專利名稱：壓電驅(qū)動器以及噴吐裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及壓電驅(qū)動器以及噴吐裝置，例如適用于燃料噴射用噴射器、噴墨打印機(jī)、或壓電諧振器、振蕩器、超音波電動機(jī)、超音波振動器、濾波器、或加速度傳感器、震性傳感器(knocking sensor)、以及AE傳感器等的壓電傳感器，特別涉及適宜利用在作為利用了擴(kuò)展振動、伸縮振動、厚度縱振動的打印頭的壓電驅(qū)動器以及噴吐裝置。
背景技術(shù)：
一直以來，作為利用了壓電陶瓷的制品，例如具有壓電驅(qū)動器、濾波器、壓電諧振器(包括振蕩器)、超音波振動器、超音波電動機(jī)、壓電傳感器等。其中，例如壓電驅(qū)動器，因為對電信號的響應(yīng)速度極高，為μsec級，所以一直被運用在半導(dǎo)體制造裝置的XY工作臺定位用壓電驅(qū)動器、或在噴墨打印機(jī)的打印頭中利用的壓電驅(qū)動器等。特別是，由于最近彩色打印機(jī)的高速化、低價化，便提高了對噴墨打印機(jī)等的噴墨用壓電驅(qū)動器的使用要求。
在這樣的壓電驅(qū)動器中使用了壓電元件。例如，提出了所謂的單態(tài)(Unimorph)型的壓電驅(qū)動器，其在作為陶瓷振動板起作用的陶瓷基板上依次設(shè)置第1電極層、壓電體層、第2電極層(例如，參照國際公開第2002/073710號小冊子)。
在所述壓電驅(qū)動器中，壓電元件(形變元件)，其構(gòu)成為由第1電極層和第2電極層夾持所述壓電體層。另外，作為所述陶瓷基板，例如可使用氧化鋯、氧化鋁、氧化鎂、氮化鋁、氮化硅等。還有，為了在這樣的陶瓷基板上粘接形變元件，一般，利用高溫(例如100℃以上)下固化的粘合劑。
但是，由于陶瓷基板和形變元件的線熱膨脹系數(shù)不同，存在著通過粘接時的加熱而使形變元件發(fā)生壓縮應(yīng)力，并且通過該壓縮應(yīng)力而顯著地降低形變元件的壓電特性的問題。
為了解決所述問題，提出了作為陶瓷振動板利用的陶瓷基板，由與構(gòu)成形變元件的壓電體層具有相同組成的壓電體所構(gòu)成的方案(特開2004-165650號公報)。
但是，特開2004-165650號公報所記載的壓電驅(qū)動器，雖然能夠降低壓縮應(yīng)力，但是存在著一旦反復(fù)驅(qū)動就令形變劣化的問題。因此，存在著在將該壓電驅(qū)動器運用在例如液體噴吐裝置等的情況下，液滴噴出變得不穩(wěn)定的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明，提供一種驅(qū)動耐久性優(yōu)異的壓電驅(qū)動器以及液體噴吐裝置。
本發(fā)明者，為了解決所述問題而反復(fù)精心研討的結(jié)果，獲得了以下的見解。即，為了獲得高的形變特性，利用壓電體的區(qū)域旋轉(zhuǎn)應(yīng)變(domain rotation distortion)是不可缺的。這樣，為了獲得較大的區(qū)域旋轉(zhuǎn)應(yīng)變，利用變晶相境界(MPBMorphotropic boundary)近旁的菱面體晶側(cè)的組成，或是添加3價或5價以上的施主成分的方法皆是有效的。
但是，如此較大的區(qū)域旋轉(zhuǎn)應(yīng)變的壓電體，易于產(chǎn)生由應(yīng)力引起的結(jié)晶取向性的變化。因此，如果將與壓電體相同組成的基板作為陶瓷振動板進(jìn)行利用而反復(fù)進(jìn)行形變，則由于對陶瓷振動板施加了應(yīng)力，其結(jié)晶相的取向狀態(tài)發(fā)生變化。其結(jié)果，壓電元件(形變元件)的約束狀態(tài)發(fā)生變化而使形變劣化。
