一種高壓硅堆的專用分割裝置的制造方法
【專利說明】
[0001]【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本實(shí)用新型涉及高壓硅堆分割設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種高壓硅堆的專用分割裝置。
[0003]【【背景技術(shù)】】
[0004]公知的，現(xiàn)有的高壓硅堆分割有以下幾種方法:
[0005]第一、機(jī)械劃片分割，這是比較原始的硅片分割方法，最大分割厚度1.2mm，在分割單片硅片時(shí)效果還行，但是成品率在85%左右，對(duì)于較厚的高壓硅堆圓片來(lái)說就不太容易分割，就是分割好的硅堆，邊緣非常不規(guī)則，容易磕碰出崩邊，且影響后續(xù)的封裝，成品率也只有65-70% ;第二、外圓刀片切割，雖然切割的厚度可以達(dá)到2cm，但是效率比較低，而且刀縫損失(2-3_)比較大，每片圓形高壓硅堆有效利用面積減少了約30%，成品率比劃片機(jī)略高可達(dá)到85%左右；第三、激光切割，效率有所提高，但是切割過程中激光的高溫對(duì)高壓硅堆邊緣的兩端的P或N面容易造成燒結(jié)坑，而且對(duì)硅堆燒結(jié)過程中的金屬層造成熔化并在硅堆邊緣形成短路，使硅堆耐壓不夠或被漏電擊穿，因此極大的影響了企業(yè)的生產(chǎn)。
[0006]【【實(shí)用新型內(nèi)容】】
[0007]為了克服【背景技術(shù)】中的不足，本實(shí)用新型公開了一種高壓硅堆的專用分割裝置，本實(shí)用新型通過在第二工裝上設(shè)置定位銷和第一工裝，在第一工裝上設(shè)置擋塊、緩沖板、載體板和保護(hù)板，再通過將硅堆圓片固定于保護(hù)板和載體板之間，以此來(lái)達(dá)到高效切割硅堆圓片的目的。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)所述實(shí)用新型目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0009]一種高壓硅堆的專用分割裝置，包括第一工裝、第二工裝、定位銷、擋塊、緩沖板、載體板和保護(hù)板，在第二工裝上部面上設(shè)有定位銷和第一工裝，第二工裝上設(shè)有兩個(gè)定位銷，所述第一工裝的中部設(shè)有防跌螺絲孔，防跌螺絲孔的四周設(shè)有緊固螺絲孔，第一工裝通過螺絲插入防跌螺絲孔和緊固螺絲孔使第一工裝和第二工裝相連接，第一工裝的側(cè)面設(shè)有擋塊，擋塊置于第二工裝的兩個(gè)定位銷之間，在第一工裝的上部面上設(shè)有緩沖板，緩沖板上設(shè)有載體板，載體板上設(shè)有保護(hù)板。
[0010]所述緩沖板為樹脂材料制作而成。
[0011]所述第一工裝為圓柱型結(jié)構(gòu)，防跌螺絲孔設(shè)置在圓柱的中心部，沿著防跌螺絲孔四周等距設(shè)有至少三個(gè)緊固螺絲孔。
[0012]所述定位銷為圓柱型結(jié)構(gòu)，定位銷設(shè)置在第一工裝的外側(cè)面上，定位銷與第二工裝固定相連接。
[0013]由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有如下有益效果:
[0014]本實(shí)用新型所述的一種高壓硅堆的專用分割裝置，包括第一工裝、第二工裝、定位銷、擋塊、緩沖板、載體板和保護(hù)板，通過在第二工裝上設(shè)置定位銷和第一工裝，在第一工裝上設(shè)置擋塊、緩沖板、載體板和保護(hù)板，再通過將硅堆圓片固定于保護(hù)板和載體板之間，以此來(lái)達(dá)到高效切割硅堆圓片的目的；本實(shí)用新型實(shí)用性強(qiáng)，分割精度高，不但大幅度節(jié)約了硅料，而且成品率非常的高，因此極大的提高了工作效率，促進(jìn)了企業(yè)的發(fā)展。
[0015]【【附圖說明】】
[0016]圖1為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖中:1、保護(hù)板；2、硅堆圓片；3、載體板；4、緩沖板；5、第一工裝；6、第二工裝；7、定位銷；8、防跌螺絲孔；9、緊固螺絲孔；10、擋塊。
[0018]【【具體實(shí)施方式】】
[0019]通過下面的實(shí)施例可以詳細(xì)的解釋本實(shí)用新型，公開本實(shí)用新型的目的旨在保護(hù)本實(shí)用新型范圍內(nèi)的一切技術(shù)改進(jìn)。
