專利名稱：鑷子的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及用于夾持晶圓樣品的鑷子。
背景技術(shù)：
在晶圓樣品的失效分析(failure analysis)中，當(dāng)清潔、刻蝕以及干燥晶圓樣品 時(shí)通常需要使用鑷子夾持晶圓樣品以便操作。然而，現(xiàn)有鑷子的鑷臂較光滑，當(dāng)有外力施加 到被夾持的晶圓樣品時(shí)，就有可能導(dǎo)致鑷子夾不緊該晶圓樣品進(jìn)而使得該晶圓樣品掉落。 圖IA和圖IB分別為使用現(xiàn)有技術(shù)的鑷子夾持晶圓樣品以進(jìn)行清潔和干燥的示意圖。圖IA 中，鑷子110用后端固定連接的兩個(gè)鑷臂夾持晶圓樣品120，并用水龍頭130對(duì)所述晶圓樣 品120沖水以進(jìn)行清潔。在此過(guò)程中，如果水對(duì)所述晶圓樣品120的沖力很大，則很有可能 導(dǎo)致所述鑷子110夾不緊所述晶圓樣品120進(jìn)而使得所述晶圓樣品120掉落。圖IB中，使 用氮?dú)鈽?N2gim) 140產(chǎn)生氮?dú)饬?blowing N2gas)以對(duì)所述晶圓樣品120進(jìn)行干燥。在 此過(guò)程中，如果氮?dú)饬鲗?duì)所述晶圓樣品120的沖力很大，則也很有可能導(dǎo)致所述鑷子110夾 不緊所述晶圓樣品120進(jìn)而使得所述晶圓樣品120掉落。晶圓樣品從鑷子掉落后會(huì)導(dǎo)致污 染、損壞甚至丟失的發(fā)生，這將影響甚至中斷失效分析的進(jìn)行。為了解決這個(gè)問(wèn)題，現(xiàn)有技 術(shù)也作了一些改進(jìn)。例如，使用流速較慢的水或者壓力較小的氮?dú)饬饕詼p少水或者氮?dú)饬?對(duì)晶圓樣品的沖力，然而晶圓樣品掉落的情況還是經(jīng)常發(fā)生。還有一種改進(jìn)是在房形工具 (house-shapedtool)中進(jìn)行晶圓樣品的干燥，這樣晶圓樣品只可能掉落在該房形工具中， 從而可以防止該晶圓樣品的丟失。然而這種改進(jìn)也無(wú)法防止晶圓樣品的掉落。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于更有效地夾持晶圓樣品的鑷子。本實(shí)用新型提供了一種鑷子，用于夾持晶圓樣品，所述鑷子包括后端固定連接的 兩個(gè)鑷臂，其中，所述兩個(gè)鑷臂的前端分別形成有相互對(duì)應(yīng)的凹槽，所述凹槽用于固定所述 晶圓樣品的兩端。可選的，所述凹槽的形狀為長(zhǎng)方形?？蛇x的，所述凹槽的長(zhǎng)度為5 25mm，寬度為0. 70 1. OOmm,深度為0. 70 1. OOmm0與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的鑷子，通過(guò)在鑷子的兩個(gè)鑷臂的前端分別形 成相互對(duì)應(yīng)的凹槽，并用該凹槽固定晶圓樣品的兩端，從而夾緊該晶圓樣品以防止該晶圓 樣品的掉落，避免了由晶圓樣品掉落導(dǎo)致的晶圓樣品的污染、損壞甚至丟失。

圖IA和圖IB分別為使用現(xiàn)有技術(shù)的鑷子夾持晶圓樣品以進(jìn)行清潔和干燥的示意 圖；圖2為本實(shí)用新型的鑷子的結(jié)構(gòu)示意3[0010]圖3為使用如圖2所示的鑷子夾持晶圓樣品的示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí) 施方式作進(jìn)一步的說(shuō)明。本實(shí)用新型的核心思想在于，通過(guò)在鑷子的兩個(gè)鑷臂的前端分別形成相互對(duì)應(yīng)的 凹槽，并用該凹槽固定晶圓樣品的兩端，從而夾緊該晶圓樣品以防止該晶圓樣品的掉落。圖2為本實(shí)用新型的鑷子的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖2中，鑷子210包括后端固定連接 的兩個(gè)鑷臂211和212，所述兩個(gè)鑷臂211和212的前端分別形成有相互對(duì)應(yīng)的凹槽213和 214。優(yōu)選的，所述凹槽213和214的形狀為長(zhǎng)方形。所述凹槽213和214的長(zhǎng)度為5 25mm,寬度為 0. 70 1. OOmm,深度為 0. 70 1. OOmm0圖3為使用如圖2所示的鑷子夾持晶圓樣品的示意圖。在圖3中，用所述鑷子210 的分別形成于所述兩個(gè)鑷臂211和212的前端的凹槽213和214分別固定晶圓樣品120的 兩端，從而夾緊所述晶圓樣品120以防止所述晶圓樣品120的掉落，避免了由晶圓樣品掉落 導(dǎo)致的晶圓樣品的污染、損壞甚至丟失。綜上所述，本實(shí)用新型提供的鑷子，通過(guò)在鑷子的兩個(gè)鑷臂的前端分別形成相互 對(duì)應(yīng)的凹槽，并用該凹槽固定晶圓樣品的兩端，從而夾緊該晶圓樣品以防止該晶圓樣品的 掉落，避免了由晶圓樣品掉落導(dǎo)致的晶圓樣品的污染、損壞甚至丟失。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種鑷子，用于夾持晶圓樣品，所述鑷子包括后端固定連接的兩個(gè)鑷臂，其特征在于，所述兩個(gè)鑷臂的前端分別形成有相互對(duì)應(yīng)的凹槽，所述凹槽用于固定所述晶圓樣品的兩端。
2.如權(quán)利要求1所述的鑷子，其特征在于，所述凹槽的形狀為長(zhǎng)方形。
3.如權(quán)利要求2所述的鑷子，其特征在于，所述凹槽的長(zhǎng)度為5 25mm，寬度為0.70 1. OOmm,深度為 0. 70 1. 00_。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種鑷子，用于夾持晶圓樣品，所述鑷子包括后端固定連接的兩個(gè)鑷臂，其中，所述兩個(gè)鑷臂的前端分別形成有相互對(duì)應(yīng)的凹槽，所述凹槽用于固定所述晶圓樣品的兩端。本實(shí)用新型提供的鑷子，通過(guò)在鑷子的兩個(gè)鑷臂的前端分別形成相互對(duì)應(yīng)的凹槽，并用該凹槽固定晶圓樣品的兩端，從而夾緊該晶圓樣品以防止該晶圓樣品的掉落，避免了由晶圓樣品掉落導(dǎo)致的晶圓樣品的污染、損壞甚至丟失。
文檔編號(hào)B25B9/02GK201728602SQ201020201100
公開(kāi)日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月21日
發(fā)明者盧秋明, 朱熙, 李德勇, 李桂花, 胡強(qiáng) 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司