專利名稱：用于晶片切片的碳納米管纖維線的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明通常涉及用于切割硬質(zhì)材料的線鋸，并且更具體來說涉及具有用于切割硅 剛玉的碳納米管纖維線的線鋸。
背景技術(shù)：
線鋸是用于切割硬質(zhì)和脆性材料。線鋸用來從用于半導(dǎo)體工業(yè)和光伏工業(yè)的硅剛 玉/晶錠上切割硅晶片。圖1、圖2和圖3中示出了用于切割硅晶片的線鋸的示意圖。圖1 示出具有饋送于兩個(gè)卷軸110之間的單線105的先前技術(shù)線鋸。線105在四個(gè)圓筒115上 多次通過，從而形成用于切割由夾具130夾住的硬質(zhì)材料125的線120的網(wǎng)。為了簡單說 明，僅示出三根切割線的網(wǎng)120。然而，實(shí)際上，用于切割硅剛玉的網(wǎng)將含有大量的線。線的 數(shù)量是由要從剛玉上同時(shí)切割的晶片的數(shù)量來確定。圓筒115既用于線性地移動(dòng)線105，如 所指示，也用于幫助在線105中維持適當(dāng)張力。(可以通過定位于第一卷軸與圓筒之間和第 二卷軸與圓筒之間的兩個(gè)張緊裝置來張緊該線。圖中未示出此類張緊裝置。)圓筒115繞 其中央軸線旋轉(zhuǎn)。硬質(zhì)材料125被固定至夾具130。夾具130經(jīng)配置以沿垂直于線120的 網(wǎng)的方向移動(dòng)，以使得可以將硬質(zhì)材料125移動(dòng)到線120的網(wǎng)上并且通過這些移動(dòng)的線來 切割。美國專利No. 5，829，424中提供了此類線鋸的例子和更多細(xì)節(jié)。圖2示出具有多個(gè)閉環(huán)線205的先前技術(shù)線鋸。三根線205形成用于切割由夾具 130夾住的硬質(zhì)材料125的線220的網(wǎng)。為了簡單說明，僅示出三根切割線的網(wǎng)220。然而， 實(shí)際上，用于切割硅剛玉的網(wǎng)將含有大量的線。線的數(shù)量是由要從剛玉上同時(shí)切割的晶片 的數(shù)量來確定。圓筒215既用于線性地移動(dòng)線205，如所指示，也用于張緊這些線205。圓 筒215繞其中央軸線旋轉(zhuǎn)。為了張緊線205，可以調(diào)整圓筒215的間隔。硬質(zhì)材料125被固 定至夾具130。夾具130經(jīng)配置以沿垂直于線220的網(wǎng)的方向移動(dòng)，以使得可以將硬質(zhì)材 料125移動(dòng)到線220的網(wǎng)上并且通過這些移動(dòng)的線來切割。美國專利No. 6，550，364中提 供了此類線鋸的例子和更多細(xì)節(jié)。圖3示出關(guān)于圖2的線鋸的先前技術(shù)變型。在圖3中，硬質(zhì)材料125被固定至夾 具355，夾具355允許硬質(zhì)材料125相對(duì)于線205的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。夾具355還允許硬質(zhì)材料 125豎直地移動(dòng)，如圖所示，垂直于線205移動(dòng)。豎直運(yùn)動(dòng)和擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)的這種組合允許在固 定的線205上切割硬質(zhì)材料125。不過，實(shí)際上，線205還可如所指示那樣間歇地或者連續(xù) 地移動(dòng)。該夾具包含能相對(duì)于第二部分335橫向地移動(dòng)的第一部分330。第二部分335能 繞軸336所定義的軸線旋轉(zhuǎn)，如圖所示。第二部分335通過軸336連接到第三部分340。第 三部分340能相對(duì)于固定的第四部分345豎直地移動(dòng)，如圖所示。通過軸承350來促進(jìn)豎 直移動(dòng)和橫向移動(dòng)。美國專利No. 6，886，550中提供了此類線鋸的例子和更多細(xì)節(jié)。圖4示出在由諸如圖1、圖2和圖3所示的線鋸切割的方法期間穿過硅剛玉425的 橫截面的示意圖。