專利名稱：一種扭力扳手的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及封裝技術領域，特別涉及ー種扭カ扳手。
背景技術：
切割機是集成電路后封裝關鍵設備，其作用是將晶圓分割成單個的電路單元。切割機通常采用高速空氣靜壓電主軸作為核心執(zhí)行部件，實現高精度的強力磨削加工手段。 安裝在電主軸上的金剛石外圓刀片是實現晶圓分割的終端執(zhí)行単元，是晶圓劃切質量的直接影響因素。目前，金剛石外圓刀片通過法蘭和螺母進行夾緊固定。由于受到操作者熟練程度等因素的影響，刀具更換吋，往往出現刀片緊固扭矩不一的現象。當緊固扭矩較小吋，刀片在切割過程中容易出現偏擺，導致刀片刃面剝離，造成晶圓劃切槽變寬或直接報廢；當緊固扭矩較大時，刀片軸向受カ過大，導致刀片在與法蘭接觸點處碎斷，造成晶圓加工質量不良甚至形成廢品。隨著集成電路制造業(yè)向高精度和高速度方向的飛速發(fā)展，對刀片安裝可靠性的要求越來越高。而現有基于傳感器的扭カ扳手，因操作時受沖擊載荷的影響，易造成較大的扭矩誤差，緊固扭矩無法得到精準可靠的控制，常造成因エ件加工不良或刀片損壞引起的經濟損失。

發(fā)明內容
本發(fā)明實施例提供了ー種扭カ扳手，用以解決現有扭力扳手無法精準可靠控制緊固扭矩的問題。本發(fā)明實施例提供了ー種扭カ扳手，包括板手柄，為中空殼體，上部設有槽孔，所述槽孔的邊緣設有第一扭矩標尺；調節(jié)座，固定連接所述扳手柄的第一柄端，設有朝向所述扳手柄的軸向凹槽，所述軸向凹槽的底部固定一固定盤，所述固定盤的朝向所述扳手柄的第一盤面設有弧度小于 180度的齒槽；轉軸，設置于所述扳手柄的中心軸線位置，遠離所述第一柄端的第一軸頭固定連接板手桿，第二軸頭固定連接ー轉盤，所述轉盤設有軸向柱形孔；旋轉鋼珠，與所述齒槽和軸向柱形孔相切；壓環(huán)，套設于所述轉軸上，第一環(huán)面與所述旋轉鋼珠相切；壓簧，套設于所述轉軸上，第一壓簧端與所述壓環(huán)的第二環(huán)面形成面接觸；螺桿，套設于所述轉軸上，第一桿端限位于所述扳手柄內，第二桿端限位于所述扳手柄外并固定連接能帶動所述螺桿繞所述轉軸旋轉的旋鈕；螺母，通過螺紋連接所述第一桿端，所述螺母的第一法蘭面與所述壓簧的第二壓簧端形成面接觸，所述第一法蘭面為遠離所述旋鈕的法蘭面；刻線螺釘，第一釘頭垂直固定連接所述螺母的法蘭，第二釘頭插入所述槽孔，用于限制所述螺母跟隨所述螺桿旋轉，使所述螺母只產生軸向位移。
所述軸向凹槽底部的側壁軸線方向設有半柱形盲孔；所述固定盤的外壁的法線方向設有柱形盲孔；所述扭カ扳手還包括定位鋼珠，與所述半柱形盲孔和柱形盲孔相切。所述軸向凹槽底部的中心設有螺孔；所述扭カ扳手還包括調節(jié)螺釘，通過螺紋連接所述螺孔，第一端面與所述固定盤的第二盤面形成面接觸，第二端面設有孔或槽，用于調節(jié)所述固定盤在所述軸向凹槽內的軸向位置。所述調節(jié)座通過螺紋連接所述扳手柄的第一柄端，并通過短緊定螺釘固定。所述轉軸的第一軸頭設有與所述扳手桿配合的接ロ，所述扳手桿通過插入所述接 ロ固定連接所述轉軸的第一軸頭。所述轉軸的第二軸頭通過銷固定連接所述轉盤。所述螺桿的第一桿端通過ー限位法蘭限位于所述扳手柄內；和/或所述螺桿的第二桿端通過長緊定螺釘固定連接所述旋鈕。所述刻線螺釘的周向長度等于所述槽孔的周向長度；所述刻線螺釘的軸向長度小于所述槽孔的軸向長度；其中，所述周向長度是指沿所述螺桿旋轉方向的長度；所述軸向長度是指沿所述轉軸軸向的長度。所述旋鈕上設有第二扭矩標尺，所述第二扭矩標尺與所述第一扭矩標尺具有對應所述扳手桿的桿頭為一字頭、六角頭或者十字頭。本發(fā)明實施例提供的扭カ扳手利用特殊的結構設計，使扭カ扳手的扭矩可以預置，井能在實際緊固作業(yè)中，將緊固扭矩精準可靠地控制在預置的扭矩，具有結構合理，操作方便，能精準可靠控制緊固扭矩的優(yōu)點，避免了因緊固扭矩無法精準可靠控制而引起經濟損失。


