專利名稱：用于從襯底剝離供體膜的方法和設(shè)備的制作方法
用于從襯底剝離供體膜的方法和設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域
所述技術(shù)通常涉及用于從襯底剝離供體膜的方法和設(shè)備，尤其涉及用于在激光熱 轉(zhuǎn)印(LITI)處理期間從襯底剝離層壓于襯底上的供體膜和支撐物的方法和設(shè)備。
背景技術(shù)：
彩色平板顯示器(諸如液晶顯示器或有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器)通常包括用 于向像素提供色彩的濾色器。用于形成濾色器的技術(shù)之一是激光熱轉(zhuǎn)印(laser induced thermal imaging)處理，簡(jiǎn)稱為 “LITI ”。發(fā)明內(nèi)容
一個(gè)創(chuàng)造性方面是用于在供體材料從供體膜轉(zhuǎn)移至襯底之后從襯底有效剝離所 使用供體膜的方法和設(shè)備。
另一個(gè)方面是用于剝離供體膜的方法和設(shè)備，通過(guò)該方法和設(shè)備，供體膜從襯底 剝離而不在襯底上留下污點(diǎn)。
另一個(gè)方面是從襯底剝離供體膜的方法和設(shè)備。
另一個(gè)方面是從襯底剝離供體膜和支撐物的設(shè)備，供體膜和支撐物通過(guò)位于其間 的襯底彼此粘合，以密封襯底。
另一方面是用于從襯底剝離供體膜和支撐物的供體膜剝離設(shè)備，所述供體膜和所 述支撐物通過(guò)位于其間的所述襯底彼此粘合，所述設(shè)備包括第一輥，位于所述供體膜的側(cè) 面上；第二輥，位于所述支撐物的側(cè)面上并位于與所述第一輥相對(duì)應(yīng)的位置處；第一夾具， 被配置為拖拽所述供體膜；第二夾具，被配置為拖拽所述支撐物；第一剝離輥，與所述第一 輥接合，以使所拖拽的供體膜位于所述第一剝離輥與所述第一輥之間，以支撐所拖拽的供 體膜；第二剝離輥，與所述第二輥接合，以使所拖拽的支撐物位于所述第二剝離輥與所述第 二輥之間，以支撐所拖拽的支撐物；插入裝置(或插入機(jī)構(gòu))，位于所述第一剝離輥和所述第 二剝離輥中的至少一個(gè)中并插入粘合的供體膜和支撐物之間。
另一個(gè)方面是用于在通過(guò)使用供體膜的LITI方法執(zhí)行轉(zhuǎn)移之后剝離所使用的供 體膜的設(shè)備。在一個(gè)實(shí)施方式中，通過(guò)使用供體膜的LITI方法的應(yīng)用，單獨(dú)的膜被引入作 為支撐物，以通過(guò)供體膜和支撐物密封襯底，執(zhí)行轉(zhuǎn)移，并且隨后剝離供體膜。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述襯底是顯示裝置的顯示單元。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述襯底是有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的顯示單元。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述供體膜是用于激光熱轉(zhuǎn)印(LITI)的供體膜。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述供體膜被配置為形成顯示裝置的彩色像素。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述顯示裝置是液晶顯示器(IXD)或有機(jī)發(fā)光裝置。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述供體膜和所述支撐物具有柔性膜的形式。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述支撐物由聚合物膜形成。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述支撐物附貼至所述襯底，以作為被配置為在LITI期間保護(hù)所述襯底的支撐物。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述插入裝置位于所述第一剝離輥和所述第二剝離輥中的至 少一個(gè)的相對(duì)端。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述供體膜和所述支撐物中的每一個(gè)的面積均大于所述襯底 的面積，所述供體膜和所述支撐物在所述襯底外的部分中彼此直接粘合，并且所述插入裝 置插入所述供體膜和所述支撐物彼此直接粘合的區(qū)域內(nèi)。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述插入裝置位于所述第一剝離輥和所述第二剝離輥中，并 且所述插入裝置包括位于所述第一剝離輥中的第一插入裝置以及位于所述第二剝離輥中 的第二插入裝置。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述第一插入裝置位于所述第一剝離輥的相對(duì)端處，所述第 二插入裝置位于所述第二剝離輥的相對(duì)端處。