專利名稱：加熱裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將利用層壓裝置粘貼感光性薄板(web)的基板在粘 貼處理前預(yù)先加熱到規(guī)定溫度的加熱裝置。
背景技術(shù)：
例如，在液晶面板用基板、印刷配線用基板、PDP面板用基板中使用 感光性層疊體，該感光性層疊體為將具有感光材料(感光性樹脂)層的感 光性片體(感光性薄板)粘貼到基板表面而構(gòu)成。該感光性片體在可撓性 塑料支承體上順次層疊感光材料層和保護膜。在制造該感光性層疊體之際，通常將玻璃基板或樹脂基板等基板預(yù)先 加熱到規(guī)定溫度。并且，通過將保護膜被部分或整體剝離了的感光性薄板 和加熱了的基板在構(gòu)成層壓裝置的一對層壓輥之間夾持并加熱，使感光材 料層熱壓接到所述基板上。然后，通過從基板剝離可撓性塑料支承體，由 此制造感光性層疊體。例如，在日本特開平8-183146號公報公開的干抗蝕劑膜(dry resist film)的層壓方法中，如圖8所示，基板預(yù)熱部l、層壓部2、基板冷卻部 3、基板上膜切斷部4及膜除去部5沿搬運部6搬運基板7的搬運方向配 置。在基板預(yù)熱部1中，在通過預(yù)熱加熱器la將基板7加熱到規(guī)定的溫 度之后，將該基板7送出到層壓部2。在層壓部2配置有一對層壓輥2a、 2b，基板7和干抗蝕劑膜8被送到所述層壓輥2a、 2b之間。從而，干抗 蝕劑膜8被熱壓接到基板7上。但是，在上述現(xiàn)有技術(shù)中，由于需要使基板7在基板預(yù)熱部1和層壓 輥2a、 2b的基板插入側(cè)之間順利交接。因此，通常在層壓部2上設(shè)有向 基板預(yù)熱部l側(cè)突出的傳送帶(未圖示)。但是，在層壓部2中，在進行層壓輥2a、 2b的清掃和更換等維護作 業(yè)時，傳送帶會給該作業(yè)帶來障礙。從而，每次維護都需要有拆卸傳送帶 的作業(yè)，由于這種作業(yè)相當繁雜，因此存在不能有效進行整體維護的問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明為解決上述問題而提出，其目的在于提供一種可使層壓裝置的 維護等作業(yè)有效且容易完成的加熱裝置。本發(fā)明涉及一種將利用層壓裝置粘貼感光性薄板的基板在粘貼處理 前預(yù)先加熱到規(guī)定溫度的加熱裝置。加熱裝置包括用于搬運基板的搬運 機構(gòu)以及沿基于所述搬運機構(gòu)的搬運方向配置的多個加熱機構(gòu)。并且，與層壓裝置相鄰接的配置在搬運方向的最下游側(cè)的加熱機構(gòu)包 括主體部，其收容搬運機構(gòu)及加熱源；移送機構(gòu)，其設(shè)于所述主體部， 并延伸到所述層壓裝置的附近，用于將基板交接到所述層壓裝置；以及退避機構(gòu)，其可使所述主體部相對于所述層壓裝置移動。在本發(fā)明中，在構(gòu)成加熱機構(gòu)的主體部設(shè)有用于將基板交接到層壓裝 置的移送機構(gòu)，該主體部能夠與所述移送機構(gòu)一體地通過退避機構(gòu)從所述 層壓裝置離開。因此，當維護層壓裝置時，僅通過使主體部向規(guī)定方向移 動，即能夠確保維護用空間。由此，能有效且容易完成層壓裝置的各種維 護作業(yè)。


從結(jié)合附圖的優(yōu)選實施例的下面說明中，對上述目的及其他目的、特 征及優(yōu)點會更加明確。圖1是裝入本發(fā)明的第一實施方式的加熱裝置的制造系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖。圖2是使用于所述制造系統(tǒng)的長條狀感光性薄板的剖視圖。圖3是將粘接標簽粘接到所述長條狀感光性薄板的狀態(tài)的說明圖。圖4是所述加熱裝置的概略結(jié)構(gòu)說明圖。圖5是所述加熱裝置的俯視說明圖。圖6是本發(fā)明的第二實施方式的加熱裝置的概略結(jié)構(gòu)說明圖。 圖7是本發(fā)明的第三實施方式的加熱裝置的概略結(jié)構(gòu)說明圖。
圖8是在日本特開平8-183146號公報中公開的干抗蝕劑膜的層壓方法 的說明圖。具體實施方式

