專利名稱：：自卷層壓片和自卷壓敏粘合片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種自巻層壓片和一種自巻壓敏粘合片，其能自發(fā)地從一個末端巻起，例如通過加熱，在主要的收縮軸方向上巻起從而形成一個管狀巻(tubularroll)。自巻壓敏粘合片適合用作，例如，用在半導(dǎo)體硅片或類似物的加工過程中的可剝離的壓敏粘合片，如用于暫時的晶片固定的壓敏粘合片或者用于晶片保護的壓敏粘合片。此外，自巻層壓片適合用作，例如，用于在自巻壓敏粘合片中的壓敏粘合劑層的支持襯底材料。
背景技術(shù)：
：近來，在半導(dǎo)體材料中，對更薄和更輕的半導(dǎo)體材料的需求更加強烈。在半導(dǎo)體用途的硅片中，需要把厚度減小到10(Hmi或甚至更小，但是這樣的薄晶片是非常容易碎的并且容易斷裂。因此，在晶片加工中，已經(jīng)采用的方法是在暫時固定的壓敏粘合片上支持晶片，和在必要的加工之后，剝離和回收晶片。這樣的暫時固定的壓敏粘合片通常包括能量射線可固化的壓敏粘合劑層，并且粘合片的使用方法是把其粘附到晶片，然后對暫時固定的晶片進行如研磨或切割的加工之后，通過能量射線的輻照來固化壓敏粘合劑層，并用較低的壓敏粘合力從晶片剝離壓敏粘合劑層。然而，通過能量射線的輻照降低了壓敏粘合力的壓敏粘合片仍然在大氣壓力的作用下而粘在晶片表面。因此，為了從晶片剝離壓敏粘合片，需要的操作是，例如撕開壓敏粘合片，但是這樣的操作容易引起如晶片的邊緣碎裂或破損的損傷，例如，由于操作的壓力引起。另外，當(dāng)打光后晶片的厚度降低時(例如，當(dāng)降低至約25pm)，連接至所述晶片的所述壓敏粘合片的端部邊緣可相對于所述晶片邊緣進一步伸出到外面。因此，這些伸出的部分有粘附至工作臺表面或粘附至在所述晶片被打光的表面上設(shè)置的切割帶(dicingt叩e)的部分等的風(fēng)險，從而導(dǎo)致剝離困難。日本專利No.3073239公開了一種壓敏粘合片，其包括分層結(jié)構(gòu)的能量射線可固化的壓敏粘合劑層和可熱收縮的薄膜。根據(jù)這種壓敏粘合片，因為可熱收縮的片材在能量射線的輻照下收縮，可以防止如在紫外光的輻照下的在片材中產(chǎn)生的伸長或折痕。然而，這種壓敏粘合片對晶片的剝離性仍然是不夠的。JP-A-2000-129227公開了一種用于保護半導(dǎo)體晶片的壓敏粘合片，其由可收縮的薄膜、剛性薄膜和能量射線可固化的壓敏粘合劑層形成。根據(jù)這種壓敏粘合片，該壓敏粘合劑層的粘合力通過能量射線的輻照而降低，并且通過必要的方法使可收縮的薄膜收縮，從而引起壓敏粘合片的變形和減小在晶片和壓敏粘合劑層之間的接觸面積，以至壓敏粘合片能容易地從晶片剝離。但是，當(dāng)該發(fā)明的發(fā)明人選擇任意的材料，并檢測相似的材料時，該發(fā)明人發(fā)現(xiàn)由于在多個方向上發(fā)生的可收縮膜的收縮，導(dǎo)致壓敏粘合片在加熱后無規(guī)則地變形，使得壓敏粘合片在晶片表面上被折疊和重疊，從而可能發(fā)生剝離困難或粘附失敗。通常，即使市場上可買到的可單軸收縮的薄膜在不同于主要的收縮軸方向的軸向上也會產(chǎn)生次要的收縮(在相對弱的收縮力下的一個或多個收縮)，這是由于加工的殘余應(yīng)力或由于在加工過程中施加到壓敏粘合片的應(yīng)力或熱應(yīng)變，和收縮是由于這些原因的結(jié)合而發(fā)生的。當(dāng)粘附體的面積小時，由次要的收縮引起的壓敏粘合片的變形也小，以至剝離產(chǎn)生的損害也更小。然而，隨著粘附體的尺寸的增加，次要的收縮也增加，并且可能最終阻礙在主要的收縮軸方向的收縮。特別是，在具有廣泛地用于晶片的尺寸的壓敏粘合片中，在主要的收縮軸方向上容易出現(xiàn)這樣的收縮抑制作用，從而導(dǎo)致的問題是，例如在剝離之后一部分壓敏粘合片仍然粘附在晶片上的不完全剝離、在粘附體中由于收縮產(chǎn)生的不均勻應(yīng)力引起的破裂、和在晶片上由固化的并從壓敏粘合片落下的壓敏粘合劑而產(chǎn)生的污染。還發(fā)現(xiàn)，在襯底和壓敏粘合劑的雙層構(gòu)造中，所述晶片在打光后產(chǎn)生的翹曲過大，以至于可運輸性等非常差。專利參考1:日本專利No.3073239專利參考2:IP-A-2000-129227發(fā)明概述本發(fā)明的一個目的是提供一種壓敏粘合片，即使是當(dāng)它粘附到相對低強度的粘附體上時，其也能非常容易地從粘附體剝離，不會產(chǎn)生對粘附體的損害或污染。本發(fā)明的另一個目的是提供一種層壓片，其用作具有上述令人滿意的性能的壓敏粘合片的支持襯底材料。本發(fā)明的另一個目的是提供一種壓敏粘合片，其在用作臨時晶片固定的壓敏粘合片時，能夠盡可能地抑制由打光晶片而產(chǎn)生的晶片翹曲，以及提供一種能夠用作所述壓敏粘合片的支持襯底的層壓片。本發(fā)明人認為，為了實現(xiàn)上述目的，需要賦予壓敏粘合片易于剝離性。當(dāng)手動進行從粘附體上剝離壓敏粘合片的操作時，首先，為了提供剝離起始點，在粘附體的邊緣部分將帶撿起(pickup)，然后拉動帶以將其剝離掉。但是，對于易碎的粘附體，帶不能被撿起，帶而是被摩擦，也就是說，使剝離角最大化以使剝離應(yīng)力最小化。因此，在許多情況下，提供剝離起始點，從而通過使剝離角盡可能地大，而使剝離應(yīng)力最小化，由此使得不破壞粘附體。甚至在這之后將帶剝離掉，從而保持剝離角盡可能地大，因此可以從易碎的粘附體上剝離掉壓敏粘合片。因此，本發(fā)明人認為當(dāng)在熱等的刺激下賦予易于剝離性時，如果在剝離時帶的形狀可變形，就像毯被巻起(下文中，因此而變形的體被稱為"管狀巻")，則可得到符合所述目的的壓敏粘合帶。原因是由于在引發(fā)該變形的同時進行剝離，對應(yīng)于在剝離時保持剝離角盡可能地大，并且保持相對于粘附體的剝離應(yīng)力盡可能地低。也就是說，這暗示了破壞易碎粘附體的可能性被最小化。而且，低的剝離應(yīng)力也可減小通過剝離而污染粘附體的可能性，因為通過剝離使壓敏粘合劑被轉(zhuǎn)移到粘附體上的可能性也被降低。而且，即使當(dāng)壓敏粘合劑被粘附到晶片被打光表面上的構(gòu)件時，由于剝離應(yīng)力可被最小化，因此破壞晶片的危險被減小。因此，已經(jīng)進行材料檢驗來實現(xiàn)通過熱的刺激來形成管狀巻。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，當(dāng)提供在熱的刺激下在至少一個方向上可收縮(優(yōu)選收縮30%或更高)的可收縮薄膜層時，以及將限制可收縮薄膜層的收縮的限制層層壓在其上，更優(yōu)選限制層由彈性層和剛性薄膜層的層壓物組成，并且每層具有預(yù)定的性能，則在賦予刺激例如熱等時，可收縮薄膜的收縮力和在限制層上對抗可收縮薄膜的收縮力的限制力變成抬起外邊緣部分(末端部分)的驅(qū)動力，由此層壓片在從一個末端起的一個方向或從兩個相對的末端向中心(兩個末端的中心)自發(fā)地巻起，使得可收縮的薄膜層在里面，從而形成一個或兩個管狀巻。此外，還發(fā)現(xiàn)，通過將可剝離的壓敏粘合片粘合到粘附體上，所述壓敏粘合片具有在這類層壓片的限制層表面上形成的壓敏粘合劑層，并且，在所述層壓片完成預(yù)定操作的作用如粘附體的固定和保護之后，和當(dāng)壓敏粘合劑層失去壓敏粘合力時，通過提供刺激如加熱來促進可收縮的薄膜層的收縮，外邊緣部分(末端部分)同樣地被抬起并且在自發(fā)的巻動下在水平方向上自發(fā)地滾動，從而在從一個末端起的一個方向或從相對的兩個末端向中心(兩個末端的中心)形成一個或兩個管狀巻，可收縮的薄膜層在里面，且壓敏粘合片能非常容易地和干凈地從粘附體剝離，不會由于剝離時的應(yīng)力而產(chǎn)生粘附體破損或產(chǎn)生粘附體的污染，例如，由于不完全的剝離。本發(fā)明基于這些發(fā)現(xiàn)和進一步的研發(fā)而作出。圖1是說明本發(fā)明的自巻層壓片范例的示意性橫斷面視圖。圖2是說明本發(fā)明的自巻壓敏粘合片范例的示意性橫斷面視圖。圖3A3D是說明本發(fā)明的自巻層壓片或壓敏粘合片的自發(fā)巻起方式的視圖(透視圖)，其中圖3A是說明在提供引發(fā)可收縮薄膜收縮的刺激之前的自巻層壓片或壓敏粘合片的視圖；圖3B是說明這樣的一種狀態(tài)的視圖，其中在受到引發(fā)可收縮薄膜層(壓敏粘合劑層降低或失去壓敏粘合力之后的壓敏粘合片)收縮的刺激時，自巻層壓片或壓敏粘合片在一個方向上(通常是沿著可收縮薄膜的主收縮軸)從一個外邊緣部分開始巻起；圖3C是說明這樣的一種狀態(tài)的視圖，其中片材的巻起是完全的并且形成一個管狀巻(一個方向的巻起)；和圖3D是說明這樣的一種狀態(tài)的視圖，其中片材自發(fā)地從兩個相對的末端向中心(通常是沿著可收縮薄膜的主收縮軸)巻起，從而形成兩個管狀巻(兩個方向的巻起)。符號說明1可收縮的薄膜層2限制層21彈性層22剛性薄膜層3壓敏粘合劑層發(fā)明詳述換句話說，本發(fā)明涉及下述內(nèi)容(1).一種自巻層壓片，其包括-在至少一個軸向上是收縮性的可收縮薄膜層；和限制可收縮薄膜層收縮的限制層，該限制層置于可收縮薄膜層的一面上，其中，當(dāng)自巻層壓片被刺激而引發(fā)可收縮薄膜層的收縮時，該自巻層壓片在從一個末端起的一個方向上巻起，形成一個管狀巻，或從兩個相對的末端朝向這兩個相對末端的中心巻起，形成兩個管狀巻。(2).根據(jù)(1)的自巻層壓片，其中可收縮薄膜層包括在7018(TC范圍的溫度下在主收縮方向上具有3090。/。的熱收縮率的可熱收縮薄膜。(3).根據(jù)(1)的自巻層壓片，其中所述限制層包括在可收縮薄膜層面上的彈性層，和在與該可收縮薄膜層面相對的面上的剛性薄膜層。(4).根據(jù)(3)的自巻層壓片，其中所述彈性層在8(TC的剪切模量和厚度的乘積在11000N/m的范圍內(nèi)。(5).根據(jù)(3)的自巻層壓片，其中所述剛性薄膜層在8(TC的楊氏模量和厚度的乘積在3xl(^N/m或更小的范圍內(nèi)。(6).根據(jù)(3)的自巻層壓片，其中所述彈性層是由交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑形成的。(7).根據(jù)(1)的自巻層壓片，其中，在刺激自巻層壓片而引發(fā)可收縮薄膜層收縮后，該自巻層壓片巻起從而形成管狀巻時，形成的管狀巻其r/L比在0.0010.333的范圍內(nèi)，其中r是管狀巻的直徑，L是在巻起方向上自巻層壓片的長度。(8).根據(jù)(1)的自巻層壓片，其中，在刺激自巻層壓片而引發(fā)可收縮薄膜層收縮后，該自巻層壓片巻起從而形成兩個管狀巻時，形成的各管狀巻其r/L比在0.0010.333的范圍內(nèi)，其中r是管狀巻的直徑，L是在巻起方向上自巻層壓片的長度。(9).一種自巻壓敏粘合片，其包括在至少一個軸向上是收縮性的可收縮薄膜層；限制可收縮薄膜層收縮的限制層，該限制層置于可收縮薄膜層的一面上；和在與設(shè)置可收縮薄膜層的面相對的限制層面上設(shè)置的壓敏粘合劑層，所述自巻壓敏粘合片是可剝離的壓敏粘合片，和其中，所述壓敏粘合劑層或粘合性降低處理后的壓敏粘合劑層的壓敏粘合力U80。剝離，相對于硅晶片，拉伸速度300mm/min)為6.5N/10mm或更小，禾口其中，當(dāng)所述自巻壓敏粘合片被刺激而引發(fā)可收縮薄膜層收縮時，該自巻壓敏粘合片在從一個末端起的一個方向上巻起，形成一個管狀巻，或者從相對的兩個末端朝向這兩個相對末端的中心巻起，形成兩個管狀巻。(10).根據(jù)(9)的自巻壓敏粘合片，其中所述可收縮薄膜層包括在70180。C范圍的溫度下在主收縮方向上具有3090。/。的熱收縮率的可熱收縮的薄膜。(11).根據(jù)(9)的自巻壓敏粘合片，其中所述限制層包括在可收縮薄膜層面上的彈性層，和在與該可收縮薄膜層面相對的面上的剛性薄膜層。(12).根據(jù)(ll)的自巻壓敏粘合片，其中所述彈性層在8(TC的剪切模量和厚度的乘積在11000N/m的范圍內(nèi)。(13).根據(jù)(11)的自巻壓敏粘合片，其中所述剛性薄膜層在8(TC的楊氏模量和厚度的乘積在3.0xl()SN/m或更小的范圍內(nèi)。(14).根據(jù)(ll)的自巻壓敏粘合片，其中所述彈性層是由交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑形成的。(15).根據(jù)(9)的自巻壓敏粘合片，其中所述壓敏粘合劑層是由能量射線可固化的壓敏粘合劑形成的。(16).根據(jù)(9)的自巻壓敏粘合片，其中，在刺激自巻壓敏粘合片而引發(fā)可收縮薄膜層收縮后，該自巻壓敏粘合片巻起從而形成一個管狀巻時，形成的管狀巻其r/L比在0.0010.333的范圍內(nèi)，其中r是管狀巻的直徑，L是在巻起方向上自巻壓敏粘合片的長度。(17).根據(jù)(9)的自巻壓敏粘合片，其中，在刺激自巻壓敏粘合片而引發(fā)可收縮薄膜層收縮后，該自巻壓敏粘合片巻起從而形成兩個管狀巻時，各管狀巻其r/L比在0.0010.333的范圍內(nèi)，其中r是管狀巻的直徑，L是在巻起方向上自巻壓敏粘合片的長度。(18).