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角度微調(diào)真空吸附盤(pán)的制作方法

文檔序號(hào):12163508閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
一種角度微調(diào)真空吸附盤(pán),包括:面板、底板、調(diào)整齒和錯(cuò)齒調(diào)整槽,其中:面板和底板均為契型,兩者貼合,中心有貫通的真空氣孔,底板正面周邊均勻分布若干調(diào)整齒,面板的背面周邊均勻分布若干錯(cuò)齒調(diào)整槽,調(diào)整齒與錯(cuò)齒調(diào)整槽配合。本實(shí)用新型能夠提高工作效率并提高重復(fù)安裝精度。

技術(shù)研發(fā)人員:周豪
受保護(hù)的技術(shù)使用者:上?,F(xiàn)代先進(jìn)超精密制造中心有限公司
文檔號(hào)碼:201620836752
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.04
技術(shù)公布日:2017.03.15

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