專利名稱：用于視頻仿生隱身的變色膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于可見(jiàn)光隱身技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種應(yīng)用于視頻仿生隱身的變色膜。本發(fā)明屬于薄膜沉積技術(shù)領(lǐng)域中涉及的用光學(xué)薄膜理論和制備方法設(shè)計(jì)并制備 出一種應(yīng)用于視頻仿生隱身領(lǐng)域的變色膜的方法。
背景技術(shù)：
視頻隱身技術(shù)(Video Stealth Technology)，又稱可見(jiàn)光隱身技術(shù)，是使武器裝 備不易被人的眼睛或可見(jiàn)光探測(cè)設(shè)備發(fā)現(xiàn)的一種技術(shù)。隨著軍事領(lǐng)域隱身技術(shù)研究的不斷 深入和現(xiàn)代戰(zhàn)爭(zhēng)環(huán)境條件下對(duì)武器系統(tǒng)較高生存能力的迫切需求，人們對(duì)視頻隱身技術(shù)的 渴望愈加強(qiáng)烈。八十年代以來(lái)，國(guó)外雷達(dá)隱身技術(shù)已發(fā)展到很高的水平，紅外隱身技術(shù)也取 得了長(zhǎng)足的進(jìn)展，使相關(guān)武器裝備的生存能力顯著提高。但是，僅采用雷達(dá)和紅外隱身技術(shù) 還不能使武器裝備具備全天候和全頻譜的隱身能力。采用雷達(dá)隱身技術(shù)的美國(guó)F-117戰(zhàn)斗 轟炸機(jī)黑夜隱身性能好，但在白天，用肉眼或光學(xué)儀器就能看到這種以天空為背景的黑色 飛行物卻逃不過(guò)肉眼或光學(xué)設(shè)備的觀察，由此可見(jiàn)視頻隱身的重要性。為此，美國(guó)等發(fā)達(dá)國(guó) 家極其重視視頻隱身技術(shù)的研究，在繼續(xù)發(fā)展雷達(dá)和紅外隱身技術(shù)的同時(shí)，亦在積極探索 視頻隱身技術(shù)新途徑。目前正在大力開(kāi)展特殊照明系統(tǒng)、適宜的涂色、奇異的蒙皮、電致變 色材料和煙幕偽裝等視頻隱身技術(shù)的研究工作。通過(guò)對(duì)大自然的不懈探索，人們發(fā)現(xiàn)，自然界中的某些生物為了實(shí)現(xiàn)自身的繁衍 和生存，經(jīng)過(guò)億萬(wàn)年的進(jìn)化，形成了保護(hù)自己的體色，而且，為適應(yīng)不同的生存環(huán)境，一些生 物的體色甚至進(jìn)化成了可以實(shí)時(shí)變色的效果。這些大自然中的生命現(xiàn)象也為我們?nèi)祟悓?shí)現(xiàn) 視頻隱身的愿望提供了有力的指導(dǎo)。因此，為解決實(shí)時(shí)變色的問(wèn)題，我們可以從仿生學(xué)角度 出發(fā)，從自然界中獲得靈感之源來(lái)幫助我們實(shí)現(xiàn)視頻隱身的宿愿。人類很早就觀察到蝴蝶翅膀上存在的亮麗顏色并對(duì)之產(chǎn)生濃厚的興趣，但由于技 術(shù)手段有限，當(dāng)時(shí)還無(wú)法解開(kāi)蝴蝶翅膀亮麗顏色的奧秘。隨著科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展，人類終 于可以借助先進(jìn)的技術(shù)手段揭開(kāi)蝴蝶翅膀上那個(gè)神秘的面紗。對(duì)于蝴蝶翅膀的結(jié)構(gòu)色，近 些年來(lái)國(guó)內(nèi)外許多的學(xué)者和團(tuán)體都在對(duì)之進(jìn)行潛心研究，證明了其翅膀上結(jié)構(gòu)色的存在并 解釋了結(jié)構(gòu)色形成的機(jī)理，在該領(lǐng)域得到了較為豐碩的研究成果。