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玻璃基板的劃線工具的制作方法

文檔序號(hào):12762347閱讀:285來源:國(guó)知局
玻璃基板的劃線工具的制作方法與工藝

本實(shí)用新型涉及一種玻璃基板的劃線工具,用于在測(cè)定玻璃基板的熱收縮率時(shí)等向玻璃基板上標(biāo)注劃線。



背景技術(shù):

一般來說,在液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置等平板顯示器(FPD)中使用的玻璃基板上形成有微小的電路圖案,在平板顯示器的制造工序中,反復(fù)對(duì)玻璃基板進(jìn)行熱處理。

玻璃基板在被實(shí)施熱處理時(shí)發(fā)生熱收縮,在熱處理的前后產(chǎn)生尺寸變化,因此在平板顯示器的制造工序中,需要測(cè)定并管理玻璃基板的熱處理所帶來的尺寸變化。

玻璃基板的熱處理所帶來的尺寸變化的測(cè)定例如以如下方式進(jìn)行。

首先,通過光刻對(duì)玻璃基板燒制電路圖案,之后測(cè)定已形成的電路圖案的尺寸。接下來,使形成有電路圖案的玻璃基板通過熱處理工序,或者對(duì)玻璃基板賦予與熱處理工序同等的溫度分布,使玻璃基板熱收縮。之后,測(cè)定熱處理后的玻璃基板的電路圖案的尺寸,通過對(duì)熱處理前后的電路圖案的尺寸進(jìn)行比較,從而將玻璃基板的熱收縮率設(shè)為尺寸變化量進(jìn)行計(jì)算。

另外,玻璃基板的熱收縮率也能夠通過制作試件而求出。

例如,在規(guī)定尺寸的玻璃基板上,將沿與玻璃基板的長(zhǎng)邊方向正交的方向延伸的直線狀的標(biāo)識(shí)標(biāo)注在玻璃基板的長(zhǎng)邊方向的多個(gè)位置,之后將玻璃基板沿長(zhǎng)邊方向切斷而制成多片試件。保留多片試件中的一片,實(shí)施熱處理,測(cè)定實(shí)施了熱處理的試件的標(biāo)識(shí)的位置與未實(shí)施熱處理的試件的標(biāo)識(shí)的位置之間的偏離量,從而能夠使用測(cè)定出的偏離量計(jì)算玻璃基板的熱收縮率。

在該情況下,通過光刻、濺射蒸鍍等方法在試件上形成金屬膜以能承受實(shí)施于試件的熱處理,或如專利文獻(xiàn)1所示那樣利用劃針在試件上形成劃線,由此標(biāo)注所述標(biāo)識(shí)。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-143758號(hào)公報(bào)

如前述那樣,在使用通過光刻燒制在玻璃基板上的電路圖案計(jì)算熱收縮率,或使用通過光刻、濺射蒸鍍等標(biāo)注在試件上的標(biāo)識(shí)計(jì)算熱收縮率的情況下,需要光刻裝置、濺射裝置等昂貴的裝置。但是,當(dāng)在玻璃基板的制造工序中計(jì)算玻璃基板的熱收縮率時(shí),準(zhǔn)備這樣的昂貴裝置是不現(xiàn)實(shí)的。

另外,如前述那樣,在通過利用劃針在玻璃基板的試件上形成劃線而標(biāo)注標(biāo)識(shí)的情況下,劃線的深度變深,存在操作試驗(yàn)板時(shí)形成有劃線的位置破損的情況。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

實(shí)用新型要解決的課題

因此,本實(shí)用新型的目的在于提供一種不需要準(zhǔn)備昂貴的裝置并且能夠防止玻璃基板的標(biāo)注有劃線的位置破損的玻璃基板的劃線工具。

用于解決課題的手段

本實(shí)用新型要解決的課題如上所述,接下來說明用于解決該課題的手段。

即,本實(shí)用新型所涉及的玻璃基板的熱收縮測(cè)定用工具的特征在于,具備:工具主體,其由長(zhǎng)邊方向的中途部形成有彎曲部的金屬板構(gòu)成;以及研磨片,其附設(shè)于所述工具主體,所述工具主體具有:把持片,其配置在所述工具主體的長(zhǎng)邊方向上的一側(cè);以及按壓片,其配置在所述工具主體的長(zhǎng)邊方向上的另一側(cè),在所述把持片與所述按壓片之間形成有所述彎曲部,所述研磨片至少配置在所述把持片的所述工具主體的長(zhǎng)邊方向上的一端面。

