專利名稱：玻璃膜層疊體及其制造方法以及玻璃膜的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用支承玻璃來支承玻璃膜而成的玻璃膜層疊體及玻璃膜，所述玻璃膜使用在電子設(shè)備、例如液晶顯示器或有機(jī)EL顯示器等平板顯示器、太陽能電池、鋰離子電池、電子看板、觸控面板、電子紙等的玻璃基板、及有機(jī)EL照明的玻璃罩或醫(yī)藥品封裝件
由
寸T O
背景技術(shù)：
從空間節(jié)省化的觀點(diǎn)出發(fā)，代替現(xiàn)有普及的CRT型顯示器，近年以來普及有液晶顯示器、等離子體顯示器、有機(jī)EL顯示器、場致發(fā)射顯示器等平板顯示器。對這些平板顯示器要求進(jìn)ー步的薄型化。特別對有機(jī)EL顯示器而言，要求通過折疊或卷繞而容易地搬運(yùn)，并且不僅能夠用于平面還能夠用于曲面。并且，不僅能夠用于平面還能夠用于曲面的要求不僅限于顯示器，若能夠在例如機(jī)動車的車身表面或建筑物的屋頂、柱子、外壁等具有曲面的物體的表面上形成太陽能電池、或者形成有機(jī)EL照明的話，則其用途變得廣泛。從而，對使用在上述設(shè)備中的基板或玻璃罩要求進(jìn)ー步的薄板化和高的撓性。使用在有機(jī)EL顯示器中的發(fā)光體會因與氧或水蒸氣等氣體接觸而發(fā)生劣化。從而，由于對使用在有機(jī)EL顯示器中的基板要求高的阻氣性，因此期待使用玻璃基板的有機(jī)EL顯示器。然而，使用在基板中的玻璃與樹脂膜不同，拉伸應(yīng)力弱，因此撓性低，當(dāng)彎曲玻璃基板而在玻璃基板表面上施加拉伸應(yīng)カ時，會導(dǎo)致玻璃基板破損。需要進(jìn)行超薄板化以對玻璃基板賦予撓性，提出了如下述專利文獻(xiàn)I所記載那樣的厚度為200 μπι以下的玻璃膜。對使用在平板顯示器或太陽能電池等電子設(shè)備中的玻璃基板實(shí)施透明導(dǎo)電膜等的貼膜處理、清洗處理等各種與電子設(shè)備制造關(guān)聯(lián)的處理。然而，若對使用在上述電子設(shè)備中的玻璃基板進(jìn)行薄膜化，則由于玻璃為脆性材料而多少發(fā)生應(yīng)力變化以至破損，在進(jìn)行上述的各種與電子設(shè)備制造關(guān)聯(lián)的處理時，存在操作極其困難的問題。此外，由于厚度200 μ m以下的玻璃膜富有撓性，因此在進(jìn)行制造關(guān)聯(lián)處理時，還存在如下問題難以進(jìn)行定位，圖制時產(chǎn)生偏移等。因此，為了解決上述問題，提出了下述專利文獻(xiàn)2所記載的層疊體。在下述專利文獻(xiàn)2中，提出了支承玻璃基板和玻璃片經(jīng)由即使反復(fù)使用也大致維持一定的粘接材料層而層疊的層疊體。由此，即使使用就單體而言沒有強(qiáng)度或剛性的玻璃片，也能夠共用現(xiàn)有的玻璃用液晶顯示元件制造線來制造液晶顯示元件，在エ序結(jié)束后，能夠剝離支承玻璃基板。并且，由干支承體使用玻璃基板，因此能夠某種程度上防止熱翹曲等。此外，由干支承體的剛性高，因此難以產(chǎn)生制造關(guān)聯(lián)處理中的定位或圖制時的層疊體偏移這樣的問題。在線技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I日本特開2008-133174號公報專利文獻(xiàn)2日本特開平8-86993號公報然而，在剝離支承玻璃基板后，存在粘接性物質(zhì)殘留在玻璃膜上而造成污染的問題。進(jìn)而，最終將層疊體的玻璃膜從支承玻璃基板剝離而僅剩玻璃膜時，若設(shè)定支承玻璃基板上的粘接劑層的粘接カ較強(qiáng)，則存在作為脆性材料的玻璃膜無法耐受該拉伸應(yīng)カ而容易破損的問題。并且，若設(shè)定粘接劑層的粘接カ較弱，則支承玻璃基板與玻璃膜的粘接變得不充分，可能會在制造關(guān)聯(lián)處理時產(chǎn)生因支承玻璃基板與玻璃膜偏移而引起的定位失誤或圖制的偏移等。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一目的在于，能夠在進(jìn)行制造關(guān)聯(lián)處理時利用支承體牢固地支承玻璃膜，且在制造關(guān)聯(lián)處理后將玻璃膜裝入各種設(shè)備中時，容易地從支承體剝離玻璃膜。本發(fā)明的第二目的在于提供一種可靠地防止將玻璃膜從支承體剝離后粘接劑殘留在玻璃膜上的情況的玻璃膜層疊體。本發(fā)明提供ー種通過層疊玻璃膜和支承體而成的玻璃膜層疊體，其特征在于，在所述玻璃膜的接觸面與所述支承體的接觸面的粘接部設(shè)有粘接力相對強(qiáng)的區(qū)域和粘接力相對弱的區(qū)域。