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述插入裝置是刀刃或輥。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，第一插入裝置和第二插入裝置中的至少一個(gè)是刀刃。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，第一插入裝置和第二插入裝置中的至少一個(gè)是輥。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式,所述棍具有從約5mm至約20mm的直徑范圍。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，供體膜剝離設(shè)備還包括用于卷繞由第一夾具拖拽的供體膜的 供體膜卷輥以及用于卷繞由第二夾具拖拽的支撐物的支撐物層卷輥。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，供體膜剝離設(shè)備還包括下列至少之一第一軋輥，與所述第一 剝離輥間隔并與所述第一輥接合，以使所拖拽的供體膜位于所述第一輥與所述第一軋輥之 間，以支撐所拖拽的供體膜；以及第二軋輥，與所述第二剝離輥間隔并與所述第二輥接合， 以使所拖拽的支撐物位于所述第二輥與所述第二軋輥之間，以支撐所拖拽的支撐物。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述第一剝離輥與所述第一軋輥通過(guò)第一帶相互配合，并且 所述第一帶與所述第一輥接合，以支撐所拖拽的供體膜。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述第一帶僅形成于與所述插入裝置被插入的位置相對(duì)應(yīng)的 部分中。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述第二剝離輥與所述第二軋輥通過(guò)第二帶相互配合，并且 所述第二帶與所述第二輥接合，以支撐所拖拽的支撐物。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述第二帶僅形成于與所述插入裝置被插入的位置相對(duì)應(yīng)的 部分中。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，供體膜剝離設(shè)備還包括第一軋輥，與所述第一剝離輥間隔并 與所述第一輥接合，由第一夾具拖拽的供體膜位于所述第一輥與所述第一軋輥之間，以支 撐所拖拽的供體膜，所述插入裝置是輥，且位于所述第一剝離輥的相對(duì)端處，并且所述第一 軋輥、所述第一剝離輥、以及所述插入裝置通過(guò)第一帶相互配合。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述第一帶僅形成于與所述插入裝置的寬度相對(duì)應(yīng)的部分 中。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，供體膜剝離設(shè)備還包括第二軋輥，與所述第二剝離輥間隔并 與所述第二輥接合，由第二夾具拖拽的支撐物位于所述第二輥與所述第二軋輥之間，以支 撐所拖拽的支撐物，所述插入裝置是輥，且位于所述第二剝離輥的相對(duì)端處，并且所述第二 軋輥、所述第二剝離輥、以及所述插入裝置通過(guò)第二帶相互配合。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述第二帶僅形成于與所述插入裝置的寬度相對(duì)應(yīng)的部分 中。
另一方面是通過(guò)利用供體膜剝離設(shè)備從襯底剝離供體膜和支撐物的方法，所述供 體膜和所述支撐物通過(guò)位于其間的所述襯底彼此粘合。從襯底剝離供體膜和支撐物的方法 包括將所述供體膜和所述支撐物放置于第一輥與第二輥之間，其中所述供體膜和所述支 撐物通過(guò)位于其間的所述襯底彼此粘合；經(jīng)由第一夾具拖拽所述供體膜的遠(yuǎn)端部，并且經(jīng) 由第二夾具拖拽所述支撐物的遠(yuǎn)端部；使第一剝離輥與所述第一輥接合，以使所拖拽的供 體膜位于所述第一剝離輥與所述第一輥之間；使第二剝離輥與所述第二輥接合，以使所拖 拽的支撐物位于所述第二剝離輥與所述第二輥之間；將插入裝置插入所述供體膜與所述支 撐物之間；以及使所述第一輥和所述第二輥旋轉(zhuǎn)并經(jīng)由所述第一夾具和所述第二夾具分別 拖拽所述供體膜和所述支撐物，并且傳送所述襯底，以從所述襯底剝離所述供體膜和所述 支撐物。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式,所述方法在腔室中執(zhí)行。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，對(duì)所述第一剝離輥的放置與所述第二剝離輥的放置同時(shí)執(zhí) 行，或先執(zhí)行其中一個(gè)的放置。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述第一剝離輥的放置與所述第二剝離輥的放置可在真空環(huán) 境下執(zhí)行，并執(zhí)行后續(xù)步驟。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述第一輥和所述第一剝離輥的轉(zhuǎn)速對(duì)應(yīng)于所述供體膜的拖 拽速度。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，所述第二輥和所述第二剝離輥的轉(zhuǎn)速對(duì)應(yīng)于所述支撐物的拖 拽速度。