—種加工制品的方法，其包括將(9)的自巻壓敏粘合片粘附到制品上來暫時固定所述制品，然后加工該制品；降低所述壓敏粘合片的壓敏粘合力，并且對所述壓敏粘合片提供引發(fā)可收縮薄膜層收縮的刺激，從而致使所述壓敏粘合片在從一個末端起的一個方向上自發(fā)地巻起，形成一個管狀巻，或從兩個相對的末端朝向這兩個相對末端中心的方向上自發(fā)地巻起，形成兩個管狀巻，因而從所述制品剝離；和獲得完成的制品。根據(jù)本發(fā)明的自巻壓敏粘合片和層壓片同時巻起，即使當(dāng)所述片在巻起方向上的長度L增加。因此，隨著所述片在巻起方向上的長度L增加，r/L的最低限變得更小。在本說明書中，收縮率(％)是指由方程式計算得到的值。xl00對此，除非另有說明，它表示在主收縮軸向上的收縮率。在用附著力暫時固定的粘附體進行預(yù)定的加工之后，本發(fā)明的自巻壓敏粘合片受到如熱之類的引起收縮的刺激并自發(fā)地巻起，通常沿主收縮軸方向從一個末端(一個末端或相對的兩個末端)，同時從粘附體剝離而形成管狀巻，以致其能非常容易地從粘附體的表面去除，不會對粘附體帶來損害或由于不完全的剝離在其上產(chǎn)生污染。因此，其用作可剝離的壓敏粘合片來特別地粘附在易碎的粘附體上。此外，當(dāng)本發(fā)明的自巻層壓片受到引起收縮的剌激時，其通常在主收縮軸方向從一個末端(一個末端或相對的兩個末端)的自發(fā)地巻起而形成管狀巻，以致其可以有利地用作在上述的自巻壓敏粘合片中的壓敏粘合劑層的支持襯底材料。在本說明書中，"自巻性"是指物體具有這樣的性能，由引發(fā)收縮的刺激作用而自發(fā)巻起，所述刺激如熱，光和電刺激。"自巻層壓片"是具有自巻性能的層壓片。當(dāng)對自巻層壓片施以引發(fā)收縮的刺激時，其在一個方向上從一端自發(fā)巻起或者從兩個相對的末端朝向這兩個相對末端的中心巻起，形成一個或兩個管狀巻。"自巻壓敏粘合片"是具有自巻性能的壓敏粘合片，其包括自巻層壓片和置于構(gòu)成自巻層壓片的限制層表面上的壓敏粘合劑層。當(dāng)自巻壓敏粘合片的壓敏粘合力降低或喪失，并在對自巻壓敏粘合片施以引發(fā)收縮的刺激時，其在一個方向上從一端自發(fā)巻起或者從兩個相對的末端朝向這兩個相對末端的中心巻起，形成一個或兩個管狀巻。在下文中，將參考附圖來描述本發(fā)明的實施方案。圖1是說明本發(fā)明的自巻層壓片范例的示意性橫斷面視圖。圖2是說明自巻壓敏粘合片范例的示意性橫斷面視圖。圖1中說明的自巻層壓片是包括具有單軸收縮性的可收縮薄膜層1和用來限制可收縮薄膜層1的收縮的限制層2的層壓物。限制層2是由在可收縮薄膜層1面上的彈性層21和在與可收縮薄膜層1相對的面上的剛性薄膜層22組成的。此外，圖2中說明的壓敏粘合片是通過在圖1的自巻層壓片的剛性薄膜層22的一面上層壓壓敏粘合劑層3而形成的層壓物。在這種情況下，自巻層壓片用作自巻壓敏粘合片的支持襯底材料?？墒湛s薄膜層1可以是在至少一個軸向上可收縮的薄膜層，和可以是可熱收縮的薄膜、在光照下顯示收縮性的薄膜和在電刺激下收縮的薄膜中的任一種。其中，從可操作性的觀點來看，優(yōu)選可收縮的薄膜層1是可熱收縮的薄膜?？墒湛s薄膜層1可能僅在一個軸向具有收縮性，或者可能在某個方向(一個軸向)具有主要的收縮性和在另一個方向(例如，垂直于上述方向的方向)具有次要的收縮性?？墒湛s薄膜層1可以是由單層組成的，或者是由兩個或多層形成的復(fù)合層組成的。構(gòu)成可收縮薄膜層1的可收縮薄膜優(yōu)選在主收縮方向具有3090%的收縮率。在可收縮薄膜層1是由可熱收縮的薄膜組成的情況下，在7018(TC范圍的預(yù)定溫度下(例如，95°C、14(TC等)，這樣的可熱收縮的薄膜在主收縮方向上優(yōu)選具有3090%的收縮率。在由可收縮薄膜層1構(gòu)成的可收縮薄膜中，除主收縮方向之外的方向上的收縮率優(yōu)選是10%或更小，更優(yōu)選是5%或更小，和特別優(yōu)選是3%或更小?？蔁崾湛s的薄膜的熱收縮性可以通過，例如，對用擠出機擠出的薄膜進行拉伸加工來提供。可熱收縮的薄膜的例子包括單軸拉伸的薄膜，其是由一種或多種選自下列的樹脂制備的，所述樹脂舉例來說，選自如聚對苯二甲酸乙二醇酯的聚酯、如聚乙烯或聚丙烯的聚烯烴、聚降冰片烯、聚酰亞胺、聚酰胺、聚氨酯、聚苯乙烯、聚偏二氯乙烯和聚氯乙烯。其中，考慮到對壓敏粘合劑的令人滿意的涂敷性，優(yōu)選由聚酯樹脂、如聚乙烯、聚丙烯或聚降冰片烯的聚烯烴樹脂(包括環(huán)狀聚烯烴樹脂)，或聚氨酯樹脂形成的單軸拉伸的薄膜。作為這樣的可熱收縮的薄膜，可以使用商業(yè)產(chǎn)品，如ToyoboCo.制造的SpaceClean、GunzeLtd.制造的FancyWrap、TorayIndustriesLtd.制造的Torayfan、TorayIndustriesLtd.制造的Lumirror、JSRCorp.制造的Arton、禾口NipponZeonCo.制造的Zconor"在使用自巻層壓片作為用于能量射線可固化的壓敏粘合片的支持襯底材料的情況下，并且當(dāng)使得能量射線的輻照穿過可熱收縮的薄膜層1來固化能量射線可固化的壓敏粘合劑層時，可熱收縮的薄膜層1應(yīng)該是用能傳遞預(yù)定量或更大量的能量射線的材料(例如，透明的樹脂)構(gòu)成?？蔁崾湛s的薄膜層1的厚度通常為5300/zm，優(yōu)選10100/mi?？蔁崾湛s的薄膜層1的過度大的厚度會增大剛性，從而不會發(fā)生自發(fā)巻起，而是在可熱收縮的薄膜層1和限制層2之間發(fā)生分離，從而可能導(dǎo)致層壓物的破壞。另外，已知具有高硬度的膜具有高的彈性應(yīng)力，這是由于帶粘合時發(fā)生的殘余應(yīng)力而導(dǎo)致的，因此，當(dāng)晶片被制成較薄時，翹曲可能被擴大。為了提高對相鄰層的粘合性和固定性，可以對可熱收縮薄膜層1的表面進行常規(guī)的表面處理，例如，如用鉻酸處理的化學(xué)或物理處理、臭氧的照射、火焰的照射、高電壓電火花的照射、電離輻照處理或用內(nèi)涂層材料(如壓敏粘合劑物質(zhì))涂敷。限制層2限制可收縮薄膜層1的收縮，以引發(fā)作用力，這通過產(chǎn)生在整個層壓物中的力偶()，進而變成導(dǎo)致巻起的驅(qū)動力。另外認為，限制層2抑制在不同于其主收縮方向的方向上的可收縮薄膜層1的次要的收縮，從而使可收縮薄膜層1的收縮方向集中在一個方向，所述可收縮薄膜層1即使被叫做單軸可收縮的薄膜時其收縮方向也不一定是唯一的。因此，當(dāng)層壓薄膜受到引起可收縮薄膜層1的收縮的刺激時，相對于可收縮薄膜層1的收縮力，在限制層2中的排斥力認為是抬起層壓片的外邊緣部分(一個末端或兩個相對的末端)的驅(qū)動力，從而層壓片自發(fā)地，使可收縮薄膜層1在里面，從一個方向或朝向中心的方向(通常在可熱收縮薄膜的主收縮軸向的方向)巻起，從而形成管狀巻。此外，限制層2用來阻止由于可收縮薄膜層1的收縮變形產(chǎn)生的剪切力傳遞到壓敏粘合劑層3或粘附體，從而避免在剝離時具有降低的壓敏粘合力的壓敏粘合劑層(例如，固化的壓敏粘合劑層)的破裂、粘附體的破裂或由于破裂的壓敏粘合劑層而產(chǎn)生的對粘附體的污染。為了顯示出限制可收縮薄膜層1收縮的功能，限制層2具有彈性和對可收縮薄膜層1的粘性(包括壓敏粘性)。此外，為了平穩(wěn)地形成管狀巻，限制層2優(yōu)選具有一定的韌性或剛性。限制層2可以由單一層組成，或由多層組成，其中其功能由多層分攤。在圖1和2說明的實施例中，限制層2是由彈性層21和剛性薄膜層22組成的。在可收縮薄膜層1的收縮溫度下(當(dāng)自巻層壓片用作自巻壓敏粘合片的支持襯底材料時，在壓敏粘合片的剝離溫度下)，彈性層21優(yōu)選是容易變形的，即在橡膠狀狀態(tài)的。然而，在具有流動性的材料中不能產(chǎn)生足夠的作用力，最終可收縮薄膜自身收縮，因而不能夠引起變形(自發(fā)巻起)。因此，彈性層21優(yōu)選具有受約束的流動性，例如，由于三維交聯(lián)。此外，由于其厚度彈性層21也發(fā)揮限制在可收縮薄膜層1的不均勻收縮力中的較弱的分力的功能，從而阻止由于這樣的較弱的分力產(chǎn)生的收縮變形，進而實現(xiàn)轉(zhuǎn)變成唯一的收縮方向。據(jù)認為，當(dāng)將壓敏粘合片粘合至晶片時發(fā)生的應(yīng)力在在后面仍保留時，引發(fā)在晶片打光后形成的翹曲，并且該殘余應(yīng)力導(dǎo)致所述可收縮薄膜的彈性變形。但是，所述彈性層也具有減少該殘余應(yīng)力引發(fā)翹曲的作用。因此，彈性層21理想地是由具有壓敏粘合性和具有如50。C或更低，優(yōu)選室溫(25°C)或更低和更優(yōu)選O"C或更低的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的樹脂形成的。在可收縮薄膜層1面上的彈性層21的壓敏粘合力是，如通過180。剝離試驗(根據(jù)JISZ0237，拉伸速度300mm/min，50°C)獲得的值，優(yōu)選為，0.5N/10mm或更高。過低的壓敏粘合力容易引起可熱收縮薄膜層1和彈性層21之間的剝離。此外，彈性層21在從室溫到剝離溫度(例如，8(TC)的溫度范圍內(nèi)的剪切模量G優(yōu)選為1x104Pa5x106Pa(特別地，0.05x106Pa3x106Pa)。當(dāng)剪切模量過小時，將可收縮薄膜層的收縮應(yīng)力轉(zhuǎn)變成巻起時需要的力的效果變得不充分。另一方面，當(dāng)剪切模量過大時，除了可巻起點變得不充分從而增加硬度外，還可能難于制備層壓物，因為具有高彈性的材料通常具有不充分的粘合性，或者釋放殘余應(yīng)力的作用也變惡化。彈性層21的厚度優(yōu)選為約15150pm。當(dāng)該厚度過小時，難于獲得對抗可收縮薄膜層1的收縮的限制能力，并且應(yīng)力消除的效果也被降低。相反，當(dāng)該厚度過大時，自巻性能惡化并且加工性能和經(jīng)濟性能變差，這是不希望的。因而，彈性層21的剪切模量G(例如，在8(TC下的值)和厚度的乘積(剪切模量Gx厚度)優(yōu)選為11000N/m;更優(yōu)選1150N/m;和甚至更優(yōu)選為1.2100N/m。此外，在壓敏粘合劑層3是由能量射線可固化的壓敏粘合劑層形成的情況下，考慮到制造性能和工作效率，優(yōu)選彈性層21是由能容易地傳送能量射線的材料形成的并且其具有用來獲得具有適當(dāng)?shù)乜蛇x擇厚度的薄膜的令人滿意的成型性。作為彈性層21，可使用的例如是泡沫材料(泡沫薄膜)的樹脂薄膜(包括片材)，所述泡沫材料如為聚氨酯泡沫或丙烯酰基泡沫，或者是橡膠或熱塑性彈性體的非泡沫樹脂薄膜，其表面受到壓敏粘合處理(至少在可收縮薄膜層1面上的一個表面)。在壓敏粘合處理中使用的壓敏粘合劑無特別限定，可以是一種或者是兩種或多種公眾已知的壓敏粘合劑的組合，例如丙烯酸壓敏粘合劑、橡膠型壓敏粘合劑、乙烯基垸基醚壓敏粘合劑、硅氧烷壓敏粘合劑、聚酯壓敏粘合劑、聚酰胺壓敏粘合劑、聚氨酯壓敏粘合劑、和苯乙烯-二烯嵌段共聚物型壓敏粘合劑。特別是，可以有利地使用丙烯酸壓敏粘合劑，例如考慮到壓敏粘合力的調(diào)節(jié)。在這方面，為了獲得高的親合力，用于壓敏粘合劑處理的壓敏粘合劑樹脂和泡沫薄膜或非泡沫樹脂薄膜的樹脂優(yōu)選是相同類型的樹脂。例如，在使用丙烯酸壓敏粘合劑用于壓敏粘合劑處理的情況下，可以有利地以丙烯?；輿i用作樹脂薄膜。此外，彈性層21可以由自身具有粘合性的樹脂成分形成，例如交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑。由這樣的交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑或類似物形成的層(壓敏粘合劑層)可以用相對簡單的方法來制造，不需要單獨的壓敏粘合劑處理，并且由于其優(yōu)異的生產(chǎn)率和經(jīng)濟性而有利地使用。交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑具有如下的組成，其中把交聯(lián)劑添加到含有作為基礎(chǔ)聚合物的丙烯酸類聚合物的丙烯酸壓敏粘合劑中。丙烯酸類聚合物的例子包括(甲基)丙烯酸垸基酯的均聚物或共聚物，所述(甲基)丙烯酸垸基酯例如為(甲基)丙烯酸QC2o垸基酯，如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、和(甲基)丙烯酸辛酯；和上述(甲基)丙烯酸烷基酯和另一種包括含有羧基或酸酐基的單體的可共聚單體的共聚物，所述可共聚單體例如為丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、富馬酸或馬來酸酐；含羥基的單體，如(甲基)丙烯酸2-羥乙基酯；含氨基的單體，如(甲基)丙烯酸嗎啡酚酯(morpholyl(meth)acrylate);含酰胺基的單體，如(甲基)丙烯酰胺；含氰基的單體，如(甲基)丙烯腈；或含有脂環(huán)族經(jīng)基的(甲基)丙烯酸酯，如(甲基)丙烯酸異冰片基酯。作為丙烯酸類聚合物，特別優(yōu)選的是一種或多種(甲基)丙烯酸Qd2烷基酯如丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯或丙烯酸2-乙基己酯，和至少一種選自如丙烯酸2-羥乙基酯的含羥基單體和如丙烯酸的含羧基或含酸酐基的單體的可共聚單體的共聚物，或者是一種或多種(甲基)丙烯酸QQ2垸基酯、含脂環(huán)族烴基的(甲基)丙烯酸酯，和至少一種選自含羥基的單體和含羧基或酸酐基單體的可共聚單體的共聚物。