專利名稱：半導體制品檢驗臺的制作方法
技術領域：
半導體制品檢驗臺技術領域[0001 ] 本申請涉及檢驗臺，尤其涉及半導體制品的檢驗臺。
技術背景[0002]半導體制品在生產過程中需要進行抽檢，傳統(tǒng)的檢驗方式是抽取樣品進行定點檢驗，多種不同型號的半導體制品在抽檢完成后往往出現(xiàn)混淆放置的情況，造成產品制造風險。而且抽檢人員折返次數(shù)與路程較長，影響了抽檢效率。另外，半導體制品在物流運送過程中可能會出現(xiàn)損傷。實用新型內容[0003]在下文中給出關于本實用新型的簡要概述，以便提供關于本實用新型的某些方面的基本理解。應當理解，這個概述并不是關于本實用新型的窮舉性概述。它并不是意圖確定本實用新型的關鍵或重要部分，也不是意圖限定本實用新型的范圍。其目的僅僅是以簡化的形式給出某些概念，以此作為稍后論述的更詳細描述的前序。[0004]本實用新型的一個主要目的在于提供一種可對半導體制品進行現(xiàn)場檢驗的可移動的檢驗臺。[0005]根據(jù)本實用新型的一個方面，一種半導體制品檢驗臺，包括[0006]移動臺車；[0007]檢驗裝置，安裝在移動臺車上；[0008]照明裝置，安裝在檢驗裝置上；以及[0009]便攜電池，放置在移動臺車上并連接至照明裝置以為照明裝置供電。[0010]根據(jù)本實用新型的一個方面，移動臺車的底部安裝有多個可固定式萬向輪。[0011]根據(jù)本實用新型的一個方面，移動臺車上設置有防靜電腕帶插孔以及不銹鋼接地鏈。[0012]根據(jù)本實用新型的一個方面，檢驗裝置包括承載底座以及位于承載底座上方的光學器件。[0013]根據(jù)本實用新型的一個方面，檢驗裝置為顯微鏡。[0014]根據(jù)本實用新型的一個方面，照明裝置位于檢驗裝置的承載底座的上方。[0015]根據(jù)本實用新型的一個方面，照明裝置包括環(huán)設在檢驗裝置的光學器件下端用以向承載底座發(fā)光的多個發(fā)光二極管。[0016]根據(jù)本實用新型的一個方面，便攜電池為照明裝置提供12V直流電壓。[0017]本實用新型的半導體制品檢驗臺可在抽檢時將移動臺車移動至待檢驗半導體制品處，通過安裝在移動臺車上的檢驗裝置進行現(xiàn)場抽檢，抽檢完成后可將制品放回原處，避免了與其它半導體制品的混淆放置、提高了抽檢效率同時不會造成物流引起的產品損壞。


3[0018]參照
以下結合附圖對本實用新型實施例的說明，會更加容易地理解本實用新型的以上和其它目的、特點和優(yōu)點。附圖中的部件只是為了示出本實用新型的原理。在附圖中， 相同的或類似的技術特征或部件將采用相同或類似的附圖標記來表示。[0019]圖1為本實用新型半導體制品檢驗臺一種實施方式的結構圖。
具體實施方式
[0020]下面參照附圖來說明本實用新型的實施例。在本實用新型的一個附圖或一種實施方式中描述的元素和特征可以與一個或更多個其它附圖或實施方式中示出的元素和特征相結合。應當注意，為了清楚的目的，附圖和說明中省略了與本實用新型無關的、本領域普通技術人員已知的部件和處理的表示和描述。[0021]參考圖1，本實用新型的半導體制品檢驗臺的一種實施方式包括移動臺車10、檢驗裝置20、照明裝置30以及便攜電池40。[0022]可選地，移動臺車10的底部安裝有多個可固定式萬向輪12，如圖1所示，本實用新型的實施例中，移動臺車10具有四個可固定式萬向輪12，分別安裝在移動臺車10底部的四個角處。[0023]可選地，移動臺車10為不銹鋼材料制成。[0024]可選地，移動臺車10上設置有防靜電腕帶插孔(圖中未示出)以及不銹鋼接地鏈 (圖中未示出)。[0025]檢驗裝置20安裝在移動臺車10上，用以檢驗半導體制品?？蛇x地，檢驗裝置20 包括承載底座22以及位于承載底座22上方的光學器件M，承載底座22用于放置待檢驗的半導體制品，檢驗員可通過光學器件M觀察放置在承載底座22上的半導體制品，例如，觀察半導體制品的整體外觀、表面平整度等。[0026]可選地，檢驗裝置20為顯微鏡。[0027]照明裝置30安裝在檢驗裝置20上用以照亮檢驗中的半導體制品?？