專利名稱：噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及蝕刻技術(shù)領(lǐng)域，特指一種噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法。
臺灣專利公告362072號的“一種噴墨頭之制造與結(jié)構(gòu)”公開了一種噴墨頭的制法，其步驟如下a)、在基板上形成介電層；b)、在介電層上形成電阻層；c)、在部分電阻層上形成導(dǎo)電層；d)、在未被覆蓋的電阻層上形成保護(hù)層；e)、形成噴墨頭的噴孔，完成噴墨頭的制造。
其主要缺陷在于由于各介電層、電阻層、導(dǎo)電層及金屬保護(hù)層的形成，均采用類似電鍍的化學(xué)方法制造，必須使用鎳作為各材質(zhì)層，造成成本較高，且噴墨頭的最高的印字解析度僅能達(dá)到300點(diǎn)數(shù)/寸間距(DOTS PER INCH)；制程中產(chǎn)生的電鍍廢液造成對環(huán)境的污染；因化學(xué)制程難以達(dá)到精密的控制，使不良率增加。
本發(fā)明的目的在于提供一種噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法，通過將波長介于100-400nm的紫外線光源經(jīng)光調(diào)制模組，再利用投影模組將紫外光投影至被加工物上進(jìn)行干蝕刻，克服現(xiàn)有技術(shù)的弊端，達(dá)到降低成本、提高印字解析度、減少環(huán)境污染及提高加工精密度和優(yōu)良率的目的。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法，其特征在于包括如下步驟(一)提供紫外線雷射光束通過紫外線光源產(chǎn)生波長范圍100-400nm的紫外線雷射光束；(二)進(jìn)行紫外線光束的調(diào)制處理
將紫外線光束射入位于紫外線光源一端的光調(diào)制模組內(nèi)，使紫外線雷射光束的能量大小和分布達(dá)到所需要的紫外線雷射光束，形成所需的適當(dāng)形狀的顯微影像；(三)精密干蝕刻將適當(dāng)形狀的顯微影像通過投影透鏡組將其投影至位于該投影透鏡組一端的被加工物上，進(jìn)行精密干蝕刻；(四)成品蝕刻出具所需微流道及微噴嘴的產(chǎn)品。
該光調(diào)制模組包括光衰減器和光罩；該顯微影像包括“+”字型孔或其他形狀圖樣；該被加工物的材質(zhì)包括塑膠、玻璃、陶瓷或金屬；該塑膠包括聚酰亞胺樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚丙烯樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯樹脂或聚乙烯樹脂；該陶瓷包括含Al2O3的制品；該金屬包括鐵、不銹鋼或合金鋼。
本發(fā)明的主要優(yōu)點(diǎn)如下1、本發(fā)明的制造方法是先將紫外線透過光調(diào)制模組，將紫外光的能量大小及其分布調(diào)制成所需的形式，將其投影至被加工物上，達(dá)到精密蝕刻的功效；大大提高了產(chǎn)品的優(yōu)良率；印字解析度高達(dá)2400點(diǎn)數(shù)/寸間距，比電鍍方法提高約8倍。
2、本發(fā)明的制造方法不產(chǎn)生電鍍廢液，對環(huán)境無污染，有利于保護(hù)環(huán)境。
3、本發(fā)明的制造方法適用范圍寬，適用于塑膠、玻璃、陶瓷和金屬等各種加工物，且根據(jù)需要加工成“+”字孔或各種圖樣。
下面結(jié)合較佳實(shí)施例和附圖進(jìn)一步說明。


圖1為本發(fā)明的裝置組合示意圖；圖2為本發(fā)明的制造流程示意圖。
參閱圖1-圖2，本發(fā)明提供的噴墨頭的墨水微流道及微噴嘴的制造方法，包括如下步驟(一)提供紫外線雷射光束
通過紫外線光源11產(chǎn)生波長范圍100-400nm的紫外線雷射光束111；(二)進(jìn)行紫外線光束的調(diào)制處理將紫外線光束111射入位于紫外線光源11一端的光調(diào)制模組12內(nèi)，該光調(diào)制模組12包括光衰減器121和光罩122，使紫外線雷射光束的能量大小和分布達(dá)到所需要的紫外線雷射光束，形成所需的適當(dāng)形狀的顯微影像，該顯微影像包括“+”字型孔或其他形狀圖樣；(三)精密干蝕刻將適當(dāng)形狀的顯微影像通過投影透鏡組131將其投影至位于該投影透鏡組131一端的被加工物2上，進(jìn)行精密干蝕刻；(四)成品蝕刻出具所需微流道及微噴嘴的產(chǎn)品。
該被加工物的材質(zhì)包括塑膠、玻璃、陶瓷或金屬；該塑膠包括聚酰亞胺樹脂(Polyimide)、聚碳酸酯樹脂(Polycarbonate)、聚丙烯樹脂(Polypropylene)、聚甲基丙烯酸甲酯樹脂(Polymethylmathacrylate)或聚乙烯樹脂(Polyethylene)。
該陶瓷包括含Al2O3的制品。該金屬包括鐵、不銹鋼或合金鋼。
總之本發(fā)明的方法適用于各種材質(zhì)的加工物，對干蝕刻微流道或微噴嘴具有低成本、高優(yōu)良品率、高精度、高效率及無污染等優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法，其特征在于包括如下步驟(一)提供紫外線雷射光束通過紫外線光源產(chǎn)生波長范圍100-400nm的紫外線雷射光束；(二)進(jìn)行紫外線光束的調(diào)制處理將紫外線光束射入位于紫外線光源一端的光調(diào)制模組內(nèi)，使紫外線雷射光束的能量大小和分布達(dá)到所需要的紫外線雷射光束，形成所需的適當(dāng)形狀的顯微影像；(三)精密干蝕刻將適當(dāng)形狀的顯微影像通過投影透鏡組將其投影至位于該投影透鏡組一端的被加工物上，進(jìn)行精密干蝕刻；(四)成品蝕刻出具所需微流道及微噴嘴的產(chǎn)品。
2.如權(quán)利要求1所述的噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法，其特征在于該光調(diào)制模組包括光衰減器和光罩。
3.如權(quán)利要求1所述的噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法，其特征在于該顯微影像包括“+”字型孔或其他形狀圖樣。
4.如權(quán)利要求1所述的噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法，其特征在于該被加工物的材質(zhì)包括塑膠、玻璃、陶瓷或金屬。
5.如權(quán)利要求4所述的噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法，其特征在于該塑膠包括聚酰亞胺樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚丙烯樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯樹脂或聚乙烯樹脂。
6.如權(quán)利要求4所述的噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法，其特征在于該陶瓷包括含Al2O3的制品。
7.如權(quán)利要求4所述的噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法，其特征在于該金屬包括鐵、不銹鋼或合金鋼。
全文摘要
一種噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法,包括如下步驟通過紫外線光源產(chǎn)生波長范圍100－400nm的紫外線雷射光束;將紫外線光束射入光調(diào)制模組內(nèi),使紫外線雷射光束的能量大小和分布達(dá)到所需要的紫外線雷射光束;將適當(dāng)形狀的顯微影像通過投影透鏡組將其投影至被加工物上,進(jìn)行精密干蝕刻;蝕刻出具所需微流道及微噴嘴的產(chǎn)品。具有低成本、高優(yōu)良品率、高精度、高效率及無污染等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號B41J2/16GK1315252SQ0010359
公開日2001年10月3日 申請日期2000年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2000年3月31日
發(fā)明者祝煜倫, 史望平 申請人:微邦科技股份有限公司