在該情況下優(yōu)選為,所述把持片與所述按壓片均形成為平板狀,并且相互大致平行地配置,在所述把持片與所述按壓片之間具有連接片,該連接片將所述把持片的所述工具主體的長(zhǎng)邊方向上的另一端部與所述按壓片的所述工具主體的長(zhǎng)邊方向上的一端部連接,所述把持片與連接片的連接部、以及所述按壓片與連接片的連接部構(gòu)成所述彎曲部。

由此,不需要準(zhǔn)備昂貴的裝置,并且能夠防止玻璃基板的標(biāo)注有劃線的位置發(fā)生破損。

另外,優(yōu)選為,所述研磨片配置為覆蓋所述把持片的第一板面、所述一端面以及與所述第一板面相反側(cè)的第二板面。

由此,在向玻璃基板的表面標(biāo)注劃線時(shí),無需將研磨片粘貼于把持片就能夠容易地將研磨片配置在把持片的前端面。

另外,優(yōu)選為,所述連接片相對(duì)于所述把持片的板厚方向以及所述按壓片的板厚方向傾斜。

由此,能夠穩(wěn)定地將把持部的前端面向玻璃基板的表面按壓。

另外,優(yōu)選為,所述把持片在所述工具主體的長(zhǎng)邊方向上的長(zhǎng)度尺寸比所述按壓片在所述工具主體的長(zhǎng)邊方向上的長(zhǎng)度尺寸大。

由此,能夠充分確保利用作業(yè)者的手的大拇指與中指把持住把持片的空間,并且能夠在利用大拇指與中指把持住把持片的狀態(tài)下通過食指容易地對(duì)按壓部的上端面進(jìn)行按壓。

另外,優(yōu)選為,所述研磨片的粒度是#1000~#3000。

由此,能夠在玻璃基板的表面標(biāo)注適當(dāng)深度的劃線,能夠在玻璃基板不發(fā)生破損的情況下獲得容易識(shí)別的劃線。

實(shí)用新型的效果

作為本實(shí)用新型的效果,能夠發(fā)揮以下所示的效果。

即,不需要準(zhǔn)備昂貴的裝置,并且能夠防止玻璃基板的標(biāo)注有劃線的位置破損。

附圖說明

圖1是示出劃線工具的立體圖。

圖2是示出劃線工具的側(cè)視圖。

圖3是示出工具主體的立體圖。

圖4是示出工具主體的側(cè)視圖。

圖5是示出研磨片的俯視圖。

圖6是示出作業(yè)者用手把持劃線工具進(jìn)行操作的狀況的立體圖。

圖7是示出作業(yè)者用手把持劃線工具進(jìn)行操作的狀況的側(cè)視圖。

圖8是示出使用通過劃線工具標(biāo)注有劃線的玻璃片求出玻璃基板的熱收縮率的步驟的圖。

圖9是劃線的放大圖。

圖10是示出劃線工具的其他實(shí)施方式的立體圖。

附圖標(biāo)記說明

1 劃線工具

10 工具主體

11 把持片

11a 前端面

11b 第一板面

11c 第二板面

12 按壓片

13 連接片

14 第一彎曲部

15 第二彎曲部

20 研磨片

G 玻璃基板

S 劃線

L1 把持片的工具主體的長(zhǎng)邊方向上的長(zhǎng)度尺寸

L2 按壓片的工具主體的長(zhǎng)邊方向上的長(zhǎng)度尺寸

具體實(shí)施方式

接下來,使用附圖說明用于將本實(shí)用新型所涉及的玻璃基板的劃線工具具現(xiàn)化的實(shí)施方式。

如圖1、圖2所示那樣,作為本實(shí)用新型所涉及的玻璃基板的劃線工具的一個(gè)實(shí)施方式的劃線工具1是用于在玻璃基板G的表面標(biāo)注劃線S的工具(參照?qǐng)D6),具備由長(zhǎng)邊方向的多個(gè)位置形成有彎曲部的金屬板構(gòu)成的工具主體10、以及附設(shè)在工具主體10上的研磨片20。作為構(gòu)成工具主體10的金屬板,例如能夠使用板厚尺寸t為1mm的不銹鋼板。

通過劃線工具1在表面標(biāo)注有劃線S的玻璃基板G是用于例如液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置等平板顯示器(FPD)的玻璃基板。