通過(guò)蝴蝶鱗片微觀形態(tài)結(jié)構(gòu)觀察發(fā)現(xiàn)，某些蝴蝶鱗片的橫截面具有連續(xù)的平行分 布的多層薄片層結(jié)構(gòu)。其中有的多層結(jié)構(gòu)近似水平平行分布，有的多層結(jié)構(gòu)呈一定角度曲 面平行分布。根據(jù)工程仿生設(shè)計(jì)理論可以將此類層狀結(jié)構(gòu)優(yōu)化為多層薄膜的結(jié)構(gòu)模型。因此，從以上分析可以看出，結(jié)合光學(xué)薄膜理論，可以設(shè)計(jì)并制備出模擬蝴蝶翅膀 結(jié)構(gòu)色變化的多層膜系結(jié)構(gòu)，用于實(shí)現(xiàn)相關(guān)性能的仿生學(xué)設(shè)計(jì)研究和應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種變色范圍大、反射光色飽和度高、性能穩(wěn)定、 環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)的用于視頻仿生隱身的變色膜。
為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的用于視頻仿生隱身的變色膜可以采用下述兩種 技術(shù)方案。技術(shù)方案一本發(fā)明的用于視頻仿生隱身的變色膜包括介質(zhì)膜層、吸收金屬膜層及反射膜層； 介質(zhì)膜層和吸收金屬膜層交疊在一起共2 8層，最下層為介質(zhì)膜層，最上層為吸收金屬膜 層，構(gòu)成介質(zhì)-吸收金屬膜系；反射膜層鍍制于介質(zhì)-吸收金屬膜系下面，反射膜層厚度大 于等于40nm ；介質(zhì)膜層材料選用SiO2,總厚度為400 2000nm ；吸收金屬膜層材料選用金 屬Cr，總厚度為3 12nm。技術(shù)方案二本發(fā)明的用于視頻仿生隱身的變色膜包括介質(zhì)膜層、吸收金屬膜層及反射膜層； 介質(zhì)膜層和吸收金屬膜層交疊在一起共4 8層，最下層為介質(zhì)膜層，最上層為吸收金屬膜 層，構(gòu)成介質(zhì)-吸收金屬膜系；反射膜層鍍制于介質(zhì)-吸收金屬膜系下面，反射膜層厚度大 于等于40nm ；介質(zhì)膜層材料選用SiO2,總厚度為1000 1600nm ；吸收金屬膜層材料選用金 屬Ti，總厚度為8 15nm。本發(fā)明將介質(zhì)膜層和吸收金屬膜層交疊在一起構(gòu)成介質(zhì)-吸收金屬膜系，根據(jù)光 學(xué)干涉原理，可見(jiàn)光由最上層的吸收金屬膜層表面入射到該膜系，隨著入射角的變化，反射 光能夠發(fā)生顏色變化，變化范圍大、反射光色飽和度較高。應(yīng)用光學(xué)薄膜理論合理設(shè)計(jì)并優(yōu) 化膜系結(jié)構(gòu)，能夠得到多種不同的結(jié)構(gòu)色變色效果，從而可以非常有效的模擬周圍環(huán)境的 顏色和色度，實(shí)現(xiàn)模擬蝴蝶翅膀鱗片變色功能的應(yīng)用目的，其成果可以為我國(guó)相關(guān)視頻隱 身仿生技術(shù)的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用提供有力的技術(shù)支持。本發(fā)明的用于視頻仿生隱身的變色膜是利 用光學(xué)干涉原理產(chǎn)生顏色變化的，不是靠所謂的“色素”顯色，因此不會(huì)象普通顏料那樣容 易隨時(shí)間和環(huán)境變化而發(fā)生變質(zhì)褪色現(xiàn)象，性能穩(wěn)定，環(huán)境適應(yīng)性更強(qiáng)，而這也正滿足了野 外工程應(yīng)用對(duì)高可靠性、高環(huán)境適應(yīng)性的需求。