該截面的平面垂直于線405的長度。從而，在具有相對(duì)于硅剛玉425移 動(dòng)的線的線鋸中，圖4中的線405將沿垂直于該截面的平面的方向線性地移動(dòng)，并且硅剛玉 425將向下移動(dòng)到切割線405上，如圖所示。線405切割入硅425，從而形成槽426。當(dāng)切割繼續(xù)時(shí)，槽似6被向硅剛玉425中切割更深。此類槽稱為鋸口。該鋸口通常比切割線405 的直徑更寬。當(dāng)切割完成時(shí)，在槽似6之間剩余的硅將是硅晶片。切割方法有賴于(1)槽 426中含有研磨粒子的切割液；或者⑵覆蓋有研磨粒子(諸如，碳化硅)的線405。此外， 需要潤滑液來帶走在切割期間產(chǎn)生的熱量并且從槽似6移除硅碎屑。光伏工業(yè)對(duì)薄晶片具有很高的需求，當(dāng)前為小于200微米厚度并且期望不久達(dá)到 100微米厚度。為了有效地生產(chǎn)厚度日益減少的硅晶片，必須解決以下問題(1)需要減少 在切割晶片時(shí)鋸口處的硅損失；(2)需要降低切割液的黏度，以便在晶片厚度降低時(shí)維持 晶片切割的吞吐量；和(3)需要能有效地再捕獲從鋸口處損失的硅以再循環(huán)到硅剛玉中。可以通過使用較小直徑的切割線來減少鋸口處的硅損失。當(dāng)前，切割線直徑不小 于120-150微米，主要受到可用鋼線強(qiáng)度的限制。顯然，在不減小線直徑的情況下，隨著工 業(yè)上需要越來越薄的晶片，這將很快導(dǎo)致比被切割晶片更寬的鋸口。由鋼和類似材料制成 的較細(xì)線的問題在于，其不具有當(dāng)前鋸切方法所需要的機(jī)械強(qiáng)度。因而，需要具有更好機(jī)械 特性的較細(xì)鋸切線。必須降低潤滑/切割液的黏度，以便在晶片厚度減小時(shí)，維持切割剛玉的當(dāng)前吞 吐量和效率。當(dāng)鋸口寬度減小時(shí)，這也需要降低潤滑/切割液的黏度以允許相同的吞吐量 和效率。研磨線(涂布有金剛石粒子的金屬線)的引入已允許了切割液的黏度降低，因?yàn)?在切割液中不再需要研磨微粒。(不過，當(dāng)前用于對(duì)線涂布金剛石的方法不能生產(chǎn)切割用 于光伏應(yīng)用的硅晶片所需要的長度上足夠統(tǒng)一的線。)在此情況下，該液體主要成為潤滑 液。然而，當(dāng)鋸口寬度減小到接近100微米時(shí)，基于乙二醇和類似化學(xué)制品的當(dāng)前潤滑液將 太粘稠。當(dāng)接近這些小鋸口寬度時(shí)，當(dāng)前潤滑液的黏度將需要降低該線的速率。此外，為了 增加吞吐量，需要較高的線速度，而這將需要較低黏度的潤滑液。因而，需要較低黏度的潤 滑液。為了捕獲從鋸口處損失的硅，并且為了能將該硅再循環(huán)到半導(dǎo)體級(jí)硅剛玉中，必 須解決以下問題。首先，必須存在用于收集從鋸口處損失的硅的有效構(gòu)件。硅中的大部分 以必須濾出的微粒形式終止于潤滑液中。這僅可以在使用不含有諸如碳化硅的研磨粒子的 潤滑液時(shí)容易地實(shí)現(xiàn)。第二，潤滑液必須沒有可能使得硅不可用于制作半導(dǎo)體級(jí)硅剛玉的 金屬污染物。金屬切割線的使用導(dǎo)致金屬污染物進(jìn)入潤滑液并且到達(dá)從鋸口處損失的硅微 粒上。因而，需要可以將硅微粒有效地分離的切割/潤滑液并且需要不會(huì)污染從鋸口處損 失的硅的切割線。因此，還需要可以符合半導(dǎo)體工業(yè)和光伏工業(yè)的晶片切割需求并同時(shí)允許成本降 低和效率增加的工具和方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的概念和方法使得可以通過提供具有機(jī)械特性比金屬線更好的線的線鋸 來降低切割硬質(zhì)材料的成本和復(fù)雜性。此外，本發(fā)明提供在切割潤滑劑/漿液中不產(chǎn)生金 屬污染的切割工具和方法。這降低在對(duì)硅錠切片之后再循環(huán)切割潤滑劑中的硅鋸口損失的 成本和復(fù)雜性。這可以降低針對(duì)廣闊市場適用性的成本以及提供產(chǎn)量提高。