專利名稱：磷硼紙的加工方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明為一種磷硼紙的加工方法及設(shè)備。
背景技術(shù)：
許多半導(dǎo)體管芯的制造需要使用含有磷和硼的的硅片或紙張，但這種硅片或紙張的生產(chǎn)較為困難，目前沒有公開的技術(shù)可以參考。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于公開一種簡(jiǎn)單、實(shí)用的磷硼紙的加工方法及設(shè)備。
本發(fā)明是將加入磷和硼的紙漿通過噴或涂或粘附將其附于表面平整、光滑的基礎(chǔ)上，然后將其干燥成膜；并至少一次在前一次紙膜層的基礎(chǔ)上再次通過噴或涂或粘附附著加入磷和硼的紙漿，并再次進(jìn)行干燥成膜；最后將各次附著后形成的成品由基礎(chǔ)上剝離。與一般的類似產(chǎn)品不同，在本發(fā)明中，對(duì)粘附基礎(chǔ)不是較為粗糙的表面，而是要求有較好的平整和光滑程度，可以說，其平整及光滑程度越高，產(chǎn)品的質(zhì)量越好。在本發(fā)明中，如果紙漿較稠，則可以通過一次粘附加工磷硼紙產(chǎn)品，但這樣對(duì)紙漿的質(zhì)量要求較高。因此，可以紙漿較稀，分次層進(jìn)行噴、涂或粘附，并在每次噴、涂或粘附后將其進(jìn)行一定的干燥，使該層中的磷、硼位置相對(duì)固定，這樣生產(chǎn)出的磷硼紙中的磷硼能夠較為均勻，因而質(zhì)量較好。因此，本發(fā)明的生產(chǎn)步驟一般為下述情況將加入磷和硼的紙漿通過噴或涂或粘附將其附于表面平整、光滑的基礎(chǔ)上，然后將其干燥；并進(jìn)行3-20次在前一次紙漿層的基礎(chǔ)上再次通過噴或涂或粘附附著加入磷和硼的紙漿并再次進(jìn)行干燥的過程；最后將各次附著后形成的成品由基礎(chǔ)上剝離。在上述過程中，在每次干燥成膜時(shí)，一般表面脫水率為60-85％。而所要求的平整、光滑的基礎(chǔ)可以由不銹鋼板或其它與紙膜有剝離特性的板材(如鐵板、塑料板、剝離紙板等)制成。
本發(fā)明產(chǎn)品的生產(chǎn)過程，可以采用人工操作，也可以利用設(shè)備完成。本發(fā)明公開了完成本發(fā)明的一種設(shè)備，它包括安裝在機(jī)架上、由電機(jī)帶動(dòng)的基礎(chǔ)傳送帶，機(jī)架上表面裝有兩組水平滾輪，基礎(chǔ)傳送帶在該兩組水平滾輪的上方形成水平部分；在該水平部分的一側(cè)下方有兩個(gè)與基礎(chǔ)傳送帶邊緣對(duì)應(yīng)的兩個(gè)滾輪，傳送帶由其下方繞過后，再由與水平滾輪位置對(duì)應(yīng)的一組滾輪上方繞過，從而形成V形料槽。這樣，紙漿可以放置在V形料槽中，隨著基礎(chǔ)傳送帶的行走，V形料槽中的紙漿則粘附在基礎(chǔ)傳送帶上，行至水平位置時(shí)，可以進(jìn)行晾干或自然風(fēng)干，然后回轉(zhuǎn)后再次經(jīng)過V形料槽，再粘附一層紙漿，然后再重復(fù)上述過程，直至所粘附的紙漿的厚度達(dá)到要求。在進(jìn)行干燥后，將成形的磷硼紙由基礎(chǔ)傳送帶上剝離后制成成品。
為實(shí)現(xiàn)自動(dòng)操作、提高生產(chǎn)效率，基礎(chǔ)傳送帶的與位于其水平部分下方的回轉(zhuǎn)部分位置對(duì)應(yīng)的機(jī)架上安裝有烘干機(jī)構(gòu)。沿回轉(zhuǎn)部分的走向，機(jī)架上安裝有兩組或更多組的烘干機(jī)構(gòu)。