這里，本發(fā)明中使用的支承體包括由玻璃或陶瓷等無機(jī)材料形成的支承體、或者由樹脂材料或金屬材料形成的支承體。并且，粘接力相對弱的區(qū)域可以是沒有粘接力的區(qū)域。進(jìn)而，本發(fā)明的玻璃膜層疊體包括通過使所述玻璃膜的接觸面與所述支承體的接觸面直接接觸來粘接而成的玻璃膜層疊體、或者通過使所述玻璃膜的接觸面與所述支承體的接觸面經(jīng)由粘接劑層(粘接劑層)來粘接而成的玻璃膜層疊體。在玻璃膜層疊體為前者的情況下，構(gòu)成為由玻璃形成所述支承體(支承玻璃)，并在所述玻璃膜的接觸面及所述支承玻璃的接觸面中的至少一方設(shè)有表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域的結(jié)構(gòu)。在玻璃膜層疊體為后者的情況下，構(gòu)成為粘接劑層(粘接劑層)具有粘接カ相對強(qiáng)的層區(qū)域和粘接カ相對弱的層區(qū)域，或者在粘接部的一部分區(qū)域不設(shè)置粘接劑層(粘接劑層)的結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明中，優(yōu)選構(gòu)成為，所述支承體由玻璃形成(支承玻璃)，且在所述玻璃膜的接觸面及所述支承玻璃的接觸面中的至少一方設(shè)有表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域。例如，可以在所述支承玻璃的接觸面設(shè)置所述表面粗糙度相對大的區(qū)域和所述表面粗糙度相對小的區(qū)域。優(yōu)選所述表面粗糙度相對小的區(qū)域的表面粗糙度Ra為2. Onm以下。并且，優(yōu)選所述表面粗糙度相對大的區(qū)域和所述表面粗糙度相對小的區(qū)域的表面粗糙度Ra之差為O. Inm以上。在本發(fā)明中，可以構(gòu)成為，在所述接觸面的外周部具有所述表面粗糙度相對小的區(qū)域，在由所述外周部包圍的內(nèi)部具有所述表面粗糙度相對大的區(qū)域?；蛘?，可以構(gòu)成為，在所述接觸面的角部具有所述表面粗糙度相對小的區(qū)域。或者，可以構(gòu)成為，在所述接觸面的外周部具有所述表面粗糙度相對大的區(qū)域，在由所述外周部包圍的內(nèi)部具有所述表面粗糙度相對小的區(qū)域?；蛘?，可以構(gòu)成為，所述表面粗糙度相對大的區(qū)域和所述表面粗糙度相對小的區(qū)域在所述接觸面呈帶狀地交替設(shè)置。并且，可以構(gòu)成為，所述玻璃膜和所述支承玻璃以在緣部的至少一部分設(shè)有高低差的方式層疊。并且，本發(fā)明提供ー種通過層疊玻璃膜與支承玻璃而成的玻璃膜層疊體的制造方法，其特征在于，包括對所述玻璃膜的接觸面及所述支承玻璃的接觸面中的至少一方的一部分區(qū)域進(jìn)行粗面化的エ序；在使所述接觸面彼此接觸的狀態(tài)下層疊所述玻璃膜和所述支承玻璃的エ序。在上述結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選所述玻璃膜及所述支承玻璃通過溢流下拉法而成形。并且，所述粗面化可以是從基于氟酸的蝕刻處理、基于大氣壓等離子體的蝕刻處理、基于薄膜形成的粗面化、基于噴砂的粗面化處理中選擇的ー種或兩種以上的處理。并且，本發(fā)明提供ー種玻璃膜的制造方法，特征在于，包括在支承玻璃的接觸面及玻璃膜的接觸面中的至少一方設(shè)置表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域的第一エ序；通過將所述支承玻璃的接觸面和所述玻璃膜的接觸面貼合來形成玻璃膜層 疊體的第二エ序；對所述玻璃膜層疊體進(jìn)行制造關(guān)聯(lián)處理的第三エ序；在所述制造關(guān)聯(lián)處理后將所述玻璃膜從所述支承玻璃剝離的第四エ序。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，在所述玻璃膜的接觸面與所述支承體的接觸面的粘接部設(shè)有粘接力相對強(qiáng)的區(qū)域和粘接力相對弱的區(qū)域，因此通過粘接力相對強(qiáng)的區(qū)域，能夠在使玻璃膜牢固地層疊于支承體上的狀態(tài)下穩(wěn)定地實(shí)施制造關(guān)聯(lián)處理。此外，由于具有粘接力相對弱的區(qū)域，因此能夠在制造關(guān)聯(lián)處理后容易地將玻璃膜從粘接力的相對弱的區(qū)域剝離。