圖1示出供體膜剝離設(shè)備的示例；
圖2示出彼此附貼的襯底、供體膜、以及支撐物的一部分；
圖3示出通過(guò)吹氮?dú)饣蚩諝鈩冸x供體膜的方法的示例；
圖4示出根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式的供體膜剝離設(shè)備；
圖5示出第一輥、第一剝離輥、以及形狀像刀刃的第一插入裝置；
圖6示出第一輥、第一剝離輥、以及充當(dāng)?shù)谝徊迦胙b置的輥；
圖7示出進(jìn)一步包括供體膜卷輥和支撐物層卷輥的供體膜剝離設(shè)備的示例；
圖8示出進(jìn)一步包括第一軋輥和第二軋輥的供體膜剝離設(shè)備的示例；
圖9示出第一輥、第一剝離輥、第一插入裝置、以及第一軋輥；
圖10示出沿著第一剝離輥和第一軋輥的整個(gè)長(zhǎng)度形成的第一帶、第一輥、第一剝 離輥、第一插入裝置、以及第一軋輥；
圖11示出沿著第一剝離輥和第一軋輥的整個(gè)長(zhǎng)度形成的第一帶、第一剝離輥、第 一插入裝置、以及第一軋輥；
圖12示出第一剝離輥、第一插入裝置、以及僅形成于與第一插入裝置被插入的位 置相對(duì)應(yīng)的部分處的第一帶和第一軋輥的示例；
圖13示出包括輥、剝離輥、軋輥、以及形狀像輥的插入裝置的供體膜剝離設(shè)備的示例，其中剝離輥、軋輥、以及形狀像輥的插入裝置通過(guò)帶相互配合；
圖14示出第一輥、第一剝離輥、第一軋輥、以及形狀像輥的插入裝置；以及
圖15示出第一剝離輥、軋輥、形狀像輥的第一插入裝置、以及僅形成于與第一插 入裝置被插入的位置相對(duì)應(yīng)的部分處的第一帶的示例。具體實(shí)施方式

圖1示意性示出LITI方法的示例。具體地，首先將供體膜12置于襯底10上。在 制造濾色器的過(guò)程中，襯底10通常由具有平面形狀的玻璃形成。供體膜12通常是與襯底 10相比較薄且較柔性的薄片。供體膜12通常由例如塑料形成。供體膜12包含供體材料。 典型的供體材料包括用于制造濾色器的著色劑、顏料等。
在已經(jīng)通過(guò)激光熱處理將供體材料從供體膜12轉(zhuǎn)移至襯底10之后，將已使用的 供體膜12從襯底10移除。例如，在制造濾色器的過(guò)程中，常常使用用于在襯底10上施加 紅色著色劑的供體膜、用于在襯底10上施加綠色著色劑的供體膜、以及用于在襯底10上施 加藍(lán)色著色劑的供體膜。在使用之后，在后續(xù)供體膜被施加至該襯底之前將各供體膜從襯 底10移除。
雖然轉(zhuǎn)移的供體材料應(yīng)完全粘合至襯底10的相應(yīng)部分，但有時(shí)它們僅部分粘合 至供體膜。就此而言，部分粘合會(huì)使供體膜12從襯底10上的剝離出現(xiàn)困難。
圖1示出用于通過(guò)使用輥從襯底10上剝離供體膜12的設(shè)備。該設(shè)備包括剝離 輥20 ;卷輥30，其包括用于將供體膜的第一部分(包括供體膜的邊緣)固定至卷輥30的固定 機(jī)構(gòu)；機(jī)架40，其用于支撐剝離輥20和卷輥30，使得剝離輥20可相對(duì)于機(jī)架40旋轉(zhuǎn)并使 得卷輥30可相對(duì)于機(jī)架40運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)；以及控制器(未示出)。此外，控制器促使機(jī)架40 相對(duì)于襯底10運(yùn)動(dòng)，使得剝離輥20位于供體膜12的第二部分附近。該第二部分與供體膜 12的邊緣間隔，并且該第二部分的附近足夠靠近供體膜12，以使供體膜12的第二部分與襯 底10之間保持接觸狀態(tài)。
在圖1中，在剝離輥20的位置被保持在供體膜12的第二部分附近時(shí)，控制器促使 卷輥30相對(duì)于襯底10運(yùn)動(dòng)，以使卷輥30和供體膜12固定至卷輥30的第一部分遠(yuǎn)離襯底 10運(yùn)動(dòng)，并且促使剝離輥20相對(duì)于襯底10沿與襯底10相切的方向運(yùn)動(dòng)，以使卷輥30圍繞 卷輥30的軸線旋轉(zhuǎn)，從而從襯底10上剝離供體膜12的至少可觀的一部分。
圖1的設(shè)備適于供體膜簡(jiǎn)單地層壓于襯底上的構(gòu)造。并且，在圖2所示的當(dāng)今的 LITI處理中，供體膜110層壓于襯底上，并且與承載支撐物120匹配并密封襯底。因此，剝 離供體膜的方法包括通過(guò)在供體膜與襯底之間吹氮?dú)饣蚩諝?見(jiàn)圖3)剝離供體膜的方法， 或者通過(guò)典型輥上的夾具的張力簡(jiǎn)單地剝離供體膜的方法。
