技術(shù)總結(jié)
一種XYZ三自由度精密定位裝置，包括XY運(yùn)動(dòng)基座和Z軸運(yùn)動(dòng)模塊，Z軸運(yùn)動(dòng)模塊安裝于XY運(yùn)動(dòng)基座；XY運(yùn)動(dòng)基座包括基板，基板上設(shè)有位移裝置和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，位移裝置設(shè)有兩組，位移裝置分別位于X軸和Y軸；位移裝置為設(shè)有壓電陶瓷的柔性機(jī)構(gòu)；位移裝置包括左杠桿、右杠桿、輸入端安裝塊和輸出端安裝塊；基板開設(shè)有第一容納槽，位移裝置安裝于第一容納槽，左杠桿和右杠桿的下端通過(guò)鉸鏈鉸接于第一容納槽的下槽壁，左杠桿的右側(cè)下部和右杠桿的左側(cè)下部均用過(guò)鉸鏈鉸接有輸入端安裝塊；左杠桿的右側(cè)上部和右杠桿的左側(cè)上部均通過(guò)直梁型柔性鉸鏈鉸接有輸出端安裝塊；輸出端安裝塊通過(guò)直梁型柔性鉸鏈與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)安裝。

技術(shù)研發(fā)人員：陳新;湯暉;邱遷;何思豐;向曉彬;車俊杰;陳創(chuàng)斌;李宏城;高健;賀云波;尹志強(qiáng);陳云
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710019564
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.12
技術(shù)公布日：2017.05.31