丙烯酸類聚合物，例如是通過在溶劑存在的條件下光聚合(例如，用紫外光)上述的單體成分(和聚合引發(fā)劑)來制備的，為具有高粘度的液態(tài)預(yù)聚物。交聯(lián)型壓敏粘合劑組合物可以通過把交聯(lián)劑加入上述預(yù)聚物來獲得。交聯(lián)劑可以在制備預(yù)聚物時加入。交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑組合物也可以通過把交聯(lián)劑和溶劑(在利用丙烯酸聚合物溶液的情況下不必要)添加到通過聚合上述的單體成分或其溶液獲得的丙烯酸聚合物來獲得。交聯(lián)劑無特別限定，并且，例如是，異氰酸酯型交聯(lián)劑、三聚氰胺型交聯(lián)劑、環(huán)氧型交聯(lián)劑、丙烯酸酯型交聯(lián)劑(多官能丙烯酸酯)、或含有異氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯也可以用于這個目的。丙烯酸酯類交聯(lián)劑的例子包括二丙烯酸己二醇酯、二丙烯酸1,4-丁二醇酯、三羥甲基丙垸三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯和二聚季戊四醇六丙烯酸酯。具有異氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯的例子包括丙烯酸2-異氰酸酯乙酯和甲基丙烯酸2-異氰酸酯乙酯。其中，優(yōu)選如丙烯酸酯型交聯(lián)劑(多官能丙烯酸酯)或具有異氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯的紫外線(UV)反應(yīng)性交聯(lián)劑。交聯(lián)劑通常的用量為0.0115重量份，優(yōu)選0.0512重量份，相對于每100重量份基礎(chǔ)聚合物。除基礎(chǔ)聚合物和交聯(lián)劑之外，交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑可以包括合適的添加劑，如交聯(lián)促進劑、增粘樹脂(如松香衍生物樹脂、聚萜烯樹脂、石油樹脂、或油溶性酚醛樹脂)、增粘劑、增塑劑、填料、防老劑和抗氧化劑。用作彈性層21的交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑層的獲得可以簡單地通過把交聯(lián)劑加到預(yù)聚物中制備，形成交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑組合物，通過公眾已知的方法形成想要厚度和面積的薄膜，所述方法如流延方法，然后用光再次輻照薄膜來引發(fā)交聯(lián)反應(yīng)(和未反應(yīng)的單體聚合反應(yīng))，從而獲得想要的性能。這樣獲得的彈性層(交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑層)具有自壓敏粘合性，它可以通過直接在可收縮的薄膜層1和剛性薄膜層22之間粘合來使用。作為交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑層，也可用的是商業(yè)的雙面膠帶，如NittoDenkoCorporation制造的HJ-9150W(商品名)。同樣，在薄膜形式的壓敏粘合劑粘合在可收縮的薄膜層1和剛性薄膜層22之間后，可以通過再次進行光輻照來進行交聯(lián)反應(yīng)。作為彈性層21的交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑層的獲得也可以通過在剛性薄膜層22的表面上涂敷交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑組合物，所述組合物由在溶劑中溶解上述丙烯酸聚合物和交聯(lián)劑制備，然后在其上粘合可收縮的薄膜層1并進行光輻照。在壓敏粘合劑層3是能量射線可固化的壓敏粘合劑層的情況下，上述的交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑可通過用能量射線輻照(光輻照)固化(交聯(lián))，用于在剝離后固化壓敏粘合劑層3。在本發(fā)明中的彈性層21可以進一步包括如玻璃珠或樹脂粒的珠粒。把玻璃珠或樹脂粒添加到彈性層21可有利地促進壓敏粘合特性和剪切模量的控制。相對于100重量份的整個彈性彈性層21，珠粒的平均粒度是，例如，約1100pm，優(yōu)選l20|im。珠粒的使用量是0.110重量份，優(yōu)選14重量份。過大的添加量可能惡化壓敏粘合劑性能，而過小的添加量容易僅會提供不夠的效果。剛性薄膜層22通過對限制層2賦予剛性或韌性，從而具有引發(fā)對抗可收縮薄膜層的收縮力的作用力的功能，并進一步產(chǎn)生巻起所需的力偶。當(dāng)引發(fā)收縮的如熱的刺激施加到可收縮的薄膜層1時，剛性層22的存在能使層壓片或壓敏粘合片平穩(wěn)地實現(xiàn)自發(fā)巻起，不會暫時停止或在方向上移動，從而形成具有規(guī)定形狀的管狀巻。構(gòu)成剛性薄膜層22的樹脂薄膜的例子包括由一種或多種選自如聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯和聚萘二甲酸乙二醇酯的聚酯；如聚乙烯或聚丙烯的聚烯烴；聚酰亞胺；聚酰胺；聚氨酯；如聚苯乙烯的苯乙烯樹脂；聚偏二氯乙烯和聚氯乙烯中的樹脂形成的薄膜。其中，聚酯樹脂薄膜、聚丙烯薄膜和聚酰胺薄膜是優(yōu)選的，因為其對于壓敏粘合劑具有令人滿意的涂布操作性。剛性薄膜層22可以是單層，或者是由兩層或多層形成的復(fù)合層。構(gòu)成剛性薄膜層22的剛性薄膜是不可收縮的，并且其收縮率為，例如，5%或更小，優(yōu)選3%或更小和更優(yōu)選1%或更小。剛性薄膜層22在剝離溫度(例如80°C)下楊氏模量和厚度的乘積(楊氏模量x厚度)優(yōu)選為3.0xl05N/m或更小(例如1.0x1023.0xl05N/m)，更優(yōu)選2.8xl05N/m或更小(例如1.0xl032.8xl05N/m)。當(dāng)剛性薄膜層22的楊氏模量和厚度的乘積過小時，將可收縮薄膜層的收縮應(yīng)力轉(zhuǎn)化成巻起力的效果不充分，并且也容易使定向收縮的作用惡化。另一方面，當(dāng)該乘積過大時，它易于抑制由剛性帶來的巻起。剛性薄膜層22在剝離溫度(例如80°C)下的楊氏模量優(yōu)選是3xl062xl01QN/m2，更優(yōu)選lxl08lxl01QN/m2。當(dāng)楊氏模量過小時，難于獲得具有適當(dāng)形狀的管狀巻，相反，當(dāng)楊氏模量過大時，難于產(chǎn)生自發(fā)的巻起。剛性薄膜層22的厚度為，例如，約20150]um，優(yōu)選2595jnm，更優(yōu)選3090pm，特別優(yōu)選3080pm。當(dāng)厚度過小時，難于獲得具有適當(dāng)形狀的管狀巻。當(dāng)厚度過大時，自巻性降低并且加工性和經(jīng)濟性變差，這些不是所期望的。在壓敏粘合劑層3是由能量射線可固化的壓敏粘合劑形成的情況下，考慮到制造性和操作效率，優(yōu)選剛性薄膜層22是由能容易地傳送能量射線的材料形成的，并且所述材料對于獲得具有合適地可選擇的厚度的薄膜具有令人滿意的可塑性。在上述的實施方案中，限制層2是由彈性層21和剛性薄膜層22構(gòu)成的，但是這樣的結(jié)構(gòu)不是必不可少的。例如，可以通過提供具有合適剛性的彈性層21來省去剛性薄膜層22。對于壓敏粘合劑層3，可使用本身具有小壓敏粘合力的壓敏粘合劑層，但所述壓敏粘合劑層優(yōu)選是可剝離的壓敏粘合劑層，其具有能夠粘附到粘附體的壓敏粘合性，并且在完成預(yù)定的功能之后，能夠通過某種方法(粘合性降低處理)來使壓敏粘合性減小或失去壓敏粘合性。這樣的可剝離壓敏粘合劑層可以與己知的可剝離壓敏粘合片的壓敏粘合劑層相同的方法來構(gòu)成。從自巻性的觀點出發(fā)，壓敏粘合劑層或壓敏粘合性降低處理后的壓敏粘合劑層在室溫(25°C)的壓敏粘合力U80。剝離，相對于硅晶片，拉伸速度300mm/min)是例如，優(yōu)選6.5N/10mm或更小(特別地6.0N/10mm)。壓敏粘合劑層3優(yōu)選是能量射線可固化的壓敏粘合劑層。能量射線可固化的壓敏粘合劑層可以由最初具有壓敏粘合性并在如紅外光、可見光、紫外光、X-射線或電子束的能量射線的輻照下形成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)從而表示出高彈性的材料形成，并且能量射線可固化的壓敏粘合劑可以用作這樣的材料。能量射線可固化的壓敏粘合劑包括用提供能量射線可固化性的能量射線活性官能團來化學(xué)改性的化合物，或能量射線可固化化合物(或能量射線可固化樹脂)。因此，能量射線可固化的壓敏粘合劑優(yōu)選由用能量射線活性官能團化學(xué)改性的基礎(chǔ)成分形成，或是由混合能量射線可固化的化合物(或能量射線可固化樹脂)和基礎(chǔ)成分形成的組合物形成。作為基礎(chǔ)成分，可使用的是壓敏粘合劑，如已經(jīng)公知的壓敏粘合劑(粘性粘合劑)。壓敏粘合劑的例子包括橡膠型壓敏粘合劑，其利用橡膠型聚合物作為基礎(chǔ)聚合物，所述橡膠型聚合物如天然橡膠、聚異丁烯橡膠、苯乙烯-丁二烯橡膠、苯乙烯-異戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物橡膠、再生橡膠、丁基橡膠、聚異丁烯橡膠或NBR;硅氧烷型壓敏粘合劑；和丙烯酸壓敏粘合劑。其中，優(yōu)選的是丙烯酸壓敏粘合劑。基礎(chǔ)成分可以由單一成分或者兩種或多種成分形成。丙烯酸壓敏粘合劑的例子包括那些利用(甲基)丙烯酸垸基酯的均聚物或共聚物作為基礎(chǔ)聚合物的那些，例如(甲基)丙烯酸C,C20垸基酯，如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯和(甲基)丙烯酸辛酯；和這樣的(甲基)丙烯酸垸基酯和另一種可共聚單體(例如，含羧基或酸酐基的單體，如丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、富馬酸或馬來酸酐；含羥基的單體，如(甲基)丙烯酸2-羥乙酯；含氨基的單體，如(甲基)丙烯酸嗎啡酚酯；或含酰胺基的單體，如(甲基)丙烯酰胺)的共聚物。這些材料可以單獨使用或者兩種或多種結(jié)合使用。為能量射線可固化的壓敏粘合劑或能量射線可固化化合物的能量射線固化，用于進行化學(xué)改性的能量射線活性官能團無特別限制，只要它在如紅外光、可見光、紫外光、X-射線或電子束的能量射線下可固化即可，但是優(yōu)選在用能量射線輻照之后能夠在能量射線可固化的壓敏粘合劑中形成有效的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)(網(wǎng)絡(luò))。這些材料可以單獨使用或者兩種或多種結(jié)合使用。用于化學(xué)改性的能量射線活性官能團的例子包括具有碳碳多鍵的官能團，如丙烯?；?、甲基丙烯?；⒁蚁┗?、烯丙基和乙炔基。在這樣的官能團中，碳碳多鍵在能量射線輻照下裂開而產(chǎn)生自由基，其構(gòu)成交聯(lián)點從而形成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。其中，考慮到活性和操作性，優(yōu)選(甲基)丙烯?；驗樗鼘δ芰可渚€表現(xiàn)出相對高的活性并且可以從各種丙烯酸壓敏粘合劑中選擇和組合使用。用能量射線活性官能團化學(xué)改性的基礎(chǔ)成分的代表性例子，包括通過含活性官能團的丙烯酸聚合物和含能在分子內(nèi)與活性官能團和能量射線活性官能團(例如丙烯?；蚣谆；?反應(yīng)的基團(例如異氰酸酯基或環(huán)氧基)的化合物[例如(甲基)丙烯?；蚁┗惽杷狨反應(yīng)獲得的聚合物，所述含活性官能團的丙烯酸聚合物是通過共聚包括如羥基或羧基的活性官能團的單體(例如(甲基)丙烯酸2-羥乙酯或(甲基)丙烯酸)和(甲基)丙烯酸垸基酯獲得的。在含活性官能團的丙烯酸聚合物中，含活性官能團的單體比例為，相對于所有的單體，例如，540wt%，優(yōu)選1030wt%。在和含活性官能團的丙烯酸聚合物反應(yīng)時，相對于在含活性官能團的丙烯酸聚合物中的活性官能團(例如羥基和羧基)，在分子內(nèi)具有能和活性官能團反應(yīng)的基團和具有能量射線活性官能團的化合物的量是，例如，50100mol%，優(yōu)選6095mol%。能量射線可固化的化合物的例子包括具有兩個或多個碳碳雙鍵的化合物，如三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇單羥基五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二丙烯酸1，4-丁二醇酯、二丙烯酸1,6-己二醇酯、和含有聚(甲基)丙烯?；幕衔铮缍┧峋垡叶减?。這些化合物可以單獨使用或者兩種或多種結(jié)合使用。其中，特別優(yōu)選的是含有聚(甲基)丙烯?；幕衔?，例如在如JP-A-2003-292916中公開的。在下文中，含有聚(甲基)丙烯?；幕衔锟梢员环Q為"丙烯酸酯型交聯(lián)劑"。