專(zhuān)利名稱(chēng)：噴嘴孔的圖像識(shí)別方法及與其有關(guān)的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及，對(duì)以噴墨頭為代表的液滴噴出頭的噴嘴孔進(jìn)行撮像、并對(duì)其進(jìn)行圖像識(shí)別等的噴嘴孔的圖像識(shí)別方法，及利用此方法的液滴噴出頭的位置修正方法，噴嘴孔的檢查方法，噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置及具有此裝置的液滴噴出裝置，電光裝置的制造方法，電光裝置及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
在應(yīng)用噴墨方式的濾色片的成膜裝置等、從功能液供給系統(tǒng)向滑架(Carriage)上裝載的液滴噴出頭供給功能液的液滴噴出裝置中，由于功能液的性質(zhì)等因素使液滴噴出頭自身的壽命變短，需要更換。可是在更換時(shí)，要穩(wěn)定地維持相對(duì)于滑架的高位置精度(裝配精度)，作為機(jī)械精度有其極限。
因此，譬如，利用特開(kāi)2001-304819號(hào)公報(bào)(第3頁(yè)，圖1)所示的噴嘴孔的圖像識(shí)別方法、在裝配在滑架上后，由識(shí)別照相機(jī)進(jìn)行頻閃觀測(cè)撮像、對(duì)該噴嘴孔位置進(jìn)行圖像識(shí)別，最后對(duì)液滴噴出頭的位置誤差采取數(shù)據(jù)修正措施。在此情況下，考慮到精度、通過(guò)滑架將液滴噴出頭移動(dòng)至識(shí)別照相機(jī)的固定位置、對(duì)最外端的2個(gè)噴嘴孔進(jìn)行撮像。
這種現(xiàn)有技術(shù)的方法，是在液滴噴出頭尚未填充功能液的狀態(tài)下進(jìn)行的，在數(shù)據(jù)修正后、液滴噴出頭與功能液供給系統(tǒng)連接。但這時(shí)，由于用手工作業(yè)給液滴噴出頭中的適配器安裝配管部件，有可能稍稍偏離液滴噴出頭的裝配位置。因此實(shí)際上，從確認(rèn)的角度出發(fā)，還需再次進(jìn)行圖像識(shí)別等作業(yè)，一連串的更換作業(yè)繁雜而缺乏迅速性。
考慮到這樣的問(wèn)題，本來(lái)，在液滴噴出頭連接功能液供給系統(tǒng)之后、進(jìn)行噴嘴孔的圖像識(shí)別作業(yè)為好?？墒牵坏┮旱螄姵鲱^處在功能液填充的狀態(tài)，由于液滴噴出頭移動(dòng)的慣性和功能液供給系統(tǒng)的配管內(nèi)的壓力變化，噴嘴孔的彎月面(Meniscus)(噴嘴孔的噴出側(cè)形成的功能液表面)的凹凸程度不穩(wěn)定，其結(jié)果使撮像圖像產(chǎn)生照射斑紋、影響到圖像識(shí)別精度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種在填充有功能液的狀態(tài)下，能對(duì)噴嘴孔進(jìn)行高精度的圖像識(shí)別等的噴嘴孔圖像識(shí)別方法、及利用此方法的液滴噴出頭的位置修正方法，噴嘴孔的檢查方法，噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置及具有該裝置的液滴噴出裝置，和電光裝置的制造方法，電光裝置及電子設(shè)備。
本發(fā)明的噴嘴孔的圖像識(shí)別方法，對(duì)處于填充功能液狀態(tài)的液滴噴出頭噴嘴孔進(jìn)行撮像、并對(duì)其進(jìn)行圖像識(shí)別，其特征在于與向液滴噴出頭加載的、使噴嘴孔的彎月面作單周期微振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)波形同步、對(duì)噴嘴孔進(jìn)行撮像。
在此情況下，優(yōu)選對(duì)噴嘴孔用頻閃觀測(cè)發(fā)光、進(jìn)行撮像。
同樣，本發(fā)明的噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置，對(duì)處于填充功能液狀態(tài)的液滴噴出頭的噴嘴孔進(jìn)行撮像、并在對(duì)其進(jìn)行圖像識(shí)別，其特征在于具有對(duì)噴嘴孔照射撮像光的頻閃觀測(cè)器，對(duì)頻閃觀測(cè)器照射的噴嘴孔進(jìn)行撮像的識(shí)別照相機(jī)，向液滴噴出頭加載使噴嘴孔的彎月面作單周期微振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)波形的頭驅(qū)動(dòng)器，和與向液滴噴出頭加載驅(qū)動(dòng)波形同步、使頻閃觀測(cè)器發(fā)光的頻閃觀測(cè)器驅(qū)動(dòng)器。
根據(jù)這些構(gòu)成，由于液滴噴出頭加載的驅(qū)動(dòng)波形不使功能液從噴嘴孔噴出，并且由于噴嘴孔的彎月面作單周期微振動(dòng)、彎月面向規(guī)定的位置轉(zhuǎn)移，用自然光或由頻閃觀測(cè)器對(duì)此狀態(tài)的噴嘴孔進(jìn)行照射、撮像。
這樣，由于能夠在同一條件下對(duì)噴嘴孔進(jìn)行撮像、所以能夠通過(guò)預(yù)先設(shè)置譬如考慮到在彎月面上有一定照射斑紋的圖像處理過(guò)程，在撮像后的圖像處理中、彎月面的照射斑紋能被適當(dāng)吸收、能正確地識(shí)別噴嘴孔?；蛘撸ㄟ^(guò)使“同一條件”為理應(yīng)可避免照射斑紋的彎月面的狀態(tài)，能排除彎月面的影響，無(wú)需復(fù)雜的圖像處理、就能正確地識(shí)別噴嘴孔。同時(shí)，通過(guò)頭驅(qū)動(dòng)器，可以不必生成用于頻閃觀測(cè)器發(fā)光的專(zhuān)用的定時(shí)數(shù)據(jù)(Timing data)。
在此情況下，優(yōu)選由驅(qū)動(dòng)波形、在將彎月面引入噴嘴孔內(nèi)部的時(shí)機(jī)進(jìn)行撮像。
同樣，優(yōu)選驅(qū)動(dòng)波形為將彎月面引入噴嘴孔內(nèi)部的波形，頻閃觀測(cè)器驅(qū)動(dòng)器，在彎月面引入噴嘴孔內(nèi)部的時(shí)機(jī)、使頻閃觀測(cè)器發(fā)光。
根據(jù)此構(gòu)成，不會(huì)產(chǎn)生所謂彎月面的照射斑紋的問(wèn)題。這樣，與液滴噴出頭移動(dòng)無(wú)關(guān)，能完全排除彎月面的影響，由簡(jiǎn)單的圖像處理就能對(duì)噴嘴孔進(jìn)行正確而迅速地識(shí)別。另外，能容易檢查出噴嘴孔噴出側(cè)部位有無(wú)附著的異物(譬如功能液中的溶劑固化物)，也能用于檢查噴出狀態(tài)不良的噴嘴。
在此情況下，優(yōu)選識(shí)別照相機(jī)固定在對(duì)著液滴噴出頭的噴嘴面位置。
根據(jù)此構(gòu)成，能排除由移動(dòng)導(dǎo)致的識(shí)別照相機(jī)位置偏差，能對(duì)噴嘴孔的形狀準(zhǔn)確無(wú)誤地識(shí)別。