從而，能夠防止因支承體與玻璃膜的粘接力整體上過強(qiáng)而引起的玻璃膜剝離時的破損，且能夠防止因粘接力整體上過弱而引起的制造關(guān)聯(lián)處理時的玻璃膜的不當(dāng)剝離脫落。所述支承體由玻璃形成(支承玻璃)，在所述玻璃膜的接觸面及所述支承玻璃的接觸面中的至少一方設(shè)置表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域，由此在表面粗糙度相對大的區(qū)域(以下稱作粗糙面)玻璃膜與支承玻璃以弱カ粘接，在表面粗糙度相對小的區(qū)域(以下稱作平滑面)玻璃膜與支承玻璃以強(qiáng)カ粘接。就平滑面彼此的接觸而言，認(rèn)為兩表面間的距離變小到了在兩表面存在的氫氧基彼此能夠氫結(jié)合的程度，因此密接性良好，即使不使用粘接劑也能夠使玻璃膜的接觸面與支承玻璃的接觸面牢固穩(wěn)定地粘接。由此，能夠在使玻璃膜牢固地層疊于支承玻璃上的狀態(tài)下穩(wěn)定地實(shí)施制造關(guān)聯(lián)處理，且能夠在制造關(guān)聯(lián)處理后將玻璃膜容易地從粗糙面剝離。并且，由于沒有使用粘接劑，因此即使從支承玻璃剝離玻璃膜，也能夠得到完全不殘留粘接劑的玻璃膜。由于所述支承玻璃能夠再次利用，因此通過在所述支承玻璃的接觸面上設(shè)置所述表面粗糙度相對大的區(qū)域和所述表面粗糙度相對小的區(qū)域，由此例如對支承玻璃的接觸面的一部分區(qū)域進(jìn)行一次粗面化處理的話，就無需進(jìn)行再次的粗面化處理，能夠?qū)⒃撝С胁Ａе苯釉俅卫?，因此制造エ序得以簡化。并且，由于玻璃膜作為設(shè)備的玻璃基板來使用，因此即使在背面?zhèn)冗M(jìn)行粗面化處理有時也是不優(yōu)選的。當(dāng)所述表面粗糙度相對小的區(qū)域的表面粗糙度Ra為2. Onm以下吋，能夠使玻璃膜與支承玻璃更為牢固地粘接。當(dāng)所述表面粗糙度相對大的區(qū)域和所述表面粗糙度相對小的區(qū)域的表面粗糙度Ra之差為O. Inm以上時，能夠使支承玻璃與玻璃膜適當(dāng)?shù)卣辰樱谥圃礻P(guān)聯(lián)處理時進(jìn)行良好的定位，且能夠在制造關(guān)聯(lián)處理后容易地將玻璃膜從支承玻璃剝離。由此，能夠取得粘接性與剝離性的平衡。通過構(gòu)成為在所述接觸面的外周部具有所述表面粗糙度相對小的區(qū)域且在由所述外周部包圍的內(nèi)部具有所述表面粗糙度相對大的區(qū)域的結(jié)構(gòu)，由此能夠使玻璃膜與支承玻璃沿著接觸面的外周部且以少的粘接面積牢固地粘接。并且，即使制造關(guān)聯(lián)處理工序具有使用溶劑的エ序，也能夠防止溶劑從玻璃膜與支承玻璃之間浸入的情況。通過構(gòu)成為在所述接觸面的角部具有所述表面粗糙度相對小的區(qū)域的結(jié)構(gòu)，由此能夠使玻璃膜的角部與支承玻璃牢固地粘接，能夠?qū)⒉Ａづc支承玻璃以少的粘接面積層疊。通過構(gòu)成為在所述接觸面的外周部具有所述表面粗糙度相對大的區(qū)域且在由所述外周部包圍的內(nèi)部具有所述表面粗糙度相對小的區(qū)域的結(jié)構(gòu)，由此能夠在從支承玻璃剝離玻璃膜時從玻璃膜的外周部容易地開始剝離。通過構(gòu)成為所述表面粗糙度相對大的區(qū)域和所述表面粗糙度相對小的區(qū)域呈帶狀地交替設(shè)置在所述接觸面上的結(jié)構(gòu)，由此沿著所述帶狀的區(qū)域的長度方向進(jìn)行玻璃膜的剝離的話就能夠以一定的力穩(wěn)定地進(jìn)行支承玻璃與玻璃膜的剝離。通過構(gòu)成為所述玻璃膜與所述支承玻璃以在緣部的至少一部分設(shè)有高低差的方式層疊的結(jié)構(gòu)，由此在玻璃膜從支承玻璃伸出的情況下，能夠更加容易且可靠地剝離玻璃膜與支承玻璃。另ー方面，在支承玻璃從玻璃膜伸出的情況下，能夠保護(hù)玻璃膜的端部免受砸撞(打突)等。并且，本發(fā)明涉及的玻璃膜層疊體的制造方法包括對所述玻璃膜的接觸面及所述支承玻璃的接觸面中的至少一方的一部分區(qū)域進(jìn)行粗面化的エ序；在使所述接觸面彼此接觸的狀態(tài)下層疊所述玻璃膜與所述支承玻璃的エ序，因此能夠容易地制造上述的玻璃膜
