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一種減少硅塊切割崩邊的玻璃的制作方法

文檔序號:10187051閱讀:389來源:國知局
一種減少硅塊切割崩邊的玻璃的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及硅片切割領(lǐng)域,尤其涉及一種減少硅塊切割崩邊的玻璃。
【背景技術(shù)】
[0002]在當(dāng)今的多晶硅片切割環(huán)節(jié),首先會對破錠后硅塊表面進行拋光,增加表面硬度然后進行切割。切割過程中普遍使用鋼線帶動砂漿對硅塊磨削完成整個切割過程。砂漿是由碳化硅加切割液組成,其中碳化硅作為磨料對硅塊進行磨削完成切割。在生產(chǎn)中一般使用環(huán)氧樹脂膠將硅塊與玻璃粘接,粘接完成后膠層厚度很薄,一般在0.2_左右?,F(xiàn)在切割過程一般使用鋼線單向(自左向右或自右向左)切割,硅塊的切割面一般為156mm*156mm的正方形。在切割到硅塊最底部時,由于膠層厚度很薄,而且碳化硅顆粒由于切割過程即將完成所以碳化硅的切割能力下降明顯。在切透硅塊的瞬間由于膠層較薄相當(dāng)于鋼線直接切割硅塊與玻璃,由于兩者硬度極為接近且均為平面,在失去了膠層的緩沖作用下,由于單向切害J,含有碳化硅的砂漿會從在單向切割過程中損失逐漸加大,造成出線側(cè)砂漿量少,從而引起底部的崩邊,影響硅片的切割質(zhì)量。
[0003]所以,如何提供一種減少硅塊切割崩邊的玻璃,克服現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺陷,是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]有鑒于此,本實用新型提供了一種減少硅塊切割崩邊的玻璃,解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題,具體方案如下:
[0005]一種減少硅塊切割崩邊的玻璃,包括玻璃本體,其特征在于:在所述玻璃本體的至少一個表面上具有若干條凹槽,所述玻璃本體的厚度D1為8mm-15mm,所述凹槽的深度D2為60um _150um,所述凹槽的槽間距W為60 um _150um。
[0006]優(yōu)選的,所述凹槽的橫截面形狀為三角形。
[0007]優(yōu)選的,所述凹槽的橫截面形狀為梯形。
[0008]優(yōu)選的,所述凹槽的橫截面形狀為U形。
[0009]優(yōu)選的,所述玻璃本體的厚度D1為12mm。
[0010]優(yōu)選的,所述玻璃本體的長度為520mm,寬度為126mm。
[0011]優(yōu)選的,所述凹槽的尺寸和導(dǎo)輪槽一致。
[0012]本實用新型提供的減少硅塊切割崩邊的玻璃,具有以下有益效果:在玻璃上增加凹槽,使切割收尾更加平穩(wěn),減少了切割時崩邊硅片的產(chǎn)出量,一定程度上減小了切割液的用量,提高了切割質(zhì)量,降低了切割成本。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1為減少硅塊切割崩邊的玻璃的俯視圖;
[0015]圖2為減少硅塊切割崩邊的玻璃的側(cè)視圖;
[0016]圖3為凹槽橫截面形狀為三角形時A局部放大圖;
[0017]圖4為凹槽橫截面形狀為梯形時A局部放大圖;
[0018]圖5為凹槽橫截面形狀為U形時A局部放大圖;
[0019]圖中:1、玻璃本體2、凹槽
【具體實施方式】
[0020]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
[0021 ] 參照圖1和圖2所示的減少硅塊切割崩邊的玻璃,包括玻璃本體1,在所述玻璃本體1的至少一個表面上具有若干條凹槽2,所述玻璃本體1的厚度D1為8mm-15mm,所述凹槽2的深度D2為60um _150um,所述凹槽2的槽間距W為60 um _150um。
[0022]將玻璃體1表面增加一定深度的凹槽2,當(dāng)鋼線切割到硅塊底部與玻璃連接處(SP膠層)時,由于玻璃體1表面帶有凹槽2,相當(dāng)于膠層厚度增加,由于膠層硬度遠低與硅塊或玻璃的硬度,并且且有一定彈性,能有一定緩沖作用,當(dāng)帶有砂漿的鋼線切割到膠層時容易切過膠層。而且由于切割到硅塊底部后會先切割到膠層,減少了玻璃與硅塊的接觸,從而減少崩邊硅片的產(chǎn)生。并且同時該切割對砂漿切割能力的要求也有所降低,從而可以減少砂漿的使用量,達到降低成本的目的。
[0023]參見圖3,作為本實施例的優(yōu)選,所述凹槽2的橫截面形狀為三角形。
[0024]參見圖4,作為本實施例的另一個優(yōu)選,所述凹槽2的橫截面形狀為梯形。
[0025]參見圖5,作為本實施例的再一個優(yōu)選,所述凹槽2的橫截面形狀為U形。
[0026]具體的,所述玻璃本體1的厚度D1為12mm。
[0027]具體的,所述玻璃本體1的長度為520mm,寬度為126mm。
[0028]具體的,所述凹槽2的尺寸和導(dǎo)輪槽(鋼線承載體,未圖示)一致,可以保證切割時鋼線順利在凹槽2內(nèi)不偏移,保證切割時候鋼線的垂直角度,從而進一步減小崩邊硅片產(chǎn)生的機會。
【主權(quán)項】
1.一種減少硅塊切割崩邊的玻璃,包括玻璃本體,其特征在于:在所述玻璃本體的至少一個表面上具有若干條凹槽,所述玻璃本體的厚度D1為8mm-15mm,所述凹槽的深度D2為60um _150um,所述凹槽的槽間距W為60 um _150um。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少硅塊切割崩邊的玻璃,其特征在于:所述凹槽的橫截面形狀為三角形。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少硅塊切割崩邊的玻璃,其特征在于:所述凹槽的橫截面形狀為梯形。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少硅塊切割崩邊的玻璃,其特征在于:所述凹槽的橫截面形狀為U形。5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的減少硅塊切割崩邊的玻璃,其特征在于:所述玻璃本體的厚度D1為12mm。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的減少硅塊切割崩邊的玻璃,其特征在于:所述玻璃本體的長度為520mm,寬度為126mm。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少硅塊切割崩邊的玻璃,其特征在于:所述凹槽的尺寸和導(dǎo)輪槽一致。
【專利摘要】本實用新型提供了一種減少硅塊切割崩邊的玻璃,包括玻璃本體,其特征在于:在所述玻璃本體的至少一個表面上具有若干條凹槽,所述玻璃本體的厚度D1為8mm-15mm,所述凹槽的深度D2為60um-150um,所述凹槽的槽間距W為60um-150um。
【IPC分類】B28D7/04, B28D5/04
【公開號】CN205097377
【申請?zhí)枴緾N201520839376
【發(fā)明人】王輝, 王丙寬
【申請人】天津英利新能源有限公司
【公開日】2016年3月23日
【申請日】2015年10月27日
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