本發(fā)明液滴噴出頭的位置修正方法，其特征在于包括，利用上述的本發(fā)明的噴嘴孔圖像識(shí)別方法、對(duì)液滴噴出頭的噴嘴孔的位置進(jìn)行圖像識(shí)別的識(shí)別工序，和根據(jù)在識(shí)別工序中的識(shí)別結(jié)果、修正液滴噴出頭的位置數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)修正工序。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，使液滴噴出頭對(duì)工件作相對(duì)移動(dòng)、將功能液從噴嘴孔選擇性地噴出，其特征在于具有上述的本發(fā)明的噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置、和存儲(chǔ)液滴噴出頭的位置數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)手段，位置數(shù)據(jù)是根據(jù)，由噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置得到的噴嘴孔位置的圖像識(shí)別結(jié)果而修正的數(shù)據(jù)。
根據(jù)此構(gòu)成，譬如在液滴噴出裝置中更換液滴噴出頭時(shí)，采用上述噴嘴孔的圖像識(shí)別方法/裝置、對(duì)噴嘴孔位置進(jìn)行圖像識(shí)別，以使該噴嘴孔位置與設(shè)計(jì)目標(biāo)的位置(基準(zhǔn)位置)匹配的方式，根據(jù)圖像識(shí)別結(jié)果來(lái)修正位置數(shù)據(jù)。這樣，能高精度、迅速地進(jìn)行液滴噴出頭的位置修正。另外，位置修正后的液滴噴出頭，能在工件目標(biāo)位置正確地噴出功能液。
本發(fā)明的噴嘴孔檢查方法，對(duì)處于填充功能液狀態(tài)的液滴噴出頭的噴嘴孔進(jìn)行撮像、在檢查噴嘴孔噴出部位有無(wú)附著異物，其特征在于，向液滴噴出頭加載使噴嘴孔的彎月面引入內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)波形、并在此時(shí)機(jī)對(duì)噴嘴孔進(jìn)行撮像。
根據(jù)此構(gòu)成，功能液不從噴嘴孔噴出，以位于噴嘴孔的內(nèi)部的方式轉(zhuǎn)移彎月面，并在此狀態(tài)下對(duì)噴嘴孔進(jìn)行撮像。因此，在撮像的圖像中，也含有由彎月面的引入而露出噴嘴孔的噴出側(cè)部位。這樣，根據(jù)對(duì)撮像圖像的觀察或圖像處理，能容易檢查噴嘴孔的噴出部位有無(wú)附著的異物(譬如，功能液的溶劑固化物等)。
再者，若發(fā)現(xiàn)有異物時(shí)，一般地，對(duì)液滴噴出頭進(jìn)行吸引處理(通過(guò)噴嘴孔、強(qiáng)制排出功能液)和沖洗(功能液的遺棄噴出)來(lái)除去異物。但在不能消除的情況下，將該噴嘴孔設(shè)定作為非噴出孔，或者更換液滴噴出頭。
在此情況下液滴噴出頭優(yōu)選具有包括多個(gè)噴嘴孔，有對(duì)于檢查區(qū)域、從液滴噴出頭的全部噴嘴孔、噴出功能液的檢查噴出工序，從檢查區(qū)域的噴出結(jié)果認(rèn)定噴出不良的噴嘴孔的不良噴嘴認(rèn)定工序，在不良噴嘴認(rèn)定工序之后，將噴出不良的噴嘴孔作為檢查對(duì)象的噴嘴孔，在液滴噴出頭加載驅(qū)動(dòng)波形、對(duì)噴嘴孔進(jìn)行撮像。
根據(jù)此構(gòu)成，由于對(duì)全部噴嘴孔進(jìn)行撮像檢查、耗時(shí)且效率低，故首先對(duì)檢查區(qū)域使功能液從全噴嘴孔噴出，將根據(jù)其結(jié)果認(rèn)定的有可能?chē)姵霾涣嫉膰娮炜鬃鳛榇橄駲z查對(duì)象。這樣，能高效率地進(jìn)行全部噴嘴孔的檢查。
本發(fā)明的電光裝置的制造方法，其特征在于利用上述的本發(fā)明的液滴噴出裝置，從液滴噴出頭噴出功能液，在作為工件的基板上形成成膜部。
本發(fā)明的電光裝置，其特征在于具有利用上述的本發(fā)明的液滴噴出裝置，在作為工件的基板上由從液滴噴出頭噴出的功能液形成的成膜部。
根據(jù)此構(gòu)成，由于為采用上述液滴噴出裝置的成膜處理，故能提高電光裝置的成品率。并且作為電光裝置(Device)，可以為液晶顯示裝置、有機(jī)EL(Electro-Luminescence)裝置、電子發(fā)射裝置、PDP(Plasma DisplayPanel)裝置及電泳顯示裝置等。另外，電子發(fā)射裝置為包含有所謂FED(Field Emission Display)裝置的概念。并且，作為電光裝置，還含有包括金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕層形成及光擴(kuò)散體形成等裝置。
本發(fā)明的電子設(shè)備，其特征在于搭載了上述本發(fā)明的電光裝置。
根據(jù)此構(gòu)成，能提供搭載高質(zhì)量電光裝置的電子設(shè)備。在此情況，作為電子設(shè)備，除搭載有所謂平板顯示器(Flat Panel Display)的手機(jī)、個(gè)人電腦以外的各種電器設(shè)備也屬于此類(lèi)電子設(shè)備。


圖1A、1B為模式化表示本發(fā)明一實(shí)施方式的液滴噴出裝置基本構(gòu)成的圖，圖1A為平面圖、為圖1B主視圖。
圖2A、2B為表示液滴噴出頭的圖，圖2A為其立體圖，圖2B為將其噴嘴孔周?chē)糯蟊硎镜钠拭鎴D。
圖3為表示液滴噴出裝置的控制構(gòu)成的方框圖。
圖4A、4B為模式化表示對(duì)液滴噴出頭加載的驅(qū)動(dòng)波形的圖，圖4A為噴出波形，圖4B為微振動(dòng)波形。
圖5A、5B為說(shuō)明在未加載微振動(dòng)波形的情況下的彎月面的影響的說(shuō)明圖，圖5A為噴嘴孔周?chē)钠拭鎴D，圖5B為其撮像畫(huà)面的模式圖。
圖6A、6B為說(shuō)明加載有微振動(dòng)波形的情況下的彎月面的影響的說(shuō)明圖，圖6A為噴嘴孔周?chē)钠拭鎴D，圖6B為其撮像畫(huà)面的模式圖。
圖7為表示液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)動(dòng)作、頻閃觀測(cè)的驅(qū)動(dòng)動(dòng)作及識(shí)別照相機(jī)的撮入的時(shí)間圖。
圖8為表示實(shí)施方式的液滴噴出頭的位置修正方法的處理流程的時(shí)間圖。
圖9為平面表示液滴噴出頭的位置的說(shuō)明圖。
圖10A～10C為說(shuō)明實(shí)施方式的噴嘴孔的檢查方法的說(shuō)明圖，圖10A為表示向檢查區(qū)域的噴出結(jié)果的平面圖，圖10B為未加載微振動(dòng)波形的情況下撮像畫(huà)面的模式圖，圖10C為加載有微振動(dòng)波形的情況下撮像畫(huà)面的模式圖。
圖11為用實(shí)施方式的液滴噴出裝置制造的液晶顯示裝置的剖面圖。
圖12為用實(shí)施方式的液滴噴出裝置制造的有機(jī)EL裝置的剖面圖。
