力量感測(cè)手爪的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型是有關(guān)于一種提供感測(cè)組裝力量的裝置，特別是有關(guān)于一種兼具有精確夾持又能靈敏感測(cè)組裝力量的力量感測(cè)手爪。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓測(cè)試(Wafer Probe)及晶圓封裝(Packaging)為半導(dǎo)體制造過程的后段制程，而晶圓測(cè)試是對(duì)芯片(chip)上的每個(gè)晶粒進(jìn)行針測(cè)作業(yè)，在檢測(cè)頭裝上以金線制成細(xì)如毛發(fā)的探針(probe),與晶粒上的接點(diǎn)(pad)接觸，以測(cè)試其電氣特性，不合格的晶粒會(huì)被淘汰，而被測(cè)試合格的晶粒方可進(jìn)行下一個(gè)制程，以維持組裝質(zhì)量與產(chǎn)品良率，因此，晶圓測(cè)試制程為集成電路制造中對(duì)制造成本影響甚巨的重要制程。
[0003]然而，隨著集成電路的發(fā)展，封裝與測(cè)試的技術(shù)亦不斷地提升，近幾年來晶圓測(cè)試的探針(probe )規(guī)格也從150Mm進(jìn)化到24.5Mm，此規(guī)格比毛發(fā)還要細(xì)，這已經(jīng)到了人工很難組裝的極限。
[0004]雖然，半導(dǎo)體制造的封裝測(cè)試大部分已由機(jī)械化組裝所取代，但是，因探針(probe)的尺寸越做越小，在測(cè)試的制程中，除了要考慮感測(cè)的穿刺力，又要兼顧探針的夾持力，制程控制上也越來越困難，這也是探針易損壞的主因，且嚴(yán)重影響組裝測(cè)試質(zhì)量，因此，此系半導(dǎo)體業(yè)界所極力追趕的目標(biāo)之一。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的力量感測(cè)手爪，利用一力量傳感器控制夾爪的預(yù)壓力，再借由一力量調(diào)整模塊調(diào)控校正組裝力量，使夾爪兼具精確夾持，又能達(dá)到靈敏感測(cè)組裝力量的使用效果。
[0006]為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型的解決方案是:
[0007]一種力量感測(cè)手爪，供夾持一對(duì)象，包含有:
[0008]一手爪模塊，具有一本體部、一位于該本體部前端的夾爪,及一位于該本體部上的感壓支點(diǎn)；
[0009]一力量傳感器，安裝在該手爪模塊的本體部一側(cè)，該力量傳感器具有一接觸在該感壓支點(diǎn)上的感測(cè)部，讓夾爪得以控制并施加一預(yù)壓力給所夾持的物件；
[0010]一力量調(diào)整模塊，安裝在該手爪模塊的本體部上，并與該力量傳感器相連接，當(dāng)該夾爪夾持該對(duì)象的過程中，夾爪所產(chǎn)生的力量，作用在該感壓支點(diǎn)上，經(jīng)由該力量傳感器的感測(cè)部來感測(cè)該感壓支點(diǎn)的震幅，再由該力量調(diào)整模塊隨時(shí)校正該夾爪的位置，讓夾爪在每個(gè)工作模式均維持在精確的夾持位置。
[0011]進(jìn)一步，該手爪模塊更具有一感測(cè)轉(zhuǎn)軸，該感測(cè)轉(zhuǎn)軸是軸設(shè)在該本體部和該夾爪之間，且該感測(cè)轉(zhuǎn)軸和該感壓支點(diǎn)之間形成有一第一間距，該感壓支點(diǎn)和該夾爪的一前端之間形成有一第二間距，該第一間距的距離界于該第二距離的三分之一至十分之一。