然而，在供體膜與襯底之間吹氮?dú)饣蚩諝獾姆椒ㄖ?，由于供體膜在被密封于托盤(pán) 上之后被層壓，故難以通過(guò)使用輥來(lái)控制諸如調(diào)整供體膜與襯底之間的剝離角度的過(guò)程。 此外，由于應(yīng)朝著層壓于襯底上的膜吹氮?dú)饣蚩諝?，故該方法?huì)對(duì)襯底和轉(zhuǎn)移質(zhì)量造成影 響。特別地，如果剝離和吹氣不被均勻地執(zhí)行，則可能因瞬間產(chǎn)生氣泡等導(dǎo)致剝離污點(diǎn)。
并且，在簡(jiǎn)單使用張力的方法中，難以均勻地控制施加至夾具和輥部件的力，并且 膜可能因通過(guò)夾具牽拉供體膜的速度與用于剝離的輥的轉(zhuǎn)速之間的細(xì)微差別而無(wú)法緊密 地附貼至輥，從而導(dǎo)致剝離的失敗，等等。
下面，將參照附圖更加詳細(xì)地描述實(shí)施方式。
在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中，相同的參考標(biāo)號(hào)指示相同或相似的元件。本發(fā)明中的術(shù)語(yǔ)僅被 用來(lái)描述具體實(shí)施方式

，并且不旨在限制本發(fā)明的范圍。除非另外指出，否則單數(shù)形式的表 達(dá)包括復(fù)數(shù)形式的表達(dá)。
—個(gè)實(shí)施方式是用于從襯底上剝離供體膜和支撐物的供體膜剝離設(shè)備，其中供體 膜和支撐物通過(guò)位于其間的襯底彼此粘合。圖4示出根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式的供體膜剝離設(shè) 備。該設(shè)備包括i)第一輥210，設(shè)置于供體膜的一側(cè)上；ii)第二輥220，設(shè)置于支撐物的一 側(cè)上并位于與第一輥210相對(duì)應(yīng)的位置處；iii)第一夾具310，用于拖拽供體膜；以及iv) 第二夾具320，用于拖拽支撐物。該設(shè)備還包括i)第一剝離輥410，與第一輥210接合以支 撐所拖拽的供體膜，由第一夾具310所拖拽的供體膜位于第一剝離輥410與第一輥210之 間；ii)第二剝離輥420，與第二輥220接合以支撐所拖拽的支撐物，由第二夾具320所拖拽 的支撐物位于第二剝離輥420與第二輥220之間；iii)插入裝置(或插入機(jī)構(gòu))510或520， 位于第一和第二剝離輥410和420中的至少一個(gè)中并插入粘合的供體膜與支撐物之間。
雖然供體膜剝離設(shè)備不僅可剝離供體膜110，也可以剝離支撐物120，其中供體膜 110和支撐物120通過(guò)位于供體膜110與支撐物120之間的襯底100彼此粘合，但為了方便 起見(jiàn)，該設(shè)備被稱為供體膜剝離設(shè)備。
插入裝置可位于第一和第二剝離輥410和420中的至少一個(gè)中。然而，圖4示出 了輥410和420中均設(shè)置有插入裝置的示例。例如，位于第一剝離輥410中的插入裝置是 第一插入裝置510，位于第二剝離輥420中的插入裝置是第二插入裝置520。圖4所示的插 入裝置510和520具有類似刀刃的形狀。
襯底100可以是在其中設(shè)置顯示裝置的顯示單元的襯底。也就是說(shuō)，襯底100可 以是用于在制造顯示面板時(shí)形成薄膜晶體管(TFT)、電極、發(fā)光單元或液晶顯示器的玻璃襯 底。在這種情況下，TFT、電極等可形成在襯底100上。特別地，襯底100可以是用于OLED 顯示器的襯底。
供體膜110可以是用于LITI的供體膜。也就是說(shuō)，供體膜剝離設(shè)備可用作用于在 使用用于LITI的供體膜對(duì)襯底的相應(yīng)區(qū)域執(zhí)行LITI之后剝離供體膜的設(shè)備。
在這種情況下，供體膜可以是用于形成顯示裝置的彩色像素的供體膜。通過(guò)使用 電力電子方法，包括但不限于LCD和有機(jī)發(fā)光裝置的任何顯示裝置都能夠用于顯示圖像。
為了描述的簡(jiǎn)單化，此后將基于供體膜剝離設(shè)備來(lái)描述各個(gè)元件，其中使供體膜 110位于襯底100上，執(zhí)行LITI，隨后從襯底100剝離供體膜110，從而在有機(jī)發(fā)光裝置中形 成彩色像素。
支撐物120位于襯底100的相對(duì)表面。支撐物120附貼至襯底100，從而其可充當(dāng) 用于在LITI處理中保護(hù)襯底的承載支撐物。支撐物120主要用作承載支撐物，故其也被稱 為承載支撐物。
參照?qǐng)D4，供體膜110和支撐物120具有柔性膜的形式。支撐物120可由聚合物膜 形成。插入裝置可位于第一剝離輥410和第二剝離輥420中的至少一個(gè)的相對(duì)端。
參照?qǐng)D4，第一和第二剝離輥410和420中設(shè)置有插入裝置510和520，并且還能 夠看到，插入裝置510和520位于輥410和420中的每一個(gè)的另一端。也就是說(shuō)，第一插入 裝置510位于第一剝離輥410的相對(duì)端，第二插入裝置520位于第二剝離輥420的相對(duì)端。
這里，參照襯底100、供體膜110和支撐物120的附貼狀態(tài)，供體膜110通過(guò)襯底 100粘合至支撐物120，襯底100位于供體膜110與支撐物120之間，并且LITI在供體膜被 密封的情況下執(zhí)行。就這一點(diǎn)而言，襯底100、供體膜110和支撐物120的附貼狀態(tài)的一部 分能夠被涉及。
