專利名稱：真空配管災(zāi)害防止裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)一種真空配管災(zāi)害防止裝置，尤指一種可防止真空管路與排氣管因泄漏、回火造成災(zāi)害的防止裝置。
背景技術(shù)：
按；一般的半導(dǎo)體IC及液晶TFT-LCD等相關(guān)制程所使用的真空管路與排氣管，由于組裝時僅能靠目視檢測是否于接頭部份存在不密合狀態(tài)，且當(dāng)?shù)卣饡r可能造成管路泄漏，因此習(xí)知的管路存在有以下的缺失1.當(dāng)?shù)卣鸹蚪M裝不良造成泄漏時，真空管路與排氣管內(nèi)的制程氣體、可燃性氣體與滲入的空氣形成燃燒反應(yīng)而引發(fā)災(zāi)害。
2.因無法預(yù)防真空管路及排氣管內(nèi)制程氣體、可燃性氣體的異常升溫，故而有溫度異常形成災(zāi)害的疑慮。
3.配管施工時因焊接不良或接續(xù)不確實，因此造成空氣滲入造成爆炸的危險。
由是，前述習(xí)知的管路常于發(fā)現(xiàn)明顯泄漏或燃燒后方得以采取相關(guān)補(bǔ)救措施，造成業(yè)者的損失，實也待有效改善。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的，即在提供一種真空配管災(zāi)害防止裝置，以防止管路因泄漏、高溫產(chǎn)生災(zāi)害。
前述的災(zāi)害防止裝置，是于管路內(nèi)裝置溫度偵測器以供偵測管內(nèi)的溫度變化，以及一UV偵測器以供偵測火苗，防止管內(nèi)的異常升溫造成災(zāi)害。
前述的災(zāi)害防止裝置，是于管路內(nèi)裝設(shè)O2偵測器，以供偵測是否有空氣滲入，防止?jié)B入空氣與制程氣體、可燃性氣體因燃燒反應(yīng)造成災(zāi)害。
前述的災(zāi)害防止裝置，是于管路內(nèi)裝設(shè)Gas偵測器，以供偵測管路內(nèi)的氣體濃度是否異常，以及Flow偵測器供偵測管內(nèi)流速及流動方向，以防止回火回流。
前述的災(zāi)害防止裝置，是透過一定時器將所測的數(shù)據(jù)儲存、列印及顯示，并通過CC Link(計算器儀器聯(lián)網(wǎng))及HUB的連線與電腦連接，將所測的數(shù)據(jù)傳至電腦，并由電腦傳送至維修人員的手機(jī)。
前述的災(zāi)害防止裝置，是設(shè)有一氮?dú)鈿鈩娱y，以于異常時緊急開啟，將管內(nèi)充滿氮?dú)猓赃_(dá)到滅火的目的，防止回火造成可能的災(zāi)害。


圖1是本發(fā)明的配線方塊圖。
圖2是本發(fā)明防護(hù)裝置電路方塊圖。
圖3是本發(fā)明偵測器的配線方塊圖。
1.管路23.印表機(jī)31.溫度偵測器2.防護(hù)裝置24.顯示器32.O2偵測器3.主設(shè)備 25.啟動開關(guān) 33.UV偵測器21.控制器 26.清除雜質(zhì)裝置 34.壓力偵測器22.記憶體 27.I/O端 35.氣體偵測器36.流動偵測器 42.CC Link 44.電腦41.定時器 43.HUB 45.手機(jī)50.氮?dú)鈿鈩娱y 51.閥體 52.多向接頭
具體實施例方式
請同時參閱圖1、2，本發(fā)明主要于半導(dǎo)體IC及液晶TFT-LCD等相關(guān)制程中的真空配管及排氣配管等管路1中裝設(shè)不同的偵測器(Sensor)，使該等偵測器連接于一防護(hù)裝置2以及主設(shè)備3，其中，該防護(hù)裝置2是設(shè)有一控制器21，使該控制器21連接于記憶體22、印表機(jī)23、顯示器24、啟動開關(guān)25及清除雜質(zhì)裝置26、I/O端27；該I/O端27是分別連接于溫度偵測器31，以供偵測管內(nèi)溫度的變化，檢查是否火災(zāi)；O2偵測器32，以供偵測管內(nèi)的O2濃度，檢查是否漏氣；UV偵測器33，以供偵測管內(nèi)的紫外線變化，檢查是否存在火苗；壓力偵測器34，以供偵測管內(nèi)的壓力變化及壓力值，檢查是否有泄漏；氣體偵測器35，以供偵測管內(nèi)的氣體濃度，檢查是否異常；流動偵測器36，以供偵測管內(nèi)的流速及流動方向，檢查是否有回火回流。