圖1是裝入本發(fā)明的第一實施方式的加熱裝置的感光性層疊體的制造 系統(tǒng)20的概略結(jié)構(gòu)圖。在制造液晶或有機EL用濾色片(color filter)的 工序中，該制造系統(tǒng)20進行將長條狀感光性薄板22的感光性樹脂層28 (后述)熱轉(zhuǎn)印到玻璃基板24上的作業(yè)。該感光性薄板22通過層疊可撓性基膜(支承體)26、感光性樹脂層 (感光材料層)28和保護膜30而構(gòu)成。如圖1所示，制造系統(tǒng)20包括薄板送出機構(gòu)32，其收容將感光性 薄板22巻繞成輥狀的感光性薄板輥22a，并從該感光性薄板輥22a送出所 述感光性薄板22;加工機構(gòu)36，其在被送出的所述感光性薄板22的保護 膜30上形成可在寬度方向切斷的半切割部位34 (參照圖2);以及標簽粘 接機構(gòu)40，其將一部分具有非粘接部38a的粘接標簽38 (參照圖3)粘接 到保護膜30上。在標簽粘接機構(gòu)40的下游配置有存儲機構(gòu)42，其用于將感光性薄 板22由間歇(tact)進給變更為連續(xù)進給；剝離機構(gòu)44，其從所述感光性 薄板22將保護膜30以規(guī)定的長度間隔剝離;第一實施方式的加熱裝置45， 其在將玻璃基板24加熱到規(guī)定溫度的狀態(tài)下將其搬運到粘貼位置；以及 層壓裝置46，其將因所述保護膜30被剝離而露出的感光性樹脂層28粘貼 到所述玻璃基板24上。還有，以下將利用層壓裝置46在玻璃基板24上 粘貼了感光性薄板22的被處理物簡稱為粘貼基板24a。在層壓裝置46的粘貼位置的上游附近配置有直接檢測作為感光性薄 板22邊界位置的半切割部位34的檢測機構(gòu)47，并且在所述層壓裝置46 的下游配置有切斷各玻璃基板24之間的所述感光性薄板22的基板間薄板 切斷機構(gòu)48。在該基板間薄板切斷機構(gòu)48的上游設(shè)置有在運轉(zhuǎn)開始時及 運轉(zhuǎn)結(jié)束時使用的薄板切斷機構(gòu)48a。在薄板送出機構(gòu)32的下游附近配置有接合臺49，其使大致使用結(jié)束 的感光性薄板22的后端與新使用的感光性薄板22的前端接合。在該接合臺49的下游配置有薄膜端位置檢測器51，其用于控制感光性薄板輥22a 的巻起錯位(法巻"T扎)引起的寬度方向上的錯位。加工機構(gòu)36配置于輥對50的下游，該輥對50用于算出在薄板送出 機構(gòu)32收容巻繞的感光性薄板輥22a的輥直徑。該加工機構(gòu)36具備單一 的圓刀52，該圓刀52在感光性薄板22的寬度方向上進刀，在所述感光性 薄板22的規(guī)定位置形成半切割部位34。如圖2所示，半切割部位34需要至少切斷保護膜30，實際上，為可 靠地切斷該保護膜30而以切入到感光性樹脂層28乃至基膜26的程度來 設(shè)定圓刀52的切入深度。半切割部位34設(shè)定玻璃基板24的間隔，例如，設(shè)定為從兩側(cè)的所述 玻璃基板24各向內(nèi)側(cè)進入10mm的位置。玻璃基板24之間由半切割部位 34夾著的部分在后述的層壓裝置46中，在將感光性樹脂層28以畫框狀粘 貼到所述玻璃基板24上時發(fā)揮掩模的作用。為對應(yīng)于玻璃基板24之間而保留保護膜30的殘存部分30b，標簽粘 接機構(gòu)40供給連結(jié)剝離側(cè)前方的剝離部分30aa和剝離側(cè)后方的剝離部分 30ab的粘接標簽38。如圖2所示，隔著殘存部分30b，將保護膜30上的 先剝離的部分設(shè)為前方的剝離部分30aa，此外，將后剝離的部分設(shè)為后方 的剝離部分30ab。如圖3所示，粘接標簽38構(gòu)成為薄長方形，且例如由與保護薄膜30 相同的樹脂材料形成。粘接標簽38具有不在中央部涂敷粘接劑的非粘接 部(包括稍微粘接)38a，并且，在該非粘接部38a的兩側(cè)，即所述粘接 標簽38的長度方向兩端部，具有粘接到前方的剝離部分30aa的第一粘接 部38b和粘接到后方的剝離部分30ab的第二粘接部38c。如圖1所示，標簽粘接機構(gòu)40具備可將最多七張的粘接標簽38以規(guī) 定間隔分開并粘貼的吸附墊54a 54g，并在基于所述吸附墊54a 54g的 所述粘接標簽38的粘貼位置上配置有升降自如的支承臺56，支承臺56 用于從下方保持感光性薄板22。存儲機構(gòu)42吸收上游側(cè)感光性薄板22的間歇搬運與下游側(cè)的所述感 光性薄板22的連續(xù)搬運之間的速度差，進而存儲機構(gòu)42為防止張力變動 還包括由擺動自如的兩根輥60構(gòu)成的浮動輥61。