用于LITI的供體膜110和支撐物120具有比襯底100的面積更大的面積，并且在 襯底100外部的區(qū)域中彼此直接附貼。在圖2中，部分“A”是供體膜110和支撐物120彼 此直接粘合的部分，而部分“A”和“B”對(duì)應(yīng)于襯底100外部的區(qū)域。
為了將供體膜110和支撐物120從襯底100上方便地剝離，優(yōu)選地使它們?cè)趫D2 的部分B中彼此分離。需要在供體膜和支撐物被夾具拖拽之前事先使供體膜和支撐物在部 分B中彼此分離，并使夾具牽拉供體膜或支撐物時(shí)所產(chǎn)生的張力均勻。如果該張力不均勻， 則從襯底剝離供體膜的力也可能是不均勻的。因此，待轉(zhuǎn)移的部分和不轉(zhuǎn)移的部分無(wú)法無(wú) 缺陷地分離，從而在襯底上生成污點(diǎn)。
作為參考，為了從襯底上無(wú)缺陷地剝離供體膜，當(dāng)從襯底上剝離供體膜時(shí)，通過(guò)第 一輥與第一剝離輥的接合推動(dòng)供體膜的力與通過(guò)第一夾具牽拉供體膜的力應(yīng)保持平衡。然 而，在圖2的部分A中，供體膜110相對(duì)強(qiáng)力地粘合至支撐物120。因此，拖拽部分A中的供 體膜所需的力會(huì)與拖拽另一部分中的供體膜的所需的力不同。因此，通過(guò)使用插入裝置在 部分A中從支撐物分離供體膜，能夠?qū)⑼献Чw膜所需的力調(diào)整為相似水平。
在從襯底100剝離供體膜110的過(guò)程中，氣體可能存在于襯底100與供體膜110之 間或存在于襯底100與支撐承載物120之間。此外，空氣等可能被引入襯底100與供體膜 110之間的間隙或襯底100與支撐物120之間的間隙內(nèi)。例如，如圖3所示，空氣可能通過(guò) 圖2中的部分B的空間被引入130。這種空氣進(jìn)入在圖3中通過(guò)箭頭130示意性地指示。
在一個(gè)實(shí)施方式中，第一和第二輥210和220被用于從襯底剝離供體膜的過(guò)程中， 并且這兩個(gè)輥210和220中的每一個(gè)均用于朝著襯底擠壓供體膜和支撐物。在這種情況 下，存在于襯底與供體膜之間或襯底與支撐物之間的氣體也可能流動(dòng)至其它部分140、141 和142，并且這種氣體流動(dòng)會(huì)在襯底的轉(zhuǎn)移表面上產(chǎn)生污點(diǎn)等。例如，當(dāng)氣體流動(dòng)至供體膜 的轉(zhuǎn)移部分與非轉(zhuǎn)移部分之間的邊界時(shí)，妨礙轉(zhuǎn)移部分和非轉(zhuǎn)移部分適當(dāng)?shù)乇舜朔蛛x或?qū)?致轉(zhuǎn)移層在不是期望邊界的區(qū)域中分離，會(huì)在襯底的轉(zhuǎn)移表面上產(chǎn)生污點(diǎn)。
因此，如果通過(guò)插入裝置510和520使部分A中的供體膜110和支撐物120分離 并且執(zhí)行抽真空，則可避免氣體不再進(jìn)一步進(jìn)入襯底與供體膜之間并且可以移除存在于襯 底與供體膜之間的氣體。也就是說(shuō)，能夠防止空氣由于圖3中的箭頭所指示的空氣引入130 和131而被推動(dòng)至140、141和142。
插入裝置應(yīng)在供體膜110直接粘合至支撐物120的部分A中插入供體膜110與支 撐物120之間。插入裝置可具有使其可方便且平穩(wěn)地插入粘合部?jī)?nèi)的形狀。例如，插入裝 置的形狀可被設(shè)置為像刀刃或輥一樣。也就是說(shuō)，插入裝置可以是刀刃或輥。
插入裝置510和520中的至少一個(gè)可以是刀刃。也就是說(shuō)，插入裝置510和520 均可以是刀刃或者插入裝置510和520中僅有一個(gè)可以是刀刃。
圖4示出供體膜剝離設(shè)備的示例，其中第一和第二插入裝置510和520的形狀均 為像刀刃一樣。
圖5示出第一輥210、第一剝離輥410、以及位于第一剝離輥410中的刀刃形第一插入裝置510。
第一和第二插入裝置510和520中的至少一個(gè)可以是輥。也就是說(shuō)，插入裝置510 和520均可以是輥或兩個(gè)插入裝置510和520中僅有一個(gè)可以是輥。
圖6示出第一輥210、第一剝離輥410、以及位于第一剝離輥410中的輥形第一插 入裝置910。
在一個(gè)實(shí)施方式中，輥形第一插入裝置910的直徑大小被設(shè)置為使輥在供體膜 110直接粘合至支撐物120的部分A中插入供體膜110與支撐物120之間。在另一種實(shí)施 方式中，輥形第一插入裝置910的直徑大小被設(shè)置為避免輥的旋轉(zhuǎn)困難并防止輥損壞或彎 曲。棍910的直徑可為約5mm至約20mm。
供體膜剝離設(shè)備還包括用于卷起由第一夾具所拖拽的供體膜的至少一個(gè)供體膜 卷輥610以及用于卷起由第二夾具所拖拽的支撐物的支撐物層卷輥620。
圖7示出包括供體膜卷輥610和支撐物層卷輥620的供體膜剝離設(shè)備的示例。圖 7中未示出夾具。