再有，在同時將陶瓷振動板和形變元件進(jìn)行燒成時，為了降低由其熱膨脹系數(shù)差引起的熱應(yīng)力，優(yōu)選陶瓷振動板與構(gòu)成形變元件的壓電體層為相同組成的壓電體。
但是重要的是，為了兼顧形變和耐久性兩者，將進(jìn)行形變的第2壓電陶瓷作成區(qū)域旋轉(zhuǎn)成分多的壓電體，而且為了抑制結(jié)晶取向而將第1壓電陶瓷作成區(qū)域旋轉(zhuǎn)少的壓電體。
本發(fā)明的壓電驅(qū)動器是基于上述見解而完成，由通過第1壓電陶瓷構(gòu)成的陶瓷振動板、和在該陶瓷振動板的表面上設(shè)置的多個形變元件構(gòu)成，該形變元件，由通過第2壓電陶瓷構(gòu)成的壓電體層、以及夾持該壓電體層的共同電極和驅(qū)動電極而構(gòu)成，所述第1壓電陶瓷和所述第2壓電陶瓷，其主成分幾乎相同，而壓電特性不同。
本發(fā)明的液體噴吐裝置，將上述壓電驅(qū)動器接合在流路部件上，該流路部件在內(nèi)部具備液體加壓室、和連通該液體加壓室的噴嘴孔，由所述壓電驅(qū)動器對填充在所述液體加壓室的液體進(jìn)行加壓，而從所述噴嘴孔噴出液滴。
根據(jù)本發(fā)明，通過使第1壓電陶瓷和第2壓電陶瓷的主成分幾乎相同，而使壓電特性相異，則可以實現(xiàn)驅(qū)動耐久性優(yōu)異的壓電驅(qū)動器以及噴吐裝置。
還有，雖然優(yōu)選第1以及第2壓電陶瓷由相同組成的壓電陶瓷構(gòu)成，但是并非需要兩者的組成完全一致；在能夠達(dá)到本發(fā)明的效果即抑制形變劣化而驅(qū)動耐久性優(yōu)異的范圍內(nèi)，也可以讓該組成不同。
本發(fā)明的其他目的以及優(yōu)點，可從以下的說明變得清晰。


圖1是表示有關(guān)本發(fā)明一實施方式的壓電驅(qū)動器的截面圖。
圖2(a)是表示有關(guān)本發(fā)明一實施方式的液體噴吐裝置的截面圖；(b)是其俯視圖。
具體實施例方式
(壓電驅(qū)動器)以下，參照附圖對本發(fā)明的壓電驅(qū)動器一實施方式詳細(xì)進(jìn)行說明。圖1是表示本實施方式的壓電驅(qū)動器的截面圖。如該圖所示，該壓電驅(qū)動器1，在陶瓷振動板2的表面設(shè)置多個形變元件7。各形變元件7，通過依次層疊共同電極4、壓電體層5以及驅(qū)動電極6而構(gòu)成，并且按由共同電極4和驅(qū)動電極6夾持壓電體層5的方式進(jìn)行配置。
在共同電極4接地的同時，從外部對各驅(qū)動電極6施加電壓。由此，通過在共同電極4和驅(qū)動電極6之間施加的電壓而使壓電體層5形變。
該壓電驅(qū)動器1，其陶瓷振動板2由第1壓電陶瓷構(gòu)成，其壓電體層5由第2壓電陶瓷構(gòu)成，而且，第1壓電陶瓷以及第2壓電陶瓷由主成分幾乎相同而壓電特性不同的材料構(gòu)成。由此，成為驅(qū)動耐久性優(yōu)異的壓電驅(qū)動器1。
在此，上述壓電性陶瓷是指表現(xiàn)出壓電性的陶瓷，例如可以舉出鉍(Bi)層狀化合物或鎢青銅型(tungsten bronze)結(jié)構(gòu)物質(zhì)、鈮(Nb)酸堿金屬化合物的鈣鈦礦(perovskite)結(jié)構(gòu)化合物、含有鉛(Pb)的鋯鈦酸鉛(PZT)或含有鈦酸鉛等的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)化合物等。在這些當(dāng)中，含有鉛的鋯鈦酸鉛或鈦酸鉛適宜于提高與電極的濕潤性、以及提高與電極的密接強度。
特別是，鈦酸鉛、鈦酸鋇在獲得高約束力方面有效。即，由于是作為A位置(site)構(gòu)成元素含有Pb、而且作為B位置構(gòu)成元素含有Zr以及/或Ti的結(jié)晶，特別是鋯鈦酸鉛系列化合物，具有更高的d常數(shù)，可以獲得較大形變的壓電燒結(jié)體，因而優(yōu)選。