如圖3、圖4所示那樣,工具主體10通過將矩形狀的金屬在長(zhǎng)邊方向的多個(gè)位置彎曲而形成,具有形成為平板狀且配置在工具主體10的長(zhǎng)邊方向上的一端側(cè)的把持片11、形成為平板狀且在工具主體10的長(zhǎng)邊方向上的另一端側(cè)與把持片11大致平行地配置的按壓片12、以及將把持片11的工具主體10的長(zhǎng)邊方向上的另一端部與按壓片12的工具主體10的長(zhǎng)邊方向上的一端部連接的連接片13。

需要說明的是,在以下的說明中,將“工具主體10的長(zhǎng)邊方向”酌情簡(jiǎn)要記載為“長(zhǎng)邊方向”。

把持片11與連接片13的連接部是所述金屬板彎曲的部分,構(gòu)成為工具主體10的第一彎曲部14。按壓片12與連接片13的連接部是所述金屬板彎曲的部分,構(gòu)成為工具主體10的第二彎曲部15。

金屬板在第一彎曲部14與第二彎曲部15向相反方向彎曲,工具主體10在側(cè)視時(shí)形成為大致曲柄狀。

第一彎曲部14以及第二彎曲部15具有彈性,當(dāng)對(duì)劃線工具1施加長(zhǎng)邊方向的力時(shí),第一彎曲部14以及第二彎曲部15能夠彈性變形。

在使把持片11垂直立起的姿態(tài)下,按壓片12的下端位于比把持片11的上端靠上方的位置,連接片13形成為隨著從按壓片12側(cè)趨向把持片11側(cè)而下降的傾斜面。

換句話說,連接片13相對(duì)于把持片11的板厚方向傾斜。另外,在本實(shí)施方式中,把持片11與按壓片12平行地配置,連接片13也相對(duì)于按壓片12的板厚方向傾斜。

連接片13相對(duì)于把持片11的板厚方向傾斜角度θ1,相對(duì)于按壓片12的板厚方向傾斜角度θ2。

在本實(shí)施方式中,連接片13相對(duì)于把持片11的板厚方向以及按壓片12的板厚方向傾斜,但也能夠?qū)⒐ぞ咧黧w10形成為連接片13向把持片11的板厚方向以及按壓片12的板厚方向延伸的形狀。換句話說,也可以形成為連接片13相對(duì)于把持片11的彎曲角度、以及連接片13相對(duì)于按壓片12的彎曲角度為直角。

在工具主體10中,把持片11的長(zhǎng)邊方向上的長(zhǎng)度尺寸L1形成為比按壓片12的長(zhǎng)邊方向上的長(zhǎng)度尺寸L2大。把持片11的長(zhǎng)邊方向上的一端側(cè)的端面形成為前端面11a。

如圖5所示那樣,研磨片20是一面固定有研磨材料的片狀的構(gòu)件,形成為矩形狀。作為研磨片20,例如能夠使用砂紙。研磨片20的粒度設(shè)定為#1000~#3000,以便在玻璃基板G的表面標(biāo)注適當(dāng)深度的劃線S。另外,研磨片20的粒度優(yōu)選設(shè)定為#2000。

研磨片20的短邊方向的尺寸形成為與把持片11的工具主體10的短邊方向上的尺寸大致相同的尺寸。另外,研磨片20的長(zhǎng)邊方向的尺寸形成為與將把持片11的第一板面11b的長(zhǎng)邊方向上的長(zhǎng)度尺寸L1、把持片11的金屬板的板厚尺寸t以及把持片11的第二板面11c的長(zhǎng)邊方向上的長(zhǎng)度尺寸L1相加而得到的尺寸大致相同的尺寸。

需要說明的是,“工具主體10的短邊方向”指的是與工具主體10的長(zhǎng)邊方向以及把持片11的金屬板的厚度方向正交的方向。

研磨片20在長(zhǎng)邊方向的中途部彎曲,以覆蓋把持片11的第一板面11b、前端面11a以及第二板面11c的方式卷繞于把持片11。在該情況下,研磨片20配置為固定有研磨材料的一側(cè)的面朝向外側(cè)。另外,研磨片20能夠通過粘合劑、粘合帶等粘貼在把持片11上。