供體膜剝離設(shè)備還包括至少一個(gè)第一軋輥710和第二軋輥720，該至少一個(gè)第一 軋輥710與第一剝離輥410間隔并與第一輥210接合，以支撐所拖拽的供體膜110，并且由 第一夾具310所拖拽的供體膜110位于第一輥210與第一軋輥710之間，第二軋輥720與第 二剝離輥420間隔并與第二輥220接合，以支撐所拖拽的支撐物120，并且由第二夾具320 所拖拽的支撐物120位于第二輥220與第二軋輥720之間。
圖8和13示出包括第一軋輥710和第二軋輥720的供體膜剝離設(shè)備的示例。圖 9示出第一輥210、第一剝離輥410、位于第一剝離輥410中的刀刃形第一插入裝置510、以 及第一軋輥710。
參照?qǐng)D1和8，第一剝離輥和第一軋輥通過(guò)第一帶810相互配合。在這種情況下， 第一帶810與第一輥接合，以支撐所拖拽的供體膜。
參照?qǐng)D8，第二剝離輥420和第二軋輥720通過(guò)第二帶820相互配合，并且第二帶 820與第二輥220接合，以支撐所拖拽的支撐物120。
第一帶810和第二帶820可基本沿著剝離輥和軋輥的整個(gè)長(zhǎng)度形成，或者可僅在 剝離輥和軋輥的整個(gè)長(zhǎng)度中與插入裝置被插入的位置相對(duì)應(yīng)的部分處形成。
圖10示出第一輥210、第一剝離輥410、位于第一剝離輥410中的刀刃形第一插入 裝置510、以及第一軋棍710。第一剝離棍410和第一軋棍710通過(guò)第一帶810相互配合, 并且第一帶810沿著剝離輥和軋輥的整個(gè)長(zhǎng)度形成。
圖11示出第一剝離輥410、位于第一剝離輥410中的刀刃形第一插入裝置510、第 一軋輥710、以及沿著第一剝離輥410和第一軋輥710的整個(gè)長(zhǎng)度形成的第一帶810。
第一軋輥和第二軋輥充當(dāng)?shù)谝粍冸x輥和第二剝離輥的輔助支撐件。因此，第一軋 輥和第二軋輥可以不形成于與第一剝離輥和第二剝離輥的整個(gè)長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度中。在供 體膜Iio和支撐物120被拖拽時(shí)，即使第一軋輥和第二軋輥僅在其相對(duì)的寬度方向上的端 部處支撐供體膜110和支撐物120，也能夠獲得良好的拖拽特性。
圖12示出第一剝離輥410、位于第一剝離輥410中的刀刃形第一插入裝置510、第 一軋輥710、以及第一帶810?？梢钥吹剑谝卉堓?10和第一帶810僅在與插入裝置被插 入的位置相對(duì)應(yīng)的部分處形成。
圖13示出供體膜剝離設(shè)備的示例，除了第一輥210和第一剝離輥410之外，該供 體膜剝離設(shè)備還包括第一軋輥710和輥910，第一軋輥710與第一剝離輥410間隔并與第一 輥210接合，以支撐所拖拽的供體膜110，并且由第一夾具310所拖拽的供體膜110位于第 一輥210與第一軋輥710之間，輥910充當(dāng)?shù)谝徊迦胙b置。在這種情況下，充當(dāng)?shù)谝徊迦胙b 置的輥910位于第一剝離輥410的相對(duì)端，第一軋輥710、第一剝離輥410、以及充當(dāng)?shù)谝徊?入裝置的輥910通過(guò)第一帶810相互配合。
圖14示出第一輥210、第一剝離輥410、第一軋輥710、以及充當(dāng)?shù)谝徊迦胙b置的輥 910。圖15示出第一軋輥710、第一剝離輥410、以及充當(dāng)?shù)谝徊迦胙b置的輥910通過(guò)第一 帶810相互配合的狀態(tài)。第一帶810僅在與充當(dāng)?shù)谝徊迦胙b置的輥910的寬度相對(duì)應(yīng)的部 分中形成。第一軋輥710可形成為具有與第一剝離輥410的長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度(見(jiàn)圖15)， 或可僅在與充當(dāng)?shù)谝徊迦胙b置的輥910被插入的位置相對(duì)應(yīng)的部分中形成。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，除了第二輥220和第二剝離輥420之外，供體膜剝離設(shè)備還包 括第二軋輥720，第二軋輥720與第二剝離輥420間隔并與第二輥220接合，以支撐所拖拽 的支撐物120，并且由第二夾具320所拖拽的支撐物120位于第二輥220與第二軋輥720 之間。充當(dāng)?shù)诙迦胙b置的輥920位于第二剝離輥420中，并且第二軋輥720、第二剝離輥 420、以及充當(dāng)?shù)诙迦胙b置的輥920通過(guò)第二帶820相互配合。在這種情況下，第二帶820 可在與充當(dāng)?shù)诙迦胙b置的輥920的寬度相對(duì)應(yīng)的部分中形成。
還能夠通過(guò)下面所述的方法將通過(guò)位于其間的襯底彼此粘合的剝離供體膜和支 撐物從襯底剝離。
首先，將通過(guò)位于其間的襯底彼此粘合的供體膜和支撐物的粘合體置于第一輥與 第二輥之間。從通過(guò)位于其間的襯底彼此粘合的供體膜和支撐物的粘合體的端部，使用第 一夾具拖拽供體膜的遠(yuǎn)端部，并且使用第二夾具拖拽支撐物的遠(yuǎn)端部。第一剝離輥被設(shè)置 為使第一剝離輥與第一輥接合，并且所拖拽的供體膜位于第一剝離輥與第一輥之間，第二 剝離輥被設(shè)置為使第二剝離輥與第二輥接合，并且所拖拽的支撐物位于第二剝離輥與第二 輥之間。將插入裝置插入供體膜與支撐物之間，使第一輥和第二輥旋轉(zhuǎn)，通過(guò)第一夾具和第 二夾具拖拽供體膜和支撐物并傳送襯底，以從襯底剝離供體膜和支撐物。