層疊體。當(dāng)所述玻璃膜及所述支承玻璃通過溢流下拉法而成形時，具有表面粗糙度小且平滑性高的表面，因此通過對其表面的一部分區(qū)域進(jìn)行粗面化，由此能夠更加容易地制造上述的玻璃膜層疊體。當(dāng)所述粗面化是從基于氟酸的蝕刻處理、基于大氣壓等離子的蝕刻處理、基于薄膜形成的粗面化、基于噴砂的粗面化處理中選擇的ー種或兩種以上的處理時，通過適當(dāng)?shù)厥褂谜诒螏У龋纱四軌蛉菀椎刂谱鞒鲇杀淮置婊说膮^(qū)域和未被粗面化的區(qū)域構(gòu)成的接觸面。并且，由于本發(fā)明涉及的玻璃膜層疊體的制造方法包括在支承玻璃的接觸面及玻璃膜的接觸面中的至少一方設(shè)置表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域的第一エ序；通過將所述支承玻璃的接觸面和所述玻璃膜的接觸面貼合來形成玻璃膜層疊體的第二エ序；對所述玻璃膜層疊體進(jìn)行制造關(guān)聯(lián)處理的第三エ序；在所述制造關(guān)聯(lián)處理后將所述玻璃膜從所述支承玻璃剝離的第四エ序，因此能夠容易地制造出為了用于各種用途而進(jìn)行了制造關(guān)聯(lián)處理的玻璃膜。


圖I (a)是本發(fā)明涉及的玻璃膜層疊體的俯視圖。 圖I (b)是圖I (a)的A-A線剖視圖。
圖2是玻璃膜及支承玻璃的制造裝置的說明圖。圖3是在角部具有平滑面的玻璃膜層疊體的圖。圖4(a)是在中央部具有平滑面的玻璃膜層疊體的俯視圖。圖4 (b)是圖4 (a)的B-B線剖視圖。圖5 (a)是在支承玻璃的面上呈帶狀地交替設(shè)有粗糙面和平滑面的玻璃膜層疊體的俯視圖。圖5 (b)是圖5 (a)的B-B線剖視圖。圖6(a)是在將玻璃膜和支承玻璃以在緣部設(shè)有高低差的方式層疊而成的玻璃膜層疊體中，支承玻璃從玻璃膜伸出的形態(tài)的側(cè)視圖。
圖6(b)是在將玻璃膜和支承玻璃以在緣部設(shè)有高低差的方式層疊而成的玻璃膜層疊體中，玻璃膜從支承玻璃伸出的形態(tài)的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明涉及的玻璃膜層疊體的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說明。如圖I所示，本發(fā)明涉及的玻璃膜層疊體⑴由玻璃膜(2)和支承玻璃⑶構(gòu)成。在支承玻璃(3)的接觸面上設(shè)有表面粗糙度相對小的平滑面(4)和表面粗糙度相對大的粗糙面(5)，玻璃膜(2)與支承玻璃(3)在不使用粘接劑等的情況下層疊。玻璃膜(2)使用硅酸鹽玻璃，優(yōu)選使用ニ氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃，最優(yōu)選使用無堿玻璃。若在玻璃膜⑵中含有堿成分，則陽離子會在表面脫離，產(chǎn)生所謂的出堿(ソーダ吹き)現(xiàn)象，結(jié)構(gòu)性地變粗糙。在這種情況下，當(dāng)彎曲玻璃膜(2)使用時，可能因時效劣化而容易從變粗糙的部分發(fā)生破損。需要說明的是，這里所說的無堿玻璃是指實(shí)質(zhì)上不含堿成分(堿金屬氧化物)的玻璃，具體而言，是指堿金屬氧化物為IOOOppm以下的玻璃。優(yōu)選本發(fā)明中的堿金屬氧化物的含有量為500ppm以下,更優(yōu)選為300ppm以下。優(yōu)選玻璃膜⑵的厚度為300 μ m以下,更優(yōu)選為5 μ m 200 μ m,最優(yōu)選為5 μ m IOOym0由此，能夠進(jìn)ー步減薄玻璃膜(2)的厚度，從而賦予玻璃膜(2)適當(dāng)?shù)膿闲?。并且，若減薄玻璃膜(2)的厚度，則操作性困難且可能容易產(chǎn)生定位失誤或圖制時的偏移等問題，但在本發(fā)明中，通過使用支承玻璃(3)，由此能夠容易地進(jìn)行制造關(guān)聯(lián)處理。另一方面，若玻璃膜(2)的厚度小于5μπι，則玻璃膜(2)的強(qiáng)度容易變得不足，從玻璃膜層疊體
(I)剝離玻璃膜(2)而將其裝入設(shè)備中時容易導(dǎo)致破損。另ー方面，若玻璃膜(2)的厚度超過300 μ m,則可能難以對玻璃膜賦予撓性。支承玻璃(3)與玻璃膜(2)同樣使用硅酸鹽玻璃、ニ氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、無堿玻璃等。對于支承玻璃(3)而言，優(yōu)選使用與玻璃膜(2)的在30 380°C下的熱膨脹系數(shù)之差為5X IO-V0C以內(nèi)的玻璃。由此，能夠制成即使在制造關(guān)聯(lián)處理時進(jìn)行熱處理，也不易因膨脹率的差而產(chǎn)生熱翹曲等，能夠維持穩(wěn)定的層疊狀態(tài)的玻璃膜層疊體(I)。優(yōu)選支承玻璃(3)的厚度為400 μ m以上。其原因在于，若支承玻璃(3)的厚度小于400 μ m，則在對支承玻璃單體進(jìn)行操作時，可能在強(qiáng)度方面產(chǎn)生問題。