[0020]結(jié)合附圖1所述的一種硅棒晶向調(diào)節(jié)裝置，包括第一工裝5、第二工裝6、定位銷7、擋塊10、緩沖板4、載體板3和保護(hù)板1，在第二工裝6上部面上設(shè)有定位銷7和第一工裝5，第二工裝6上設(shè)有兩個(gè)定位銷7，所述第一工裝5的中部設(shè)有防跌螺絲孔8，防跌螺絲孔8的四周設(shè)有緊固螺絲孔9，第一工裝5通過螺絲插入防跌螺絲孔8和緊固螺絲孔9使第一工裝5和第二工裝6相連接，第一工裝5的側(cè)面設(shè)有擋塊10，擋塊10置于第二工裝6的兩個(gè)定位銷7之間，在第一工裝5的上部面上設(shè)有緩沖板4，緩沖板4上設(shè)有載體板3，載體板3上設(shè)有保護(hù)板I ;所述緩沖板4為樹脂材料制作而成；所述第一工裝5為圓柱型結(jié)構(gòu)，防跌螺絲孔8設(shè)置在圓柱的中心部，沿著防跌螺絲孔8四周等距設(shè)有至少三個(gè)緊固螺絲孔9 ;所述定位銷7為圓柱型結(jié)構(gòu)，定位銷7設(shè)置在第一工裝5的外側(cè)面上，定位銷7與第二工裝6固定相連接。
[0021]實(shí)施本實(shí)用新型所述的一種硅棒晶向調(diào)節(jié)裝置，在使用時(shí)，先在保護(hù)板I和載體板3直接放上硅堆圓片2，然后通過膠將保護(hù)板1、硅堆圓片2、載體板3、緩沖板4和第一工裝5粘合在一起組成加工件，然后再將加工件放在第二工裝6上，并通過螺絲將加工件固定在第二工裝6上，然后就可以把第二工裝6與多線切割機(jī)的燕尾托固定在一起并安裝到多線切割機(jī)上了，按照高壓硅堆的尺寸要求，安裝好多線切割機(jī)的主輥及合適尺寸的樹脂金剛線就可以對(duì)高壓硅堆進(jìn)行切割了，切割完之后拆下加工件，然后使加工件旋轉(zhuǎn)90°再用螺絲固定在第二工裝6上再進(jìn)行一次切割就可以了，最后取下第二工裝6，將第二工裝6放入超聲波中清洗15到40分鐘，再放到脫膠液中進(jìn)行脫膠，脫膠后進(jìn)行脫膠清洗就可以轉(zhuǎn)入下一道工序了。
[0022]本實(shí)用新型未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高壓硅堆的專用分割裝置，包括第一工裝、第二工裝、定位銷、擋塊、緩沖板、載體板和保護(hù)板，其特征是:在第二工裝上部面上設(shè)有定位銷和第一工裝，第二工裝上設(shè)有兩個(gè)定位銷，所述第一工裝的中部設(shè)有防跌螺絲孔，防跌螺絲孔的四周設(shè)有緊固螺絲孔，第一工裝通過螺絲插入防跌螺絲孔和緊固螺絲孔使第一工裝和第二工裝相連接，第一工裝的側(cè)面設(shè)有擋塊，擋塊置于第二工裝的兩個(gè)定位銷之間，在第一工裝的上部面上設(shè)有緩沖板，緩沖板上設(shè)有載體板，載體板上設(shè)有保護(hù)板。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓硅堆的專用分割裝置，其特征是:所述緩沖板為樹脂材料制作而成。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓硅堆的專用分割裝置，其特征是:所述第一工裝為圓柱型結(jié)構(gòu)，防跌螺絲孔設(shè)置在圓柱的中心部，沿著防跌螺絲孔四周等距設(shè)有至少三個(gè)緊固螺絲孔。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓硅堆的專用分割裝置，其特征是:所述定位銷為圓柱型結(jié)構(gòu)，定位銷設(shè)置在第一工裝的外側(cè)面上，定位銷與第二工裝固定相連接。
【專利摘要】一種高壓硅堆的專用分割裝置，涉及高壓硅堆分割設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，由第一工裝、第二工裝、定位銷、擋塊、緩沖板、載體板和保護(hù)板構(gòu)成，在第二工裝上部面上設(shè)有定位銷和第一工裝，第二工裝上設(shè)有兩個(gè)定位銷，所述第一工裝的中部設(shè)有防跌螺絲孔，防跌螺絲孔的四周設(shè)有緊固螺絲孔，第一工裝通過螺絲插入防跌螺絲孔和緊固螺絲孔使第一工裝和第二工裝相連接，第一工裝的側(cè)面設(shè)有擋塊，擋塊置于第二工裝的兩個(gè)定位銷之間，在第一工裝的上部面上設(shè)有緩沖板，緩沖板上設(shè)有載體板，載體板上設(shè)有保護(hù)板；本實(shí)用新型實(shí)用性強(qiáng)，分割精度高，不但大幅度節(jié)約了硅料，而且成品率非常的高，因此極大的提高了工作效率，促進(jìn)了企業(yè)的發(fā)展。
【IPC分類】B28D7/04, B28D5/04
【公開號(hào)】CN204673817
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520354744
【發(fā)明人】馬明濤, 裴保齊, 邵斌
【申請(qǐng)人】洛陽(yáng)鴻泰半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2015年9月30日
【申請(qǐng)日】2015年5月28日