為了讓第1壓電陶瓷和第2壓電陶瓷的主成分幾乎相同，而壓電特性不同，例如為了減少熱膨脹系數(shù)差而讓兩者的主成分相同，通過改變添加物而使壓電特性相異。再有，通過相同的方法，能夠?qū)⒌?壓電陶瓷作成區(qū)域旋轉(zhuǎn)成分多的壓電體。
所述第1壓電陶瓷以及第2壓電陶瓷，作為主成分優(yōu)選包含Pb、Zr、Ti。具體而言，在第1壓電陶瓷中優(yōu)選采用PZT，而第2壓電陶瓷中對于主成分的PZT，優(yōu)選至少含有從Sr、Ba、Ni、Sb、Nb、Zn、Yb以及Te中選出的一種。由此，能夠獲得更加穩(wěn)定的壓電驅(qū)動器1。還有，與此相反，也可以在第2壓電陶瓷中利用PZT；并且針對PZT在第1壓電陶瓷中對于主成分的PZT，至少含有從Sr、Ba、Ni、Sb、Nb、Zn、Yb以及Te中選出的一種。
再有，例如作為副成分，能夠示例出將Pb(Zn1/3Sb2/3)O3以及Pb(Ni1/2Te1/2)O3進(jìn)行固溶而獲得的物質(zhì)。
特別是，作為A位置構(gòu)成元素，進(jìn)一步優(yōu)選含有堿金屬類元素。作為堿金屬類元素，例如優(yōu)選Ba、Sr，可獲得高形變。如果含有0.02～0.08mol鋇(Ba)、0.02～0.12mol鍶(Sr)，則正方晶組為主體的組成時，有利于獲得較大的形變。
例如，由Pb1-x-ySrxBay(Zn1/3Sb2/3)a(Ni1/2Te1/2)bZr1-a-b-cTicO3+αwt％Pb1/2NbO3(0≤x≤0.14、0≤y≤0.14、0.05≤a≤0.1、0.002≤b≤0.01、0.44≤c≤0.50、α＝0.1～1.0)所表示。
優(yōu)選第1壓電陶瓷的Zr/Ti比為0.96～0.81，第2壓電陶瓷的Zr/Ti比為1.17～0.92，而且第1壓電陶瓷的Zr/Ti比與第2壓電陶瓷的Zr/Ti比相比要小。由此，能夠獲得較大的約束力。
第1壓電陶瓷的晶格常數(shù)比c1/a1為1.013～1.030，優(yōu)選為1.015～1.017；第2壓電陶瓷的晶格常數(shù)比c2/a2為1.01～1.016，優(yōu)選為1.011～1.013；而且優(yōu)選c1/a1的值比c2/a2的值要小。由此，能夠與壓電體層在熱膨脹上一致。還有，所述c1/a1以及c2/a2，例如如后述，可以通過X射線衍射(XRDX-ray diffraction)求得a軸的晶格常數(shù)和c軸的晶格常數(shù)的比率。
如上述那樣，第1以及第2壓電陶瓷的壓電特性不同，但是具體而言，優(yōu)選第1壓電陶瓷的壓電特性為第2壓電陶瓷的壓電特性的75％以下、特別是為70％以下。所謂壓電特性較低，是指區(qū)域旋轉(zhuǎn)較少；而成為約束力更高的壓電陶瓷。作為所述壓電特性的下限值，可為40％以上。還有，所述壓電特性是指壓電特性d31。該壓電特性d31，例如如后述，能夠通過利用了阻抗分析器的諧振法求取。還有，在壓電特性d31的值為“-”的情況下，該“-”表示方向；其絕對值高的一方，特性良好。
為了同時燒成進(jìn)行制作，共同電極4由包含銀為87體積％以上，優(yōu)選為90體積％以上，更優(yōu)選為93體積％以上的銀鈀合金構(gòu)成，并且將燒成后的壓電驅(qū)動器1的內(nèi)部所產(chǎn)生的剩余應(yīng)力的大小控制為100MPa以下。由此，能夠期待降低由電極的收縮引起的壓縮應(yīng)力。
為了抑制共同電極4的凝集，優(yōu)選共同電極4的平均粒子直徑為0.1～5.0μm。
為了提高密接強度、降低剩余應(yīng)力而使壓電特性d31更加穩(wěn)定，優(yōu)選共同電極4包含壓電性陶瓷。共同電極4在將銀鈀合金的總量設(shè)為100體積％時，以10～60體積％、優(yōu)選18～50體積％、更優(yōu)選20～30體積％之比包含壓電性陶瓷。由此，不僅能夠提高共同電極4和壓電體層5的密接強度，而且降低剩余應(yīng)力。