作為本發(fā)明技術(shù)方案一的進(jìn)一步改進(jìn)是介質(zhì)-吸收金屬膜系的上表面加鍍保護(hù) 膜，保護(hù)膜的厚度為60 130nm。作為本發(fā)明技術(shù)方案二的進(jìn)一步改進(jìn)是介質(zhì)-吸收金屬膜系的上表面加鍍保護(hù) 膜，保護(hù)膜的厚度為80 120nm。本發(fā)明的用于視頻仿生隱身的變色膜的制備方法首先在潔凈基底上鍍制連接 層；然后在連接層上鍍制反射膜層；在反射膜層之上制備介質(zhì)-吸收金屬膜系；最后在介 質(zhì)-吸收金屬膜系的上表面鍍制保護(hù)膜。為得到較好的光學(xué)性能，降低總膜層數(shù)，介質(zhì)膜層和吸收金屬膜層應(yīng)盡量選用折 射率相差較大的兩種材料，還要在其下加鍍一層金屬高反射膜。大量研究表明，變色膜的色 度與吸收金屬膜層的選擇密切相關(guān)，吸收金屬材料的折射率η和吸收系數(shù)k越接近效果越 好；選擇膜層材料時(shí)還需綜合考慮材料的蒸發(fā)特性、制備工藝等因素。本發(fā)明中介質(zhì)膜層選 擇蒸發(fā)特性好，制備工藝成熟，性能穩(wěn)定的低折射率材料SiO2,吸收金屬膜層選擇蒸發(fā)特性 好、制備工藝成熟、性能穩(wěn)定的高折射率金屬材料Cr或Ti。另外，為得到較高的反射率，在 介質(zhì)-吸收金屬膜系下面加鍍一層高反射膜層。為提高膜系與基底間牢固度，在高反射膜 下面鍍制一層連接層。最后，在膜系的最外層鍍制保護(hù)膜。


下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式

對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。圖1為本發(fā)明的用于視頻仿生隱身的變色膜的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明實(shí)施 歹1的反射率測(cè)試曲線圖。圖3為本發(fā)明實(shí)施 歹2的反射率測(cè)試曲線圖。圖4為本發(fā)明實(shí)施 歹3的反射率測(cè)試曲線圖。圖5為本發(fā)明實(shí)施 歹4的反射率測(cè)試曲線圖。圖6為本發(fā)明實(shí)施 歹5的反射率測(cè)試曲線圖。圖7為本發(fā)明實(shí)施 歹6的反射率測(cè)試曲線圖。圖8為本發(fā)明實(shí)施 歹7的反射率測(cè)試曲線圖。圖9為本發(fā)明實(shí)施 歹8的反射率測(cè)試曲線圖。圖10為本發(fā)明實(shí)施例9的反射率測(cè)試曲線圖。圖11為本發(fā)明實(shí)施例10的反射率測(cè)試曲線圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示，本發(fā)明的用于視頻仿生隱身的變色膜包括反射膜層2、介質(zhì)膜層32和 吸收金屬膜層31交疊在一起構(gòu)成的介質(zhì)-吸收金屬膜系3、保護(hù)膜4 ；連接層1鍍制在基底 上，反射膜層2鍍制在連接層1上，介質(zhì)-吸收金屬膜系3鍍制在反射膜層2上，保護(hù)膜4 鍍制在介質(zhì)-吸收金屬膜系3的上表面。連接層材料選用Cr，厚度8 12歷。反射膜層材料選用Al，厚度60 IOOnm ；反 射膜層材料還可以選用銀等。吸收金屬膜層材料為Cr時(shí)，Cr總厚度為3 12nm，Si02總厚 度400 2000nm，SiO2和Cr間隔鍍制，共2 8層；保護(hù)膜材料選用Al2O3，依據(jù)參考波長(zhǎng)， 厚度選擇60 130nm ；保護(hù)膜材料還可以選用TW2或Si02。吸收金屬膜層材料為T(mén)i時(shí)， Ti總厚度為8 15nm ；SiO2總厚度1000 1600nm, SiO2和Ti間隔鍍制，共4 8層。