[0012]進(jìn)一步，該夾爪是由兩爪片所組成，該手爪模塊更具有一連接在兩爪片之間的轉(zhuǎn)軸，當(dāng)操作該轉(zhuǎn)軸，得以控制兩爪片之開閉，供夾持該物件。
[0013]進(jìn)一步，該手爪模塊更具有一鎖固在該夾爪上的定位件。
[0014]進(jìn)一步，該力量傳感器的感測(cè)部是一撥塊，該手爪模塊的感壓支點(diǎn)是一凸設(shè)在該本體部上的凸塊，該撥塊搭接在該凸塊上。據(jù)上所述，為解決探針規(guī)格微小化，進(jìn)而影響組裝測(cè)試質(zhì)量，并提高制造成本等問題。本實(shí)用新型的力量感測(cè)手爪，利用該力量傳感器的感測(cè)部搭接在感壓支點(diǎn)上，來控制施加預(yù)壓力，還借由該力量調(diào)整模塊和該手爪模塊、該力量傳感器做整合，并透過該感測(cè)轉(zhuǎn)軸、該感壓支點(diǎn)及該夾爪的前端三者之間分別形成第一距離、第二距離的配比間距設(shè)計(jì)，如此，在進(jìn)行晶圓測(cè)試的制程中，該夾爪的組裝力量饋送至感測(cè)轉(zhuǎn)軸上時(shí)，得配合該力量傳感器對(duì)感壓支點(diǎn)的控制預(yù)壓力，再經(jīng)由該力量調(diào)整模塊做調(diào)整校正，讓夾爪在每個(gè)工作狀態(tài)均維持在最佳的組裝力量，所以，本實(shí)用新型的力量感測(cè)手爪除兼具有精確夾持作組裝之外，還能靈敏感測(cè)組裝力量，以提高組裝測(cè)試質(zhì)量，可降低探針的耗損，進(jìn)而大幅縮減制造成本。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型力量感測(cè)手爪一較佳實(shí)施例的外觀立體圖；
[0016]圖2為該力量感測(cè)手爪的側(cè)視圖；
[0017]圖3為該力量感測(cè)手爪的頂視圖。
[0018]【符號(hào)說明】
[0019]10手爪模塊11本體部
[0020]12夾爪121 爪片
[0021]122 爪片13感壓支點(diǎn)
[0022]14感測(cè)轉(zhuǎn)軸15定位件
[0023]16轉(zhuǎn)軸20力量傳感器
[0024]21感測(cè)部30力量調(diào)整模塊
[0025]100物件。
【具體實(shí)施方式】
[0026]為了進(jìn)一步解釋本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面通過具體實(shí)施例來對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)闡述。
[0027]參照?qǐng)D1所示，本實(shí)用新型力量感測(cè)手爪的一較佳實(shí)施例，該力量感測(cè)手爪提供夾持一對(duì)象100,并包含有一手爪模塊10、一力量傳感器20及一力量調(diào)整模塊30。
[0028]該手爪模塊10，具有一本體部11、一位于該本體部11前端的夾爪12，及一位于該本體部11上的感壓支點(diǎn)13。
[0029]該力量傳感器20，安裝在該手爪模塊10的本體部11 一側(cè)，該力量傳感器20具有一接觸在該感壓支點(diǎn)13上的感測(cè)部21。利用該力量傳感器20的感測(cè)部21搭接在該手爪模塊10的感壓支點(diǎn)13上，讓夾爪12得以控制并施加一預(yù)壓力給所夾持的物件100。
[0030]該力量調(diào)整模塊30，安裝在該手爪模塊10的本體部11上，并與該力量傳感器20相連接，當(dāng)該手爪模塊10夾持該對(duì)象100的過程中，手爪模塊10所產(chǎn)生的組裝力量，作用在該感壓支點(diǎn)13上，經(jīng)由該力量傳感器20的感測(cè)部21來感測(cè)該感壓支點(diǎn)13的震幅，再由該力量調(diào)整模塊30隨時(shí)校正該夾爪12的位置，讓夾爪12在每個(gè)工作模式均維持在精確的夾持位置。