研磨片20在本實(shí)施方式的情況下配置為覆蓋第一板面11b、前端面11a以及第二板面11c,但只要至少配置在把持片11的前端面11a即可。

這樣構(gòu)成的劃線工具1以如下方式使用。

如圖6、圖7所示那樣,在利用劃線工具1在玻璃基板G的表面標(biāo)注劃線S的情況下,首先,例如在玻璃基板G的上方,將劃線工具1配置為工具主體10的按壓部12位于上方并且把持部11位于下方的垂直姿態(tài)。

在該狀態(tài)下,使作業(yè)者的手的大拇指TF與把持片11的第一板面11b側(cè)抵接,并且使中指SF與把持片11的第二板面11c側(cè)抵接,利用大拇指TF與中指SF把持住把持片11以及卷繞在把持片11上的研磨片20。此外,利用食指FF的指腹向下方按壓按壓部12的上端面,使配置在把持片11的前端面11a的研磨片20與玻璃基板G的表面壓接。

若在使配置于前端面11a的研磨片20與玻璃基板G的表面壓接的狀態(tài)下,將劃線工具1沿工具主體10的短邊方向向跟前拉劃時(shí),在玻璃基板G的表面上標(biāo)注出劃線S。

在該情況下,當(dāng)利用食指FF將劃線工具1向玻璃基板G側(cè)按壓時(shí),工具主體10的第一彎曲部14以及第二彎曲部15彈性變形,通過其彈力使工具主體10的前端面11a整體以恒定的按壓力按壓于玻璃基板G的表面。因此,能夠利用被工具主體10的前端面11a按壓而與玻璃基板G的表面抵接的研磨片20穩(wěn)定地對(duì)玻璃基板G的表面標(biāo)注適當(dāng)深度的劃線S。由此,不需要準(zhǔn)備昂貴的裝置,并且例如即便在玻璃基板G的厚度薄的情況下,也能夠防止玻璃基板G的標(biāo)注有劃線S的位置破損的情況。

另外,由于研磨片20以覆蓋把持片11的第一板面11b、前端面11a以及第二板面11c的方式卷繞配置于把持片11,因此在利用大拇指TF與中指SF把持住把持片11時(shí),通過同時(shí)把持研磨片20中的覆蓋把持片11的第一板面11b以及第二板面11c的部分,能夠保持將研磨片20卷繞于把持片11的狀態(tài)。由此,在對(duì)玻璃基板G的表面標(biāo)注劃線S時(shí),無需將研磨片20粘貼于把持片11就能夠容易地將研磨片20配置在把持片11的前端面11a。

此外,在劃線工具1的工具主體10中,由于把持片11的長(zhǎng)度尺寸L1形成為比按壓片12的長(zhǎng)度尺寸L2大,因此能夠充分確保利用大拇指TF與中指SF把持住把持片11的空間,并且容易在利用大拇指TF與中指SF把持住把持片11的狀態(tài)下通過食指FF按壓按壓部12的上端面。

另外,由于連接片13相對(duì)于把持片11的板厚方向以及按壓片12的板厚方向傾斜,因此在利用食指FF按壓按壓部12的上端面時(shí),能夠使第一彎曲部14以及第二彎曲部15產(chǎn)生適度的彈力,能夠穩(wěn)定地將把持部11的前端面11a向玻璃基板G的表面按壓。

另外,由于研磨片20的粒度設(shè)定為#1000~#3000,因此能夠在玻璃基板G的表面標(biāo)注適度深度的劃線S,能夠在玻璃基板G不出現(xiàn)破損的情況下得到容易識(shí)別的劃線S。

另外,能夠使用通過劃線工具1標(biāo)注有劃線S的玻璃基板G求出表示玻璃基板G的熱處理所帶來的尺寸變化的、玻璃基板G的熱收縮率。

在求取玻璃基板G的熱收縮率的情況下,首先如圖8(a)所示那樣,在從玻璃基板G切出規(guī)定大小的長(zhǎng)方形玻璃片30的規(guī)定部位,以隔開規(guī)定間隔的方式通過劃線工具1標(biāo)注直線狀的劃線S1、S2。

接下來,如圖8(b)所示那樣,將標(biāo)注有劃線S1、S2的長(zhǎng)方形玻璃片30沿與劃線S1、S2垂直的方向斷開,得到第一試件30a以及第二試件30b。

并且,將得到的第一試件30a投入加熱爐,在規(guī)定溫度下以規(guī)定時(shí)間進(jìn)行加熱處理。在本實(shí)施方式的情況下,進(jìn)行在500℃下保持一小時(shí)的加熱處理。另一方面,第二試件30b不進(jìn)行加熱處理。