并且，輥60可以根據(jù)存儲量采用一根或三根以上。配置于該存儲機構(gòu)42下游的剝離機構(gòu)44具備吸入筒(suction drum) 62，該吸入筒62用于使層壓時的張力穩(wěn)定，并減少感光性薄板22的送出 側(cè)的張力變動。在吸入筒62的附近配置有剝離輥63，并且通過該剝離輥 63以銳角的剝離角從感光性薄板22上被剝離的保護膜30除了殘存部分 30b以外被巻取到保護膜巻取部64。在剝離機構(gòu)44的下游側(cè)配置有能對感光性薄板22賦予張力的張力控 制機構(gòu)66。張力控制機構(gòu)66具備氣缸68，在該氣缸68的驅(qū)動作用下， 張力浮動輥70擺動變位，由此可調(diào)整與該張力浮動輥70滑動接觸的感光 性薄板22的張力。并且，可根據(jù)需要使用張力控制機構(gòu)66，也可以刪除。檢測機構(gòu)47具備激光傳感器或光傳感器等光電傳感器72，所述光電 傳感器72直接檢測半切割部位34的楔狀的槽形狀部、保護膜30的厚度 引起的臺階差或由它們的組合引起的變化，并將該檢測信號作為邊界位置 信號。光電傳感器72與備用輥(backup drum) 73對置配置。并且，可以 取代光電傳感器72，使用非接觸變位計或CCD相機等圖像檢查裝置等。如圖4所示，加熱裝置45包括用于沿箭頭C方向搬運玻璃基板24 的搬運機構(gòu)74;以及沿基于所述搬運機構(gòu)74的搬運方向配置的多個、至 少第一加熱機構(gòu)76及第二加熱機構(gòu)78。搬運機構(gòu)74具備沿箭頭C方向排列配置的多個樹脂制圓盤狀搬運輥 80，所述搬運輥80配置于構(gòu)成第一加熱機構(gòu)76的主體部76a內(nèi)及構(gòu)成第 二加熱機構(gòu)78的主體部78a內(nèi)。第一加熱機構(gòu)76配置于比第二加熱機構(gòu)78更靠向箭頭C方向的上游 側(cè)，并設(shè)置有載置于基臺82上的固定臺84。如圖4及圖5所示，在固定 臺84上設(shè)有互相平行且在箭頭C方向上延伸的一對第一導軌86，在該導 軌86上配置有主體部76a，該主體部76a沿箭頭C方向可進退規(guī)定距離 Ll。主體部76a在箭頭C方向前端部及箭頭C方向后端部分別設(shè)有互鎖裝 置(未圖示)，所述主體部76a被保持在進退位置。在主體部76a的后退 位置即玻璃基板24的入口側(cè)設(shè)有機械人防護(robotfence) 88。在主體部 76a內(nèi)設(shè)有第一紅外線加熱器90a，第一紅外線加熱器90a位于搬運輥80
的上方。第二加熱機構(gòu)78包括主體部78a;移送機構(gòu)92，其設(shè)置在所述主 體部78a上，延伸到層壓裝置46的附近并用于將玻璃基板24交接到所述 層壓裝置46上；以及退避機構(gòu)94，其能使所述主體部78a相對于所述層 壓裝置46移動。移送機構(gòu)92具備在玻璃基板24的寬度方向(圖5中，箭頭D方向) 上延伸的框體96，所述框體96設(shè)置于主體部78a的箭頭C方向前端側(cè)的 側(cè)面。在框體96內(nèi)沿箭頭C配置有構(gòu)成搬運機構(gòu)74的多個樹脂制圓盤狀 搬運輥80a。在主體部78a形成與框體96內(nèi)連通的開口 98，并在該主體 部78a內(nèi)設(shè)置有在箭頭C方向延伸的第二紅外線加熱器90b，第二紅外線 加熱器90b位于多個搬運輥80的上方。退避機構(gòu)94具備在基臺82上互相平行并在箭頭D方向延伸的一對第 二導軌100，在該第二導軌100上配置有可在箭頭D方向進退的可動臺 102。在可動臺102的箭頭D方向的進退位置上設(shè)有未圖示的互鎖裝置， 可將所述可動臺102保持在兩個位置上。在可動臺102上設(shè)有互相平行并在箭頭C方向延伸的一對第三導軌 104，在箭頭C方向可進退的主體部78a配置在所述第三導軌104上。主 體部78a在箭頭C方向前端位置靠近層壓裝置46被固定，另一方面，主 體部78a也可在箭頭C方向后端位置固定。主體部78a在相對于箭頭Cl方向移動規(guī)定的距離Ll之后，可沿導軌 100向箭頭D方向移動。