，通過在液滴飛行中通過激光程，可進行干燥工序。結(jié)果，液滴在彈落到工件之后的直徑與不采用該工序的情況相比變小。通過采用該工序可實現(xiàn)金屬線的細線化。
第一～第三光程4a、4b、4c，可以由在基臺2上配置在規(guī)定位置的反射鏡、透鏡、衍射光柵等其他光學元件形成。出于安全因素，優(yōu)選激光經(jīng)由快門進入描繪系統(tǒng)3所位于的實驗區(qū)域。另外，為了進行光程調(diào)整和用于干燥、燒成的激光強度判斷，優(yōu)選設(shè)置連鎖裝置。激光點的直徑通過調(diào)整光學元件可以改變，也可變更形狀，點的位置也可向掃描軸方向(圖3中的左右方向)調(diào)整。另外，點的位置還可向進給軸方向(圖3中的前后方向)調(diào)整。
圖4是用于說明圖2所示的描繪系統(tǒng)及攝像系統(tǒng)的模式圖。圖5是用于說明圖2所示的描繪系統(tǒng)及光學系統(tǒng)的模式圖。
參照圖4及圖5，圖2所示的描繪系統(tǒng)3由液滴噴出頭31一側(cè)的機構(gòu)、和保持工件W的載物臺3a一側(cè)的機構(gòu)構(gòu)成。
液滴噴出頭31一側(cè)的機構(gòu)包括附加在上述液滴噴出頭31及滑架32上、作為滑架用θ方向旋轉(zhuǎn)體的角度載物臺33；安裝有可向θ方向自由旋轉(zhuǎn)的角度載物臺33，在描繪前后被手動操作的滑架用Z軸方向移動體34；安裝有可向Z軸方向自由移動的移動體34的滑架用進給方向移動體35。移動體35可向進給方向自由移動地安裝在橋架2a上，橋架2a固定在圖2所示的基臺2上。移動體34在描繪前后通過手動而被操作。角度載物臺33，是在相對移動體34的安裝面前方具有假想的旋轉(zhuǎn)中心的載物臺，通過與數(shù)種噴頭安裝板組合使用，容易進行旋轉(zhuǎn)調(diào)整(0°～90°)。
另外，液滴噴出頭31通過經(jīng)由滑架32，向角度載物臺33半徑方向的外側(cè)突出配置，可防止當使激光程極度接近液滴噴出頭31而配置時，裝置所占有的區(qū)域會受到激光的干涉。
載物臺3a一側(cè)的機構(gòu)，從下方由進給軸移動機構(gòu)、掃描軸移動機構(gòu)、θ軸移動機構(gòu)構(gòu)成。詳細來說，載物臺3a一側(cè)的機構(gòu)包括附加在上述載物臺3a的載物臺用θ方向旋轉(zhuǎn)體3b、安裝有可向θ方向自由旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)體3b的載物臺用進給方向移動體3c、安裝有可向掃描方向自由移動的移動體3c的載物臺用掃描方向移動體3d。移動體3d可向掃描方向自由移動地安裝在圖2所示的基臺2上。這樣，通過在載物臺3a一側(cè)可向進給軸及掃描軸方向移動，在描繪過程中，可將液滴噴出頭31一側(cè)固定，結(jié)果，在描繪過程中，功能液的供給通路位置不變，使得功能液向液滴噴出頭31的供給穩(wěn)定。
圖2所示的攝像系統(tǒng)5包括為了取得工件W與描繪系統(tǒng)3的校準，即液滴彈落位置與工件的校準的第一CCD相機51；可向Z軸方向自由移動地安裝有第一CCD相機51的第一CCD相機用Z軸方向移動體52；用于取得描繪系統(tǒng)3與光學系統(tǒng)4的校準，即用于校準液滴彈落位置與經(jīng)過第一至第三光程4a、4b、4c照射到工件W的激光點S的第二CCD相機53。移動體52可向Z軸方向自由移動地安裝在滑架用進給方向移動體35上。
另外，以上說明的各種旋轉(zhuǎn)體及移動體，通過未圖示的電動機、直動機構(gòu)、蝸桿齒條式機構(gòu)等，進行適當?shù)尿?qū)動。
下面，對由以上說明的液滴噴出裝置進行的布線圖案的各種形成方法進行說明。
圖6(A)～圖6(D)是用于說明在圖2所示的液滴噴出裝置中采用第一光程的布線圖案形成方法的工序圖。根據(jù)該形成方法，將金屬微粒分散在溶媒中的功能液作為液滴從液滴噴出頭31噴出，激光經(jīng)由第一光程4a，相對工件W的表面從垂直方向入射。
參照圖6(A)，在載物臺3a上的工件W上，從液滴噴出頭31向垂直方向噴出液滴D，彈落到工件W上。
參照圖6(B)，載物臺3a向掃描方向移動，同時液滴D連續(xù)彈落到工件W上，形成未干燥及未燒成的圖案P。
參照圖6(C)，載物臺3a進一步向掃描方向移動，圖案P的一端在第一光程4a的正下方，即位于激光點S，被激光照射。