保 護(hù)膜材料選用Al2O3，依據(jù)參考波長(zhǎng)，厚度選擇80 120nm。保護(hù)膜材料還可以選用TW2或 SiO20本發(fā)明的用于視頻仿生隱身的變色膜采用工藝方法已經(jīng)相當(dāng)成熟的物理氣相沉 積方法制備，以保證其制備具有較高的可靠性。其中，介質(zhì)膜層32、吸收金屬膜層31、保護(hù) 膜4、連接層1選用電子束熱蒸發(fā)方法制備；為保證反射膜層的性能，Al材料選用傳統(tǒng)的電 阻熱蒸發(fā)方法制備。實(shí)施例1 藍(lán)紫光短波段變色膜，膜層結(jié)構(gòu)如圖1所示，首先在潔凈基底上鍍制Cr連接層1， 厚度IOnm ；然后鍍制Al反射膜，厚度40nm ；之后在Al高反射膜之上制備介質(zhì)-吸收金屬膜 系，SiO2和Cr各1層，SW2厚度439nm，Cr厚度3. 97nm ；最后在介質(zhì)-吸收金屬膜系的上 表面鍍制Al2O3保護(hù)膜，厚度依據(jù)參考波長(zhǎng)，70. 13nm。其反射率測(cè)試曲線如圖2所示。實(shí)施例2 黃綠光中波段變色膜，膜層結(jié)構(gòu)如圖1所示，首先在潔凈基底上鍍制Cr連接層，厚 度IOnm ；然后鍍制Al反射膜，厚度40nm ；之后在Al反射膜之上制備介質(zhì)-吸收金屬膜系， SiO2和Cr間隔鍍制，各2層，SiO2總厚度507. 52nm, Cr總厚度5. 37nm ；最后在最外層鍍制Al2O3保護(hù)膜，厚度依據(jù)參考波長(zhǎng)，81. 33nm。其反射率測(cè)試曲線如圖3所示。實(shí)施例3 黃綠光中波段變色膜，膜層結(jié)構(gòu)如圖1所示，首先在潔凈基底上鍍制Cr連接層， 厚度IOnm ；然后鍍制Al反射膜，厚度60nm ；之后在Al反射膜之上制備介質(zhì)-吸收金屬多 層膜，SiO2和Cr間隔鍍制，各2層，SiO2總厚度1220nm，Cr總厚度6nm ；最后在最外層鍍制 Al2O3保護(hù)膜，厚度依據(jù)參考波長(zhǎng)，95. 98nm。其反射率測(cè)試曲線如圖4所示。實(shí)施例4 黃綠光中波段變色膜，膜層結(jié)構(gòu)如圖1所示，首先在潔凈基底上鍍制Cr連接層，厚 度IOnm ；然后鍍制Al反射膜，厚度60nm ；之后在Al反射膜之上制備介質(zhì)-吸收金屬多層 膜，SiO2和Cr間隔鍍制，各3層，SiO2總厚度1060. 89nm, Cr總厚度6. 76nm ；最后在最外層 鍍制Al2O3保護(hù)膜，厚度依據(jù)參考波長(zhǎng)，83. 79nm。其反射率測(cè)試曲線如圖5所示。實(shí)施例5 紫紅光波段變色膜，膜層結(jié)構(gòu)如圖1所示，首先在潔凈基底上鍍制Cr連接層，厚度 IOnm ；然后鍍制Al反射膜，厚度SOnm ；之后在Al反射膜之上制備介質(zhì)-吸收金屬多層膜， SiO2和Cr間隔鍍制，各3層，SW2總厚度1819. Olnm, Cr總厚度7. 64nm ；最后在最外層鍍制 Al2O3保護(hù)膜，厚度依據(jù)參考波長(zhǎng)，114. 06nm。其反射率測(cè)試曲線如圖6所示。實(shí)施例6 紅橙光長(zhǎng)波段變色膜，膜層結(jié)構(gòu)如圖1所示，首先在潔凈基底上鍍制Cr連接層，厚 度IOnm ；然后鍍制Al反射膜，厚度SOnm ；之后在Al反射膜之上制備介質(zhì)-吸收金屬多層 膜，SiO2和Cr間隔鍍制，各4層，SW2總厚度1203. 96nm, Cr總厚度11. 17nm ；最后在最外 層鍍制Al2O3保護(hù)膜，厚度依據(jù)參考波長(zhǎng)，95. 22nm。其反射率測(cè)試曲線如圖7所示。實(shí)施例7 橙黃光長(zhǎng)波段變色膜，膜層結(jié)構(gòu)如圖1所示，首先在潔凈基底上鍍制Cr連接層，厚 度IOnm ；然后鍍制Al反射膜，厚度SOnm ；之后在Al反射膜之上制備介質(zhì)-吸收金屬多層 膜，SiO2和Cr間隔鍍制，各4層，SW2總厚度1157. 