符號(hào)說(shuō)明(僅供參考用)1-液滴噴出裝置，9-圖像識(shí)別單元，20-液滴噴出頭，42-噴嘴面，52-噴嘴，53-噴嘴孔，62-壓電元件，71-頻閃觀測(cè)器，72-識(shí)別照相機(jī)，97-頭驅(qū)動(dòng)器，98-頻閃觀測(cè)器驅(qū)動(dòng)器，120-檢查區(qū)域，450-液晶顯示裝置，500-有機(jī)EL裝置，W-基板(工件)。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖，就有關(guān)本發(fā)明一實(shí)施方式的液滴噴出裝置進(jìn)行說(shuō)明。此液滴噴出來(lái)裝置，被裝入有機(jī)EL裝置等平板顯示器(Flat Panel Display)的生產(chǎn)線，用噴墨方式，從液滴噴出頭的噴嘴孔對(duì)基板(工件)選擇性地噴出發(fā)光材料等功能液滴來(lái)進(jìn)行描畫(huà)，在基板上形成想要的成膜部。而且，在液滴噴出裝置中，組裝有以在液滴噴出頭中填充有功能液的狀態(tài)、對(duì)噴嘴孔撮像及圖像識(shí)別的噴嘴孔圖像識(shí)別裝置。
圖1A、1B為表示液滴噴出裝置基本構(gòu)成的模式圖。如該圖所示，液滴噴出裝置1具有在圖外機(jī)臺(tái)上設(shè)置的X軸操作臺(tái)3及Y軸操作臺(tái)4組成的X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)2，和在Y軸操作臺(tái)4上安裝并能移動(dòng)自如的主滑架(Main Carriage)5；在主滑架5上保持著搭載有噴出功能液的液滴噴出頭20的噴出頭單元6。作為工件的基板W，譬如由玻璃基板、聚酰亞胺基板等構(gòu)成，設(shè)置在移動(dòng)自如地安裝于X軸操作臺(tái)3上的工件操作臺(tái)7上。
另外，在液滴噴出裝置1中，除了向功能液滴噴出頭20供給功能液的功能液供給機(jī)構(gòu)8、對(duì)液滴噴出頭20的噴嘴孔53撮像并對(duì)其進(jìn)行圖像識(shí)別的圖像識(shí)別單元9以外，還組合裝配有統(tǒng)一控制上述X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)2、液滴噴出頭20、圖像識(shí)別單元9等各種構(gòu)成裝置的控制部10(參照?qǐng)D3，控制部83)。另外，還組裝有未在圖中表示出來(lái)的、通過(guò)噴嘴孔53從液滴噴出頭20吸引功能液的吸引單元，接受液滴噴出頭20的定期沖洗(從全部噴嘴孔53遺棄噴出功能液)的沖洗單元等。
X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)2為所謂的X·Y雙軸機(jī)械手，X軸操作臺(tái)3位于Y軸操作臺(tái)4的下方。X軸操作臺(tái)3具有內(nèi)裝有脈沖驅(qū)動(dòng)的直線電動(dòng)機(jī)23的X軸滑塊(Slider)24，在X軸方向移動(dòng)自如地搭載工件操作臺(tái)7。即，X軸操作臺(tái)3，通過(guò)工件操作臺(tái)7使基板W向X軸方向移動(dòng)。
Y軸操作臺(tái)4具有內(nèi)裝有脈沖驅(qū)動(dòng)的直線電動(dòng)機(jī)21的Y軸滑塊(Slider)22、在Y軸方向移動(dòng)自如地搭載主滑架5。即，Y軸操作臺(tái)4，通過(guò)主滑架5使移動(dòng)液滴噴出頭20向Y軸方向移動(dòng)。根據(jù)這樣構(gòu)成的X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)2，相對(duì)于基板W、使液滴噴出頭20在X·Y軸方向移動(dòng)、從液滴噴出頭20噴出功能液向基板W進(jìn)行描畫(huà)。
具體地，為與由X軸操作臺(tái)3驅(qū)動(dòng)的基板W的移動(dòng)同步、驅(qū)動(dòng)液滴噴出頭20的結(jié)構(gòu)，液滴噴出頭20的所謂主掃描、是通過(guò)由X軸操作臺(tái)3驅(qū)動(dòng)的基板W在X軸方向的往復(fù)移動(dòng)來(lái)進(jìn)行的。另外，與之相對(duì)應(yīng)，所謂副掃描、是由Y軸操作臺(tái)4驅(qū)動(dòng)的液滴噴出頭20在Y軸方向作節(jié)距(Pitch)進(jìn)給動(dòng)作方式的往復(fù)動(dòng)作來(lái)進(jìn)行的。
并且，本實(shí)施方式中，相對(duì)于液滴噴出頭20、使基板W沿主掃描方向移動(dòng)；不過(guò)，也可以使液滴噴出頭20沿主掃描方向移動(dòng)。另外，也可以基板W固定不動(dòng)、液滴噴出頭20沿主掃描方向及向副掃描方向移動(dòng)。
功能液供給機(jī)構(gòu)8具有存積功能液的功能液容器31，用配管連接功能液容器31和液滴噴出頭20的供給管32。供給管32被接進(jìn)液滴噴出頭20中，由圖外的加壓送液機(jī)構(gòu)等或液滴噴出頭20的噴出驅(qū)動(dòng)等向其供給功能液。作為功能液，除了一般的油墨以外，也可使用包含濾色片的過(guò)濾器材料、描畫(huà)后作為金屬布線用的液體金屬材料等與各種基板的目的相應(yīng)的材料的液體。
頭單元6具有，將液滴噴出頭20定位固定的副滑架36和在Θ軸方向使副滑架36在面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的Θ軸操作臺(tái)37。作為Θ軸操作臺(tái)37的動(dòng)力源的Θ軸電動(dòng)機(jī)38作正/反旋轉(zhuǎn)，則Θ軸操作臺(tái)37使副滑架36在X-Y平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。即，構(gòu)成通過(guò)Θ軸操作臺(tái)37及Θ軸電動(dòng)機(jī)38，使液滴噴出頭20相對(duì)于基板W進(jìn)行相對(duì)地角度旋轉(zhuǎn)的Θ軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
如圖2A，2B所示，液滴噴出頭20為所謂的2聯(lián)結(jié)構(gòu)體。該頭本體41由具有噴嘴面42的噴嘴形成板43、與噴嘴形成板43連接的2聯(lián)泵部44、和與泵部44的上方連接的液體導(dǎo)入部45構(gòu)成。液體導(dǎo)入部45具有與供給管32連接的2聯(lián)連接針46。在泵部44基部的方形法蘭48上，在對(duì)角位置形成有用于在副滑架36上螺絲固定液滴噴出頭20的一對(duì)螺絲孔49(圖中僅表示出一個(gè))。另外，液滴噴出頭20用螺釘固定在圖外的頭保持部件上、該頭保持部件也可以固定在副滑架36上。
在液滴噴出頭20，頭本體41從副滑架36的下面突出固定、在頭本體41的下部，即噴嘴形成板43上，2個(gè)噴嘴列51互相平行地形成。各噴嘴列51，譬如，180個(gè)噴嘴52以等節(jié)距(Pitch)在Y軸方向平行排列構(gòu)成、共計(jì)360個(gè)噴嘴52整體交錯(cuò)配置(參照?qǐng)D10A)。接著，從在噴嘴面42開(kāi)口的噴嘴孔53、功能液呈圓點(diǎn)狀(dot)噴出。
泵部44具有對(duì)應(yīng)于噴嘴52個(gè)數(shù)的壓力室61及壓電元件62(Piezo-元件)，并且各壓力室61與噴嘴52連通。泵部44還具有，容納壓電元件62的機(jī)構(gòu)部63、粘接噴嘴形成板43的硅腔體64、和連接機(jī)構(gòu)部63和硅腔體64的樹(shù)脂薄膜65。
壓電裝置62，對(duì)應(yīng)于由后述的頭驅(qū)動(dòng)器97(參照?qǐng)D3)加載的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)波形(模擬梯形波)進(jìn)行變位，使壓力室61內(nèi)產(chǎn)生壓力變化。譬如，一旦“噴出波形”(參照?qǐng)D4A)在壓電元件上62加載，則壓力室61內(nèi)的功能液從噴嘴孔53噴出。