向箭頭Cl方向的移動距離Ll的尺寸被設(shè)定為在 移送機構(gòu)92向箭頭D方向移動時不與層壓裝置46發(fā)生干涉的尺寸，并且， 向箭頭D方向的移動距離L2的尺寸被設(shè)定為當操作者對所述層壓裝置46 進行各種維護作業(yè)時不會與主體部78a發(fā)生干涉的尺寸。并且，搬運機構(gòu)74還可以采用配置未圖示的氣浮板，使玻璃基板24 浮起并向箭頭C方向搬運的結(jié)構(gòu)。如圖1所示，在加熱裝置45的上游設(shè)置有收容多個玻璃基板24的基 板儲藏庫110。在基板儲藏庫110的投入及取出口以外的三個側(cè)面上附設(shè) 有除塵用風扇單元(或管道單元)112。風扇單元112向基板儲藏庫110 內(nèi)吹出防靜電清洗氣。收容于基板儲藏庫110的各玻璃基板24被設(shè)于機 械人114的手部114a上的吸附墊116吸附而被取出，并被搬入加熱裝置 45。層壓裝置46具備上下配置并被加熱到規(guī)定溫度的層壓用橡膠輥120a、 120b。在橡膠輥120a、 120b上滑動接觸有備用輥122a、 122b，并且隔著 輥夾緊部124將所述備用輥122b壓向橡膠輥120b側(cè)。在橡膠輥120a的附近配置有可移動的接觸防止輥126，接觸防止輥 126用于防止感光性薄板22與所述橡膠輥120a接觸。在層壓裝置46的上 游附近配置有用于將感光性薄板22預(yù)加熱到預(yù)先規(guī)定溫度的預(yù)加熱部 127。該預(yù)加熱部127例如具備紅外線加熱棒等加熱裝置。在層壓裝置46與基板間薄板切斷機構(gòu)48之間配置有膜搬運輥128a 和基板搬運輥128b。在基板間薄板切斷機構(gòu)48的下游側(cè)配置有冷卻機構(gòu) 130，并且在該冷卻機構(gòu)130的下游側(cè)配置有基礎(chǔ)剝離機構(gòu)132。冷卻機構(gòu) 130在通過基板間薄板切斷機構(gòu)48切斷了粘貼基板24a間的感光性薄板 22之后，向該粘貼基板24a供給冷風，實施冷卻處理。具體地說設(shè)定為冷 風溫度為l(TC，風量為1.0 2.0mVmin。并且，也可以不使用冷卻機構(gòu)130， 在后述的感光性層疊體儲藏庫146中自然冷卻。另外，也可以代替冷風， 用室內(nèi)風來吹風。配置于冷卻機構(gòu)130的下游的基礎(chǔ)剝離機構(gòu)132具備從下方吸附粘貼 基板24a的多個吸附墊134，在該吸附墊134上吸附保持有所述粘貼基板 24a的狀態(tài)下，通過機械手136剝離基膜26及殘存部分30b。在吸附墊134 的上游、下游及兩側(cè)配置有防靜電吹風機(未圖示)，其從四個方向的側(cè) 面向粘貼基板24a的層壓部分整體噴射防靜電氣體。并且，為除塵可以將 工作臺垂直、或傾斜、或者翻過來進行剝離。在基礎(chǔ)剝離機構(gòu)132的下游設(shè)置有收容多個感光性層疊體140的感光 性層疊體儲藏庫146。利用基礎(chǔ)剝離機構(gòu)132從粘貼基板24a剝離了基膜 26及殘存部分30b的感光性層疊體140被設(shè)于機械人142的手部142a上 的吸附墊114吸附并被取出，并被收容于感光性層疊體儲藏庫146。并且， 手部142a也可以不使用吸附方式，例如采用摩擦所實現(xiàn)的保持方式。在感光性層疊體儲藏庫146的投入及取出口以外的三個側(cè)面上附設(shè)有 除塵用風扇單元(或管道單元)112。風扇單元112向感光性層疊體儲藏
庫146內(nèi)吹出防靜電清洗氣。在制造系統(tǒng)20中，薄板送出機構(gòu)32、加工機構(gòu)36、標簽粘接機構(gòu)40、 存儲機構(gòu)42、剝離機構(gòu)44、張力控制機構(gòu)66及檢測機構(gòu)47被配置于層 壓裝置46的上方，但也可以與之相反，將從所述薄板送出機構(gòu)32到所述 檢測機構(gòu)47配置于所述層壓裝置46的下方，感光性薄板22的上下顛倒， 將感光性樹脂層28粘貼于玻璃基板24的下側(cè)，另外，也可以將所述制造 系統(tǒng)20整體構(gòu)成在一直線上。制造系統(tǒng)20通過層壓工序控制部150被整體控制，在該制造系統(tǒng)20 的每個功能部上例如設(shè)置有層壓控制部152、基板加熱控制部154及基礎(chǔ) 剝離控制部156等，利用工序內(nèi)網(wǎng)絡(luò)將它們連接起來。