能量射線可固化的化合物也可以是如鎗鹽的有機鹽和在其分子中具有多個雜環(huán)的化合物的混合物。在這樣的混合物中，有機鹽通過能量射線輻照裂開而產(chǎn)生離子，其作為引發(fā)物質(zhì)來引發(fā)雜環(huán)的開環(huán)反應(yīng)，從而形成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。有機鹽的例子包括碘鎿鹽、磷鎰鹽、銻鹽、锍鹽和硼酸鹽，并且在分子中具有多個雜環(huán)的化合物中的雜環(huán)的例子包括環(huán)氧乙垸、氧雜環(huán)丁烷(oxetane)、oxorane、硫雜丙環(huán)和氮丙啶。更具體的是，可以使用在光固化技術(shù)(2000)、技術(shù)信息協(xié)會(TechnicalInformationInstituteCo.)中描述的化合物。能量射線可固化的樹脂的例子包括在分子的終止端具有(甲基)丙烯?；暮饷艋鶊F的聚合物或低聚物，如酯(甲基)丙烯酸酯、聚氨酯(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯、三聚氰胺(甲基)丙烯酸酯和丙烯酸樹脂(甲基)丙烯酸酯，在分子的終止端具有烯丙基的硫醇-烯加成型樹脂和光陽離子聚合的樹脂，含肉桂?；木酆衔铮缇廴夤鹚嵋蚁?、重氮化氨基-線性酚醛樹脂和丙烯酰胺型聚合物。此外，用高能量射線活化的聚合物的例子包括環(huán)氧化的聚丁二烯、不飽和的聚酯、甲基丙烯酸聚縮水甘油基酯、聚丙烯酰胺和聚乙烯基硅氧烷。在利用能量射線可固化的樹脂的情況下，上述的基礎(chǔ)樹脂不是必不可少的。能量射線可固化的壓敏粘合劑特別優(yōu)選由上述的丙烯酸聚合物或用能量射線活性官能團化學(xué)改性的丙烯酸聚合物(能量射線活性官能團引入側(cè)鏈中的丙烯酸聚合物)和上述能量射線可固化的化合物(例如，具有兩個或多個碳碳雙鍵的化合物)的組合形成的。這樣的組合在反應(yīng)性和操作效率上均是優(yōu)選的，因為其包括對能量射線具有相對高反應(yīng)性的丙烯酸酯基團并且它能從各種丙烯酸壓敏粘合劑中選擇。這樣的組合的具體例子包括其中丙烯酸酯基引入側(cè)鏈的丙烯酸聚合物，和含有兩個或多個包括碳碳雙鍵的官能團(特別是丙烯酸酯基)的化合物的組合。這樣的組合可以是如JP-A-2003-292916中公開的那匙。在其側(cè)鏈引入丙烯酸酯基的丙烯酸聚合物可以通過以下方法制備，例如，通過氨基甲酸乙酯鍵，把如丙烯?；已趸惽杷狨セ蚣谆；已趸惽杷狨サ漠惽杷狨セ衔锝Y(jié)合到在側(cè)鏈上具有羥基的丙烯酸聚合物的方法。相對于100重量份的基礎(chǔ)成分(例如，上述的丙烯酸聚合物或用能量射線活性官能團化學(xué)改性的丙烯酸聚合物)，能量射線可固化的化合物的量為，約0.5200重量份，優(yōu)選5180重量份和更優(yōu)選20130重量份。在能量射線可固化的壓敏粘合劑中，可以混入用于固化能提供能量射線固化性的化合物的能量射線聚合引發(fā)劑來提高形成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的反應(yīng)速度。能量射線聚合引發(fā)劑可以選自公眾已知的或通用的聚合引發(fā)劑，根據(jù)使用的能量射線的類型(例如紅外光、可見光、紫外光、X-射線或電子束)?？紤]到操作效率，通過紫外光能引發(fā)光聚合反應(yīng)的化合物是優(yōu)選的。典型的能量射線聚合引發(fā)劑的例子包括酮類引發(fā)劑，如二苯甲酮、苯乙酮、苯醌、萘醌、蒽醌和莉酮；偶氮類引發(fā)劑，如偶氮二異丁腈；過氧化物類引發(fā)劑，如過氧化苯甲酰和過苯甲酸，但是這些例子并非窮舉。其商用產(chǎn)品包括，例如，Ciba-GeigyLtd制造的Irgac訓(xùn)184禾口Irgacure651(商品名)。能量射線聚合引發(fā)劑可以單獨使用或者兩種或多種結(jié)合使用。相對于100重量份基礎(chǔ)成分，能量射線聚合引發(fā)劑的使用量為約0.01IO重量份，優(yōu)選約18重量份。根據(jù)需要，能量射線聚合助催化劑可以結(jié)合能量射線聚合引發(fā)劑使用。在能量射線可固化的壓敏粘合劑中，除上述的成分之外，可以選擇性地加入合適的添加劑，如交聯(lián)劑、固化(交聯(lián))促進劑、增粘劑、硫化劑和用來在用能量射線固化之前和之后獲得合適的壓敏粘合性的稠化劑，以及加入防老劑和抗氧化劑來提高耐用性。作為優(yōu)選的能量射線可固化的壓敏粘合劑，使用的是在基礎(chǔ)成分(壓敏粘合劑)中含有能量射線可固化的化合物的組合物，優(yōu)選在丙烯酸壓敏粘合劑中含有UV-可固化的化合物的UV-可固化的壓敏粘合劑。作為能量射線可固化的壓敏粘合劑的特別優(yōu)選的實施方案，使用的是UV-可固化的壓敏粘合劑，其包括含側(cè)鏈丙烯酸酯的丙烯酸壓敏粘合劑、丙烯酸酯型交聯(lián)劑(含聚(甲基)丙烯?；幕衔铮换蚨喙倌鼙┧狨?、和紫外光引發(fā)劑。含側(cè)鏈丙烯酸酯的丙烯酸壓敏粘合劑指的是在其側(cè)鏈引入丙烯酸酯基的丙烯酸聚合物，與上述類似的材料可以通過類似的方法制備和使用。丙烯酸酯型交聯(lián)劑是上述的作為含聚(甲基)丙烯酰基的化合物范例的低分子量化合物。紫外光引發(fā)劑可以是上述的作為典型的能量射線聚合引發(fā)劑例子的一種。另外，作為構(gòu)成壓敏粘合劑層3的壓敏粘合劑，也可以使用基于上述丙烯酸壓敏粘合劑的非能量射線可固化壓敏粘合劑。在這種情況下，壓敏粘合力小于形成管狀巻后剝離應(yīng)力的壓敏粘合劑可以是合適的，例如，在使用硅晶片作為粘附體的180。剝離試驗中(室溫(25"C))，可以使用壓敏粘合力為6.5N/10mm或更小(例如，0.056.5N/10mm，優(yōu)選0.26.5N/10mm)，特別地為6.0N/10mm或更小(例如，0.056.0N/10mm，優(yōu)選0.26.0N/10mm)的壓敏粘合劑。作為這種具有低壓敏粘合力且基于丙烯酸壓敏粘合劑的非能量射線可固化的壓敏粘合劑，優(yōu)選使用通過加入(甲基)丙烯酸垸基酯[例如，(甲基)丙烯酸CiC2o垸基酯,如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸辛酯等]和具有活性官能團的單體[例如，含羧基或酸酐基團的單體，如丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、富馬酸、馬來酸酐等；含羥基的單體，例如(甲基)丙烯酸2-羥乙酯等；含氨基的單體，如(甲基)丙烯酸嗎啡酚酯(morpholyl(meth)acrylate);含酰胺基的單體，如(甲基)丙烯酰胺等，等];和另外任選使用的共聚性單體[例如，含有脂環(huán)族烴基的(甲基)丙烯酸酯，如(甲基)丙烯酸異冰片基酯等，丙烯腈等]，能夠與上述活性官能團反應(yīng)的交聯(lián)劑[例如，異氰酸酯交聯(lián)劑，三聚氰胺交聯(lián)劑，環(huán)氧交聯(lián)劑等]，并交聯(lián)所述共聚物制備的丙烯酸壓敏粘合劑。壓敏粘合劑層3的形成可以通過普通的方法，例如把涂料液體涂敷在限制層2(在上述實施例中的剛性薄膜層22上)上的方法，該涂料液體是由壓敏粘合劑、能量射線可固化化合物和任選的溶劑制備的，或者把涂料液體涂敷在合適的可剝離襯墊(隔板)上形成壓敏粘合劑層并把其轉(zhuǎn)移到限制層2上的方法。在使用轉(zhuǎn)移方法的情況下，空隙(間隙)可以保留在與限制層2的界面上。在這樣的情況下，空隙可以通過加熱/加壓方法而擴散和除去，例如，在高壓釜處理下。壓敏粘合劑層3可以是單層結(jié)構(gòu)或者復(fù)合層結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的壓敏粘合劑層3可以進一步包括如玻璃珠或樹脂粒的珠粒。把玻璃珠或樹脂粒加入壓敏粘合劑層3會增大剪切模量，從而促進壓敏粘合力的降低。珠粒的平均粒度為，例如，約l100^im，優(yōu)選120pm。珠粒的使用量為25200重量份，優(yōu)選50100重量份，相對于100重量份的整個壓敏粘合劑層3。過大的添加量可能導(dǎo)致不完全的分散，從而使壓敏粘合劑難以涂敷，而過小的添加量將會僅僅帶來不夠的效果。壓敏粘合劑層3的厚度通常為10200nm，優(yōu)選20100pm，和更優(yōu)選306(Him。當(dāng)厚度過小時，壓敏粘合力不夠從而對粘附體的支持或暫時固定變得困難。另一方面，當(dāng)厚度過大時，其是不經(jīng)濟的并且加工性變差。本發(fā)明的自巻層壓片的制造可以通過重疊可收縮的薄膜層1和限制層2(在上述實施方案中的彈性層21和剛性薄膜層22)并層壓這些層而生產(chǎn)，根據(jù)發(fā)明目的選擇性地利用如手動輥或?qū)訅簷C的層壓裝置或者利用如高壓釜的大氣壓力加壓裝置。此外，本發(fā)明的自巻壓敏粘合片可以通過在自巻層壓片的限制層2的表面上提供壓敏粘合劑層3，或者重疊和層壓預(yù)先放置在壓敏壓粘合劑層3的一面上的限制層2(或剛性薄膜層22)和可收縮的薄膜層1(或可收縮的薄膜層1和彈性層21)而制造。本發(fā)明的自巻壓敏粘合片可以用作保護半導(dǎo)體或同類物的壓敏粘合片，或用于固定半導(dǎo)體晶片或同類物的壓敏粘合片，并且其更具體地是可以用作用于硅半導(dǎo)體的背面研磨的壓敏粘合片、用于化合物半導(dǎo)體的背面研磨的壓敏粘合片、用于切割硅半導(dǎo)體的壓敏粘合片、用于切割化合物半導(dǎo)體的壓敏粘合片、用于切割半導(dǎo)體包裝的壓敏粘合片、用于切割玻璃的壓敏粘合片和用于切割陶瓷的壓敏粘合片。特別有用的是作為用于半導(dǎo)體的壓敏粘合片，例如用來保護半導(dǎo)體的壓敏粘合片和用來固定半導(dǎo)體晶片的壓敏粘合片。在下文中，將描述利用本發(fā)明的自巻壓敏粘合片對粘附體的加工過程。本發(fā)明的自巻壓敏粘合片粘附到粘附體用于暫時固定。然后，在對粘附體(加工制品)進行必要的加工之后，自巻壓敏粘合片的壓敏粘合劑層的壓敏粘合力降低并且提供如熱的刺激來引起可收縮薄膜層1的收縮，從而導(dǎo)致自巻壓敏粘合片在從一個末端起的一個方向(常常是沿著主收縮軸)或從兩個相對的末端向中心的方向(常常是沿著主收縮軸)自發(fā)地巻起，從而形成一個或兩個管狀巻并從而從粘附體剝離，進而獲得完成的制品。在從自巻壓敏粘合片的一個末端起的一個方向自發(fā)巻起的情況下，形成一個管狀巻(單向滾動剝離)，而在從自巻壓敏粘合片的兩個相對的末端向中心自發(fā)巻起的情況下，形成并行放置的兩個管狀巻(雙向滾動剝離)。典型的加工制品的例子包括半導(dǎo)體晶片。加工的例子包括切割、劃線、研磨、蝕刻、釘板條和加熱(但是在可收縮的薄膜層是可熱收縮的薄膜層的情況下，限制在等于或低于熱收縮起始溫度的溫度下)，并且無特別限定，只要能夠利用壓敏粘合片進行加工就可以。在對加工制品進行加工之后，例如，在壓敏粘合劑層是能量射線可固化的壓敏粘合劑層和可收縮薄膜層是可熱收縮的薄膜層的情況下，壓敏粘合劑層用能量射線輻照，而可熱收縮的薄膜層用加熱裝置加熱。因此當(dāng)可收縮薄膜層由于收縮開始產(chǎn)生變形時，壓敏粘合劑層固化并失去壓敏粘合力，從而在其外邊緣部分抬起壓敏粘合片，并在壓敏粘合片從這樣的外邊緣部分(或從兩個相對的外邊緣部分)巻起下在一個方向(或彼此相對的兩個方向上(朝向中心))自發(fā)地滾動，從而形成一個管狀巻(或兩個管狀巻)。在這樣的操作下，壓敏粘合片的收縮方向通過限制層來調(diào)整，巻動發(fā)生在一個軸向以迅速地形成管狀巻。因此，壓敏粘合片可以非常容易地和干凈地從粘附體(加工制品)剝離。加熱溫度可以根據(jù)可熱收縮薄膜層的收縮性來恰當(dāng)?shù)剡x擇，并且例如是7018(TC，優(yōu)選7014(TC。能量射線的輻照和加熱可以同時進行或逐步進行。而且，加熱不僅可通過在整個表面上均勻加熱粘附體來迸行，而且可通過逐漸加熱整個表面，進而通過僅部分加熱以提供剝離起始點來進行。加熱必須為了容易進行剝離的目的而進行適當(dāng)?shù)剡x擇。圖3A-3D是說明本發(fā)明的自巻層壓片或壓敏粘合片的自發(fā)巻起模式的視圖(透視圖)，其中圖3A是說明在提供引起可收縮薄膜收縮的刺激之前的自巻層壓片或壓敏粘合片的視圖；圖3B是說明當(dāng)自巻層壓片或壓敏粘合片受到引起可收縮薄膜(在壓敏粘合劑層的壓敏粘合力降低或失去之后的壓敏粘合片)收縮的刺激時，其從一個外邊緣部分(一個末端)在一個方向(通常沿著可收縮薄膜的主收縮軸)開始巻起的狀態(tài)的視圖；圖3C是說明片材巻起完成并且形成一個管狀巻(單向巻動)的狀態(tài)的視圖；和圖3D是說明片材從兩個相對的末端向中心(通常沿著可收縮薄膜的主收縮軸)自發(fā)地巻起從而形成兩個管狀巻(雙向巻動)的狀態(tài)的視圖。自巻層壓片和自巻壓敏粘合片在自發(fā)巻起性能上幾乎不具有差異。層壓片或壓敏粘合片是否經(jīng)歷單向巻動或雙向巻動，其變化例如取決于，限制層對可收縮薄膜層的壓敏粘合力和限制層(特別是彈性層)的剪切模量。在圖3A3D中，L表示自巻層壓片或壓敏粘合片4(參考圖3A)在巻起方向上(通常沿著可收縮薄膜層的主收縮軸)的長度(或在圓形片的情況下是直徑)，和r表示形成的管狀巻的直徑(或者當(dāng)沿著巻構(gòu)件的縱向，管狀巻的直徑是不均勻的時候是最大直徑，例如在片材是圓形的情況下)(參考圖3C和3D)。