前述各偵測器，是可由O2偵測器32的偵測，防止管內(nèi)的制程氣體、可燃性氣體濃度過高造成災(zāi)害，亦可防止因地震導(dǎo)致配管龜裂使空氣滲入時，與氣體產(chǎn)生燃燒反應(yīng)造成災(zāi)害，而溫度偵測器31則偵測氣體的異常溫度，以防止災(zāi)害發(fā)生，且當(dāng)回火發(fā)生時，可啟動清除雜質(zhì)裝置26，將管路內(nèi)充滿氮?dú)?，以達(dá)到滅火的目的。
該控制器21又連接有一定時器41，將所測的數(shù)據(jù)定期儲存、列印及顯示器24顯示，并通過CC Link42將控制器21與HUB 43連接，并與電腦44連接，將所測的數(shù)據(jù)傳至電腦44，經(jīng)由電腦44將緊急訊號傳送至維修人員的手機(jī)45，以能于最快速的時間內(nèi)予以處理。
而透過各種偵測器于檢查異常時，是自動開啟緊急的氮?dú)鈿鈩娱y50，以對管內(nèi)充滿氮?dú)?，以進(jìn)行清除工作，或可透過手動方式開啟氮?dú)鈿鈩娱y50，以任意對管內(nèi)進(jìn)行清除。
請參閱圖3，本發(fā)明的各種偵測器(以O(shè)2為例)是經(jīng)由不同的閥體51連接于真空配管及排氣管，使各閥體51經(jīng)由多向接頭52與偵測器連接，以同時偵測多數(shù)管內(nèi)的狀態(tài)。
權(quán)利要求
1.一種真空配管災(zāi)害防止裝置，其特征在于主要于半導(dǎo)體IC及液晶TFT-LCD制程的真空配管及排氣管裝設(shè)溫度及02偵測器，以供偵測制程氣體、可燃性氣體的濃度及溫度，以防止因管路滲入空氣或異常升溫，造成燃燒反應(yīng)的災(zāi)害。
2.如權(quán)利要求1所述的一種真空配管災(zāi)害防止裝置，其特征在于該真空配管及排氣管裝設(shè)有壓力偵測器，以供偵測管路的壓力變化。
3.如權(quán)利要求1所述的一種真空配管災(zāi)害防止裝置，其特征在于真空配管及排氣管又裝設(shè)有UV偵測器，以供偵測管內(nèi)的紫外線變化，進(jìn)而檢查是否存在火苗。
4.如權(quán)利要求1所述的一種真空配管災(zāi)害防止裝置，其特征在于該真空配管及排氣管又裝設(shè)有流速偵測器，以供偵測氣體的流速及流動方向，進(jìn)而檢查是否存在回火回流。
5.如權(quán)利要求1所述的一種真空配管災(zāi)害防止裝置，其特征在于該真空配管及排氣管裝設(shè)有氮?dú)鈿鈩娱y，以于偵測器測得異常時，自動開啟氣動閥使管路內(nèi)充滿氮?dú)猓赃_(dá)到滅火作用。
6.如權(quán)利要求1所述的一種真空配管災(zāi)害防止裝置，其特征在于該等偵測器是連接于一控制器，由該控制器構(gòu)成對各種偵測信號的處理。
7.如權(quán)利要求6所述的一種真空配管災(zāi)害防止裝置，其特征在于該控制器連接于一計數(shù)器，以定期儲存、列印、顯示偵測的數(shù)據(jù)。
8.如權(quán)利要求6所述的一種真空配管災(zāi)害防止裝置，其特征在于該控制器透過CC Link與HUB連接，并與電腦連接，以將測得的數(shù)據(jù)傳輸至電腦，經(jīng)由電腦將緊急訊號傳至維修人員手機(jī)。
全文摘要
一種真空配管災(zāi)害防止裝置，主要是于半導(dǎo)體IC、液晶TFT－LCD等制程的真空管路與排氣管內(nèi)，設(shè)以O(shè)2偵測器(Sensor)、溫度偵測器以及氮?dú)鈿鈩娱y，以供分別偵測配管龜裂滲入的氣體、排氣管內(nèi)的制程氣體、可燃性氣體的異常升溫，以經(jīng)由電腦紀(jì)錄警示項目，并利用區(qū)域網(wǎng)路通知相關(guān)負(fù)責(zé)人員，以達(dá)到防止災(zāi)害發(fā)生的目的；其中的氣動閥是可于管路內(nèi)充滿氮?dú)?，以防止回火可能造成的?zāi)害。
文檔編號A62C4/00GK1589928SQ03156528
公開日2005年3月9日 申請日期2003年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月3日
發(fā)明者樸炳涉, 金炳哲 申請人:懷康科技股份有限公司