參照圖6(D)，載物臺3a更進一步向掃描方向移動，從圖案P的一端到另一端為止，被激光照射。由此，通過溶媒揮發(fā)干燥，將金屬微粒互相燒結(jié)而完成了圖案P。
圖7(A)及(B)是用于對圖2所示的液滴噴出裝置中采用第二光程的布線圖案形成方法進行說明的工序圖。根據(jù)該形成方法，將金屬微粒在溶媒中分散的功能液作為液滴從液滴噴出頭31噴出，激光經(jīng)由第二光程4b，相對工件W的表面從斜方向入射。
圖7參照(A)，在載物臺3a上的工件W上，從液滴噴出頭31噴出液滴D，彈落到工件W上的激光點S。同時，激光經(jīng)由第二光程4b照射到液滴D，使得液滴D中的溶媒揮發(fā)干燥，金屬微粒相互燒結(jié)。
參照圖7(B)，在載物臺3a向掃描方向移動的同時液滴D連續(xù)彈落在工件W的激光點S上，同時，激光經(jīng)由第二光程4b照射到液滴D，使得液滴D中的溶媒揮發(fā)干燥，金屬微粒相互燒結(jié)，從而形成圖案P。
圖8(A)及(B)是用于說明在圖2所示的液滴噴出裝置中采用第三光程的布線圖案形成方法的工序圖。
圖8參照(A)，激光經(jīng)由第三光程4c，照射在液滴噴出頭31與工件W之間。液滴噴出頭31以橫穿激光的方式噴出液滴D。液滴D，通過在飛行中受到激光照射，以溶媒蒸發(fā)使得液滴直徑變小的狀態(tài)彈落到工件W上。
參照圖8(B)，通過載物臺3a向掃描方向移動，液滴D連續(xù)彈落在工件W上，形成圖案P。根據(jù)該方法，由于功能液中的溶媒在空中蒸發(fā)，所以可形成更細微的圖案。
下面，在圖2所示的液滴噴出裝置中，對激光點與液滴噴出頭的定位工序進行說明。
圖9(A)及圖9(B)是用于說明在圖2所示的液滴噴出裝置中激光點與液滴噴出頭的定位工序的工序圖。
圖9參照(A)，作為工件W，將玻璃基板(玻璃半成品)通過真空吸附設(shè)置在載物臺3a上。將載物臺3a向進給軸方向移動，使校準標記形成位置與滑架32位置相吻合。
使數(shù)滴液滴從液滴噴出頭31噴出。在液滴D彈落到工件W之后，將載物臺3a向掃描軸方向移動(這時要把握移動量)，使彈落的滴液從滑架32的正下方露出，并將彈落的液滴D與激光點S一起放入激光點S確定用的第二CCD相機53的視野內(nèi)。以該狀態(tài)，例如進行第二光程4b等的激光程調(diào)整，來進行液滴D的彈落位置與激光點S的定位。在改變第二CCD相機53焦距倍率的同時，按順序進行粗調(diào)整和微調(diào)整。通過以上工序，完成了液滴噴出頭31與激光點S的校準，可使激光對從液滴噴出頭31的任意一個噴嘴噴出而形成的金屬布線進行照射。另外，通過改變激光的控制方法，可實現(xiàn)各種各樣的照射圖案。
下面，對工件(基板)的校準工序進行說明。
圖10(A)及圖10(B)是為了在圖2所示的液滴噴出裝置中對工件(基板)的校準工序進行說明的工序圖。
為了制作校準標記，使數(shù)滴液滴D從液滴噴出頭31噴出。激光也同時進行照射。在液滴D彈落到工件W之后，將載物臺3a向掃描軸方向移動，使彈落的液滴D位于激光點S。被激光照射的液滴D被干燥、燒成。重復以上的工序，將校準標記A在工件W的掃描方向制作2處。另外，根據(jù)需要，可以改變校準標記A的位置、數(shù)量、形狀。
將載物臺3a向進給軸方向移動，使制作完畢的校準標記A進入第一CCD相機51的視野下。將載物臺3a向掃描軸方向移動，使第一CCD相機51識別2處校準標記A的形狀，來登記標記形狀。標記登記后，就可以進行通常的基板校準。例如，在采用第一～第三激光程4a、4b、4c進行金屬布線的干燥、燒成工序之后，將工件W從載物臺3a拆下，即使在其他的地方進行作業(yè)之后，再次通過該液滴噴出裝置進行追加作業(yè)的情況下，也可以立即進行工件W的校準。
下面，說明采用圖2所示的液滴噴出裝置的實驗結(jié)果。
圖11(A)及圖11(B)是用于說明使用圖2所示的液滴噴出裝置的實驗結(jié)果的圖，是用于說明(A)為無激光照射的比較例，(B)為有激光照射的實施例的結(jié)果的圖。
將圖11(A)與圖11(B)進行比較，則可以明白通過激光照射可以抑制液滴彈落后的濡濕擴展。
圖12(A)及圖12(B)是用于說明使用圖2所示的液滴噴出裝置的實驗結(jié)果的圖，(A)是液滴噴出量多的情況下金屬布線圖案的形成例，最右面的圖案是有激光照射的實施例，其他的是沒有激光照射的比較例，(B)是液滴噴出量少的情況下金屬布線圖案的形成例，上面的圖案是有激光照射的實施例，下面的圖案是沒有激光照射的比較例。