所述壓電性陶瓷，為了將剩余應(yīng)力均勻化，優(yōu)選其平均結(jié)晶粒子直徑為0.3～1.0μm。為了抑制缺陷，進(jìn)一步優(yōu)選為0.4～0.6μm。由此，即使在發(fā)生了剩余應(yīng)力的情況下，也由于使各形變元件7上所產(chǎn)生的剩余應(yīng)力均勻化而離散較小，則對壓電特性d31的影響變小。
優(yōu)選在構(gòu)成極化前的第2壓電陶瓷的結(jié)晶的a軸方向上取向的a軸取向度為50％以上。由此，能夠?qū)⑿巫冊?涉及的壓縮應(yīng)力變小。優(yōu)選所述a軸取向度為75％以下。所述取向，例如可以通過XRD(X線衍射法)的結(jié)晶結(jié)構(gòu)解析來求得。
接著，對壓電驅(qū)動器1的制造方法，作為一例對將PZT作為壓電陶瓷利用的情況進(jìn)行說明。首先，作為原料，準(zhǔn)備作為第1壓電陶瓷粉末的PZT粉末；和作為第2壓電陶瓷粉末的所述的PZT類材料的1種。然后，對這些壓電陶瓷粉末添加適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)粘合劑(binder)而成形為帶狀，從而制作印刷電路基板(green sheet)。
對制作的印刷電路基板的一部分涂布作為共同電極的Ag-Pd膏劑并進(jìn)行層疊，且在10～50Mpa的壓力下進(jìn)行加壓之后，切割為期望的形狀。而且，在大致400℃下對此進(jìn)行脫粘合劑處理，之后進(jìn)行燒成。燒成后，在表面形成期望的驅(qū)動電極并進(jìn)行極化，獲得作為層疊壓電體的壓電驅(qū)動器1。
還有，優(yōu)選燒結(jié)前生密度為4.5g/cm2以上。由此，則可在更低的溫度下進(jìn)行燒成。如果進(jìn)一步提高生密度，則也易于抑制Pb的蒸發(fā)。
(液體噴吐裝置)本發(fā)明的壓電驅(qū)動器，如上述已說明那樣，因為在一基板(陶瓷振動板)上備有多個形變元件，所以能夠適宜在液體噴吐裝置中利用。以下，參照附圖對將本發(fā)明的壓電驅(qū)動器在液體噴吐裝置中利用的一實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖2(a)是表示有關(guān)本發(fā)明一實施方式的液體噴吐裝置的截面圖；(b)是其俯視圖。如圖2(a)、(b)所示，該液體噴吐裝置，將壓電驅(qū)動器11粘接在流路部件13而構(gòu)成。流路部件13，在其內(nèi)部具備液體加壓室13a、和與液體加壓室13a連通的噴嘴孔18。
因而，通過壓電驅(qū)動器11對填充在液體加壓室13a中的液體進(jìn)行加壓，并使液滴從噴嘴孔18噴出。這樣的液體噴吐裝置，例如能夠適宜作為在利用噴墨方式的記錄裝置中使用的噴墨用打印頭中利用。
具體而言，壓電驅(qū)動器11構(gòu)成為在陶瓷振動板12上依次形成共同電極14、壓電體層15，進(jìn)一步在壓電體層15的表面形成多個驅(qū)動電極16，由此在陶瓷振動板12之上形成多個具有由共同電極14和驅(qū)動電極16夾持壓電體層15的結(jié)構(gòu)的形變元件17。
該壓電驅(qū)動器11與流路部件13相連接。該連接是利用粘合劑等連接在流路部件13上，以使陶瓷振動板12與液體加壓室13a的空間直接抵接。這時，構(gòu)成形變元件17的每一個驅(qū)動電極16，配置在液體加壓室13a的正上方。于是，對液體加壓室13a填充墨液。
在所述狀態(tài)中，如果通過驅(qū)動電路對共同電極14和驅(qū)動電極16之間施加電壓，則對與施加電壓而形變的形變元件17對應(yīng)的液體加壓室13a內(nèi)的墨液進(jìn)行加壓。于是，通過在流路部件13的底面開口的噴嘴孔18噴出墨滴。