層壓工序控制部150與工廠網(wǎng)絡(luò)連接，對來自未圖示的工廠CPU的 指示信息(條件設(shè)定、生產(chǎn)信息)的生產(chǎn)管理、工作管理等，進行用于生 產(chǎn)的信息處理。層壓控制部152作為工序整體的主導裝置來進行各功能部的控制，基 于由檢測機構(gòu)47檢測出的感光性薄板22的半切割部位34的位置信息， 例如構(gòu)成控制加熱裝置45的控制機構(gòu)。基礎(chǔ)剝離控制部156進行從由層壓裝置46供給的粘貼基板24a上剝 離基膜26，進而向下游工序排出感光性層疊體140的動作的控制，并且操 縱控制所述粘貼基板24a及所述感光性層疊體140的信息。制造系統(tǒng)20內(nèi)通過分隔壁160被分隔為第一凈化間162a和第二凈化 間162b。在第一凈化間162a收容薄板送出機構(gòu)32到張力控制機構(gòu)66， 并且在第二凈化間162b收容檢測機構(gòu)47以后的機構(gòu)。第一凈化間162a 和第二凈化間162b通過貫通部164連通。以下對該制造系統(tǒng)20的動作進行說明。首先，如圖1所示，在加工機構(gòu)36中，圓刀52在感光性薄板22的 寬度方向上移動，將該感光性薄板22從保護膜30切入到感光性樹脂層28 乃至基膜26，形成半切割部位34 (參照圖2)。進而，如圖1所示，感光 性薄板22對應(yīng)于保護膜30的殘存部分30b的尺寸而被向箭頭A方向搬運 之后，停止，在圓刀52的進刀作用下形成半切割部位34。由此，在感光 性薄板22上，隔著殘存部分30b設(shè)置有前方的剝離部分30aa和后方的剝 離部分30ab (參照圖2)。下面，感光性薄板22被搬運到標簽粘接機構(gòu)40，保護膜30的規(guī)定粘 貼部位被配置于支承臺56上。在標簽粘接機構(gòu)40中，規(guī)定張數(shù)的粘接標 簽38被吸附墊54a 54g吸附保持，且各粘接標簽38跨過保護膜30的殘 存部分30b， 一體地粘接到前方的剝離部分30aa和后方的剝離部分30ab 上(參照圖3)。如圖1所示，例如，粘接了七根粘接標簽38的感光性薄板22通過存 儲機構(gòu)42來防止送出側(cè)的拉力變動，然后被連續(xù)地搬運到剝離機構(gòu)44。 在剝離機構(gòu)44中，感光性薄板22的基膜26被吸附保持于吸入筒62，并 且，除了保留殘存部分30b以外，保護膜30被從所述感光性薄板22上剝 離。該保護膜30通過剝離輥63被以銳角的剝離角剝離并巻取到保護膜巻 取部64。在剝離機構(gòu)44的作用下，保護膜30除保留殘存部分30b以外被從基 膜26剝離之后，通過張力控制機構(gòu)66對感光性薄板22進行張力調(diào)整， 進而在檢測機構(gòu)47利用光電傳感器72進行半切割部位34的檢測。感光性薄板22基于半切割部位34的檢測信息，在膜搬運輥128a的 旋轉(zhuǎn)作用下，被定量搬運向?qū)訅貉b置46。此時，接觸防止輥126在上方待 機，并且橡膠輥120b配置于下方。另一方面，在加熱裝置45中，對應(yīng)于層壓裝置46的層壓溫度來設(shè)定 第一及第二加熱機構(gòu)76、 78內(nèi)的加熱溫度。例如，當層壓溫度為ll(TC時， 通過第一及第二紅外線加熱器卯a(chǎn)、 90b將第一及第二加熱機構(gòu)76、 78內(nèi) 的加熱溫度設(shè)定為12(TC前后。因此，機械人114把持收容于基板儲藏庫110的玻璃基板24，并將該 玻璃基板24搬入第一加熱機構(gòu)76。如圖4所示，在第一加熱機構(gòu)76內(nèi)， 在第一紅外線加熱器90a的加熱作用下玻璃基板24升溫，之后，通過搬 運機構(gòu)74將所述玻璃基板24送到第二加熱機構(gòu)78。在第二加熱機構(gòu)78內(nèi)，通過第二紅外線加熱器卯b加熱玻璃基板24， 在維持在規(guī)定溫度的狀態(tài)下，通過搬運機構(gòu)92被送到層壓裝置46。在層 壓裝置46中，玻璃基板24與感光性薄板22的感光性樹脂層28的粘貼部 分相對應(yīng)，被暫時配置于橡膠輥120a、 120b之間。
