專利名稱：一種安全門的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及安全門技術領域，具體涉及一種安全門。
背景技術：
在半導體工藝設備中，微環(huán)境即硅片的裝載區(qū)，該區(qū)域是一個氮氣濃度較高的區(qū)域，氧氣含量較低，是一個密閉的空間，該區(qū)域涉及較多的運動機構。因此進入微環(huán)境內(nèi)部非常的危險，若是不能及時的出來，會產(chǎn)生致命的威脅。傳統(tǒng)的半導體設備上都是只在微環(huán)境內(nèi)的門(簡稱為微環(huán)境門)的外部安裝門鎖，或者說只能在微環(huán)境門外通過門鎖打開或者關閉微環(huán)境內(nèi)的門，而不能在內(nèi)部打開微環(huán)境門。但是若設備維護過程中或者其它情況有人員被關在微環(huán)境內(nèi)里面，將可能會因為微環(huán)境內(nèi)氧含量過低，對人的生命安全產(chǎn)生致命的威脅。

發(fā)明內(nèi)容
(一 )要解決的技術問題本發(fā)明所要解決的技術問題是如何設計一種安全門。( 二 )技術方案為解決上述技術問題，本發(fā)明提供了一種安全門，包括門、安全門鎖和機械門鎖， 所述安全門鎖安裝在所述門內(nèi)側上，所述機械門鎖安裝在所述門外側上。優(yōu)選地，所述門為微環(huán)境門。優(yōu)選地，所述安全門還包括位于所述微環(huán)境門內(nèi)側的微環(huán)境門框。優(yōu)選地，所述安全門鎖包括接頭和搭扣，所述接頭通過所述微環(huán)境門框與所述搭扣固定連接。優(yōu)選地，所述微環(huán)境門框上安裝有鎖塊，所述搭扣安裝在所述鎖塊內(nèi)。優(yōu)選地，所述接頭為可旋轉的羽翼形接頭。優(yōu)選地，所述微環(huán)境門框上安裝有密封圈。優(yōu)選地，所述安全門鎖的材料為潔凈系列產(chǎn)品。優(yōu)選地，所述安全門鎖的材料為316L不銹鋼。優(yōu)選地，所述機械門鎖為轉舌式門鎖。(三)有益效果本發(fā)明通過在門內(nèi)、外側同時設置門鎖設計了一種安全門，其結構簡單，尤其適用于半導體設備中，能夠保證在微環(huán)境內(nèi)工作的安全性。


圖1是本發(fā)明實施例的安全門示意圖；圖2是安全門鎖關閉時安全門的結構示意圖；圖3是安全門鎖打開時安全門的結構示意圖4是安全門鎖拆卸示意圖；圖5是羽翼形接頭的結構示意圖；圖6是搭扣的結構示意圖；圖7是微環(huán)境門框的結構示意圖；圖8是鎖塊的結構示意圖。其中，1安全門鎖位置；2安全門鎖；3微環(huán)境門；4微環(huán)境門框；5鎖塊；6轉舌式門鎖；7密封圈；8微環(huán)境內(nèi)側。
具體實施例方式下面對于本發(fā)明所提出的一種安全門，結合附圖和實施例詳細說明。本發(fā)明實施例通過在微環(huán)境門內(nèi)側安裝安全門鎖，實現(xiàn)了既可以從外部打開微環(huán)境門，也可以從內(nèi)部打開微環(huán)境門。如圖1 4所示，本發(fā)明實施例的用于半導體設備中的安全門，包括微環(huán)境門3、安全門鎖2和轉舌式門鎖6，所述安全門鎖2安裝在所述微環(huán)境門3內(nèi)側上，所述轉舌式門鎖 6安裝在所述微環(huán)境門3外側上。其中，圖2 圖4均為側視圖。所述微環(huán)境門3包括位于所述微環(huán)境門3內(nèi)側的微環(huán)境門框4。所述安全門鎖2包括可旋轉的羽翼形接頭(為現(xiàn)有技術，如圖5所示)和搭扣(如圖6所示)，所述羽翼形接頭通過所述微環(huán)境門框4與所述搭扣固定連接。人通過轉動該羽翼形接頭90°即可打開微環(huán)境門3.