此外，為方便收集成品，在機(jī)架一端的一側(cè)裝有成品收卷機(jī)構(gòu)。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例三的生產(chǎn)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例四的生產(chǎn)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；其中，1、基礎(chǔ)傳送帶，2、機(jī)架，3、滾筒，4、壓輪，5、調(diào)節(jié)閥，6、下料瓶，7、滾筒，8、收卷機(jī)構(gòu)，9、滾筒，10、烘干機(jī)構(gòu)，11、主動(dòng)滾筒，12、電機(jī)及減速機(jī)構(gòu)。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施例一本實(shí)施例是將加入磷和硼的紙漿通過噴或涂或粘附將其附于表面平整、光滑的基礎(chǔ)(如不銹鋼板、鐵板、塑料板、剝離紙板等)上，然后將其進(jìn)行自然干燥成膜；并在第一層紙漿層的基礎(chǔ)上再次通過噴或涂或粘附附著加入磷和硼的紙漿，并再次進(jìn)行自然干燥成膜；最后將兩次附著后形成的成品由基礎(chǔ)上人工剝離，制成成品。
實(shí)施例二是將加入磷和硼的紙漿通過噴或涂或粘附將其附于表面平整、光滑的基礎(chǔ)(如不銹鋼板、鐵板、塑料板、剝離紙板等)上，然后將其自然干燥成膜。當(dāng)前一層紙漿的表面脫水率在60-80％時(shí)，在前一層紙漿層的基礎(chǔ)上再次通過噴或涂或粘附附著加入磷和硼的紙漿，并再次進(jìn)行自然干燥成膜；重復(fù)一次前述過程，最后將各次附著后形成的成品由基礎(chǔ)上剝離。
實(shí)施例三本實(shí)施例的生產(chǎn)過程是將加入磷和硼的紙漿通過噴或涂或粘附將其附于表面平整、光滑的基礎(chǔ)上，然后將其干燥成膜。當(dāng)前一層紙漿的表面脫水率在60-80％時(shí)，在前一層紙漿層的基礎(chǔ)上再次通過噴或涂或粘附附著加入磷和硼的紙漿，并再次進(jìn)行干燥成膜；重復(fù)5次前述過程，最后將各次附著后形成的成品由基礎(chǔ)上剝離。
本實(shí)施例采用下述設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)如圖1所示，該設(shè)備包括機(jī)架2，機(jī)架2上裝有電機(jī)及減速機(jī)構(gòu)12和由其帶動(dòng)的基礎(chǔ)傳送帶1，基礎(chǔ)傳送帶1由不銹鋼板制成。在機(jī)架2上表面安裝有三組滾筒11、3、7，距中間一組滾筒3較遠(yuǎn)的主動(dòng)滾筒11其軸與減速機(jī)構(gòu)通過皮帶連接，基礎(chǔ)傳送帶1位于該兩組滾筒11、3上方，呈水平狀。在中間一組滾筒3及與其較近的滾筒7之間有位置低于該兩組滾筒3、7的兩個(gè)壓輪4，它們與基礎(chǔ)傳送帶1的邊緣處對(duì)應(yīng)，基礎(chǔ)傳送帶1由兩壓輪4的下方繞過，再分別由其兩側(cè)的兩組滾筒3、7的上方繞過，在此形成V形料槽。在與V形料槽位置對(duì)應(yīng)的機(jī)架2上方固定出口裝有調(diào)節(jié)閥5的下料瓶6，其中裝有紙漿。
實(shí)施例四本實(shí)施例的生產(chǎn)過程是將加入磷和硼的紙漿通過噴或涂或粘附將其附于表面平整、光滑的基礎(chǔ)上，然后將其干燥成膜。當(dāng)前一層紙漿的表面脫水率在60-80％時(shí)，在前一層紙漿層的基礎(chǔ)上再次通過噴或涂或粘附附著加入磷和硼的紙漿，并再次進(jìn)行干燥成膜；重復(fù)10-20次前述過程，最后將各次附著后形成的成品由基礎(chǔ)上剝離。
本實(shí)施例采用下述設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)如圖2所示，本實(shí)施例設(shè)備的上部結(jié)構(gòu)與實(shí)施例三相同，這里不再重復(fù)。與本實(shí)施例基礎(chǔ)傳送帶回轉(zhuǎn)部分對(duì)應(yīng)的機(jī)架2上裝有前后兩組電烘干機(jī)構(gòu)10。在設(shè)備靠近其V形料槽的一端帶有成品收卷機(jī)構(gòu)8，它包括卷筒和與卷筒連接的手柄。