對于本發(fā)明的自巻層壓片或壓敏粘合片，r/L的范圍優(yōu)選是0.0010.333，更優(yōu)選是0.010.2。長度L是，例如，102000mm，優(yōu)選3001000mm。在垂直于L的方向上的層壓片或壓敏粘合片的長度是，例如約102000mm，更優(yōu)選3001000mm?？梢酝ㄟ^調(diào)整可收縮薄膜層1、限制層2(彈性層21和剛性薄膜層22)和壓敏粘合劑層3各自材料的類型、組成和厚度等，從而將r/L的值設(shè)定到上述的范圍，特別是構(gòu)成限制層2的彈性層21的剪切模量和厚度以及構(gòu)成限制層2的剛性薄膜層22的楊氏模量和厚度。在本實施方案中，自巻層壓片或壓敏粘合片的形狀是四邊形的，但是并不限于這樣的形狀并且可以根據(jù)目的來適當(dāng)?shù)剡x擇，可以是任意的圓形、橢圓形和多邊形形狀。在形成兩個管狀巻的情況下，形成的兩個管狀巻各自的r/L比例均在上述范圍內(nèi)。當(dāng)用在加工粘附體(加工制品)中時，本發(fā)明的自巻壓敏粘合片可避免由剝離應(yīng)力產(chǎn)生的加工制品的斷裂，并且，即使是在加工如薄半導(dǎo)體晶片的易碎粘附體的情況下，壓敏粘合片也可以容易地從粘附體剝離而不會造成其破損或污染。實施例在下文中，將通過實施例來進一步理解本發(fā)明，但是本發(fā)明不限于這些實施例。用下述方法測量彈性層和剛性薄膜層的剪切模量和彈性層對可收縮薄膜的壓敏粘合力。另外，通過下述方法來確定r/L，其是用于確定是否能作為管狀巻的指標(biāo)。剛性薄膜層的楊氏模量(80°C)的測量剛性薄膜層的楊氏模量是通過根據(jù)JISK7127的下述方法測定的。作為拉伸測量儀，使用由ShimadzuCorporation制備的AutographAG-lkNG(裝配有加熱罩)。將切成長度200mmx寬度10mm的剛性薄膜以100mm的卡盤距離粘結(jié)，以5mm/min的拉伸速度拉伸樣品，得到關(guān)于應(yīng)力-應(yīng)變關(guān)系的測量值。測量在應(yīng)變?yōu)?.2%和0.45%兩點處的負荷以獲得楊氏模量。對相同的樣品對該測量過程重復(fù)5次，取其平均值。彈性層剪切模量(80°C)的測量通過下述方法測量彈性層的剪切模量。制備如各個實施例和對比例中所述的彈性層，以具有厚度為1.52mm，并用具有直徑7.9mm的沖孔機沖孔，以得到用于測量的樣品。用RheometricScientificInc.制造的粘彈性測試器(ARES)在100g的卡盤壓力和lHz剪切頻率下進行測量[使用由不銹鋼制成的8-mm平行板(由TAInstruments,Inc.制備，型號708.0157)]。使用在8(TC下的剪切模量。測量彈性層對可收縮薄膜的壓敏粘合力彈性層對可收縮薄膜的壓敏粘合力是通過180。剝離試驗(50°C)測量的。層壓片[用與壓敏粘合片相同的方法制備，除了沒有提供壓敏粘合劑層(能量射線可固化的壓敏粘合劑層，非能量射線可固化的壓敏粘合劑層)，條件是如果層壓片在彈性層中包含紫外線-活性交聯(lián)劑，但還沒有被紫外線輻照，則將所述層壓片以500mJ/ci^強度的紫外線輻照，然后使用]切成10mm寬，所述剛性薄膜層側(cè)(圖1中的22)上的表面用壓敏粘合帶粘合到剛性支承襯底(硅晶片)，同時用壓敏粘合帶將剝離測試器的拉伸夾具粘合到可收縮薄膜側(cè)的表面上，以這樣的方式把該組件放置在5(TC下的熱臺(加熱器)上，所述方式使得所述剛性支承襯底和熱臺接觸。拉伸夾具在180°方向以300mm/min的拉伸速度拉伸，并且當(dāng)在可收縮薄膜和彈性層之間發(fā)生剝離時，測量所述力(N/10mm)。為了消除由于剛性支承襯底厚度變化導(dǎo)致的測量錯誤，剛性支承襯底的厚度被標(biāo)準(zhǔn)化為38|im。非能量射線可固化壓敏粘合劑層對硅晶片的壓敏粘合力測量使用手動輥將在下述制備實施例4到6中得到的三種非能量射線可固化壓敏粘合劑的層壓物分別粘附到聚對苯二甲酸乙二醇酯基底(38pm)上。切成寬度為10mm的尺寸，從剝離片上移出，然后使用手動輥粘附到4-英寸的硅晶片(由Shin-EtsuSemiconductorCo"Ltd"商品名"CZ-N")上。用壓敏粘合帶將剝離測試器的拉伸夾具粘合到該組件上。拉伸夾具在180。方向以300mm/min的拉伸速度拉伸，并且當(dāng)在可收縮薄膜層和彈性層之間發(fā)生剝離時，測量所述力(N/10mm)。而且，對于各個從下述制備實施例13中得到的能量射線可固化壓敏粘合劑層，按照上述相同的方式測量對4-英寸硅晶片(由Shin-EtsuSemiconductorCo.,Ltd.,商品名"CZ-N")的壓敏粘合力，除了暴露于紫外線是在測量前于500mJ/cn^的強度下進行的。結(jié)果，壓敏粘合力在所有用于剝離的壓敏粘合劑中均充分降低到0.01N/10mm或更少。因此，在下述實施例中，省略了關(guān)于能量射線可固化壓敏粘合劑層對硅晶片的壓敏粘合力的描述。r/L值的測量將在下述實施例中得到的各壓敏粘合片切成100mmxl00mm的尺寸，然后用500mJ/cn^的紫外線對由能量射線可固化的壓敏粘合劑制備的片進行輻照。所述壓敏粘合片的一端部沿著可收縮薄膜的收縮性軸方向浸入到8(TC的熱水中，以促進變形。對于被轉(zhuǎn)變成管狀巻的壓敏粘合片，使用標(biāo)尺測量直徑，該值除以100mm得到r/L。就自巻性能而言，不具有壓敏粘合劑層的層壓片表現(xiàn)出與具有壓敏粘合劑層的壓敏粘合片相同的性能。壓敏粘合劑層的制造實施例制造實施例1制造能量射線可固化的壓敏粘合劑層(1)在丙烯酸聚合物中，將源自丙烯酸聚合物(通過共聚丙烯酸丁酯/丙烯酸乙酯/丙烯酸2-羥乙基酯=50/50/20(重量比)的組合物獲得)的丙烯酸2-羥乙基酯的80%羥基與甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯(2-異氰酸根合乙基甲基丙烯酸酯)結(jié)合，以獲得在側(cè)鏈中具有甲基丙烯酸酯基團的丙烯酸聚合物。將100重量份的在側(cè)鏈中具有甲基丙烯酸酯基團的該丙烯酸聚合物，與50重量份的季戊四醇四丙烯酸酯作為含兩個或多個具有碳碳雙鍵的官能團的化合物、6重量份光引發(fā)劑(商品名"Irgacure184"，Ciba-GeigyLtd.制造)、1.5重量份交聯(lián)劑(商品名"CoronateL")和40重量份增粘劑(聚甲基丙烯酸甲酯珠粒，商品名"MX500"，SokenChemicalCo.制造)混合，獲得能量射線可固化的壓敏粘合劑。獲得的能量射線可固化的壓敏粘合劑用涂布器涂布在可剝離的片材(商品名"MRF38"，MitsubishiPolyesterFilmCo.制造的)上，并干燥除去揮發(fā)性物質(zhì)如溶劑，獲得具有厚為3(Him、設(shè)置在可剝離片材上的能量射線可固化壓敏粘合劑層的層壓物。制造實施例2制造能量射線可固化的壓敏粘合劑層(2)在丙烯酸聚合物中，將源自丙烯酸聚合物(通過共聚丙烯酸丁酯/丙烯酸乙酯/丙烯酸2-羥乙基酯=50/50/20(重量比)的組合物獲得)的丙烯酸2-羥乙基酯的80%羥基和甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯(2-異氰酸根合乙基甲基丙烯酸酯)結(jié)合，獲得在側(cè)鏈具有甲基丙烯酸酯基的丙烯酸聚合物。將100重量份的在側(cè)鏈含有甲基丙烯酸酯基的該丙烯酸聚合物，與100重量份的"UltravioletUV1700"(商品名)(由NipponSyntheticChemicalIndustryCo.,Ltd.制備)作為含兩個或多個具有碳碳雙鍵的官能團的化合物、3重量份光引發(fā)劑(商品名"Irgacure184"，Ciba-GeigyLtd.制造)、1.5重量份交聯(lián)劑(商品名"CoronateL")混合，以制備能量射線可固化的壓敏粘合劑。獲得的能量射線可固化的壓敏粘合劑用涂布器涂布在可剝離的片材(商品名"MRF38"，MitsubishiPolyesterFilmCo.制造的)上，并干燥除去如溶劑的揮發(fā)性物質(zhì)，獲得具有厚為30^im、設(shè)置在可剝離片材上的能量射線可固化壓敏粘合劑層的層壓物。制造實施例3制造能量射線可固化的壓敏粘合劑層(3)在丙烯酸聚合物中，將源自丙烯酸聚合物(通過共聚丙烯酸丁酯/丙烯酸乙酯/丙烯酸2-羥乙基酯=50/50/20(重量比)的組合物獲得)的丙烯酸2-羥乙基酯的80%羥基和甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯(2-異氰酸根合乙基甲基丙烯酸酯)結(jié)合，獲得在側(cè)鏈具有甲基丙烯酸酯基的丙烯酸聚合物。將100重量份的在側(cè)鏈含有甲基丙烯酸酯基的該丙烯酸聚合物，與50重量份"UltravioletUV1700"(商品名)(由NipponChemicalIndustryCo.,Ltd.制備)作為含兩個或多個具有碳碳雙鍵的官能團的化合物、3重量份光引發(fā)劑(商品名"Irgacure184"，Ciba-GeigyLtd.制造)、1.5重量份交聯(lián)劑(商品名"CoronateL")混合，以制備能量射線可固化的壓敏粘合劑。獲得的能量射線可固化的壓敏粘合劑用涂布器涂布在可剝離的片材(商品名"MRF38"，MitsubishiPolyesterFilmCo.制造的)上，并干燥除去如溶劑的揮發(fā)性物質(zhì)，獲得具有厚為3(Him、設(shè)置在可剝離片材上的能量射線可固化壓敏粘合劑層的層壓物。制造實施例4制造非能量射線可固化的壓敏粘合劑層(1)將100重量份的丙烯酸共聚物[通過共聚丙烯酸丁酯/丙烯酸=100/3(重量比)獲得)與0.7重量份的"TetradC"(商品名)(由MitsubishiGasChemicalCompany,Inc.制備)和2重量份交聯(lián)劑(商品名"CoronateL")混合，以制備非能量射線可固化的壓敏粘合劑。獲得的非能量射線可固化的壓敏粘合劑用涂布器涂布在可剝離的片材(商品名"MRF38"，MitsubishiPolyesterFilmCo.制造的)上，并干燥除去如溶劑的揮發(fā)性物質(zhì)，獲得具有厚為3(Him、設(shè)置在可剝離片材上的非能量射線可固化壓敏粘合劑層的層壓物。制造實施例5制造非能量射線可固化的壓敏粘合劑層(2)將100重量份的丙烯酸共聚物[通過共聚丙烯酸2-乙基己酯/丙烯酸嗎啡酚酯/丙烯酸/丙烯酸2-羥乙基酯=75/25/3/0.1(重量比)而獲得]與1重量份的"TetradC"(商品名)(由MitsubishiGasChemicalCompany,Inc.制備)、2重量份交聯(lián)劑(商品名"CoronateL")和0.05重量份的"Epan710"(商品名)(由Dai-IchiKogyoSeiyakuCo.,Ltd.制備)混合，以制備非能量射線可固化的壓敏粘合劑。獲得的非能量射線可固化的壓敏粘合劑用涂布器涂布在可剝離的片材(商品名"MRF38"，MitsubishiPolyesterFilmCo.制造的)上，并干燥除去如溶劑的揮發(fā)性物質(zhì)，獲得具有厚為3(Him、設(shè)置在可剝離片材上的非能量射線可固化壓敏粘合劑層的層壓物。制造實施例6制造非能量射線可固化的壓敏粘合劑層(3)將100重量份的丙烯酸共聚物(由Dai-IchiLaceMfg.Co.,Ltd.制備，商品名"RheocoteR1020S")與0.5重量份的"TetradC"(商品名)(由MitsubishiGasChemicalCompany,Inc.制備)禾卩8重量份交聯(lián)劑(商品名"CoronateL")混合，以制備非能量射線可固化的壓敏粘合劑。獲得的非能量射線可固化的壓敏粘合劑用涂布器涂布在可剝離的片材(商品名"MRF38"，MitsubishiPolyesterFilmCo.制造的)上，并干燥除去如溶劑的揮發(fā)性物質(zhì)，獲得具有厚為30pm、設(shè)置在可剝離片材上的非能量射線可固化壓敏粘合劑層的層壓物。制造實施例7制造非能量射線可固化的壓敏粘合劑層(4)將100重量份的丙烯酸共聚物[通過共聚丙烯酸2-乙基己酯/丙烯酸嗎啡酚酯/丙烯酸/丙烯酸2-羥乙基酯=75/25/3/0.1(重量比)而獲得]與0.5重量份的"TetradC"(商品名)(由MitsubishiGasChemicalCompany,Inc.制備)、2重量份交聯(lián)劑(商品名"CoronateL")禾卩0.05重量份交聯(lián)劑(商品名"CoronateL")混合，以制備非能量射線可固化的壓敏粘合劑。獲得的非能量射線可固化的壓敏粘合劑用涂布器涂布在可剝離的片材(商品名"MRF38"，MitsubishiPolyesterFilmCo.制造的)上，并干燥除去如溶劑的揮發(fā)性物質(zhì)，獲得具有厚為30pm、設(shè)置在可剝離片材上的非能量射線可固化壓敏粘合劑層的層壓物。壓敏粘合片的制造實施例實施例1將45重量份丙烯酸異冰片酯、45重量份丙烯酸2-乙基己酯、10重量份丙烯酸、0.1重量份二丙烯酸己二醇酯、0.05重量份"Irgacure651"(光引發(fā)劑，Ciba-GeigyLtd.制造的)和0.05重量份"Irgacure184"(光引發(fā)劑，Ciba-GeigyLtd,制造的)混合，并用紫外光輻照1小時獲得預(yù)聚物。