圖1為本發(fā)明實施例提供的扭カ扳手的結構示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的扭カ扳手的局部結構示意圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明實施例要解決的技術問題、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。本發(fā)明實施例提供的扭カ扳手利用特殊的結構設計，使扭カ扳手的扭矩可以預置，井能在實際緊固作業(yè)中，將緊固扭矩精準可靠地控制在預置的扭矩，具有結構合理，操作方便，能精準可靠控制緊固扭矩的優(yōu)點，避免因緊固扭矩無法精準可靠控制而引起經濟損失。如圖1和圖2所示，本發(fā)明實施例提供了ー種扭カ扳手，包括板手柄1，為中空殼體，上部設有槽孔，槽孔的邊緣設有第一扭矩標尺(未示出)；
調節(jié)座2，固定連接扳手柄1的第一柄端，設有朝向坂手柄1的軸向凹槽，軸向凹槽的底部固定一固定盤3，固定盤3的朝向坂手柄1的第一盤面設有弧度小于180度(指齒槽繞固定盤3的盤心所成的角度)的齒槽3a(數目為多個，繞第一盤面的盤心均勻布置)，固定盤3優(yōu)選為厚壁筒，第一盤面為平面；轉軸4，設置于扳手柄1的中心軸線位置，遠離第一柄端的第一軸頭固定連接扳手桿5，第二軸頭固定連接ー轉盤6，轉盤6設有軸向柱形孔6a (數目為多個，繞轉盤6的軸線均勻布置)；旋轉鋼珠7 (數目為多個)，與齒槽3a和軸向柱形孔6a相切；壓環(huán)9，套設于轉軸4上，第一環(huán)面與旋轉鋼珠7相切；壓簧8，套設于轉軸4上，第一壓簧端與壓環(huán)9的第二環(huán)面形成面接觸；螺桿10，套設于轉軸4上，第一桿端限位于扳手柄1內，第二桿端限位于扳手柄1 外并固定連接能帶動螺桿10繞轉軸4旋轉的旋鈕11 ；螺母12，通過螺紋連接螺桿10的第一桿端，螺母12的第一法蘭面與壓簧8的第二壓簧端形成面接觸，第一法蘭面為遠離旋鈕11的法蘭面；刻線螺釘13，第一釘頭垂直固定連接螺母12的法蘭，第二釘頭插入槽孔，用于限制螺母12跟隨螺桿10旋轉，使螺母12只產生軸向位移。示例性地，軸向凹槽的底部固定一固定盤3的方式包括軸向凹槽的底部的側壁軸線方向設有半柱形盲孔(數目為多個)；所述固定盤的外壁的法線方向設有柱形盲孔(數目為多個)；此時，扭カ扳手還包括定位鋼珠16(數目為多個)，與半柱形盲孔和柱形盲孔相切。定位鋼珠16可限制固定盤3在軸向凹槽內轉動。為了使本發(fā)明實施例提供的扭カ扳手的扭矩與預設扭矩保持一致，示例性地，軸向凹槽底部的中心還可設有ー螺孔；此吋，上述扭カ扳手還可以包括調節(jié)螺釘14，通過螺紋連接螺孔，第一端面與固定盤3的第二盤面形成面接觸，第二端面設有孔或槽，用于調節(jié)固定盤3在軸向凹槽內的軸向位置，起位置校準的作用。比如當扭カ扳手的扭矩與預設扭矩有偏差吋，操作人員將扳手頭(圖未示出)插入第二端面上的孔或槽中，通過旋轉扳手頭 (圖未示出)來帶動調節(jié)螺釘旋轉，使調節(jié)螺釘在螺孔中旋進或旋出，旋進或旋出的調節(jié)螺釘使固定盤在軸向凹槽內左右移動，以調節(jié)固定盤在軸向凹槽內的軸向位置，使扭カ扳手的扭矩與預設扭矩保持一致。