38nm, Cr總厚度10. 86nm ；最后在最外 層鍍制Al2O3保護(hù)膜，厚度依據(jù)參考波長(zhǎng)，91. 94nm。其反射率測(cè)試曲線如圖8所示。實(shí)施例8 粉黃光波段變色膜，膜層結(jié)構(gòu)如圖1所示，首先在潔凈基底上鍍制Cr連接層，厚度 IOnm ；然后鍍制Al反射膜，厚度SOnm ；之后在Al反射膜之上制備介質(zhì)-吸收金屬多層膜， SiO2和Cr間隔鍍制，各4層，SiO2總厚度1297. 05nm, Cr總厚度6. 4nm ；最后在最外層鍍制 Al2O3保護(hù)膜，厚度依據(jù)參考波長(zhǎng)，102. 86nm。其反射率測(cè)試曲線如圖9所示。有些波段的變色膜，吸收金屬膜層材料用Cr時(shí)會(huì)出現(xiàn)變色膜的色度不高的情況， 這時(shí)選用Ti膜替代Cr膜會(huì)得到更好的變色效果。實(shí)施例9:紅橙光長(zhǎng)波段變色膜，膜層結(jié)構(gòu)如圖1所示，首先在潔凈基底上鍍制Cr連接層，厚 度IOnm ；然后鍍制Al反射膜，厚度SOnm ；之后在Al反射膜之上制備介質(zhì)-吸收金屬多層 膜，SiO2和Ti間隔鍍制，各4層，SiO2總厚度1168. 86nm, Ti總厚度13. 86nm ；最后在最外 層鍍制Al2O3保護(hù)膜，厚度依據(jù)參考波長(zhǎng)，92. 68nm。其反射率測(cè)試曲線如圖10所示。實(shí)施 例9與實(shí)施例6相比色度較差，此種情況用Cr材料效果較好。
實(shí)施例10 黃綠光中波段變色膜，膜層結(jié)構(gòu)如圖1所示，首先在潔凈基底上鍍制Cr連接層，厚 度IOnm ；然后鍍制Al反射膜，厚度SOnm ；之后在Al反射膜之上制備介質(zhì)-吸收金屬多層 膜，SiO2和Ti間隔鍍制，各2層，SiO2總厚度1037. 45nm, Ti總厚度8. 8Inm ；最后在最外層 鍍制Al2O3保護(hù)膜，厚度依據(jù)參考波長(zhǎng)，83. 04nm。其反射率測(cè)試曲線如圖11所示。實(shí)施例 10與實(shí)施例2相比色度較好，此種情況用Ti材料效果較好。雖然上述實(shí)施例給出了各膜層的具體厚度，但這并不能限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。 反射膜層厚度范圍沒(méi)有嚴(yán)格的要求，厚度只要大于等于40nm即能夠起到很好的反射效果。 而連接層只起到提高反射膜與基底之間的牢固度的作用。保護(hù)膜層是為了保證變色膜的可 靠性和使用壽命，防止變色膜受到磨損、摩擦和化學(xué)腐蝕的破壞而進(jìn)行改進(jìn)的技術(shù)特征。介 質(zhì)膜層和吸收金屬膜層的厚度在本發(fā)明權(quán)利要求1、3所述的范圍內(nèi)連續(xù)變化，即可實(shí)現(xiàn)可 見(jiàn)光全波段變色功能。為得到較高的色度和實(shí)現(xiàn)可見(jiàn)光全波段變色功能，本發(fā)明應(yīng)用介質(zhì)-吸收金屬多 層膜系的設(shè)計(jì)方案，以得到較窄的反射峰，提高反射光譜的色度，并實(shí)現(xiàn)了紅橙光較長(zhǎng)波段 的變色；第二，為提高變色膜的反射率同時(shí)降低膜系的層數(shù)，在基底與膜系之間加鍍一層金 屬高反射膜；第三，為提高這層金屬高反射膜與基底之間的牢固度，還要在二者之間加鍍連 接層；第四，能夠?qū)崿F(xiàn)變色功能，但其最外層為吸收金屬膜層，很容易受到磨損、摩擦和化學(xué) 腐蝕的破壞，而且，對(duì)于工程偽裝應(yīng)用而言，大多是在野外惡劣條件環(huán)境下應(yīng)用，因此為保 證變色膜的可靠性和使用壽命，還必須在吸收金屬膜層外加鍍環(huán)境適應(yīng)性能好的保護(hù)膜來(lái) 加以防護(hù)。第四，結(jié)合已有的適宜大口徑基底制備工藝的電子束熱蒸發(fā)PVD鍍膜設(shè)備(真 空室內(nèi)徑可達(dá)2500mm)進(jìn)行制備。