優(yōu)選支承玻璃(3)的厚度為400 μ m 700 μ m,最優(yōu)選為500 μ m 700 μ m。由此，能夠可靠地支承玻璃膜(2)。優(yōu)選本發(fā)明所使用的玻璃膜(2)及支承玻璃(3)通過下拉法成形。其原因在干，能夠更為光滑地成形玻璃膜(2)的表面。尤其圖2所示的溢流下拉法為在成形時玻璃板的兩面不與成形構(gòu)件接觸的成形法，不易在得到的玻璃板的兩面(透光面)上產(chǎn)生傷痕，即使不進(jìn)行研磨也能夠獲得高的平滑性。由此，能夠使玻璃膜(2)與支承玻璃(3)在平滑面(4)上更為牢固地粘接。剛從截面為楔型的成形體(7)的下端部(71)流下后的玻璃帶(G)被冷卻輥(8)在限制寬度方向的收縮的同時向下方拉伸，而減薄至規(guī)定的厚度。接下來，將達(dá)到所述規(guī)定厚度的玻璃帶(G)在退火爐(annealer)中徐緩冷卻，除去玻璃帶(G)的熱應(yīng)變,并按規(guī)定尺寸切斷玻璃帶(G)，從而成形玻璃膜(2)及支承玻璃(3)。如圖I所示，在支承玻璃(3)的接觸面上設(shè)有平滑面(4)和粗糙面(5)。在支承玻璃⑶的接觸面上貼合玻璃膜⑵時，由于在平滑面⑷上密接性良好，因此玻璃膜⑵與支承玻璃(3)以強(qiáng)カ粘接，且在粗糙面(5)上玻璃膜(2)與支承玻璃(3)以弱カ粘接。由此，能夠在使玻璃膜(2)牢固地層疊于支承玻璃(3)上的狀態(tài)下實(shí)施制造關(guān)聯(lián)處理，且能夠在制造關(guān)聯(lián)處理后容易地從粗糙面(5)剝離玻璃膜(2)。需要說明的是，在圖I、圖3、圖4的俯視圖中，對支承玻璃⑶的接觸面中的粗糙面(5)標(biāo)注了斜線。并且，在圖I、圖4、及 圖5的剖視圖中，用粗線表示粗糙面(5)。優(yōu)選支承玻璃(3)的接觸面中的平滑面(4)的表面粗糙度Ra為2. Onm以下。通過使平滑面(4)的Ra為2. Onm以下，由此玻璃膜(2)與支承玻璃(3)的每單位面積的粘接面積增加，從而密接性得以提高，且能夠使玻璃膜(2)與支承玻璃(3)牢固地粘接。優(yōu)選玻璃膜(2)的接觸面的表面粗糙度Ra也為2. Onm以下。更優(yōu)選玻璃膜(2)及支承玻璃(3)的接觸面中的平滑面的表面粗糙度Ra分別為I. Onm以下，進(jìn)而優(yōu)選為O. 5nm以下，最優(yōu)選為O. 2nm以下。優(yōu)選支承玻璃(3)的接觸面中的平滑面⑷與粗糙面(5)的表面粗糙度Ra之差為O. Inm以上，更優(yōu)選為O. 3nm以上。由此，能夠在平滑面⑷上使支承玻璃⑶與玻璃膜
(2)適當(dāng)?shù)卣辰?，且能夠容易地從支承玻?3)剝離玻璃膜(2)。另ー方面，若表面粗糙度Ra之差小于O. lnm，則難以獲得表面粗糙度設(shè)有差而帶來的效果。并且，支承玻璃(3)的接觸面中的平滑面(4)與粗糙面(5)的表面粗糙度Ra之差從粘接性和剝離性這樣的觀點(diǎn)出發(fā)沒有特別地限定，但從粗糙面形成的省力化的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為2000nm以下。優(yōu)選在支承玻璃(3)的接觸面上，平滑面⑷與粗糙面(5)的比例為I : 1000
5 I。為了實(shí)現(xiàn)粘接性與剝離性的諧調(diào)，更優(yōu)選為I : 500 4 1，最優(yōu)選為I : 200 3 I。需要說明的是，在玻璃膜(2)的接觸面上設(shè)置平滑面(4)和粗糙面(5)的情況下，也優(yōu)選采用與上述同樣的比例。如圖I所示，可以構(gòu)成為，沿著支承玻璃(3)的接觸面的外周部設(shè)置平滑面(4)，在平滑面(4)所包圍的內(nèi)部設(shè)置表面粗糙度Ra相對大的粗糙面(5)。由此，能夠以少的粘接面積使玻璃膜(2)與支承玻璃(3)沿著玻璃膜層疊體(I)的外周部而牢固地粘接。即使制造關(guān)聯(lián)處理工序具有使用液體的エ序，也能夠防止液體從玻璃膜(2)與支承玻璃(3)之間浸入的情況，能夠防止玻璃膜(2)與支承玻璃(3)輕易剝離的情況。如圖3所示，也可以構(gòu)成為，在支承玻璃(3)的接觸面的角部(31)具有平滑面
(4)。由此，能夠使玻璃膜(2)的接觸面的角部與支承玻璃(3)牢固地粘接，能夠以少的粘接面積層疊玻璃膜(2)與支承玻璃(3)。如圖4所示，也可以構(gòu)成為，在支承玻璃(3)的外周部具有粗糙面(5)，在粗糙面(5)所包圍的內(nèi)部設(shè)置平滑面(4)。由此，從支承玻璃(3)剝離玻璃膜(2)時，能夠容易地開始剝離。通過僅使玻璃膜(2)的中央部接觸，由此不會發(fā)生玻璃膜(2)在撓曲的狀態(tài)下粘接的情況。由此，能夠可靠地防止在制造關(guān)聯(lián)處理時產(chǎn)生不利的凹凸。需要說明的是，在制造關(guān)聯(lián)處理中，若具有使用溶劑的エ序，則也可以在玻璃膜層疊體(I)側(cè)部粘貼遮蔽帯。如圖5所示，可以構(gòu)成為，在支承玻璃(3)的接觸面上交替地設(shè)有帶狀的粗糙面