調節(jié)座2固定連接扳手柄1的第一柄端，兩者不發(fā)生相對位移，示例性地，連接方式包括調節(jié)座2通過螺紋連接扳手柄1的第一柄端，并通過短緊定螺釘15固定；或者調節(jié)座2通過焊接固定連接扳手柄1的第一柄端；或者通過其它固定方式連接。轉軸4的第一軸頭固定連接扳手桿5，兩者不發(fā)生相對位移，示例性地，連接方式包括轉軸4的第一軸頭設有一與扳手桿5配合的接ロ，扳手桿5通過插入接ロ固定連接轉軸4的第一軸頭；或者轉軸4的第一軸頭固定焊接扳手桿5 ；或者轉軸4與扳手桿5合一設置。轉軸4的第二軸頭固定連接轉盤6，兩者不發(fā)生相對位移，示例性地，連接方式包括轉軸4的第二軸頭通過銷17固定連接轉盤6 ；或者轉軸4的第二軸頭通過焊接固定連接轉盤6;或者通過其它合適的方式。其中，轉盤6可以是套設在轉軸4的第二軸頭上的。另外，壓環(huán)9套設于轉軸4上，第一環(huán)面與旋轉鋼珠7相切，第二環(huán)面與壓簧8的第一壓簧端形成面接觸。壓簧8在產生形變量時，壓簧8的弾力能通過壓環(huán)9作用至旋轉鋼珠7，使旋轉鋼珠7脫開固定盤3的齒槽所需的扭矩亦發(fā)生相應的變化。示例性地，螺桿10的第一桿端通過ー限位法蘭限位于扳手柄1內。螺桿10的第二桿端通過長緊定螺釘18固定連接旋鈕11。示例性地，刻線螺釘13的周向長度等于槽孔的周向長度，刻線螺釘13的軸向長度小于槽孔的軸向長度，其中，周向長度是指沿螺桿10旋轉方向的長度，軸向長度是指沿轉軸4軸向的長度。通過上述長度的設置，可以保證刻線螺釘13起到限制螺母12跟隨螺桿 10旋轉，使螺母12只產生軸向位移而不產生周向位移的作用。旋鈕11上設有第二扭矩標尺(未示出)，第二扭矩標尺與第一扭矩標尺具有對應關系。優(yōu)選地，第二扭矩標尺上的刻度線與第一扭矩標尺上的刻度線具有一定比例關系，便于扭矩值的預置。示例性地，扳手桿5的桿頭可以采用多種形式，包括一字頭、六角頭和十字頭等。本發(fā)明實施例提供的扭カ扳手不僅可用于緊固金剛石外圓刀片，還可以應用于其它緊固作業(yè)中。下面說明本發(fā)明實施例提供的扭カ扳手的使用方法和工作原理(1)、預置扭カ扳手的扭矩該扭カ扳手的扭矩可以預先根據需要設置。預置方法為操作人員旋轉旋鈕，旋鈕無軸向位移；螺桿在旋鈕的帶動下繞轉軸旋轉，螺桿無軸向位移；螺桿上的螺母受到插入槽孔中的刻線螺釘的限制，只產生軸向位移，刻線螺釘在第一扭矩標尺上指示的扭矩值亦發(fā)生相應的變化；與此同時，壓簧受到螺母的法蘭面的擠壓，產生形變量，引起壓環(huán)對旋轉鋼珠的壓カ的變化，由于固定盤的齒槽具有一定的弧度且小于180度，因此此時旋轉鋼珠脫開固定盤的齒槽所需的扭矩亦發(fā)生相應的變化。此時，刻線螺釘在第一扭矩標尺上指示的扭矩值即為扭力扳手的扭矩。預置過程簡單易行。O)、工作過程操作人員應用已預置扭矩的扭カ扳手進行緊固作業(yè)時，當板手桿承受的扭矩值達到預置的扭矩時，轉盤的軸向柱形孔中的旋轉鋼珠脫開固定盤的齒槽，引起扳手柄帶動固定盤轉動而轉軸與扳手桿靜止(即扳手空轉)，將緊固扭矩精準可靠地控制在預置的扭矩， 達到控制緊固扭矩的目的?？辙D后，繼續(xù)轉動扳手柄，可使旋轉鋼珠重新歸位到與齒槽和軸向柱形孔相切的狀態(tài)。本發(fā)明實施例提供的扭カ扳手利用特殊的結構設計，使扭カ扳手的扭矩可以預置，井能在實際緊固作業(yè)中，將緊固扭矩精準可靠地控制在預置的扭矩，具有結構合理，操作方便，能精準可靠控制緊固扭矩的優(yōu)點，避免因緊固扭矩無法精準可靠控制而引起經濟損失。
以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
權利要求