如果將本發(fā)明的層疊壓電體的壓電驅(qū)動器作為上述那樣的打印頭的電驅(qū)動器利用，則能夠利用低價IC而實現(xiàn)打印頭。因為該打印頭形變特性優(yōu)異，所以使高速、高精度的噴出成為可能，并且能夠提供適用于高速打印的打印頭。再有，如果將該打印頭搭載在打印機(jī)上，例如具備了對所述打印頭供給墨液的墨液槽、和用于對記錄紙進(jìn)行打印的記錄紙輸送機(jī)構(gòu)的打印機(jī)，則與以往相比易于達(dá)到高速、高精度的印刷。
以下，舉出實施例而進(jìn)一步對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本發(fā)明并非限定于以下的實施例。
(壓電驅(qū)動器的制作)首先，作為原料，準(zhǔn)備含有純度99％以上的鋯鈦酸鉛(PZT)的壓電陶瓷粉末。然后，利用該壓電陶瓷粉末，通過燒成而制作成為如表1所示的第1壓電陶瓷以及第2壓電陶瓷的陶瓷印刷電路基板。具體而言，在所述壓電陶瓷粉末中，作為水性粘合劑添加丁基異丁烯酸鹽(butyl-methacrylate)、作為分散劑添加聚羧酸銨鹽(poly-carboxylicammonium)、作為溶劑添加異丙醇和純水而進(jìn)行混合，獲得混合漿(slurry)。通過刮槳刀(doctor blade)法將該混合漿涂布在載體膜(carrierfilm)上，制作厚度30μm的薄片形狀的各陶瓷印刷電路基板。
將所述獲得的各印刷電路基板以表1所示的組合進(jìn)行利用，來制作各壓電驅(qū)動器；具體而言，將共同電極膏劑以4μm的厚度印刷在陶瓷振動板用的印刷電路基板(第1壓電陶瓷)的表面而形成共同電極。進(jìn)一步，在將印刷了共同電極的面朝向上方的陶瓷振動板用的印刷電路基板上，層疊壓電體層用的印刷電路基板，并進(jìn)行加壓處理而獲得層疊體。
將該層疊體進(jìn)行脫脂處理之后，在980℃、氧氣99％以上的環(huán)境中保持4小時并進(jìn)行燒結(jié)，制作由圖1所示的壓電體層5、陶瓷振動板2、以及共同電極4構(gòu)成的層疊體。接著，在壓電體層5的表面如下形成驅(qū)動電極6。即，通過絲網(wǎng)印刷涂布了Au膏劑。并在600～800℃、大氣環(huán)境中對Au膏劑進(jìn)行燒結(jié)且形成驅(qū)動電極6。
最后，利用焊錫將引線連接在驅(qū)動電極6，從而獲得如圖1所示的各壓電驅(qū)動器(表1中的樣品No.1～12)。
表示壓電驅(qū)動器的物性的晶格常數(shù)比c/a以及壓電常數(shù)d31，分別如以下進(jìn)行測量。其測量結(jié)果在表1中表示。
(晶格常數(shù)比c/a)各壓電陶瓷層的晶格常數(shù)比c/a，通過XRD而求取a軸的晶格常數(shù)和c軸的晶格常數(shù)的比率。
(壓電常數(shù)d31)對所述層疊體(燒結(jié)后)的表背面進(jìn)行Au蒸鍍，并且將此加工為3mm×12mm的大小。接著，介由表背面的Au電極將4kv/mm的直流電壓施加1分鐘而進(jìn)行極化處理。通過利用阻抗分析器的共振法來求得該樣品的d31。
(評價)對所述獲得的各壓電驅(qū)動器進(jìn)行驅(qū)動耐久性的評價。評價方法如下所示，而且其結(jié)果在表1中表示。
(評價方法)
將各壓電驅(qū)動器加工為8mm×8mm的大小而制作了試驗片。然后，將該試驗片粘合在外形為10mm×10mm而開設(shè)了4mm×4mm的孔的金屬基板上，制成形變測量用樣品。然后，在共同電極和驅(qū)動電極間的厚度方向施加3kv/mm的直流電壓5分鐘而進(jìn)行極化。