(5)和帯狀的平滑面(4)。通過沿粗糙面(5)及平滑面(4)的長度方向(圖5(a)中的上下方向)進(jìn)行玻璃膜⑵的剝離，由此由于支承玻璃⑶與玻璃膜⑵的粘接力一定，因此以 一定的力進(jìn)行剝離就能夠穩(wěn)定地進(jìn)行支承玻璃(3)與玻璃膜(2)的剝離。作為在支承玻璃(3)的接觸面上設(shè)置表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域的方法，可以例舉以下的方法。利用遮蔽帶等來保護(hù)表面質(zhì)量優(yōu)越的支承玻璃(3)的接觸面的一部分，并使用物理方法或化學(xué)方法進(jìn)行粗面化處理。在處理后除去遮蔽帯，由此在接觸面上形成由遮蔽帶等保護(hù)的平滑面(4)和被粗面化了的粗糙面(5)。作為物理的粗面化方法，可以舉出利用遮蔽帶等對支承玻璃(3)的接觸面進(jìn)行保護(hù)后，利用噴砂對露出的面進(jìn)行粗面化的方法、或者通過形成薄膜來進(jìn)行粗面化的方法等。尤其在支承玻璃的表面精度良好的情況下，也可以利用遮蔽帶等對支承玻璃(3)的接觸面進(jìn)行保護(hù)后，對露出的面實(shí)施使用了氧化鋁或氧化鈰的研磨。并且，作為化學(xué)的粗面化方法，可以舉出利用氟酸進(jìn)行蝕刻、或者使用大氣壓等離子體的方法等。圖6示出將玻璃膜(2)與支承玻璃(3)以在緣部設(shè)有高低差出)的方式層疊而成的玻璃膜層疊體(I)。在圖6(a)中，以支承玻璃(3)比玻璃膜(2)伸出的方式設(shè)置高低差(61)。由此，能夠更加適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)玻璃膜(2)的端部。需要說明的是，在圖6(a)的形態(tài)的情況下，如與圖4關(guān)聯(lián)而說明的那樣，優(yōu)選在玻璃膜(2)的周邊部具有粗糙面(5)的形態(tài)。由于周邊部為粗糙面(5)，因此通過在玻璃膜(2)與支承玻璃(3)之間插入薄板狀的構(gòu)件(樹脂片等)，由此能夠容易地剝離玻璃膜(2)與支承玻璃(3)。另ー方面，在圖6(b)中，以玻璃膜(2)比支承玻璃(3)伸出的狀態(tài)設(shè)置高低差
(62)。由此，在玻璃膜(2)與支承玻璃(3)的剝離開始時，能夠容易地僅把持玻璃膜(2)，從而能夠更加容易且可靠地將兩者剝離。高低差￠2)設(shè)置在玻璃膜層疊體(I)的周邊部的至少一部分即可，例如，在玻璃膜層疊體(I)俯視觀察下為矩形形狀的情況下，在四邊中的至少ー邊設(shè)置高低差(62)即可。并且，也可以通過在支承玻璃(3)的四角的一部分設(shè)置切ロ(定位平面)來設(shè)置高低差。需要說明的是，在圖6(b)的形態(tài)的情況下，如與圖I關(guān)聯(lián)而說明的那樣，優(yōu)選在玻璃膜(2)的周邊部具有平滑面(4)的形態(tài)。由于周邊部為平滑面
(4)，因此在制造關(guān)聯(lián)處理使用溶劑時，能夠防止溶劑從玻璃膜(2)與支承玻璃(3)之間浸入的情況。優(yōu)選玻璃膜(3)的伸出量為O. Imm 20mm。若小于O. Imm,貝U在剝離開始時可能難以把持玻璃膜(2)的緣部，若超過20_，則在玻璃膜層疊體(I)的側(cè)緣施加(砸撞)砸撞等外力的情況下玻璃膜(2)可能破損。進(jìn)而，通過制成在玻璃膜層疊體(I)的端部形成有通過使支承玻璃(3)的緣部從玻璃膜⑵的緣部伸出而形成的高低差、通過使玻璃膜⑵的緣部從支承玻璃⑶的緣部伸出而形成的高低差(4)這兩方高低差的玻璃膜層疊體(I)，由此能夠分別同時地把持玻璃膜(2)和支承玻璃(3)，進(jìn)而能夠容易地剝離玻璃膜(2)。優(yōu)選各高低差相互接近而形成。在本發(fā)明涉及的玻璃膜層疊體(I)的玻璃膜(2)的表面進(jìn)行成膜、燒成、清洗、圖制等各種各樣與電子設(shè)備制造關(guān)聯(lián)的處理。在制造關(guān)聯(lián)處理后將玻璃膜(2)從玻璃膜層疊體(I)的支承玻璃(3)剝離。通過在玻璃膜(2)與支承玻璃(3)之間插入片，由此進(jìn)行玻璃膜(2)的剝離。優(yōu)選該片為強(qiáng)度高且表面光滑的片，優(yōu)選使用特氟隆(注冊商標(biāo))片。