該預(yù)聚物涂布在作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜，厚度38拜，商品名"LumirrorS10",TorayIndustries,Inc.制造的)的表面上，并且將可熱收縮的薄膜(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度60,，商品名"SpaceCleanS7053"，ToyoboCo.制造的)重疊在其上并用手動輥進行層壓。用紫外光輻照兩側(cè)從而進行最后的固化，從而獲得層壓片(丙烯酸壓敏粘合劑層的厚度105pm)。在制造實施例1中獲得的層壓物的能量射線可固化壓敏粘合劑層(l)的一面層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜的面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得具有包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的壓敏粘合片，該順序為可熱收縮薄膜層、限制層[丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)/PET薄膜層(剛性薄膜層)]、能量射線可固化的壓敏粘合劑層(l)和可剝離片材。在主收縮方向上，可熱收縮薄膜的熱收縮率在IO(TC下為70%或更大。丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)的剪切模量(8(TC)為0.126xl06N/m2，剪切模量和厚度的乘積為13.2N/m。丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)對可熱收縮的薄膜層的壓敏粘合力(50°C)為4.9N/10mm。PET薄膜層(剛性薄膜層)在8(TC的楊氏模量為3.72xl09N/m2，并且楊氏模量和厚度的乘積為1.41xl05N/m。r/L值是0.06。實施例2按照與實施例1相同的方法得到壓敏粘合片，除了實施例1中的PET薄膜用由TorayIndustries,Inc.制備、厚度為25jim的"LumirrorS10"(商品名)替換。PET薄膜層(剛性薄膜層)在8(TC的楊氏模量為3.72xl09N/m2，并且楊氏模量和厚度的乘積為0.93xl05N/m。r/L值是0.06。實施例3將包含溶解在甲苯中的100重量份丙烯酸聚合物(通過共聚合1重量份丙烯酸2-羥乙基酯、70重量份丙烯酸丁酯、30重量份丙烯酸乙酯和5重量份丙烯酸而得到的聚合物)、10重量份的六丙烯酸二季戊四醇酯、1重量份的"TetradC"(交聯(lián)劑，由MitsubishiGasChemicalCo.Ltd.制備)、2重量份的"CoronateL"(交聯(lián)劑，由NipponPolyurethaneIndustry,Co.,Ltd.制備)和3重量份"Irgacure651"(光引發(fā)劑，Ciba-GeigyLtd.制造的)的聚合物溶液涂布在作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜，厚度38pm，商品名"LumirrorS10"，TorayIndustries,Inc.制造的)的表面上，并且將"SpaceCleanS5630"(商品名)(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度6(Him，ToyoboCo.制造的)重疊在其上并用手動輥層壓，從而獲得層壓片(丙烯酸壓敏粘合劑層的厚度為30,)。在制造實施例1中獲得的層壓物的能量射線可固化壓敏粘合劑層(l)的一面層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜層的面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得具有包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的壓敏粘合片，該順序為可熱收縮薄膜層、限制層[丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)/PET薄膜層(剛性薄膜層)]、能量射線可固化的壓敏粘合劑層和可剝離片材。在主收縮方向上，可熱收縮薄膜的熱收縮率在IO(TC下為70%或更大。丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)的剪切模量(80°C)為0.689xl06N/m2，剪切模量和厚度的乘積為20.67N/m。丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)對可熱收縮的薄膜層的壓敏粘合力(5(TC)為4.9N/10mm。r/L值是0.055。實施例4將包含溶解在甲基乙基酮中的100重量份丙烯酸聚合物(由Dai-ichiLaceMfg.Co.制備，商品名"RheocoteR1020S")、10重量份由季戊四醇改性的丙烯酸酯交聯(lián)劑(由NipponKayakuCo.,Ltd.制造，商品名"DPHA40H")、0.25重量份的"TetradC"(交聯(lián)劑，由MitsubishiGasChemicalCo.Ltd.制備)、2重量份的"CoronateL"(交聯(lián)劑，由NipponPolyurethaneIndustry,Co.，Ltd.制備)禾口3重量份"Irgac腦651，，(光引發(fā)劑，Ciba-GeigyLtd.制造的)的聚合物溶液涂布在作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜，厚度38pm，商品名"LumirrorS10"，TorayIndustries,Inc.制造的)的表面上，并且將可熱收縮薄膜"SpaceCleanS5630"(商品名)(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度60pm，ToyoboCo.制造的)重疊在其上并用手動輥層壓，從而獲得層壓片(丙烯酸壓敏粘合劑層的厚度為30)im)。在制造實施例1中獲得的層壓物的能量射線可固化壓敏粘合劑層(l)的一面層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜層的面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的壓敏粘合片，該順序為可熱收縮薄膜層、限制層[丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)/PET薄膜層(剛性薄膜層)]、能量射線可固化的壓敏粘合劑層(l)和可剝離片材。丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)的剪切模量(80°C)為0.72xl06N/m2，剪切模量和厚度的乘積為21.6N/m。丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)對可熱收縮的薄膜層的壓敏粘合力(50°C)為4.4N/10mm。r/L值是0.045。實施例5按照與實施例4中相同的方式得到壓敏粘合片，除了在實施例4中作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜的厚度為50pm。PET薄膜層(剛性薄膜層)在8(TC的楊氏模量為3.72xl09N/m2，并且楊氏模量和厚度的乘積為1.86xl05N/m。r/L值是0.06。實施例6按照與實施例4中相同的方式得到壓敏粘合片，除了在實施例4中作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜的厚度為75pm。PET薄膜層(剛性薄膜層)在80。C的楊氏模量為3.72xl09N/m2，并且楊氏模量和厚度的乘積為2.79xl05N/m。r/L值是0.095。實施例7按照與實施例5中相同的方式得到壓敏粘合片，除了相對于實施例5使用在制造實施例2中得到的能量射線可固化的壓敏粘合劑層(2)。r/L值是0.065。實施例8按照與實施例7中相同的方式得到壓敏粘合片，除了在實施例7中作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯的厚度為75pm。r/L值是0.1。實施例9將包含溶解在甲基乙基酮中的100重量份丙烯酸聚合物(由Dai-ichiLaceMfg.Co.制備，商品名"RheocoteR1020S")、IO重量份由季戊四醇改性的丙烯酸酯交聯(lián)劑(由NipponKayakuCo.,Ltd.制造，商品名"DPHA40H")、0.25重量份的"TetradC"(交聯(lián)劑，由MitsubishiGasChemicalCo.Ltd.制備)、2重量份的"CoronateL"(交聯(lián)劑，由NipponPol戸ethaneIndustry,Co.,Ltd.制備)禾口3重量份"Irgacure651，，(光引發(fā)劑，Ciba-GeigyLtd.制備)的聚合物溶液涂布在作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜，厚度38nm，商品名"LumirrorS10"，TorayIndustries，Inc.制造的)的表面上，并且將可熱收縮薄膜(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度60nm，ToyoboCo.制造的，商品名"SpaceCleanS7053")重疊在其上并用手動輥層壓，從而獲得層壓片(丙烯酸壓敏粘合劑層的厚度為30pm)。在制造實施例3中獲得的層壓物的能量射線可固化壓敏粘合劑層(3)層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜層的面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的粘合片，該順序為可熱收縮薄膜層、限制層[丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)/PET薄膜層(剛性薄膜層)]、能量射線可固化的壓敏粘合劑層(3)和可剝離片材。丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)對熱可收縮的薄膜層的壓敏粘合力(5(TC)為4.4N/10mm。r/L值是0.05。實施例10按照與實施例9中相同的方式得到壓敏粘合片，除了在實施例9中作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯的厚度為50pm。r/L值是0.045。實施例11將包含溶解在甲基乙基酮中的100重量份丙烯酸聚合物(由Dai-ichiLaceMfg.Co.制備，商品名"RheocoteR1020S")、IO重量份由季戊四醇改性的丙烯酸酯交聯(lián)劑(由NipponKayakuCo.，Ltd.制造，商品名"DPHA40H")、0.25重量份的"TetradC"(交聯(lián)劑，由MitsubishiGasChemicalCo.Ltd.制備)、2重量份的"CoronateL"(交聯(lián)劑，由NipponPolyurethaneIndustry,Co.,Ltd.制備)禾口3重量份"Irgacure651"(光引發(fā)劑，Ciba-GeigyLtd.制造的)的聚合物溶液使用涂布器涂布在可剝離片上(MitsubishiPolyesterFilmCo"Ltd.制造，商品名"MRF38")，并干燥以除去揮發(fā)性物質(zhì)例如溶劑，從而獲得在可剝離片上具有厚度為30jim的丙烯酸壓敏粘合劑層的層壓物。使用手動輥將作為剛性薄膜、厚度為115pm的包括乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA)的薄膜粘合其上。在剝離掉所述可剝離的片后，使用手動輥將可熱收縮薄膜(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度60pm，ToyoboCo.制造的，商品名"SpaceCleanS5630")重疊在所述丙烯酸壓敏粘合劑層的一側(cè)上。在制造實施例4中獲得的層壓物的非能量射線可固化壓敏粘合劑層(l)的一側(cè)層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜層的一面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的壓敏粘合片，該順序為可熱收縮薄膜層、限制層[丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)/EVA薄膜層(剛性薄膜層)]、非能量射線可固化的壓敏粘合劑層(l)和可剝離片材。EVA薄膜層(剛性薄膜層)在8(TC下的楊氏模量為1.08xl07N/m2，并且楊氏模量和厚度的乘積為1.24xl03N/m。所述丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)對可熱收縮的薄膜層的壓敏粘合力(50°C)為4.4N/10mm。