根據(jù)本發(fā)明的 各方面，使用碳納米纖維和碳納米管纖維線而非先前技術(shù)所用的金屬線來實(shí)現(xiàn)這些和其他 優(yōu)點(diǎn)。同樣地，本發(fā)明涵蓋用于切割硬質(zhì)材料的線鋸，該線鋸包括由碳納米管細(xì)絲旋制而成的碳納米管纖維線。該碳納米管纖維線可由多根纖維制成，每根纖維均由碳納米管旋制而 成，這些纖維扭絞到一起以形成該線。此外，該線還可以具有摻入該線以增強(qiáng)該線的研磨特 性的金剛石粒子、碳化硅粒子和/或額外的碳納米管。在將纖維扭絞到一起以形成線的方 法期間，可以摻入金剛石粒子、碳化硅粒子和/或碳納米管。根據(jù)本發(fā)明的其他方面，提供了一種用于對(duì)硅剛玉切片的方法，其包括以下步驟 在兩個(gè)旋轉(zhuǎn)的圓筒之間線性地平移碳納米管纖維線，同時(shí)將該線維持在張力下；使用夾具， 將硅剛玉移動(dòng)到該移動(dòng)的張緊線上，從而該線切割入硅；將潤滑液輸送到硅的表面上，在該 表面處使?jié)櫥号c該線接觸；和在潤滑液離開硅表面之后收集該潤滑液。然后，所收集的潤 滑液可用于再循環(huán)，這可以包括從液體中收回硅。此外，該再循環(huán)可以包括從潤滑液中收回 碳納米管。


在結(jié)合附圖閱讀本發(fā)明的具體實(shí)施例的以下描述之后，本發(fā)明的這些和其他方面 和特征將對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員變得顯而易見，其中圖1是具有饋送于兩個(gè)線軸之間的單線的先前技術(shù)晶片線鋸的示意圖；圖2是具有閉合線環(huán)的先前技術(shù)晶片線鋸的示意圖；圖3是往復(fù)運(yùn)動(dòng)于硬質(zhì)材料與線之間的先前技術(shù)晶片線鋸的示意圖；圖4是穿過正在晶片線鋸上切割的硅剛玉的橫截面的略圖；圖5示出本發(fā)明的合股的碳納米管纖維線；圖6示出根據(jù)本發(fā)明的摻入了金剛石砂粒的碳納米管纖維線的示意性橫截面；圖7示出根據(jù)本發(fā)明的摻入了碳納米管的碳納米管纖維線的示意性橫截面；圖8是本發(fā)明的晶片線鋸的示意圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)將參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明，其是作為本發(fā)明的說明性例子來提供，以便使本 領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠?qū)嵤┍景l(fā)明。值得注意的是，以下附圖和例子并不意味著將本發(fā)明范 圍限于單個(gè)實(shí)施例，而是可以通過將所述或所示元件中的一些或全部進(jìn)行互換來得到其他 實(shí)施例。此外，在可以使用已知部件來部分或完全地實(shí)施本發(fā)明的某些元件的情況下，將 僅描述此類已知部件的對(duì)于理解本發(fā)明來說所必需的那些部分，而將省略此類已知部件的 其他部分的詳細(xì)描述以便不會(huì)使本發(fā)明難以理解。在本說明書中，不應(yīng)認(rèn)為示出單數(shù)部件 的實(shí)施例是限制性的；相反，本發(fā)明旨在涵蓋包括多個(gè)相同部件的其他實(shí)施例，并且反之亦 然，除非本文另有明確說明。此外，對(duì)于說明書或權(quán)利要求書中的任何術(shù)語，申請(qǐng)人并未打 算將其歸為罕見或特殊含義，除非如此明確地闡述。此外，本發(fā)明涵蓋本文通過舉例說明所 提及的已知部件的當(dāng)前和將來所知的等效物。通常，本發(fā)明涵蓋在用于切割硬質(zhì)材料(具體地講為硅晶片)的線鋸中摻入碳 納米管纖維線。線鋸廣泛用于工業(yè)中，諸如半導(dǎo)體工業(yè)和光伏工業(yè)。例如，參見美國專利 No. 5，829，424、No. 6，550，364和No. 6，886，550，所有這些專利均以引用方式并入本文。線 鋸包括需要極長的線的卷軸式線鋸(諸如圖1中所示)和僅需要相對(duì)短的線的閉環(huán)線鋸 (諸如圖2和圖3中所示)。本發(fā)明涵蓋將碳納米管纖維線摻入卷軸式線鋸和閉環(huán)線鋸中。
