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噴墨頭的微流道及微噴嘴的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2479299

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本發(fā)明涉及蝕刻,特指一種。臺(tái)灣專利公告362072號(hào)的“一種噴墨頭之制造與結(jié)構(gòu)”公開了一種噴墨頭的制法,其步驟如下a)、在基板上形成介電層;b)、在介電層上形成電阻層;c)、在部分電阻層上形成導(dǎo)電層;d)、在未被覆蓋的電阻層上形成保護(hù)層;e)、形成噴墨頭的噴孔,完成噴墨頭的制造。其主要缺陷在于由于各介電層、電阻層、導(dǎo)電層及金屬保護(hù)層的形成,均采用類似電鍍的化學(xué)方法制造,必須使用鎳作為各材質(zhì)層,造成成本較高,且噴墨頭的最高的印字解析度僅能達(dá)到300點(diǎn)數(shù)/寸間...
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