在該狀態(tài)下，通過輥夾緊部124使備用輥122b及橡膠輥120b上升， 由此，以規(guī)定的擠壓壓力將玻璃基板24夾入橡膠輥120a、 120b之間。進 而，在橡膠輥120a的旋轉(zhuǎn)作用下，在該玻璃基板24上利用加熱熔融轉(zhuǎn)印 (層壓)感光性樹脂層28。這里，作為層壓條件，速度為1.0m/min 10.0m/min，橡膠輥120a、 120b的溫度為80。C 15(TC，所述橡膠輥120a、120b的橡膠硬度為40度 90度，該橡膠輥120a、 120b的擠壓力(線壓力)為50N/cm 400N/cm。在通過橡膠輥120a、 120b完成向玻璃基板24層壓一張感光性薄板22 時，所述橡膠輥120a的旋轉(zhuǎn)停止，另一方面，被層壓了所述感光性薄板 22的所述玻璃基板24即粘貼基板24a被基板搬運輥128b夾緊。然后，橡膠輥120b向從橡膠輥120a離開的方向退避，解除夾緊，同 時基板搬運輥128b開始旋轉(zhuǎn)，粘貼基板24a被定量搬運向箭頭C方向， 感光性薄板22的基板間位置移動到橡膠輥120a的下方附近的規(guī)定位置。 另一方面，通過加熱裝置45將下一個玻璃基板24搬運向粘貼位置。當下一個玻璃基板24的前端配置在橡膠輥120a、 120b之間時，所述 橡膠輥120b上升，并用所述橡膠輥120a、 120b夾緊所述下一個玻璃基板 24與感光性薄板22。并且，在橡膠輥120a、 120b及基板搬運輥128b的 旋轉(zhuǎn)作用下開始層壓，并將粘貼基板24a搬運向箭頭C方向。粘貼基板24a被定量搬運向箭頭C方向，在通過基板間薄板切斷機構(gòu) 48切斷玻璃基板24之間的感光性薄板22之后，通過冷卻機構(gòu)130冷卻， 進而被移送到基礎(chǔ)剝離機構(gòu)132。在該基礎(chǔ)剝離機構(gòu)132中，在吸附墊134 上吸附保持有粘貼基板24a的狀態(tài)下，通過機械手136剝離基膜26及殘 存部分30b，從而獲得感光性層疊體140。此時，在吸附墊134的上游、下游及兩側(cè)，向粘貼基板24a的層壓部 分整體從四個方向的側(cè)面噴射防靜電氣體。并且，感光性層疊體140被保 持在機械人142的手部142a上，僅在感光性層疊體儲藏庫146收容規(guī)定 數(shù)量的感光性層疊體140。這時，如圖4所示，在第一實施方式中，在構(gòu)成第二加熱機構(gòu)78的 主體部78a的箭頭C方向前端面上設(shè)有移送機構(gòu)92，所述移送機構(gòu)92靠 近層壓裝置46配置。
因此，尤其在使用壁薄且大型的玻璃基板24之際，也能夠可靠地保 持該玻璃基板24的搬運方向前端側(cè)，在構(gòu)成層壓裝置46的橡膠輥120a、 120b之間，能夠順利且可靠地搬運所述玻璃基板24。另外，當進行層壓裝置46的維護作業(yè)等之際，如下所述，使第一加 熱機構(gòu)76及第二加熱機構(gòu)78后退。g卩，在第一加熱機構(gòu)76中，主體部 76a沿第一導軌86向箭頭Cl方向移動規(guī)定的距離Ll ，同時構(gòu)成第二加熱 機構(gòu)78的主體部78a同樣沿第三導軌104向箭頭Cl方向移動規(guī)定距離 Ll。這里，第一加熱機構(gòu)76及第二加熱機構(gòu)78設(shè)置有用于阻止向箭頭C 方向移動的互鎖裝置。接著，在第二加熱機構(gòu)78中，主體部78a與可動臺102 —體地沿第 二導軌100向箭頭D方向(參照圖5)移動規(guī)定距離L2，并施加互鎖。因此，在層壓裝置46中，在加熱裝置45側(cè)形成有維護作業(yè)用的空間， 利用該空間，操作者能夠進行構(gòu)成層壓裝置46的橡膠輥120a、 120b的清 掃、更換等維護作業(yè)。如上所述，在第二加熱機構(gòu)78的主體部78a設(shè)置有用于從加熱裝置 45向?qū)訅貉b置46交接玻璃基板24的移送機構(gòu)92。并且，當進行層壓裝 置46的維護作業(yè)等之際，在將第二加熱機構(gòu)78暫時向箭頭Cl方向移動 規(guī)定距離L1，即在使主體部78a向箭頭D方向移動之際，暫時使移送機 構(gòu)92移動到不與所述層壓裝置46干涉的位置，然后使所述主體部78a向 箭頭D方向移動。因此，僅通過使第二加熱機構(gòu)78的主體部78a向箭頭Cl方向及箭頭 D方向移動，能夠使移送機構(gòu)92與所述主體部78a —體地從層壓裝置46 退避。由此，能夠用簡單的操作確保維護用空間，層壓裝置46的各種維 護作業(yè)能夠有效且容易完成。并且，在第一實施方式中，玻璃基板24進行間歇進給即所謂的分批 搬運，但并不限定于此，也能夠適用于連續(xù)搬運所述玻璃基板24的結(jié)構(gòu)。圖6是本發(fā)明的第二實施方式的加熱裝置170的概略結(jié)構(gòu)說明圖。并 且，對和第一實施方式的加熱裝置45相同的結(jié)構(gòu)要素標以相同符號，并 省略其詳細說明。加熱裝置170沿基于搬運機構(gòu)74的搬運方向設(shè)置，至少具備第一加