再者，液滴噴出頭20的噴嘴數(shù)、噴嘴列數(shù)、噴嘴列的延伸方向等，不限于本實(shí)施方式中所述的情況。譬如，也可以在相同方向以規(guī)定角度傾斜排列液滴噴出頭20。另外，液滴噴出頭20的個(gè)數(shù)不僅限于單個(gè)，在多個(gè)的情況下，其配置樣式也為交叉狀配置、梯形配置等任意配置樣式。
圖像識(shí)別單元9被固定在，從基板W取出液滴噴出頭20的移動(dòng)路徑、且正對(duì)著噴嘴面42的位置。圖像識(shí)別單元9在譬如將老化的液滴噴出頭20更換后，在描畫(huà)作業(yè)之前，用于液滴噴出頭20的位置修正、對(duì)移動(dòng)到此位置的液滴噴出頭20的噴嘴孔53進(jìn)行撮像。
圖像識(shí)別單元9具有，向噴嘴孔53照射撮像光的頻閃觀測(cè)器71(LED)，和對(duì)由頻閃觀測(cè)器71照射的噴嘴孔53進(jìn)行撮像的識(shí)別照相機(jī)72。識(shí)別照相機(jī)72具有，在視野內(nèi)捕捉噴嘴孔53并進(jìn)行撮像的、所謂CCD照相機(jī)，和通過(guò)透鏡系統(tǒng)、對(duì)撮像后的噴嘴孔53成像的CCD(撮像元件)。對(duì)在CCD進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換后的噴嘴孔53圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換、由控制器10的控制信號(hào)在后述的圖像處理部94(圖3參照)輸出。
如圖3所示，液滴噴出裝置1的控制系統(tǒng)基本具有，個(gè)人電腦等的上位計(jì)算機(jī)81，帶有驅(qū)動(dòng)液滴噴出頭20、圖像識(shí)別單元9和X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)2等各種驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)部82，和統(tǒng)一控制包含驅(qū)動(dòng)部82的液滴噴出裝置1整體的控制部83(控制器10)。
上位計(jì)算機(jī)81，由在與控制部83連接的計(jì)算機(jī)本體91上，連接鍵盤(pán)92、將鍵盤(pán)92的輸入結(jié)果和識(shí)別照相機(jī)72的撮像結(jié)果等進(jìn)行畫(huà)面顯示的顯示器93而構(gòu)成。計(jì)算機(jī)本體91，向控制部83發(fā)送描畫(huà)基板W的描畫(huà)數(shù)據(jù)等。另外，計(jì)算機(jī)本體91具有，接收由識(shí)別照相機(jī)72撮像的噴嘴孔53的圖像數(shù)據(jù)、并對(duì)其進(jìn)行圖像處理的圖像處理部94。在由圖像處理部94進(jìn)行的一系列圖像處理中，譬如將噴嘴孔53的圖像多值化之后，對(duì)噴嘴孔53的位置進(jìn)行測(cè)量。
驅(qū)動(dòng)部82具有，驅(qū)動(dòng)X軸操作臺(tái)3、Y軸操作臺(tái)4及Θ軸操作臺(tái)37的各電動(dòng)機(jī)(23、21、38)的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器96，在液滴噴出頭20的壓電元件62上加載驅(qū)動(dòng)波形的頭驅(qū)動(dòng)器97，和使頻閃觀測(cè)器71發(fā)光的頻閃觀測(cè)器驅(qū)動(dòng)器98。在頭驅(qū)動(dòng)器97在壓電元件62上加載的驅(qū)動(dòng)波形中，如圖4A、4B所示，有伴隨從噴嘴孔53噴出功能液的“噴出波形”(圖4A)，和不伴隨功能液的噴出的“微振動(dòng)波形”(圖4B)。
在此情況下，頭驅(qū)動(dòng)器97，向頻閃觀測(cè)器驅(qū)動(dòng)器98輸出“微振動(dòng)波形”的觸發(fā)信號(hào)，頻閃觀測(cè)器驅(qū)動(dòng)器98，根據(jù)輸入的觸發(fā)信號(hào)，使頻閃觀測(cè)器71發(fā)光。即，頻閃觀測(cè)器驅(qū)動(dòng)器98，與液滴噴出頭20的“微振動(dòng)波形”的加載同步，使頻閃觀測(cè)器71發(fā)光(詳見(jiàn)后述)。
控制部83具有，CPU101、ROM102、RAM103、和P-CON104，它們之間通過(guò)總線105互相連接。ROM102具有，存儲(chǔ)在CPU101處理的控制程序、控制數(shù)據(jù)等的控制程序區(qū)域，存儲(chǔ)用于進(jìn)行描畫(huà)和撮像等的控制數(shù)據(jù)等的控制數(shù)據(jù)區(qū)域。
RAM103，除了各種寄存器組以外，主要具有，存儲(chǔ)從上位計(jì)算機(jī)81輸入的液滴噴出頭20的位置數(shù)據(jù)的輸入位置數(shù)據(jù)區(qū)域，存儲(chǔ)描畫(huà)用描畫(huà)數(shù)據(jù)的描畫(huà)數(shù)據(jù)區(qū)域，暫時(shí)存儲(chǔ)識(shí)別照相機(jī)72撮像、并進(jìn)行了A/D轉(zhuǎn)換的圖像數(shù)據(jù)的圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)區(qū)域(所謂圖像存儲(chǔ)器)等，作為控制處理的各種作業(yè)區(qū)域使用。
P-CON104，除了與驅(qū)動(dòng)部82的各種驅(qū)動(dòng)器連接外，還與上述功能液供給機(jī)構(gòu)8和識(shí)別照相機(jī)72等連接。在P-CON104上，組裝有補(bǔ)償CPU101功能、并且處理與外圍電路的接口信號(hào)的邏輯電路，根據(jù)門(mén)陣列和定制的大規(guī)模集成電路(Custom Large Scale Integrated)LSI等構(gòu)成。因此，P-CON104接受來(lái)自上位計(jì)算機(jī)81的各種指令等，直接或經(jīng)過(guò)處理、向總線105匯集進(jìn)去，同時(shí)與CPU101連動(dòng)、將從CPU101等向總線105輸出的數(shù)據(jù)、控制信號(hào)等直接或經(jīng)過(guò)處理、向驅(qū)動(dòng)部82輸出。同時(shí)，P-CON104，讀入來(lái)自識(shí)別照相機(jī)72的數(shù)據(jù)、與CPU101連動(dòng)，將噴嘴孔53的圖像數(shù)據(jù)向圖像處理部94輸出。
并且，CPU101，利用上述的構(gòu)成，根據(jù)ROM102內(nèi)的控制程序，通過(guò)P-CON104輸入各種信號(hào)、各種指令和各種數(shù)據(jù)等，處理RAM103內(nèi)的各種數(shù)據(jù)等之后，根據(jù)通過(guò)P-CON104向驅(qū)動(dòng)部82和圖像處理部94輸出的各種控制信號(hào)來(lái)控制液滴噴出裝置1整體。