所述微環(huán)境門框4上安裝有鎖塊5，所述搭扣安裝在所述鎖塊5內(nèi)。所述微環(huán)境門框4上安裝有密封圈7。所述安全門鎖2鎖的材質(zhì)選用原則為潔凈系列產(chǎn)品，如316L不銹鋼等，能夠保證不會有揮發(fā)性顆粒進入微環(huán)境內(nèi)，影響的產(chǎn)品的工藝質(zhì)量。微環(huán)境門3的門板以及門框表面平整、無彎曲變形，能夠保證通過安全門鎖2使門板與門框之間扣緊無縫隙。如圖2所示，半導體設備在工作過程中，微環(huán)境門3關閉，所有轉舌式門鎖6鎖定， 在微環(huán)境內(nèi)部的人員不能打開轉舌式門鎖6，當維修人員在微環(huán)境內(nèi)部中而微環(huán)境外部的轉舌式門鎖6鎖定時，則微環(huán)境內(nèi)部的人員可從微環(huán)境內(nèi)部打開安全門鎖2 (轉動該羽翼形接頭90° )，即可將微環(huán)境門3打開，避免了在微環(huán)境內(nèi)部氧含量過低對人的生命造成的威脅。需要說明的是，本發(fā)明還可以用于除半導體領域外的其它加工設備中，用于其它加工設備中時，所述微環(huán)境門3可以替換為其它類型的提供相對密閉空間的門。其中，所述轉舌式門鎖6也可以用其它機械門鎖來代替。實驗證明，本發(fā)明用于半導體設備中時效果很好。以上實施方式僅用于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護范圍應由權利要求限定。
權利要求
1.一種安全門，其特征在于，包括門、安全門鎖(2)和機械門鎖，所述安全門鎖(2)安裝在所述門內(nèi)側上，所述機械門鎖安裝在所述門( 外側上。
2.如權利要求1所述的安全門，其特征在于，所述門為微環(huán)境門(3)。
3.如權利要求2所述的安全門，其特征在于，所述安全門還包括位于所述微環(huán)境門(3) 內(nèi)側的微環(huán)境門框⑷。
4.如權利要求3所述的安全門，其特征在于，所述安全門鎖(2)包括接頭和搭扣，所述接頭通過所述微環(huán)境門框(4)與所述搭扣固定連接。
5.如權利要求4所述的安全門，其特征在于，所述微環(huán)境門框(4)上安裝有鎖塊(5)， 所述搭扣安裝在所述鎖塊(5)內(nèi)。
6.如權利要求4所述的安全門，其特征在于，所述接頭為可旋轉的羽翼形接頭。
7.如權利要求3所述的安全門，其特征在于，所述微環(huán)境門框(4)上安裝有密封圈⑵。
8.如權利要求1 7中任一項所述的安全門，其特征在于，所述安全門鎖(2)的材料為潔凈系列產(chǎn)品。
9.如權利要求8所述的安全門，其特征在于，所述安全門鎖⑵的材料為316L不銹鋼。
10.如權利要求1所述的安全門，其特征在于，所述機械門鎖為轉舌式門鎖(6)。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導體設備中的安全門技術領域，公開了一種安全門，包括門、安全門鎖(2)和機械門鎖，所述安全門鎖(2)安裝在所述門內(nèi)側上，所述機械門鎖安裝在所述門外側上。本發(fā)明通過在微環(huán)境門內(nèi)、外側同時設置門鎖設計了一種安全門，其結構簡單，尤其適用于半導體設備中，能夠保證在微環(huán)境內(nèi)工作的安全性。
文檔編號E05B63/14GK102434075SQ20111036606
公開日2012年5月2日 申請日期2011年11月17日 優(yōu)先權日2011年11月17日
發(fā)明者王麗榮, 董金衛(wèi), 鐘華 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司