熱機構(gòu)172及第二加熱機構(gòu)174。構(gòu)成第一加熱機構(gòu)172的主體部172a通 過固定臺176固定于基臺82上。第二加熱機構(gòu)174包括主體部174a;移送機構(gòu)178，其設(shè)置于所述 主體部174a，并延伸到層壓裝置46的附近，將玻璃基板24交接到所述層 壓裝置46;以及退避機構(gòu)180，其能使所述主體部174a相對于所述層壓 裝置46向與箭頭C方向交叉的方向(圖5中箭頭D方向)移動。移送機構(gòu)178構(gòu)成為可相對于第二加熱機構(gòu)174的主體部174a從水 平姿勢擺動到鉛直向下姿勢。該移送機構(gòu)178具備配置多個搬運輥80a的 擺動臺182，通過固定于主體部174a內(nèi)的支承軸184，擺動自如地支承該 擺動臺182的一端部。在主體部174a內(nèi)配置有擺動自如的氣缸186，從該 氣缸186向外延伸的桿186a與擺動臺182的擺動前端側(cè)連接。退避機構(gòu)180具備在擺動臺182上向與箭頭C方向交叉的方向延伸的 一對導軌188。在該導軌188上配置有可進退的主體部174a。如圖6所示，在第二實施方式中，構(gòu)成移送機構(gòu)178的擺動臺182在 被支承朝向水平方向的狀態(tài)下，靠近層壓裝置46。因此，利用第一加熱機 構(gòu)172及第二加熱機構(gòu)174加熱到規(guī)定溫度的玻璃基板24能夠通過構(gòu)成 移送機構(gòu)178的搬運輥80a順利且可靠地交接到層壓裝置46上。下面，當進行層壓裝置46的維護作業(yè)時，首先，驅(qū)動構(gòu)成移送機構(gòu) 178的氣缸186，桿186a向內(nèi)側(cè)移動。由此，與桿186a連接的擺動臺182 以支承軸184為支承點向鉛直向下方向擺動(參照圖6中雙點劃線)。因此，主體部184a沿構(gòu)成退避機構(gòu)180的導軌188向與箭頭C方向 正交的方向移動。因此，在加熱裝置170中能夠?qū)?yīng)于第二加熱機構(gòu)174 的作業(yè)用配置空間來確保維護用空間。這樣，在第二實施方式中，構(gòu)成移送機構(gòu)178并設(shè)有搬運輥80a的擺 動臺182構(gòu)成為可將姿勢變換成水平姿勢與鉛直姿勢。由此，在交接玻璃 基板24時，擺動臺182被配置為水平姿勢，由此，尤其能夠?qū)⒊叽绱笄?壁薄的玻璃基板24可靠地送入構(gòu)成層壓裝置46的橡膠輥120a、 120b之 間。另一方面，在維護層壓裝置46時，只要使擺動臺182從水平姿勢變 換姿勢為鉛直姿勢之后，使主體部174a沿導軌188移動即可。從而，移
送機構(gòu)178并不與層壓裝置46干涉，能夠確保所需的維護用'3間，實現(xiàn) 作業(yè)性的提高。并且，在第二實施方式中，擺動臺182構(gòu)成為可通過氣缸186自動地 擺動，但取代這種方式，例如，也可以構(gòu)成為通過手動操作使擺動臺182 變換姿勢成水平姿勢與鉛直姿勢。圖7是本發(fā)明的第三實施方式的加熱裝置190的概略結(jié)構(gòu)說明圖。并 且，對與第二實施方式的加熱裝置170相同的結(jié)構(gòu)要素標以相同符號，并 省略其詳細說明。加熱裝置190沿基于搬運機構(gòu)74的搬運方向設(shè)置，至少具備第一加 熱機構(gòu)172及第二加熱機構(gòu)192。第二加熱機構(gòu)192具有相對于主體部192a 能夠收容的移送機構(gòu)194。移送機構(gòu)194包括滑座196，其設(shè)有多個搬運輥80a;以及滑軌198， 其設(shè)于主體部192a內(nèi)，并可使所述滑座196在所述主體部192a的內(nèi)部和 所述主體部192a的外部移動。在滑座196的端部設(shè)有由形成于滑軌198 上的導向槽198a引導的導向銷200。