非能量射線可固化壓敏粘合劑層對硅晶片的壓敏粘合力為0.38N/10mm。r/L值是0.055。實施例12將包含溶解在醋酸乙酯中的IOO重量份丙烯酸聚合物(90重量份丙烯酸2-乙基己酯，IO重量份丙烯酸)、IO重量份六丙烯酸二季戊四醇酯和3重量份"Irgacure651"(光引發(fā)劑，Ciba-GeigyLtd.制造的)的聚合物溶液涂布在作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜，厚度38|im，由TorayIndustries,Inc.制造，商品名"LumirrorS10")上，使用手動輥將可熱收縮薄膜(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度60pm，ToyoboCo.制造的，商品名"SpaceCleanS5630")重疊在其上，從而獲得層壓片(丙烯酸壓敏粘合劑層的厚度為3(Him)。在制造實施例1中獲得的層壓物的能量射線可固化壓敏粘合劑層的一面層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜層的面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的壓敏粘合片，該順序為可熱收縮薄膜層、限制層[丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)/PET薄膜層(剛性薄膜層)]、能量射線可固化的壓敏粘合劑層(l)和可剝離片材。所述丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)的剪切模量為4.79x104N/m2，并且剪切模量和厚度的乘積為1.44N/m。所述丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)對可熱收縮的薄膜層的壓敏粘合力(50°C)為11.4N/10mm。r/L值是0.055。實施例13將通過混合IOO重量份酯聚合物(從IOO重量份由DaicelChemicalIndustries,Ltd.制備的PLACCELCD220PL和IO重量份的癸二酸得到的聚合物)和4重量份"CoronateL"(交聯(lián)齊U，NipponPolyurethaneIndustry,Co.,Ltd.)得到的聚合物溶液涂布在作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜，厚度5(^m，由TorayIndustries,Inc.,商品名"LumirrorS10")上，使用手動輥將可熱收縮薄膜(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度60拜，ToyoboCo.制造的，商品名"SpaceCleanS5630")重疊在其上，從而獲得層壓片(酯基壓敏粘合劑層的厚度為30nm)。在制造實施例4中獲得的層壓物的非能量射線可固化壓敏粘合劑層(1)的一面層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜的面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的壓敏粘合片，該順序為可熱收縮薄膜層、限制層[酯基壓敏粘合劑層(彈性層)/PET薄膜層(剛性薄膜層)]、非能量射線可固化的壓敏粘合劑層(l)和可剝離片材。所述酯基壓敏粘合劑層(彈性層)的剪切模量為2.88xl()SN/m2，并且剪切模量和厚度的乘積為8.64N/m。所述酯基壓敏粘合劑層(彈性層)對可熱收縮的薄膜層的壓敏粘合力(50°C)為13N/10mm。r/L值是0.05。實施例14按照與實施例13中相同的方式得到壓敏粘合片，除了在聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET薄膜，厚度38pm，由TorayIndustries,Inc.，商品名"LumirrorS10")作為實施例13中的剛性薄膜層。r/L值是0.045。實施例15按照與實施例13中相同的方式得到壓敏粘合片，除了使用在制備實施例3中得到的能量射線可固化壓敏粘合劑層(3)用作實施例13中的壓敏粘合劑層。r/L值是0.05。實施例16將通過混合100重量份酯聚合物(從100重量份由DaicelChemicalIndustries,Ltd.制備的PLACCELCD220PL和IO重量份的癸二酸得到的聚合物)和4重量份"CoronateL，，(交聯(lián)劑，NipponPolyurethaneIndustry,Co.,Ltd.)得到的聚合物溶液涂布在作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜,厚度50拜,由TorayIndustries,Inc.制造，商品名"LumirrorS10")上，使用手動輥將可熱收縮薄膜(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度60拜,ToyoboCo.制造的，商品名"SpaceCleanS7053")重疊在其上，從而獲得層壓片(酯基粘合劑層的厚度為3(Him)。在制造實施例1中獲得的層壓物的能量射線可固化壓敏粘合劑層(1)的一面層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜層的面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的壓敏粘合片，該順序為.*可熱收縮薄膜層、限制層[酯基壓敏粘合劑層(彈性層)/PET薄膜層(剛性薄膜層)]、能量射線可固化的壓敏粘合劑層(l)和可剝離片材。所述酯基壓敏粘合劑層(彈性層)對可熱收縮的薄膜層的壓敏粘合力(50°C)為13N/10mm。r/L值是0.06。實施例17將通過混合100重量份酯聚合物(從100重量份由DaicelChemicalIndustries,Ltd.制備的PLACCELCD220PL和IO重量份的癸二酸得到的聚合物)和10重量份"CoronateL"(交聯(lián)劑，NipponPolyurethaneIndustry:Co.,Ltd.)得到的聚合物溶液涂布在作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜，厚度50pm，由TorayIndustries,Inc.制造，商品名"LumirrorS10")上，使用手動輥將可熱收縮薄膜(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度60pm，ToyoboCo.制造的，商品名"SpaceCleanS5630")重疊在其上，從而獲得層壓片(酯基壓敏粘合劑層的厚度為3(Him)。在制造實施例4中獲得的層壓物的非能量射線可固化壓敏粘合劑層(1)的一面層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜層的面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的壓敏粘合片，該順序為可熱收縮薄膜層、限制層[酯基壓敏粘合劑層(彈性層)/PET薄膜層(剛性薄膜層)]、非能量射線可固化的壓敏粘合劑層(l)和可剝離片材。所述酯基壓敏粘合劑層(彈性層)的剪切模量為6.5xl(^N/m2，并且剪切模量和厚度的乘積為19.5N/m。所述酯基壓敏粘合劑層(彈性層)對可熱收縮的薄膜層的壓敏粘合力(5(TC)為8.2N/10mm。r/L值是0.05。實施例18按照與實施例14中相同的方式得到壓敏粘合片，除了使用在制備實施例5中得到的非能量射線可固化壓敏粘合劑層(2)用作實施例14中的壓敏粘合劑層。所述非能量射線可固化的壓敏粘合劑層對硅晶片的壓敏粘合力為5.68N/10mm。r/L值是0.05。實施例19按照與實施例M中相同的方式得到壓敏粘合片，除了使用在制備實施例6中得到的非能量射線可固化壓敏粘合劑(3)用作實施例14中的壓敏粘合劑層。所述非能量射線可固化的壓敏粘合劑層對硅晶片的壓敏粘合力為3.17N/10mm。r/L值是0.045。對比例1以與實施例1相同的方式得到壓敏粘合片，除了由從Teijin-DupontFilmCo.得到的厚度為100pm的"Merinex"(商品名)用作實施例1中的PET薄膜。所述PET薄膜層(剛性薄膜層)在8(TC的楊氏模量為3.38xl09N/m2，并且楊氏模量和厚度的乘積為3.38xl05N/m。在測量r/L時，收縮的基底和彈性層剝離(結(jié)合有破裂(anchoringfracture))，從而不能得到管狀巻。據(jù)認為原因在于剛性薄膜的剛性過高。對比例2混合45重量份丙烯酸異冰片基酯、45重量份丙烯酸2-乙基己酯、IO重量份丙烯酸、0.1重量份二丙烯酸己二醇酯、0.05重量份"Irgacure651"(光引發(fā)劑，Ciba-GeigyLtd.制造的)、0.05重量份"Irgacure184"(光引發(fā)劑，Ciba-GeigyLtd.制造的)和8重量份的丙烯酸2-異氰酸根合乙酯(由ShowaDenkoCo.，Ltd.，商品名"KarenzAOI")，將得到的混合物用紫外光輻照1小時獲得預(yù)聚物。該預(yù)聚物涂布在作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜，厚度38^im，商品名"LumirrorS10"，TorayIndustries，Inc.制造的)的表面上，并且將可熱收縮的薄膜(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度60)am，商品名"SpaceCleanS7053"，ToyoboCo.制造的)重疊在其上并用手動輥層壓。用紫外光輻照從兩邊進行最后的固化，從而獲得層壓片(丙烯酸粘合劑層的厚度為105jim)。在制造實施例1中獲得的層壓物的能量射線可固化壓敏粘合劑層(1)的一面層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜層的面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的壓敏粘合片，該順序為可熱收縮薄膜層、限制層[丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)/PET薄膜層(剛性薄膜層)]、能量射線可固化的壓敏粘合劑層(1)和可剝離片材。在主收縮方向上，可熱收縮薄膜的熱收縮率在IO(TC下為70%或更大。丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)的剪切模量(80°C)為1.8xl06N/m2，剪切模量和厚度的乘積為189N/m。丙烯酸壓敏粘合劑層(彈性層)對可熱收縮的薄膜層的壓敏粘合力(50°C)為0.3N/10mm。在測量r/L時，收縮的基底和彈性層剝離(結(jié)合有破裂)，從而不能得到管狀巻。據(jù)認為原因在于剛性薄膜的剛性過高。對比例3以與實施例4相同的方式得到壓敏粘合片，除了由從Teijin-DupontFilmCo.得到的厚度為100|im的"Merinex"(商品名)用作實施例4中的PET薄膜。在測量r/L時，收縮的基底和彈性層剝離掉(結(jié)合有破裂)，從而不能得到管狀巻。據(jù)認為原因在于剛性薄膜的剛性過高。對比例4使用涂布器將由ToyoboCo.,Ltd.制備的聚酯基粘合劑"Vylon63SS"涂布在作為剛性薄膜層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜，厚度lOOpm，由Teijin-DupontFilmCo.制造，商品名"Merinex")上，至厚度5pm，使用手動輥將可熱收縮薄膜(單軸拉伸的聚酯薄膜，厚度60,，ToyoboCo.,Ltd.制造的，商品名"SpaceCleanS7053")重疊在其上，從而獲得層壓片。在制造實施例3中獲得的層壓物的能量射線可固化壓敏粘合劑層(3)的一面層壓在上述獲得的層壓片的剛性薄膜層的面上。獲得的層壓物通過層壓機緊密地粘合，從而獲得包括以以下順序?qū)訅旱慕Y(jié)構(gòu)的壓敏粘合片，該順序為可熱收縮薄膜層、限制層[聚酯基粘合劑層(彈性層)/PET薄膜層(剛性薄膜層)]、能量射線可固化的壓敏粘合劑層(3)和可剝離片材。聚酯基粘合劑層(彈性層)的剪切模量(80°C)為1.41"05N/m2，剪切模量和厚度的乘積為0.71N/m。所述聚酯基粘合劑層(彈性層)對可熱收縮的薄膜層的壓敏粘合力(5(TC)為7.9N/10mm。在測量r/L時，收縮的襯底和彈性層剝離掉(結(jié)合有破裂)，從而不能得到管狀巻。據(jù)認為原因在于剛性薄膜的剛性過高，或者彈性層的彈性(剪切模量x厚度)不足。對比例5以與實施例19相同的方式得到壓敏粘合片，除了由從制備實施例7的非能量射線可固化壓敏粘合劑(4)用作實施例19中的粘合劑層。非能量射線可固化的壓敏粘合劑層對硅晶片的壓敏粘合力為6.93N/10mm。r/L值是0.05。上述實施例和對比例的總結(jié)列于表1。而且，r/L的測量值列于表2。