譬如，CPU101控制液滴噴出頭20及X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)2、在規(guī)定的描畫(huà)條件及規(guī)定的移動(dòng)條件下在基板W上進(jìn)行描畫(huà)。另外，在進(jìn)行噴嘴孔53的圖像識(shí)別作業(yè)時(shí)，在圖像識(shí)別單元9的位置，根據(jù)X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)2控制液滴噴出頭20的移動(dòng)動(dòng)作的同時(shí)，控制液滴噴出頭20微振動(dòng)波形的加載、和與其時(shí)機(jī)對(duì)應(yīng)的頻閃觀測(cè)器71的發(fā)光及識(shí)別照相機(jī)72的拍攝。
在此，就噴嘴孔53的圖像識(shí)別方法、參見(jiàn)圖4A、4B～圖7進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。首先，對(duì)圖4所示的兩個(gè)的驅(qū)動(dòng)波形說(shuō)明。
在如圖4A所示的“噴出波形”，電壓值從中間電壓Vm開(kāi)始、以規(guī)定的電壓斜率上升至比中間電壓Vm高h(yuǎn)1的最大電壓(P1)。最大電壓在規(guī)定時(shí)間維持(P2)后、再以規(guī)定的電壓斜率下降至比中間電壓Vm低h2的最低電壓(P3)。通過(guò)在壓電元件62上加載對(duì)應(yīng)于從此最大電壓到最低電壓的電壓變化(相當(dāng)于h1+h2)的波形，功能液液滴從噴嘴孔53噴出。接著，最低電壓在規(guī)定時(shí)間維持(P4)后、再次上升到中間電壓Vm(P5)、并維持規(guī)定時(shí)間(P6)。
在如圖4B所示的“微振動(dòng)波形”中，電壓值從中間電壓Vm開(kāi)始，以規(guī)定的電壓斜率θA上升到比中間電壓高為h1的最大電壓 (P7)。在最大電壓維持規(guī)定時(shí)間(t1)(P8)后，以規(guī)定的電壓斜率θB下降至中間電壓Vm(P9)、并維持中間電壓Vm(P10)。即使在壓電元件62上加載對(duì)應(yīng)于這樣的電壓變化(相當(dāng)于h1)的波形，壓力室61內(nèi)的壓力變動(dòng)也很小，功能液液滴不從噴嘴孔53噴出，僅使噴嘴52的功能液微振動(dòng)。
即，“微振動(dòng)波形”，不伴有功能液液滴的噴出，使噴嘴孔53的彎月面作單周期微振動(dòng)。在這里，把在噴嘴孔53噴出側(cè)形成的功能液表面稱(chēng)為所謂的彎月面。并且，彎月面，在壓電裝置62上不加載驅(qū)動(dòng)波形的狀態(tài)下，如圖5A所示，有時(shí)相對(duì)于噴嘴面42稍稍呈凸形。
加載“微振動(dòng)波形”后，在如圖4B所示的P7過(guò)程中，彎月面開(kāi)始被引入噴嘴孔53的內(nèi)部(壓力室61一側(cè))(P1過(guò)程也同樣)。在此后的P8過(guò)程，如圖6A所示，彎月面移至規(guī)定位置并維持此吸引狀態(tài)的同時(shí)、噴嘴孔53的噴出側(cè)的內(nèi)周部位被露出。接著，在P9過(guò)程中，彎月面向噴嘴孔53外方(噴出側(cè))被推出、不伴有功能液滴的噴出，回復(fù)到如圖5A所示的原來(lái)位置(P10)。再者，一般地，在“微振動(dòng)波形”，構(gòu)成噴嘴孔53的彎月面的功能液部分由微振動(dòng)使之流動(dòng)、來(lái)抑制功能液的粘度增大。
圖5A、5B為說(shuō)明在不加載“微振動(dòng)波形”的情況下、彎月面對(duì)圖像識(shí)別單元9的影響的說(shuō)明圖。若不使彎月面變化、使噴嘴孔53的頻閃觀測(cè)器71發(fā)光，就會(huì)如圖5A所示那樣，在彎月面產(chǎn)生照射斑紋。因此，如圖5B所示識(shí)別照相機(jī)72的撮像結(jié)果那樣，不能適當(dāng)?shù)嘏臄z噴嘴孔53的圖像、需要復(fù)雜的圖像預(yù)處理。
另一方面，圖6A、6B為加載“微振動(dòng)波形”場(chǎng)合的、同樣的說(shuō)明圖。如圖6A所示那樣，在彎月面被吸引進(jìn)入噴嘴孔53內(nèi)部的狀態(tài)下，通過(guò)使頻閃觀測(cè)器71對(duì)噴嘴孔53發(fā)光，可以避免彎月面的照射斑紋。因此，能排除彎月面的影響，如圖6B所示，識(shí)別照相機(jī)72能適當(dāng)?shù)嘏臄z噴嘴孔53的圖像、使圖像處理部94的圖像處理變得簡(jiǎn)單。
圖7為表示在噴嘴孔53圖像識(shí)別方法中“微振動(dòng)波形”的加載、頻閃觀測(cè)器71的發(fā)光及圖像拍攝的時(shí)機(jī)的一例的時(shí)間圖。如該圖所示，頻閃觀測(cè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)，從在壓電元件62加載“微振動(dòng)波形”開(kāi)始(上升)、進(jìn)行規(guī)定的時(shí)間延遲并上升，在該信號(hào)的時(shí)機(jī)頻閃觀測(cè)器71發(fā)光。接著，在頻閃觀測(cè)器71發(fā)光時(shí)，識(shí)別照相機(jī)72拍攝噴嘴孔53的圖像。
這樣，頻閃觀測(cè)器驅(qū)動(dòng)器98，根據(jù)從頭驅(qū)動(dòng)器97輸出的“微振動(dòng)波形”的觸發(fā)信號(hào)、在彎月面被引入噴嘴孔53內(nèi)部的時(shí)機(jī)使頻閃觀測(cè)71器發(fā)光(圖4P7)，在如該圖中P8所示的噴嘴面42吸入的狀態(tài)下，噴嘴孔53的圖像在識(shí)別照相機(jī)72被拍攝。另外，如圖7所示那樣，由于進(jìn)行多次連續(xù)的“微振動(dòng)波形”加載和頻閃觀測(cè)器71的發(fā)光，不產(chǎn)生光量不足的問(wèn)題，能更適當(dāng)拍攝圖像。
最后，在圖像處理部94，通過(guò)對(duì)噴嘴孔53的圖像進(jìn)行圖像處理，測(cè)量噴嘴孔53的中心位置坐標(biāo)，并根據(jù)預(yù)先設(shè)定的噴嘴孔53的基準(zhǔn)位置進(jìn)行比較演算，能識(shí)別噴嘴孔53的位置偏差，即，液滴噴出頭20的位置偏差。
這樣，根據(jù)本實(shí)施方式的噴嘴孔53的圖像識(shí)別方法，通過(guò)充分運(yùn)用“微振動(dòng)波形”，能對(duì)處于填充有功能液的狀態(tài)的液滴噴出頭20的噴嘴孔53進(jìn)行適當(dāng)?shù)卮橄癫?duì)其進(jìn)行良好的圖像識(shí)別。另外，由于把從頭驅(qū)動(dòng)器97得到的驅(qū)動(dòng)波形的加載時(shí)機(jī)作為頻閃觀測(cè)器71的發(fā)光時(shí)機(jī)的基點(diǎn)，故不需要生成從頻閃觀測(cè)器71發(fā)光的專(zhuān)用定時(shí)數(shù)據(jù)。
再者，在對(duì)噴嘴孔53進(jìn)行圖像識(shí)別時(shí)，首先，優(yōu)選在沖洗單元的位置使液滴噴出頭20移動(dòng)、進(jìn)行液滴噴出頭20的沖洗動(dòng)作(使用頭驅(qū)動(dòng)器97進(jìn)行的功能液的遺棄噴出)。