從圖12(A)與圖12(B)可知，通過激光照射可以抑制膨脹和斷線的產(chǎn)生。
工業(yè)上的可利用性本發(fā)明，除了形成金屬布線的圖案外，還可以適用于在濾色器、立體造型中所使用的熱固化樹脂或紫外線固化樹脂、EL元件、微透鏡陣列、DNA或蛋白質(zhì)等生物物質(zhì)的圖案。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，具有基臺；描繪系統(tǒng)，其包括使功能液以液滴形態(tài)噴出的液滴噴出頭、保持所述液滴噴出頭的滑架、和保持描繪有所述液滴的工件的載物臺；光學系統(tǒng)，其包括輸出激光的光源、在所述光源與所述液滴之間構(gòu)成并使入射到該液滴的所述激光通過的光程，在所述基臺上，將該基臺上面作為共同的基準面構(gòu)筑所述描繪系統(tǒng)和所述光學系統(tǒng)，并且通過兩個系統(tǒng)的聯(lián)動控制進行圖案的描繪、定影。
2.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述光程包含相對所述載物臺從上方使所述激光入射到所述液滴的第一光程。
3.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述光程包含相對所述載物臺從斜方向使所述激光入射到所述液滴的第二光程。
4.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述光程包含相對所述載物臺從平行方向使所述激光入射到所述液滴的第三光程。
5.如權(quán)利要求4所述的液滴噴出裝置，其特征在于，具有保護所述液滴噴出頭免受所述激光照射的保護罩，所述保護罩側(cè)面，在進行所述第三光程的光程調(diào)整時，可作為激光點位置確認用的平面而使用。
6.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，具有設(shè)置在所述基臺上，用于校準所述工件與所述描繪系統(tǒng)的第一電子相機；和用于校準所述描繪系統(tǒng)與所述光學系統(tǒng)的第二電子相機。
7.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于在描繪過程中，所述滑架及所述液滴噴出頭相對所述基臺其位置被固定，通過移動所述載物臺來進行描繪。
8.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于通過所述光程的激光所照射的區(qū)域，沿著所述工件的移動方向，位于所述液滴彈落到所述工件的區(qū)域的前方。
9.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述功能液包含電元件、光學元件或電光學元件的材料，將所述液滴噴出到所述工件上、描繪規(guī)定的圖案，并通過對所述液滴照射所述激光使圖案定影，來制造器件。
10.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述功能液含有導電性粒子，將所述液滴噴出到所述工件、描繪規(guī)定的圖案，并通過對所述液滴照射所述激光，使該液滴干燥、使所述導電性粒子燒結(jié)而形成布線圖案。
全文摘要
本發(fā)明提供一種容易管理與液滴噴出及激光照射相關(guān)的參數(shù)，并可準確、迅速地進行將液滴噴到工件的描繪系統(tǒng)、所噴出的液滴與激光點的定位的液滴噴出裝置。具有基臺(防振臺)(2)；描繪系統(tǒng)(3)，其包括使功能液以液滴形態(tài)噴出的液滴噴出頭(31)、保持上述液滴噴出頭(31)的滑架(32)、保持描繪有液滴的工件W的載物臺(3a)；光學系統(tǒng)(4)，其包括輸出激光的光源(40)、在光源(40)與液滴之間構(gòu)成并使入射到液滴的激光通過的光程(4a、4b、4c)，在基臺(2)上，將基臺的上面作為基準面，共同構(gòu)筑描繪系統(tǒng)(3)與光學系統(tǒng)(4)，并通過描繪系統(tǒng)(3)與光學系統(tǒng)(4)的聯(lián)動控制進行圖案的描繪、定影。
文檔編號B41J3/00GK1891461SQ200610095698
公開日2007年1月10日 申請日期2006年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月29日
發(fā)明者實方崇仁 申請人:精工愛普生株式會社