專利名稱：三自由度精密定位工作臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種具有較高分辨率的工作臺(tái)。
背景技術(shù)：
普通工作臺(tái)轉(zhuǎn)角角度分辨率最高只能達(dá)到0.01°≈0.18mrad。但是當(dāng)偏轉(zhuǎn)角度非常小時(shí)(微弧度級(jí))，角度分辨率要求更高時(shí)，往往通過(guò)現(xiàn)有調(diào)整手段不能達(dá)到所需調(diào)整角度。當(dāng)需要進(jìn)行位移細(xì)微調(diào)整時(shí)，現(xiàn)有技術(shù)條件下重復(fù)定位精度只能達(dá)到1μm，而且相似參數(shù)同類產(chǎn)品體積大，安裝困難，固有頻率較低，轉(zhuǎn)角范圍小。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種分辨率高的三自由度精密定位工作臺(tái)，它包括運(yùn)動(dòng)輸出平臺(tái)1、基礎(chǔ)臺(tái)體4，在基礎(chǔ)臺(tái)體4上連接有微位移放大機(jī)構(gòu)3，微位移放大機(jī)構(gòu)3通過(guò)柔性鉸鏈2與運(yùn)動(dòng)輸出平臺(tái)1連接。本實(shí)用新型在于解決各種條件下運(yùn)動(dòng)部件的角度和位移調(diào)節(jié)，增大承載能力，增大轉(zhuǎn)角和位移量，減小外形體積，安裝調(diào)節(jié)方便，而且角度分辨率低于轉(zhuǎn)角的萬(wàn)分之一，角度重復(fù)性低于轉(zhuǎn)角的千分之一，位移重復(fù)性低于Z向位移的千分之一，位移分辨率低于Z向位移的千分之0.5，固有頻率相對(duì)同類產(chǎn)品提高2倍以上。


圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是圖1的B-B剖視圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)施方式包括運(yùn)動(dòng)輸出平臺(tái)1、基礎(chǔ)臺(tái)體4，在基礎(chǔ)臺(tái)體4上連接有微位移放大機(jī)構(gòu)3，微位移放大機(jī)構(gòu)3通過(guò)柔性鉸鏈2與運(yùn)動(dòng)輸出平臺(tái)1連接，它安裝非常方便。對(duì)微位移放大機(jī)構(gòu)3中壓電陶瓷施加適當(dāng)?shù)碾妷?，使微位移放大機(jī)構(gòu)3產(chǎn)生適當(dāng)位移，通過(guò)柔性鉸鏈2變形從而使運(yùn)動(dòng)輸出平臺(tái)1輸出適當(dāng)角度或適當(dāng)?shù)妮S向位移，由于微位移放大機(jī)構(gòu)3可產(chǎn)生大位移量行程，可得到大范圍的轉(zhuǎn)角和軸向位移，還可在微位移放大機(jī)構(gòu)3上粘貼應(yīng)變片傳感器，可以進(jìn)行閉環(huán)控制輸出轉(zhuǎn)角或所需的位移，微位移放大機(jī)構(gòu)3為三組且呈三角形分布。
權(quán)利要求1.一種三自由度精密定位工作臺(tái)，它包括運(yùn)動(dòng)輸出平臺(tái)(1)、基礎(chǔ)臺(tái)體(4)，其特征在于在基礎(chǔ)臺(tái)體(4)上連接有微位移放大機(jī)構(gòu)(3)，微位移放大機(jī)構(gòu)(3)通過(guò)柔性鉸鏈(2)與運(yùn)動(dòng)輸出平臺(tái)(1)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三自由度精密定位工作臺(tái)，其特征在于所述微位移放大機(jī)構(gòu)(3)為三組且呈三角形分布。
專利摘要三自由度精密定位工作臺(tái)，它涉及一種具有較高分辨率的工作臺(tái)。普通工作臺(tái)當(dāng)偏轉(zhuǎn)角度非常小時(shí)(微弧度級(jí))，角度分辨率要求更高時(shí)，往往通過(guò)現(xiàn)有調(diào)整手段不能達(dá)到所需調(diào)整角度。本實(shí)用新型包括運(yùn)動(dòng)輸出平臺(tái)(1)、基礎(chǔ)臺(tái)體(4)，在基礎(chǔ)臺(tái)體(4)上連接有微位移放大機(jī)構(gòu)(3)，微位移放大機(jī)構(gòu)(3)通過(guò)柔性鉸鏈(2)與運(yùn)動(dòng)輸出平臺(tái)(1)連接。本實(shí)用新型可以解決各種條件下運(yùn)動(dòng)部件的角度和位移調(diào)節(jié)，增大承載能力，增大轉(zhuǎn)角和位移量，減小外形體積，安裝調(diào)節(jié)方便，而且角度分辨率低于轉(zhuǎn)角的萬(wàn)分之一，位移重復(fù)定位精度為低于軸向位移的千分之一，固有頻率相對(duì)同類產(chǎn)品提高2倍以上。
文檔編號(hào)B25H1/00GK2629926SQ0326023
公開日2004年8月4日 申請(qǐng)日期2003年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月8日
發(fā)明者曲東升, 王建國(guó), 楊清義, 閔繼江 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)博實(shí)精密測(cè)控有限責(zé)任公司