蛇x地，照明裝置30位于檢驗裝置20的承載底座22的上方?？蛇x地，照明裝置30包括環(huán)設在檢驗裝置20的光學器件M下端用以向承載底座22發(fā)光的多個發(fā)光二極管。[0028]便攜電池20放置在移動臺車10上并連接至照明裝置30以為照明裝置30供電。 可選地，便攜電池20為照明裝置30提供12V直流電壓。[0029]本實用新型的實施例的半導體制品檢驗臺可移動至待檢驗半導體制品處進行現(xiàn)場抽檢，抽檢完成后可將制品放回原處，避免了與其它半導體制品的混淆放置、提高了抽檢效率、同時不會造成物流弓丨起的產品損壞。[0030]在本實用新型的設備中，顯然，各部件是可以分解、組合和/或分解后重新組合的。這些分解和/或重新組合應視為本實用新型的等效方案。同時，在上面對本實用新型具體實施例的描述中，針對一種實施方式描述和/或示出的特征可以以相同或類似的方式在一個或更多個其它實施方式中使用，與其它實施方式中的特征相組合，或替代其它實施方式中的特征。[0031]應該強調，術語“包括/包含”在本文使用時指特征、要素、步驟或組件的存在，但并不排除一個或更多個其它特征、要素、步驟或組件的存在或附加。[0032]雖然已經(jīng)詳細說明了本實用新型及其優(yōu)點，但是應當理解在不超出由所附的權利要求所限定的本實用新型的精神和范圍的情況下可以進行各種改變、替代和變換。而且，本申請的范圍不僅限于說明書所描述的過程、設備、手段、方法和步驟的具體實施例。本領域內的普通技術人員從本實用新型的公開內容將容易理解，根據(jù)本實用新型可以使用執(zhí)行與在此所述的相應實施例基本相同的功能或者獲得與其基本相同的結果的、現(xiàn)有和將來要被開發(fā)的過程、設備、手段、方法或者步驟。因此，所附的權利要求旨在在它們的范圍內包括這樣的過程、設備、手段、方法或者步驟。
權利要求1.一種半導體制品檢驗臺，其特征在于，包括移動臺車；檢驗裝置，安裝在所述移動臺車上；照明裝置，安裝在所述檢驗裝置上；以及便攜電池，放置在所述移動臺車上并連接至所述照明裝置以為所述照明裝置供電。
2.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述移動臺車的底部安裝有多個可固定式萬向輪。
3.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述移動臺車上設置有防靜電腕帶插孔以及不銹鋼接地鏈。
4.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述檢驗裝置包括承載底座以及位于所述承載底座上方的光學器件。
5.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述檢驗裝置為顯微鏡。
6.如權利要求5所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述照明裝置位于所述檢驗裝置的承載底座的上方。
7.如權利要求6所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述照明裝置包括環(huán)設在所述檢驗裝置的光學器件下端用以向所述承載底座發(fā)光的多個發(fā)光二極管。
8.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述便攜電池為所述照明裝置提供12V直流電壓。
專利摘要本申請涉及一種半導體制品檢驗臺，包括移動臺車；檢驗裝置，安裝在移動臺車上；照明裝置，安裝在檢驗裝置上；以及便攜電池，放置在移動臺車上并連接至照明裝置以為照明裝置供電。本實用新型避免了抽檢的半導體制品與其它半導體制品的混淆放置、提高了抽檢效率、同時不會造成物流引起的產品損壞。
文檔編號B25H5/00GK202259211SQ20112039657
公開日2012年5月30日 申請日期2011年10月18日 優(yōu)先權日2011年10月18日
發(fā)明者許海漸 申請人:南通富士通微電子股份有限公司