另外，雖然在本實(shí)施方式中，在彎月面引入噴嘴孔53內(nèi)部的時(shí)機(jī)進(jìn)行撮像；但是，也可以通過(guò)利用不伴有“微振動(dòng)波形”等的功能液噴出的特殊驅(qū)動(dòng)波形、以使彎月面從噴嘴孔53突出的狀態(tài)撮像。換句話說(shuō)，通過(guò)在噴嘴孔53的彎月面的位置一直使用同一驅(qū)動(dòng)波形，并預(yù)先設(shè)置考慮了對(duì)在該位置彎月面的一定的照射斑紋的圖像處理過(guò)程，在撮像后的圖像處理中能適當(dāng)?shù)匚諒澰旅娴恼丈浒呒y、能準(zhǔn)確地識(shí)別噴嘴孔53。
其次，就使用上述圖像識(shí)別方法進(jìn)行液滴噴出頭20位置修正的方法進(jìn)行說(shuō)明。圖8為表示關(guān)于液滴噴出頭20的位置修正方法、在更換液滴噴出頭20時(shí)的一系列處理流程的流程圖。
首先，在步驟S1，從副滑架36取下液滴噴出頭20、用螺絲固定新的液滴噴出頭20。此后，用圖外的吸引單元等、向液滴噴出頭20填充由功能液供給機(jī)構(gòu)8供給的功能液，填充完成后(設(shè)置后)的液滴噴出頭20，相對(duì)于裝配的基準(zhǔn)位置，可能在X·Y·Θ軸方向稍微偏離位置(參照?qǐng)D9的虛線部份)。在此，如該圖所示、把最外邊的2個(gè)噴嘴孔53，53作為識(shí)別對(duì)象，對(duì)上述圖像進(jìn)行識(shí)別。
具體地，由Y軸操作臺(tái)4使液滴噴出頭20移動(dòng)至識(shí)別照相機(jī)72的位置，使作為撮像對(duì)象的一方的噴嘴孔53靠近識(shí)別照相機(jī)72的視野內(nèi)(中心)(S2)。在這里，根據(jù)如圖6所示時(shí)間圖、拍撮噴嘴孔53的圖像(S3)。經(jīng)過(guò)步驟S4的分析判斷(S4No)，對(duì)另一方的噴嘴孔53也作同樣處理。即，Y軸操作臺(tái)4再次驅(qū)動(dòng)、另一方的噴嘴孔53靠近識(shí)別照相機(jī)72的視野內(nèi)(S2)，其圖像被撮入(S3)。
此后，對(duì)各噴嘴孔53的圖像進(jìn)行圖像處理，識(shí)別液滴噴出頭20的位置偏差后(S5)，生成有關(guān)液滴噴出頭20位置的修正數(shù)據(jù)(S6)。在步驟S6的修正數(shù)據(jù)的生成中，首先，分別算出有關(guān)兩個(gè)噴嘴孔53的X·Y軸方向的位移數(shù)據(jù)(ΔX，ΔY)，以這兩個(gè)位移數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，考慮液滴噴出頭20的旋轉(zhuǎn)中心、生成有關(guān)Θ軸方向的Θ軸修正數(shù)據(jù)(ΔΘ)。接著，再考慮Θ軸修正數(shù)據(jù)、生成有關(guān)X軸方向的X軸修正數(shù)據(jù)和有關(guān)Y軸方向的Y軸修正數(shù)據(jù)。
在步驟S7的位置修正中，根據(jù)Θ軸修正數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)Θ軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)、進(jìn)行液滴噴出頭20的旋轉(zhuǎn)修正。另外，根據(jù)有關(guān)X·Y軸方向的X·Y軸修正數(shù)據(jù)、對(duì)存儲(chǔ)在RAM103的液滴噴出頭20的位置數(shù)據(jù)進(jìn)行修正。這樣，包括液滴噴出頭20的位置修正在內(nèi)的一系列更換作業(yè)結(jié)束。
這樣，有效地充分運(yùn)用上述圖像識(shí)別方法，根據(jù)兩個(gè)噴嘴孔53的圖像識(shí)別結(jié)果、修正液滴噴出頭20的位置數(shù)據(jù)，所以能進(jìn)一步提高液滴噴出頭20相對(duì)于副滑架36的裝配精度。另外，已進(jìn)行位置修正的液滴噴出頭20，能夠使功能液滴向基板W的目標(biāo)位置正確地噴出、并射中。
下面，參照?qǐng)D10A～10C，說(shuō)明噴嘴孔的檢查方法。該噴嘴孔的檢查方法，對(duì)處于填充有功能液的狀態(tài)的液滴噴出頭20的噴嘴孔53進(jìn)行撮像、檢查有無(wú)附著的異物(譬如，功能液的溶劑固化物)。
作為此檢查的準(zhǔn)備工作，使液滴噴出頭20向吸引單元的位置移動(dòng)、對(duì)液滴噴出頭20進(jìn)行吸引處理，或是使液滴噴出頭20向沖洗單元的位置移動(dòng)、對(duì)液滴噴出頭20做沖洗動(dòng)作。在準(zhǔn)備工作完成后、首先對(duì)檢查區(qū)域120，使液滴噴出頭20進(jìn)行主掃描，并描畫(huà)測(cè)試圖樣。檢查區(qū)域120由基板W的不用的部分，譬如，周邊和之后要被切斷的部分等的非描畫(huà)區(qū)域等構(gòu)成。當(dāng)然，可以在工件操作臺(tái)7上導(dǎo)入靶板代替基板W，也可以將靶板配置在液滴噴出頭20的移動(dòng)路徑上。
圖10A表示使液滴噴出頭20的全部噴嘴孔53向檢查區(qū)域120進(jìn)行功能液滴的噴出動(dòng)作的結(jié)果。圖中的黑圓點(diǎn)“●”表示由各噴嘴孔53的噴出形成的檢查區(qū)域120上的點(diǎn)，白圓點(diǎn)“○”表示在噴嘴孔53的功能液不噴出。在此情況下，從檢查區(qū)域120的噴出結(jié)果中認(rèn)定相當(dāng)于白圓點(diǎn)“○”的噴嘴孔A和相當(dāng)于偏離基準(zhǔn)線的黑圓點(diǎn)“●”的噴嘴孔B，為有可能?chē)姵霾涣嫉膰娮炜住?br> 另外，在下面的檢查作業(yè)中，噴出不良的噴嘴孔A和噴嘴孔B被作為檢查對(duì)象的噴嘴孔，用上述圖像識(shí)別單元9進(jìn)行撮像。即，使液滴噴出頭20向圖象識(shí)別單元9的位置移動(dòng)、加載”微振動(dòng)波形”，在彎月面被引入內(nèi)部的時(shí)機(jī)、對(duì)噴嘴孔A和噴嘴孔B進(jìn)行撮像。這樣，如圖10C所示，當(dāng)然不會(huì)產(chǎn)生彎月面照射斑紋(參照?qǐng)D10B)，在撮像后的圖像中，也能包括有由彎月面的引入而露出的噴嘴孔53的噴出側(cè)的部位、能夠在無(wú)照射斑紋干擾下對(duì)異物C進(jìn)行精細(xì)觀察(Close-up)。
因此，通過(guò)對(duì)拍攝的圖像作圖像處理、或由操作者觀察，能容易、高效地檢查噴嘴孔53的噴出側(cè)的部位有無(wú)附著的異物C。再者，象噴嘴孔B那樣、產(chǎn)生功能液液滴飛行偏差的主要原因，已知一般是圖10B及10C所示的異物C所致。另外，象噴嘴孔A那樣、功能液液滴吐不出來(lái)，其原因可考慮是由于噴嘴52處的功能液的粘度增大。
這樣，在發(fā)現(xiàn)有異物C、或不噴出等情況時(shí)，通過(guò)使液滴噴出頭20向吸引單元的位置移動(dòng)、對(duì)液滴噴出頭20進(jìn)行吸引處理，能夠解決這種問(wèn)題?；蚴?，也可以使液滴噴出頭20向沖洗單元的位置移動(dòng)、在液滴噴出頭20做沖洗動(dòng)作。如果即使進(jìn)行這些回復(fù)處理，噴嘴孔53依然被認(rèn)定為噴出不良噴嘴時(shí)，可設(shè)定此噴嘴孔53為不噴出噴嘴孔，或進(jìn)行液滴噴出頭20的更換處理即可。