之后,如圖8(c)所示那樣,將實(shí)施了加熱處理的第一試件30a與未實(shí)施加熱處理的第二試件30b并排,測(cè)定第一試件30a的劃線S1、S2與第二試件30b的劃線S1、S2的偏離量ΔS1、ΔS2,根據(jù)下述式(1)計(jì)算熱收縮率C。

C(ppm)=(ΔS1(μm)+ΔS2(μm))/L(μm)···(1)

需要說明的是,在式(1)中,“L”是“第二試件30b的劃線S1與劃線S2之間的尺寸”。

需要說明的是,在如圖9所示那樣使用劃線工具1在玻璃基板G上標(biāo)注劃線S的情況下,劃線S由在規(guī)定的寬度尺寸的范圍內(nèi)形成的多根劃線構(gòu)成。在求取玻璃基板G的熱收縮率時(shí),能夠從該多根劃線線中選擇任意一根劃線用作測(cè)定對(duì)象。在該情況下,作為成為測(cè)定對(duì)象的劃線,能夠選擇容易清楚地識(shí)別的劃線(參照?qǐng)D9的劃線tm)。

另外,通過劃線工具1標(biāo)注在玻璃基板G的表面上的劃線S的寬度尺寸為與把持片11的金屬板的厚度尺寸t大致相等的尺寸。

接下來,對(duì)玻璃基板的劃線工具的其他實(shí)施方式進(jìn)行說明。

圖10所示的劃線工具5具備由長(zhǎng)邊方向的中途部形成有彎曲部的金屬板構(gòu)成的工具主體50、以及附設(shè)于工具主體50的研磨片20。

工具主體50通過將矩形狀的金屬板在長(zhǎng)邊方向的中途部彎曲而形成,具有配置在工具主體50的長(zhǎng)邊方向的一側(cè)的把持片51、以及配置在工具主體50的長(zhǎng)邊方向的另一側(cè)的按壓片52。

按壓片52具有配置在工具主體50的短邊方向上的一側(cè)的第一按壓片52a、以及配置在工具主體50的短邊方向上的另一側(cè)的第二按壓片52b。

把持片51的工具主體50的長(zhǎng)邊方向上的另一端部與按壓片52(第一按壓片52a以及第二按壓片52b)的工具主體50的長(zhǎng)邊方向上的一端部連接,把持片51與按壓片52的連接部構(gòu)成工具主體50的彎曲部54。

換句話說,第一按壓片52a以及第二按壓片52b相對(duì)于把持片51彎曲。第一按壓片52a相對(duì)于把持片51彎曲的彎曲方向與第二按壓片52b相對(duì)于把持片51彎曲的彎曲方向是相反方向。另外,在使把持片51垂直地立起的姿態(tài)下,第一按壓片52a以及第二按壓片52b在把持片11的上端部向大致水平方向延伸。

需要說明的是,“工具主體50的短邊方向”指的是與工具主體50的長(zhǎng)邊方向以及把持片51的金屬板的厚度方向正交的方向。

彎曲部54具有彈性,當(dāng)對(duì)劃線工具5施加長(zhǎng)邊方向的力時(shí),彎曲部54能夠彈性變形。

研磨片20以覆蓋把持片51的第一板面51b、前端面51a以及第二板面51c的方式卷繞于把持片51。但是,研磨片20只要至少配置于把持片51的前端面51a即可。

這樣構(gòu)成的劃線工具1能夠以如下方式使用。

換句話說,通過在利用作業(yè)者的手的大拇指TF與中指SF把持卷繞有研磨片20的把持片51,并且利用食指FF的指腹向下方按壓第一按壓部52a以及第二按壓部52b的上側(cè)面,使配置在把持片51的前端面51a的研磨片20與玻璃基板G的表面壓接的狀態(tài)下,將劃線工具5沿著工具主體50的短邊方向向跟前拉劃,由此能夠在玻璃基板G的表面上標(biāo)注劃線S。

在該情況下,當(dāng)利用食指FF將劃線工具5向玻璃基板G側(cè)按壓時(shí),工具主體50的彎曲部54彈性變形,通過其彈力使工具主體50的前端面51a整體以恒定的按壓力按壓于玻璃基板G的表面,能夠利用配置在前端面11a的研磨片20穩(wěn)定地在玻璃基板G的表面標(biāo)注適度深度的劃線S。

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