從襯底剝離供體膜和支撐物的過(guò)程可在腔室中執(zhí)行。在這種情況下，第一剝離輥 和第二剝離輥是否同時(shí)設(shè)置或者先設(shè)置它們中的哪一個(gè)都不重要。第一剝離輥和第二剝離 輥可位于真空環(huán)境下進(jìn)行后續(xù)步驟。
此外，第一輥和第一剝離輥的轉(zhuǎn)速可對(duì)應(yīng)于供體膜的拖拽速度。類似地，第二輥和 第二剝離輥的轉(zhuǎn)速可對(duì)應(yīng)于支撐物的拖拽速度。
根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施方式中的至少一個(gè)，用于剝離供體膜的設(shè)備可基本均勻地保持 卷角、剝離力、以及剝離供體膜時(shí)的張力，可在真空狀態(tài)下剝離供體膜，并且可同時(shí)剝離上 膜和下膜。
此外，該設(shè)備能夠解決在卷繞剝離時(shí)產(chǎn)生污點(diǎn)的問(wèn)題，并能夠避免EL的撕下以及 由突然的剝離操作所導(dǎo)致的對(duì)襯底中的有機(jī)EL的破壞，因此也防止了剝離失敗。此外，固 定裝置可單獨(dú)地設(shè)置在供體膜剝離設(shè)備的每個(gè)輥中。
雖然已經(jīng)參照附圖對(duì)上述實(shí)施方式進(jìn)行了描述，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解，在不 背離所附權(quán)利要求的范圍和精神的情況下，可以進(jìn)行各種修改、增加和替換。
權(quán)利要求
1.一種用于從襯底剝離供體膜和支撐物的供體膜剝離設(shè)備，所述供體膜和所述支撐物通過(guò)位于其間的所述襯底彼此粘合，所述設(shè)備包括第一輥，位于所述供體膜的側(cè)面上；第二輥，位于所述支撐物的側(cè)面上并位于與所述第一輥相對(duì)應(yīng)的位置處；第一夾具，被配置為拖拽所述供體膜；第二夾具，被配置為拖拽所述支撐物；第一剝離輥，與所述第一輥接合，以使所拖拽的供體膜位于所述第一剝離輥與所述第一輥之間，以支撐所拖拽的供體膜；第二剝離輥，與所述第二輥接合，以使所拖拽的支撐物位于所述第二剝離輥與所述第二輥之間，以支撐所拖拽的支撐物；插入機(jī)構(gòu)，位于所述第一剝離輥和所述第二剝離輥中的至少一個(gè)中并插入粘合的供體膜和支撐物之間。
2.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述襯底是顯示裝置的顯示單元。
3.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述襯底是有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的顯示單元。
4.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述供體膜是用于激光熱轉(zhuǎn)印的供體膜。
5.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述供體膜被配置為形成顯示裝置的彩色像素。
6.如權(quán)利要求5所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述顯示裝置是液晶顯示器或有機(jī)發(fā)光 裝直。
7.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述供體膜和所述支撐物中的每一個(gè)均由柔性膜形成。
8.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述支撐物由聚合物膜形成。
9.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述支撐物附貼至所述襯底，以作為被配置為在激光熱轉(zhuǎn)印期間保護(hù)所述襯底的支撐物。
10.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述插入機(jī)構(gòu)位于所述第一剝離輥和所述第二剝離輥中的至少一個(gè)的相對(duì)端。
11.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述供體膜和所述支撐物中的每一個(gè)的面積均大于所述襯底的面積，所述供體膜和所述支撐物在所述襯底外的部分中彼此直接粘合，并且所述插入機(jī)構(gòu)插入所述供體膜和所述支撐物彼此直接粘合的區(qū)域內(nèi)。
12.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述插入機(jī)構(gòu)位于所述第一剝離輥和所述第二剝離輥中，并且所述插入機(jī)構(gòu)包括位于所述第一剝離輥中的第一插入機(jī)構(gòu)以及位于所述第二剝離輥中的第二插入機(jī)構(gòu)。