在導向銷200被配置于導向槽198a的外側(cè)端部時，滑座196靠近層 壓裝置46，且在與多個搬運輥80同一面上配置多個搬運輥80a，并由支 承臺202支承為水平姿勢。在導向銷200被配置于導向槽198a的內(nèi)側(cè)端 部之際，滑座196退避到搬運輥80的下方，并由支承臺204支承其前端在該第三實施方式中，滑座196被從主體部192a拉出，并被支承臺 202支承，由此搬運輥80a被配置在與構(gòu)成搬運機構(gòu)74的其他搬運輥80 同一面上，且靠近層壓裝置46被定位。從而，能夠使玻璃基板24從第二 加熱機構(gòu)192順利地交接到層壓裝置46上。另一方面，當維護層壓裝置46時，滑座196在導向銷200與滑軌198 的引導作用下，在被收容于主體部192a內(nèi)之后(參照圖7中雙點劃線)， 所述主體部192a沿導軌188退避。由此，能夠用簡單且快速的操作確保維護用空間，并能獲得有效提高 作業(yè)性等、與第一及第二實施方式同樣的效果。
權(quán)利要求
1. 一種加熱裝置，其是將利用層壓裝置(46)粘貼感光性薄板(22)的基板(24)在粘貼處理前預(yù)先加熱到規(guī)定溫度的加熱裝置(45)，所述加熱裝置的特征在于，其包括搬運機構(gòu)(74)，其用于搬運所述基板(24)；以及多個加熱機構(gòu)(76、78)，其沿基于所述搬運機構(gòu)(74)的搬運方向配置，并且與所述層壓裝置(46)相鄰接的配置在搬運方向的最下游的所述加熱機構(gòu)(78)包括主體部(78a)，其收容所述搬運機構(gòu)(74)及加熱源(90b)；移送機構(gòu)(92)，其設(shè)于所述主體部(78a)，延伸到所述層壓裝置(46)的附近，用于將所述基板(24)交接到所述層壓裝置(46)；退避機構(gòu)(94)，其使所述主體部(78a)可相對于所述層壓裝置(46)移動。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置，其特征在于， 所述移送機構(gòu)(92)相對于所述主體部(78a)被固定。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的加熱裝置，其特征在于， 所述退避機構(gòu)(94)構(gòu)成為使所述主體部(78a)可在所述搬運方向及與所述搬運方向交叉的方向上進退。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置，其特征在于， 所述搬運機構(gòu)(178)構(gòu)成為可相對于所述主體部(174a)擺動。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱裝置，其特征在于， 所述移送機構(gòu)(178)具備擺動用氣缸(186)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置，其特征在于， 所述移送機構(gòu)(194)構(gòu)成為可收容于所述主體部(192a)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4或6所述的加熱裝置，其特征在于， 所述退避機構(gòu)(180)構(gòu)成為使所述主體部(174a、 192a)可至少在與所述搬運方向交叉的方向上進退。
全文摘要
本發(fā)明的加熱裝置(45)包括搬運機構(gòu)(74)，其用于搬運所述基板(24)；以及第一及第二加熱機構(gòu)(76、78)，其沿所述搬運機構(gòu)(74)的搬運方向配置。第二加熱機構(gòu)(78)包括主體部(78a)；移送機構(gòu)(92)，其設(shè)于主體部(78a)，延伸到所述層壓裝置(46)的附近，用于將所述玻璃基板(24)交接到所述層壓裝置(46)；以及退避機構(gòu)(94)，其可使所述主體部(78a)相對于所述層壓裝置(46)移動。
文檔編號B32B37/06GK101396897SQ2008101658
公開日2009年4月1日 申請日期2008年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月27日
發(fā)明者中澤直子, 遠藤惠介 申請人:富士膠片株式會社