優(yōu)選將片較淺地插入。若將片較深地插入，則片與玻璃的接觸面積變大，摩擦力増加，因此在剝離時玻璃膜(2)可能會發(fā)生破損。在剝離后，玻璃膜(2)使用在目的不同的用途，例如適于使用在電子設(shè)備的玻璃基板等中。將玻璃膜(2)剝離后的支承玻璃(3)能夠再次利用。以上，在上述實(shí)施方式中，在支承玻璃(3)的接觸面上設(shè)有表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域，但并不限定于此，也可以在玻璃膜(2)的接觸面上設(shè)置 表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域。并且，可以在支承玻璃(3)的接觸面和玻璃膜(2)的接觸面這兩方上設(shè)置表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域。實(shí)施例I以下，基于實(shí)施例對本發(fā)明的玻璃膜層疊體詳細(xì)地進(jìn)行說明，但本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施例。(實(shí)施例)將縱300mm、橫300mm、厚度500 μ m的矩形形狀的透明的玻璃板作為支承玻璃來使用。在支承玻璃的一角設(shè)有縱3_、橫3mm的直角三角形的切ロ(定位平面)。作為層疊在支承玻璃的接觸面上的玻璃膜，使用了縱298mm、橫298mm、厚度100 μ m的玻璃膜。支承玻璃和玻璃膜使用了日本電氣硝子株式會社制的無堿玻璃(產(chǎn)品名0A-10G、30 380°C下的熱膨脹系數(shù)38\10_7/で)。通過溢流下拉法來成形支承玻璃和玻璃膜。利用遮蔽帶來保護(hù)支承玻璃的接觸面的四角，并在支承玻璃的接觸面上涂敷1%的氟酸溶液，由此進(jìn)行了粗面化處理。涂敷氟酸溶液經(jīng)過30秒后進(jìn)行清洗處理，除去遮蔽帯，由此將被遮蔽帶保護(hù)的面作為平滑面，且將氟酸處理面作為粗糙面。使用Veeco公司制AFM (Nanoscope III a),在掃描尺寸10 μπι、掃描速度1Hz、樣本線512的條件下測定支承玻璃的接觸面中的平滑面和粗糙面的表面粗糙度Ra。表面粗糙度Ra根據(jù)10 μ m見方的測定范圍內(nèi)的測定值來算出。支承玻璃上的粗糙面的表面粗糙度Ra為O. 5nm,平滑面的表面粗糙度Ra為O. 2nm。玻璃膜的表面粗糙度Ra為O. 2nm。之后，在支承玻璃的接觸面上層疊玻璃膜，從而得到實(shí)施例的玻璃膜層疊體。對得到的玻璃膜層疊體而言，在對玻璃膜的表面進(jìn)行清洗處理、成膜處理時，由干支承玻璃與玻璃膜良好地粘接，因此能夠毫無問題地進(jìn)行處理時的定位、操作。由于通過在支承玻璃的一角設(shè)置的切ロ(定位平面)部來形成高低差(參照圖5)，因此通過插入特氟隆(注冊商標(biāo))片并擴(kuò)寬插入?yún)^(qū)域，由此從支承玻璃剝離玻璃膜吋，能夠從粗糙面良好地剝離，玻璃膜不會發(fā)生破損。(比較例I)除了未對支承玻璃的接觸面進(jìn)行粗面化處理這一點(diǎn)外，采用與上述的實(shí)施例同樣的方法來得到比較例I的玻璃膜層疊體。需要說明的是，支承玻璃及玻璃膜的接觸面的表面粗糙度Ra均為O. 2nm。對得到的比較例I的玻璃膜層疊體而言，在對玻璃膜的表面進(jìn)行成膜處理、清洗處理時，由干支承玻璃與玻璃膜良好地粘接，因此能夠毫無問題地進(jìn)行處理時的定位、操作。然而，在處理后將特氟隆(注冊商標(biāo))片插入至中央附近吋，特氟隆(注冊商標(biāo))片發(fā)生撓曲，玻璃膜則由于粘接力過強(qiáng)而大幅彎曲，在剝離時存在玻璃膜發(fā)生破損的情況。(比較例2)通過對支承玻璃的接觸面進(jìn)行基于氧化鋁及氧化鈰的研磨處理，由此將接觸面的表面粗糙度Ra均勻地調(diào)整為2. 2nm。之后，通過在支承玻璃的接觸面層疊玻璃膜，由此制作出比較例2的玻璃膜層疊體。 對得到的比較例2的玻璃膜層疊體而言，在對玻璃膜的表面進(jìn)行清洗處理、成膜處理時，存在粘接力不充分的情況，在處理時存在支承玻璃從玻璃膜剝離的情況，無法良好地進(jìn)行定位、操作。エ業(yè)實(shí)用性本發(fā)明能夠在制作液晶顯示器或有機(jī)EL顯示器等平板顯示器、太陽能電池等設(shè)備所使用的玻璃基板、及有機(jī)EL照明的玻璃罩的情況下適合地使用。符號說明I 玻璃膜層疊體2 玻璃膜3 支承玻璃4 平滑面5 粗糙面
權(quán)利要求