[0031]進(jìn)一步，該手爪模塊10更具有一感測(cè)轉(zhuǎn)軸14，該感測(cè)轉(zhuǎn)軸14是軸設(shè)在該本體部11和該夾爪12之間，且該感測(cè)轉(zhuǎn)軸14和該感壓支點(diǎn)13之間形成有一第一間距dl，該感壓支點(diǎn)13和該夾爪12的一前端123之間形成有一第二間距d2，本實(shí)施例中，該第一間距dl的距離界于該第二距離d2的三分之一至十分之一。借此，利用杠桿放大的原理，當(dāng)該手爪模塊10執(zhí)行操作作業(yè)之時(shí)，該對(duì)象100其加工過程所產(chǎn)生的力量，均由該夾爪12前端123饋送到該感測(cè)轉(zhuǎn)軸14上，而該力量傳感器20再以施加的預(yù)壓力來調(diào)控該夾爪12的操制力道，讓該夾爪12兼具有精確夾持的效用，同時(shí)又能靈敏感測(cè)組裝測(cè)試力量。
[0032]續(xù)參照?qǐng)D2和圖3所示，該夾爪12是由兩爪片121、122所組成，該手爪模塊10更具有一連接在兩爪片121、122之間的轉(zhuǎn)軸15。當(dāng)操作該轉(zhuǎn)軸15時(shí)(該轉(zhuǎn)軸15是由外部的驅(qū)動(dòng)器所操控，圖未示)，該爪片122朝爪片121的反方向被推開，夾爪12呈打開狀態(tài)，以供對(duì)象100置入；當(dāng)松放該轉(zhuǎn)軸15，該爪片122自動(dòng)回彈并與該爪片121兩相夾制住該物件100。
[0033]本實(shí)施例中，該力量傳感器20的感測(cè)部21是一撥塊，該手爪模塊10的感壓支點(diǎn)13是一凸設(shè)在該本體部11上的凸塊，在圖1中，該凹狀的撥塊與圓弧形的凸塊形狀，僅為本實(shí)施例揭露出的其中一種形狀搭配范例而已，實(shí)施上，還可利用各種矩形結(jié)構(gòu)配合、相互勾置型態(tài)等方式取代，只要能讓該感測(cè)部21連動(dòng)該感壓支點(diǎn)13，皆能達(dá)到相同的操作目的，此不再詳述。
[0034]該手爪模塊10更具有一定位件16，該定位件16鎖固在該夾爪12上，做為該夾爪12的位置支撐定點(diǎn)。
[0035]歸納上述，為因應(yīng)探針(probe)規(guī)格微小化，進(jìn)而會(huì)影響組裝測(cè)試質(zhì)量等問題。本實(shí)用新型的力量感測(cè)手爪，將該力量傳感器20結(jié)合在該手爪模塊10上，利用該力量傳感器20的感測(cè)部21搭接在該手爪模塊10的感壓支點(diǎn)13上，來控制施加預(yù)壓力，還借由該力量調(diào)整模塊30和該夾爪模塊10、該力量傳感器20做整合，并透過該感測(cè)轉(zhuǎn)軸14、該感壓支點(diǎn)13及該夾爪12的前端123三者之間分別形成第一距離dl、第二距離d2的配比間距設(shè)計(jì)，如此，在進(jìn)行晶圓測(cè)試的制程中，該夾爪12的組裝力量饋送至感測(cè)轉(zhuǎn)軸14上時(shí)，配合該力量傳感器20對(duì)感壓支點(diǎn)13的控制預(yù)壓力，再經(jīng)由該力量調(diào)整模塊30做調(diào)整校正，讓夾爪12在每個(gè)工作狀態(tài)均維持在最佳的組裝力量。
[0036]據(jù)上，本實(shí)用新型的力量感測(cè)手爪除兼具有精確夾持作組裝之外，還能靈敏感測(cè)組裝力量，以提高組裝測(cè)試質(zhì)量，并可降低探針的耗損，進(jìn)而縮減制造成本。