13.如權(quán)利要求12所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述第一插入機(jī)構(gòu)位于所述第一剝離輥的相對(duì)端處，所述第二插入機(jī)構(gòu)位于所述第二剝離輥的相對(duì)端處。
14.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述插入機(jī)構(gòu)是刀刃或輥。
15.如權(quán)利要求14所述的供體膜剝離設(shè)備,其中所述棍具有從5mm至20mm的直徑范圍。
16.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，還包括下列至少之一i)被配置為卷繞所拖拽的供體膜的供體膜卷輥；ii)被配置為卷繞所拖拽的支撐物的支撐物層卷輥。
17.如權(quán)利要求1所述的供體膜剝離設(shè)備，還包括下列至少之一第一軋輥，與所述第一剝離輥間隔并與所述第一輥接合，以使所拖拽的供體膜位于所述第一輥與所述第一軋輥之間，以支撐所拖拽的供體膜；以及第二軋輥，與所述第二剝離輥間隔并與所述第二輥接合，以使所拖拽的支撐物位于所述第二輥與所述第二軋輥之間，以支撐所拖拽的支撐物。
18.如權(quán)利要求17所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述第一剝離輥和所述第二剝離輥分別通過(guò)第一帶和第二帶與所述第一軋輥和所述第二軋輥相互配合，并且所述第一帶和所述第二帶分別與所述第一輥和所述第二輥接合，以支撐所拖拽的供體膜。
19.如權(quán)利要求18所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述第一帶和所述第二帶中的每一個(gè)均僅形成于與所述插入機(jī)構(gòu)被插入的位置相對(duì)應(yīng)的部分中。
20.如權(quán)利要求17所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述插入機(jī)構(gòu)是輥，并且位于所述第一剝離輥或所述第二剝離輥的相對(duì)端處，并且所述第一軋輥、所述第一剝離輥、以及所述插入機(jī)構(gòu)經(jīng)由第一帶相互配合，所述第二軋輥、所述第二剝離輥、以及所述插入機(jī)構(gòu)經(jīng)由第二帶相互配合。
21.如權(quán)利要求20所述的供體膜剝離設(shè)備，其中所述第一帶和所述第二帶中的至少一個(gè)僅形成于與所述插入機(jī)構(gòu)的寬度相對(duì)應(yīng)的部分中。
22.—種從襯底剝離供體膜和支撐物的方法，所述供體膜和所述支撐物通過(guò)位于其間的所述襯底彼此粘合，所述方法包括將所述供體膜和所述支撐物放置于第一輥與第二輥之間，其中所述供體膜和所述支撐物通過(guò)位于其間的所述襯底彼此粘合；經(jīng)由第一夾具拖拽所述供體膜的遠(yuǎn)端部，并且經(jīng)由第二夾具拖拽所述支撐物的遠(yuǎn)端部;使第一剝離輥與所述第一輥接合，以使所拖拽的供體膜位于所述第一剝離輥與所述第一輥之間；使第二剝離輥與所述第二輥接合，以使所拖拽的支撐物位于所述第二剝離輥與所述第二輥之間；將插入機(jī)構(gòu)插入所述供體膜與所述支撐物之間；以及使所述第一輥和所述第二輥旋轉(zhuǎn)并經(jīng)由所述第一夾具和所述第二夾具分別拖拽所述供體膜和所述支撐物，并且傳送所述襯底，以從所述襯底剝離所述供體膜和所述支撐物。
23.如權(quán)利要求22所述的方法，其中所述方法在腔室中執(zhí)行。
24.如權(quán)利要求22所述的方法，其中所述第一剝離輥的接合與所述第二剝離輥的接合同時(shí)執(zhí)行或相繼執(zhí)行。
25.如權(quán)利要求22所述的方法，其中所述第一剝離輥的接合與所述第二剝離輥的接合在真空環(huán)境下執(zhí)行。
26.如權(quán)利要求22所述的方法，其中所述第一輥和所述第一剝離輥的轉(zhuǎn)速對(duì)應(yīng)于所述供體膜的拖拽速度。
27.如權(quán)利要求22所述的方法，其中所述第二輥和所述第二剝離輥的轉(zhuǎn)速對(duì)應(yīng)于所述支撐物的 拖拽速度。
全文摘要
公開(kāi)了用于從襯底剝離供體膜的方法和設(shè)備。在一個(gè)實(shí)施方式中，供體膜剝離設(shè)備包括i)第一輥，位于供體膜的一側(cè)；ii)第二輥，位于支撐物的一側(cè)并位于與第一輥相對(duì)應(yīng)的位置處；以及iii)第一和第二夾具，被配置為分別拖拽供體膜和支撐物。該設(shè)備還包括i)第一和第二剝離輥，分別與第一和第二輥接合，以支撐所拖拽的供體膜和支撐物，并且第一和第二夾具所拖拽的供體膜和支撐物分別位于第一和第二剝離輥與第一和第二輥之間；以及ii)插入機(jī)構(gòu)，位于第一剝離輥和第二剝離輥中的至少一個(gè)中并被插入粘合的供體膜和支撐物之間。
文檔編號(hào)B32B38/10GK103009782SQ201210156948
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月26日
發(fā)明者安耿顯 申請(qǐng)人:三星顯示有限公司