碳納米管是具有由石墨烯(石墨的單原子厚度薄片)形成的壁的納米級(jí)圓柱。納 米管可以為單壁(圓柱壁由石墨烯的單個(gè)薄片組成，稱為SWNT)或多壁(圓柱壁由石墨 烯的多個(gè)薄片組成，稱為MWNT)。單壁納米管具有大約一納米的直徑。納米管展現(xiàn)非凡的 機(jī)械特性，最值得注意的是突出的強(qiáng)度。碳納米管可以旋制成纖維，然后這些纖維可以合 股(扭絞)到一起以形成多股的紗線。這些纖維和紗線在長度上可以超過一米并且展現(xiàn) 150-460Mpa范圍內(nèi)的抗張強(qiáng)度。參見Zhang等人的kience 306，1358 (2004年)和Li等 人的kience 304，276 (2004年)。本發(fā)明涵蓋使用SWNT和/或MWNT以形成碳納米管纖維 線中的纖維。圖5示出根據(jù)本發(fā)明的碳納米管纖維線505的放大圖的圖解說明。此類碳納米管 纖維線505代替當(dāng)前用于線鋸中的金屬線。圖5中，示出了雙股線，即線505由直徑為10 微米的兩根旋制纖維506組成，該兩根旋制纖維506扭絞到一起以形成20微米直徑的線。 將碳納米管旋制到一起以形成纖維506，然后將這些纖維扭絞到一起以形成線505，這增加 了線505的強(qiáng)度。注意，10微米直徑的纖維將含有旋制到一起的大約IO6根納米管。該線 并不局限于具體直徑的纖維，并且不限于合股纖維的特定數(shù)量。例如，四根8微米直徑的纖 維可以合股到一起以形成大約M微米直徑的線。此外，大量較小直徑的纖維可以合股到一 起以形成線。通過對(duì)旋制與合股線材和紗線的舊式工藝的模擬，對(duì)可形成的線的長度沒有 限制。對(duì)于碳納米管領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，用于形成碳納米管纖維和合股這些纖維的各種 方法是已知的。碳納米纖維或碳納米管纖維的表面裝飾有個(gè)別部件碳納米管的末端。這使得納米 管纖維的表面稍微有些研磨性，從而提供研磨性的切割線?？梢栽诶w維的表面上用金剛石 相碳來增強(qiáng)研磨特性。可以使用化學(xué)汽相沉積(CVD)或相關(guān)技術(shù)來在纖維表面上沉積金剛 石相碳或在纖維表面上使金剛石相碳生長。還可以通過將諸如碳化硅或金剛石粒子的研磨 粒子摻入碳納米管纖維線中來增強(qiáng)這些碳納米管纖維線的研磨特性?？梢酝ㄟ^各種技術(shù)來 完成這些研磨粒子的摻入。例如可以引入研磨粒子，同時(shí)在具有粒子懸浮液的溶液中將纖 維合股到一起；可以對(duì)個(gè)別纖維涂布研磨粒子，然后可以將這些纖維合股到一起；可以使 用汽相沉積法或電化學(xué)沉積法來對(duì)該線涂布研磨粒子；等等。圖6示出摻入研磨粒子的碳 納米管纖維線的略圖。圖6示出添加了研磨粒子607的沿圖5中所示的雙股線505的5_5 所取的橫截面。在纖維506的表面上示出粒子607。研磨粒子的密度及其大小將變化，以適 合所需的切割類型。粒子尺寸通常將占最終切割線直徑的較小百分比。例如，如果線直徑 是50-70微米，那么研磨突起應(yīng)該是大約2-5微米。還可通過將額外的碳納米管摻入該線(目的在于大體上增加線表面上納米管末 端的密度)來增強(qiáng)該線的研磨特性。可以使用諸如以上對(duì)于研磨粒子描述的那些技術(shù)的技 術(shù)和作為碳纖維制造工藝的一部分的技術(shù)來完成這些額外的納米管的摻入。圖7示出摻入 額外的碳納米管的碳納米管纖維線的略圖。圖7示出添加了碳納米管708的沿圖5中所示 的雙股線505的5-5所取的橫截面。在纖維506的表面上示出納米管708。納米管的密度、 其大小及其類型(SWNT或MWNT)將變化，以適合所需的切割類型。一般而言，將以5-10重 量％的水平將納米管摻入碳納米管纖維線。與金屬線一樣，需要將潤滑液用于線鋸中的本發(fā)明的碳納米管纖維線。該潤滑液 可以含有諸如碳化硅粒子的研磨劑。然而，優(yōu)選的是在潤滑液中沒有研磨劑的情況下使用碳納米管纖維線。