接著，在2kv/mm的電壓下進(jìn)行形變。該形變采用多普勒(Doppler)形變儀進(jìn)行測量。50小時形變之后測量其形變而求得形變的劣化量，并且在表1中作為“耐久性劣化率(％)”表示。還有，表1中的“形變”，意味30分后的形變。
表1

*表示本發(fā)明的范圍外的樣品。
PZT鋯鈦酸鉛PT鈦酸鉛BT鈦酸鋇表1表明，本發(fā)明的樣品No.2～12，其形變?yōu)?3nm以上；50小時耐久后的耐久性劣化率為5％。
另一方面，作為第1壓電陶瓷和第2壓電陶瓷相同的本發(fā)明的范圍外的樣品No.1其劣化率大致10％以上。由該結(jié)果可知，本發(fā)明的樣品No.2～12，其驅(qū)動耐久性優(yōu)異。
權(quán)利要求
1.一種壓電驅(qū)動器，由通過第1壓電陶瓷構(gòu)成的陶瓷振動板、和在該陶瓷振動板的表面上設(shè)置的多個形變元件構(gòu)成，該形變元件，由通過第2壓電陶瓷構(gòu)成的壓電體層、以及夾持該壓電體層的共同電極和驅(qū)動電極而構(gòu)成，所述第1壓電陶瓷和所述第2壓電陶瓷，其主成分幾乎相同，而壓電特性不同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動器，其中，所述第1壓電陶瓷的壓電特性，為所述第2壓電陶瓷的壓電特性的75％以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動器，其中，所述第1壓電陶瓷和所述第2壓電陶瓷，作為主成分含有Pb、Zr、Ti。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電驅(qū)動器，其中，所述第1壓電陶瓷以及第2壓電陶瓷，作為主成分含有鋯鈦酸鉛；所述第2壓電陶瓷至少含有從Sr、Ba、Ni、Sb、Nb、Zn、Yb以及Te中挑選出的一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動器，其中，所述第1壓電陶瓷的晶格常數(shù)比c1/a1為1.013～1.030，所述第2壓電陶瓷的晶格常數(shù)比c2/a2為1.01～1.016，而且c1/a1的值比c2/a2的值要小。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動器，其中，所述第1壓電陶瓷的Zr/Ti比為0.96～0.81，所述第2壓電陶瓷的Zr/Ti比為1.17～0.92，而且所述第1壓電陶瓷的Zr/Ti比與所述第2壓電陶瓷的Zr/Ti比相比要小。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動器，其中，在構(gòu)成極化前的所述第2壓電陶瓷的結(jié)晶的a軸方向上取向的a軸取向度為50％以上。
8.一種液體噴吐裝置，將權(quán)利要求1所述的壓電驅(qū)動器接合在流路部件上，該流路部件在內(nèi)部具備液體加壓室、和連通該液體加壓室的噴嘴孔，由所述壓電驅(qū)動器對填充在所述液體加壓室的液體進(jìn)行加壓，而從所述噴嘴孔噴出液滴。
全文摘要
提供一種壓電驅(qū)動器，由通過第1壓電陶瓷構(gòu)成的陶瓷振動板、和在該陶瓷振動板的表面上設(shè)置的多個形變元件構(gòu)成，該形變元件，由通過第2壓電陶瓷構(gòu)成的壓電體層、以及夾持該壓電體層的共同電極和驅(qū)動電極而構(gòu)成，所述第1壓電陶瓷和所述第2壓電陶瓷，其主成分幾乎相同，而壓電特性不同。這樣，能夠獲得驅(qū)動耐久性優(yōu)異的壓電驅(qū)動器。
文檔編號B41J2/14GK1838443SQ20061006808
公開日2006年9月27日 申請日期2006年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月25日
發(fā)明者由宇喜裕 申請人:京瓷株式會社