然而，本實(shí)施方式的液滴噴出裝置1，通過(guò)利用由各種材料組成的功能液、能在為各種電光裝置(設(shè)備)的制造使用。即，能適用于液晶顯示裝置，有機(jī)EL裝置，PDP裝置及電泳顯示裝置等的制造。當(dāng)然，也適用于在液晶顯示裝置等中使用的濾色片的制造。另外，作為其它電光裝置，有包括金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕層形成及光擴(kuò)散體形成等裝置。并且，能提供配置這些電光裝置的電子設(shè)備，譬如裝配有平板顯示器的手機(jī)。
在此，以液晶顯示裝置的制造方法、及有機(jī)EL裝置的制造方法為例說(shuō)明使用該液滴噴出裝置1的制造方法，對(duì)其它的設(shè)備也作簡(jiǎn)單地說(shuō)明。
圖11是液晶顯示裝置的剖面圖。如該圖所示，液晶顯示裝置450，通過(guò)在上下偏振光板462、467之間，使濾色片400與對(duì)向基板466組合、在兩者間封裝液晶組成物465而構(gòu)成。另外，在濾色片400和對(duì)向基板466之間、配置有取向膜461、464，在對(duì)向基板466的內(nèi)側(cè)面、TFT(薄膜晶體管)元件(未圖示)和象素電極463以矩陣(Matrix)狀形成。
濾色片400具有，矩陣狀排列的像素(filter Element)，像素和像素的分界線由圍堰(Bank)413分開(kāi)，在各個(gè)像素中導(dǎo)入紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)中的任何一種濾色材料(功能液)。即，濾色片400具有，透光性的基板411(工件W)和遮光性的圍堰413。未形成圍堰413(被消除)的部分則構(gòu)成上述像素，在該像素中導(dǎo)入的各種顏色的過(guò)濾器材料構(gòu)成著色層421。在圍堰413及著色層421的上面，形成外敷層422及電極層423。
接著，本實(shí)施方式的液滴噴出裝置1，在由圍堰413分開(kāi)形成的像素內(nèi)，由液滴噴出頭20，在每一個(gè)著色層形成區(qū)域、選擇性地噴出R·G·B各種顏色的功能液。接著，使涂布的功能液干燥、得到成為成膜部的著色層421。而且，液滴噴出裝置1，由液滴噴出頭20，形成外敷層422等各種的成膜部。
同樣，參照?qǐng)D12說(shuō)明有機(jī)EL裝置及其制造方法。如該圖所示那樣，有機(jī)EL裝置500在玻璃基板501(工件W)上疊層電路元件部502，在電路元件部502上疊層作為主體的有機(jī)EL元件504。另外，在有機(jī)EL元件504的上側(cè)，形成具有惰性氣體空間的密封用基板505。
在有機(jī)EL元件504中，由無(wú)機(jī)物圍堰層512a和在其上重疊的有機(jī)物圍堰層512b形成圍堰512，由此圍堰512描畫(huà)形成矩陣狀排列的像素。接著，在各像素內(nèi)，從下側(cè)開(kāi)始對(duì)像素電極511、R·G·B的任何一個(gè)發(fā)光層510b和空穴注入/輸送層510a進(jìn)行疊層、并且整體被將Ca、Al等薄膜多層疊層的對(duì)向電極503覆蓋。
這樣，利用本實(shí)施方式的液滴噴出裝置1，能形成R·G·B的各發(fā)光層510b和空穴注入/輸送層510a的成膜部。另外，液滴噴出裝置1，在形成空穴注入/運(yùn)輸層510a之后，作為向液滴噴出頭20導(dǎo)入的功能液、采用Ca和Al等的液體金屬材料，形成對(duì)向電極503等。
在PDP裝置的制造方法中，在多個(gè)液滴噴出頭20中、選擇性地導(dǎo)入R·G·B各種顏色熒光材料、對(duì)多個(gè)液滴噴出頭20作主掃描及副掃描、選擇性地噴出熒光材料、在背面基板上的多個(gè)凹部分別形成熒光體。
在電泳顯示裝置的制造方法中，在多個(gè)液滴噴出頭20中、導(dǎo)入各種顏色的電泳體材料，對(duì)多個(gè)液滴噴出頭20作主掃描及副掃描、選擇性地噴出電泳體材料，在電極上的多個(gè)凹部分別形成熒光體。再者，由帶電粒子和染料形成的電泳體，優(yōu)選封入微膠囊(Microcapsule)。
在金屬布線形成方法中，在多個(gè)液滴噴出頭20中導(dǎo)入液狀金屬材料，對(duì)多個(gè)液滴噴出頭20作主掃描及副掃描、選擇性地噴出液狀金屬材料，在基板上形成金屬布線。例如，能夠應(yīng)用于連接上述液晶顯示裝置的驅(qū)動(dòng)器和各電極的金屬布線、連接上述有機(jī)EL裝置的TFT等和各電極的金屬布線等，并制造這些裝置。另外，除了這種平板顯示器以外，當(dāng)然液能應(yīng)用于一般的半導(dǎo)體制造技術(shù)。
在透鏡的形成方法中，在多個(gè)液滴噴出頭20中導(dǎo)入透鏡材料，對(duì)多個(gè)液滴噴出頭20作主掃描及副掃描、選擇性地噴出透鏡材料，在透明基板上形成數(shù)個(gè)微透鏡。例如，在制造上述FED裝置的電子束收束用的裝置中也能應(yīng)用。另外，也可應(yīng)用于各種光裝置的制造技術(shù)。
在透鏡的制造方法中，在多個(gè)液滴噴出頭20中導(dǎo)入透光性的涂層材料，對(duì)多個(gè)液滴噴出頭20作主掃描及副掃描、選擇性地噴出表面涂層材料，在透鏡表面形成表面涂層膜。
在抗蝕層的形成方法中，在多個(gè)液滴噴出頭20中導(dǎo)入抗蝕材料，對(duì)多個(gè)液滴噴出頭20作主掃描及副掃描、選擇性地噴出抗蝕材料，在基板上形成任意形狀的光抗蝕層。例如，能應(yīng)用于上述各種顯示裝置中圍堰的形成，在作為半導(dǎo)體技術(shù)的主體的光刻法(Photolithography)中，可廣泛應(yīng)用光抗蝕的涂敷。
在光擴(kuò)散體的形成方法中，在多個(gè)液滴噴出頭20中導(dǎo)入光擴(kuò)散體材料，對(duì)多個(gè)液滴噴出頭20作主掃描及副掃描、選擇性地噴出光擴(kuò)散體材料，在基板上形成多個(gè)光擴(kuò)散體。這時(shí)當(dāng)然也可以應(yīng)用于各種光裝置。
根據(jù)本發(fā)明的噴嘴孔的圖像識(shí)別方法及裝置，由于通過(guò)液滴噴出頭加載的驅(qū)動(dòng)波形，使噴嘴孔的彎月面轉(zhuǎn)移到規(guī)定位置并撮像，所以能一直在同一條件下對(duì)噴嘴孔進(jìn)行撮像。因此，與液滴噴出頭的移動(dòng)動(dòng)作等無(wú)關(guān)，能夠在填充有功能液的狀態(tài)下，提高噴嘴孔的圖像識(shí)別精度，同時(shí)也簡(jiǎn)化了圖像處理過(guò)程。
根據(jù)本發(fā)明噴嘴孔的檢查方法，由于向液滴噴出頭加載使噴嘴孔的彎月面被吸引到內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)波形，并在該時(shí)機(jī)進(jìn)行對(duì)噴嘴孔的撮像，所以能把噴嘴孔的噴出側(cè)部位作為圖像拍攝。因此，通過(guò)對(duì)該圖像進(jìn)行觀察等，能容易、適當(dāng)?shù)貦z查噴嘴孔的噴出側(cè)部位有無(wú)附著的異物。
根據(jù)本發(fā)明的液滴噴出頭的位置修正方法，由于用上述噴嘴孔的圖像識(shí)別方法，修正液滴噴出頭的位置數(shù)據(jù)，所以能高精度、迅速地進(jìn)行液滴噴出頭的位置修正。
根據(jù)本發(fā)明的液滴噴出裝置，由于用上述噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置、對(duì)液滴噴出頭的位置進(jìn)行修正，所以從液滴噴出頭噴出的功能液能正確地射中基板W的目標(biāo)位置。