由于碳納米管纖維線優(yōu)良的機(jī)械特性，可以將碳納米管纖維線制成比金屬線更小 的直徑。這允許切割較薄晶片，可能薄至50微米厚。然而，為了在不降低切割速率的情況 下減小被切割晶片的厚度，需要較低黏度的潤滑液。這將需要從乙二醇基和油基滑潤劑到 較低黏度滑潤劑(諸如，水基滑潤劑)的改變。最終，該線應(yīng)與任何適當(dāng)?shù)臐櫥瑒┗蚯懈钜?一起工作。另外，可以對(duì)碳納米管纖維線涂布鈍化層，如美國專利No. 6，902，947中所描述。當(dāng)用線鋸切割硅晶片時(shí)，從鋸口處損失的硅中的大部分終止于潤滑液中。金屬切 割線污染潤滑液中的硅，從而使得再循環(huán)十分困難和昂貴。然而，在線鋸中使用碳納米管纖 維線消除了金屬污染的主要來源并且允許從潤滑液中成本有效地再循環(huán)硅。圖8示出本發(fā) 明的線鋸，該線鋸經(jīng)配置用于從潤滑液中再循環(huán)硅。在圖8中，潤滑液被輸送到硬質(zhì)材料 (在此情況下為硅剛玉425)，潤滑液在硬質(zhì)材料處與切割線205相遇。通過泵861經(jīng)由導(dǎo) 管862將潤滑液從容器860抽吸到正被切割的硅表面。當(dāng)潤滑液離開硅表面時(shí)，其由托盤 865捕獲并且排入用于存儲(chǔ)的儲(chǔ)蓄器866。在一些實(shí)施例中，儲(chǔ)蓄器866與容器860相連， 并且在其他實(shí)施例中，儲(chǔ)蓄器866與容器860是同一個(gè)。含有從鋸口處損失的硅的潤滑液可從儲(chǔ)蓄器866處獲得以用于再循環(huán)。在潤滑劑 中未使用研磨粒子時(shí)，對(duì)所用潤滑劑進(jìn)行過濾以移除從鋸口處損失的硅微粒。然后，這些微 ?？梢杂糜谥圃旄嗟墓鑴傆?。儲(chǔ)蓄器866中的潤滑液還可能含有從線上損失的碳納米管?？梢詮臐櫥褐谢厥?這些碳納米管。雖然已參考本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例來具體描述了本發(fā)明，但對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員 應(yīng)顯而易見的是，可以在不脫離本發(fā)明的范圍和精神的情況下進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)上的改變和 修改。這意味著所附權(quán)利要求書涵蓋此類改變和修改。
權(quán)利要求
1.一種用于切割硬質(zhì)材料的線鋸，其包含由碳納米管旋制而成的碳納米管纖維線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線鋸，其進(jìn)一步包含第一系統(tǒng)，其經(jīng)配置以將潤滑液輸送到所述硬質(zhì)材料的表面，在所述表面處使所述潤 滑液與所述線接觸；和第二系統(tǒng)，其經(jīng)配置以在所述潤滑液離開所述材料的所述表面之后捕獲所述潤滑液。
3.一種用于切割硬質(zhì)材料的線鋸，其包含 碳納米管纖維線，其由碳納米管旋制而成；機(jī)構(gòu)，其經(jīng)配置以沿路徑線性地平移所述線并且沿所述路徑將所述線維持在張力下；和夾具，其用于夾住所述硬質(zhì)材料，所述夾具接近所述路徑，所述夾具經(jīng)配置以使所述硬 質(zhì)材料移入所述路徑，從而所述移動(dòng)的張緊線切割入所述硬質(zhì)材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線鋸，其進(jìn)一步包含系統(tǒng)，所述系統(tǒng)經(jīng)配置以將潤滑液輸送 到所述硬質(zhì)材料的表面，在所述表面處使所述潤滑液與所述線接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的線鋸，其中所述硬質(zhì)材料是硅。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的線鋸，其進(jìn)一步包含托盤，其用于在所述潤滑液離開所述材料的所述表面之后捕獲所述潤滑液；和 儲(chǔ)蓄器，其連接到所述托盤以用于存儲(chǔ)由所述托盤捕獲的所述潤滑液。