本發(fā)明具有簡(jiǎn)單、實(shí)用的特點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種磷硼紙的加工方法，其特征是它是將加入磷和硼的紙漿通過噴或涂或粘附將其附于表面平整、光滑的基礎(chǔ)上，然后將其干燥成膜；并至少一次在前一次紙膜層的基礎(chǔ)上再次通過噴或涂或粘附附著加入磷和硼的紙漿，并再次進(jìn)行干燥成膜；最后將各次附著后形成的成品由基礎(chǔ)上剝離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷硼紙的加工方法，其特征是將加入磷和硼的紙漿通過噴或涂或粘附將其附于表面平整、光滑的基礎(chǔ)上，然后將其干燥；并進(jìn)行3-20次在前一次紙漿層的基礎(chǔ)上再次通過噴或涂或粘附附著加入磷和硼的紙漿并再次進(jìn)行干燥的過程；最后將各次附著后形成的成品由基礎(chǔ)上剝離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磷硼紙的加工方法，其特征是干燥成膜時(shí)，表面脫水率60-85％。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磷硼紙的加工方法，其特征是所述的平整、光滑的基礎(chǔ)由不銹鋼板或其它與紙膜有剝離特性的板材制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷硼紙的加工設(shè)備，其特征是它包括安裝在機(jī)架上、由電機(jī)帶動(dòng)的基礎(chǔ)傳送帶，機(jī)架上表面裝有兩組水平滾輪，基礎(chǔ)傳送帶在該兩組水平滾輪的上方形成水平部分；在該水平部分的一側(cè)下方有兩個(gè)與基礎(chǔ)傳送帶有邊緣對(duì)應(yīng)的兩個(gè)滾輪，傳送帶由其下方繞過后，再由與水平滾輪位置對(duì)應(yīng)的一組滾輪上方繞過，從而形成V形料槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磷硼紙的加工設(shè)備，其特征是基礎(chǔ)傳送帶的與位于其水平部分下方的回轉(zhuǎn)部分位置對(duì)應(yīng)的機(jī)架上安裝有烘干機(jī)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磷硼紙的加工設(shè)備，其特征是沿回轉(zhuǎn)部分的走向，機(jī)架上安裝有兩組烘干機(jī)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5或6或7所述的磷硼紙的加工設(shè)備，其特征是機(jī)架一端的一側(cè)裝有成品收卷機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明為一種磷硼紙的加工方法及設(shè)備。它是將加入磷和硼的紙漿通過噴或涂或粘附將其附于表面平整、光滑的基礎(chǔ)上，然后將其干燥成膜；并至少一次在前一次紙膜層的基礎(chǔ)上再次通過噴或涂或粘附附著加入磷和硼的紙漿，并再次進(jìn)行干燥成膜；最后將各次附著后形成的成品由基礎(chǔ)上剝離。本發(fā)明具有簡(jiǎn)單、實(shí)用的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)B32B29/00GK1811060SQ200510045330
公開日2006年8月2日 申請(qǐng)日期2005年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月9日
發(fā)明者王盛榮, 王桂芝, 趙輝 申請(qǐng)人:王盛榮