1.ー種玻璃膜層疊體，通過層疊玻璃膜和支承體而成，其特征在干， 在所述玻璃膜的接觸面與所述支承體的接觸面的層疊部上設(shè)有粘接力相對強(qiáng)的區(qū)域和粘接力相對弱的區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃膜層疊體，其特征在干， 所述支承體為支承玻璃，在所述玻璃膜的接觸面及所述支承玻璃的接觸面中的至少ー方設(shè)有表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃膜層疊體，其特征在干， 在所述支承玻璃的接觸面設(shè)有所述表面粗糙度相對大的區(qū)域和所述表面粗糙度相對小的區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的玻璃膜層疊體，其特征在干， 所述表面粗糙度相對小的區(qū)域的表面粗糙度Ra為2. Onm以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求2 4中任一項所述的玻璃膜層疊體,其特征在于， 所述表面粗糙度相對大的區(qū)域與所述表面粗糙度相對小的區(qū)域的表面粗糙度Ra之差為O. Inm以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求2 5中任一項所述的玻璃膜層疊體,其特征在于， 在所述接觸面的外周部具有所述表面粗糙度相對小的區(qū)域，在由所述外周部包圍的內(nèi)部具有所述表面粗糙度相對大的區(qū)域。
7.根據(jù)權(quán)利要求2 5中任一項所述的玻璃膜層疊體,其特征在于， 所述接觸面的角部具有所述表面粗糙度相對小的區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求2 5中任一項所述的玻璃膜層疊體,其特征在于， 在所述接觸面的外周部具有所述表面粗糙度相對大的區(qū)域，在由所述外周部包圍的內(nèi)部具有所述表面粗糙度相對小的區(qū)域。
9.根據(jù)權(quán)利要求2 5中任一項所述的玻璃膜層疊體,其特征在于， 所述表面粗糙度相對大的區(qū)域和所述表面粗糙度相對小的區(qū)域呈帶狀地交替設(shè)置在所述接觸面上。
10.根據(jù)權(quán)利要求2 9中任一項所述的玻璃膜層疊體，其特征在干， 所述玻璃膜與所述支承玻璃以在緣部的至少一部分設(shè)有高低差的方式層疊。
11.ー種玻璃膜層疊體的制造方法，該玻璃膜層疊體通過層疊玻璃膜和支承玻璃而成，所述玻璃膜層疊體的制造方法的特征在于，包括 對所述玻璃膜的接觸面及所述支承玻璃的接觸面中的至少一方的一部分區(qū)域進(jìn)行粗面化的エ序； 在使所述接觸面彼此接觸的狀態(tài)下層疊所述玻璃膜和所述支承玻璃的エ序。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的玻璃膜層疊體的制造方法，其特征在干， 所述玻璃膜及所述支承玻璃通過溢流下拉法而成形。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的玻璃膜層疊體的制造方法，其特征在干， 所述粗面化是從基于氟酸的蝕刻處理、基于大氣壓等離子的蝕刻處理、基于薄膜形成的粗面化、基于噴砂的粗面化處理中選擇的ー種或兩種以上的處理。
14.ー種玻璃膜的制造方法，其特征在于，包括 在支承玻璃的接觸面及玻璃膜的接觸面中的至少一方設(shè)置表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域的第一エ序； 通過將所述支承玻璃的接觸面和所述玻璃膜的接觸面貼合來形成玻璃膜層疊體的第ニェ序； 對所述玻璃膜層疊體進(jìn)行制造關(guān)聯(lián)處理的第三エ序； 在所述制造關(guān)聯(lián)處理后將所述玻璃膜從所述支承玻璃剝離的第四エ序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種玻璃膜層疊體及其制造方法以及玻璃膜的制造方法，所述玻璃膜層疊體(1)通過層疊玻璃膜(2)與支承玻璃(3)而成，在玻璃膜(2)的接觸面及支承玻璃(3)的接觸面中的至少一方設(shè)有表面粗糙度相對大的區(qū)域和表面粗糙度相對小的區(qū)域。
文檔編號B32B17/00GK102695685SQ2011800054
公開日2012年9月26日 申請日期2011年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月12日
發(fā)明者瀧本博司, 笘本雅博, 藤居孝英 申請人:日本電氣硝子株式會社