1.ー種扭カ扳手，其特征在干，包括板手柄，為中空殼體，上部設有槽孔，所述槽孔的邊緣設有第一扭矩標尺； 調節(jié)座，固定連接所述扳手柄的第一柄端，設有朝向所述扳手柄的軸向凹槽，所述軸向凹槽的底部固定一固定盤，所述固定盤的朝向所述扳手柄的第一盤面設有弧度小于180度的齒槽；轉軸，設置于所述扳手柄的中心軸線位置，遠離所述第一柄端的第一軸頭固定連接扳手桿，第二軸頭固定連接ー轉盤，所述轉盤設有軸向柱形孔； 旋轉鋼珠，與所述齒槽和軸向柱形孔相切； 壓環(huán)，套設于所述轉軸上，第一環(huán)面與所述旋轉鋼珠相切； 壓簧，套設于所述轉軸上，第一壓簧端與所述壓環(huán)的第二環(huán)面形成面接觸； 螺桿，套設于所述轉軸上，第一桿端限位于所述扳手柄內，第二桿端限位于所述扳手柄外并固定連接能帶動所述螺桿繞所述轉軸旋轉的旋鈕；螺母，通過螺紋連接所述第一桿端，所述螺母的第一法蘭面與所述壓簧的第二壓簧端形成面接觸，所述第一法蘭面為遠離所述旋鈕的法蘭面；刻線螺釘，第一釘頭垂直固定連接所述螺母的法蘭，第二釘頭插入所述槽孔，用于限制所述螺母跟隨所述螺桿旋轉，使所述螺母只產生軸向位移。
2.如權利要求1所述的扭カ扳手，其特征在干，所述軸向凹槽底部的側壁軸線方向設有半柱形盲孔； 所述固定盤的外壁的法線方向設有柱形盲孔； 所述扭カ扳手還包括定位鋼珠，與所述半柱形盲孔和柱形盲孔相切。
3.如權利要求2所述的扭カ扳手，其特征在干， 所述軸向凹槽底部的中心設有螺孔；所述扭カ扳手還包括調節(jié)螺釘，通過螺紋連接所述螺孔，第一端面與所述固定盤的第二盤面形成面接觸，第 ニ端面設有孔或槽，用于調節(jié)所述固定盤在所述軸向凹槽內的軸向位置。
4.如權利要求1所述的扭カ扳手，其特征在干，所述調節(jié)座通過螺紋連接所述扳手柄的第一柄端，并通過短緊定螺釘固定。
5.如權利要求1所述的扭カ扳手，其特征在干，所述轉軸的第一軸頭設有與所述扳手桿配合的接ロ，所述扳手桿通過插入所述接ロ固定連接所述轉軸的第一軸頭。
6.如權利要求1所述的扭カ扳手，其特征在干， 所述轉軸的第二軸頭通過銷固定連接所述轉盤。
7.如權利要求1所述的扭カ扳手，其特征在干，所述螺桿的第一桿端通過ー限位法蘭限位于所述扳手柄內；和/或所述螺桿的第二桿端通過長緊定螺釘固定連接所述旋鈕。
8.如權利要求1所述的扭カ扳手，其特征在干，所述刻線螺釘的周向長度等于所述槽孔的周向長度； 所述刻線螺釘的軸向長度小于所述槽孔的軸向長度；其中，所述周向長度是指沿所述螺桿旋轉方向的長度； 所述軸向長度是指沿所述轉軸軸向的長度。
9.如權利要求1所述的扭カ扳手，其特征在干，所述旋鈕上設有第二扭矩標尺，所述第二扭矩標尺與所述第一扭矩標尺具有對應關
10.如權利要求1所述的扭カ扳手，其特征在干， 所述扳手桿的桿頭為一字頭、六角頭或者十字頭。
全文摘要
本發(fā)明提供一種扭力扳手，用以解決現有扭力扳手無法精準可靠控制緊固扭矩的問題。該扭力扳手，包括扳手柄、調節(jié)座、固定盤、轉軸、扳手桿、轉盤、旋轉鋼珠、壓環(huán)、壓簧、螺桿、旋鈕、螺母和刻線螺釘。該扭力扳手利用特殊的結構設計，使扭力扳手的扭矩可以預置，并能在實際緊固作業(yè)中，將緊固扭矩精準可靠地控制在預置的扭矩，具有結構合理，操作方便，能精準可靠控制緊固扭矩的優(yōu)點，避免了因緊固扭矩無法精準可靠控制而引起經濟損失。
文檔編號B25B23/143GK102581805SQ20111000428
公開日2012年7月18日 申請日期2011年1月10日 優(yōu)先權日2011年1月10日
發(fā)明者李戰(zhàn)偉, 王明權, 賈月明, 閆啟亮 申請人:北京中電科電子裝備有限公司