[0037]以上所述，僅為本實(shí)用新型的一個(gè)較佳實(shí)施例而已，當(dāng)不能以此限定本實(shí)用新型實(shí)施的范圍，即大凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍及實(shí)用新型說明內(nèi)容所作的簡(jiǎn)單的等效變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本實(shí)用新型專利涵蓋的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種力量感測(cè)手爪，供夾持一對(duì)象，其特征在于，包含有: 一手爪模塊，具有一本體部、一位于該本體部前端的夾爪，及一位于該本體部上的感壓支占.一力量傳感器，安裝在該手爪模塊的本體部一側(cè)，該力量傳感器具有一接觸在該感壓支點(diǎn)上的感測(cè)部，夾爪控制并施加一預(yù)壓力給所夾持的物件； 一力量調(diào)整模塊，安裝在該手爪模塊的本體部上，并與該力量傳感器相連接，當(dāng)該夾爪夾持該對(duì)象的過程中，夾爪所產(chǎn)生的力量作用在該感壓支點(diǎn)上，經(jīng)由該力量傳感器的感測(cè)部來感測(cè)該感壓支點(diǎn)的震幅，再由該力量調(diào)整模塊隨時(shí)校正該夾爪的位置，讓夾爪在每個(gè)工作模式均維持在精確的夾持位置。
2.如權(quán)利要求1所述的力量感測(cè)手爪，其特征在于:該手爪模塊更具有一感測(cè)轉(zhuǎn)軸，該感測(cè)轉(zhuǎn)軸是軸設(shè)在該本體部和該夾爪之間，且該感測(cè)轉(zhuǎn)軸和該感壓支點(diǎn)之間形成有一第一間距，該感壓支點(diǎn)和該夾爪的一前端之間形成有一第二間距，該第一間距的距離界于該第二距離的三分之一至十分之一。
3.如權(quán)利要求1所述的力量感測(cè)手爪，其特征在于:該夾爪是由兩爪片所組成，該手爪模塊更具有一連接在兩爪片之間的轉(zhuǎn)軸，當(dāng)操作該轉(zhuǎn)軸時(shí)控制兩爪片的開閉，夾持該物件。
4.如權(quán)利要求1所述的力量感測(cè)手爪，其特征在于:該手爪模塊更具有一鎖固在該夾爪上的定位件。
5.如權(quán)利要求1所述的力量感測(cè)手爪，其特征在于:該力量傳感器的感測(cè)部是一撥塊，該手爪模塊的感壓支點(diǎn)是一凸設(shè)在該本體部上的凸塊，該撥塊搭接在該凸塊上。
【專利摘要】一種力量感測(cè)手爪，供夾持一對(duì)象，包含有：一手爪模塊，具有一本體部、一位于該本體部前端的夾爪，及一位于該本體部上的感壓支點(diǎn)；一力量傳感器，安裝在該本體部一側(cè)，該力量傳感器具有一接觸在該感壓支點(diǎn)上的感測(cè)部，并讓夾爪得以控制并施加一預(yù)壓力給所夾持的物件；一力量調(diào)整模塊，安裝在該本體部上，并與該力量傳感器相連接，當(dāng)該夾爪夾持對(duì)象的過程中，夾爪所產(chǎn)生的力量，作用在感壓支點(diǎn)上，經(jīng)由該力量傳感器的感測(cè)部來感測(cè)該感壓支點(diǎn)的震幅，再由該力量調(diào)整模塊隨時(shí)校正該夾爪的位置，讓夾爪在每個(gè)工作模式均維持在精確的夾持位置。
【IPC分類】B25J15-08, G01L5-00
【公開號(hào)】CN204450566
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420806410
【發(fā)明人】吳智孟
【申請(qǐng)人】創(chuàng)新服務(wù)股份有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請(qǐng)日】2014年12月18日