<table>tableseeoriginaldocumentpage52</column></row><table>200710186350.1轉(zhuǎn)s齒被48/54M<剝離試驗>在上述實施例和對比例中得到的各壓敏粘合片切成與4-英寸硅晶片具有相同尺寸的環(huán)狀，并被粘合至4-英寸硅晶片(厚度525/mi)。所述硅晶片的后表面被打光成100/mi的厚度。對于具有能量射線可固化壓敏粘合劑層的壓敏粘合片作為實施例11的所述壓敏粘合劑層和所述壓敏粘合片，通過用紫外線從所述壓敏粘合片側(cè)以500mJ/cm2的強度輻照，固化所述能量射線可固化的壓敏粘合劑層(在實施例ll的壓敏粘合片中的彈性層)(條件是對于具有能量射線可固化壓敏粘合劑層作為壓敏粘合劑層，并且在所述彈性層中包含紫外線活性交聯(lián)劑而未被紫外線輻照的壓敏粘合片，所述彈性層也通過交聯(lián)而固化)。將所述壓敏粘合片放置到安裝有抽氣卡盤的熱臺上，使得所述壓敏粘合劑層與所述熱臺接觸，并被加熱到預(yù)定的溫度，從而引發(fā)構(gòu)成所述壓敏粘合片的所述可熱收縮薄膜層的熱收縮。所述壓敏粘合片加熱下從外部邊緣部分(端部)朝向在相對側(cè)上的外部邊緣部分巻起形成管狀巻，并且立即從所述晶片上剝離掉而沒有破壞晶片(一個方向的巻起剝離)的情況被評價為"A"。另外，所述壓敏粘合片從兩個相對的末端朝向所述中心巻起形成兩個管狀巻，并且從所述晶片立即剝離而沒有破壞晶片(兩個方向上巻起剝離)的情況被評價為"B";所述壓敏粘合片在所述可熱收縮薄膜層和所述彈性層之間破裂，或者沒有干凈地巻起形成管狀形式的情況被評價為"C"。在上述所有被評價為"A"或"B"的情況下，r/101.6[mm]的值(環(huán)狀片的直徑)范圍在0.0010.333，其中得到的管狀巻的直徑被定義為r[mm]。所述剝離試驗的結(jié)果表示在表2中。在所述表2中，"D"表示甚至在加熱下也沒有變化的那些；"-"表示沒有進行測量(與表3中相同)。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage54</column></row><table>打光試驗>在以上描述的剝離試驗中，使用那些表明良好結(jié)果的壓敏粘合片，根據(jù)下述方法用硅晶片進行25卞m厚度打光試驗。使用精確的涂布器再次制備實施例1、2、4、5、7和8中所示的壓敏粘合帶，從而增加厚度的精確度。使用由NittoSeikiCo.,Ltd.制備的DR8500II將各個制備的壓敏粘合帶粘合到9-英寸的晶片上，并使用由DiscoCorporation制備的晶片打光裝置DFG8560將其打光到25pm厚度。在打光后，在所述晶片上沒有裂縫并且邊緣碎屑尺寸為30)am或更小的晶片評價為"l";在所述晶片上沒有裂縫并且邊緣碎屑尺寸為3(Him或更大的晶片被評價為"2";在所述晶片具有裂縫的晶片被評價為"3"。隨后，測量在打光后所述晶片中的翹曲。對于具有打光結(jié)果為'T'或"2"的那些，將所述晶片安裝到模用板上，并且測量從所述模用板到所述晶片的距離中最遠兩點的距離。所述壓敏粘合片的任何一個可打光性均為'T'，翹曲量良好，其最大值為7mm。所述打光試驗的結(jié)果示于表3。為了確認使用自巻性能容易剝離的功能，使用實施例4、5和7的所述壓敏粘合劑，以測量所述壓敏粘合片從被打光至25pm的晶片的剝離，并且將所述晶片作為完整的個體而回收。在將壓敏粘合帶暴露于紫外線(約500mJ/cm2)后，將安裝有所述壓敏粘合帶的晶片安裝到加熱至10(TC的抽吸臺。結(jié)果，在所有情況下，所述壓敏粘合帶在l秒內(nèi)通過自巻剝離掉，并且所述晶片可單獨被回收而沒有任何破碎。結(jié)果證實，手動通常需要花費IO分鐘或更長時間的操作，可不需要特殊儀器而容易地進行(在所述臺上被標(biāo)記為"好")。所述結(jié)果表示在表3中。〈在壓敏粘合片剝離后殘余晶片膠(晶片污染物)的量的對比〉在管狀巻的所述剝離(巻起剝離)和通過手動操作的所述剝離之間所述晶片污染的差異通過下述方法進行研究。將實施例4、7和19的各壓敏粘合帶粘合到4-英寸的硅晶片上(由Shin-EtsuSemiconductorCo.,Ltd.制造，商品名"CZ-N")用于進行污染評價，并且在4(TC的高壓鍋中處理所述組件以增加所述粘合力。對于該制備的樣品，將使用實施例4和7的壓敏粘合片的那些暴露于紫外線(約500mJ/cm2)，然后在加熱下通過自巻剝離的所述晶片，和在室溫或在加熱下手動剝離至沒有發(fā)生自巻的程度的所述晶片，使用ParticleCounterSurfascan6200(由KLA-TencorCorporation制造)將這些晶片分別用于測量在所述晶片表面上源自殘留膠的粒子(具有粒度為0.2nm或更大的那些)個數(shù)。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在所有情況下，在通過管狀巻巻起剝離的情況下，所屬膠的痕跡更小。晶片污染的所述結(jié)果表示在表3中。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage56</column></row><table>〈自巻壓敏粘合帶的實際評估〉進行下列評價的目的在于評價本發(fā)明晶片打光處理的充分性。在上述的25卞m厚的晶片打光試驗中，使用實施例7的壓敏粘合片得到的附著至25卞m厚、8-英寸硅晶片的壓敏粘合片用紫外光(約500mJ/cm2)輻照。隨后，為了確定對于實際操作的適合性，使用由NittoSeikiCo.Ltd.制備的切割帶粘合/背部研磨帶剝離試驗裝置"MA3000ir對切割帶粘合、實施例7的壓敏粘合片進行剝離和回收試驗。對于自巻可剝離性的功能展示，將用于表明自巻性能的熱源(工業(yè)用干燥器)連接至所述帶剝離/回收設(shè)備部分，并且調(diào)節(jié)所述熱源以將硅晶片加熱到約8(TC10(TC。使用所述設(shè)備"MA3000II"，將由NittoDenkoCorporation制備的商品名為"EM500M2A"的切割帶粘合至8-英寸硅晶片的打光表面，并安裝切割環(huán)。在粘合所述切割帶時，將所述晶片加熱至5(TC6(TC，但是實施例7的所述壓敏粘合片在該加熱時沒有同時發(fā)生剝離，而其所述主過程完成時沒有發(fā)生任何問題(例如，剝離掉的帶被捕獲在傳送路徑中等)。然后，當(dāng)所述樣品被傳送至所述帶剝離/回收設(shè)備"MA3001II"時，熱空氣從熱源被吹至實施例7的所述壓敏粘合片的所述側(cè)，以加熱所述晶片邊緣部分。結(jié)果，實施例7的壓敏粘合片同時從硅晶片邊緣部分巻起，以從所述晶片邊緣剝離掉約510mm。在這一點上，實施例7的所述壓敏粘合片通過所述帶剝離設(shè)備"MA3000II"從所述硅晶片被剝離掉。此處，所述硅晶片沒有產(chǎn)生任何裂縫或碎屑。另外，考慮到剝離時在所述切割帶上加熱的任何副作用(例如，壓敏粘合力增加，等)，所述樣品的切割帶在切割后也進行功能評價，但是沒有問題。從這些結(jié)果，可以確定本發(fā)明的所述壓敏粘合帶能夠應(yīng)用于實際過程盡管當(dāng)本發(fā)明參考其特定實施方案進行詳細地描述，對本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說顯而易見，可以不偏離本發(fā)明的范圍而做出各種變化和修改。本申請基于在2006年11月10日提交的日本專利申請No.2006-305671和在2006年10月3日提交的日本專利申請No.2007-260077，其全部內(nèi)容在此引入作為參考。此外，在此所引用的所有參考文件全部引入本申請。權(quán)利要求1.一種自卷層壓片，其包括在至少一個軸向上是收縮性的可收縮薄膜層；和限制可收縮薄膜層收縮的限制層，該限制層置于可收縮薄膜層的一面上，其中，當(dāng)自卷層壓片被刺激而引發(fā)可收縮薄膜層的收縮時，該自卷層壓片在從一個末端起的一個方向上卷起，形成一個管狀卷，或者從兩個相對的末端朝向這兩個相對末端的中心卷起，形成兩個管狀卷。2.根據(jù)權(quán)利要求1的自巻層壓片，其中所述可收縮薄膜層包括在70180"范圍的溫度下在主收縮方向上具有3090%的熱收縮率的可熱收縮薄膜。3.根據(jù)權(quán)利要求1的自巻層壓片，其中所述限制層包括在可收縮薄膜層面上的彈性層，和在與該可收縮薄膜層面相對的面上的剛性薄膜層。4.根據(jù)權(quán)利要求3的自巻層壓片，其中所述彈性層在8(TC的剪切模量和厚度的乘積為11000N/m。5.根據(jù)權(quán)利要求3的自巻層壓片，其中所述剛性薄膜層在8(TC的楊氏模量和厚度的乘積為3.0xl()SN/m或更小。6.根據(jù)權(quán)利要求3的自巻層壓片，其中所述彈性層是由交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑形成的。7.根據(jù)權(quán)利要求1的自巻層壓片，其中，在刺激自巻層壓片而引發(fā)可收縮薄膜層收縮后，該自巻層壓片巻起從而形成管狀巻時，形成的管狀巻其r/L比在0.0010.333的范圍，其中r是管狀巻的直徑，L是在巻起方向上自巻層壓片的長度。8.根據(jù)權(quán)利要求1的自巻層壓片，其中，在刺激自巻層壓片而引發(fā)可收縮薄膜層收縮后，該自巻層壓片巻起從而形成兩個管狀巻時，形成的各管狀巻其r/L比在0.0010.333的范圍，其中r是管狀巻的直徑，L是在巻起方向上自巻層壓片的長度。9.一種自巻壓敏粘合片，其包括在至少一個軸向上是收縮性的可收縮薄膜層；限制可收縮薄膜層收縮的限制層，該限制層置于可收縮薄膜層的一面上；和在與設(shè)置可收縮薄膜層的面相對的限制層面上設(shè)置的壓敏粘合劑層，所述自巻壓敏粘合片是可剝離的壓敏粘合片，和其中所述壓敏粘合片或在粘合性降低處理后的壓敏粘合片具有6.5N/10mm或更低的壓敏粘合力(lS0。剝離，相對于硅晶片，拉伸速度300mm/min)，其中，當(dāng)自巻壓敏粘合片被刺激而引發(fā)可收縮薄膜層收縮時，該自巻壓敏粘合片在從一個末端起的一個方向上巻起，形成一個管狀巻，或者從相對的兩個末端朝向這兩個相對末端的中心巻起，形成兩個管狀巻。10.根據(jù)權(quán)利要求9的自巻壓敏粘合片，其中所述可收縮薄膜層包括在7018(TC范圍的溫度下在主收縮方向上具有3090%的熱收縮率的可熱收縮的薄膜。11.根據(jù)權(quán)利要求9的自巻壓敏粘合片，其中所述限制層包括在可收縮薄膜層面上的彈性層，和在與該可收縮薄膜層面相對的面上的剛性薄膜層。12.根據(jù)權(quán)利要求11的自巻壓敏粘合片，其中所述彈性層在8(TC的剪切模量和厚度的乘積在11000N/m的范圍。13.根據(jù)權(quán)利要求11的自巻壓敏粘合片，其中所述剛性薄膜層在8(TC的楊氏模量和厚度的乘積在3.0xl0SN/m或更小的范圍。14.根據(jù)權(quán)利要求11的自巻壓敏粘合片，其中所述彈性層是由交聯(lián)型丙烯酸壓敏粘合劑形成的。15.根據(jù)權(quán)利要求9的自巻壓敏粘合片，其中所述壓敏粘合劑層是由能量射線可固化的壓敏粘合劑形成的。16.根據(jù)權(quán)利要求9的自巻壓敏粘合片，其中，在刺激所述自巻壓敏粘合片而引發(fā)可收縮薄膜層收縮后，該自巻壓敏粘合片巻起從而形成管狀巻時，形成的管狀巻其r/L比在0.0010.333的范圍，其中r是管狀巻的直徑，L是在巻起方向上自巻壓敏粘合片的長度。17.根據(jù)權(quán)利要求9的自巻壓敏粘合片，其中，在刺激自巻壓敏粘合片而引發(fā)可收縮薄膜層收縮后，該自巻壓敏粘合片巻起從而形成兩個管狀巻時，各管狀巻其r/L比在0.0010.333的范圍，其中r是管狀巻的直徑，L是在巻起方向上自巻壓敏粘合片的長度。18.—種加工制品的方法，其包括將權(quán)利要求9的自巻壓敏粘合片粘附到制品上來暫時固定制品，然后加工該制品；降低所述壓敏粘合片的壓敏粘合力，并且對所述壓敏粘合片提供引發(fā)可收縮薄膜層收縮的刺激，從而致使所述壓敏粘合片在從一個末端起的一個方向上自發(fā)地巻起，形成一個管狀巻，或從兩個相對的末端朝向這兩個相對末端的中心自發(fā)地巻起，形成兩個管狀巻，因而從所述制品剝離；和獲得完成的制品。全文摘要本發(fā)明涉及一種自卷壓敏粘合片，其包括在至少一個軸向上是收縮性的可收縮薄膜層；限制可收縮薄膜層的收縮的限制層，該限制層放置在可收縮薄膜層的一面上；和放置在限制層一面上的壓敏粘合劑層，該面與放置可收縮薄膜層的面相對，所述自卷壓敏粘合片是可剝離的壓敏粘合片，其中所述壓敏粘合劑層或粘合性降低處理后的壓敏粘合劑層具有6.5N/10mm或更低的壓敏粘合力(180°剝離，相對于硅晶片，拉伸速度300mm/min)，并且其中當(dāng)所述自卷壓敏粘合片受到引發(fā)可收縮薄膜收縮的刺激時，該自卷壓敏粘合片在從一個末端起的一個方向上卷起形成一個管狀卷或從兩個相對的末端向兩個相對末端中心的方向卷起從而形成兩個管狀卷。即使當(dāng)該自卷壓敏粘合片粘附到具有相對低強度的粘附體上時，該自卷壓敏粘合片也能夠非常容易地從粘附體剝離，而不會對粘附體產(chǎn)生損害或污染。文檔編號B32B5/00GK101186127SQ200710186350公開日2008年5月28日申請日期2007年11月12日優(yōu)先權(quán)日2006年11月10日發(fā)明者莊司晃,木內(nèi)一之,西尾昭德,長崎國夫申請人:日東電工株式會社