權(quán)利要求
1.一種用于視頻仿生隱身的變色膜，其特征在于包括介質(zhì)膜層(32)、吸收金屬膜層 (31)及反射膜層O)；介質(zhì)膜層(3 和吸收金屬膜層(31)交疊在一起共2 8層，最下 層為介質(zhì)膜層，最上層為吸收金屬膜層，構(gòu)成介質(zhì)-吸收金屬膜系(3)；反射膜層(2)鍍制 于介質(zhì)-吸收金屬膜系(3)下面，厚度大于等于40nm;介質(zhì)膜層材料選用SiO2，總厚度為 400 2000nm ；吸收金屬膜層材料選用金屬Cr，總厚度為3 12nm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于視頻仿生隱身的變色膜，其特征在于所述的反射膜層 ⑵材料選用Al或Ag。
3.一種用于視頻仿生隱身的變色膜，其特征在于包括介質(zhì)膜層(32、吸收金屬膜層 (31)及反射膜層(2)；介質(zhì)膜層(3 和吸收金屬膜層(31)交疊在一起共4 8層，最下層 為介質(zhì)膜層，最上層為吸收金屬膜層，構(gòu)成介質(zhì)-吸收金屬膜系(3)；反射膜層(2)鍍制于 介質(zhì)-吸收金屬膜系(3)下面，材料選用Al或Ag，厚度大于等于40nm;介質(zhì)膜層材料選用 SiO2，總厚度為1000 1600nm ；吸收金屬膜層材料選用金屬Ti，總厚度為8 15nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于視頻仿生隱身的變色膜，其特征在于所述的反射膜層 ⑵材料選用Al或Ag。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于視頻仿生隱身的變色膜，其特征在于所述的介 質(zhì)-吸收金屬膜系(3)的上表面加鍍保護(hù)膜G)，保護(hù)膜的厚度為80 120nm。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于視頻仿生隱身的變色膜，該變色膜主體部分由介質(zhì)-吸收金屬膜系和反射膜構(gòu)成，介質(zhì)-吸收金屬膜系的介質(zhì)膜層和吸收金屬膜層交疊在一起共2～8層，最下層為介質(zhì)膜層，材料選用SiO2，最上層為吸收金屬膜層，材料選用金屬Cr或金屬Ti；反射膜層鍍制于介質(zhì)-吸收金屬膜系下面，材料選用Al或Ag。本發(fā)明能夠得到多種不同的結(jié)構(gòu)色變色效果，變色范圍大、反射光色飽和度高，可以非常有效的模擬周圍環(huán)境的顏色和色度，實(shí)現(xiàn)模擬蝴蝶翅膀鱗片變色功能的應(yīng)用目的；由于是利用光學(xué)干涉原理產(chǎn)生顏色變化的，不是靠所謂的“色素”顯色，不會(huì)象普通顏料那樣容易隨時(shí)間和環(huán)境變化而發(fā)生變質(zhì)褪色現(xiàn)象，因此性能穩(wěn)定，環(huán)境適應(yīng)性更強(qiáng)。
文檔編號(hào)B32B9/04GK102053288SQ2010105451
公開(kāi)日2011年5月11日 申請(qǐng)日期2010年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月16日
發(fā)明者任露泉, 申振峰, 韓志武, 高勁松 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所