根據(jù)本發(fā)明電光裝置的制造方法、電光裝置及電子設(shè)備，由于采用功能液的射中精度高的液滴噴出裝置來(lái)制造，所以能提供優(yōu)質(zhì)、高可靠性的各種電光裝置、電子設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種噴嘴孔的圖像識(shí)別方法，對(duì)處于填充有功能液的狀態(tài)的液滴噴出頭的噴嘴孔進(jìn)行撮像、并對(duì)其進(jìn)行圖像識(shí)別，其特征在于與向所述液滴噴出頭加載的、使所述噴嘴孔的彎月面作單周期微振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)波形同步，對(duì)該噴嘴孔進(jìn)行撮像。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴孔的圖像識(shí)別方法，其特征在于由所述驅(qū)動(dòng)波形，在所述彎月面被引入所述噴嘴孔內(nèi)部的時(shí)機(jī)、進(jìn)行所述撮像。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴孔的圖像識(shí)別方法，其特征在于對(duì)所述噴嘴孔、使頻閃觀測(cè)器發(fā)光并進(jìn)行撮像。
4.一種液滴噴出頭的位置修正方法，其特征在于包括用權(quán)利要求1所述的噴嘴孔的圖像識(shí)別方法、對(duì)所述液滴噴出頭的噴嘴孔位置進(jìn)行圖像識(shí)別的識(shí)別工序，和根據(jù)所述識(shí)別工序的識(shí)別結(jié)果、對(duì)所述液滴噴出頭的位置數(shù)據(jù)進(jìn)行修正的數(shù)據(jù)修正工序。
5.一種噴嘴孔的檢查方法，對(duì)處于填充有功能液的狀態(tài)的液滴噴出頭的噴嘴孔進(jìn)行撮像、并檢查噴嘴孔有無(wú)附著異物，其特征在于向所述液滴噴出頭加載使所述噴嘴孔的所述彎月面被引入內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)波形、并在此時(shí)機(jī)對(duì)該噴嘴孔進(jìn)行撮像。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的噴嘴孔的檢查方法，其特征在于所述液滴噴出頭具有多個(gè)噴嘴孔，具有對(duì)檢查區(qū)域、從所述液滴噴出頭的全部噴嘴孔、噴出功能液的檢查噴出工序，和根據(jù)所述檢查區(qū)域的噴出結(jié)果、認(rèn)定噴出不良的噴嘴孔的不良噴嘴孔認(rèn)定工序；所述不良噴嘴認(rèn)定工序之后、將所述噴出不良的噴嘴孔作為檢查對(duì)象的噴嘴孔，在所述液滴噴出頭加載所述驅(qū)動(dòng)波形、并對(duì)該噴嘴孔進(jìn)行撮像。
7.一種噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置，對(duì)處于填充有功能液的狀態(tài)的液滴噴出頭的噴嘴孔進(jìn)行撮像、并對(duì)其進(jìn)行圖像識(shí)別，其特征在于具有對(duì)所述噴嘴孔照射撮像光的頻閃觀測(cè)器，對(duì)由所述頻閃觀測(cè)器照射的所述噴嘴孔進(jìn)行撮像的識(shí)別照相機(jī)，向所述液滴噴出頭加載使所述噴嘴孔的彎月面作單周期微振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)波形的頭驅(qū)動(dòng)器，和與向所述液滴噴出頭加載所述驅(qū)動(dòng)波形同步、使所述頻閃觀測(cè)器發(fā)光的頻閃觀測(cè)器驅(qū)動(dòng)器。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖像識(shí)別裝置，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)波形是將所述彎月面引入所述噴嘴孔內(nèi)部的波形，所述頻閃觀測(cè)器驅(qū)動(dòng)器，在所述彎月面被引入所述噴嘴孔內(nèi)部的時(shí)機(jī)、使所述頻閃觀測(cè)器發(fā)光。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置，其特征在于所述識(shí)別照相機(jī)固定在對(duì)著所述液滴噴出頭的噴嘴面的位置。
10.一種液滴噴出裝置，使液滴噴出頭對(duì)工件作相對(duì)移動(dòng)，將功能液從噴嘴孔選擇性噴出，其特征在于具有權(quán)利要求7所述的噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置，和存儲(chǔ)所述液滴噴出頭的位置數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)手段；所述位置數(shù)據(jù)，是根據(jù)由所述噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置得到的噴嘴孔位置的圖像識(shí)別結(jié)果而被修正過(guò)的數(shù)據(jù)。
11.一種電光裝置的制造方法，其特征在于利用權(quán)利要求10所述的液滴噴出裝置，從所述液滴噴出頭噴出功能液、在作為所述工件的基板上形成成膜部。
12.一種電光裝置，其特征在于具有利用權(quán)利要求10所述的液滴噴出裝置，在作為所述工件的基板上、由從所述液滴噴出頭噴出的功能液形成的成膜部。
13.一種電子設(shè)備，其特征在于，搭載有權(quán)利要求12所述的電光裝置。
全文摘要
一種噴嘴孔的圖像識(shí)別方法及利用此方法的液滴噴出頭的位置修正方法，噴嘴孔的檢查方法，噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置及具有此裝置的液滴噴出裝置，和電光裝置的制造方法，電光裝置及電子設(shè)備。在對(duì)處于填充有功能液的狀態(tài)的液滴噴出頭(20)的噴嘴孔(53)進(jìn)行撮像、并對(duì)其進(jìn)行圖像識(shí)別的噴嘴孔圖像識(shí)別方法中，與向液滴噴出頭(20)加載的、使噴嘴孔(53)的彎月面作單周期微振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)波形同步，對(duì)噴嘴孔(53)進(jìn)行撮像。這樣，能提供在填充有功能液的狀態(tài)下、高精度地對(duì)噴嘴孔進(jìn)行圖像識(shí)別等的噴嘴孔的圖像識(shí)別方法、以及使用該方法的液滴噴出頭的位置修正方法、噴嘴孔的檢查方法、噴嘴孔的圖像識(shí)別裝置以及具有此裝置的液滴噴出裝置等。
文檔編號(hào)B41J2/01GK1524699SQ2004100070
公開(kāi)日2004年9月1日 申請(qǐng)日期2004年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月28日
發(fā)明者宮阪洋一 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社