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線鋸，其中所述機(jī)構(gòu)包含第一卷軸；第二卷軸，其與所述第一卷軸間隔開并且軸向平行，其中所述線具有第一端和第二端， 所述線的所述第一端環(huán)繞所述第一卷軸纏繞，所述線的所述第二端環(huán)繞所述第二卷軸纏 繞；和多個(gè)圓筒，其經(jīng)配置以平移所述線。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線鋸，其中所述線是連續(xù)環(huán)線并且其中所述機(jī)構(gòu)包含多個(gè)圓 筒，所述圓筒經(jīng)配置以平移和張緊所述連續(xù)環(huán)線。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線鋸，其中所述夾具進(jìn)一步經(jīng)配置以在所述硬質(zhì)材料與所述 線之間產(chǎn)生相對(duì)往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
10.一種對(duì)硅剛玉切片的方法，其包含以下步驟沿路徑線性地平移碳納米管纖維線，同時(shí)沿所述路徑將所述線維持于張力下，其中所 述路徑接近用于夾住所述硅剛玉的夾具；將所述硅剛玉移動(dòng)到所述移動(dòng)的張緊線上，從而所述線切割入所述硅；將潤滑液輸送到所述硅的表面，在所述硅的所述表面處使所述潤滑液與所述線接觸；和在所述潤滑液離開所述硅的所述表面之后收集所述潤滑液。
11.根據(jù)權(quán)利要求1、3或10所述的方法，其中所述線包含多根纖維，每根纖維均由碳納 米管旋制而成，所述纖維扭絞到一起以形成所述線。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的線鋸，其中所述線進(jìn)一步包含摻入所述纖維的所述表面上 的金剛石粒子，從而使得所述線更具研磨性。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的線鋸，其中所述線進(jìn)一步包含摻入所述纖維的所述表面上的碳化硅粒子，從而使得所述線更具研磨性。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的線鋸，其中所述線進(jìn)一步包含摻入所述纖維的所述表面上 的碳納米管，從而使得所述線更具研磨性。
15.根據(jù)權(quán)利要求2、4或10所述的方法，其中所述潤滑液是水基的。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于切割硬質(zhì)材料的線鋸，所述線鋸包括由碳納米管旋制而成的碳納米管纖維線。所述碳納米管纖維線可由多根纖維制成，每根纖維均由碳納米管旋制而成，所述纖維扭絞到一起以形成所述線。此外，所述線還可包括金剛石粒子、碳化硅粒子和/或額外的碳納米管以增強(qiáng)所述線的研磨特性。提供了一種用于對(duì)硅剛玉切片的方法，包括在旋轉(zhuǎn)的圓筒之間線性地平移碳納米管纖維線，同時(shí)將所述線維持在張力下；使用夾具，將所述硅剛玉移動(dòng)到所述移動(dòng)的張緊線上，從而所述線切割入所述硅；將潤滑液輸送到所述硅的表面上，在所述表面處使所述潤滑液與所述線接觸；和在所述潤滑液離開所述硅的所述表面之后收集所述潤滑液。
文檔編號(hào)B26D1/46GK102105278SQ200980123778
公開日2011年6月22日 申請(qǐng)日期2009年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月21日
發(fā)明者J·C·莫蘭, K·K·辛格, O·那拉瑪蘇, R·C·巴克拉克 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料股份有限公司